KR101165721B1 - 드럼 외주면을 이용한 인쇄회로기판의 노광장치 및 방법, 그리고 상기 방법을 이용한 인쇄회로기판의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판을 노광하는 장치를 제공한다. 인쇄회로기판 노광하는 장치는 지지드럼 및 상기 지지드럼의 외주면에 인쇄회로기판을 고정시키는 고정부재를 포함한다. 광 조사부재는 인쇄회로기판 영역으로 광을 조사하며, 지지드럼은 광이 조사되는 동안 회전가능하도록 제공된다.

Description

드럼 외주면을 이용한 인쇄회로기판의 노광장치 및 방법, 그리고 상기 방법을 이용한 인쇄회로기판의 제조방법{FLEXIBLE PRINTED CIRCUIT BOARD EXPOSURING APPARATUS AND METHOD USING OUTER PERIPHERAL SURFACE OF DRUM AND PRINTED CURCUIT BOARD MANUFACTUING METHOD USING THE METHOD}
본 발명은 인쇄회로기판을 제조하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 인쇄회로기판을 노광하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 인쇄회로기판(PCB) 혹은 플렉시블 인쇄회로기판(Flexible PCB)에 배선을 형성하는 공정은 도포공정, 노광공정, 현상공정, 에칭공정, 그리고 박리공정을 포함한다. 도포공정은 인쇄회로기판의 동박 적층판상에 드라이 필름(Dry Film)을 도포하고, 노광공정은 드라이 필름에 패턴이 형성된 마스터 필름(Master Film)을 밀착한 상태에서 자외선광을 조사한다. 현상공정은 노광된 인쇄회로기판을 현상하여 드라이 필름에서 광이 조사된 영역 또는 광이 조사되지 않은 영역을 선택적으로 제거한다. 그리고, 에칭공정은 드라이 필름 사이로 노출된 동박 적층판 영역을 에칭하며, 박리공정은 에칭공정 후 인쇄회로기판에 남아 있는 드라이 필름을 제거한다.
상술한 회로형성 공정은 동박 적층판에 드라이 필름의 패턴을 형성하기 위하여 마스터 필름이 드라이 필름에 밀착된 상태에서 광이 조사되기 때문에 마스터 필름과 드라이 필름의 밀착정도에 따라 광이 조사되는 영역에 오차가 발생한다. 그리고, 드라이 필름에 패턴을 노광시키기 위해서 반드시 마스터 필름이 요구된다. 또한, 인쇄회로기판 또는 광원이 지그재그로 직선이동되면서 노광공정을 수행하므로 이동시 많은 시간이 소요된다.
본 발명은 인쇄회로기판에 새로운 방법으로 패턴을 노광시킬 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 인쇄회로기판에 패턴을 용이하게 노광시킬 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
또한, 본 발명에 의하면, 인쇄회로기판에 패턴을 정밀하게 노광시킬 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 복수개의 인쇄회로기판들에 신속하게 패턴을 노광시킬 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 다양한 크기의 인쇄회로기판들에 적용가능한 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명은 플렉시블 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치를 제공한다. 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치는 지지드럼 및 상기 지지드럼을 회전시키는 지지드럼 구동부를 가지는 지지부재; 상기 지지드럼의 상부에서 상기 지지드럼과 나란하게 배치되며, 회전가능한 가압롤러; 상기 가압롤러를 지지하는 지지축;상기 지지드럼의 외주면에 상기 인쇄회로기판을 고정하는 고정 부재; 및 상기 인쇄회로기판으로 광을 조사하는 광원과, 상기 광원 또는 상기 지지드럼 중 어느 하나를 직선이동시키는 이동유닛을 가지는 광 조사부재를 포함한다.
상기 고정 부재는 상기 지지드럼의 외주면에 설치되며, 상기 인쇄회로기판의 일단을 고정하는 제1클램프; 및 상기 지지드럼의 외주면에 설치되며, 상기 인쇄회로기판의 타단을 고정하는 제2클램프를 포함한다.
상기 지지드럼의 외주면에는 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 안내홈이 형성되며, 상기 제1클램프는 상기 지지드럼에 고정되고, 상기 제2클램프는 상기 안내홈을 따라 이동가능하다.
상기 안내홈은 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되며, 상기 제2클램프들은 상기 안내홈들에 각각 위치하며, 상기 안내홈을 따라 이동가능한 복수개의 이동판들; 상기 지지드럼의 외주면으로부터 이격하여 배치되며, 상기 이동판과 핀 결합되는 돌출부가 저면에 각각 형성된 지지판들; 상기 지지판들의 상면에 결합되는 고정판; 상기 고정판의 선단에 결합되며, 상기 인쇄회로기판의 타단을 고정하는 고정핀; 상기 이동판들과 상기 지지판들 사이에 각각 위치하며, 상기 지지판의 후단부에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함한다.
상기 돌출부가 핀 결합되는 지점은 상기 지지판의 중심을 기준으로 상기 지지판의 전단에 인접하도록 편심된다.
상기 제1클램프는 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 배치되고, 상기 고정판은 상기 제1클램프와 나란하게 배치된다.
상기 지지드럼의 외주면에는 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 진공홈 및 상기 진공홈과 통하는 진공홀이 형성되고, 상기 장치는 상기 진공홀로 진공을 인가하는 압력조절부재를 더 포함한다.
상기 진공홈은 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되고, 상기 진공홈들은 복수개의 그룹으로 구분가능하며, 동일한 그룹에 속한 진공홈들은 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 길이가 동일하고, 다른 그룹에 속한 진공홈들과는 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 길이가 상이하고, 상기 압력조절부재는 상기 그룹별로 진공인가가 가능하다.
상기 진공홈은 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되고, 각각의 진공홈은 상기 제1클램프로부터 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 거리가 상이한 지점까지 형성된다.
상기 이동유닛은 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 상기 광원을 직선이동시킨다.
상기 광원은 상기 지지드럼의 회전축과 동일한 높이에 위치된다.
상기 장치는 상기 지지축을 승강시키는 지지축 구동기를 더 포함한다.
상기 가압롤러의 외주면은 실리콘 재질로 제공된다.
또한, 본 발명은 플렉시블 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 방법을 제공한다. 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 방법은 지지드럼의 외주면을 감싸도록 상기 인쇄회로기판을 상기 지지드럼에 부착하고, 상기 지지드럼에 부착된 인쇄회로기판을 가압롤러가 가압하고, 상기 가압롤러가 상기 지지드럼와 함께 회전하여 상기 인쇄회로기판을 상기 지지드럼의 외주면에 밀착한 후 상기 인쇄회로기판 영역에 광을 조사하되, 상기 광이 조사되는 동안, 상기 지지드럼은 회전하고, 상기 광을 조사하는 광원은 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 직선이동한다.
상기 인쇄회로기판은 상기 지지드럼의 길이방향과 나란한 양 끝단이 상기 지지드럼의 외주면에 고정된다.
상기 인쇄회로기판은 상기 지지드럼의 외주면에 진공흡착된다.
상기 광은 레이저 광이다.
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본 발명에 의하면, 패턴에 대응하는 인쇄회로기판 영역으로 직접 광을 조사하므로, 인쇄회로기판에 패턴이 용이하게 노광된다.
또한, 본 발명에 의하면, 패턴에 대응하는 인쇄회로기판 영역으로 레이저 광을 조사하므로, 패턴에 대응하는 영역으로 광이 정밀하게 조사된다.
또한, 본 발명에 의하면, 복수개의 인쇄회로기판들에 광이 동시에 조사되므로 인쇄회로기판들에 패턴이 신속하게 노광된다.
또한, 본 발명에 의하면, 인쇄회로기판의 크기에 따라 고정부재의 조절이 가능하므로, 다양한 크기의 인쇄회로기판을 노광한다.
도 1은 본 발명의 실시에 제공되는 인쇄회로기판을 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판을 노광하는 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 인쇄회로기판을 노광하는 장치의 일부 측단면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 지지드럼의 정단면도이다.
도 5는 도 2의 지지드럼의 외주면을 평면상태로 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5의 'A'를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 7은 도 4의 'A'를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 제2클램프의 측면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 나타내는 순서도이다.
도 10은 도 9의 에칭 레지스트막을 노광하는 과정을 상세하게 나타내는 순서도이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판 영역으로 광을 조사하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 12는 광이 조사된 인쇄회로기판을 나타내는 도면이다.
도 13는 인쇄회로기판을 현상하는 과정을 나태내는 도면이다.
도 14는 금속막을 에칭하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 15는 에칭 레지스트막을 박리하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판을 노광하는 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 평면도이다.
도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지드럼을 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 18을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 실시에 제공되는 인쇄회로기판을 나타내는 단면도이다. 실시예에 의하면, 인쇄회로기판(11)은 플렉시블한 인쇄회로기판(11)이 제공된다. 인쇄회로기판(11)의 상면 및 하면에는 금속막(12)이 형성된다. 금속막(12)은 전기전도성이 우수한 재질이 사용된다. 실시예에 의하면, 금속막(12)은 구리 재질이 사용될 수 있다. 그리고, 금속막(12)상에는 에칭 레지스트(Etching Resist, 13)막이 형성된다. 실시예에 의하면, 에칭 레지스트막(13)으로 드라이 필름 레지스트(Dry Film Resist)가 제공될 수 있다. 금속막(12)과 에칭 레지스트막(13)은 인쇄회로기판(11)에 비하여 상대적으로 얇은 두께를 가진다. 이하, '인쇄회로기판'은 금속막(12)과 에칭 레지스트막(13)이 형성된 인쇄회로기판(11)을 지칭하는 것으로 이해한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판을 노광하는 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2를 참조하면, 인쇄회로기판을 노광하는 장치(1)는 지지부재(110), 압력조절부재(도 5의 120), 고정부재(130), 광 조사부재(140), 그리고, 가압부재(150)를 포함한다. 지지부재(110)는 인쇄회로기판(11)을 지지하며, 압력조절부재(120)는 지지드럼(111)의 외주면에 형성된 진공홈으로 진공을 인가한다. 그리고, 고정부재(130)는 인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)의 외주면에 인쇄회로기판(11)을 고정하며, 광 조사부재(140)는 인쇄회로기판(11)으로 광을 조사하며, 가압부재(150)는 인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)의 외주면에 밀착되도록 인쇄회로기판(11)을 가압한다. 이하, 각 구성에 대해 상세하게 설명하도록 한다.
지지부재(110)는 지지드럼(111), 샤프트(112), 지지대(113) 그리고 지지드럼 구동부(114)를 가진다.
지지드럼(111)은 원통형상으로 제공되며, 그 길이방향이 수평방향과 나란하도록 배치된다. 이하, 지지드럼(111)의 길이방향을 제1방향(2)이라하고, 상부에서 바라볼 때 제1방향(2)에 수직한 방향을 제2방향(3), 그리고 제1방향(2)과 제2방향(3)에 수직한 방향을 제3방향(4)이라 한다.
도 3은 도 2에 도시된 인쇄회로기판을 노광하는 장치의 일부 측단면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 지지드럼의 정단면도이고, 도 5는 도 2의 지지드럼의 외주면을 평면상태로 나타낸 도면이다.
도 2 내지 5를 참조하면, 지지드럼(111)은 인쇄회로기판(11)이 부착되는 외주면을 가진다. 지지드럼(111)의 외주면에는 안내홈(115)과 진공홈(116)이 형성된다.
안내홈(115)은 제2클램프(133)의 이동을 안내한다. 안내홈(115)은 지지드럼(111)의 원주방향을 따라 형성된다. 실시예에 의하면, 안내홈(115)은 지지드럼(111)의 원주방향을 따라 소정 각도 범위내에 형성된다. 안내홈(115)은 도 7에 도시된 바와 같이, 외주면에 인접한 상부영역(115a)과 외주면으로부터 이격하여 상부영역(115a)의 하부에 위치하는 하부영역(115b)을 가진다. 하부영역(115b)은 상부영역(115a)과 연결되며, 상부영역(115a)보다 큰 폭을 갖도록 형성된다. 안내홈(115)은 지지드럼(111)의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성된다. 실시예에 의하면, 지지드럼(111)의 외주면에는 제1방향(2)을 따라 6개의 안내홈(115)이 형성된다.
진공홈(116)은 지지드럼(111)의 외주면에 부착된 인쇄회로기판(11)을 진공흡착한다. 진공홈(116)은 제1방향(2)을 따라 서로 이격하여 복수개 형성된다. 진공홈(116)은 안내홈(115)과 이격되어 형성된다. 진공홈(116)들은 지지드럼(111)의 반경방향을 따라 길이가 다양하게 형성된다.
실시예에 의하면, 제1방향(2)을 따라 인접한 안내홈(115)들 사이에는 복수개의 진공홈(116)들이 형성된다. 진공홈(116)들은 복수개의 그룹으로 구분가능하다. 동일한 그룹에는 지지드럼(111)의 원주방향을 따라 제1클램프(131)로부터 같은 거리내에 위치하는 진공홈(116)들이 포함된다. 제1그룹에는 가장 짧은 길이를 갖는 제1진공홈(116a)들이 포함되며, 제1진공홈(116a)들은 그 끝단이 다른 진공홈들에 비해 상대적으로 고정 클램프(131)에 인접하여 형성된다. 제2그룹에는 제1진공홈(116a)보다 길이가 긴 제2진공홈(116b)들이 포함되며, 제2진공홈(116b)들은 제1진공홈(116a)들에 비해 상대적으로 고정 클램프(131)로부터 먼 거리까지 형성된다. 그리고, 제3그룹에는 제2진공홈(116b)보다 길이가 긴 제3진공홈(116c)들이 포함되며, 제3진공홈(116c)들은 제2진공홈(116b)들에 비해 상대적으로 고정 클램프(131)로부터 먼 거리까지 형성된다.
도 6 에 도시된 바와 같이, 각각의 진공홈(116)은 진공홀(117)과 열결된다. 진공홀(117)은 진공홈(116)의 길이방향을 따라 적어도 하나 이상 형성된다. 진공홀(117)은 진공홈(116)과 압력조절부재(120)를 연결하며, 진공홈(116)에 진공을 인가한다. 실시예에 의하면, 진공홀(117)은 서로 이격하여 복수개 형성되며, 진공홈(116)의 길이에 따라 진공홀(117)들의 개수는 상이하게 제공될 수 있다.
지지대(113)는 지지드럼(111)을 지지한다. 지지대(113)는 대체로 사각형상의 플레이트로 제공된다. 지지대(113)는 제1방향(2)을 따라 지지드럼(111)의 양측에 각각 배치된다. 각각의 지지대(113)는 서로 대향하여 제3방향(4)으로 배치된다.
샤프트(112)는 제1방향(2)을 따라 배치되며, 지지드럼(111)의 회전중심영역에 삽입된다. 샤프트(112)는 지지드럼(111)보다 길이가 길게 제공된다. 샤프트(112)의 양 끝단은 지지대(113)에 삽입된다. 샤프트(112)는 지지드럼(111)의 하단이 베이스판(20)으로부터 이격되어 위치할 수 있는 높이에서 지지대(113)에 삽입된다. 샤프트(112)의 양 끝단은 지지대(113)와 베어링 결합되며, 회전가능하도록 제공된다.
지지드럼 구동부(114)는 지지드럼(111)을 회전시킨다. 지지드럼 구동부(114)는 샤프트(112)와 연결되며, 샤프트(112)를 회전시킨다. 샤프트(112)의 회전에 의해 지지드럼(111)이 샤프트(112)와 함께 회전된다. 지지드럼 구동부(114)는 인쇄회로기판(11)에 노광되는 패턴의 형상에 따라 지지드럼(111)의 회전속도가 상이하도록 제어가능하다.
압력조절부재(120)는 진공홈(116)들로 진공을 인가한다. 압력조절부재(120)는 진공라인(121), 밸브(122), 그리고 진공펌프(123)를 포함한다. 진공라인(121)은 진공홀(117)과 진공펌프(123)를 연결한다. 밸브(122)는 진공라인(121)에 설치되며, 진공라인(121)을 개폐한다. 실시예에 의하면, 압력조절부재(120)는 진공홈(116)들에 개별적으로 진공인가가 가능하다. 구체적으로, 압력조절부재(120)는 같은 그룹에 속하는 진공홈(116)들을 다른 그룹에 속하는 진공홈(116)들과 분리하여 진공인가가 가능하다. 이를 위해, 복수개의 진공라인(121a 내지 121c)이 제공된다. 제1진공라인(121a)은 제1진공홈(116a)에 형성된 진공홀(117)과 연결되고, 제2진공라인(121b)은 제2진공홈(116b)에 형성된 진공홀(117)과 연결된다. 그리고, 제3진공라인(121c)은 제3진공홈(116c)에 형성된 진공홀(117)과 연결된다. 각각의 진공라인(121a 내지 121c))의 타단은 메인라인(124)과 연결되며, 메인라인(124)은 진공펌프(123)와 연결된다. 그리고, 제1 내지 3진공라인(121a 내지 121c)에는 밸브(122)가 각각 설치되며, 밸브(121)들은 개별적으로 제어가능하다. 상술한 압력조절부재(120)의 구조에 의하여, 진공홈(115)들에는 인쇄회로기판(11)의 크기에 따라 선택적으로 진공이 인가된다. 예컨데, 작은 사이즈의 인쇄회로기판(11)이 제공되면 제1밸브(121a)가 개폐된다. 제1밸브(121a)의 개폐로 제1진공홈(116a)에 진공이 인가되어 인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)의 외주면에 진공흡착된다. 그리고, 중간 사이즈의 인쇄회로기판(11)이 제공되면, 제1 및 2밸브(122a, 122b)가 개폐되다. 제 1 및 2 밸브(122a, 122b)의 개폐로 제1 및 2진공홈(116a, 116b)에 진공이 인가되어 인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)의 외주면에 진공흡착된다. 그리고, 큰 사이즈의 인쇄회로기판(11)이 제공되면, 제1 내지 3밸브(122a 내지 122c)가 개폐된다. 제1 내지 3 밸브(122a 내지 122c)의 개폐로 제1 내지 3진공홈(116a 내지 116c)에 진공이 인가되어 인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)의 외주면에 진공흡착된다.
고정부재(130)는 지지드럼(111)의 외주면에 인쇄회로기판(11)을 고정시킨다. 고정부재(130)는 제1클램프(131)와 제2클램프(133)를 가진다.
제1클램프(131)는 인쇄회로기판(11)의 일단을 고정한다. 실시예에 의하면, 제1클램프(131)는 지지드럼(111)의 외주면에 고정설치된다. 제1클램프(131)는 사각형상의 판으로 제공된다. 실시예에 의하면, 고정 클램프(131)은 서로 이격하여 복수개 제공되며, 제1방향(2)으로 배치된다. 제1클램프(131)들은 서로 조합되어 지지드럼(111)의 폭에 대응되는 길이로 제공된다. 이와 달리, 제1클램프(131)는 지지드럼(111)의 폭에 대응되는 길이를 갖는 하나의 판으로 제공될 수 있다. 제1클램프(131)는 지지드럼(111)의 외주면으로부터 소정간격 이격하여 제공되는 선단부(131a)와, 선단부(131a)로부터 연장되며 지지드럼(111)에 고정되는 후단부(131b)를 가진다. 선단부(131a)와 지지드럼(111) 사이 공간에는 인쇄회로기판(11)의 일단이 삽입된다. 후단부(131b)는 지지드럼(111)에 볼트 결합된다.
제2클램프(133)는 인쇄회로기판(11)의 타단을 고정한다. 실시예에 의하면, 제2클램프(133)는 안내홈(115)에 위치하며, 안내홈(115)을 따라 이동가능하도록 제공된다. 제2클램프(133)는 인쇄회로기판(11)의 크기에 따라 안내홈(115)을 따라 이동하며, 인쇄회로기판(11)의 타단에 대응되는 위치에서 인쇄회로기판(11)을 고정한다.
도 7은 도 4의 'A'를 확대하여 나타낸 도면이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 제2클램프의 측면도이다.
도 7 및 8을 참조하면, 제2클램프(133)는 이동판(134), 지지판(135), 고정판(136), 그리고 탄성부재(139)를 포함한다.
이동판(134)은 사각형상의 판으로 제공된다. 이동판(134)은 안내홈(115)의 하부영역(115b)에 위치하며, 하부영역(115b)을 따라 이동가능하도록 제공된다. 이동판(134)은 안내홈(115)의 하부영역(115b)보다 작고, 상부영역(115a)보다 큰 폭을 가진다. 이에 의하여, 이동판(134)은 하부영역(115b)을 따라 이동가능하며, 안내홈(115)으로부터 이탈이 방지된다. 실시예에 의하면, 이동판(134)은 안내홈(115)의 하부영역(115b)의 곡률에 대응하는 곡률을 가질 수 있다.
지지판(135)은 지지드럼(111)의 외주면으로부터 이격하여 이동판(134)의 상부에 위치한다. 지지판(135)은 사각형상의 판으로 제공되며, 저면에 돌출부(137)가 형성된다. 돌출부(137)는 지지판(134)의 저면으로부터 아래로 돌출되며, 그 하단이 이동판(134)과 핀(138) 결합된다. 실시예에 의하면, 돌출부(137)가 핀(138) 결합되는 지점은 지지판(135)의 중심을 기준으로 지지판(135)의 전단에 인접하도록 편심된다. 이에 의하여 지지판(134)의 무게중심은 핀(138)을 중심으로 지지판(135)의 후단에 위치된다. 이하, 핀(138)을 중심으로 전단에 위치하는 지지판(135) 영역을 전단부(135a), 후단에 위치하는 지지판(135) 영역을 후단부(135b)라 한다.
고정판(136)은 지지판(135)의 상면에 놓이며, 지지판(135)에 고정결합된다. 고정판(136)은 사각형상의 판으로 제공된다. 고정판(136)은 제1클램프(131)의 길이방향과 나란하게 배치된다. 고정판(136)은 지지드럼(111)의 폭에 대응하는 길이로 제공될 수 있다.
고정판(136)의 전단에는 고정핀(136a)이 결합한다. 고정핀(136a)은 고정판(136)의 전면에 설치되며, 하단이 고정판(136)의 저면보다 지지드럼(111)의 외주면에 인접하여 위치하다. 고정핀(136a)은 지지드럼(111)과 고정판(136) 사에이 위치하는 인쇄회로기판(11)의 타단을 고정한다.
탄성부재(139)는 지지판(135)의 일 측부에 탄성력을 제공한다. 실시예에 의하면, 탄성부재(139)는 후단부(135b)와 이동판(134) 사이에 위치되며, 후단부(135b)에 탄성력을 제공한다. 사용자가 후단부(135b)에 힘을 가하면, 지지판(135)이 핀(138)을 중심으로 반시계방향으로 회전된다. 지지판(135)의 회전에 의해 탄성부재(139)가 압축되고, 고정핀(136a)이 지지드럼(111)의 외주면으로부터 이격된다. 고정핀(136a)과 지지드럼(111) 사이에 인쇄회로기판(11)의 타단이 위치되면, 탄성부재(139)는 지지판(135)의 후단부(135b)에 탄성력을 제공하여 지지판(135)을 시계방향으로 회전시킨다. 상술한 동작에 의해, 고정핀(136a)은 인쇄회로기판(11)의 타단을 고정한다. 탄성부재(139)로는 스프링이 사용될 수 있다.
상기 실시예에서는 지지판(135), 고정판(136), 그리고 고정핀(136a)이 분리된 구성으로 설명하였으나, 이와 달리 지지판(135), 고정판(136), 그리고 고정핀(136a)은 일체로 제공될 수 있다.
실시예에 의하면, 고정판(136)은 지지드럼(111)의 폭에 대응하는 길이를 갖는 하나의 판으로 제공된다. 그리고, 이동판(134), 지지판(135) 그리고 탄성부재(139)는 복수개 제공되며 각각의 안내홈(115)에 위치된다.
광 조사부재(140)는 인쇄회로기판(11) 영역으로 광을 조사한다. 광 조사부재(140)는 광원(141) 및 이동유닛(142)을 포함한다.
광원(141)은 인쇄회로기판(11)으로 광을 조사한다. 실시예에 의하면, 광은 레지저 광이 사용될 수 있다. 광원(141)은 지지드럼(111)의 회전축과 동일한 높이에 위치한다. 상기 높이에서 조사된 광은 인쇄회로기판(11)에 대체로 수직하게 입사되므로, 패턴이 정밀하게 형성될 수 있다.
이동유닛(142)은 제1방향을 따라 광원(141)을 직선이동시킨다. 이동유닛(142)은 지지축(143), 가이드판(144), 가이드 레일(145), 그리고 구동부(미도시)를 포함한다. 지지축(143)은 광원(141)의 하부에 위치하며, 광원(141)을 지지한다. 그리고, 가이드 판(144)은 지지축(143)의 하부에 위치하며, 상면이 지지축(143)의 하단과 결합한다. 가이드 판(144)은 구동부의 구동에 의해 가이드 레일(145)을 따라 직선이동한다. 가이드 레일(145)은 제2방향(3)을 따라 지지드럼(111)과 이격하여 위치하며, 제1방향(2)을 따라 배치된다. 가이드 레일(145)는 가이드 판(144)의 이동을 안내한다.
상술한 이동유닛(142)에 의해, 광원(141)은 지지드럼(111)의 길이방향을 따라 직선이동하며, 인쇄회로기판(11)으로 광을 조사한다.
가압부재(150)는 지지드럼(111)에 부착된 인쇄회로기판(11)을 가압하여 인쇄회로기판(11)을 지지드럼(111)의 외주면에 밀착시킨다. 가압부재(150)는 가압롤러(151), 지지판(152), 지지축(153), 그리고 구동기(154)를 가진다.
가압롤러(151)는 제3방향(4)을 따라 지지드럼(111)의 상부에 위치하며, 제1방향(2)으로 배치된다. 가압롤러(151)의 외주면은 금속막(도 1의 12)보다 유연한재질로 제공된다. 실시예에 의하면, 가압롤러(151)의 외주면은 실리콘 재질로 제공될 수 있다. 가압롤러(151)는 인쇄회로기판(11)을 가압한 상태에서 지지드럼(111)과 함께 회전하므로, 가압롤러(151)의 외주면이 유연하지 못한 재질, 예컨데 금속재질로 제공될 경우, 금속막(12)에는 가압롤러(151)와의 마찰로 인한 스크래치가 발생될 수 있다. 본 발명은 가압롤러(151)의 외주면이 유연한 재질로 제공되므로, 마칠로 인한 금속막(12)의 스크래치 발생이 예방될 수 있다.
제1방향(2)을 따라 가압롤러(151)의 양측에는 연결판(152)이 각각 제공된다. 가압롤러(151)의 양 끝단은 연결판(152)에 각각 삽입되며, 연결판(152)과 베이링 결합된다. 이에 의해, 가압롤러(151)는 지지드럼(111)과 함께 회전가능하다.
연결판(152)의 하부에는 승강축(153)이 위치한다. 승강축(153)은 제3방향으로 배치되며, 연결판(152)을 지지한다. 승강축(153)은 구동부(154)의 구동에 의해 연결판(152)을 상하방향으로 이동시킨다. 상술한 승강축(153)의 이동에 의하여, 가압롤러(151)의 외주면이 인쇄회로기판(11)과 접촉 및 이격될 수 있다. 실시예에 의하면, 지지드럼(111)에 인쇄회로기판(11)이 부착되면 승강축(153)이 하강하여 가압롤러(151)가 소정의 압력으로 인쇄회로기판(11)을 가압한다. 그리고, 가압롤러(151)가 인쇄회로기판(11)을 가압한 상태에서 지지드럼(111)이 회전된다. 지지드럼(111)의 회전으로 가압롤러(151)가 함께 회전되어 인쇄회로기판(11)의 전체영역이 지지드럼(111)의 외주면에 밀착된다.
실시예에 의하면, 구동부(154)는 지지대(113)의 상단에 놓인다.
상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 인쇄회로기판을 노광하는 장치를 사용하여 인쇄회로기판을 제조하는 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 나타내는 순서도이다.
도 9를 참조하면, 인쇄회로기판의 제조방법은 인쇄회로기판에 금속막을 형성하는 단계(S100), 금속막상에 에칭 레지스트막을 형성하는 단계(S200), 에칭 레지스트막을 노광하는 단계(S300), 에칭 레지스트막을 현상하는 단계(S400), 금속막을 에칭하는 단계(S500) 그리고 에칭 레지스트막을 박리하는 단계(S500)를 포함한다. 이하 각 단계에 대해 상세하게 설명하도록 한다.
인쇄회로기판에 금속막을 형성하는 단계(S100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 인쇄회로기판(11)의 상면 및 하면에 얇은 금속막(12)을 형성한다. 금속막(12)은 전기전도성이 우수한 재질이 사용된다. 실시예에 의하면, 금속막(12)의 재질은 구리가 사용될 수 있다.
그리고, 금속막(12)상에는 에칭 레지스트막이 형성(S200)된다. 에칭 레지스트막은 금속막 전체영역에 얇은 막으로 형성된다.
금속막(12) 및 에칭 레지스트막(13)이 형성되면, 에칭 레지스트막을 노광하는 공정(S300)이 수행된다.
도 10은 도 9의 에칭 레지스트막을 노광하는 단계를 상세하게 나타내는 순서도이다.
도 10을 참조하면, 에칭 레지스트막을 노광하는 단계는 인쇄회로기판을 지지드럼에 부착하는 단계(S310) 및 인쇄회로기판 영역에 광을 조사하는 단계(S320)를 포함한다.
다시 도 2, 3 및 8을 참조하면, 먼저 인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)에 부착된다. 인쇄회로기판(11)은 일단이 제1클램프(131)의 전단부(131a)와 지지드럼(111)의 외주면 사이 공간으로 삽입된다. 그리고, 인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)의 외주면을 감싼다. 이동클램프(133)는 안내홈(115)을 따라 이동하여 인쇄회로기판(11)의 타단에 대응하는 지점에 위치한다. 인쇄회로기판(11)의 타단은 고정핀(136a)과 지지드럼(111)의 사이 공간으로 삽입되어 고정판(136)에 의해 고정된다.
인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)의 외주면에 고정되면, 도 5에 도시된 진공홈(116)이 감압되어 인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)의 외주면에 진공흡착된다. 압력조절부재(120)는 인쇄회로기판(11)의 사이즈에 따라 진공홈(116)들을 선택적으로 개방하여 진공홈(116)을 감압한다.
인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)에 진공흡착되면, 가압롤러(151)가 하강하여 인쇄회로기판(11)을 소정압력으로 가압한다. 가압롤러(151)와 인쇄회로기판(11)이 접촉된 상태에서 지지드럼(111)이 회전한다. 가압롤러(151)는 지지드럼(111)과 함께 회전되며, 인쇄회로기판(11)의 전체영역이 지지드럼(111)의 외주면에 밀착된다.
이와 달리, 인쇄회로기판(11)은 가압롤러(151)에 의해 지지드럼(111)의 외주면에 밀착된 후 진공홈(116)에 의해 진공흡착될 수 있다.
인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)에 부착되면, 도 11에 도시된 바와 같이, 인쇄회로기판(11)으로 광이 조사된다. 실시예에 의하면, 광원(141)은 지지드럼(111)의 회전축에 대응하는 높이에서 광을 조사한다. 광이 조사되는 동안, 지지드럼(111)이 회전된다. 지지드럼(111)의 회전에 의해 지지드럼(111)의 반경방향으로 광이 조사될 수 있다. 그리고, 광원(141)은 지지드럼(111)의 길이방향을 따라 직선이동하며 광을 조사한다. 광원의(141) 이동에 의해 지지드럼(111)의 길이방향으로 광이 조사될 수 있다. 이러한, 지지드럼(111)의 회전 및 광원(141)의 직선이동, 그리고 이들의 조합에 의해 광(141)은 인쇄회로기판(11)의 각 영역으로 조사될 수 있다. 실시예에 의하면, 광은 레이저 광이 사용될 수 있으며, 레이저 광은 광원(141)으로부터 조사되어 인쇄회로기판(11)으로 직접 전달된다. 광의 조사에 의하여, 도 12에 도시된 바와 같이 패턴에 대응하는 인쇄회로기판 영역(13a)과 나머지 영역(13b)의 성질이 상이하게 변한다.
광의 조사가 완료되면, 인쇄회로기판(11)은 지지드럼(111)으로부터 탈착된다. 인쇄회로기판(11)의 탈착은 인쇄회로기판(11)이 지지드럼(111)에 부착되는 과정이 역순으로 진행되므로, 상세한 설명은 생략한다.
도 13은 에칭 레지스트막을 현상하는 과정을 나태내는 도면이다. 도 13을 참조하면, 인쇄회로기판(11)으로 현상액이 공급된다. 현상액은 광이 조사된 에칭 레지스트막 영역 또는 광이 조사되지 않은 에칭 레지스트막 영역을 선택적으로 제거한다.
실시예에 의하면, 에칭 레지스트막은 네가티브 에칭 레지스트막이 사용되며, 광은 패턴에 대응하는 영역으로 조사된다. 현상액은 광이 조사되지 않은 에칭 레지스트막 영역을 제거한다. 이로 인해, 금속막(12)에는 에칭 레지스트막 패턴(13a)이 형성된다. 실시예에 의하면, 현상액은 약 알카리성 용액이 사용된다.
이와 달리, 에칭 레지스트막은 포지티브 에칭 레지스트막이 사용될 수 있다. 이 경우, 광은 패턴에 대응하는 영역 이외의 영역에 조사되고, 현상액은 광이 조사된 에칭 레지스트막 영역을 제거한다.
현상공정이 완료되면, 인쇄회로기판(11)에 대한 에칭공정이 수행된다. 도 14를 살펴보면, 에칭 레지스트막 패턴이 형성된 인쇄회로기판(11)은 에칭액이 담긴 처리로에 침지된다. 공급된 에칭액에 의하여, 에칭 레지스트막 패턴이 형성되지 않은 금속막(12) 영역이 에칭된다. 인쇄회로기판(11)이 에칭액에 잠겨지는 시간에 따라 금속막(12)이 제거되는 정도가 상이하며, 이를 이용하여 금속막(12)의 에칭정도를 조절할 수 있다.
금속막(12)의 에칭이 이루어지면, 인쇄회로기판(11)에 대해 박리공정을 수행한다. 도 15를 살펴보면, 인쇄회로기판(11)은 유기용제가 담긴 처리조에 침지된다. 공급된 유기용제에 의하여, 에칭 레지스트막 패턴이 박리된다. 유기용제로는 강 알카리성 용액이 사용될 수 있다.
상술한 공정에 의해, 인쇄회로기판(11)에는 금속막 패턴(13a)이 형성되며, 금속막 패턴(13a)은 인쇄회로기판(11)과 전기적으로 연결된다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판을 노광하는 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 16을 참조하면, 지지드럼(111)에는 복수개의 인쇄회로기판(11a 내지 11d)이 부착된다. 제1클램프(131)와 제2클램프(133)는 부착되는 인쇄회로기판(11)의 수에 따라 복수개 제공될 수 있다. 실시예에 의하면, 지지드럼(111)의 외주면에는 4개의 인쇄회로기판(11a 내지 11d)이 부착된다. 각각의 인쇄회로기판(11a 내지 11d)은 제1방향(2)을 따라 2열로 나란하게 배치되고, 지지드럼(111)의 원주방향을 따라 2열로 나란하게 배치된다. 그리고, 제1클램프(131)는 지지드럼(111)의 원주방향을 따라 이격하여 2개가 나란하게 제공된다. 하나의 제1클램프(131)는 지지드럼의 길이방향으로 배치된 2개의 인쇄회로기판(11a, 11b)의 일단을 고정하고, 다른 하나의 제1클램프(미도시)는 지지드럼(111)의 길이방향으로 배치된 다른 2개의 인쇄회로기판(11c, 11d)의 일단을 고정한다.
제2클램프(133)는 2개가 제공되며, 각각 제1클램프(131)들 사이에 위치한다. 각각의 제2클램프(133)는 제1클램프(131)와 나란하게 배치된다. 하나의 제2클램프(133)는 인쇄회로기판(11a, 11b)들의 타단을 고정하고, 다른 하나의 제2이동 클램프(미도시)는 다른 인쇄회로기판(11c, 11d)들의 타단을 고정한다.
그리고, 각각의 인쇄회로기판들(11a 내지 11d)은 지지드럼(111)의 외주면에 형성된 진공홈(116)에 진공흡착된다.
광원(141a, 141b)은 복수개 제공된다. 구체적으로, 제1방향(2)을 따라 부착되는 인쇄회로기판(11a, 11b)의 개수에 대응하여 제공된다. 실시예에 의하면, 두 개의 광원(141a, 141b)이 제공된다. 각각의 광원(141a, 141b)은 서로 다른 인쇄회로기판(11a, 11b)에 광을 조사한다. 광원(141a, 141b)은 제1방향(2)을 따라 배치된 가이드 레일(145)을 따라 직선이동한다.
이와 같이, 지지드럼(111)에 복수개의 인쇄회로기판(11a 내지 11d)들이 부착되고, 복수개의 광원(141a, 141b)이 서로 다른 인쇄회로기판(11a, 11b)으로 광을 조사하므로, 복수개의 인쇄회로기판(11a 내지 11d)들에 대한 노광 공정이 동시에 수행될 수 있다.
도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 평면도이다. 도 17을 참조하면, 인쇄회로기판(11)의 일단에는 홀(14)이 형성된다. 홀(14)은 인쇄회로기판(11)의 일 모서리를 따라 서로 이격하여 복수개 형성된다. 실시예에 의하면, 홀(14)은 상부에서 바라볼 때, 반원 또는 사각형등 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지드럼을 나타내는 도면이다. 도 17 및 18을 참조하면, 제1클램프(131)의 전단부와 지지드럼(111)의 외주면 사이 공간에는 어라인 핀(132)이 제공된다. 어라인 핀(132)은 제1방향(2)을 따라 서로 이격하여 복수개 형성된다. 어라인 핀(132)들은 동일 직선상에 위치한다. 인쇄회로기판(11)에 형성된 홀(14)은 어라인 핀(132)에 끼워진다. 이에 의하여, 인쇄회로기판(11)은 기 설정된 위치에서 지지드럼(111)에 부착될 수 있다. 예컨데, 인쇄회로기판(11)의 전면에 대한 노광공정이 완료된 후, 후면에 대한 노광공정이 진행되는 경우, 인쇄회로기판(11)은 전면에 대한 노광공정이 수행된 지점에 위치하여야 한다. 인쇄회로기판(11)의 전면 및 후면에 대한 공정 위치가 상이할 경우, 에칭 레지스트막 패턴이 형성되는 위치가 서로 달라진다. 그러나, 본 발명은 인쇄회로기판(11)의 홀(14)과 어리인 핀(132)에 의해 인쇄회로기판(11)이 항상 기 설정된 지점에서 고정될 수 있으므로, 상기 문제점을 예방할 수 있다. 실시예에 의하면, 어라인 핀(132)은 단면이 홀의 형상에 대응되는 형상으로 제공될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나태 내고 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당 업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
11: 인쇄회로기판 111: 지지드럼
115: 안내홈 116: 진공홈
120: 압력조절부재 131: 제1클램프
133: 제2클램프 141: 광원
142: 이동 유닛 151: 가압 롤러

Claims (21)

  1. 플렉시블 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치에 있어서,
    지지드럼 및 상기 지지드럼을 회전시키는 지지드럼 구동부를 가지는 지지부재;
    상기 지지드럼의 상부에서 상기 지지드럼과 나란하게 배치되며, 회전가능한 가압롤러;
    상기 가압롤러를 지지하는 지지축;
    상기 지지드럼의 외주면에 상기 인쇄회로기판을 고정하는 고정 부재; 및
    상기 인쇄회로기판으로 광을 조사하는 광원과, 상기 광원 또는 상기 지지드럼 중 어느 하나를 직선이동시키는 이동유닛을 가지는 광 조사부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정 부재는
    상기 지지드럼의 외주면에 설치되며, 상기 인쇄회로기판의 일단을 고정하는 제1클램프; 및
    상기 지지드럼의 외주면에 설치되며, 상기 인쇄회로기판의 타단을 고정하는 제2클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 지지드럼의 외주면에는 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 안내홈이 형성되며,
    상기 제1클램프는 상기 지지드럼에 고정되고,
    상기 제2클램프는 상기 안내홈을 따라 이동가능한 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 안내홈은 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되며,
    상기 제2클램프들은
    상기 안내홈들에 각각 위치하며, 상기 안내홈을 따라 이동가능한 복수개의 이동판들;
    상기 지지드럼의 외주면으로부터 이격하여 배치되며, 상기 이동판과 핀 결합되는 돌출부가 저면에 각각 형성된 지지판들;
    상기 지지판들의 상면에 결합되는 고정판;
    상기 고정판의 선단에 결합되며, 상기 인쇄회로기판의 타단을 고정하는 고정핀;
    상기 이동판들과 상기 지지판들 사이에 각각 위치하며, 상기 지지판의 후단부에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 돌출부가 핀 결합되는 지점은 상기 지지판의 중심을 기준으로 상기 지지판의 전단에 인접하도록 편심되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1클램프는 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 배치되고,
    상기 고정판은 상기 제1클램프와 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 지지드럼의 외주면에는 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 진공홈 및 상기 진공홈과 통하는 진공홀이 형성되고,
    상기 장치는 상기 진공홀로 진공을 인가하는 압력조절부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 진공홈은 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되고,
    상기 진공홈들은 복수개의 그룹으로 구분가능하며,
    동일한 그룹에 속한 진공홈들은 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 길이가 동일하고, 다른 그룹에 속한 진공홈들과는 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 길이가 상이하고,
    상기 압력조절부재는 상기 그룹별로 진공인가가 가능한 것을 특징으로 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 진공홈은 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되고,
    각각의 진공홈은 상기 제1클램프로부터 상기 지지드럼의 원주방향을 따라 거리가 상이한 지점까지 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동유닛은
    상기 지지드럼의 길이방향을 따라 상기 광원을 직선이동시키는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 광원은
    상기 지지드럼의 회전축과 동일한 높이에 위치되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 장치는
    상기 지지축을 승강시키는 지지축 구동기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압롤러의 외주면은 실리콘 재질로 제공되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 장치.
  14. 플렉시블 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 방법에 있어서,
    지지드럼의 외주면을 감싸도록 상기 인쇄회로기판을 상기 지지드럼에 부착하고,
    상기 지지드럼에 부착된 인쇄회로기판을 가압롤러가 가압하고, 상기 가압롤러가 상기 지지드럼와 함께 회전하여 상기 인쇄회로기판을 상기 지지드럼의 외주면에 밀착한 후 상기 인쇄회로기판 영역에 광을 조사하되,
    상기 광이 조사되는 동안, 상기 지지드럼은 회전하고, 상기 광을 조사하는 광원은 상기 지지드럼의 길이방향을 따라 직선이동하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 인쇄회로기판은 상기 지지드럼의 길이방향과 나란한 양 끝단이 상기 지지드럼의 외주면에 고정되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 인쇄회로기판은 상기 지지드럼의 외주면에 진공흡착되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 방법.
  17. 제 14 항 내지 제 16 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 광은 레이저 광인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판에 제공된 에칭 레지스트막을 노광하는 방법.
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