DE2653707B2 - Vorrichtung zum genauen visueUmanueUen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen Werkstücks mit lichtempfindlicher Schicht gegenüber einer oder zwei Vorlagen - Google Patents

Vorrichtung zum genauen visueUmanueUen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen Werkstücks mit lichtempfindlicher Schicht gegenüber einer oder zwei Vorlagen

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DE2653707B2 DE2653707A DE2653707A DE2653707B2 DE 2653707 B2 DE2653707 B2 DE 2653707B2 DE 2653707 A DE2653707 A DE 2653707A DE 2653707 A DE2653707 A DE 2653707A DE 2653707 B2 DE2653707 B2 DE 2653707B2
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    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum genauen visuell-mawuellen Einrichten und zum Halten
in eines plattenförmigen, auf einer oder beiden Seiten eine lichtempfindliche Schicht tragenden Werkstücks gegenüber einer oder zwei auf einer oder beiden Seiten des Werkstücks anzulegenden Vorlagen in einem Kopierrahmen mit Unterrahmen und darin angebrachter fester
v, Bodenplatte und auf den Unterrahmen aufsetzbarem Oberrahmen mit Deckplatte, von welchen Platten mindestens eine lichtdurchlässig ist, und einem am Unterrahmen verstellbar geführten Halter für die Vorlage bzw. Vorlagen.
wi Zur Übertragung von Vorlagen auf lichtempfindlich beschichtete Werkslücke, beispielsweise Leiterplatten, Leiterfolien, Formätzteile u. dgl., ist es bekannt, solche Werkstücke mit Vorlage-Filmen in Kopierrahmen in Berührung zu bringen und mit speziellen Lichtquellen zu
h'> belichten. Da die in Frage kommenden Werkslücke oftmals vorbehandelt sind, beispielsweise mit Bohrungen in genau vorbestimmter Anordnung versehen sind, ist es ein schwieriges Problem, die vielfach zu
reproduzierende Paßgenauigkeit zwischen Vorlage und Werkstück sicherzustellen. Bei plattenförmigen Werkstücken erfolgt außerdem die Belichtung oftmals gleichzeitig von oben und von unten, wobei gleichzeitig an beiden Seiten des Werkstückes eine Vorlage mit hoher Paßgenauigkeit reproduziert werden muß.
Hierzu ist eine Arbeitsweise bekannt, bei der die Vorlage mit dem Werkstück visuell-manuell in Deckung gebracht und mk Klebestreifen am Werkstück fixiert wird. Diese Arbeitsweise ist aber nur wenig paßgenau und hängt von der Geschicklichkeit der jeweiligen Bedienungsperson ab. Außerdem ist diese Arbeitsweise für die Bedienungsperson äußerst anstrengend. Die Produktivität ist entsprechend gering.
Um die Mangel dieser bekannten Arbeitsweise teilweise zu eliminieren, ist er, bekannt geworden, Haltestifte zu benutzen, mit denen die Vorlage und das Werkstück in gemeinsame Haltebohrungen eingeknöpft werden. Grundsätzlich läßt sich bei dieser Arbeitsweise die gewünschte Reproduzierbarkeit erreichen, allerdings nur unter der Voraussetzung, daß die Haltebohrungen in der Kopiervorlage und vor aller:, in dem Werkstück paßgenau zu dem zu reproduzierenden Muster bzw. zu den vorbehandelten Stellen des Werkstücks angeordnet sind. Ein wesentlicher Nachteil dieser bekannten Arbeitsweise liegt jedoch darin, daß die Vorlage nicht mehr zu dem Werkstück justiert werden kann, wenn in einer Serie von Werkstücken Fertigungstoleranzen auftreten, insbesondere bei Vorbehandlung solcher Werkstücke, z. B. Bohrversatz bei durchmetallisierten Leiterplatten oder bei nachträglich einzukopierenden Bildelementen Dieser Mangel führt zu erhöhtem Ausschuß oder zu Nacharbeit.
Es ist auch aus DE-OS 23 30 726 eine Vorrichtung zur Belichtung und Photogravüre, insbesondere für Platten von einseitigen und doppelseitigen gedruckten Schaltungen bekannt, bei der in einem Unterrahmen und einem Oberrahmen eines Kopierrahmens je eine Arbeitsfläche mittels Stellschrauben verschiebbar angebracht ist. Dk Kopiervorlagen sind an diesen Arbeitsflächen anzubringen, beispielsweise anzukleben. Das Werkstück wird dabei mittels Zentrierstiften gehalten, die sich durch die untere Arbeitsfläche und die untere Vorlage in entsprechende Haltebohrungen im Werkstück erstrecken. Abgesehen davon, daß bei dieser bekannten Vorrichtung die untere Arbeitsfläche, also der Boden im Unterrahmen durchbrochen sein muß und damit Schwierigkeiten beim Evakuieren eines solchen Kopierrahmens entstehen, wird auch die untere Vorlage von solchen Haltestiften durchsetzt, so daß auch ein Justieren des Werkstücks gegenüber der unteren Vorlage zumindest erheblich beeinträchtigt wird. Außerdem ist jede Vorlage einzeln mit der sie tragenden Arbeitsfläche gegenüber dem an den Stiften gehaltenen Werkstück einzurichten, wodurch die Justierarbeit beschwerlich wird. Fertigungstoleranzen an zu belichtenden Werkstücken lassen sich mit dieser Vorrichtung nicht schnell und genau ausgleichen.
Es ist auch bereits aus US-PS 31 47 683 eine Belichtungsvorrichtung für Druckplatten, beispielsweise lithographische Platten bekannt, mit der eine Belichtungsvorlage in genau vorher bestimmten Abständen mehrfach auf die Druckplatte bzw. lithographische Platte aufkopiert werden soll. Zu diesem Zweck hat die bekannte Vorrichtung nur einen verstellbaren Halter für die Vorlage der mittels Spindel parallel zu einer Kante des Unterrahmens versl .llbar ist, während er rechtwinklig zu dieser Rahmenkante nur schrittweise an einem Lineal eingestellt werden kann. Eine sehr genaue Übereinstimmung von bereits auf der Druckplatte bzw. der lithographischen Piatte vorbehandelten Flächenteilen ist nicht möglich. Insbesondere ist es mit dieser , bekannten Vorrichtung nicht möglich, eine definierte Winkelverstellung der Druckvorlage bezüglich einer Kante des Unterrahmens vorzunehmen. Es fehlt auch eine Halte- bzw. Verstellvorrichtung.
Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, eine
in Vorrichtung zum genauen bisuell-manuellen Einrichten von Werkstücken mit lich'.empfindlicher Beschichtung gegenüber Vorlagen dahingehend weiterzubilden und wesentlich zu verbessern, daß sich das visuell-manuelle Einrichten des Werkstückes gegenüber einer oder zwei
ι > auf einer oder beiden Seiten des Werkstücks anzulegenden Vorlagen sowohl durch Verschieben als auch Verdrehung des Werkstücks gegenüber der Vorlage genau ausführen läßt, so daß Probebelichtungen entfallen und auch ein schnelles, genaues Nachrichten an
2» Serien von Werkstücken mit Ferigungstoleranzen einfach und schnei! ausgeführt werden Kann.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß eine vom Halter für die Vorlage bzw. Vorlagen unabhängige Haltevorrichtung für das Werkstück vorgesehen ist, die aus zwei am Unterrahmen unabhängig voneinander verstellbar geführten Kreuzschlittenköpfen besteht, auf denen das Werkstück gehalten ist, und die je zwei orthogonal zueinander wirkende, von Hand betätigbare Steiltriebe aufweisen,
jo und daß der Halter für die Vorlage bzw. Vorlagen einen an einer Randkante des Werkstücks anzulegenden Abstandsfüllkörper aufweist, der sich in seiner Breite einer Werkstück-Verschiebung anzupassen vermag.
Durch die Erfindung wird es gegenüber den
ji bekannten Vorrichtungen jetzt ermöglicht, zunächst auf der Bodenplatte des Kopierrahmens zunächst ein grobes gegenseitiges Einrichten von Vorlage bzw. Vorlagen und Werkstück vorzunehmen und nach Arretieren der Führungseinricbtungen nach dem groben Ausrichten ein sehr genaues visuell-manuelles Einrichten mittels der an den Kreuzschliltenköpfen angebrachten Stelltriebe vorzunehmen. Ein weiterer wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht darin, daß bei zweiseitiger Belichtung des Werkstücks, also zum
r, Anlegen einer Vorlage an die eine Werk^tückseite und einer zweiten Vorlage an die andere Werkstückseite diese beiden Vorlagen gemeinsam am Vorlagenhalter anzubringen sind, so daß beide Vorlagen von vornherein genau zueinander eingerichtet sind, und nur noch das
ίο Werkstück zwischen beiden Vorlagen zu verschieben und zu verschwenken ist, bis es gegenüber der oberen Vorlage genau visuell eingerichtet ist. Damit ist auch das genaue Einrichten des Werkstücks gegenüber der unieren Vorlage gleichzeitig erfolgt. Abgesehen davon,
π daß hierdurch nur oin einziges Einrichten des Werkstücks gegenüber beiden Vorlagen erforderlich ist, kann es auch nicht mehr vorkommen, daß durch das Einrichten der zweiten Vorlage ein Verstellen gegenüber der vorher eingerichteten ersten Vorlage eintritt.
w) Die von Hand zu betätigenden Stelltriebe können ohne weiteres selbsthemmend ausgebildet sein, so daß sie sich bei der Ausrichtarbeit nicht verstellen. Die Bedienungsperson kann sich dadurch wirklich auf die visuelle Beobachtung beim Einrichtvorgang mit oder ohne
h". optische Hilfsmittel konzentrieren und bei diesem visuellen Einrichten eine sehr genaue reproduzierbare Reaktion des Werkstücks auf die Betätigung der Steiltriebe feststellen. Die erfinduneseemäße Vorrich-
tung kann an Belichtungsgeräten und Kopierapparaten verschiedenster Ausführung eingesetzt werden, beispielsweise einem bekannten Kopierapparat gemäß DE-AS 20 60 827.
Wenn es erwünscht ist. Vakuum an den Kopierrahmen anzulegen, tritt keinerlei Beeinträchtigung der Reproduktionsgenauigkeit ein, weil der zwischen einer Randkante des Werkstücks und dem Vorlagenhalter eingelegte Abstandsfüllkörper jegliches Einziehen der einen oder anderen Vorlage an der Randkante des Werkstücks verhindert.
In bevorzugter Ausführungsform der Erfindung sind der Vorlagenhalter und din Haltevorrichtung für das Werkstück aneinander gegenüberliegenden Rändern des Werkstücks angeordnet. Einerseits wird hierdurch ein besonders günstiges Gegeneinanderwirken der Führungen des Vorlagehalters und der Werkstückhaltevorrichtung erreicht. Außerdem wird auf diese Weise besonders leicht ermöglicht, sämtliche Haltevorrichtungen außerhalb des Belichtungsbereiches anzuordnen, so daß auch keine Ausleuchttingsschwierigkeiten durch irgendwelche Schattenbildung von Haltevorrichtungen entstehen können.
Der Vorlagenhalter kann aus einer dünnen Halteleiste mit mindestens zwei sich nach oben erstreckenden Haltestiften bestehen, und die Halteleiste kann mit Führungsstücken verbunden sein, die an zwei Seitenrändern des Unterrahmens verschiebbar gelagert sind. Auf diese Weise ist es möglich, die Vorlage bzw. Vorlagen ohne die Notwendigkeit eines Anklebens sicher und genau am Vorlagenhalter zu befestigen, wobei es besonders zweckmäßig ist, eine Mehrzahl von Haltestiften und entsprechenden Haltelöchern vorzusehen. Die llaltelöcher können in einem zusätzlichen Randteil der Vorlagen angebracht sein, der dazu evtl. verstärkt ausgebildet sein kann.
Ein besonders günstiger, sicherer Zusammenhalt zwischen Vorlagenhalter, Vorlagen und Abstandsfüllkörper läöt sich erreichen, wenn am Vorlagenhalter eine auf die Haltestifte aufsteckbare, Langlöcher und Paßbohrungen aufweisende Abdeckleiste vorgesehen ist. Diese Abdeckleiste kann auch zur Verbindung des Vorlagenhalters mit den Führungsstücken herangezogen werden, in dem diese Abdeckleiste an ihren beiden Enden Paßbohrungen zum Aufstecken auf entsprechende Aufsteckstifte an den Führungsstücken aufweist.
Die Führungsstücke können am Unterrahmen durch Klemmeinrichtungen arretierbar sein. Hierdurch ergibt sich in einfacher Weise eine verschiebbare Lagerung und Arretierbarkeit des Vorlagenhalters. Dies wiederum ermöglicht ein." schnelle, einfache Grobeinstellung zwischen Vorlage und Werkstück durch Einrichten der Vorlagen gegenüber dem Werkstück, anschließendes Arretieren des Vorlagenhalters und anschließendes Feineinstellen des Werkstücks gegenüber der Vorlage bzw. den Vorlagen unter Benutzung der Stelltriebe. Diese Verschiebbarkeit und Arretierbarkeit der Führungsstücke läßt sich in bevorzugter Ausführungsform der Erfindung dadurch erreichen, daß am Unterrahmen Führungskanäle mit T-förmigem Querschnitt ausgebildet sind, in denen je ein Führungsstück mit durch Schraube verspannbarem Führungsstein läuft
In bevorzugter Ausführungsform der Erfindung hat der Abstandsfüllkörper im wesentlichen gleiche Dicke wie das Werkstück, erstreckt sich im wesentlichen parallel zur eigentlichen dünnen Halteleiste und besteht aus einem Paar von gegeneinander beweglichen Darallelen Leisten, nämlich einer Aufsteckleiste und einer Anlageleisle, zwischen denen die Trennfuge so ausgebildet ist, daß sich parallel zur Leisten-Anlagekante erstreckende Bereiche im wesentlichen vermieden sind, wobei die beiden Leisten über nachgiebige Elemente, beispielsweise Druckfedern, über die Trennfuge hinweg in gegenseitigem Abstand gehalten sind. Dieser Abstandsfüllkörper legt sich stets unter Federwirkung mit seiner Anlageleiste gegen die Randkante des eingelegten Werkstücks. Dadurch wird einerseits
κι die Entstehung einer Trennfuge zwischen der Anlagekante des Abstandsfüllkörpcrs und der Randkantc des Werkstücks verhindert. Zum anderen wird das Werkstück auch ständig unter Federwirkung gegen die Werkstückhalter der Krcuzschlittenköpfe gedrückt.
ii Dadurch wird jegliches, die Reproduktionsgenauigkeit beeinträchtigendes Spiel an den Werkstückhaltern eliminiert. Durch die Ausbildung der Trennfuge unter wesentlicher Vermeidung von sich parallel zur LeisteniiiiiugekHiiiL' rr M! eLkciiueii Bei eieneri wiiii SiCf'icigC·-
2n stellt, daß sich beim Anlegen von Vakuum an den Kopierrahmen filmföritiige Vorlagen sich nicht in diese Trennfuge hineinziehen können. Es wird dadurch wirksam jegliche Relativbewegung zwischen der Vorlage bzw. den Vorlagen und dem Werkstück beim
ji Anlegen von Vakuum verhindert. Beispielsweise kann hierzu die Trennfuge zick-zack-förmig, sägezahnförmig oder sinusförmig ausgebildet sein.
Jeder t.«r Kreuzschlittenköpfe kann aus einem auf einer Führungsschiene am Unterrahmen laufenden
in äußeren Kreuzschlittenkörper, einem über einen ersten Stelltrieb mit diesem äußeren Kreuzschlittenkörper verbundenen inneren Kreuzschlinenkörper und einer Haltevorrichtung für das Werkstück bestehen, die über einen zum ersten Stelltrieb orthogonal angeordneten
',-, zweiten Steütrieb an den inneren Kreuzschlittenkörper angeschlossen ist. Diese Kreuzschlittenköpfe zeichnen sich durch einfachen Aufbau, hohe Betriebssicherheit und große Einstellgenauigkeit aus. leder der Kreuzschlittenköpfe kann einen Haltestift zum Aufsetzen des
Werkstücks mittels in seinem Randbereich angebrachten Bohrungen tragen. Auf diese Weise wird das Aufsetzen der Werkstücke auf die Kreuzschlittenköpfe besonders einfach. Da die in dem Randbereich des Werkstücks angebrachten Bohrungen — abgesehen von
4Ί Fertigungstoleranzen — von Werkstück zu Werkstück gleich angeordnet sein können, ist beim Verarbeiten von Werkstückserien ein sehr leichtes, schnelles Aufsetzen der Werkstücke auf die Kreuzschlittenköpfe ermöglicht und auch das von Werkstück zu Werkstück notwendige Nachrichten auf ein Mindestmaß beschränkt.
Die Stelltriebe der Kreuzschlittenköpfe können als mit Rändelschraube versehene Schraubspindeltriebe ausgebildet sein. Hierdurch bieten die Stelltriebe einfache, feinfühlige Stellmöglichkeit verbunden mit hoher selbsthemmender Wirkung. Zusätzlich ist es jedoch auch möglich, die Schraubspindeln der Stelltriebe gegen Verstellen arretierbar zn machen. Damit wird nach erfolgtem Ausrichten des Werkstücks gegenüber der Vorlage bzw. den Vorlagen und Arretieren der Schraubspindeln der Stelltriebe jegliches nachträgliches Verstellen ausgeschlossen.
Vorzugsweise sind die beiden Kreuzschlittenköpfe auf einer gemeinsamen Führungsschiene in einem Führungskanal des Unterrahmens verschiebbar und gegenüber diesem arretierbar geführt. Dabei können die Kreuzschlittenköpfe mit hinter bzw. unter die gemeinsame Führungsschiene greifenden Klemmpratzen ausgebildet sein.
Die erfindungsgemäQe Vorrichtung kann auch noch mit Ergänzungselementen ausgestattet werden. Will man beispielsweise erreichen, daß die zu belichtenden Werkstücke möglichst im Mittelbereich des Kopierrahmens angeordnet werden, ggf. zur Erzielung optimaler Auslichtungsverhfifinisse, so können zwischen den Stiften dp-- Kreuzschlittenköpfe und dem Werkstück einzusetzende Verlängerungsstangen bzw. Verlängerungsplatten vorgesehen werden. Will man Werkstücke mit mehr als zwei Haltebohrungen versehen, was beispielsweise bei größeren Werkstücken von Interesse sein kann, so empfiehlt es sich im Rahmen der Erfindung als zusätzliches Element eine sich zwischen den Kreuzschlittenköpfen erstreckende, auf deren Stifte aufsetzbare Halteleiste mit einer Reihe von Haltestiften zum Aufsetzen von Werkstücken mit einer Mehrzahl von Haltebohrungen vorzusehen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 einen Kopierrahmen mit Vorrichtung gemäß der Erfindung perspektivisch mit teilweise abgebrochenen Wandteilen;
Fig. 2 einen Ausschnitt aus Fig. 1 in vergrößerter Darstellung;
F i g. 3 einen Schnitt nach der Linie 3-3 der F i g. 2;
Fig.4 einen Schnitt nach der Linie 4-4 der Fig. 2; und
Fig.5 einen Schnitt nach der Linie 5-5 der Fig. I durch ei^en Kreuzschlittenkopf unter Weglassen der inneren Kreuzschlittenteile.
Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Vorrichtung in einem Kopierrahmen 10 angebracht, der einen Unterrahmen 11 mit einer lichtdurchlässigen, fest angebrachten Bodenplatte 12 und einen Oberrahmen mit in ihm angebrachter folienförmig flexibler, aber in dicht geschlossener Deckenplatte 14 aufweist. Der Oberrahmen 13 ist dabei mittels Lenkeranordnungen 15 am Unterrahmen 11 gehalten und auf diesen luftdicht aufsetzbar.
Entlang der beiden Seitenkanten der Bodenplatte 12 erstrecken sich in den Seitenschenkeln des Unterrahmens 11 Führungskanäle 16, in denen je ein Führungsstück für einen im wesentlichen leistenförmigen, sich quer über die Bodenplatte 12 erstreckenden Vorlagenhalter 18 verschiebbar gelagert sind. Die Führungskanäle 16 haben T-Profil und die Führungsstücke 17 je einen mittels Schraubenbolzen mit Rändelkopf 22 im Führungskanal 16 festziehbaren Führungsstein 47, wie dies aus Fig.3 deutlich ersichtbar ist. Ferner trägt jedes Führungsstück 17 einen Aufsteckstift 19 zum Aufsetzen einer Abdeckleiste 20 für den Vorlagenhalter 18. Der Vorlagenhalter 18 besteht im dargestellten Beispiel aus einer dünnen Halteleiste 21 (Dicke etwa 03 mm), die mit den Führungsstücken 17 verbunden ist und sich quer über die Bodenplatte 12 erstreckt Diese Halteleiste 21 liegt mit ihrer unteren Fläche auf der Bodenplatte 12 des Unterrahmens II und trägt auf ihrer Oberseite eine Reihe von sich nach oben erstreckenden Haltestiften 23. Ferner enthält der Vorlagenhalter 18 einen Abstandsfüllkörper 24, der im dargestellten Beispiel aus einem Paar paralleler Leisten, nämlich einer Aufsteckleiste 25 mit einer der Anordnung der Haltestifte 23 entsprechenden Reihe von Langlöchern 26 und einer Aniageleiste 27 besteht Zwischen der Aufsteckleiste 25 und der Anlageleiste 27 ist eine Trennfuge 28 gebildet die im dargestellten Beispiel zick-zack-förmig ausgebildet ist und dadurch frei von jeglichen, sich parallel zur Leisten-Anlagekante 29 erstreckenden Bereichen ist. Durch die Trennfuge 28 sind die Aufdeckleiste 25 und die Anlageleiste 27 begrenzt zueinander bewegbar. Sie werden durch in beide Leisten eingesetzte Federn 30 über die Trennfuge 28 hinweg in gegenseitigem Abstand voneinander gehalten. Den oberen Abschluß des Vorlagenhalters 18 bildet die Abdeckleiste 20, die ebenfalls mit einer der Anordnung der Haltestifte 23 entsprechenden Reihe von Langlöchern 31 und an
ίο jedem Ende mit einem Rundloch 32 als Paßbohrung zum Aufsetzen auf die Aufsteckstifte 19 der Führungsstücke 17 sowie einer mittleren Paßbohrung 31a zum Fixieren des mittleren Haltestiftes 23 und damit der eigentlichen Halteleiste 21 versehen ist.
Im dargestellten Beispiel ist der Unterrahmen 11 an seiner Vorderkante mit einem Führungskanal 33 ausgebildet, in welchem Kreuzschlittenköpfe 34 hin- und herverschiebbar gelagert sind. Hierzu ist am Boden des Führungskanals 33 eine Führungsschiene 35 mit sich nach oben erweiterndem trapezförmigem Querschnitt befestigt, die in eine entsprechende schwalbenschwanzförmige Ausnehmung an der Unterseite jedes Kreuzschlittenkopfes 34 greift. Im dargestellten Beispiel sind zwei Kreuzschlittenköpfe 34 gezeigt. Im Führungskanal 33 können jedoch mehrere, beispielsweise vier oder sechs Kreuzschlittenköpfe 34 vorgesehen werden, um gleichzeitig mehrere Werkstücke 50 belichten zu können, wobei grundsätzlich jeweils ein Paar von Kreuzschlittenköpfen 34 bei jedem Werkstück 50 eingesetzt wird.
Jeder Kreuzschlittenkopf 34 hat einen äußeren Kreuzschlittenkörper 36, der auf der Führungsschiene 35 läuft und einen Stelltrieb 37 mit Rändelschraube 38 trägt. Die Schraubspindel dieses Stelltriebes 37 greift in ein in einem inneren Kreuzschlittenkörper 39 angebrachtes Muttergewinde, so daß der innere Kreuzschlittenkörper 39 durch Verdrehen der Rändelschraube 38 auf den Vorlagenhalter zu oder von diesem weg verschoben wird. Der innere Kreuzschlittenkörper 39 trägt wiederum einen Stelltrieb 40 mit Rändelschraube 41 und Schraubspindel 42. Die Schraubspindel 42 greift in ein Muttergewinde in einem Haltestiftträger 43, so daß der Haltestiftträger 43 bei Betätigung der Rändelschraube 41 längs des Führungskanals 33 verstellt wird. Die Verstellmöglichkeit ist in F i g. 1 und 2 durch Kreuzpfeile 44 angedeutet. Auf jedem Haltestiftträger 43 ist ein Haltestift 45 befestigt Zum Arretieren an der Führungsschiene 35 sind die Kreuzschlittenköpfe 34 mit von Hand zu betätigenden Klemmpratzen 46 mit
Klemmschraube 47 abgestattet.
Im dargestellten Beispiel ist ein mit Sockelbohrungen für elektrische bzw. elektronische Bauelemente vorbereitetes plattenförmigen Werkstück 50 für die Herstellung einer gedruckten Schaltung vorgesehen, das auf beiden Seiten mit einer Schicht aus elektrisch leitfähigem Material, beispielsweise Kupfer, über jeder dieser Kupferschichten mit einer lichtempfindlichen Reproduktionsschicht (Photoresistschicht) belegt ist Diese lichtempfindliche Schicht ist mittels je einer Vorlage 51 und 52 zu belichten, um den Kupferbelag des plattenförmigen Werkstücks 50 an gewünschten Stellen zu entfernen. Zum Ansetzen an die Haltestifte 45 der Kreuzschlittenköpfe 34 ist das Werkstück an seinem entsprechenden Randbereich mit zwei Haltebohrungen 53 versehen. Entsprechend sind die Vorlagen 51. und 52 an der gegenüberliegenden Seite mit einem Halterand 54 versehen, in welchem genau auf die Haltestifte 23 passende Haltelöcher 55 angebracht sind, die ggf. durch
Elemente aus dünner Folie, beispielsweise aus Metall oder Kunststoff verstärkt sein können.
Die Arbeitsweise mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist wie folgt:
I. Vorbereitung der Vorlagen 51,52:
Die für die beidseitige Belichtung des doppelseitig beschichteten Kopiergutes 50 vorgesehenen Vorlagen 51, 52 werden vor einem Lichtkasten oder einer ähnlichen Einrichtung zur absoluten Deckung gebracht. Diese geschieht mit Hilfe von auf den Vorlagen vorgesehenen Markierungen. Dann werden beide Vorlagen 51, 52 im Zustand der Deckung mit einem Präzisionslocher entsprechend der Anordnung der Haltestifte 23 auf dem Haltestreifen 21 gelocht. Es wird dann die untere Vorlage 51 auf die Haltestifte 23 der Halteleiste 21 gesteckt. Dann wird der Abstandsfüllkörper 24 mit seinen Langlöchern 26 über der unteren Vorlage 51 auf die Haltestifte 23 der Halteleiste 21 gesteckt und dann die obere Vorlage 52 auf Hie Haltestifte 23 gesteckt. Das Ganze wird mit der Abdeckleiste 20 überdeckt und durch Einstecken der Rundbohrungen 23 in die Aufsteckstifte 19 der Führungsstücke 17 fixiert.
II. Einlegen und Justieren der ersten Werkstückplatte 50 des Kopiergutes:
Eine Werkstückplatte 50 (z. B. Photoresistplatte für gedruckte Schaltungen, bestehend aus einer Kunststoffplatte mit beiderseitiger Kupferlaminierune und darüber je einer lichtempfindlichen Photoresistbeschichtung) wird mittels der in ihr angebrachten Haltebohrungen 53 auf die Haltestifte 54 der Kreuzschlittenköpfe 34 aufgesteckt und bei mittlerer Stellung der Stelltriebe 37, 40 der Kreuzschlittenköpfe 34 durch seitliches Verschieben der beiden Kreuzschlittenköpfe 34 auf der Führungsschiene 35 und durch Verschieben des leistenförmigen Vorlagenhalters 18 zunächst grob mit der Vorlage zur Deckung gebracht. Es werden dann die Führungsstücke 17 mittels der T-Führungssteine 47 und die Kreuzschlitten 34 mittels der Klemmpratzen 46 arretiert. Darauf erfolgt Feineinstellung mittels der Stelltriebe 37 und 40 der beiden Kreuzschlittenköpfe 34 derart, daß die vorgebildeten Sockelbohrungen im Werkstück 50 in genauer Überdeckung mit den entsprechenden Markierungen auf der oberen Vorlage 52 kommen. Ein Verschenken des Werkstücks 50 erfolgt dabei einfach dadurch, daß der Stelltrieb 37 des einen Kreuzschlittenkopfes mehr oder in anderem Sinne verstellt wird, als der entsprechende Stelltrieb 37 des anderen Kreuzschlitlenkopfes 34. Während dieses Feineinrichtvorganges drückt die Anlageleiste 27 über ihre Anlagekante 29 aufgrund der leicht gespannten Schraubenfedern 30 stets gegen den Rand des Werkstücks 50. Um ein ungewolltes verstellen der Stelltriebe 37 und 40 an dem Kreuzschlittenkopf 34 zu verhindern, können diese Stelltriebe 37, 40 relativ schwergängig ausgebildet sein. Es ist aber auch möglich, zusätzliche, beispielsweise in Art von Betätigungshandrädern ausgebildete Kontermuttern (nicht gezeigt) auf den Stelltriebspindeln 42 anzubringen, die nach erfolgtem Einrichten festgezogen werden. 111. Belichtung des Kopiergutes 50:
Zur Belichtung wird der Oberrahmen 13 auf den Unterrahmen l\ geschlossen und Vakuum an den Kopierrahmen 10 angelegt. Dadurch wird die folienförmig flexible Deckplatte 14 fest gegen die Gesamtheit der beiden Vorlagen 51 und 52 und des dazwischen angeordneten Werkstücks 50 gepreßt. Da die Anlageleiste 27 mit ihrer Anlagekante 29 fest gegen die Kante des Werkstücks 50 liegt und die Trennfuge 28 zick-zack-förmig ausgebildet ist, wird bei diesem Andrücken jegliches
to teilweise Eindrücken oder Einziehen der oberen filmförmigen Vorlage 52 verhindert. Die Belichtung erfolgt dann von beiden Seiten durch die als Glasplatte ausgebildete Bodenplatte 12 des Unterrahmens 11 und die folienförmige Deckplatte 14 des Oberrahmens 13.
Nach erfolgter Belichtung wird das Vakuum entspannt und das Werkstück 50 dem Rahmen entnommen und der weiteren Verarbeitung zugeführt. IV. Funktion des Abstandsfüllkörpers 24: Der Ahstandsfiillkörper 24 hat gleiche Dicke wie das plattenförmige Werkstück 50, um ein Verbiegen der beiden sich deckenden Vorlagen 51 und 52 zu vermeiden, was zu Paß-Schwierigkeiten führen würde. Aus dem gleichen Grund müssen auch Lücken zwischen dem Abstandsfüllkörper 24 und dem Werkstück 50 vermieden werden. Dies wird durch den zweiteiligen Abstandsfüllkörper 24 — wie oben erläutert — erreicht.wobei die Aufsteckleiste 25 fest auf die Haltestifte 23 gesteckt ist, aber die Anlageleiste 27 c urch ihre federnde Verbindung mit der Aufdeckleiste
3i 25 sich mit ihrer Anlagekante 29 nachgiebig gegen die Endkante des Werkstücks 50 legt. Die im dargestellten Beispie! zick-zack-förmige Ausbildung der Trennfug' 28 reduziert das Durchbiegen der oberen Vorlage 52 au' ein Minimum. Die Trennfuge 28 kann auch ander ausgebildet sein, beispielsweise sägezahnförmig oder sinusförmig, nur soll sie frei von sich parallel zur Leisten-Anlagekante 29 erstreckenden Bereichen sein. V. Einlegen weiterer vorbereiteter Werkstücke 50: Nach Entnahme der ersten belichteten Platte 50
ίο können weitere Platten der gleichen Art in die Vorrichtung eingelegt werden. Hierbei ist bei maßgerechten Bohrungen im Kopiergut 50 kein Nachjustieren erforderlich. Bei abweichenden Bohrungen kann die erforderliche Korrektur durch geringfügiges Verstellen an den Stelltrieben 37 und 40 der Kreuzschlittenköpfe 34 erfolgen.
Im dargestellten Beispiel handelt es sich um das zweiseitige Belichten von Photoresistplatten für gedruckte Schaltungen, in analoger Weise kann auch nur einseitige Belichtung vorgenommen werden. Hierzu wird man die untere Vorlage 51 weglassen oder durch eine Schutzfolie für die Bodenplatte 12 ersetzen. Der Einrichtvorgang erfolgt aber in gleicher Weise wie oben erläutert allein mit der oberen Vorlage 52.
Die Verwendung der Vorrichtung ist auch nicht auf das Belichten von Photoresistplatten für gedruckte Schaltungen beschränkt, sondern eignet sich für alle Arten von Kontaktbelichtungen, bei denen die Vorlage auf das lichtempfindliche System paßgenau kopiert werden muß.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

  1. Patentansprüche:
    1. Vorrichtung zum genauen, visuell-manuellen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen, auf einer oder beiden Seiten eine lichtempfindliche Schicht tragenden Werkstücks gegenüber einer oder zwei auf einer oder beiden Seiten des Werkstücks anzulegenden Vorlagen in einem Kopierrahmen mit Untcrrahmen und darin angebrachter, fester Bodenplatte und auf den Unterrahmen aufsetzbarem Oberrahmen mit Deckplatte, von welchen Platten mindestens eine lichtdurchlässig ist, und einem am Unterrahmen verstellbar geführten Halter für die Vorlage bzw. Vorlagen, dadurch gekennzeichnet, daß eine vom Halter (18) für die Vorlage bzw. Vorlagen (51, 52) unabhängige Haltevorrichtung für das Werkstück (50) vorgesehen ist, die aus zwei am Unterrahmen (11) unabhängig voneinander verstellbar geführten Kreuzschlitten köpfen (34) besteht, auf denen das Werkstück (50) gehalten ist und die je zwei orthogonal zueinander wirkende, von Hand betätigbare Stelltriebe (37, 40) aufweisen, und daß der Halter (18) für die Vorlage bzw. Vorlagen (50,52) einen an einer Randkante des Werkstücks (50) anzulegenden Abstandsfüllkörper (24) aufweist, der sich in seiner Breite einer Werkstück-Verschiebung anzupassen vermag.
    2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorlagenhalter (18) und die Haltevorrichtung (33,34,45) für das Werkstück (50) an einander gegenüberliegenden Rändern des Werkstücks (50) angeordnet sind.
    3. Vorrichtung nach ftnspruc.i 2, dadurch gekennzeichnet, daß der. Vorlagenhalter (18) aus einer dünnen Halteleiste (21) mit mir. Jestens zwei sich nach oben erstreckenden Haltestiften (23) besteht, und daß die Halteleiste (21) mit Führungsstücken (17) verbunden ist, die an zwei Seitenrändern des Unterrahmens (11) verschiebbar gelagert sind.
    4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß am Vorlagenhalter (18) eine auf die Haltestife (23) aufsteckbare, Langlöcher (31) und Paßbohrungen (3IaJ aufweisende Abdeckleiste (20) vorgesehen ist.
    5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckleiste (20) an ihren beiden Enden Paßbohrungen (32) zum Aufstecken auf entsprechende Aufsteckstifte (19) an den Führungsstücken (17) aufweist.
    6. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsstücke (17) an dem Unterrahmen (11) durch Klemmeinrichtungen (47, 22) arretierbar sind.
    7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß am Unterrahmen (11) Führungskanäle (16) mit T-förmigem Querschnitt ausgebildet sind, in denen je ein Führungsstück (17) mit durch Schraube (22) verspannbarem Führungsstein (47) läuft.
    8. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstandsfüllkörper (24) im wesentlichen gleiche Dicke wie das Werkstück (50) hat, sich im wesentlichen parallel zur eigentlichen Halteleiste (21) erstreckt und aus einem Paar von gegeneinander beweglichen, parallelen Leisten, nämlich einer Aufsteckleiste (23) und einer Anlageleiste (27) besteht, zwischen denen die Trennfuge (28) so ausgebildet ist, daß sich parallel zur Leistcn-Anlagekamc (29) erstreckende Bereiche im wesentlichen vermieden sind und daß die beiden Leisten (25, 27) über nachgiebige Elemente, beispielsweise Druckfedern (30), über die Trennfuge (28) hinweg in gegenseitigem Abstand gehalten sind. -, 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennfuge (28) zickzackförmig, sägezahnförmig oder sinusförmig ausgebildet ist.
    10. Vorrichtung nach Anspruch !, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Kreuzschlitttnköpfe
    in (34) aus einem auf einer Führungsschiene am Unterrahmen laufenden, äußeren Kreuzschlittenkörper (36), einem über einen ersten Stelltrieb (37) mit diesem äußeren Kreuzschlittenkörper (36) verbundenen, inneren /Creuzschlittenkörper(39) und
    i) einer Haltevorrichtung für das Werkstück (50) besteht, die über einen zum ersten Stelltrieb (37) orthogonal angeordneten zweiten Stelltrieb (40) an den inneren Kreuzschlättenkörper (39) angeschlossen ist
    Jd 11. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 10, dadurch
    gekennzeichnet, daß jeder der Kreuzschlittenköpfe (34) einen Haltestift (45) zum Aufsetzen des Werkstücks mittels in seinem Randbereich angebrachten Bohrungen (53) trägt.
    2'j 12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch
    gekennzeichnet, daß die Stelltriebe (37, 40) der Kreuzschlittenköjrfe (34) als mit Rändelschrauben (38,41) versehene Schraubspindeltriebe ausgebildet sind.
    jo 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch
    gekennzeichnet, daß die Schraubspindeln der Stelltriebe (37,40) gegen Verstellen arretierbar sind.
    14. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß beide Kreuzschlittenköpfe (34)
    π auf einer gemeinsamen Führungsschiene (35) in einem Führungskanal des Unterrahmens (11) verschiebbar und gegenüber diesem arretierbar geführt sind.
    15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch 4» gekennzeichnet, daß die Kreuzschlittenköpfe (34) mit hinter bzw. unter die gemeinsame Führungsschiene (35) greifenden Klemmpratzen (46) ausgerüstet sind.
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