JPS59121048A - プリント配線基板の製造装置 - Google Patents

プリント配線基板の製造装置

Info

Publication number
JPS59121048A
JPS59121048A JP57232450A JP23245082A JPS59121048A JP S59121048 A JPS59121048 A JP S59121048A JP 57232450 A JP57232450 A JP 57232450A JP 23245082 A JP23245082 A JP 23245082A JP S59121048 A JPS59121048 A JP S59121048A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
printed wiring
wiring board
manufacturing apparatus
surface plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57232450A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhide Yanase
柳瀬 一英
Michihiro Yoshioka
吉岡 道博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP57232450A priority Critical patent/JPS59121048A/ja
Publication of JPS59121048A publication Critical patent/JPS59121048A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、プリント配線基板(以下、単に基板ともいう
)に係り、さらに詳しくは、所望の図柄を光感光性フィ
ルム又は光感光性インクを密着させ光照射により形成さ
せるプリント配線基板(以下単に該基板ということもあ
る)の製造装置の改良に関し、その目的とするところは
、各基板の図柄の均−化並びに省力化と作業性の向上と
を図る同装置を提供することにある。
従来、この種の装置は、該基板の図柄となるマスク、た
とえばフィルムの場合には基板上で人間の目視によりそ
の位置決定をし、基板を接着などにより固定した後、そ
の固定した基板を露光機内に移動し、該基板とマスクと
を密着させ、露光機内を真空にし、露光するものであっ
た。
しかしながら、上記従来の装置では、それぞれ使用する
マスクを製作する時及び製作後のマスクの伸縮の差異が
顕著であり、また目視により1枚ずつ位置決めするため
に位置精度が低くなり、各マスク間のバラツキが生ずる
欠点があった。
また、位置決めの方法として、8つの方向から該基板を
固定するものであるに、め、これが原因で基板の形状の
相違並びに固定の仕方の不均一さによって位置精度は低
くならざるを得ないなどの欠点がある。
本発明は上記従来の装置の欠点に鑑み、この欠点を解消
すべ〈従来装置を改善改良して、特許請求の範囲記載の
製造装置を提供することにより、前記本発明の目的を達
成できるものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図面は本発明のプリント配線基板の製造装置の一例であ
る実施量の縦断面図である。
この図面において、+11は図柄マスク部、(2)は光
感光性フィルム又は光感光性インクが密着した基板を載
置するための定盤部、(3)は真空ポンプ、(4)は前
記真空ポンプと連結するマスクを保持するための吸引口
、(5)は前記吸引口を有する支持透明体、(6)は該
支持透明体たとえばガラス又はプラスチック透明板を保
持固定するためのフレーム、(7) tri 前記定盤
部に該基板の載置の位置決め用の上下移動機構を有する
ピン、(8)は前記定盤部又は支持透明体のいずれかの
平板の周囲に設ける弾性体、(9)は前記弾性体によっ
て囲まれる平板、01は光源に連結された露光機である
次に−F記図面により示された本発明の製造装置を使用
してプリント配線基板を製造する手順並びにその作用効
果について説明する。
上記図面において、露光機α0がセットされてぃない定
盤部(2)の側で、フレーム(6)を上昇させておくと
共に、基板の位置決め用のピン(7)を上昇させて、該
基板(イ)をそのピン(7)に位置決めして取り付ける
。ここで真空ポンプ(3)を作動させて吸引口(4)を
介して真空吸引して該基板(イ)を固定保持する。
次にピン(7)を下降させ、またフレーム(6)を下降
させて該基板(イ)とガラスマスク(1)とを重ね合せ
る。
そして、真空ポンプ(3)によりマスク(1)と該基板
ば)のVf!Mを一層完全なものとした後に、露光機(
1)を移動させ、該基板上に位置させてから露光を行い
プリント配線基板の図柄形成する。このように所定の図
柄を形成し露光を終了した後には真空ポンプ(3)の作
動を停止し、該基板(イ)全解放する。なお、このよう
な前記基板の取り付は動作、すなわち基板の固定から基
板取り付は前の動作、すなわちピン(7)までの動作は
連続的に行うことができる。
また、露光機00は必要に応じていつでも左右又は上下
に自由に移動することができるから、該基板(イ)を定
盤部(2)にセットするに要する時間には他の隣近する
定盤上に固定し7た該基板を露光することができるので
、本発明の装置によれば、プリント配線基板の図柄を時
間の無駄なく連続的に作成することができる利点がある
なお、露光所要時間の長短に応じて、隣近する定盤の数
を2以上に増加することもできるっこのようにすれば基
板の図柄作成はより一層能率的にできることになる。一
方、前記フレーム(6)の1辺が支点辺となり、半円運
動による開閉機構を有しているので、該基板(イ)の出
し入れを容易かつ迅速にすることができる利点もある。
また、支持透明体、たとえばガラス板(5)及び(4た
ば)定盤(1)の平板部にはゴム弾性体又は発泡樹脂弾
性、たとえば硬質発泡ウレタン弾性体又はガムテープな
どの各種の弾性体を基板(イ)の周辺をすべて囲むよう
に取り付けることもできるので、該基板の取り付けに際
して真空度を高め、より一層強固に固定することができ
る効果もある。
このようにして本発明の製造装置を使用することにより
、従来のプリント配線基板の図柄作成作業において所要
人員を約)以下、捷た作業所要処理時間全豹す以下に低
減することができるようになった。たとえば、基板の図
柄作成所要工数(能力)が従来装置を使用した場合には
90秒/人・枚であったものが、本発明によれば40秒
〜45秒/人・枚となった。
以上の説明の通り、本発明によれば、プリント配線基板
の図柄のバラツキをなくし均一化できると共に、作業の
省力化並びに作業性の向上を図ることができるなどの効
果がある。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明のプリント配線基板の製造装置の縦断面図
である。 上記図面において、 1・・・・・・図柄マスク部 2・・・・・・光感光性フィルム等が密着した基板8・
・・・・・真空ポンプ 4・・・・・・マスクを保持するための吸引口5・・・
・・・吸引口を有する支持透明体6・・・・・・支持透
明体を保持固定するたπ〕のフレーム7・・・・・・該
基板の位置決め用のピン8・・・・・・平板の周囲に設
ける弾性体9・・・・・・弾性体によって囲筐れる平板
10・・・・・・光源に連結された露光機特許出願人の
名称 イビデン株式会社 代表者 多賀潤一部

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光感光性フィルム又は光感光性インクを基板表面に
    密着させて光照射により所望の回路図柄を形成させるプ
    リント配線基板の製造装置において、本体主要部が図柄
    用マスク部(1)と光感光性フィルム又は光感光性イン
    クが密着した基板(4を載置するための定盤部(2)と
    真空ポンプ(3)とから成り、前記図柄マスク部(1)
    にはマスクを保持するだめの弾性体によって囲まれるこ
    とのある平板に設けた吸引口(4)を有する支持透明体
    (5)と該支持透明体を保持固定するためのフレーム(
    6)と、前記フレームの一辺が支点辺となる半円運動に
    よる開閉機構とを備えており、前記定盤部(2)にはプ
    リント配線基板の載置の位置決め用の上下移動機構を有
    するピン(7)と、平板の周囲に設けた弾性体(8)と
    該弾性体によって囲まれることのある平板に設けた吸引
    口(9)とを備え、本体主要部を照射するための光源に
    連結された露光機αQを備えて成るプリント配線基板の
    製造装置。 2、前記図柄用マスク部(1)と定盤部(2)とを2組
    以上有し、1つの露光機Q13が2組以上の図柄用マス
    ク部と定盤部との天井部をそれぞれ走行移動する構造で
    あることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の製造
    装置。 8、前記図柄用マスク部(1)がガラス乾板であること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項記載の製
    造装置。
JP57232450A 1982-12-27 1982-12-27 プリント配線基板の製造装置 Pending JPS59121048A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57232450A JPS59121048A (ja) 1982-12-27 1982-12-27 プリント配線基板の製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57232450A JPS59121048A (ja) 1982-12-27 1982-12-27 プリント配線基板の製造装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59121048A true JPS59121048A (ja) 1984-07-12

Family

ID=16939468

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57232450A Pending JPS59121048A (ja) 1982-12-27 1982-12-27 プリント配線基板の製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59121048A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010266763A (ja) * 2009-05-15 2010-11-25 San Ei Giken Inc 露光装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5260705A (en) * 1975-11-13 1977-05-19 Dainippon Screen Mfg Photoosensitive holder for step and repeat machine
JPS55126251A (en) * 1979-03-23 1980-09-29 Fujitsu Ltd Mask positioning mechanism in transfer unit
JPS56109354A (en) * 1980-02-01 1981-08-29 Yamatoya Shokai:Kk Photosensitive plate equipping device of composer
JPS56118337A (en) * 1980-02-22 1981-09-17 Hitachi Ltd Positioning structure of wafer chuck for exposure device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5260705A (en) * 1975-11-13 1977-05-19 Dainippon Screen Mfg Photoosensitive holder for step and repeat machine
JPS55126251A (en) * 1979-03-23 1980-09-29 Fujitsu Ltd Mask positioning mechanism in transfer unit
JPS56109354A (en) * 1980-02-01 1981-08-29 Yamatoya Shokai:Kk Photosensitive plate equipping device of composer
JPS56118337A (en) * 1980-02-22 1981-09-17 Hitachi Ltd Positioning structure of wafer chuck for exposure device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010266763A (ja) * 2009-05-15 2010-11-25 San Ei Giken Inc 露光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6010614B2 (ja) 露光フレ−ム
JP2006253644A (ja) 微細パターン形成装置
JP2007171621A (ja) 密着型露光装置
JPS59121048A (ja) プリント配線基板の製造装置
TWI694540B (zh) 印刷基板用曝光裝置
US4600298A (en) Pivotal locking arm for phototool assembly
JP2001075288A (ja) 露光装置
JPS62502364A (ja) プリント基板への光マスク位置合せ装置
TW202107207A (zh) 光刻製程之方法及其板材定位裝置
KR860003534A (ko) 액체 광 중합체를 이용한 밀착인쇄 장치
JP2509134B2 (ja) プリント配線基板の露光方法及び装置
JP6789368B2 (ja) プリント基板用露光装置
JP2002251017A (ja) 露光装置
KR101165721B1 (ko) 드럼 외주면을 이용한 인쇄회로기판의 노광장치 및 방법, 그리고 상기 방법을 이용한 인쇄회로기판의 제조방법
JP3926408B2 (ja) スクリーン押圧具及びスクリーン印刷版の作製方法
JP5002871B2 (ja) 露光装置
JPH05142779A (ja) フイルムマスクを用いた露光装置
JP2534167B2 (ja) 露光装置におけるマスク保持装置
US3677644A (en) Apparatus for conveying and exposing a strip of radiant energy sensitive material
JP3098272B2 (ja) プリント基板自動露光装置
JPH0327045A (ja) プリント配線基板用露光装置
JP4201919B2 (ja) 密着プリンタ
JPH05211112A (ja) 露光装置における試料保持装置及び両面同時露光装置
JP2002189299A (ja) 大型露光機及びその露光方法
JP2001188118A (ja) 液晶表示パネル用背面露光装置