JPS5814757B2 - ゾウノセイゴウホウホウ オヨビ ソノソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はスクリーン印刷技術に関し、詳細には、スクリ
ーン印刷に使用すべきスクリーン上に所定配列の像を形
成する方法およびその装置に関する。

近年微小回路に対する要求が産業界から強くなるのに伴
なってスクリーン印刷技術の開発が重要となってきてい
る。

厚膜技術は、こうした微小回路を製造するのに使用する
方法のうちのひとつである。

この方法では「チップ」と称する超耐熱性基体上に適当
なペストを所望パターンにプリントした後に高温度で焼
成してペーストを固化し、当該ペーストを基体上に接着
する。

この場合チップ上のペーストのパターンはスクリーン・
プリンターによって形成るが、あるパターン形成法では
、スクリーンの全面にまず感光材を塗布し、次に陽画の
マスクを被覆する。

この陽画マスクの領域は、チップ上のペーストを塗布し
々い領域に対応する。

次に、このスクリーンと陽画マスクを露光すると、この
露光によってマスクしてないスクリーン領域である反応
が生じる。

次にスクリーンを洗浄するか又は反応させると、スクリ
ーンの所望の領域のみにペーストをスクリーンへ通過さ
せるのに適した開口部が形成される一方陽画マスクでマ
スクした領域はこうしたペーストに対し不浸透な性質を
有する領域となる。

旧来は当該画を単にスクリーン上に略式に中心位置にお
き、当該スクリーンを精密でないクランプ又はねじによ
ってスクリーン印刷機内に把持していた。

スクリーンは定期的に廃棄及び（又は）清浄にしなけれ
ばならないので、連続的な印刷作動が望ましい場合には
同一パターンを備えた多数のスクリーンを用意する必要
がある。

こうした情況下ではスクリーンを取付けてスクリーンの
像を下方の基体保持具に対して正しい横方向位置に至ら
しめるよう調節する度にスクリーン・プリンターを調節
する必要があった。

スクリーン上の画が基体保持具及びスクリーン・フレー
ムに対して相対的に正確に設置され、操作者は単に一方
のスクリーンを他方のスクリーンと交換し且つスクリー
ン・プリンターに何ら調節をせずに印刷を続行出来る場
合には相当量の操作時間を節約することが出来、品質管
理のため除去するチップの個数を減少させることが出来
る。

本発明の方法及びその装置によって画の位置の調節量を
相当削減又は省略出来ることが判った。

本発明を適確に使用することによって、スクリーンの交
換又は置換が可能となり新しい画と旧い画の自動的整合
が確実になる。

本発明によれば、陽画に並進、回転方位の参照印が付け
てある。

スクリーンは支持フレームに固定され、次に、この支持
フレームは予め決められた３次元方位に設定される。

陽画はスクリーン上に設定され、次に、その参照印の位
置が、支持フレームの方位に対する相対的な予め決めら
れた位置を有する基準の印と比較される。

次に、陽画がその参照印と対応する基準の印とが整合す
るよう動かされ、一度この整合状態が得られると、次に
その陽画は支持フレームに対して相対的に不動状態にさ
れる。

次に、陰画をスクリーン上に予め決められた方位を以っ
て形成するのに十分な周波数及び強度を持つ電磁波を陽
画に露光せしめることにより所望の画がスクリーン上の
所望の場所に形成される。

第１図に本発明に係る装置を示す。

本装置は、図示してない任意の適当な手段によって所定
の水平面内に固定せるアダプター・プレート１、従来の
方法に従って強固に固着せる感光スクリーン３を備えた
スクリーン支持フレーム２、アダプター・プレートに対
して相対的にスクリーン支持フレームが所定の３次元方
位に配設されるのを確実にするためスクリーン支持フレ
ームとアダプター・プレートとの間を接触せしめ且つ第
１図ではスクリーン支持フレームの長い円錐状くぼみ９
ａ及び円錐状くぼみ９ｂと接触するよう適合せるアダプ
ター・プレート１上の円錐状突起６ａ及び６ｂ並びにス
クリーン支持フレームのくぼみ８と接触するよう適合せ
るアダプター・プレートの円筒形突起７で構成された手
段で構成されている。

スクリーン支持フレームは所定位置に設定されると、図
示していないクランプ又は同様の装置によってアダプタ
ー・プレートに対し相対的に同一方向に維持される。

次に、陽画４をスクリーン上に設置し、第３図に図示せ
る基準印を有する顕微鏡で覗く。

顕微鏡は支持装置２２によって静止位置で支持してあり
、フォーカスはつまみ２３でロックする。

全体のアダプター・プレート及び支持フレーム装置は、
可動摺動部品１９、ベース２４に固定せる常設摺動部品
１８を設けることにより直線運動を行なうようになって
いる。

摺動部品の運動は各終了時に各々ブロック２０及び２１
によって制限される。

作動にあたって、点の参照印は、スクリーン支持フレー
ムが一方のブロックに載置した時点で交差線と整合し、
傾斜の参照印は、スクリーン支持フレームが他方のブロ
ックに載置した時点で交差線と整合する。

第２図は、切欠き１０で表わした所望の像を有する第１
図の陽画４を示す。

陽画には当該陽画の並進方位及び回転方位の参照印が付
けてある。

参照印１１の２本の線の交差部は一点を定め、一方、参
照印１２を成す水平線は参照印１１の水平線の連続部で
あり、かくして、参照印１１で表示せる点を貫通する線
を定める。

従って、陽画が存在するのがどの水平面であるか判れば
、その並進、回転位置は、参照印１１及び１２を基準に
することによって一義的に決定出来る。

第３ａ図は、整合前の陽画の参照印１１及び交差線１３
を示す、第１図の顕微鏡で覗いた陽画の平面図である。

交差線１３で表わした基準の印は顕微鏡内に組込まれて
いる。

第３ｂ図は、整合後の陽画の図を表わす。

作動にあたって、アダプター・プレート、スクリーン支
持フレーム及びスクリーンは全て相互に所定の固定関係
になっている。

陽画のみが非方位付け状態にある。

かくして操作者は参照印１１が基準の印１３に一致する
まで所望の装置により陽画の位置を調節することが出来
る。

次に、スクリーン支承フレームを反対側のブロックまで
摺動させ、基準の印１２を参照印１３に整合させる。

この状態が一度達成されると、陽画は粘着テープ又はそ
の他任意の適当な手段によってスクリーン支持フレーム
に対し相対的に不動状態に出来る。

次に、スクリーン支持フレームを本装置から除去し、陰
画を所望の予め決められた位置でスクリーン上に形成す
るため適当な電磁波を照射する。

陽画の正確な位置を決定する装置として参照印１１，１
２，１３を使用するのは陽画が常時正確に同一水平面内
にあるという仮定の下にあることが前述の説明から理解
されよう。

陽画が非平行平面内又は所定の平面以外の水平面内に配
設されろ場合、操作者は参照印の整合に困難を伴碌うか
又は得律る整合状態が不正確になる。

第４図及び第５図は、スクリーン平面の水平方向へのず
れを最小にするアダプター・プレート１及びスクリーン
支持フレーム２の一実施例を示す。

この実施例は、部品を機械加工する際に過度な公差を生
じさせないで、かなりの正確性が得られるので特に有利
である。

好ましいスクリーン支持フレームは、第４図に示す如く
設計してあり、このスクリーン支持フレーム２の主な特
徴は、くぼみ８，９ａ及び９ｂにある。

これらのくぼみは第５図に示す如くアダプター・プレー
ト１の突起６ａ，６ｂ及び７と協働するようになってい
ることである。

突起６ａ及び６ｂは截頭円錐体状になっており、一方、
突起７は円筒形で底部が平坦になっている。

アダプタープレートの突起の中心は隔置してあり、スク
リーン支持フレームのくぼみ８，９ａ及び９ｂの中心に
出来るだけ類似する様式を以って向けてある。

スクリーン支持フレームをアダプター・プレート上に設
置すれば、くぼみ９ａは突起６ａを嵌合せしめ、くぼみ
９ｂは突起６ｂを嵌合せしめ、くぼみ８は突起７を嵌合
せしめる。

くぼみ９ｂの形状は、突起６ｂの傾斜と同一の傾斜を有
する円錐体の形状である。

くぼみ９ａの壁は突起６ａの傾斜と同一の傾斜を有する
が、くぼみ９ａは単純な円錐体ではなく細長くなってい
る。

突起６ｂ及びくぼみ９ｂの間の接触は突起６ａ及びくぼ
み９ａの間の接触と連動してスクリーン支持フレームの
アダプター・プレートに対する相対的な並進、回転方位
を一義的に定める作用をする。

換言すれば、スクリーン支承フレームはＸ方向及びＹ方
向に一義的位置付けられる。

突起７及びくぼみ８の間の接触はスクリーン支承フレー
ムをアダプター・プレートに対して相対的に２方向に一
義的に位置付ける作用をする。

単純な円錐形状のくぼみの代りに細長いくぼみ９ａを設
ければ、理論的な設計距離から僅かにずれがあった場合
でもスクリーン支持フレームの方位の正確性が著しく改
善される。

くぼみ９ａを単純な円錐形とすれば、くぼみ９ａ及び９
ｂの中心の距離はスクリーン支持フレームの平面のアダ
プター・プレートの平面に対する相対的傾斜を防止する
ため突起６ａ及び６ｂの中心間の距離に等しくなければ
ならないであろう。

図示の設計では機械加工上著しい不正確性があってもス
クリーン支持フレームの正確な方位を可能ならしめるべ
く、くぼみ９ａ及び９ｂの中心の間に延在する線に沿っ
てくぼみ９ａは長くなっている。

従って、本発明の方法には、スクリーン印刷作動で使用
すべきスクリーンに感光材料を付け、当該スクリーンを
当技術で公知の技法に従って支持フレームに固定する工
程が含まれている。

次に、この支持フレームを所定の３次元方位に設定する
。

スクリーン上に陰画を形成せしめる陰画には最初、当該
スクリーンの並進回転方位を表示するのに十分な印が付
けてある。

次に、陽画がスクリーン上に設置され、その位置は陽画
の参照印、支持フレームの方位に対する相対的な固定位
置を有する基準の印の間の関係を比較することによって
調節される。

基準の印が陽画上の参照印と合致するよう陽画が一旦調
節されると、陽画は任意の適当な手段によって支持フレ
ームに対し相対的に不動状態にされ、しかる後、付着陽
画を含むスクリーンは所定の方位を以って陰画をスクリ
ーン上に形成するのに十分な電磁波を照射される。

前述の工程は任意の枚数のスクリーンを作成するため同
一の陽画を使用し、当該各スクリーンに支持フレームに
対し相対的に正確な同一方位を以って設置せる陰画を備
えることにより、所望の回数だけ数回繰返すことが出来
る。

好ましい方法では、陽画に点、陰画上の当該点を貫通す
る線の傾斜を表わす参照印が設けてあり、次に、スクリ
ーン上の陰画の方位を整合目的上同等の基準の印と比較
する。

簡略にするため、操作者が顕微鏡で陽画を観察している
間に両方の組の印を観察し且つ整合出来るよう、基準の
印を顕微鏡内に設けることが出来る。

前述の方法では操作者が使用する各フレームが正確に同
一方位を以ってスクリーン印刷機械に固定されている場
合スクリーン印刷の操作者の側で何ら調節をする必要が
なくなる。

本出願人は、この目的に最も良く適した手段が整合装置
のアダブター・プレートの突起と同一の突起を有する不
動アダプター・プレートを提供することであると判った
。

従って、本発明に係る第４図及び第５図のアダプター・
プレート及びフレームの設計により与えられる方位の予
測もスクリーン印刷機自体に利用出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、スクリーン上に設置せる陽画を備えた本発明
の整合装置の正面図、第２図は、第１図の陽画の平面図
、第３ａ図及び第３ｂ図は、点の基準の印の整合前及び
整合後を第１図の顕微鏡を通して見た陽画の平面図、第
４図は、第１図のフレームの斜視図、第５図は、第１図
のアダプター・プレートの正面図。 ２・・・・・・スクリーン支持フレーム、３・・・・・
・印刷スクリーン、１１，１２・・・・・・参照印。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 印刷スクリーン上に陰面を形成する方法において、 （ａ）前記スクリーンを支持フレームに固定し、（ｂ）
   陽画に並進、回転方位の参照印を付け、（ｃ）前記陽画
   を前記スクリーン上に載せ、（ｄ）前記支持フレームの
   方位に対する予め決められた位置を有する基準の印を前
   記陽画の参照印の所望の位置に対応して設け、 （ｅ）陽画の位置を調節して前記陽画を前記支持フレー
   ムに対する一義的な位置に設定せしめることにより前記
   陽画の参照印を前記基準の印に整合させ、 （ｆ）前記陽画を前記支持フレームに対して固定し（ｇ
   ）陽画を備えた前記スクリーンに陰画を当該スクリーン
   上に予め決められた方位に形成するのに十分な電磁波を
   照射することによって前記陰画を予め決められた方位で
   感光スクリーン上に設置せしめることを特徴とする方法
   。 ２（ａ）位置決め手段６ａ，６ｂ，７をその上側表面に
   有するアダプター・プレート１と、（ｂ）橡を形成すべ
   きスクリーン３が付着され且つアダプター・プレート１
   の位置決め手段６ａ，６ｂ，７に対する補足的な位置決
   め手段９ａ，９ｂ，８をその下側表面に有してアダプタ
   ー・プレート１の上に位置決めされて配置される支持フ
   レーム２と、 （ｃ）スクリーン３の上に配置され且つ点及び線を表示
   するための参照印１１，１２を備えた陽画４と、及び （ｄ）前記陽画４の上方に配置され、且つその内に前記
   陽画４の参照印１１，１２と合致するように適合される
   基準の印１３，１３を備えている顕微鏡と、 を有することを特徴とする像形成装置。