KR0177157B1 - 진공밀착인화장치와 방법, 노광장치 및 원판밀착장치 - Google Patents

Abstract

진공밀착인화장치는 베이스부재(11)의 양측에 배치된 1쌍의 원판(12,12)을 지지하기 위한 1쌍의 프레임부재(13,13)와, 이 프레임부재의 외측에 배치된 1쌍의 투명플레이트(20,20)로 구성된다. 1쌍의 원판 사이에는 제1진공챔버(16)가 형성되고, 1쌍의 원판과 투명플레이트의 사이에는 제2진공챔버(19,19)가 형성된다. 진공장치(23)는 제1 및 제2진공챔버에 접속되고, 제1 및 제2진공챔버의 내부공기를 배출하여 그 내압을 감소시키고, 최소한 제2진공챔버내의 진공상태를 해제할 수 있다. 또, 원판밀착인화장치를 적용한 노광장치가 배설되고, 원판밀착장치(102,102)가 노광위치로부터 외측위치로 이동가능하고, 보조원판밀착장치(102')가 노광위치로 이동가능하다. 원판밀착장치는 베이스부재(215)에 대해 횡방향으로 이동가능하도록 제1프레임부재(217)를 지지하기 위한 제1슬라이드장치(219)와, 제1프레임부재(217)에 의해 지지되어 베이스부재에 대해 횡방향으로 이동가능하도록 제2프레임부재(221)를 지지하기 위한 제2슬라이드장치(222)를 포함한다.

Description

진공밀착인화장치와 방법, 노광장치 및 원판밀착장치

제1도는 본 발명에 따른 진공밀착 인화장치의 일실시예의 개략적인 단면입면도.

제2도는 제1도에 도시된 진공밀착인화장치의 개략적인 평면도.

제3도는 원판이 진공밀착인화장치의 감광성 베이스부재에 밀착한 상태를 나타내는 개략적인 단면도.

제4도는 스페이서가 배치되지 않은 제1도와 유사한 도면.

제5도는 본 발명에 따른 진공밀착인화장치의 다른 실시예의 개략적인 단면입면도.

제6도는 본 발명에 따른 진공밀착인화장치의 또 다른 실시예의 개략적인 단면입면도.

제7도는 본 발명에 따른 노광장치의 일실시예의 개략적인 단면입면도.

제8도는 제7도의 노광장치의 평면도.

제9도는 본 발명에 따른 노광장치의 다른 실시예의 개략적인 단면입면도.

제10도는 본 발명에 따른 원판밀착장치의 측면도.

제11도는 제10도의 원판밀착장치의 정면도.

제12도는 제10도의 원판밀착장치의 제1슬라이드장치와 제1프레임부재를 구동하기 위한 장치를 나타낸 평면도.

제13도는 제10도의 원판밀착장치의 제2슬라이드장치와 제2프레임부재를 구동하기 위한 장치를 나타낸 평면도.

제14도는 종래의 진공밀착인화장치의 개략적인 단면도.

제15도는 원판이 제14도의 진공밀착인화장치의 감광성 베이스부재에 밀착되는 상태를 나타낸 개략적인 단면도.

제16도는 제14도의 진공밀착인화장치의 문제점을 설명하기 위한 개략적인 단면도.

제17도는 진공밀착인화장치에서 원판 사이의 압축공기를 배출하기 위한 밸브가 설치된 제1도와 유사한 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 감광성 베이스부재 12 : 원판

13 : 프레임부재 14 : 진공흡출홈

15 : 패킹 16 : 제1진공챔버

17 : 스페이서 19 : 제2진공챔버

20 : 투명플레이트 23 : 진공장치

101 : 베이스부재 102 : 원판밀착장치

102' : 보조원판밀착장치 105 : 원판

107 : 노광용 광원 109 : 승강장치

131 : 구동장치 140 : 제어유니트

151 : 베이스부재 165 : 이동장치

180 : 제어유니트

본 발명은 원판이 진공작용을 통해 노광대상의 베이스재료의 양면에 밀착되는 인화동작을 행하기 위한 진공밀착인화장치와 방법, 노광장치 및 원판밀착장치에 관한 것이다.

일반적으로, 본 명세서에서 원판이라고 하는 필름 또는 유리판과 같은 투명한 원판상에서 묘화된 화상패턴이 밀착인화법을 이용하여 노광재료에 전사되는 경우에는 진공밀착인화법이 예컨대 일본국 특개소 68-136026호에 개시된 바와 같이 고정밀도 전사법으로서 이용되었다.

제14도는 종래의 진공밀착인화법을 이용하는 밀착인화장치의 일예를 나타내며, 이 밀착인화장치는 감광성 베이스부재(1)의 양측에 유리판등으로 이루어진 원판(2,2)을 정렬시키기 위해 도시되지 않은 진공처크(vacuum chuck)에 의해 고정된 1쌍의 프레임부재(3,3)와, 이 프레임부재(3,3)의 대향면에 부착된 패킹(4,4)과, 상기 프레임부재의 일측에 형성된 배기구(6)에 접속된 진공펌프와, 상기 프레임부재에 대해 상호 접근 또는 분리되도록 왕복이동 가능한 형태로 프레임부재(3,3)를 지지하는 베드(6)와, 상기 감광성 베이스부재(1)의 양측에 배치된 광원(7,7)으로 구성된다.

상기한 특성의 밀착인화장치를 이용하는 인화법은 다음과 같이 수행된다.

감광성 베이스부재(1)가 우선 원판(2,2) 사이의 소정위치에 위치되고, 이러한 위치 결정후 1쌍의 프레임부재(3,3)가 상기 감광성 베이스부재(1)를 향하는 방향으로 이동되어 원판(2,2)애 의해 상기 감광성 베이스부재(1)의 양면을 클램프함으로써 패킹(4,4)에 의해 상기 프레임부재(3,3) 사이의 공간을 밀봉하게 되고, 이에 따라서 원판(2,2)과 프레임부재(3,3) 및 패킹(4,4)에 의해 밀봉된 진공챔버(8)가 형성된다. 상기 배기구(5)는 진공챔버(1)와 연통(連通)되어 상기 진공챔버(8)의 내부공기가 상기 배기구(6)를 통하여 진공펌프에 의해 흡출되므로 진공챔버(8)는 진공상태가 된다. 이 결과, 제15도에 도시된 바와 같이 양 원판(2,2)이 대기(大氣)에 의해 압착되어 감광성 베이스부재(1)에 밀착되고, 이어서 광원(7,7)이 점등되어 원판(2,2)상에 묘화된 화상패턴이 감광성 베이스부재(1)에 인화된다.

그러나, 종래의 인화장치에 의하면 브라운관용 새도우마스크와 같은 큰 면적의 감광성 베이스부재와 큰 치수의 원판을 사용하는 경우에는 제16도에 도시된 바와 같이 진공밀착결합부분(9)이 발생하는 문제가 자주 초래되고 있다. 이러한 결함부분(9)은 특히 감광성 베이스부재의 중심부 근처에서 국부적으로 발생된다. 이러한 불리한 현상은 관찰자가 뉴톤링(Newton ring)이라 칭해지는 간섭줄무늬(interference fringe)를 관찰하거나 또는 화상패턴전사저리후 감광성 베이스부재의 전사상태를 확인함으로써 식별된다. 그러한 결함은 진공챔버의 내부공기가 흡출되어 압력이 배기구를 통해 저감되는 경우, 원판의 외주변부 또는 감광성 베이스부재가 신속하게 흡출되어 공기가 그 중앙부근방의 부분에서 밀봉됨에 따라 그 공기는 흡출되기 어렵다는 사실로부터 초래된다. 이는 그 밀봉된 공기가 원판 또는 베이스부재의 외주변부의 밀착부분으로부터 비교적 장시간에 걸쳐 흡출되도록 하는 것 이외에는 아무런 방법이 없다. 따라서, 각각 큰 치수의 평탄성이 우수한 원판과 감광성 베이스부재가 사용되는 경우 원판의 외주변과 감광성 베이스부재가 일단 밀착된 후 밀봉된 공기의 흡출이 상당히 어렵게 되어 예컨대 수 분 또는 수 십 분 정도의 많은 시간이 소요되어 장치의 생산성에 대한 중대한 문제가 초래된다.

종래 장치의 상기한 결점을 제거하기 위해서 원판 또는 감광성 베이스부재에 대해 흡출 및 접촉시간을 단축하는데 보다 많은 관심이 기울여지고 있다. 예컨대, 원판 또는 감광성 베이스부재의 접촉면을 노광에 대한 아무런 문제를 일으키지 않는 정도로 미세하게 거칠게 만든다. 이러한 방법에 따르면 거칠게된 표면부가 밀착시에 미세한 간극을 형성하게 되어 진공챔버내의 내부공기가 미세한 간극을 통해 흡출될 수 있고, 이 경우 흡출시간은 거친 정도에 따라 저감된다. 그러나, 이러한 방법에서는 원판 또는 베이스부재의 표면을 거칠게 하기 위한 처리가 부가적으로 필요하게 되어 다른 문제를 유발하게 된다.

본 발명의 목적은 상기한 종래 기술에서 직면하게 되는 결점 및 불리함을 충분히 해소하여 원판과 감광성 베이스부재에 대해 표면을 거칠게 만드는 작업과 같은 처리를 요하지 않고, 감광성 베이스부재에 대해 원판을 단시간에 양호한 밀착상태로 하기 위한 진공밀착인화장치와 이를 사용하는 노광장치 및 원판밀착장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 진공밀착인화장치를 사용하여 개선된 원판밀착인화상태를 달성하기 위한 진공밀착인화방법을 제공하는 것이다.

이들 목적과 기타의 목적은 본 발명에 의해 이루어질 수 있으며, 본 발명의 한 특징에 의하면 감광성재료로 도포된 양면을 가진 베이스부재의 양측에 원판을 지지하고, 이 원판사이에 제1진공챔버를 형성하기 위한 1쌍의 프레임부재와, 상기 프래임부재에 의해 지지되고, 베이스부재의 양측의 원판과의 사이에서 제2진공챔버를 형성하도록 배치되는 투명플레이트와, 상기 제1 및 제2진공챔버내의 공기를 배출하여 그 내압을 감소시키고, 최소한 상기 제2진공챔버의 진공상태를 해제하기 위한 진공장치와, 상기 투명플레이트의 외측에 배치되어 노광용 광을 조사하기 위한 광원으로 구성된 진공밀착인화장치를 제공한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 감광성재료로 도포된 양면을 가진 길다란 베이스부재를 소정의 노광위치를 통해 이송하기 위한 이송수단과, 상기 베이스부재의 이송로에 따라 배치되어 화상패턴이 묘화된 원판을 상기 베이스부재의 양면에 밀착시키기 위한 복수의 원판밀착장치와, 상기 원판의 외측에 배치된 노광용 광원과, 노광위치로부터 떨어진 부분에 배치된 보조원판밀착장치로 구성되고, 상기 원판밀착장치는 노광위치로부터 외측위치로 이동가능하도록 구성되고, 상기 보조원판밀착장치는 외측위치로부터 노광위치로 이동가능하도록 구성된 노광장치를 제공한다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 감광성재료로 도포된 양면을 가진 베이스부재의 일측에 배치되어 제1원판을 지지하기 위한 제1프레임부재와, 상기 베이스부재에 대해 횡방향으로 이동가능하도록 상기 제1프레임부재를 지지하기 위한 제1슬라이드장치와, 상기 베이스부재의 다른측에 배치되어 제2원판을 지지하기 위한 제2프레임부재와, 상기 제1프레임부재에 의해 지지되어 상기 베이스부재에 대해 횡방향으로 이동가능하도록 상기 제2프레임부재를 지지하기 위한 제2슬라이드장치로 구성된 원판밀착장치를 제공한다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 감광성재료로 도포된 양면을 가진 베이스부재와 1쌍의 원판을 준비하고, 상기 베이스부재의 양측에 상기 원판을 배치하여 상기 베이스부재와 상기 원판의 사이에 제1진공챔버를 형성하고, 상기 원판의 외측에 1쌍의 투명플레이트를 배치하여 상기 원판의 투명플레이트의 사이에 제2진공챔버를 형성하고, 그 내압을 저감시키기 위해 제1 및 제2진공챔버의 내부공기를 배출하고, 상기 제2진공챔버에서만 진공상태를 해제하여 원판을 베이스부재에 밀착시키고, 상기 투명플레이트를 향해 그 외측으로부터 노광용 광을 조사하는 단계로 구성된 진공밀착인화방법을 제공한다.

상기한 특징의 본 발명에 따르면, 원판을 극히 짧은 시간에 원하는 상태로 베이스부재에 밀착시킬 수 있고, 노광장치에서의 원판밀착장치에 부가한 보조원판밀착장치의 배치는 원판밀착장치의 위치정밀도에 불리한 영향을 주지 않으면서 원판교환시간을 훨씬 단축시킬 수 있으며, 각 원판의 상대적인 위치결정도 효과적으로 행할 수 있다. 따라서, 원판인화동작을 개선된 조건하에서 높은 정밀도로 행할 수 있다.

다음에, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

1. 진공밀착인화장치의 실시예

1-1. 기본구성

먼저, 본 발명에 따른 진공밀착인화장치의 일실시예에 대해 제1도 및 제2도를 참조하여 설명한다. 여기서, 참조부호(11)은 감광성 재료가 도포된 노광대상의 감광성 베이스부재를 나타내고, (12)는 예컨대 상기 감광성 베이스부재(11)의 표면에 전사될 소정의 화상패턴이 묘화된 유리판으로 이루어진 원판을 나타낸다. 상기 감광성 베이스부재(11)는 예를 들면 강철, 금속판 또는 이와 유사한 재료로 이루어진다. 상기 원판(12,12)은 진공흡출홈(14,14)에 의한 진공흡출상태로 1쌍의 프레임부재(13,13)에 지지된다. 패킹(15,15)은 원판(12,12)의 외측에서 1쌍의 프레임부재(13,13)의 대향면에 부착된다. 또, 제1진공챔버(16)는 원판(12)과 프레임부재(13) 및 패킹(15)에 의해 형성되고, 상기 패킹(15)은 연질(軟質)의 재료로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 패킹(15)이 경질(硬質)의 재료로 이루어지는 경우 그 패킹(15)은 진공밀착과정에서 협착되기 어려우므로 원판에 대해 상호 밀착되는 것이 어렵게 되고, 더욱이 이 경우 제1도에 도시된 바와 같은 감광성 베이스부재(11)가 패킹(15)에 접촉되지 않는 부분과 제2도에 도시된 바와 같은 베이스부재(11)와 패킹(16)이 접촉된 부분 사이에 형성된 간극을 통해 진공누설이 초래되는 경우가 발생될 수 있다.

테이프, 금속플레이트 또는 종이 등으로 이루어진 스페이서(17)가 도시된 바와 같이 원판(12,12)의 상단부 및 하단부 사이에 배치되고, 이 스페이서(17)는 예컨대 공기유출로를 확보하기 위해 약 20mm의 피치로 원판(12,12)의 단면에 부분적으로 부착되고, 또 이 스페이서(17)의 두께는 삽입된 감광성 베이스부재(11)의 두께보다 약간 두껍게 결정되며, 원판이 진공밀착으로 감광성 베이스부재(11)에 의해 압착되는 경우 원판(12)을 굴절시킴으로써 원판(12,12)이 감광성 베이스부재(11)와의 사이에서 실제적으로 간극이 없이 밀착되도록 한다. 이와 같이 스페이서(17)를 배치하는 이유를 다음에 설명한다.

프레임부재(13,13)의 외측에는 제2진공챔버(19,19)가 형성되고, 이러한 목적으로 유리 또는 수지플레이트 등으로 이루어진 투명플레이트(20,20)를 볼트수단 또는 시판되는 원터치 클램프부재에 의해 원판(12,12)과 나란하게 프레임(13,13)에 부착한다. 또, 공기 밀봉상태를 유지하도록 패킹(21)이 프레임부재(13)와 투명플레이트(20) 사이에 배치된다. 상기 제2진공챔버(19,19)는 원판(12,12)과 투명플레이트(20,20) 사이에 형성된다.

노광용 광원(22,22)이 투명플레이트(20,20)의 외측에 떨어져 배치되고, 이 각 광원(22)은 원판(12)상의 화상을 인화하기 위한 노광용 광을 투명플레이트(20)를 통하여 상기 감광성 베이스부재(11)에 조사한다. 이 노광용 광원으로는 통상의 광원을 사용할 수 있으며, 예컨대 감광성 베이스부재(11)상에 도포된 감광제가 약 300∼500nm 파장의 광에 의해 감광되는 경우에는 주로 자외선 영역의 파장영역(약 400nm이하)을 갖는 광을 포함하는 노광용 광을 조사하기 위한 초고압수은램프가 광원으로서 사용될 수 있고, 또는 주로 자외선영역 이외의 긴 파장의 광을 포함하는 노광용 광을 조사하기 위한 할로겐화 금속램프가 광원으로서 사용될 수도 있다. 할로겐화 금속램프가 광원으로 사용되는 경우에는 이리듐(iridium)을 포함하는 할로겐화 금속램프를 사용하는 것이 좋고, 이리듐이 포함되는 경우 약 450nm 파장의 광이 발생되며, 이 광은 투명한 아크릴플레이트(20)에 의해 차단되지 않게 되어 감광성재료의 감광에 적합하게 된다.

상기 투명플레이트(20)는 노광용 광을 통과시킬 수 있는 재료로 구성되어, 예컨대 노광을 위해 자외선을 사용하는 경우 자외선투과성을 갖는 유리판 또는 아크릴플레이트와 같은 수지플레이트가 투명플레이트(20)로서 사용될 수 있다. 이에 대해, 자외선보다 큰 파장의 광을 사용하는 경우에는 그러한 파장의 광을 통과시키는 재료가 사용될 수 있다. 내구성을 고려하면 유리판이 아닌 아크릴플레이트와 같은 수지플레이트를 사용하는 것이 바람직하지만 통상 수지플레이트는 일반적으로 자외선흡수성을 가지고 있다. 따라서, 자외선 영역보다 큰 파장의 광을 포함하는 노광용 광을 조사하는 할로겐화 금속램프를 사용하는 경우에는 자외선흡수성을 갖는 아크릴수지플레이트가 사용될 수 있다. 또, 노광용 광원(22)의 강도는 투명플레이트(50)의 투과성과 감광성 베이스부재의 감광도에 따라 선택된다.

제1 및 제5진공챔버(16,19)에 대해서는 내부공기를 배출하여 진공챔버의 내압을 감소시키기 위한 진공장치(23)가 접속되고, 이 진공장치(23)는 제1진공챔버(16)에 대해 개구된 진공포트(24a)에 접속된 제1진공덕트(24)와, 제2진공챔버(19)에 대해 개구된 진공포트(26a)에 접속된 제2진공덕트(26)와, 밸브를 통해 각각 제1 및 제2진공덕트(24,26)에 접속된 도시되지 않은 진공펌프와 같은 진공원으로 구성되고, 상기 진공원은 제1 및 제2진공챔버(16,19)내의 공기를 흡출하여 그 내부를 진공상태로 만드는 작용을 한다. 상기 제1 및 제2진공덕트(24, 26)에는 각각 진공상태를 해제하기 위한 밸브(24b, 26b)가 배설되고, 이들 진공덕트(24,26)는 체크밸브(27)와 덕트(28a,28b)를 통해 서로 연통된다. 체크밸브(27)를 배설하여 공기류가 제1진공챔버(16)로부터 제2진공챔버(19,19)를 향해 흐를 수 있도록 하는 동시에 역류를 방지한다. 이러한 체크밸브(27)의 배치는 제2진공챔버(19,19)의 내압의 증가를 방지하고, 제1진공챔버(16)의 내압이 패킹(15)을 통해 우발적으로 진공이 누설되어 증가되더라도 제2진공챔버(19)측에 압착됨으로써 원판이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

체크밸브(27)는 덕트(28a,28b)에 접속된 투명한 아크릴재료로 이루어진 박스(27a)와 제1진공챔버(16)에 접속된 덕트(28a)를 폐쇄하는 부분에 배치된 아크릴플레이트(27b)와, 이 아크릴플레이트(27b)에 힘을 가하는 스프링(27c)으로 구성된다. 제2진공챔버(19)의 진공도가 제1진공챔버(16)의 진공도보다 큰 경우 상기 아크릴플레이트(27b)는 화살표방향으로 힘이 가해져 통로를 개방시키고, 이에 따라 제1 및 제2진공챔버(16,19)의 내압이 같아지게 된다. 아크릴플레이트(27b)가 화살표방향으로 힘이 가해지는 경우 그 아크릴플레이트(27b)는 부세력이 아크릴플레이트(27b)의 중량을 넘을 때까지 덕트(28a)를 폐쇄하는 위치에 유지시켜 미소한 압력차가 발생된다. 바람직하게는 이 압력차는 스프링(27c)이 가능한한 미소한 부세력을 갖도록 가능한한 작게한다. 원판(12)의 강성(剛性)에 따르는 부세력을 갖는 스프링(27c)을 선택할 수 있다.

1쌍의 프레임부재(13,13)는 왕복이동가능하도록 수평으로 배치된 베드(30)상에 배치되고, 상세하게는 레일(31)이 베드(30)상에 부착되며, 각 프레임부재(13)에 고정된 레일종동부(32)가 레일(31)에 따라 슬라이드 이동한다. 또한, 각 프레임부재(13,13)에 대응하는 도시되지 않은 2개의 볼스크류가 베드(30)상에 장착되고, 이 볼스크류에 각각 결합된 도시되지 않은 스크류종동부는 프레임부재(13,13)에 부착된다. 이러한 구성에 따르면, 도시되지 않은 2개의 볼스크류가 전기모터에 의해 구동되는 경우 스크류종동부에 접속된 프레임부재(13,13)가 제1도 또는 제2도에 도시된 바와 같이 폐쇄위치 및 좌우 대칭인 개방위치로 이동된다.

제2도에 있어서, 양 프레임부재(13,13)의 외측에는 감광성 베이스부재(11)를 가이드하기 위한 가이드롤러(36,37)와, 축주위에 감광성 베이스부재(11)가 감겨 있는 공급드럼(38)이 장착된 회전축(39)과 감광성 베이스부재를 감기 위한 수용드럼(40)이 장착된 회전축(41)이 배치된다. 또, 공급드럼(38)에 대한 회전축(39)에는 도시되지 않은 브레이크수단이 접속되고, 수용드럼(40)에 대한 회전축(41)에는 감속장치를 통해 도시되지 않은 전기 모터가 접속된다. 이러한 구성에 따르면 감광성 베이스부재(11)가 소정 길이만큼 이송될 수 있다.

상기한 바와 같이 본 발명의 제1실시예에 따른 진공밀착인화장치는 1쌍의 프레임부재(13,13)와, 1쌍의 투명플레이트(20,20)와, 진공장치(23)와, 1쌍의 광원(22,22)으로 구성되고, 또 본 발명의 제2 및 제3실시예로서 다음에 상세하게 설명하는 원판밀착장치는 1쌍의 프레임부재(13,13)와, 1쌍의 투명플레이트(20,20)와, 진공장치(23)로 구성된다.

1-2. 기본동작

상기한 구성의 진공밀착인화장치를 사용하여 원판상에 형성된 화상을 감광성 베이스부재상에 인화하기 위한 인화처리에 대해 다음에 상세하게 설명한다.

먼저, 감광성 베이스부재(11)가 감겨 있는 공급드럼(38)과 수용드럼(40)이 프레임부재(13,13)가 개방된 상태로 대응하는 회전축(39,41)에 고정되고, 이어서 감광성 베이스부재(11)가 공급드럼(38)으로부터 풀려져서 가이드롤러(36)와 후속의 가이드롤러(37)에 의해 프레임부재(13,13)를 통해 평평한 상태로 수용드럼(60)의 주위에 감겨진다.

감광성 베이스부재(11)를 평평한 상태로 설정한 다음 제1도에 도시된 바와 같이 1쌍의 원판(12,12)이 상부 및 하부스페이서(17)에 의해 결정된 소정 위치에 지지되도록 프레임부재(13,13)가 폐쇄되고, 이때 1쌍의 원판(12,12)에 의해 형성된 제1진공챔버(16)의 주변에지가 패킹(15,16)의 상호접속 및 패킹(16)과 감광성 베이스부재(11) 사이의 밀착에 의해 폐쇄된다.

이어서, 진공덕트(24,26)를 통하여 진공흡출동작이 행해지고, 제1 및 제2진공챔버(16,19,19)내의 압력을 감소시켜서 제1 및 제2진공챔버(16,19,19)내에서 진공상태를 만든다. 이러한 동작중에 대기압은 제1도에 도시된 바와 같이 투명플레이트(20,20)의 외면에 작용하게 되나, 제2진공챔버(19,19)가 존재하므로 원판(12,12)의 외면에는 작용하지 않게 된다. 따라서, 원판(12,12)이 감광성 베이스부재(11)에 대해 즉시 압착되지 않으므로, 원판(12)과 감광성 베이스부재(11) 사이의 공간에 존재하는 공기가 신속하게 배출될 수 있다.

제1 및 제2진공챔버(16,19,19)내의 진공도 즉 압력감소 정도가 소정치에 도달한 다음 제1진공챔버(16)에는 진공상태가 유지되고, 제2진공챔버(19,19)의 진공상태는 해제되므로, 제2진공챔버(19,19)의 내압이 증가되어 압력이 제1도에 화살표로 도시된 바와 같이 원판(12,12)의 외면에 가해지고, 이에 따라 원판(12,12)이 감광성 베이스부재(11)의 전체면에 밀착하게 된다. 제2진공챔버(19,19)의 내압이 대기압과 동등하게 된 다음 광원(22,22)이 점등되어 투명플레이트(20,20)를 통하여 노광이 수행된다.

후속단계에서 제1진공챔버(16)의 진공상태가 해제되고, 원판(12,12)에 고정된 프레임부재(13,13)가 개방되며, 수용드럼(41)이 회전되어 감광성 베이스부재(11)를 소정길이만큼 감게 된다. 이어서, 감광성 베이스부재(11)가 후속의 노광을 위해 소정길이만큼 원판(12,12) 사이에 이송되고, 이후 프레임부재(13,13)가 다시 폐쇄된다. 이러한 동작은 연속적으로 수행되어 연속적인 밀착인화처리가 행해진다.

상기한 바와 같이 제1 및 제2진공챔버(16,19,19)의 내부가 소정의 진공도를 이루도록 흡출되는 경우 원판(12,12)과 감광성 베이스부재(11)사이의 공간내의 공기도 흡출되므로 공기가 국부적으로 잔류하지 않게 되고, 원판(12,12)은 제2진공챔버(19,19)의 진공상태를 해제시키는 동시에 원판(12,12)의 외면에 대해 대기압이 가해짐으로써 감광성 베이스부재(11)에 확실하게 접촉될 수 있다. 따라서, 원하는 밀착상태를 얻기 위한 시간은 대제로 제1 및 제2진공챔버내의 공기를 원하는 진공상태까지 배출하는데 필요한 시간으로 결정되고, 이 시간은 기본적으로 진공펌프의 능력과, 제1 및 제2진공챔버의 용적과, 진공덕트의 저항에 의해 결정되므로, 상기 시간은 진공펌프의 배기성능의 증대 및 진공덕트의 직경의 확장에 의해 단축시킬 수 있다.

제2진공챔버(19,19)의 진공상태를 살펴보면, 제1진공챔버(16)에 비해 약 1∼2초의 지연시간을 갖고 진공상태를 이룰 수 있고, 진공상태를 만들기 위한 시간지연에 의해 원판이 제2진공챔버측을 향해 흡인됨에 의한 손상을 확실하게 방지할 수 있다.

이에 대해, 처음에 설명한 특성의 종래 장치에 따르면, 원판의 주변에지가 먼저 감광성 베이스부재에 밀착되고, 그에 따라 내부에 포함된 공기가 외부로 배출되기 어렵게 되므로, 우수한 펌핑능력을 갖는 진공펌프를 사용해도 동작시간이 바람직하게 단축될 수 없게 된다.

또, 상기한 제1실시예에서는 스페이서(17)가 1쌍의 원판(12,12) 사이에 배치되는데, 이들 스페이서(17)는 항상 필요하지는 않지만 이들 스페이서(17)의 배치에 의해 다음의 유리한 효과를 얻을 수 있다. 즉, 프레임부재(13,13)가 폐쇄되고, 진공챔버(16,19,19)가 진공흡출되는 경우 스페이서(17)의 배치에 의해 원판(12,12)사이의 공간이 일정하게 유지되며, 제1도에 도시된 바와 같이 대기압이 프레임부재(13,13)의 외면과 투명플레이트(20,20)에 작용하는 경우에도 원판이 감광성 베이스부재(11)에 밀착되지 않도록 할 수 있고, 이에 따라 원판과 감광성 베이스부재 사이의 공기가 신속하게 배출될 수 있다. 또한, 그 사이에는 미소한 간극이 존재하므로 진공챔버(16,19)내의 진공도가 비교적 작다 하더라도 양호한 접촉상태가 달성될 수 있다. 한편, 스페이서(17)가 존재하지 않는 경우에 제4도에 도시된 바와 같이 제1 및 제2진공챔버(16,19,19)가 진공흡출되면 1쌍의 프레임부재(13,13)는 대기압에 의해 내측으로 가압되고, 원판(12,12)은 감광성 베이스부재(11)의 단부(11A)에 대해 접촉되며, 이에 따라 그 중앙부분 근방에는 큰 간극(43)이 생기게 된다. 이 때문에, 간극(43)내의 공기의 흡출시간이 약간 지연된다. 또, 그러한 큰 간극이 형성되는 경우에, 부적합한 진공흡출동작에 의해 공기의 상당량이 제1진공챔버(16)에 잔류하면 그 간극(43)내의 잔여공기는 제2진공챔버(19,19)의 내압이 다시 대기압으로 되고, 원판(12,12)이 감광성 베이스부재(11)에 밀접되는 시점에서 제거된다. 이 결과, 제1진공챔버(16)의 내압이 증가되어 부적절한 밀착상태가 발생된다. 이에 대해, 이러한 관점에서 제1도에 도시된 바와같이 스페이서(17)가 배치되는 경우 원판(12,12)은 감광성 베이스부재(11)의 단부에 결코 접촉하지 않게 된다. 그러므로, 원판은 굴절되지 않고, 그 원판(12,12)과 감광성 베이스재료(11)사이의 간극이 미소하므로 진공동작이 완료되지 않아 소량의 공기가 잔존하더라도 부적절한 밀착상태가 거의 발생되지 않게 된다.

즉, 원하는 밀착상태는 제1진공챔버(16)의 상당히 높은 진공도가 아니더라도 스페이서(17)의 배치에 의해 달성될 수 있다. 실험상 스페이서(17)의 배치에 의해 제1 및 제2진공챔버의 진공도가 약 -680mmHg 이상의 값으로 될 때에 제2진공챔버의 내압이 다시 대기압으로 됨으로써 충분한 밀착상태를 얻을 수 있다.

1-3. 효과

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 진공밀착인화장치에 따르면 원판(12,12) 사이에 형성된 제1진공챔버(16)의 외측에 투명플레이트(20,20)를 배치함으로써 제2진공챔버(19,19)가 형성되고, 제1 및 제2진공챔버가 모두 진공흡출된다. 따라서, 감광성 베이스부재(11)가 원판(12,12) 사이에 배치되어 상호 밀착되는 경우 원판(12,12)사이에 형성된 제1진공챔버(16)의 내부와 제1진공챔버의 외측에 형성된 제2진공챔버(19,19)의 내부가 동시에 흡출되고, 이후 제2진공챔버(19)의 진공상태가 해제됨에 따라 감광성 베이스부재(11)에 대한 원판(12,12)의 양호한 밀착상태가 얻어지므로 원판(12)과 감광성 베이스부재(11)에 대해 표면을 거칠게 하는 처리가 필요하지 않으며, 이에 따라 상당히 짧은 시간에 원판이 감광성 베이스부재에 효과적으로 밀착된다.

예시된 실시예에 도시된 바와 같이, 1쌍의 원판(12,12) 사이에 감광성 베이스부재(11)보다 약간 큰 두께를 갖는 스페이서(17)를 배치함으로써 제1 및 제2진공챔버(16,19,19)에 대한 진공흡출동작에서 감광성 베이스부재(11)의 단부에 대해 가압되도록 하여 원판의 변형이 방지된다. 또, 원판과 감광성 베이스부재 사이의 공간의 공기는 원활하면서 신속하게 배출될 수 있고, 또한 그 원판과 감광성 베이스부재 사이의 간극이 없으므로 밀착의 결함을 확실하게 방지할 수 있다.

그리고, 제1 및 제2진공챔버(16,19)내의 공기를 흡출하기 위해 제1 및 제2덕트(24,26) 사이에 체크밸브(27)가 배치되며, 또한 이 체크밸브(27)는 공기가 제1진공챔버(16)로부터 제2진공챔버(19,19)를 향해 흐를 수는 있지만 역류는 방지한다. 이 체크밸브(27)를 배치함으로써 제2진공챔버(19,19)의 내압증가를 방지할 수 있게 되며, 제1진공챔버(16)의 내압이 제2진공챔버(19)보다 큰 값으로 증가되더라도 제2진공챔버(19)측으로의 가압에 의한 원판의 손상을 방지할 수 있다.

그러나, 제17도에 도시된 바와 같이 베드(30)상의 1쌍의 프레임부재(13,13)가 감광성 베이스부재(11)에 향하는 방향으로 이동함으로써 원판(12,12)이 감광성 베이스부재(11)에 향해 이동하여 그 양면에 밀착되는 경우 제2진공챔버(19)가 프레임부재(13,13)사이의 패킹(15,15)에 의해 밀봉 형성되고, 그후에 진공흡출동작이 수행되며, 이와 같이 제2진공챔버(19)가 패킹(15,15)의 밀착에 의해 형성된다. 이러한 상태에서 원판(12,12)은 감광성 베이스부재(11)에 밀착되지 않게 됨에 따라 프레임부재(13,13)는 감광성 베이스부재에 밀착될 때까지 그 감광성 베이스부재(11)에 향해 더 이동된다. 이러한 과정중에 프레임부재(13,13)사이에는 미소한 간극이 존재하게 되고, 원판(12,12)사이에 존재하는 공기가 압축된다. 이 점을 고려하여, 제17도에 도시된 바와 같이 진공덕트(24)에는 일단에 체크밸브(70)가 배치된 분기파이프(75)가 고정되고, 상기 체크밸브(70)는 원판(12,12) 사이의 간극내의 압축공기가 배출되도록 작용한다. 이러한 경우에 제2진공챔버(19)의 진공상태의 생성은 보다 신속하게 수행될 수 있다. 상기 체크밸브(70)는 아크릴재료로 이루어지며, 개구부(72)가 있는 박스(71)와, 분기파이프(75)를 폐쇄하는 부분에 배치된 아크릴플레이트(73)와, 이 아크릴플레이트(73)에 힘을 가하기 위한 스프링(74)으로 구성되고, 여기서 상기 체크밸브(70)와 전자(電磁)밸브(80)가 함께 사용될 수 있으며, 또는 그중 하나의 밸브가 사용될 수도 있다.

1-4. 기타의 실시예

1-4-1. 다른 실시예 1

제5도는 본 발명에 따른 진공밀착인화장치의 다른 실시예를 나타내고, 여기서 제1도에 도시된 투명플레이트(20,20)에 대해 아크릴프레스넬렌즈(50,50)가 배치되며, 1쌍의 점광원(52,52)이 광원용으로 배치되고, 다른 구성 및 부재의 배치는 제1도에 도시된 실시예와 대체로 동일하게 되어 있다.

제5도의 실시예에 따르면, 점광원(52,52)으로부터 발광된 광이 프레스넬렌즈(50,50)에 입사된 다음 θ 각으로 반사되고, 이후 평행광으로서 원판(12,12)상에 조사된다. 일반적인 사항으로서 노광이 평행광에 의해 수행되는 경우 원판상에 형성된 상은 원판과 감광성 베이스부재 사이의 간극의 존재시에 고정밀도로 감광성 베이스부재상에 인화될 수 있음이 실험에 의해 밝혀졌다. 따라서, 원판상의 상이 정교하게 인화될 수 있다.

1-4-2. 다른 실시예 2

제6도는 본 발명에 따른 진공밀착인화장치의 또 다른 실시예를 나타낸다. 여기서 제1도의 진공밀착인화장치에 대해 1쌍의 투명플레이트(54,54)에 대해 렌즈(56a,56b)가 더 구비되어 있다. 즉, 1쌍의 원판(12,12)에 대해 레지스터마크(55,55)가 배설되어 수 ㎛ 정도로 원판의 위치레지스터링을 행한다. 따라서, 이 마크(55,55)는 각각 정밀한 형상을 갖게 된다. 이러한 마크(55,55)를 배설하면 투명플레이트(54,54)중 어느 하나에 대한 렌즈(56a,56b)중 어느 하나에 대해 배설된 마크(55,55)중의 하나가 확대되어 눈(57)을 통해 가시적으로 관찰하여 원판(12,12)이 정교하게 위치결정된다. 렌즈(56a,56b)는 투명플레이트(54)의 일부를 가공하거나 그 투명플레이트(14)에 별개의 삽입된 랜즈에 의해 구성될 수 있고, 상기 마크(55,55)는 눈(57) 대신 카메라에 의해 관측할 수 있다.

2. 노광장치의 실시예

2-1. 기본구성

상기 제1실시예의 진공밀착인화장치가 적용된 본 발명에 따른 노광장치에 대하여 다음에 설명한다.

제7도는 본 발명에 따른 노광장치의 개략적인 단면도이고, 제8도는 그 평면도로서, 제7도 및 제8도에 있어서, 참조부호 (101)는 양면에 감광제가 도포된 길다란 베이스부재를 나타내고, 이 베이스부재(101)는 이송수단으로서의 공급드럼(145)과 수용드럼(146)을 포함하는 베이스부재 콘베이어에 의해 감광제 도포면이 수직으로 되도록 하여 소정의 노광위치를 통해 수평으로 단속적으로 이송된다. 상기 베이스부재(101)의 이송로에 따르는 노광위치에는 복수의 원판밀착장치(102)가 배치되고, 각 원판밀착장치(102)는 베이스(103)와 이 베이스(103)상에 배치된 1쌍의 프레임부재(104)와, 상기 베이스부재(101)와 대향되도록 프레임부재(104)에 부착된 1쌍의 원판(105)과, 이 원판(101)이 베이스부재(101)에 접촉되는 위치와 상기 베이스부재(101)로부터 떨어진 위치를 취하도록 상기 프레임부재(104)를 개폐하기 위한 도시되지 않은 개폐장치와 각 원판(105)을 베이스부재(101)에 진공밀착시키기 위한 도시되지 않은 진공밀착장치로 구성된다.

또, 각 원판밀착장치(102)의 원판(105)의 외측에는 복수의 노광용 광원(107)이 배치되고, 이 노광용 광원(107)은 통상 노광장치가 설치되는 실내의 천정에 위치상 적합한 형태로 고정되지만 각각 원판밀착장치(102)에 고정될 수도 있다.

또, 도면에 있어서, 참조부호(108)은 베이스부재(101)의 하방부분에서 이에 나란하게 실내의 플로어에 형성된 피트(pit)를 나타내고, 참조부호(109)는 각 원판밀착장치(109)에 대응하여 배치되어 각 원판밀착장치(105)를 지지하기 위한 승강장치를 나타내고, 이 승강장치(109)는 제7도에서 실선으로 나타낸 바와 같이 원판(105)이 베이스부재(101)에 대향되는 노광위치와 그 노광위치 아래의 교환위치로 대응하는 원판밀착장치(102)를 승강시키는 작용을 한다. 또, 이 승강장치(109)에는 대차(臺車)(110)와 이 대차(110)에 수직으로 지지되는 유압 또는 공기실린더(111) 및 이 실린더(111)의 상단부에 장착된 지지테이블(112)이 설치된다. 이러한 구성에 따르면 원판밀착장치(102)가 도시된 상부위치와 그 교환위치를 취하는 2점쇄선에 의해 표시된 플로어면과 거의 같은 높이로 되는 하부위치로 승강된다. 또, 확장링크장치와 이 확장장치와 실린더수단의 결합장치가 지지테이블승강장치로서 사용될 수 있다.

그리고, 휠(115,116)이 대차(110)의 양측에 고정되고, 이 휠(115,116)이 회동되는 레일(118,119)은 베이스부재(101)의 이동방향과 나란하게 피트의 저면(117)상에 설치된다. 상기 휠(115,116)과 레일(118,119)은 대차(110)상에 설치된 지지테이블(112)상에 지지되는 원판밀착장치(102)의 중량을 지지하기에 충분한 강성을 갖는다. 또 하나의 휠(115 또는 116)에 대해서는 휠의 레일로부터의 이탈을 방지하기 위해 플랜지부를 설치하는 것이 바람직하고, 이 플랜지부의 설치에 의해 레일에 따르는 휠의 일정하지 않은 회동도 방지되어 베이스부재(101)와 원판밀착장치(102) 사이의 위치 관계를 확실히 한다. 또, 상기 휠(115,116)은 감속장치를 통해 도시되지 않은 전기모터에 접속되고, 이에 따라 모터가 구동되면, 대차(110)가 베이스부재(101)에 대략 나란한 방향으로 레일에 따라 이동될 수 있고, 베이스부재(101)의 이동방향과 나란한 방향으로 대차(110)를 이동시키기 위한 장치는 원판밀착장치(102)의 피치조정에 따라서 노출대상의 화상패턴의 사이즈에 적합하도록 설치된다.

깊이가 얕은 피트(122)는 중앙피트(108)와 나란히 승강장치의 양측의 플로어(113)에 형성되고, 레일(124,125)은 피트(122)의 저면에 배치되어 각각 베이스부재(101)와 나란히 보조원판밀착장치를 이동시키는 이동장치를 지지한다. 상기 이동장치(121)에는 레일(124,125)과 계합되는 휠(126,127)이 구비된 대차(128)가 설치된다.

상기 대차(128)에는 원판밀착장치(102)를 지지하기에 충분한 사이즈를 가지면서 플로어(113)면과 동일한 높이로 배열된 지지면(128A)이 제공되고, 또 대차(128)에는 감속장치와 휠(126,127)을 구동시켜 그 대차(128)가 자체 이동하도록 도시되지 않은 전기모터가 설치된다. 따라서, 대차(128)는 노광위치에 위치된 원판밀착장치(102)중의 어느 한쪽으로 이동할 수 있게 된다. 상기 레일(124,125)과 휠(126,127)은 승강장치(109)용 레일(118,119) 및 휠(115,116)과 대략 동일한 구성을 갖는다.

상기 승강장치(109)의 양측에 배치된 하나의 대차(128)에는 보조원판밀착장치(102')가 장착되고, 이 보조원판밀착장치(102')는 중앙의 승강장치(109)에 의해 지지되는 원판밀착장치(102)와 대략 동일한 구성을 갖는다.

각 원판밀착장치(102)와 보조원판밀착장치(102')에는 승강장치에 의해 지지되는 원판밀착장치를 그 상부지지로부터 수평으로 이동시키고, 보조원판밀착장치를 그 승강장치로 이동시키기 위한 구동장치(131)가 설치되며, 이 구동장치(131)는 휠(132)과, 감속장치와 휠(132)을 구동하기 위한 도시되지 않은 모터로 구성되고, 상기 휠(132)에는 그 휠이 플로어상에서 자유롭게 이동될 수 있도록 플랜지부를 배설하지 않는다. 따라서, 원판밀착장치(102)는 승강장치(109)의 지지테이블로부터 플로어(113) 또는 대차(128)상으로 이동될 수 있거나 그 반대로 이동될 수 있다. 그리고, 지지테이블(112)과 플로어(113) 사이 및 플로어(113)와 대차(128) 사이에는 미소한 간극이 존재하므로 원판밀착장치(102)가 원활하게 이동될 수 있다.

변형예에서는 승강장치로부터 원판밀착장치를 수평으로 이동시키고, 보조원판밀착장치를 승강장치상으로 이동시키기 위한 원판밀착장치 구동장치가 원판밀착장치 자체에 대해 설치되는 것에 제한되지 않고, 구동장치는 원판밀착장치(102 또는 102')를 밀거나 당김으로서 이동시키도록 별체로 배치될 수 있다.

또, 원판밀착장치(102)와 승강장치(109)에 대해서는 원판밀착장치를 승강장치상의 소정부분에 고정시키기 위해 고정 장치(134)가 설치되고, 이 고정 장치(134)는 원판밀착장치(102)의 베이스의 하면 아래에 배치된 요(凹)블록(135)과 평블록(136), 승강장치(109)의 지지테이블(112)상에 배치된 철(凸)블록(137)과 평블록(138) 및 이들 블록(137,138)을 승강시키기 위한 유압 또는 공기실린더로 구성된다. 도시된 바와 같이 원판밀착장치(102)가 지지테이블(112)상에 장착된 경우 상기 블록(137,138)은 각각 원판밀착장치(102)측상의 블록(135,136)과 결합되어 이동이 불가능하도록 고정된다. 또, 원판밀착장치(102)가 이동되는 경우 고정장치(134)는 원판밀착장치(102)의 이동을 방해하지 않는 위치까지 하강되고, 블록(137,138)이 원판밀착장치(102)용 휠(132)의 이동을 방해하지 않는 위치에 배치된다.

참조부호(140)은 승강장치(109)의 승강, 레일(118,119)에 따르는 승강장치(109)의 이동동작, 구동장치(131)에 의한 원판밀착장치(102 또는 102')의 이동동작 및 고정장치(134)의 고정 또는 해제동작을 제어하기 위한 제어유니트를 나타내고, 이 제어유니트(140)에는 후술하는 동작을 실행하기 위한 프로그램이 설정되어, 각 장치와 메카니즘의 동작의 개시 및 종료가 도시되지 않은 광검출기와 같은 검출기로부터 발생되는 신호에 의해 치리된다.

2-2. 기본동작

제7도와 제8도에 도시된 노광장치는 다음과 같이 동작한다.

제7도와 제8도에 있어서, 복수의 승강장치(109)는 각각 그 승강장치(109)에 의해 지지되는 원판밀착장치(102)가 원판(106)의 화상패턴에 대응하는 피치로 설정되는 위치에서 정지되어 원판(105)이 감광성 베이스부재(101)와 대향되는 제7도에 도시된 노광위치에 원판밀착장치(102)를 지지한다. 감광성 베이스부재(101)는 단속적으로 이송되고, 이 감광성 베이스부재의 정지시간에 각 원판밀착장치(102)의 원판(105)은 감광성 베이스부재(101)에 밀착된다. 노광후, 원판(105)은 감광성 베이스부재(101)로부터 떨어지고, 이어서 그 감광성 베이스부재(101)는 소정 길이 만큼 이송된다. 이러한 동작은 연속적으로 실행되며, 한 공정에서 복수의 원판(105)이 인화된다.

이러한 동작중에 각 원판밀착장치의 노광회수가 제어유니트(140)의 도시되지 않은 노광카운터에 의해 카운트된다.

또, 보조원판밀착장치(102')가 원판밀착장치(102)의 양측에 배치된 이동장치(121)중의 하나에 장착되므로 새로운 원판이 선택된 보조원판밀착장치(102')에 설정되고, 그 원판은 상호 위치결정 뵌다. 이 동작은 노광동작에 관계없이 노광동작과 동시에 수행된다. 도면에 도시되지는 않았지만 보조원판밀착장치(102')에 대한 노광을 행하기 위한 광원은 원판과 노광상태의 접점을 예비적으로 행하기 위해 필요한 요구에 따라 노광에 적절한 부분에 배치된다.

또한, 제어유니트(140)가 작용하여 다음의 원판교환을 위해 노광위치에서의 노광동작시에 현재의 복수의 원판밀착장치 중의 하나를 검출하고, 이동장치(131)는 다음의 원판교환을 위해 원판밀착장치(102)의 양측으로 이동된다. 제8도의 예시에 있어서, 이를 위해 좌측 원판밀착장치(102)의 원판이 교환되는 것으로 가정하는 경우, 비어 있는 이동장치(121)와 보조원판밀착장치(102')가 장착된 이동장치는 좌측 원판밀착장치(102)의 옆으로 위치 결정되어 정지된다. 이러한 위치결정동작은 각 위치에 대해 배치된 광검출기에 의해 실행될 수 있다.

원판밀착장치의 필요한 노광회수가 완료된 후, 이 실행은 제어유니트(140)의 노광카운터에 의해 확인되고, 이어서 지지테이블(112)이 승강장치(109)의 동작에 의해 플로어(113)와 동일한 높이로 배열된 교환위치까지 하강되고, 이 상황은 플로어(113) 높이의 표면상에 배치된 광검출기에 의해 검출된다. 이어서, 원판밀착장치(102)의 프레임부재(104)가 폐쇄되고, 이와 동시에 고정 장치(134)의 하부의 블록(137,138)이 하강되어 원판밀착장치(102)의 고정을 해제한다. 이러한 원판밀착장치(108)의 해제는 리미트스위치에 의해 검출되므로 원판밀착장치(102)용 휠구동모터가 동작한다. 이러한 일련의 동작에 따르면, 휠(132)이 회전되어 원판밀착장치를 지지테이블(112)로부터 비어있는 이동장치(121)상으로 수평이동시키고, 원판밀착장치(102)는 소정위치에 대한 원판밀착장치(102)의 이송을 검출함으로써 비어있는 이동장치(121)상의 소정위치에서 정지된다.

이와 동시에, 반대측에서 대기하고 있는 보조원판밀착장치(102')의 휠구동모터가 동작을 개시하여 보조원판밀착장치(102')가 휠(132)의 회동에 의해 승강장치(109)의 지지테이블(112)상으로 이송되고, 소정위치까지의 이러한 이송은 지지테이블(112)에 배치된 광검출기에 의해 검출되어 그 위치에서 정지된다. 이러한 동작과 일치하여 블록(137,138)이 상방향으로 이동되어 원판밀착장치(102')를 고정시킨 다음 보조원판밀착장치(102')용 프레임부재(104)를 개방시키고, 고정장치(134)의 블록(137,138)의 상방향이동의 한계가 리미트스위치에 의해 검출되는 경우 승강장치(109)도 보조원판밀착장치(102')를 노광이 수행되는 위치로 상승시킨다.

이러한 일련의 동작에 따르면, 노광을 위해 사용되는 주 원판밀착장치(102)가 후속의 노광을 위해 보조원판밀착장치(102')와 교환되고, 교환된 원판밀착장치(102)의 원판은 새로운 원판으로 교환되어 후속동작을 위한 보조원판밀착장치로서 사용된다.

이상에서 설명한 바와 같이 노광을 위해 사용되는 원판밀착장치(102)는 보조원판밀착장치와 연속적으로 교환될 수 있으므로 원판교환동작이 수행되고, 노광을 위해 현재 사용되는 주 원판밀착장치의 교환이 보조원판밀착장치와 원활하면서 신속하게 교횐되므로, 노광장치의 유용성 요인이 결코 저하되지 앓게 되고, 베이스부재의 손실이 실질적으로 방지될 수 있다.

상기한 실시예에서는 보조원판밀착장치(102')가 장착된 이동장치(121)와 비어 있는 이동장치(121)가 교환대상의 원판밀착장치측으로 이동되어 교환동작이 수행되었으나, 역으로 승강장치(109)가 감광성 베이스부재(101)의 이동방향에 따라 이동되어 이동장치(121)가 대기하는 위치에 위치될 수 있도록 함으로써 그 위치에서 교환동작이 수행되게 할 수 있다.

또, 이 실시예의 변형으로서, 감광성 베이스부재(101)의 양측에 하나의 이동장치로 구성한 것 대신에 복수의 이동장치를 이용할 수도 있다.

더욱이, 상기한 실시예에서 노광위치의 현재 원판밀착장치(102)의 교환을 위해 원판밀착장치(102)가 감광성 베이스부재(101) 아래로 하강되어 수평으로 이동되는 구성으로 되어 있으나, 이 실시예의 변형으로서 감광성 베이스부재(101)를 승강시키기 위해 베이스부재 승강장치(190)가 배치되어 그 베이스부재승강장치(190)에 의해 감광성 베이스부재(101)를 승강시킴으로써 원판밀착장치(102)가 수평으로 이동되어 교환될 수 있다. 이러한 실시예의 변형에서는 원판밀착장치 승강장치가 제거될 수 있으면서 원판밀착장치(102)가 대차(110)에 의해 직접 지지되고, 이러한 경우에는 노광용 광원(107)이 원판밀착장치(102)의 수평이동을 방해하지 않는 대기위치로 이동될 수 있거나 원판밀착장치(102)에 의해 직접 지지될 수 있는 구성을 갖게 한다. 또, 베이스부재(101)를 승강시키기 위한 베이스부재 승강장치(190)와 원판밀착장치(102)를 승강시키기 위한 승강장치(109)는 상기한 목적을 위해 함께 사용될 수도 있다.

2-3. 다른 실시예

제9도는 본 발명에 따른 노광장치의 다른 실시예의 개략적인 단면입면도를 나타낸다. 여기서, 베이스부재(151)는 감광성재료가 도포된 베이스부재의 표면이 수평으로 유지되도록 도시되지 않은 베이스부재 이송장치에 의해 소정의 노광위치를 통해 수평으로 이송된다.

제9도에 있어서, 복수의 원판밀착장치(152)가 베이스부재(151)의 이송로에 따라 배치되고, 각 원판밀착장치(152)는 도시된 바와 같이 지지되어 있는 원판(153)에 대해 수직으로 개방될 수 있는 1쌍의 프레임부재(154)와, 그 원판밀착장치의 외측에 배치된 노광용 광원(155)과 콜럼(156)으로 구성된다. 제9도에 있어서, 원판밀착장치(152)는 우측에 콜럼(156)을 가지는 것으로 도시되어 있지만, 실제로는 원판밀착장치(152)의 절반은 도시한 바와 같이 배치되고, 나머지 절반은 콜럼(156)이 보조원판밀착장치(152')와 같이 그 반대측에 배치되어 있다. 이에 대하여 다음에 설명한다.

레일(157,158)이 베이스부재(151)의 이동방향에 나란한 방향으로 그 베이스부재(151)의 아래에 배치되고, 휠(159,160)이 설치된 복수의 대차(161)가 각각 원판밀착장치에 대응하는 위치에서 상기 레일(157,158)상에 위치된다. 또한, 상기 대차(161)들은 이동가능하도록 도시되지 않은 전기모터를 가지고 있다.

또, 레일(163,164)이 베이스부재(151)의 이동방향에 따라 그 베이스부재(151)의 양측에 배치되고, 이동장치(165)가 그 레일상에 이동가능하도록 배치된다. 각 이동장치(165)에는 휠(166,167)과 이 휠을 구동하기 위한 전기모터가 설치된 대차(168)가 설치되고, 이들 대차(161,168)는 플로어(170)와 동일한 레벨로 배치된다. 또, 보조원판밀착장치(152')가 베이스부재(151)의 측부에지에 대향되도록 이동장치(165)상에 배치되고, 이 보조원판밀착장치(152')는 노광위치에 배치된 원판밀착장치(152)와 대략 동일한 구성을 갖는다. 도시된 바와 같이 베이스부재(151)의 좌측에 배치된 이동장치(165)의 보조원판밀착장치(152')에는 좌측에 콜럼(156)이 배치되고, 우측에 배치된 보조원판밀착장치(152')에는 그 우측에 콜럼이 배치된다.

또, 원판밀착장치(152)와 보조원판밀착장치(152')에는 노광위치로부터 원판밀착장치(152)를 수평으로 이송시키고, 보조원판밀착장치(152')를 노광위치로 이송하기 위한 원판밀착장치 구동장치(172)가 설치되며, 각 원판밀착장치 구동장치(172)는 휠(173)과, 이 휠을 구동하기 위한 전기모터와, 도시되지 않은 감속수단으로 구성된다. 또, 상기 대차(161)에는 원판밀착장치(152)를 고정하기 위한 고정장치(174)가 또한 배치되고, 이 고정장치(174)는 제7도에 도시된 것과 대략 동일한 구성을 가지며, 원판밀착장치(152)의 아래에 배치된 요블록(175)과 평블록(176), 대차(161)에 설치된 철블록(177)과 평블록(178)을 갖는다. 또, 상기 고정장치(174)에는 블록(177,178)을 상승시키기 위한 유압 또는 공기 실린더어셈블리가 설치된다. 또, 제9도의 노광장치에는 노광장치의 동작을 제어하기 위한 제어유니트(180)가 설치된다.

제9도의 노광장치는 다음과 같이 동작한다.

먼저, 비어있는 이동장치(166)와 보조원판밀착장치(152')가 장착된 이동장치는 교환대상의 원판밀착장치(152)의 양측으로 이동되어 그 위치에서 정지되고, 도시된 바와 같이 교환대상의 원판밀착장치가 그 우측에 콜럼(156)을 갖고 있는 경우 좌측콜럼이 설치된 보조원판밀착장치(152')가 좌측이동장치(165)에 의해 지지된다. 또, 원판밀착장치가 대향하는 양쪽의 소정위치에서 정지되는 경우 고정장치(174)는 해제되어 원판밀착장치(152)가 구동장치(172)에 의해 우측 이동장치(165)상으로 이동된다.

후속단계에서 좌측 이동장치(161)상에 장착된 보조원판밀착장치(152')는 구동장치(172)에 의해 중앙의 대차(161)상에서 이동되어 고정장치(174)에 의해 소정위치에 고정되므로 원판밀착장치의 교환동작이 완료된다. 우측이동장치(165)상에 이송된 원판밀착장치(152)가 보조원판밀착장치(152')와 같이 취급되고, 새로운 원판의 교환후 노광위치에 배치되어 다음의 사용을 위해 좌측에 콜럼(166)을 갖는 원판밀착장치(152)와 교환하게 된다.

2-4. 효과

상기한 바와 같이 본 발명의 노광장치에 따르면, 베이스부재의 이동방향에 따르는 노광위치에 배치된 원판밀착장치외에 보조원판밀착장치가 배치되고, 노광위치에서의 원판밀착장치가 보조원판밀착장치로 대체되므로, 노광위치에 배치된 원판밀착장치에 대한 통상의 노광시간동안 보조원판밀착장치에 새로운 원판이 설정되어 위치 결정됨에 따라 교환시간이 현저하게 단축된다. 또, 현재 사용중인 원판밀착장치의 원판을 교환하는 경우 원판밀착장치가 노광위치로부터 제거되어 보조원판밀착장치로 용이하게 대체되므로 동작시간도 단축된다.

더욱이, 원판과 노광상태는 원판의 위치결정의 완료후에 노광되도록 보조원판밀착장치를 미리 구성함으로써 용이하게 할 수 있음에 따라 편리하게 된다.

3. 원판밀착장치의 실시예

3-1. 기본구성

상기 실시예에 관련해서 설명한 형태의 노광장치에 대해 사용되는 원판밀착장치의 일실시예에 대해 제10도 내지 제13도에 따라서 다음에 설명한다. 제10도는 본 실시예에 따른 원판밀착장치의 측면도, 제11도는 그 정면도, 제12도는 제1슬라이드장치와 제1프레임부재를 구동하는 장치를 나타내는 평면도, 제13도는 제2슬라이드장치와 제2프레임부재를 구동하는 장치를 나타내는 평면도이다.

제10도에 있어서, 참조부호(216)는 감광성재료가 도포된 노출대상의 베이스부재를 나타내고, 이 베이스부재(215)는 도시되지 않은 적절한 수단에 의해 제10도에 도시된 위치로 이송된다. 이 베이스부재(215)의 일측에는 화상패턴이 묘화된 제1원판(216)이 배치되고, 이 제1원판(216)은 수평으로 접속 연장된 지지테이블(217a)로서 구성된 하단부를 갖춘 제1프레임부재(217)에 의해 지지된다. 참조부호(218)은 베이스부재(215)의 이동방향에 대해 횡방향으로 이동가능하도록 제1프레임부재(217)를 지지하는 제1슬라이드장치(219)가 장착된 베이스테이블을 나타낸다. 상기 베이스부재(215)의 다른측에는 화상패턴이 묘화된 제2원판(220)이 배치되고, 이 제2원판(220)은 제2프레임부재(221)에 의해 지지된다. 참조부호(222)는 상기 베이스부재(215)의 이동방향에 대해 횡방향으로 이동가능하도록 제2프레임부재(221)를 지지하는 제2슬라이드장치를 나타낸다.

상기 제1슬라이드장치(219)는 제12도에 도시된 바와 같이 상기 베이스테이블(218)에 평행으로 배치된 2개의 레일(224,225)과 상기 제1프레임부재(217)에 고정되며, 상기 레일(224,225)과 슬라이드이동이 가능하도록 결합된 레일종동부(226,227)로 구성된다. 상기 레일(224,225)은 위치결정 성능을 증대시키기 위한 목적으로 상호 다른 형상을 갖는다. 즉, 제11도에 도시된 바와 같이 레일중 하나의 레일(224)은 철(凸)형상을 가지며, 레일(224)상에서 슬라이딩하는 레일종동부중 하나의 레일종동부(226)는 상기 레일(224)의 철형상에 대응하는 요(凹)형상을 갖는다. 반면, 레일중 다른 레일(225)은 평면형상을 가지고, 레일종동부중 다른 레일종동부(227)는 상기 레일(225)과 대응하는 평면형상을 가지므로, 레일종동부(227)는 단지 레일(225)상만 위치하게 된다. 이러한 구성은 상기 2개의 레일(224,225)의 평행이 이루어지기 어렵다는 사실과 노광처리 중에 레일(224,225), 레일종동부(226,227), 제1프레임부재(217) 및 베이스테이블(218)의 열팽창에 대한 대책인 것이다. 베이스테이블(218)에는 레일(224,225)에 나란한 스크류축(229)과 이 스크류축(229)을 회전시키기 위해 모터(230)가 설치되고, 상기 제1프레임부(217)에는 스크류축(229)과 결합되는 스크류종동부(231)가 설치된다. 이러한 구성에 따르면, 모터(230)가 구동되는 경우 스크류종동부(231)가 스크류축(229)에 따라 이동하므로 제1프레임부재(217)가 직선적으로 이동한다.

제2슬라이드장치(222)는 제13도에 도시된 바와 같이 제1프레임부재(217)의 지지테이블(217a)에 평행으로 배치된 2개의 레일(234,235)과 이들 레일(234,235)이 슬라이드 이동가능하도록 결합된 레일종동부(236,237)로 구성되고, 상기 레일(234,235)과 레일종동부(236,237)는 각각 상기 레일(224,225) 및 레일종동부(236,237)와 동일한 구성을 갖는다.

제1프레임(217)의 지지테이블(217a)에는 상기 레일(234,235)과 나란한 스크류축(239)과 이 스크류축(239)을 회전시키기 위한 모터(240)가 또한 설치되고, 상기 제2프레임부재(221)에는 상기 스크류축(239)과 결합되는 스크류종동부(241)가 설치된다. 이러한 구성에 따르면 모터(240)가 구동되는 경우 스크류종동부(241)가 스크류축(239)에 따라 이동하므로 제2프레임부재(221)가 제1프레임부재(217)의 지지테이블(217a)에 대해 직선적으로 이동한다.

상기 지지테이블(217a)에 대한 제2프레임부재(221)의 이동스트로크는 제1프레임부재(217)에서의 베이스테이블(218)의 이동스트로크의 2배로 설정된다.

3-2, 기본동작

상기한 특성의 원판밀착장치와 원판개폐동작에 대해 다음에 설명한다.

원판(216, 220)이 개방상태에서 제10도에 도시된 바와 같이 베이스부재(215)의 양측에 서로 떨어져 위치된 것을 가정하면, 모터(230)가 스크류축(229)에 따라 회전구동될 때 스크류종동부(231)는 그 축(229)에 따라 이동하여 스크류종동부(231)에 고정된 제1프레임부재(217)가 제10도의 화살표 A방향으로 이동하고, 이 제1프레임부재(217)의 이동에 따라 제1원판(216)이 베이스부재(215)의 일측에 밀착되는 위치로 이동한다. 이러한 동작과 동시에 모터(240)가 구동되어 스크류축(239)이 상기 스크류축(229)의 역방향으로 회전되는 경우 스크류종동부(241)는 스크류축(239)을 따라 이동하므로 상기 스크류종동부(241)에 고정된 제2프레임부재(221)가 제10도의 화살표 B방향으로 이동하고, 이 제2프레임부재(221)의 이동에 따라 제2원판(220)이 베이스부재(215)의 다른측에 밀착되는 위치로 이동된다. 따라서, 원판(216,220)은 상기한 동작을 통해 폐쇄위치로 되고, 원판(216,220)은 상기한 동작과 역순의 동작에 따라 개방위치로 된다.

제2원판(220)을 지지하는 제2프레임부재(221)는 제2슬라이드장치(222)를 통해 제1프레임부재(217)의 일부로서의 지지테이블(217a)에 의해 지지되므로 베이스부재(215)에 밀착되는 원판(216,220) 사이의 상대적인 위치결정 성능은 제2슬라이드장치(222)의 성능에 의해서만 결정될 수 있고, 제1프레임부재(217)를 지지하는 제1슬라이드장치(219)에 의해 영향받지 않게 되므로, 원판(216,220) 사이의 위치이동거리가 상당히 저감된다.

3-3. 효과

이상에서 설명한 바와 같이 이 실시예의 원판밀착장치에 따르면 제2원판을 지지하는 제2프레임부재가 제1원판을 지지하는 제1프레임부재에 대해 제2슬라이드장치를 통해 지지되므로, 제1 및 제2원판 사이의 상대적인 위치결정성능이 상당히 개선되어 원판중 하나의 원판에 대한 부착위치조정이 실질적으로 배제된다.

Claims (22)

1. 감광성재료로 도포된 양면을 가진 베이스부재(11)의 양측에 원판(12,12)을 지지하고, 이 원판사이에 제1진공챔버(16)를 형성하기 위한 1쌍의 프레임 부재(13,13)와, 상기 프레임부재에 의해 지지되고, 베이스부재의 양측의 원판과의 사이에서 제2진공챔버(19,19)를 형성하도록 배치되는 투명플레이트(20,20)와, 상기 제1 및 제2진공챔버내의 공기를 배출하여 그 내압을 감소시키고, 최소한 상기 제2진공챔버의 진공상태를 해제하기 위한 진공장치(23)와, 상기 투명플레이트의 외측에 배치되어 노광용 광을 조사하기 위한 광원(22,22)으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 프레임부재(13,13)에 의해 지지되는 원판사이에는 스페이서(17)가 각각 배치된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 진공장치(23)는 제1진공챔버와 연통되는 제1진공덕트(24)와, 제2진공챔버와 연통되는 제2진공덕트(26)와, 상기 제1 및 제2진공덕트의 사이에 배치되어 제1진공챔버(16)로부터 제2진공챔버(19)로 공기류가 흐르도록 하면서 역류를 방지하는 체크밸브(27)로 구성된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 노광용 광원(22,22)은 최소한 자외선의 파장영역 이내의 파장을 갖는 노광용 광을 조사하고, 상기 투명플레이트(20,20)는 각각 자외선흡수성을 갖는 수지플레이트로 구성된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 노광용 광원(22,22)은 할로겐화 금속램프로 구성되고, 상기 투명플레이트는 각각 자외선 흡수성을 갖는 수지플레이트로 구성된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 할로겐화 금속램프는 이리듐으로 충전된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 각 투명플레이트는 프레스넬렌즈(fresnel lens)로 구성된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 원판(12,12)에는 레지스터마크(55,55)를 배설하고, 이 레지스터마크를 외측에서 관측하기 위해 상기 투명플레이트(20,20)중 최소한 하나의 부재에 대해서는 렌즈(56a,56b)를 배설하여 원판의 위치를 레지스터하는 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 렌즈(56a)는 상기 투명플레이트(54,54)의 일부를 가공함으로써 형성된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
10. 제8항에 있어서, 상기 렌즈(56b)는 상기 투명플레이트(54)내에 별개 수단으로서 삽입된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
11. 제1항에 있어서, 상기 제1진공챔버(16)와 연통되어 압축공기를 외부로 배출하기 위해 배출밸브(70,80)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
12. 제11항에 있어서, 상기 밸브는 체크밸브(70)인 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
13. 제11항에 있어서, 상기 밸브는 전자(電磁)밸브(80)인 것을 특징으로 하는 진공밀착인화장치.
14. 감광성 재료로 도포된 양면을 가진 길다란 베이스부재(101)를 소정의 노광위치를 통해 이송하기 위한 이송수단(145,146)과, 상기 베이스부재(101)의 이송로에 따라 배치되어 화상배턴이 묘화된 원판(105,105)을 상기 베이스부재의 양면에 밀착시키기 위한 복수의 원판밀착장치(102,102)와, 상기 원판의 외측에 배치된 노광용 광원(107,107)과, 노광위치로부터 떨어진 부분에 배치된 보조원판밀착장치(102')로 구성되고, 상기 원판밀착장치는 노광위치로부터 외측위치로 이동가능하도록 구성되고, 상기 보조원판밀착장치는 외측위치로부터 노광위치로 이동가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 노광장치.
15. 감광성재료로 도포된 양면을 가진 길다란 베이스부재(101)를 도포된 면이 수평으로 유지되도록 하여 소정의 노광위치를 통해 이송하기 위한 이송수단(141,146)과, 상기 베이스부재의 이송로에 따라 배치되어 화상패턴이 묘화된 원판(105,105)을 상기 베이스부재의 양면에 밀착시키기 위한 복수의 원판밀착장치(102,102)와, 상기 원판의 외측에 배치된 노광용 광원(107,107)과, 상기 원판밀착장치를 각각 지지하고, 이 원판밀착장치를 노광위치와 이 노광위치 아래의 원판교환위치로 승강시키기 위한 승강장치(109)와, 상기 교환위치측방의 대기위치에 배치된 보조원판밀착장치(102')와, 상기 승강장치에 의해 지지된 상기 원판밀착장치를 상기 승강장치로부터 수평으로 이동시키고, 상기 보조원판밀착장치를 승강장치 상으로 이동시키기 위한 구동장치(131)와, 상기 원판밀착장치를 상기 승강장치상의 소정위치에 고정시키기 위한 고정장치(134)로 구성된 것을 특징으로 하는 노광장치.
16. 제15항에 있어서, 상기 승강장치(109)의 양측에 배치되어 상기 보조원판밀착장치(102')를 상기 베이스부재(101)에 나란한 방향으로 이동시키기 위한 이동장치(121)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
17. 제15항에 있어서, 상기 베이스부재(101)를 노광위치와 이 노광위치 보다 높은 퇴피위치로 승강시키기 위한 승강장치(190)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
18. 감광성재료로 도포된 양면을 가진 길다한 베이스부재(101)를 도포된 면이 수직으로 유지되도록 하여 소정의 노광위치를 통해 수평으로 이송하기 위한 이송수단(145,146)과, 상기 베이스부재의 이송로에 따라 배치되어 화상패턴이 묘화된 원판(105,105)을 상기 베이스부재의 양면에 밀착시키기 위한 복수의 원판밀착장치(102,102)와, 상기 원판의 외측에 배치된 노광용 광원(107,107)과, 상기 베이스부재를 노광위치와 이 노광위치보다 높은 대기위치로 승강시키기 위한 승강장치(190)와, 상기 베이스부재에 따라 배치된 원판밀착장치에 인접하여 배치되는 보조원판밀착장치(102')와, 상기 원판밀착장치를 노광위치로부터 수평으로 이동시키고, 상기 보조원판밀착장치를 노광위치로 이동시키기 위한 구동장치(131)와, 상기 원판밀착장치를 노광위치에 고정시키기 위한 고정장치(134)로 구성된 것을 특징으로 하는 노광장치.
19. 제18항에 있어서, 동작위치에 위치결정된 상기 원판밀착장치(102)의 양측에 배치되어 상기 보조원판밀착장치(102')를 상기 베이스부재에 나란한 방향으로 이동시키기 위한 이동장치(121)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
20. 감광성재료로 도포된 양면을 가진 길다란 베이스부재(101)를 도포된 면이 수평으로 유지되도록 하여 소정의 노광위치를 통해 수평으로 이송하기 위한 이송수단(145,146)과, 상기 베이스부재의 이송로에 따라 배치되어 화상패턴이 묘화된 원판을 상기 베이스부재의 양면에 밀착시키기 위한 복수의 원판밀착장치(102,102)와, 상기 원판의 외측에 배치된 노광용 광원(107,107)과, 상기 베이스부재의 측부에지와 대향하는 노광위치로부터 떨어진 부분에 배치된 보조원판밀착장치(102')와, 상기 원판밀착장치를 노광위치로부터 수평으로 이동시키고, 상기 보조원판밀착장치를 노광위치로 이동시키기 위한 구동장치(131)와, 상기 원판밀착장치를 노광위치에 고정시키기 위한 고정장치(134)와, 상기 노광위치에 위치 결정된 상기 베이스부재의 양측에 배치되어 상기 보조원판밀착장치를 상기 베이스부재에 나란한 방향으로 이동시키기 위한 이동장치(121)로 구성된 것을 특징으로 하는 노광장치.
21. 감광성재료로 도포된 양면을 가진 베이스부재의 일측에 배치되어 제1원판을 지지하기 위한 제1프레임부재(217)와, 상기 베이스부재에 대해 횡방향으로 이동가능하도록 상기 제1프레임부재를 지지하기 위한 제1슬라이드장치(219)와, 상기 베이스부재의 다른측에 배치되어 제2원판을 지지하기 위한 제2프레임부재(221)와, 상기 제1프레임부재에 의해 지지되어 상기 베이스부재에 대해 횡방향으로 이동가능하도록 상기 제2프레임부재를 지지하기 위한 제2슬라이드장치(222)로 구성된 것을 특징으로 하는 원판밀착장치.
22. 감광성재료로 도포된 양면을 가진 베이스부재와 1쌍의 원판을 준비하고, 상기 베이스부재의 양측에 상기 원판을 배치하여 상기 베이스부재와 상기 원판의 사이에 제1진공챔버를 형성하고, 상기 원판의 외측에 1쌍의 투명플레이트를 배치하여 상기 원판과 투명플레이트의 사이에 제2진공챔버를 형성하고, 그 내압을 저감시키기 위해 제1 및 제2진공챔버의 내부공기를 배출하고, 상기 제2진공챔버에서만 진공상태를 해제하여 원판을 베이스부재에 밀착시키고, 상기 투명플레이트를 향해 그 외측으로부터 노광용 광을 조사하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 진공밀착인화방법.