JPH034022Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［概要］ XYステージの送り機構部において、XYステ
ージに固定したナツトの両側にマフラーを取付
け、ネジ送りする際に油が飛散しないような露光
装置の構造にする。

［産業上の利用分野］ 本考案はフオトプロセスに用いる露光装置の改
善に関する。

例えば、半導体装置の製造方法において、リソ
グラフイ技術が汎用されており、試料（半導体ウ
エハー）面に繰り換えし、フオトプロセスが適用
されている。

かくして、ICなどの半導体装置は急速に高集
積化・高密度化されてきたが、微細なパターンを
高精度に形成するためには、露光装置などの機構
部分においても十分な配慮が望ましい。

［従来の技術と考案が解決しようとする問題点］ フオトプロセスにおいては、試料面にレジスト
膜を塗布し、これを露光・現像してマスクパター
ンを転写してレジスト膜パターンが形成される
が、その露光方法に密着露光と縮小露光との二つ
の方法が知られている。

前者の密着露光は従前から使用されており、レ
ジスト膜を塗布した試料面に、等倍パターンを設
けたマスクを密着して、全面を一括露光する方法
であるが、後者の縮小露光は５〜10倍に拡大した
パターンを設けたマスクを使用し、これを試料面
に1/5〜1/10に縮小して露光する方法である。こ
の縮小露光法は露光装置の光学系の進歩によると
ころが大きく、微細パターンの形成に適した方法
であるから、最近では、密着露光に代わつて重用
されてきている。

第２図は縮小露光装置の断面図を示しており、
１は光源（水銀灯）、１′はコンデンサレンズ、２
はレチクル、３は縮小レンズ、４は鏡筒、５は試
料（半導体ウエハー）、６は試料を保持するXY
ステージである。レチクルとは５〜10倍の大きさ
のパターンを設けたマスクのことで、密着露光の
場合は、試料に対し一回露光するだけで露光が完
了するが、レチクルを用いた縮小露光の場合は、
レチクルに１個ないしは数個のパターンしか設け
られていないため、試料上で露光位置を変えて、
繰り換えし露光する必要があり、そのため、XY
ステージ６はXY方向に可動する構造となつてい
る。従つて、縮小露光装置は別名をステツパとも
呼んでいる。

このような縮小露光装置において、上記のXY
ステージ６のＸ方向およびＹ方向への移動は、通
常、ネジ送りによつて行なわれている。第３図は
そのネジ送り機構の概要を示し、同図ａは平面
図、同図ｂは側面図で、図示のように、Ｘ方向送
りステージ６ａに固定したナツト７ａと送りネジ
８ａとでＸ方向に可逆的に移動させ、Ｙ方向送り
ステージ６ｂに固定したナツト７ｂと送りネジ８
ｂとでＹ方向に可逆的に移動させる方式である。
且つ、図示していないが、Ｘ方向送りステージ６
ａには試料を保持するために真空チヤツクが設け
られ、また、ステージ移動を振動なくおこなうた
めに、ステージの両端にレール９（Ｙ方向送りス
テージには図示している）が設けてある。

第４図はそのＸ方向送りステージ６ａ、または
Ｙ方向送りステージ６ｂにおける、ステージ６に
固着した送りナツト７と送りネジ８とを図示した
断面図である。ステージの大きさは、例えば50cm
×50cm程度、ステージおよびナツトはいずれも厚
さ５cm程度のものである。

ところで、上記したネジ送りをおこなう場合、
その送りを平滑にするため、潤滑油がナツト７と
送りネジ８との隙間に塗布してある。そのため、
移動動作時に潤滑油がその隙間から四散してステ
ージに付着し、それがステージ表面に廻わり込ん
で、更に、試料に付着する。このように、試料に
油が付着すると、パターンニングの精度が害さ
れ、また、試料が油で汚染されることになり、試
料が半導体ウエハーの場合では、油汚染のため製
品が不良になる問題がある。

本考案は、このような問題を除去するための縮
小露光装置を提供するものである。

［問題点を解決するための手段］ その目的は、試料を載置したXYステージの送
り機構部において、該XYステージに固定したナ
ツトの両側に、油を吸収するマフラーを取付けた
露光装置によつて達成される。

［作用］ 即ち、本考案は、ナツト７の両側面、即ち、送
りネジ８が送入・送出される面に、油を吸収する
マフラーを取付ける。

［実施例］ 以下、図面を参照して一実施例によつて詳細に
説明すると、第１図ａは本考案にかかるネジ送り
機構の断面図を示しており、１０がマフラーで、
その他の部材は第４図と同じ部材に同一記号が付
してある。

マフラー１０は、第１図ｂに示す斜視図のよう
に、金属リング１１にフエルト（布）１２を被覆
したもので、金属リング１１をナツト７に取付け
て、飛散する油をフエルトで吸収する。この金属
リング１１は多孔性のものが好ましい。

且つ、マフラー１０は嵌合、接着またはボルト
止めの手法でナツト７に取付けられており、これ
は定期的に交換する。マフラーの容量はネジの回
転速度や油の粘度・種類で飛散する度合が異なつ
てくるから、それを考慮した大きさにする。

この例は一実施例であるが、かようなマフラー
を設けると、試料を油で汚染することが防止され
る。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば試料が油で汚染されずに、露光精度も向上し
て、試料は高品質化されるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ａは本考案にかかる送り機構部を示す
図、第１図ｂはマフラーの斜視図、第２図は縮小
露光装置の概要図、第３図はそのネジ送り機構の
概要図、第４図は従来の送り機構部の断面図であ
る。 図において、１は光源（水銀灯）、２はレチク
ル、４は鏡筒、５は試料、６はXYステージ、又
はステージ、６ａはＸ方向送りステージ、６ｂは
Ｙ方向送りステージ、７はナツト、８は送りネ
ジ、９はレール、１０はマフラー、１１は金属リ
ング、１２はフエルトを示している。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料を載置したXYステージの送り機構部にお
   いて、該XYステージに固定したナツトの両側
   に、油を吸収するマフラーを取付けたことを特徴
   とする露光装置。