JP2001188118A - 液晶表示パネル用背面露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示パネルの機種変更に伴なうフォトマ
スクパターンの交換を容易するとともに、プロキシギャ
ップの調整も簡単に行なうことができるようにする。 【解決手段】 液晶表示パネル用背面露光装置におい
て、ガラス基板１１の周辺部を吸着固定する試料固定台
１０とは別に、ガラスマスク２１を吸着保持するマスク
保持フレーム２０を用意し、このマスク保持フレーム２
０を試料固定台１０内において上下動可能に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示パネル用背
面露光装置に関し、さらに詳しく言えば、フォトマスク
の交換が容易であるとともに、プロキシギャップを所定
に制御し得る、特に非フルドットの部分カラー表示に好
適な背面露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】背面露光装置は、一方の面に紫外線反応
型感光性樹脂が塗布されたガラス基板などの透明基板に
対して、その他方の面（背面）から紫外線を照射して、
感光性樹脂の所定部分を反応させるための露光装置で、
この背面露光装置によれば、比較的表面平滑性の良好な
樹脂硬化膜が得られることが知られている。

【０００３】その従来装置の一例を図４（ａ）の概略的
な断面図およびその平面図である図４（ｂ）により説明
すると、試料固定台（露光テーブル）としての例えばア
ルミニウムからなるメタルマスク１と、その下方に配置
された紫外線発光型の露光光源３とを備え、図示しない
搬送手段により搬送されてきたガラス基板２がメタルマ
スク１上に固定される。

【０００４】ここで説明するガラス基板２は、例えば４
つのパネル表示面２ａ〜２ｄを有する多面取りマザー基
板であり、図示されていないが、これらの各パネル表示
面２ａ〜２ｄには、ブラックマスクおよび所定のカラー
フィルタ形成材料が塗布されている。

【０００５】メタルマスク１は、各パネル表示面２ａ〜
２ｄに対応する開口部を有し、メタルマスク１上に固定
されたガラス基板２の背面に対して、その各開口部を通
して露光光源３から紫外線が照射される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の背
面露光装置は、メタルマスク１がガラス基板２の試料固
定台（露光テーブル）を兼ねているため、液晶表示パネ
ルの機種ごとにメタルマスク１を交換することが容易で
はない。

【０００７】また、メタルマスク１の材質が金属である
ため、そのマスク形状は、例えばマザー基板の各パネル
表示面に対応した大きさの開口部のようなラフパターン
しか形成することができない。したがって、例えば相互
に０．５ｍｍ程度に接近した部分に異なる着色をして、
非フルドットの部分カラー表示を行ないたいように場合
には対応することができない。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するためになされたもので、その目的は、液晶
表示パネルの機種変更に伴なうフォトマスクパターンの
交換が容易であるとともに、プロキシギャップの調整も
簡単に行なえることができるようにした液晶表示パネル
用背面露光装置を提供することにある。

【０００９】上記目的を達成するため、本発明は、一方
の面に感光性樹脂材料が設けられた透明基板に対して、
その他方の面（背面）から紫外線を露光する液晶表示パ
ネル用背面露光装置において、上記透明基板の周辺部を
負圧吸着手段にて吸着保持する枠状に形成された試料固
定台と、同試料固定台内に上下動可能に設けられたマス
ク保持フレームと、同マスク保持フレームに交換可能に
保持される所定のフォトマスクパターンを有するガラス
マスクと、上記試料固定台に固定されている上記透明基
板の背面に向けて上記ガラスマスクを介して紫外線を照
射する露光光源とを備えていることを特徴としている。

【００１０】本発明によれば、透明基板は試料固定台に
固定され、ガラスマスクは試料固定台とは別に用意され
たマスク保持フレームに保持される。しかも、マスク保
持フレームは試料固定台に対して上下動可能である。し
たがって、ガラスマスクの交換を容易に行なうことがで
きる。また、プロキシギャップも任意に調整することが
できる。

【００１１】この場合、上記ガラスマスクをずれなく確
実に固定し、また、その交換を容易にするうえで、上記
マスク保持フレームも、上記ガラスマスクの周辺を吸着
保持する負圧吸着手段を備えていることが好ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】次に、本発明による背面露光装置
の実施例を説明する。図１に示されているように、この
背面露光装置は、露光位置においてガラス基板１１を固
定する試料固定台１０、ガラスマスク２１を保持するマ
スク保持フレーム２０および露光光源３０を備えてい
る。

【００１３】試料固定台１０は、露光されるガラス基板
１１よりも若干大きく形成された枠体からなり、図示さ
れていないが、その上端面にはガラス基板１１の周辺を
負圧吸着する空気吸い込み口が設けられている。空気吸
い込み口は、図示しない負圧源に接続されており、その
形状は丸孔もしくはスリットなどであってよい。試料固
定台１０は金属製、合成樹脂製のいずれであってもよい
が、剛性が要求されることからして金属製であることが
好ましい。

【００１４】マスク保持フレーム２０は、試料固定台１
０内に配置され、図示しない昇降手段により上下動可能
とされている。図示されていないが、このマスク保持フ
レーム２０の上端面にもガラスマスク２１の周辺を負圧
吸着する空気吸い込み口が設けられている。露光光源３
０は、このマスク保持フレーム２０の下方位置に配置さ
れている。

【００１５】ガラスマスク２１には、ガラス基板１１の
所定領域を遮光するためのブラックマスク２１１が形成
されている。また、ガラス基板１１の一方の面には、前
工程で形成されたブラックマスク１１１と、感光性樹脂
からなる所定のカラーフィルタ形成材料１１２とが設け
られている。この実施例においては、ネガ型感光性樹脂
が用いられている。

【００１６】次に、この背面露光装置の動作について説
明する。まず、準備作業としてガラスマスク２１をマス
ク保持フレーム２０上に吸着保持させるとともに、この
ガラスマスク２１上の所定箇所に、ガラス基板１１との
間に所定のプロキシギャップを確保するためのプロキシ
ミティーテープ（図示省略）を貼り付ける。

【００１７】そして、図示しない搬送手段により、前工
程から搬送されてくるガラス基板１１を試料固定台１０
に対して適正に位置決めした後、同試料固定台１０上に
吸着固定する。次に、図２に示されているように、マス
ク保持フレーム２０を上昇させ、ガラス基板１１の背面
側にコンタクトさせて、上記プロキシミティーテープに
よりガラス基板１１との間を所定のプロキシギャップと
した後、露光光源３０よりガラス基板１１に対して紫外
線を照射する。

【００１８】これより、紫外線が照射された部分のカラ
ーフィルタ形成材料１１２が硬化する。次の現像工程
で、ガラス基板１１側のブラックマスク１１１およびガ
ラスマスク２１のブラックマスク２１１により遮光され
た未露光のカラーフィルタ形成材料１１２が除去され
る。

【００１９】したがって、ガラスマスク２１のブラック
マスク２１１により遮光された部分が現像により開口部
とされるため、その開口部内に別のカラーフィルタ形成
材料を均一に成膜でき、図３に例示されているように、
ガラス基板１１上に表面平滑性の良好で、かつ、所定領
域が部分的に異なる色に着色されたカラーフィルタが形
成される。

【００２０】なお、上記実施例ではプロキシミティーテ
ープにより、ガラス基板１１とガラスマスク２１との間
に所定のプロキシギャップを確保するようにしている
が、マスク保持フレーム２０の図示しない昇降手段を制
御して、ガラス基板１１とガラスマスク２１との間に所
定のプロキシギャップを得るようにしてもよい。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液晶表示パネル用背面露光装置において、透明基板の周
辺部を吸着固定する試料固定台とは別に、ガラスマスク
を吸着保持するマスク保持フレームを用意し、このマス
ク保持フレームを試料固定台内において上下動可能とし
たことにより、液晶表示パネルの機種変更に伴なうフォ
トマスクパターンの交換が容易であるとともに、プロキ
シギャップの調整も簡単に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による背面露光装置の一実施例を模式的
に示した断面図。

【図２】上記実施例の動作説明用の模式断面図。

【図３】上記実施例により作製されたカラーフィルタ付
きガラス基板の断面図。

【図４】従来装置の概略的な断面図およびその平面図。

【符号の説明】

１０ 試料固定台 １１ ガラス基板 １１１ ブラックマスク １１２ カラーフィルタ形成材料 ２０ マスク保持フレーム ２１１ ブラックマスク ３０ 露光光源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H048 BA43 BB02 BB42 2H088 EA02 FA17 FA18 FA30 HA12 MA20 2H091 FA02Y FA34Y FB04 FC10 FC23 FC29 FD05 LA12

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方の面に感光性樹脂材料が設けられた
   透明基板に対して、その他方の面（背面）から紫外線を
   露光する液晶表示パネル用背面露光装置において、 上記透明基板の周辺部を負圧吸着手段にて吸着保持する
   枠状に形成された試料固定台と、同試料固定台内に上下
   動可能に設けられたマスク保持フレームと、同マスク保
   持フレームに交換可能に保持される所定のフォトマスク
   パターンを有するガラスマスクと、上記試料固定台に固
   定されている上記透明基板の背面に向けて上記ガラスマ
   スクを介して紫外線を照射する露光光源とを備えている
   ことを特徴とする液晶表示パネル用背面露光装置。
2. 【請求項２】 上記マスク保持フレームも、上記ガラス
   マスクの周辺を吸着保持する負圧吸着手段を備えている
   請求項１に記載の液晶表示パネル用背面露光装置。