DE2653707B2 - Vorrichtung zum genauen visueUmanueUen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen Werkstücks mit lichtempfindlicher Schicht gegenüber einer oder zwei Vorlagen - Google Patents
Vorrichtung zum genauen visueUmanueUen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen Werkstücks mit lichtempfindlicher Schicht gegenüber einer oder zwei VorlagenInfo
- Publication number
- DE2653707B2 DE2653707B2 DE2653707A DE2653707A DE2653707B2 DE 2653707 B2 DE2653707 B2 DE 2653707B2 DE 2653707 A DE2653707 A DE 2653707A DE 2653707 A DE2653707 A DE 2653707A DE 2653707 B2 DE2653707 B2 DE 2653707B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- workpiece
- template
- templates
- holder
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Screen Printers (AREA)
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum genauen visuell-mawuellen Einrichten und zum Halten
in eines plattenförmigen, auf einer oder beiden Seiten eine lichtempfindliche Schicht tragenden Werkstücks gegenüber einer oder zwei auf einer oder beiden Seiten des
Werkstücks anzulegenden Vorlagen in einem Kopierrahmen mit Unterrahmen und darin angebrachter fester
v, Bodenplatte und auf den Unterrahmen aufsetzbarem Oberrahmen mit Deckplatte, von welchen Platten
mindestens eine lichtdurchlässig ist, und einem am Unterrahmen verstellbar geführten Halter für die
Vorlage bzw. Vorlagen.
wi Zur Übertragung von Vorlagen auf lichtempfindlich
beschichtete Werkslücke, beispielsweise Leiterplatten, Leiterfolien, Formätzteile u. dgl., ist es bekannt, solche
Werkstücke mit Vorlage-Filmen in Kopierrahmen in Berührung zu bringen und mit speziellen Lichtquellen zu
h'> belichten. Da die in Frage kommenden Werkslücke
oftmals vorbehandelt sind, beispielsweise mit Bohrungen in genau vorbestimmter Anordnung versehen sind,
ist es ein schwieriges Problem, die vielfach zu
reproduzierende Paßgenauigkeit zwischen Vorlage und Werkstück sicherzustellen. Bei plattenförmigen Werkstücken
erfolgt außerdem die Belichtung oftmals gleichzeitig von oben und von unten, wobei gleichzeitig
an beiden Seiten des Werkstückes eine Vorlage mit hoher Paßgenauigkeit reproduziert werden muß.
Hierzu ist eine Arbeitsweise bekannt, bei der die Vorlage mit dem Werkstück visuell-manuell in Deckung
gebracht und mk Klebestreifen am Werkstück fixiert wird. Diese Arbeitsweise ist aber nur wenig paßgenau
und hängt von der Geschicklichkeit der jeweiligen Bedienungsperson ab. Außerdem ist diese Arbeitsweise
für die Bedienungsperson äußerst anstrengend. Die Produktivität ist entsprechend gering.
Um die Mangel dieser bekannten Arbeitsweise teilweise zu eliminieren, ist er, bekannt geworden,
Haltestifte zu benutzen, mit denen die Vorlage und das Werkstück in gemeinsame Haltebohrungen eingeknöpft
werden. Grundsätzlich läßt sich bei dieser Arbeitsweise die gewünschte Reproduzierbarkeit erreichen, allerdings
nur unter der Voraussetzung, daß die Haltebohrungen in der Kopiervorlage und vor aller:, in dem
Werkstück paßgenau zu dem zu reproduzierenden Muster bzw. zu den vorbehandelten Stellen des
Werkstücks angeordnet sind. Ein wesentlicher Nachteil dieser bekannten Arbeitsweise liegt jedoch darin, daß
die Vorlage nicht mehr zu dem Werkstück justiert werden kann, wenn in einer Serie von Werkstücken
Fertigungstoleranzen auftreten, insbesondere bei Vorbehandlung solcher Werkstücke, z. B. Bohrversatz bei
durchmetallisierten Leiterplatten oder bei nachträglich einzukopierenden Bildelementen Dieser Mangel führt
zu erhöhtem Ausschuß oder zu Nacharbeit.
Es ist auch aus DE-OS 23 30 726 eine Vorrichtung zur Belichtung und Photogravüre, insbesondere für Platten
von einseitigen und doppelseitigen gedruckten Schaltungen bekannt, bei der in einem Unterrahmen und
einem Oberrahmen eines Kopierrahmens je eine Arbeitsfläche mittels Stellschrauben verschiebbar angebracht
ist. Dk Kopiervorlagen sind an diesen Arbeitsflächen anzubringen, beispielsweise anzukleben. Das
Werkstück wird dabei mittels Zentrierstiften gehalten, die sich durch die untere Arbeitsfläche und die untere
Vorlage in entsprechende Haltebohrungen im Werkstück erstrecken. Abgesehen davon, daß bei dieser
bekannten Vorrichtung die untere Arbeitsfläche, also der Boden im Unterrahmen durchbrochen sein muß und
damit Schwierigkeiten beim Evakuieren eines solchen Kopierrahmens entstehen, wird auch die untere Vorlage
von solchen Haltestiften durchsetzt, so daß auch ein Justieren des Werkstücks gegenüber der unteren
Vorlage zumindest erheblich beeinträchtigt wird. Außerdem ist jede Vorlage einzeln mit der sie
tragenden Arbeitsfläche gegenüber dem an den Stiften gehaltenen Werkstück einzurichten, wodurch die
Justierarbeit beschwerlich wird. Fertigungstoleranzen an zu belichtenden Werkstücken lassen sich mit dieser
Vorrichtung nicht schnell und genau ausgleichen.
Es ist auch bereits aus US-PS 31 47 683 eine Belichtungsvorrichtung für Druckplatten, beispielsweise
lithographische Platten bekannt, mit der eine Belichtungsvorlage in genau vorher bestimmten Abständen
mehrfach auf die Druckplatte bzw. lithographische Platte aufkopiert werden soll. Zu diesem Zweck hat die
bekannte Vorrichtung nur einen verstellbaren Halter für die Vorlage der mittels Spindel parallel zu einer Kante
des Unterrahmens versl .llbar ist, während er rechtwinklig
zu dieser Rahmenkante nur schrittweise an einem Lineal eingestellt werden kann. Eine sehr genaue
Übereinstimmung von bereits auf der Druckplatte bzw. der lithographischen Piatte vorbehandelten Flächenteilen
ist nicht möglich. Insbesondere ist es mit dieser , bekannten Vorrichtung nicht möglich, eine definierte
Winkelverstellung der Druckvorlage bezüglich einer Kante des Unterrahmens vorzunehmen. Es fehlt auch
eine Halte- bzw. Verstellvorrichtung.
Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, eine
Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, eine
in Vorrichtung zum genauen bisuell-manuellen Einrichten
von Werkstücken mit lich'.empfindlicher Beschichtung
gegenüber Vorlagen dahingehend weiterzubilden und wesentlich zu verbessern, daß sich das visuell-manuelle
Einrichten des Werkstückes gegenüber einer oder zwei
ι > auf einer oder beiden Seiten des Werkstücks anzulegenden
Vorlagen sowohl durch Verschieben als auch Verdrehung des Werkstücks gegenüber der Vorlage
genau ausführen läßt, so daß Probebelichtungen entfallen und auch ein schnelles, genaues Nachrichten an
2» Serien von Werkstücken mit Ferigungstoleranzen einfach und schnei! ausgeführt werden Kann.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß eine vom Halter für die Vorlage bzw.
Vorlagen unabhängige Haltevorrichtung für das Werkstück vorgesehen ist, die aus zwei am Unterrahmen
unabhängig voneinander verstellbar geführten Kreuzschlittenköpfen besteht, auf denen das Werkstück
gehalten ist, und die je zwei orthogonal zueinander wirkende, von Hand betätigbare Steiltriebe aufweisen,
jo und daß der Halter für die Vorlage bzw. Vorlagen einen an einer Randkante des Werkstücks anzulegenden
Abstandsfüllkörper aufweist, der sich in seiner Breite einer Werkstück-Verschiebung anzupassen vermag.
Durch die Erfindung wird es gegenüber den
ji bekannten Vorrichtungen jetzt ermöglicht, zunächst auf
der Bodenplatte des Kopierrahmens zunächst ein grobes gegenseitiges Einrichten von Vorlage bzw.
Vorlagen und Werkstück vorzunehmen und nach Arretieren der Führungseinricbtungen nach dem groben
Ausrichten ein sehr genaues visuell-manuelles Einrichten mittels der an den Kreuzschliltenköpfen
angebrachten Stelltriebe vorzunehmen. Ein weiterer wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht darin, daß
bei zweiseitiger Belichtung des Werkstücks, also zum
r, Anlegen einer Vorlage an die eine Werk^tückseite und
einer zweiten Vorlage an die andere Werkstückseite diese beiden Vorlagen gemeinsam am Vorlagenhalter
anzubringen sind, so daß beide Vorlagen von vornherein genau zueinander eingerichtet sind, und nur noch das
ίο Werkstück zwischen beiden Vorlagen zu verschieben
und zu verschwenken ist, bis es gegenüber der oberen Vorlage genau visuell eingerichtet ist. Damit ist auch das
genaue Einrichten des Werkstücks gegenüber der unieren Vorlage gleichzeitig erfolgt. Abgesehen davon,
π daß hierdurch nur oin einziges Einrichten des Werkstücks
gegenüber beiden Vorlagen erforderlich ist, kann es auch nicht mehr vorkommen, daß durch das
Einrichten der zweiten Vorlage ein Verstellen gegenüber der vorher eingerichteten ersten Vorlage eintritt.
w) Die von Hand zu betätigenden Stelltriebe können ohne
weiteres selbsthemmend ausgebildet sein, so daß sie sich
bei der Ausrichtarbeit nicht verstellen. Die Bedienungsperson kann sich dadurch wirklich auf die visuelle
Beobachtung beim Einrichtvorgang mit oder ohne
h". optische Hilfsmittel konzentrieren und bei diesem
visuellen Einrichten eine sehr genaue reproduzierbare Reaktion des Werkstücks auf die Betätigung der
Steiltriebe feststellen. Die erfinduneseemäße Vorrich-
tung kann an Belichtungsgeräten und Kopierapparaten verschiedenster Ausführung eingesetzt werden, beispielsweise einem bekannten Kopierapparat gemäß
DE-AS 20 60 827.
Wenn es erwünscht ist. Vakuum an den Kopierrahmen anzulegen, tritt keinerlei Beeinträchtigung der
Reproduktionsgenauigkeit ein, weil der zwischen einer Randkante des Werkstücks und dem Vorlagenhalter
eingelegte Abstandsfüllkörper jegliches Einziehen der einen oder anderen Vorlage an der Randkante des
Werkstücks verhindert.
In bevorzugter Ausführungsform der Erfindung sind
der Vorlagenhalter und din Haltevorrichtung für das Werkstück aneinander gegenüberliegenden Rändern
des Werkstücks angeordnet. Einerseits wird hierdurch ein besonders günstiges Gegeneinanderwirken der
Führungen des Vorlagehalters und der Werkstückhaltevorrichtung erreicht. Außerdem wird auf diese Weise
besonders leicht ermöglicht, sämtliche Haltevorrichtungen
außerhalb des Belichtungsbereiches anzuordnen, so daß auch keine Ausleuchttingsschwierigkeiten durch
irgendwelche Schattenbildung von Haltevorrichtungen entstehen können.
Der Vorlagenhalter kann aus einer dünnen Halteleiste mit mindestens zwei sich nach oben erstreckenden
Haltestiften bestehen, und die Halteleiste kann mit Führungsstücken verbunden sein, die an zwei Seitenrändern
des Unterrahmens verschiebbar gelagert sind. Auf diese Weise ist es möglich, die Vorlage bzw. Vorlagen
ohne die Notwendigkeit eines Anklebens sicher und genau am Vorlagenhalter zu befestigen, wobei es
besonders zweckmäßig ist, eine Mehrzahl von Haltestiften und entsprechenden Haltelöchern vorzusehen. Die
llaltelöcher können in einem zusätzlichen Randteil der Vorlagen angebracht sein, der dazu evtl. verstärkt
ausgebildet sein kann.
Ein besonders günstiger, sicherer Zusammenhalt zwischen Vorlagenhalter, Vorlagen und Abstandsfüllkörper
läöt sich erreichen, wenn am Vorlagenhalter eine auf die Haltestifte aufsteckbare, Langlöcher und
Paßbohrungen aufweisende Abdeckleiste vorgesehen ist. Diese Abdeckleiste kann auch zur Verbindung des
Vorlagenhalters mit den Führungsstücken herangezogen werden, in dem diese Abdeckleiste an ihren beiden
Enden Paßbohrungen zum Aufstecken auf entsprechende Aufsteckstifte an den Führungsstücken aufweist.
Die Führungsstücke können am Unterrahmen durch Klemmeinrichtungen arretierbar sein. Hierdurch ergibt
sich in einfacher Weise eine verschiebbare Lagerung und Arretierbarkeit des Vorlagenhalters. Dies wiederum
ermöglicht ein." schnelle, einfache Grobeinstellung zwischen Vorlage und Werkstück durch Einrichten der
Vorlagen gegenüber dem Werkstück, anschließendes Arretieren des Vorlagenhalters und anschließendes
Feineinstellen des Werkstücks gegenüber der Vorlage bzw. den Vorlagen unter Benutzung der Stelltriebe.
Diese Verschiebbarkeit und Arretierbarkeit der Führungsstücke läßt sich in bevorzugter Ausführungsform
der Erfindung dadurch erreichen, daß am Unterrahmen Führungskanäle mit T-förmigem Querschnitt ausgebildet sind, in denen je ein Führungsstück mit durch
Schraube verspannbarem Führungsstein läuft
In bevorzugter Ausführungsform der Erfindung hat der Abstandsfüllkörper im wesentlichen gleiche Dicke
wie das Werkstück, erstreckt sich im wesentlichen parallel zur eigentlichen dünnen Halteleiste und besteht
aus einem Paar von gegeneinander beweglichen Darallelen Leisten, nämlich einer Aufsteckleiste und einer Anlageleisle, zwischen denen die Trennfuge so ausgebildet ist, daß sich parallel zur Leisten-Anlagekante erstreckende Bereiche im wesentlichen vermieden
sind, wobei die beiden Leisten über nachgiebige Elemente, beispielsweise Druckfedern, über die Trennfuge hinweg in gegenseitigem Abstand gehalten sind.
Dieser Abstandsfüllkörper legt sich stets unter Federwirkung mit seiner Anlageleiste gegen die Randkante
des eingelegten Werkstücks. Dadurch wird einerseits
κι die Entstehung einer Trennfuge zwischen der Anlagekante
des Abstandsfüllkörpcrs und der Randkantc des
Werkstücks verhindert. Zum anderen wird das Werkstück auch ständig unter Federwirkung gegen die
Werkstückhalter der Krcuzschlittenköpfe gedrückt.
ii Dadurch wird jegliches, die Reproduktionsgenauigkeit
beeinträchtigendes Spiel an den Werkstückhaltern eliminiert. Durch die Ausbildung der Trennfuge unter
wesentlicher Vermeidung von sich parallel zur LeisteniiiiiugekHiiiL' rr M! eLkciiueii Bei eieneri wiiii SiCf'icigC·-
2n stellt, daß sich beim Anlegen von Vakuum an den
Kopierrahmen filmföritiige Vorlagen sich nicht in diese
Trennfuge hineinziehen können. Es wird dadurch wirksam jegliche Relativbewegung zwischen der Vorlage
bzw. den Vorlagen und dem Werkstück beim
ji Anlegen von Vakuum verhindert. Beispielsweise kann
hierzu die Trennfuge zick-zack-förmig, sägezahnförmig oder sinusförmig ausgebildet sein.
Jeder t.«r Kreuzschlittenköpfe kann aus einem auf
einer Führungsschiene am Unterrahmen laufenden
in äußeren Kreuzschlittenkörper, einem über einen ersten
Stelltrieb mit diesem äußeren Kreuzschlittenkörper verbundenen inneren Kreuzschlinenkörper und einer
Haltevorrichtung für das Werkstück bestehen, die über einen zum ersten Stelltrieb orthogonal angeordneten
',-, zweiten Steütrieb an den inneren Kreuzschlittenkörper
angeschlossen ist. Diese Kreuzschlittenköpfe zeichnen sich durch einfachen Aufbau, hohe Betriebssicherheit
und große Einstellgenauigkeit aus. leder der Kreuzschlittenköpfe kann einen Haltestift zum Aufsetzen des
4Ί Werkstücks mittels in seinem Randbereich angebrachten
Bohrungen tragen. Auf diese Weise wird das Aufsetzen der Werkstücke auf die Kreuzschlittenköpfe
besonders einfach. Da die in dem Randbereich des Werkstücks angebrachten Bohrungen — abgesehen von
4Ί Fertigungstoleranzen — von Werkstück zu Werkstück
gleich angeordnet sein können, ist beim Verarbeiten von Werkstückserien ein sehr leichtes, schnelles Aufsetzen
der Werkstücke auf die Kreuzschlittenköpfe ermöglicht und auch das von Werkstück zu Werkstück notwendige
Nachrichten auf ein Mindestmaß beschränkt.
Die Stelltriebe der Kreuzschlittenköpfe können als mit Rändelschraube versehene Schraubspindeltriebe
ausgebildet sein. Hierdurch bieten die Stelltriebe einfache, feinfühlige Stellmöglichkeit verbunden mit
hoher selbsthemmender Wirkung. Zusätzlich ist es jedoch auch möglich, die Schraubspindeln der Stelltriebe gegen Verstellen arretierbar zn machen. Damit wird
nach erfolgtem Ausrichten des Werkstücks gegenüber der Vorlage bzw. den Vorlagen und Arretieren der
Schraubspindeln der Stelltriebe jegliches nachträgliches Verstellen ausgeschlossen.
Vorzugsweise sind die beiden Kreuzschlittenköpfe auf einer gemeinsamen Führungsschiene in einem
Führungskanal des Unterrahmens verschiebbar und
gegenüber diesem arretierbar geführt. Dabei können die
Kreuzschlittenköpfe mit hinter bzw. unter die gemeinsame Führungsschiene greifenden Klemmpratzen ausgebildet sein.
Die erfindungsgemäQe Vorrichtung kann auch noch mit Ergänzungselementen ausgestattet werden. Will
man beispielsweise erreichen, daß die zu belichtenden
Werkstücke möglichst im Mittelbereich des Kopierrahmens angeordnet werden, ggf. zur Erzielung optimaler
Auslichtungsverhfifinisse, so können zwischen den
Stiften dp-- Kreuzschlittenköpfe und dem Werkstück
einzusetzende Verlängerungsstangen bzw. Verlängerungsplatten vorgesehen werden. Will man Werkstücke
mit mehr als zwei Haltebohrungen versehen, was beispielsweise bei größeren Werkstücken von Interesse
sein kann, so empfiehlt es sich im Rahmen der Erfindung als zusätzliches Element eine sich zwischen den
Kreuzschlittenköpfen erstreckende, auf deren Stifte aufsetzbare Halteleiste mit einer Reihe von Haltestiften
zum Aufsetzen von Werkstücken mit einer Mehrzahl von Haltebohrungen vorzusehen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Es
zeigt
Fig. 1 einen Kopierrahmen mit Vorrichtung gemäß
der Erfindung perspektivisch mit teilweise abgebrochenen Wandteilen;
Fig. 2 einen Ausschnitt aus Fig. 1 in vergrößerter
Darstellung;
Fig.4 einen Schnitt nach der Linie 4-4 der Fig. 2;
und
Fig.5 einen Schnitt nach der Linie 5-5 der Fig. I
durch ei^en Kreuzschlittenkopf unter Weglassen der inneren Kreuzschlittenteile.
Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Vorrichtung in einem Kopierrahmen 10
angebracht, der einen Unterrahmen 11 mit einer lichtdurchlässigen, fest angebrachten Bodenplatte 12
und einen Oberrahmen mit in ihm angebrachter folienförmig flexibler, aber in dicht geschlossener
Deckenplatte 14 aufweist. Der Oberrahmen 13 ist dabei mittels Lenkeranordnungen 15 am Unterrahmen 11
gehalten und auf diesen luftdicht aufsetzbar.
Entlang der beiden Seitenkanten der Bodenplatte 12 erstrecken sich in den Seitenschenkeln des Unterrahmens 11 Führungskanäle 16, in denen je ein Führungsstück für einen im wesentlichen leistenförmigen, sich
quer über die Bodenplatte 12 erstreckenden Vorlagenhalter 18 verschiebbar gelagert sind. Die Führungskanäle 16 haben T-Profil und die Führungsstücke 17 je einen
mittels Schraubenbolzen mit Rändelkopf 22 im Führungskanal 16 festziehbaren Führungsstein 47, wie dies
aus Fig.3 deutlich ersichtbar ist. Ferner trägt jedes
Führungsstück 17 einen Aufsteckstift 19 zum Aufsetzen einer Abdeckleiste 20 für den Vorlagenhalter 18. Der
Vorlagenhalter 18 besteht im dargestellten Beispiel aus einer dünnen Halteleiste 21 (Dicke etwa 03 mm), die mit
den Führungsstücken 17 verbunden ist und sich quer über die Bodenplatte 12 erstreckt Diese Halteleiste 21
liegt mit ihrer unteren Fläche auf der Bodenplatte 12 des Unterrahmens II und trägt auf ihrer Oberseite eine
Reihe von sich nach oben erstreckenden Haltestiften 23. Ferner enthält der Vorlagenhalter 18 einen Abstandsfüllkörper 24, der im dargestellten Beispiel aus einem
Paar paralleler Leisten, nämlich einer Aufsteckleiste 25
mit einer der Anordnung der Haltestifte 23 entsprechenden Reihe von Langlöchern 26 und einer
Aniageleiste 27 besteht Zwischen der Aufsteckleiste 25
und der Anlageleiste 27 ist eine Trennfuge 28 gebildet die im dargestellten Beispiel zick-zack-förmig ausgebildet ist und dadurch frei von jeglichen, sich parallel zur
Leisten-Anlagekante 29 erstreckenden Bereichen ist. Durch die Trennfuge 28 sind die Aufdeckleiste 25 und
die Anlageleiste 27 begrenzt zueinander bewegbar. Sie werden durch in beide Leisten eingesetzte Federn 30
über die Trennfuge 28 hinweg in gegenseitigem Abstand voneinander gehalten. Den oberen Abschluß des
Vorlagenhalters 18 bildet die Abdeckleiste 20, die ebenfalls mit einer der Anordnung der Haltestifte 23
entsprechenden Reihe von Langlöchern 31 und an
ίο jedem Ende mit einem Rundloch 32 als Paßbohrung zum
Aufsetzen auf die Aufsteckstifte 19 der Führungsstücke 17 sowie einer mittleren Paßbohrung 31a zum Fixieren
des mittleren Haltestiftes 23 und damit der eigentlichen Halteleiste 21 versehen ist.
Im dargestellten Beispiel ist der Unterrahmen 11 an
seiner Vorderkante mit einem Führungskanal 33 ausgebildet, in welchem Kreuzschlittenköpfe 34 hin-
und herverschiebbar gelagert sind. Hierzu ist am Boden des Führungskanals 33 eine Führungsschiene 35 mit sich
nach oben erweiterndem trapezförmigem Querschnitt befestigt, die in eine entsprechende schwalbenschwanzförmige Ausnehmung an der Unterseite jedes Kreuzschlittenkopfes 34 greift. Im dargestellten Beispiel sind
zwei Kreuzschlittenköpfe 34 gezeigt. Im Führungskanal
33 können jedoch mehrere, beispielsweise vier oder
sechs Kreuzschlittenköpfe 34 vorgesehen werden, um gleichzeitig mehrere Werkstücke 50 belichten zu
können, wobei grundsätzlich jeweils ein Paar von Kreuzschlittenköpfen 34 bei jedem Werkstück 50
eingesetzt wird.
Jeder Kreuzschlittenkopf 34 hat einen äußeren Kreuzschlittenkörper 36, der auf der Führungsschiene
35 läuft und einen Stelltrieb 37 mit Rändelschraube 38 trägt. Die Schraubspindel dieses Stelltriebes 37 greift in
ein in einem inneren Kreuzschlittenkörper 39 angebrachtes Muttergewinde, so daß der innere Kreuzschlittenkörper 39 durch Verdrehen der Rändelschraube 38
auf den Vorlagenhalter zu oder von diesem weg verschoben wird. Der innere Kreuzschlittenkörper 39
trägt wiederum einen Stelltrieb 40 mit Rändelschraube 41 und Schraubspindel 42. Die Schraubspindel 42 greift
in ein Muttergewinde in einem Haltestiftträger 43, so daß der Haltestiftträger 43 bei Betätigung der
Rändelschraube 41 längs des Führungskanals 33
verstellt wird. Die Verstellmöglichkeit ist in F i g. 1 und 2
durch Kreuzpfeile 44 angedeutet. Auf jedem Haltestiftträger 43 ist ein Haltestift 45 befestigt Zum Arretieren
an der Führungsschiene 35 sind die Kreuzschlittenköpfe 34 mit von Hand zu betätigenden Klemmpratzen 46 mit
Im dargestellten Beispiel ist ein mit Sockelbohrungen für elektrische bzw. elektronische Bauelemente vorbereitetes plattenförmigen Werkstück 50 für die Herstellung einer gedruckten Schaltung vorgesehen, das auf
beiden Seiten mit einer Schicht aus elektrisch leitfähigem Material, beispielsweise Kupfer, über jeder
dieser Kupferschichten mit einer lichtempfindlichen Reproduktionsschicht (Photoresistschicht) belegt ist
Diese lichtempfindliche Schicht ist mittels je einer
Vorlage 51 und 52 zu belichten, um den Kupferbelag des
plattenförmigen Werkstücks 50 an gewünschten Stellen zu entfernen. Zum Ansetzen an die Haltestifte 45 der
Kreuzschlittenköpfe 34 ist das Werkstück an seinem entsprechenden Randbereich mit zwei Haltebohrungen
53 versehen. Entsprechend sind die Vorlagen 51. und 52 an der gegenüberliegenden Seite mit einem Halterand
54 versehen, in welchem genau auf die Haltestifte 23 passende Haltelöcher 55 angebracht sind, die ggf. durch
Elemente aus dünner Folie, beispielsweise aus Metall
oder Kunststoff verstärkt sein können.
Die Arbeitsweise mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist wie folgt:
Die für die beidseitige Belichtung des doppelseitig beschichteten Kopiergutes 50 vorgesehenen Vorlagen
51, 52 werden vor einem Lichtkasten oder einer ähnlichen Einrichtung zur absoluten Deckung gebracht.
Diese geschieht mit Hilfe von auf den Vorlagen vorgesehenen Markierungen. Dann werden beide
Vorlagen 51, 52 im Zustand der Deckung mit einem Präzisionslocher entsprechend der Anordnung der
Haltestifte 23 auf dem Haltestreifen 21 gelocht. Es wird dann die untere Vorlage 51 auf die Haltestifte 23 der
Halteleiste 21 gesteckt. Dann wird der Abstandsfüllkörper 24 mit seinen Langlöchern 26 über der unteren
Vorlage 51 auf die Haltestifte 23 der Halteleiste 21 gesteckt und dann die obere Vorlage 52 auf Hie
Haltestifte 23 gesteckt. Das Ganze wird mit der Abdeckleiste 20 überdeckt und durch Einstecken der
Rundbohrungen 23 in die Aufsteckstifte 19 der Führungsstücke 17 fixiert.
II. Einlegen und Justieren der ersten Werkstückplatte 50 des Kopiergutes:
Eine Werkstückplatte 50 (z. B. Photoresistplatte für gedruckte Schaltungen, bestehend aus einer Kunststoffplatte mit beiderseitiger Kupferlaminierune und darüber je einer lichtempfindlichen Photoresistbeschichtung) wird mittels der in ihr angebrachten Haltebohrungen 53 auf die Haltestifte 54 der Kreuzschlittenköpfe 34
aufgesteckt und bei mittlerer Stellung der Stelltriebe 37, 40 der Kreuzschlittenköpfe 34 durch seitliches Verschieben der beiden Kreuzschlittenköpfe 34 auf der
Führungsschiene 35 und durch Verschieben des leistenförmigen Vorlagenhalters 18 zunächst grob mit
der Vorlage zur Deckung gebracht. Es werden dann die Führungsstücke 17 mittels der T-Führungssteine 47 und
die Kreuzschlitten 34 mittels der Klemmpratzen 46 arretiert. Darauf erfolgt Feineinstellung mittels der
Stelltriebe 37 und 40 der beiden Kreuzschlittenköpfe 34 derart, daß die vorgebildeten Sockelbohrungen im
Werkstück 50 in genauer Überdeckung mit den entsprechenden Markierungen auf der oberen Vorlage
52 kommen. Ein Verschenken des Werkstücks 50 erfolgt dabei einfach dadurch, daß der Stelltrieb 37 des einen
Kreuzschlittenkopfes mehr oder in anderem Sinne verstellt wird, als der entsprechende Stelltrieb 37 des
anderen Kreuzschlitlenkopfes 34. Während dieses Feineinrichtvorganges drückt die Anlageleiste 27 über
ihre Anlagekante 29 aufgrund der leicht gespannten Schraubenfedern 30 stets gegen den Rand des
Werkstücks 50. Um ein ungewolltes verstellen der Stelltriebe 37 und 40 an dem Kreuzschlittenkopf 34 zu
verhindern, können diese Stelltriebe 37, 40 relativ schwergängig ausgebildet sein. Es ist aber auch möglich,
zusätzliche, beispielsweise in Art von Betätigungshandrädern ausgebildete Kontermuttern (nicht gezeigt) auf
den Stelltriebspindeln 42 anzubringen, die nach erfolgtem Einrichten festgezogen werden.
111. Belichtung des Kopiergutes 50:
Zur Belichtung wird der Oberrahmen 13 auf den
Unterrahmen l\ geschlossen und Vakuum an den Kopierrahmen 10 angelegt. Dadurch wird die folienförmig flexible Deckplatte 14 fest gegen die Gesamtheit
der beiden Vorlagen 51 und 52 und des dazwischen angeordneten Werkstücks 50 gepreßt. Da die Anlageleiste 27 mit ihrer Anlagekante 29 fest gegen die Kante des
Werkstücks 50 liegt und die Trennfuge 28 zick-zack-förmig ausgebildet ist, wird bei diesem Andrücken jegliches
to teilweise Eindrücken oder Einziehen der oberen filmförmigen Vorlage 52 verhindert. Die Belichtung
erfolgt dann von beiden Seiten durch die als Glasplatte ausgebildete Bodenplatte 12 des Unterrahmens 11 und
die folienförmige Deckplatte 14 des Oberrahmens 13.
Nach erfolgter Belichtung wird das Vakuum entspannt und das Werkstück 50 dem Rahmen entnommen und
der weiteren Verarbeitung zugeführt.
IV. Funktion des Abstandsfüllkörpers 24:
Der Ahstandsfiillkörper 24 hat gleiche Dicke wie das
plattenförmige Werkstück 50, um ein Verbiegen der
beiden sich deckenden Vorlagen 51 und 52 zu vermeiden, was zu Paß-Schwierigkeiten führen würde.
Aus dem gleichen Grund müssen auch Lücken zwischen dem Abstandsfüllkörper 24 und dem Werkstück 50
vermieden werden. Dies wird durch den zweiteiligen Abstandsfüllkörper 24 — wie oben erläutert —
erreicht.wobei die Aufsteckleiste 25 fest auf die Haltestifte 23 gesteckt ist, aber die Anlageleiste 27
c urch ihre federnde Verbindung mit der Aufdeckleiste
3i 25 sich mit ihrer Anlagekante 29 nachgiebig gegen die
Endkante des Werkstücks 50 legt. Die im dargestellten Beispie! zick-zack-förmige Ausbildung der Trennfug'
28 reduziert das Durchbiegen der oberen Vorlage 52 au'
ein Minimum. Die Trennfuge 28 kann auch ander
ausgebildet sein, beispielsweise sägezahnförmig oder
sinusförmig, nur soll sie frei von sich parallel zur Leisten-Anlagekante 29 erstreckenden Bereichen sein.
V. Einlegen weiterer vorbereiteter Werkstücke 50: Nach Entnahme der ersten belichteten Platte 50
ίο können weitere Platten der gleichen Art in die
Vorrichtung eingelegt werden. Hierbei ist bei maßgerechten Bohrungen im Kopiergut 50 kein Nachjustieren
erforderlich. Bei abweichenden Bohrungen kann die erforderliche Korrektur durch geringfügiges Verstellen
an den Stelltrieben 37 und 40 der Kreuzschlittenköpfe 34 erfolgen.
Im dargestellten Beispiel handelt es sich um das zweiseitige Belichten von Photoresistplatten für gedruckte Schaltungen, in analoger Weise kann auch nur
einseitige Belichtung vorgenommen werden. Hierzu wird man die untere Vorlage 51 weglassen oder durch
eine Schutzfolie für die Bodenplatte 12 ersetzen. Der Einrichtvorgang erfolgt aber in gleicher Weise wie oben
erläutert allein mit der oberen Vorlage 52.
Die Verwendung der Vorrichtung ist auch nicht auf das Belichten von Photoresistplatten für gedruckte
Schaltungen beschränkt, sondern eignet sich für alle
Arten von Kontaktbelichtungen, bei denen die Vorlage auf das lichtempfindliche System paßgenau kopiert
werden muß.
Claims (1)
- Patentansprüche:1. Vorrichtung zum genauen, visuell-manuellen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen, auf einer oder beiden Seiten eine lichtempfindliche Schicht tragenden Werkstücks gegenüber einer oder zwei auf einer oder beiden Seiten des Werkstücks anzulegenden Vorlagen in einem Kopierrahmen mit Untcrrahmen und darin angebrachter, fester Bodenplatte und auf den Unterrahmen aufsetzbarem Oberrahmen mit Deckplatte, von welchen Platten mindestens eine lichtdurchlässig ist, und einem am Unterrahmen verstellbar geführten Halter für die Vorlage bzw. Vorlagen, dadurch gekennzeichnet, daß eine vom Halter (18) für die Vorlage bzw. Vorlagen (51, 52) unabhängige Haltevorrichtung für das Werkstück (50) vorgesehen ist, die aus zwei am Unterrahmen (11) unabhängig voneinander verstellbar geführten Kreuzschlitten köpfen (34) besteht, auf denen das Werkstück (50) gehalten ist und die je zwei orthogonal zueinander wirkende, von Hand betätigbare Stelltriebe (37, 40) aufweisen, und daß der Halter (18) für die Vorlage bzw. Vorlagen (50,52) einen an einer Randkante des Werkstücks (50) anzulegenden Abstandsfüllkörper (24) aufweist, der sich in seiner Breite einer Werkstück-Verschiebung anzupassen vermag.2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorlagenhalter (18) und die Haltevorrichtung (33,34,45) für das Werkstück (50) an einander gegenüberliegenden Rändern des Werkstücks (50) angeordnet sind.3. Vorrichtung nach ftnspruc.i 2, dadurch gekennzeichnet, daß der. Vorlagenhalter (18) aus einer dünnen Halteleiste (21) mit mir. Jestens zwei sich nach oben erstreckenden Haltestiften (23) besteht, und daß die Halteleiste (21) mit Führungsstücken (17) verbunden ist, die an zwei Seitenrändern des Unterrahmens (11) verschiebbar gelagert sind.4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß am Vorlagenhalter (18) eine auf die Haltestife (23) aufsteckbare, Langlöcher (31) und Paßbohrungen (3IaJ aufweisende Abdeckleiste (20) vorgesehen ist.5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckleiste (20) an ihren beiden Enden Paßbohrungen (32) zum Aufstecken auf entsprechende Aufsteckstifte (19) an den Führungsstücken (17) aufweist.6. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsstücke (17) an dem Unterrahmen (11) durch Klemmeinrichtungen (47, 22) arretierbar sind.7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß am Unterrahmen (11) Führungskanäle (16) mit T-förmigem Querschnitt ausgebildet sind, in denen je ein Führungsstück (17) mit durch Schraube (22) verspannbarem Führungsstein (47) läuft.8. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstandsfüllkörper (24) im wesentlichen gleiche Dicke wie das Werkstück (50) hat, sich im wesentlichen parallel zur eigentlichen Halteleiste (21) erstreckt und aus einem Paar von gegeneinander beweglichen, parallelen Leisten, nämlich einer Aufsteckleiste (23) und einer Anlageleiste (27) besteht, zwischen denen die Trennfuge (28) so ausgebildet ist, daß sich parallel zur Leistcn-Anlagekamc (29) erstreckende Bereiche im wesentlichen vermieden sind und daß die beiden Leisten (25, 27) über nachgiebige Elemente, beispielsweise Druckfedern (30), über die Trennfuge (28) hinweg in gegenseitigem Abstand gehalten sind. -, 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennfuge (28) zickzackförmig, sägezahnförmig oder sinusförmig ausgebildet ist.10. Vorrichtung nach Anspruch !, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Kreuzschlitttnköpfein (34) aus einem auf einer Führungsschiene am Unterrahmen laufenden, äußeren Kreuzschlittenkörper (36), einem über einen ersten Stelltrieb (37) mit diesem äußeren Kreuzschlittenkörper (36) verbundenen, inneren /Creuzschlittenkörper(39) undi) einer Haltevorrichtung für das Werkstück (50) besteht, die über einen zum ersten Stelltrieb (37) orthogonal angeordneten zweiten Stelltrieb (40) an den inneren Kreuzschlättenkörper (39) angeschlossen istJd 11. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 10, dadurchgekennzeichnet, daß jeder der Kreuzschlittenköpfe (34) einen Haltestift (45) zum Aufsetzen des Werkstücks mittels in seinem Randbereich angebrachten Bohrungen (53) trägt.2'j 12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurchgekennzeichnet, daß die Stelltriebe (37, 40) der Kreuzschlittenköjrfe (34) als mit Rändelschrauben (38,41) versehene Schraubspindeltriebe ausgebildet sind.jo 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurchgekennzeichnet, daß die Schraubspindeln der Stelltriebe (37,40) gegen Verstellen arretierbar sind.14. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß beide Kreuzschlittenköpfe (34)π auf einer gemeinsamen Führungsschiene (35) in einem Führungskanal des Unterrahmens (11) verschiebbar und gegenüber diesem arretierbar geführt sind.15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch 4» gekennzeichnet, daß die Kreuzschlittenköpfe (34) mit hinter bzw. unter die gemeinsame Führungsschiene (35) greifenden Klemmpratzen (46) ausgerüstet sind.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2653707A DE2653707C3 (de) | 1976-11-26 | 1976-11-26 | Vorrichtung zum genauen visuell- manuellen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen Werkstücks mit lichtempfindlicher Schicht gegenüber einer oder zwei Vorlagen |
US05/851,390 US4159176A (en) | 1976-11-26 | 1977-11-14 | Device for aligning a photomask on a printed circuit board |
GB49206/77A GB1597708A (en) | 1976-11-26 | 1977-11-25 | Device for aligning and holding a worksheet |
NL7712998A NL7712998A (nl) | 1976-11-26 | 1977-11-25 | Inrichting voor het met het oog en met de hand richten en vasthouden van een gelaagd werkstuk, dat aan een zijde een lichtgevoelige laag bezit. |
FR7735530A FR2372455A1 (fr) | 1976-11-26 | 1977-11-25 | Dispositif pour aligner un masque photographique sur une plaquette de circuit imprime |
IT30087/77A IT1087915B (it) | 1976-11-26 | 1977-11-25 | Dispositivo per allineare una fotomaschera su di un pannello a corcuitto stampato. |
JP52142121A JPS6010614B2 (ja) | 1976-11-26 | 1977-11-26 | 露光フレ−ム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2653707A DE2653707C3 (de) | 1976-11-26 | 1976-11-26 | Vorrichtung zum genauen visuell- manuellen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen Werkstücks mit lichtempfindlicher Schicht gegenüber einer oder zwei Vorlagen |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2653707A1 DE2653707A1 (de) | 1978-06-01 |
DE2653707B2 true DE2653707B2 (de) | 1979-08-30 |
DE2653707C3 DE2653707C3 (de) | 1981-08-27 |
Family
ID=5994015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2653707A Expired DE2653707C3 (de) | 1976-11-26 | 1976-11-26 | Vorrichtung zum genauen visuell- manuellen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen Werkstücks mit lichtempfindlicher Schicht gegenüber einer oder zwei Vorlagen |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4159176A (de) |
JP (1) | JPS6010614B2 (de) |
DE (1) | DE2653707C3 (de) |
FR (1) | FR2372455A1 (de) |
GB (1) | GB1597708A (de) |
IT (1) | IT1087915B (de) |
NL (1) | NL7712998A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3417221A1 (de) * | 1984-05-10 | 1985-11-21 | Hans 6052 Mühlheim Keller | Vorrichtung zum ausrichten des musters eines flaechengebildes gegenueber einer ebenen unterlage |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4284349A (en) * | 1979-06-07 | 1981-08-18 | Beasley Thomas T | Means for imaging a lithographic plate |
US4412739A (en) * | 1981-01-13 | 1983-11-01 | Ppg Industries, Inc. | Hinged glass photomask assembly |
DE3143358A1 (de) * | 1981-11-02 | 1983-05-11 | Basf Ag, 6700 Ludwigshafen | Kopierrahmen zum genauen, visuell-manuellen einrichten und zum halten eines plattenfoermigen werkstuecks |
US4445775A (en) * | 1982-03-29 | 1984-05-01 | Ppg Industries, Inc. | Registration blocks for a photomask assembly |
JPS58217936A (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-19 | Oak Seisakusho:Kk | 被露光板と枠板との組合せ |
US4526463A (en) * | 1982-07-30 | 1985-07-02 | CH2 M Hill, Inc. | Apparatus for exposing photosensitive media |
US4600298A (en) * | 1984-03-01 | 1986-07-15 | Ppg Industries, Inc. | Pivotal locking arm for phototool assembly |
US4833051A (en) * | 1984-08-20 | 1989-05-23 | Nippon Kogaku K.K. | Protective device for photographic masks |
JPH043308Y2 (de) * | 1985-07-18 | 1992-02-03 | ||
US4707124A (en) * | 1985-09-03 | 1987-11-17 | CH2 M Hill, Inc. | Apparatus for exposing photosensitive media |
US4764795A (en) * | 1987-04-27 | 1988-08-16 | Burbey Mark J | Prepress graphic registration system |
US4985107A (en) * | 1988-03-01 | 1991-01-15 | Sci Systems, Inc. | Component location device and method for surface-mount printed circuit boards |
US5300973A (en) * | 1992-05-08 | 1994-04-05 | Ternes Register System | Track image registration system |
US5638156A (en) * | 1995-03-28 | 1997-06-10 | Admotion Corporation | Sequential display mosaic fabrication fixture and method of making mosaics |
US5767650A (en) * | 1996-02-16 | 1998-06-16 | Admotion Corporation | Display apparatus with DC gear motor drive control |
US5783919A (en) * | 1996-02-16 | 1998-07-21 | Admotion Corporation | Display apparatus with AC gear motor drive control |
US5815968A (en) * | 1996-07-22 | 1998-10-06 | Admotion Corporation | Display apparatus having thermal compensation |
US5779794A (en) * | 1996-12-06 | 1998-07-14 | Micron Technology, Inc. | Universal fixture for holding printed circuit boards during processing |
US5800946A (en) * | 1996-12-06 | 1998-09-01 | Grosvenor; Victor L. | Bipolar lead-acid battery plates |
US6841317B2 (en) | 2002-08-27 | 2005-01-11 | Micro Lithography, Inc. | Vent for an optical pellicle system |
US7094505B2 (en) * | 2002-10-29 | 2006-08-22 | Toppan Photomasks, Inc. | Photomask assembly and method for protecting the same from contaminants generated during a lithography process |
CN110972402B (zh) * | 2019-11-19 | 2020-11-06 | 信丰福昌发电子有限公司 | 一种用于hdi线路板内层干膜的自动对位曝光设备 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3147683A (en) * | 1961-10-05 | 1964-09-08 | Claude K Hulen | Photographic printing apparatus |
GB1094905A (en) * | 1964-04-07 | 1967-12-13 | Sidney R Littlejohn & Company | Improvements in apparatus for positioning and registering punched paper, card or film |
DE1258724B (de) * | 1964-10-29 | 1968-01-11 | Alos A G | Vorrichtung zum Planfuehren eines Laeufers mit zwei Freiheitsgraden in einer Ebene |
US3580676A (en) * | 1967-07-05 | 1971-05-25 | Harris Intertype Corp | Art of plate making |
US3639056A (en) * | 1970-06-17 | 1972-02-01 | Albert Gerson | Programmed plate-making machine |
DE2330726A1 (de) * | 1973-06-16 | 1975-01-09 | Catellono Michele | Presse zur belichtung und photogravuere, insbesondere fuer platten von einseitigen und doppelseitigen gedruckten schaltungen |
US3984680A (en) * | 1975-10-14 | 1976-10-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Soft X-ray mask alignment system |
-
1976
- 1976-11-26 DE DE2653707A patent/DE2653707C3/de not_active Expired
-
1977
- 1977-11-14 US US05/851,390 patent/US4159176A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-11-25 IT IT30087/77A patent/IT1087915B/it active
- 1977-11-25 GB GB49206/77A patent/GB1597708A/en not_active Expired
- 1977-11-25 FR FR7735530A patent/FR2372455A1/fr active Granted
- 1977-11-25 NL NL7712998A patent/NL7712998A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-11-26 JP JP52142121A patent/JPS6010614B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3417221A1 (de) * | 1984-05-10 | 1985-11-21 | Hans 6052 Mühlheim Keller | Vorrichtung zum ausrichten des musters eines flaechengebildes gegenueber einer ebenen unterlage |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5368226A (en) | 1978-06-17 |
IT1087915B (it) | 1985-06-04 |
FR2372455A1 (fr) | 1978-06-23 |
DE2653707A1 (de) | 1978-06-01 |
JPS6010614B2 (ja) | 1985-03-19 |
DE2653707C3 (de) | 1981-08-27 |
GB1597708A (en) | 1981-09-09 |
NL7712998A (nl) | 1978-05-30 |
FR2372455B1 (de) | 1983-02-11 |
US4159176A (en) | 1979-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2653707C3 (de) | Vorrichtung zum genauen visuell- manuellen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen Werkstücks mit lichtempfindlicher Schicht gegenüber einer oder zwei Vorlagen | |
DE2404406C3 (de) | Werkzeug zum Ausschneiden oder Falzen | |
DE69112501T2 (de) | Verfahren zur herstellung von biegsamen leiterplatten und anordnung zur verwirklichung dieses verfahrens. | |
DE69521720T2 (de) | Mehrzweckrotationsstanzsystem | |
DE2704266A1 (de) | Verfahren und anlage zum montieren von ic-chips auf einem substrat | |
DE2335075A1 (de) | Siebdruckmaschine | |
DE19803229A1 (de) | Druckbild-Positionierung | |
DE69500625T2 (de) | Druckvorrichtung mit einer beweglischen Druckeinheit | |
DE2520201C2 (de) | Vorrichtung zur präzisen Positionierung eines mit seitlichen Perforierungen versehenen Bandes | |
DE3033846A1 (de) | Stanzvorrichtung zur justierung von filmen, druckplatten u.dgl. | |
EP0313510B1 (de) | Vorrichtung zur Montage von Flexo-Klischees | |
DE29607060U1 (de) | Stanz- und Rillwerkzeug zur Herstellung von gerillten Stanzteilen | |
DE69832864T2 (de) | Vorrichtung zum Festlegen von Schaltungsplatinen | |
DE2829359A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur positionierung von elementen | |
DE69017525T2 (de) | Registrierapparatur. | |
EP3184500A1 (de) | Herstellungsverfahren eines metall-keramik-substrates mit verbesserter flächen-nutzung | |
DE1805204C3 (de) | Anordnung zur Herstellung von Mehrfarbendrucken | |
DE3417223C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum paßgenauen Lochen von Filmen bei der Herstellung einer gedruckten Schaltung auf einer gebohrten Rohplatte | |
DE3129418A1 (de) | "vorrichtung zum vorbereiten von mit passloechern versehenen druckplatten und montagefolien im rollenoffestdruck fuer die mehrfachproduktion" | |
DE3809321C1 (de) | ||
DE3539915C1 (en) | Cassette for exposing, in particular, printed circuit boards | |
DE3447849C2 (de) | Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten | |
DE2634767A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur registergenauen montage von filmen fuer die druckformherstellung | |
DE10127256A1 (de) | System zum Aufbringen eines flexiblen Materialbogens | |
EP1457297B1 (de) | Vorrichtung zum Prägen und/oder Stanzen eines Werkstücks |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |