JP2834835B2 - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JP2834835B2 JP2834835B2 JP2065605A JP6560590A JP2834835B2 JP 2834835 B2 JP2834835 B2 JP 2834835B2 JP 2065605 A JP2065605 A JP 2065605A JP 6560590 A JP6560590 A JP 6560590A JP 2834835 B2 JP2834835 B2 JP 2834835B2
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- Japan
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は,ICリードフレームやカラーTV用シャドウマ
スク等を製作する露光装置に関して,特に長尺の露光す
べき基材を露光位置を通して走行させ,その基材に沿っ
て配置された複数の原版密着装置によって,同時に複数
の原版を露光させる形式の露光装置に関する。
スク等を製作する露光装置に関して,特に長尺の露光す
べき基材を露光位置を通して走行させ,その基材に沿っ
て配置された複数の原版密着装置によって,同時に複数
の原版を露光させる形式の露光装置に関する。
〔従来の技術〕 従来,例えばシャドウマスクの製作で用いられるよう
な,感光材料が両面に塗布された基材の両側に原版の絵
柄を焼付けるための露光装置では,長尺の基材を所定の
露光位置を通って走行するように配置し,その基材に沿
って複数個の原版密着装置と露光光源を配置している。
各原版密着装置は,基材の両面に対向するように一対の
原版を保持した開閉可能な一対の枠を備えている。この
露光装置では,基材が停止した時点で,各原版密着装置
の枠が閉じて原版を基材に密着させ,次いで露光し,露
光終了後,枠が開き,基材が一定量走行し,未露光の部
分が各原版に対向する位置に来ると基材が停止し,再び
上記した動作が繰り返される。このようにして,一度に
複数の原版を基材両面に焼付けることができる。
な,感光材料が両面に塗布された基材の両側に原版の絵
柄を焼付けるための露光装置では,長尺の基材を所定の
露光位置を通って走行するように配置し,その基材に沿
って複数個の原版密着装置と露光光源を配置している。
各原版密着装置は,基材の両面に対向するように一対の
原版を保持した開閉可能な一対の枠を備えている。この
露光装置では,基材が停止した時点で,各原版密着装置
の枠が閉じて原版を基材に密着させ,次いで露光し,露
光終了後,枠が開き,基材が一定量走行し,未露光の部
分が各原版に対向する位置に来ると基材が停止し,再び
上記した動作が繰り返される。このようにして,一度に
複数の原版を基材両面に焼付けることができる。
ところで,上記の従来装置では,一度に複数の原版を
基材に焼付けることができるが,通常,それぞれの原版
密着装置で製作するシャドウマスクの数が必ずしも同一
ではなく,必要な露光回数を終了した原版を,新しい原
版に交換する必要がある。また,露光作業中に基材に付
着したごみ,或るいは他から発生したごみ等により原版
に傷がつくことがまれにあり,品質を維持するために原
版を取外し,定期的にチェックする必要がある。この場
合,取付けられていた旧原版を枠から取外し,新原版を
取付け,更に基材の両側の原版を適切な位置へ位置合わ
せを行うという動作を必要とし,この動作に多くの時間
を要している。ところが,従来の各原版密着装置は定位
置に固定して設けられているため,その位置で原版交換
動作を行わねばならず,その間,露光装置全体を停止さ
せるか,或いは,露光装置全体は停止させず当該原版密
着装置のみを停止させている。このため,露光装置全体
を停止させる場合には,露光装置の稼動率が低下すると
いう問題があった。また,露光装置を停止させない場合
には,原版交換中の原版密着装置に対応する基材部分に
は露光できないため,基材を無駄にしてしまうという問
題があった。
基材に焼付けることができるが,通常,それぞれの原版
密着装置で製作するシャドウマスクの数が必ずしも同一
ではなく,必要な露光回数を終了した原版を,新しい原
版に交換する必要がある。また,露光作業中に基材に付
着したごみ,或るいは他から発生したごみ等により原版
に傷がつくことがまれにあり,品質を維持するために原
版を取外し,定期的にチェックする必要がある。この場
合,取付けられていた旧原版を枠から取外し,新原版を
取付け,更に基材の両側の原版を適切な位置へ位置合わ
せを行うという動作を必要とし,この動作に多くの時間
を要している。ところが,従来の各原版密着装置は定位
置に固定して設けられているため,その位置で原版交換
動作を行わねばならず,その間,露光装置全体を停止さ
せるか,或いは,露光装置全体は停止させず当該原版密
着装置のみを停止させている。このため,露光装置全体
を停止させる場合には,露光装置の稼動率が低下すると
いう問題があった。また,露光装置を停止させない場合
には,原版交換中の原版密着装置に対応する基材部分に
は露光できないため,基材を無駄にしてしまうという問
題があった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので,露光
位置にある原板を敏速に新原版に交換することの可能な
露光装置を提供することを目的とする。
位置にある原板を敏速に新原版に交換することの可能な
露光装置を提供することを目的とする。
本発明者等は,上記目的を達成すべく鋭意検討の結
果,予備の原版密着装置を待機させておき,その予備の
原版密着装置を露光位置にある原版密着装置と入れ換え
ることにより,極めて敏速に原版の交換を行うことがで
きることを見出して本発明を完成したものである。
果,予備の原版密着装置を待機させておき,その予備の
原版密着装置を露光位置にある原版密着装置と入れ換え
ることにより,極めて敏速に原版の交換を行うことがで
きることを見出して本発明を完成したものである。
すなわち,本発明は,両面に感光材料を塗布してなる
長尺の基材を所定の露光位置を通して走行させる基材搬
送装置と,露光位置にある基材の両面に絵柄の書かれた
原板を密着させるよう,基材に沿って設けられた複数の
原版密着装置と,原版の外側に配置された露光光源と,
露光位置とは別の位置に設けられた予備の原版密着装置
とを備え,前記露光位置にある原版密着装置を露光位置
から別の位置に移動可能に構成し,前記予備の原版密着
装置を前記露光位置に移動可能に構成したことを特徴と
する露光装置を要旨とするものである。
長尺の基材を所定の露光位置を通して走行させる基材搬
送装置と,露光位置にある基材の両面に絵柄の書かれた
原板を密着させるよう,基材に沿って設けられた複数の
原版密着装置と,原版の外側に配置された露光光源と,
露光位置とは別の位置に設けられた予備の原版密着装置
とを備え,前記露光位置にある原版密着装置を露光位置
から別の位置に移動可能に構成し,前記予備の原版密着
装置を前記露光位置に移動可能に構成したことを特徴と
する露光装置を要旨とするものである。
本発明は上記のように,基材に沿って配置された原版
密着装置に加えて,予備の原版密着装置を設けているの
で,露光装置における通常の運転中に,予備の原版密着
装置に対して新しい原版を取付け,位置決めを行うこと
ができ,使用中の原版密着装置の原版を交換する際に
は,その原版密着装置を露光位置から取り外し,その跡
に予備の原版密着装置をセットすればよい。このため,
露光装置の停止時間は極めて短くてよい。
密着装置に加えて,予備の原版密着装置を設けているの
で,露光装置における通常の運転中に,予備の原版密着
装置に対して新しい原版を取付け,位置決めを行うこと
ができ,使用中の原版密着装置の原版を交換する際に
は,その原版密着装置を露光位置から取り外し,その跡
に予備の原版密着装置をセットすればよい。このため,
露光装置の停止時間は極めて短くてよい。
露光位置から取り外した原版密着装置は,露光装置の
運転中に古い原版を新しい原版に交換し,次の交換のた
めの予備の原版密着装置として待機させることができ
る。また,予備の原版密着装置に対する露光光源を適当
な位置に設けておくことにより,この予備の原版密着装
置を用いて露光を行い,原版のチェックや露光条件のチ
ェックをあらかじめ行うことも可能である。
運転中に古い原版を新しい原版に交換し,次の交換のた
めの予備の原版密着装置として待機させることができ
る。また,予備の原版密着装置に対する露光光源を適当
な位置に設けておくことにより,この予備の原版密着装
置を用いて露光を行い,原版のチェックや露光条件のチ
ェックをあらかじめ行うことも可能である。
ここで,露光位置にある原版密着装置と予備の原版密
着装置とを入れ換えるには,基材をその露光面が垂直に
なるように配置し,原版密着装置を昇降装置によってそ
の基材の下方の交換位置に下降させ,その位置で原版密
着装置を横に取り出し,予備の原版密着装置を昇降装置
上に乗せ,昇降装置によって予備の原版密着装置を基材
に対する作動位置に移動させる構成とすることができ
る。この構成とすると,露光位置が高所となるので,ク
リーン度が増すという利点も生じる。
着装置とを入れ換えるには,基材をその露光面が垂直に
なるように配置し,原版密着装置を昇降装置によってそ
の基材の下方の交換位置に下降させ,その位置で原版密
着装置を横に取り出し,予備の原版密着装置を昇降装置
上に乗せ,昇降装置によって予備の原版密着装置を基材
に対する作動位置に移動させる構成とすることができ
る。この構成とすると,露光位置が高所となるので,ク
リーン度が増すという利点も生じる。
なお,原版密着装置を基材に対して昇降させる代わり
に,基材側を昇降させる構成としてもよい。多数の原版
密着装置を使用した場合には,多数の原版密着装置を個
々に昇降装置によって昇降させるより,基材を昇降させ
る方が構造が簡単となる。また,原版密着装置と基材の
双方を昇降させる構成とすることもできる。その場合に
は原版密着装置及び基材の昇降ストロークを小さくでき
る利点がある。
に,基材側を昇降させる構成としてもよい。多数の原版
密着装置を使用した場合には,多数の原版密着装置を個
々に昇降装置によって昇降させるより,基材を昇降させ
る方が構造が簡単となる。また,原版密着装置と基材の
双方を昇降させる構成とすることもできる。その場合に
は原版密着装置及び基材の昇降ストロークを小さくでき
る利点がある。
また,原版密着装置と予備原版密着装置とを入れ換え
るには,上記の方法の他に,基材を,その露光面が水平
になるように配置し,予備の原版密着装置を基材の側縁
に対向して配置しておき,露光位置の原版密着装置を予
備の原版密着装置とは反対側に移動させ,その跡に予備
の原版密着装置を水平に移動させてセットするように構
成してもよい。この場合には,極めて短時間での原版密
着装置の入れ換えが可能となる。
るには,上記の方法の他に,基材を,その露光面が水平
になるように配置し,予備の原版密着装置を基材の側縁
に対向して配置しておき,露光位置の原版密着装置を予
備の原版密着装置とは反対側に移動させ,その跡に予備
の原版密着装置を水平に移動させてセットするように構
成してもよい。この場合には,極めて短時間での原版密
着装置の入れ換えが可能となる。
更に,基材の両側にそれぞれ,予備の原版密着装置を
前記基材に平行に移動させる移動装置を設けることが好
ましい。この移動装置を設けると,予備の原版密着装置
を,露光位置にある複数の原版密着装置のいずれかに対
してもその交換位置に移動させることができる。このた
め,予備の原版密着装置の数を少数に,例えば1個にす
ることができる。
前記基材に平行に移動させる移動装置を設けることが好
ましい。この移動装置を設けると,予備の原版密着装置
を,露光位置にある複数の原版密着装置のいずれかに対
してもその交換位置に移動させることができる。このた
め,予備の原版密着装置の数を少数に,例えば1個にす
ることができる。
以下,図面に示す本発明の実施例を詳細に説明する。
第1図は本発明の第一実施例による露光装置の概略縦
断面図,第2図はその平面図である。第1図,第2図に
おいて,1は両面に感光材料を塗布してなる長尺の基材で
あり,図示しない基材搬送装置によって,感光材料を塗
布した面が垂直となる状態で所定の露光位置を通して水
平に間欠的に走行させられるようになっている。2は,
露光位置においてこの基材1に沿って配置された複数の
原版密着装置であり,それぞれが,ベース3と,そのベ
ース3上の一対の枠4と,各枠4に基材1に面するよう
に取付けられた原版5と,原版5が基材1に接触する位
置及び離れた位置となるように前記一対の枠4を開閉さ
せる開閉機構(図示せず)と,各原版5を基材1に真空
密着させる真空密着機構(図示せず)等を備えている。
7は各原版密着装置2の原版5の外側に配置された露光
光源である。この露光光源7は通常,天井等に取付位置
調整可能に固定されて設けられるが,この代わりに,各
原版密着装置2に取付ける構成としてもよい。
断面図,第2図はその平面図である。第1図,第2図に
おいて,1は両面に感光材料を塗布してなる長尺の基材で
あり,図示しない基材搬送装置によって,感光材料を塗
布した面が垂直となる状態で所定の露光位置を通して水
平に間欠的に走行させられるようになっている。2は,
露光位置においてこの基材1に沿って配置された複数の
原版密着装置であり,それぞれが,ベース3と,そのベ
ース3上の一対の枠4と,各枠4に基材1に面するよう
に取付けられた原版5と,原版5が基材1に接触する位
置及び離れた位置となるように前記一対の枠4を開閉さ
せる開閉機構(図示せず)と,各原版5を基材1に真空
密着させる真空密着機構(図示せず)等を備えている。
7は各原版密着装置2の原版5の外側に配置された露光
光源である。この露光光源7は通常,天井等に取付位置
調整可能に固定されて設けられるが,この代わりに,各
原版密着装置2に取付ける構成としてもよい。
8は,基材1の下方に平行になるように床に形成され
たピット,9は,各原版密着装置2に対応して設けられ,
各原版密着装置2を保持し,その原版密着装置を原版5
が基材1に対向する位置となる露光位置(第1図に実線
で示す位置)とその下方の交換位置とに昇降させる昇降
装置である。この昇降装置9は,台車10と,その台車10
に保持された油圧又は空圧シリンダ11と,そのシリンダ
11の上端に保持された支持台12等を備え,シリンダ11に
よって支持台12を図示の上昇位置と,床面13と同一面と
なる下降位置(二転鎖線で示す位置,この時,原版密着
装置2は交換位置となる)に昇降させることができる。
なお,支持台12を昇降させる機構としては,伸縮リンク
機構を利用してもよく,また,伸縮リンク機構とシリン
ダとを併用してもよい。台車10には,車輪15,16が取付
けられており,一方,その下方のピット底面17にはレー
ル18,19が基材1の走行方向に平行に設けられている。
レール18,19及び車輪15,16は,原版密着装置2の荷重に
十分耐えられる剛性をもち,且つ脱輪しにくいように,
一方の車輪15にはつばがていているものが用いられる。
更に,車輪15についたつばは,車輪15がレール18上を走
行する際蛇行が少なく,基材1と原版密着装置2の位置
関係を正確にしている。車輪15,16は,減速機を介して
モータ(図示せず)に連結されている。かくして,モー
タによって台車10はレール18,19上を基材1に平行に移
動することができる。台車10を基材1の走行方向に平行
に移動させるための機構を設けたのは,保持した原版密
着装置2のピッチを露光する絵柄のサイズに合わせて調
整するためである。
たピット,9は,各原版密着装置2に対応して設けられ,
各原版密着装置2を保持し,その原版密着装置を原版5
が基材1に対向する位置となる露光位置(第1図に実線
で示す位置)とその下方の交換位置とに昇降させる昇降
装置である。この昇降装置9は,台車10と,その台車10
に保持された油圧又は空圧シリンダ11と,そのシリンダ
11の上端に保持された支持台12等を備え,シリンダ11に
よって支持台12を図示の上昇位置と,床面13と同一面と
なる下降位置(二転鎖線で示す位置,この時,原版密着
装置2は交換位置となる)に昇降させることができる。
なお,支持台12を昇降させる機構としては,伸縮リンク
機構を利用してもよく,また,伸縮リンク機構とシリン
ダとを併用してもよい。台車10には,車輪15,16が取付
けられており,一方,その下方のピット底面17にはレー
ル18,19が基材1の走行方向に平行に設けられている。
レール18,19及び車輪15,16は,原版密着装置2の荷重に
十分耐えられる剛性をもち,且つ脱輪しにくいように,
一方の車輪15にはつばがていているものが用いられる。
更に,車輪15についたつばは,車輪15がレール18上を走
行する際蛇行が少なく,基材1と原版密着装置2の位置
関係を正確にしている。車輪15,16は,減速機を介して
モータ(図示せず)に連結されている。かくして,モー
タによって台車10はレール18,19上を基材1に平行に移
動することができる。台車10を基材1の走行方向に平行
に移動させるための機構を設けたのは,保持した原版密
着装置2のピッチを露光する絵柄のサイズに合わせて調
整するためである。
昇降装置9の両側の床面13には,浅いピット22が中央
のピット8に平行に形成されており,そのピット22内に
もそれぞれレール24,25が設けられている。このレール2
4,25には,予備の原版密着装置を基材1に平行に移動さ
せる移動装置21が支持されている。移動装置21は,レー
ル24,25に係合する車輪26,27を備えた台車28を備えてい
る。台車28は原版密着装置2を支持しうる大きさの支持
面28Aを備えており,かつその支持面28Aは床面13と同一
面となっている。更に,台車28は車輪26,27を駆動する
減速機及びモータ(図示せず)を備えており,自走可能
である。かくして,第2図において台車28は露光位置に
あるどの原版密着装置2の横にも移動できる。なお,レ
ール24,25及び車輪26,27は昇降装置9を支持したレール
18,19及び車輪15,16と同様な構造のものである。
のピット8に平行に形成されており,そのピット22内に
もそれぞれレール24,25が設けられている。このレール2
4,25には,予備の原版密着装置を基材1に平行に移動さ
せる移動装置21が支持されている。移動装置21は,レー
ル24,25に係合する車輪26,27を備えた台車28を備えてい
る。台車28は原版密着装置2を支持しうる大きさの支持
面28Aを備えており,かつその支持面28Aは床面13と同一
面となっている。更に,台車28は車輪26,27を駆動する
減速機及びモータ(図示せず)を備えており,自走可能
である。かくして,第2図において台車28は露光位置に
あるどの原版密着装置2の横にも移動できる。なお,レ
ール24,25及び車輪26,27は昇降装置9を支持したレール
18,19及び車輪15,16と同様な構造のものである。
昇降装置9の左右に配置された台車28のいずれか一方
の上には予備の原版密着装置2′が乗せられている。こ
の予備の原版密着装置2′は,中央の昇降装置9に保持
された原版密着装置2と全く同じ構造のものである。
の上には予備の原版密着装置2′が乗せられている。こ
の予備の原版密着装置2′は,中央の昇降装置9に保持
された原版密着装置2と全く同じ構造のものである。
各原版密着装置2(及び予備の原版密着装置2′)に
は,昇降装置に保持された前記原版密着装置を,前記昇
降装置上からその横に移動させたり,予備の原版密着装
置を前記昇降装置上に移動させる原版密着装置駆動装置
31が設けられている。この駆動装置31は,ベース3に取
付けられた車輪32及び車輪32を駆動させるモータ及び減
速機(図示せず)とから構成されている。車輪32はつば
のないもので、レール上ではなく例えば,コンクリート
などの床上を走行することができるようになっている。
かくして,原版密着装置2は昇降装置9の支持台12から
その横の床面13上及び台車28上に或いはその逆に自走可
能である。支持台12と床面13との隙間,床面13と台車28
との隙間は小さく,原版密着装置2がスムーズに移動で
きるようになっている。なお,原版密着装置を,前記昇
降装置上からその横に移動させたり,予備の原版密着装
置を前記昇降装置上に移動させる原版密着装置駆動装置
は,図示実施例に示すように原版密着装置2自体に設け
たものに限らず,原版密着装置2や予備の原版密着装置
2′を押したり,引いたりして移動させるように原版密
着装置2とは別個に設けたものとしてもよい。
は,昇降装置に保持された前記原版密着装置を,前記昇
降装置上からその横に移動させたり,予備の原版密着装
置を前記昇降装置上に移動させる原版密着装置駆動装置
31が設けられている。この駆動装置31は,ベース3に取
付けられた車輪32及び車輪32を駆動させるモータ及び減
速機(図示せず)とから構成されている。車輪32はつば
のないもので、レール上ではなく例えば,コンクリート
などの床上を走行することができるようになっている。
かくして,原版密着装置2は昇降装置9の支持台12から
その横の床面13上及び台車28上に或いはその逆に自走可
能である。支持台12と床面13との隙間,床面13と台車28
との隙間は小さく,原版密着装置2がスムーズに移動で
きるようになっている。なお,原版密着装置を,前記昇
降装置上からその横に移動させたり,予備の原版密着装
置を前記昇降装置上に移動させる原版密着装置駆動装置
は,図示実施例に示すように原版密着装置2自体に設け
たものに限らず,原版密着装置2や予備の原版密着装置
2′を押したり,引いたりして移動させるように原版密
着装置2とは別個に設けたものとしてもよい。
原版密着装置2と昇降装置9には,前記原版密着装置
を前記昇降装置上の所定位置に固定する固定装置34が設
けられている。この固定装置34は,原版密着装置2のベ
ース下面に設けられためす型のブロック35及び平坦なブ
ロック36と,昇降装置9の支持台12に設けらたおす型の
ブロック37及び平坦なブロック38と,このブロック37,3
8を昇降させる油圧又は空圧シリンダ等を備えており,
原版密着装置2が支持台12上に保持されている時には,
図示のようにブロック37,38が原版密着装置2側のブロ
ック35,36に係合して原版密着装置2を動かないように
固定し,原版密着装置2の出し入れ時には,原版密着装
置2の出し入れに干渉しない位置に下降するように構成
されている。また,ブロック37,38は,原版密着装置2
が移動する際にその車輪32に干渉しない位置に配置され
ている。
を前記昇降装置上の所定位置に固定する固定装置34が設
けられている。この固定装置34は,原版密着装置2のベ
ース下面に設けられためす型のブロック35及び平坦なブ
ロック36と,昇降装置9の支持台12に設けらたおす型の
ブロック37及び平坦なブロック38と,このブロック37,3
8を昇降させる油圧又は空圧シリンダ等を備えており,
原版密着装置2が支持台12上に保持されている時には,
図示のようにブロック37,38が原版密着装置2側のブロ
ック35,36に係合して原版密着装置2を動かないように
固定し,原版密着装置2の出し入れ時には,原版密着装
置2の出し入れに干渉しない位置に下降するように構成
されている。また,ブロック37,38は,原版密着装置2
が移動する際にその車輪32に干渉しない位置に配置され
ている。
40は制御装置であり,昇降装置9の昇降動作,昇降装
置9のレール18,19に反った移動動作,原版密着装置2
(及び予備の原版密着装置2′)の駆動装置31による移
動動作,移動装置21の移動動作,固定装置34による固定
及び解除動作等を制御するものであり,下記の動作を行
うようにプログラムされている。各装置の動作の開始,
終了の信号は,光電検出器等(図示せず)を用いてい
る。
置9のレール18,19に反った移動動作,原版密着装置2
(及び予備の原版密着装置2′)の駆動装置31による移
動動作,移動装置21の移動動作,固定装置34による固定
及び解除動作等を制御するものであり,下記の動作を行
うようにプログラムされている。各装置の動作の開始,
終了の信号は,光電検出器等(図示せず)を用いてい
る。
次に,上記構成の露光装置における動作を説明する。
第1図,第2図において,複数の昇降装置9は,保持
した原版密着装置2が原版5の絵柄に応じたピッチにな
る位置に停止しており,且つ原版密着装置2を,原版5
が基材1に対向する位置となる露光位置(第1図に図示
の位置)に保持している。基材1は間欠的に走行してお
り,基材1の停止時に,各原版密着装置2の原版が基材
1に密着され,露光された後,原版が基材1から離れ,
次いで基材1が所定量走行するという動作を繰り返す。
これにより,一度に多数の原版による焼付が行われる。
した原版密着装置2が原版5の絵柄に応じたピッチにな
る位置に停止しており,且つ原版密着装置2を,原版5
が基材1に対向する位置となる露光位置(第1図に図示
の位置)に保持している。基材1は間欠的に走行してお
り,基材1の停止時に,各原版密着装置2の原版が基材
1に密着され,露光された後,原版が基材1から離れ,
次いで基材1が所定量走行するという動作を繰り返す。
これにより,一度に多数の原版による焼付が行われる。
この動作中,各原版密着装置における露光回数が制御
装置40の露光カウンタ(図示せず)によってカウントさ
れている。
装置40の露光カウンタ(図示せず)によってカウントさ
れている。
一方,両側に配置された移動装置21のいずれか一方に
は,予備の原版密着装置2′が乗せられているので,こ
の原版密着装置2′に新しい原版5を取付け,位置決め
を行う。この動作は,上記した露光動作を妨げることな
く,平行して行うことができる。なお,図示は省略して
いるが,移動装置21に乗せられている予備の原版密着装
置2′に対して露光を行う露光光源が適当な位置に設け
られており,必要に応じ,この予備の原版密着装置を用
いて露光を行い,原版のチェックや露光条件のチェック
をあらかじめ行っておく。
は,予備の原版密着装置2′が乗せられているので,こ
の原版密着装置2′に新しい原版5を取付け,位置決め
を行う。この動作は,上記した露光動作を妨げることな
く,平行して行うことができる。なお,図示は省略して
いるが,移動装置21に乗せられている予備の原版密着装
置2′に対して露光を行う露光光源が適当な位置に設け
られており,必要に応じ,この予備の原版密着装置を用
いて露光を行い,原版のチェックや露光条件のチェック
をあらかじめ行っておく。
制御装置40は,露光位置で露光動作を行っている複数
の原版密着装置2のうち,次に原版交換を行うべきもの
を検出し,その原版密着装置2の横に,両側の移動装置
21を移動させる。説明の便宜上,第2図において,左端
の原版密着装置2の原版を交換するものとすると,その
横に,空の移動装置21と予備密着装置2′を乗せた移動
装置21とが位置決めされ,停止する。この位置決めは,
各位置に設けらた光電検出器によって行われる。
の原版密着装置2のうち,次に原版交換を行うべきもの
を検出し,その原版密着装置2の横に,両側の移動装置
21を移動させる。説明の便宜上,第2図において,左端
の原版密着装置2の原版を交換するものとすると,その
横に,空の移動装置21と予備密着装置2′を乗せた移動
装置21とが位置決めされ,停止する。この位置決めは,
各位置に設けらた光電検出器によって行われる。
原版密着装置2が必要な露光回数の終了すると,それ
を制御装置40の露光カウンタが確認し,昇降装置9を作
動させて,その支持台12を床面13と一致する交換位置ま
で下降させる。これを,床面に設けられた光電検出器が
検知し,原版密着装置2の枠4を閉じると同時に固定装
置34の下側のブロック37,38が下降して原版密着装置2
の固定を解除する。この解除をリミットスイッチが検出
し,原版密着装置2の車輪駆動用のモータを作動させ
る。これにより,車輪32が回転して原版密着装置2を支
持台12から横方向に,空の移動装置21側に移動させる。
原版密着装置2が空の移動装置21上の所定位置まで移動
すると,それを光電検出器が検知し原版密着装置2をそ
の位置で停止させる。
を制御装置40の露光カウンタが確認し,昇降装置9を作
動させて,その支持台12を床面13と一致する交換位置ま
で下降させる。これを,床面に設けられた光電検出器が
検知し,原版密着装置2の枠4を閉じると同時に固定装
置34の下側のブロック37,38が下降して原版密着装置2
の固定を解除する。この解除をリミットスイッチが検出
し,原版密着装置2の車輪駆動用のモータを作動させ
る。これにより,車輪32が回転して原版密着装置2を支
持台12から横方向に,空の移動装置21側に移動させる。
原版密着装置2が空の移動装置21上の所定位置まで移動
すると,それを光電検出器が検知し原版密着装置2をそ
の位置で停止させる。
これと同時に,反対側に待機していた予備の原版密着
装置2′の車輪駆動モータが作動を開始し,車輪32の回
転により,その予備の原版密着装置2′が昇降装置9の
支持台12上に移動し,支持台12に設けられた光電検出器
が検知し,停止させる。同時に,固定装置34のブロック
37,38が上昇してその原版密着装置2′を固定すると共
にその原版密着装置2′の枠4を開く。
装置2′の車輪駆動モータが作動を開始し,車輪32の回
転により,その予備の原版密着装置2′が昇降装置9の
支持台12上に移動し,支持台12に設けられた光電検出器
が検知し,停止させる。同時に,固定装置34のブロック
37,38が上昇してその原版密着装置2′を固定すると共
にその原版密着装置2′の枠4を開く。
固定装置34のブロック37,38の上昇をリミットスイッ
チで検知すると,昇降装置9が原版密着装置を露光位置
まで持ち上げる。以上により,露光に使用されていた原
版密着装置2と予備の原版密着装置2′とが入れ換わ
り,その原版密着装置を露光に使用する。一方,移動装
置21上に取り出された原版密着装置2は予備の原版密着
装置となり,この予備の原版密着装置の原版を新しいも
のと取り替え,次の原版交換に備える。
チで検知すると,昇降装置9が原版密着装置を露光位置
まで持ち上げる。以上により,露光に使用されていた原
版密着装置2と予備の原版密着装置2′とが入れ換わ
り,その原版密着装置を露光に使用する。一方,移動装
置21上に取り出された原版密着装置2は予備の原版密着
装置となり,この予備の原版密着装置の原版を新しいも
のと取り替え,次の原版交換に備える。
以上のようにして,露光に使用している原版密着装置
2を,次々と予備の原版密着装置と入れ換えることによ
り,原版の交換を行うことができる。原版密着装置と予
備の原版密着装置との入れ換えは,敏速に行うことが可
能であるので,露光装置の稼動率を下げたり,基材の無
駄を生じるということがほとんどない。
2を,次々と予備の原版密着装置と入れ換えることによ
り,原版の交換を行うことができる。原版密着装置と予
備の原版密着装置との入れ換えは,敏速に行うことが可
能であるので,露光装置の稼動率を下げたり,基材の無
駄を生じるということがほとんどない。
なお,以上の説明では,交換すべき原版密着装置の横
に,予備の原版密着装置2′を乗せた移動装置21と空の
移動装置21とを移動させ,その位置で原版密着装置の入
れ換えを行ったが,この代わりに,昇降装置9を基材1
の走行方向に移動させて,移動装置21が待機している位
置に位置決めし,その位置で入れ換えを行ってもよい。
に,予備の原版密着装置2′を乗せた移動装置21と空の
移動装置21とを移動させ,その位置で原版密着装置の入
れ換えを行ったが,この代わりに,昇降装置9を基材1
の走行方向に移動させて,移動装置21が待機している位
置に位置決めし,その位置で入れ換えを行ってもよい。
更に上記実施例では,基材1の両側に移動装置21を1
個ずつ配置したが,それぞれ複数個の移動装置21を用い
る構成としてもよい。
個ずつ配置したが,それぞれ複数個の移動装置21を用い
る構成としてもよい。
上記実施例では,露光位置にある原版密着装置2を入
れ換えるために,原版密着装置2を基材1の下方に下降
させ,次いでその横方向に移動させる構造としたが,こ
れに代えて,基材1を昇降させる基材昇降装置を設けて
おき,その基材昇降装置によって基材を露光位置より上
方に退避させ,原版密着装置2はその位置で横方向に移
動させて入れ換える構成とすることもできる。その場合
には,原版密着装置2を昇降させるための機構は省略で
き,台車10に直接原版密着装置2を支持させればよい。
なお,この場合,露光光源7は原版密着装置2の横方向
の移動に支障のない位置に退避可能な構造とするか,或
いは原版密着装置2に保持させる構造とすればよい。更
に,基材1を昇降させる基材昇降装置と原版密着装置2
を昇降させる昇降装置を併用する構造とすることも可能
である。
れ換えるために,原版密着装置2を基材1の下方に下降
させ,次いでその横方向に移動させる構造としたが,こ
れに代えて,基材1を昇降させる基材昇降装置を設けて
おき,その基材昇降装置によって基材を露光位置より上
方に退避させ,原版密着装置2はその位置で横方向に移
動させて入れ換える構成とすることもできる。その場合
には,原版密着装置2を昇降させるための機構は省略で
き,台車10に直接原版密着装置2を支持させればよい。
なお,この場合,露光光源7は原版密着装置2の横方向
の移動に支障のない位置に退避可能な構造とするか,或
いは原版密着装置2に保持させる構造とすればよい。更
に,基材1を昇降させる基材昇降装置と原版密着装置2
を昇降させる昇降装置を併用する構造とすることも可能
である。
第3図は本発明の第二実施例による露光装置を示す概
略縦断面図である。この実施例では基材51が基材搬送装
置(図示せず)によって,感光材料を塗布した面が水平
となる状態で所定の露光位置を通して水平に走行するよ
うになっている。この基材51に沿って複数の原版密着装
置52が配置されている。原版密着装置52は,原版53を保
持して上下に開閉する一対の枠54と,その外側に配置さ
れた露光光源55と,これらを支持する支柱部56等を有し
ている。なお,図面では支柱部56が右側にあるものを示
しているが,基材51に沿って露光位置に配置した複数の
原版密着装置52は,そのうち約半分が図示の構造のもの
であり,残りは,支柱部が反対側になったもの(後述す
る予備の原版密着装置52′と同一のもの)である。
略縦断面図である。この実施例では基材51が基材搬送装
置(図示せず)によって,感光材料を塗布した面が水平
となる状態で所定の露光位置を通して水平に走行するよ
うになっている。この基材51に沿って複数の原版密着装
置52が配置されている。原版密着装置52は,原版53を保
持して上下に開閉する一対の枠54と,その外側に配置さ
れた露光光源55と,これらを支持する支柱部56等を有し
ている。なお,図面では支柱部56が右側にあるものを示
しているが,基材51に沿って露光位置に配置した複数の
原版密着装置52は,そのうち約半分が図示の構造のもの
であり,残りは,支柱部が反対側になったもの(後述す
る予備の原版密着装置52′と同一のもの)である。
基材51の下方にはその走行方向に平行なレール57,58
が配置され,そのレール上には,車輪59,60を有する複
数の台車61が,各原版密着装置に対応して設けられてい
る。この台車61も車輪駆動用のモータ(図示せず)を有
し,自走可能である。
が配置され,そのレール上には,車輪59,60を有する複
数の台車61が,各原版密着装置に対応して設けられてい
る。この台車61も車輪駆動用のモータ(図示せず)を有
し,自走可能である。
基材51の両側にも,それぞれレール63,64が基材51の
走行方向に平行に設けられ,その上に移動装置65が保持
されている。この移動装置65も,車輪66,67とその駆動
モータを備えた台車68で構成されている。これらの台車
61,68は,共に床面70と同じ面に配置されている。一方
の移動装置65上には,予備の原版密着装置52′が,基材
51の側縁に対向するように保持されている。この予備の
原版密着装置52′も露光位置に配置されている原版密着
装置52と同一構造のものである。但し,基材51の左側の
移動装置65上に保持される予備の原版密着装置52′は,
その支柱部56が左側となり,反対側の移動装置65上に保
持される予備の原版密着装置では支柱部が右側となって
いる。
走行方向に平行に設けられ,その上に移動装置65が保持
されている。この移動装置65も,車輪66,67とその駆動
モータを備えた台車68で構成されている。これらの台車
61,68は,共に床面70と同じ面に配置されている。一方
の移動装置65上には,予備の原版密着装置52′が,基材
51の側縁に対向するように保持されている。この予備の
原版密着装置52′も露光位置に配置されている原版密着
装置52と同一構造のものである。但し,基材51の左側の
移動装置65上に保持される予備の原版密着装置52′は,
その支柱部56が左側となり,反対側の移動装置65上に保
持される予備の原版密着装置では支柱部が右側となって
いる。
原版密着装置52及び予備の原版密着装置52′は,原版
密着装置52を露光位置から横方向に移動させ,また予備
の原版密着装置52′を露光位置に移動させるための原版
密着装置駆動装置72を備えている。この駆動装置72は,
車輪73とそれを駆動するモータ及び減速機(図示せず)
とからなる。更に,原版密着装置52を台車61上に固定す
る固定装置74が設けられている。この固定装置74は,第
一実施例において用いた固定装置34と同様のものであ
り,原版密着装置52の下面に設けられためす型のブロッ
ク75及び平坦なブロック76と,台車61に設けられたおす
型のブロック77及び平坦なブロック78と,このブロック
77,78を昇降させる油圧又は空圧シリンダ等を備えてい
る。
密着装置52を露光位置から横方向に移動させ,また予備
の原版密着装置52′を露光位置に移動させるための原版
密着装置駆動装置72を備えている。この駆動装置72は,
車輪73とそれを駆動するモータ及び減速機(図示せず)
とからなる。更に,原版密着装置52を台車61上に固定す
る固定装置74が設けられている。この固定装置74は,第
一実施例において用いた固定装置34と同様のものであ
り,原版密着装置52の下面に設けられためす型のブロッ
ク75及び平坦なブロック76と,台車61に設けられたおす
型のブロック77及び平坦なブロック78と,このブロック
77,78を昇降させる油圧又は空圧シリンダ等を備えてい
る。
なお,図中80は,露光装置を制御する制御装置であ
る。
る。
次に,動作を説明する。原版を交換すべき原版密着装
置52の左右に予備の原版密着装置52′を乗せた移動装置
65と空の移動装置65が移動して来て停止する。なお,こ
の時,図面に示すように入れ換えるべき原版密着装置52
が右側に支柱部56を備えたものである場合には,予備の
原版密着装置52′は左側の移動装置65に保持され,且つ
支柱部56を左側としたものである。原版密着装置52の左
右の所定位置に移動装置65が停止すると,固定装置74が
解除される駆動装置72によって原版密着装置52が右側の
移動装置65上に移動する。
置52の左右に予備の原版密着装置52′を乗せた移動装置
65と空の移動装置65が移動して来て停止する。なお,こ
の時,図面に示すように入れ換えるべき原版密着装置52
が右側に支柱部56を備えたものである場合には,予備の
原版密着装置52′は左側の移動装置65に保持され,且つ
支柱部56を左側としたものである。原版密着装置52の左
右の所定位置に移動装置65が停止すると,固定装置74が
解除される駆動装置72によって原版密着装置52が右側の
移動装置65上に移動する。
次に,左側の移動装置65上の予備の原版密着装置52′
が駆動装置72によって中央の台車61上に移動し,固定装
置74によって定位置に固定される。以上で原版密着装置
の入れ換え動作が終了する。
が駆動装置72によって中央の台車61上に移動し,固定装
置74によって定位置に固定される。以上で原版密着装置
の入れ換え動作が終了する。
なお,右側の移動装置65上に出された原版密着装置52
は以後,予備の原版密着装置となり,新たな原版に交換
された後,露光位置にある原版密着装置52のうち,支柱
部56が左側となっているものとの入れ換えに使用され
る。
は以後,予備の原版密着装置となり,新たな原版に交換
された後,露光位置にある原版密着装置52のうち,支柱
部56が左側となっているものとの入れ換えに使用され
る。
以上のように,本発明の露光装置は,基材に沿った露
光位置に配置された原版密着装置に加えて,予備の原版
密着装置を設け,露光位置の原版密着装置を外し,その
位置に予備の原版密着装置を取付けることができるよう
に構成したので,露光装置における通常の運転中に,予
備の原版密着装置に対して新しい原版を取付け,位置決
めを行うことができ,使用中の原版密着装置の原版を交
換する際には,その原版密着装置を露光位置から取り外
し,その跡に予備の原版密着装置をセットすればよく,
原版交換時間を極めて短縮することができるという効果
を有している。
光位置に配置された原版密着装置に加えて,予備の原版
密着装置を設け,露光位置の原版密着装置を外し,その
位置に予備の原版密着装置を取付けることができるよう
に構成したので,露光装置における通常の運転中に,予
備の原版密着装置に対して新しい原版を取付け,位置決
めを行うことができ,使用中の原版密着装置の原版を交
換する際には,その原版密着装置を露光位置から取り外
し,その跡に予備の原版密着装置をセットすればよく,
原版交換時間を極めて短縮することができるという効果
を有している。
なお,原版の位置合わせを終了した予備の原版密着装
置を,他の原版密着装置と入れ換える前にあらかじめ露
光しうるように構成しておくと,原版のチェックや露光
条件のチェックが可能であり,好ましい。
置を,他の原版密着装置と入れ換える前にあらかじめ露
光しうるように構成しておくと,原版のチェックや露光
条件のチェックが可能であり,好ましい。
第1図は本発明の第一実施例による露光装置の概略縦断
面図,第2図はその平面図,第3図は本発明の第二実施
例による露光装置の概略縦断面図である。 1……基材,2……原版密着装置,2′……予備の原版密着
装置,5……原版,7……露光光源,9……昇降装置,12……
支持台,21……移動装置,31……原版密着装置駆動装置,3
4……固定装置,51……基材,52……原版密着装置,52′…
…予備の原版密着装置,53……原版,55……露光光源,61
……台車,65……移動装置,72……原版密着装置駆動装
置,74……固定装置。
面図,第2図はその平面図,第3図は本発明の第二実施
例による露光装置の概略縦断面図である。 1……基材,2……原版密着装置,2′……予備の原版密着
装置,5……原版,7……露光光源,9……昇降装置,12……
支持台,21……移動装置,31……原版密着装置駆動装置,3
4……固定装置,51……基材,52……原版密着装置,52′…
…予備の原版密着装置,53……原版,55……露光光源,61
……台車,65……移動装置,72……原版密着装置駆動装
置,74……固定装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G03B 27/02 - 27/04 G03F 7/20
Claims (7)
- 【請求項1】両面に感光材料を塗布してなる長尺の基材
を所定の露光位置を通して走行させる基材搬送装置と,
露光位置にある基材の両面に絵柄の書かれた原版を密着
させるよう,基材に沿って設けられた複数の原版密着装
置と,原版の外側に配置された露光光源と,露光位置と
は別の位置に設けられた予備の原版密着装置とを備え,
前記露光位置にある原版密着装置を露光位置から別の位
置に移動可能に構成し,前記予備の原版密着装置を前記
露光位置に移動可能に構成したことを特徴とする露光装
置。 - 【請求項2】両面に感光材料を塗布してなる長尺の基材
を,その感光材料を塗布した面が垂直となる状態で所定
の露光位置を通して水平に走行させる基材搬送装置と, 露光位置にある基材に沿って配置され,前記基材の両面
に絵柄の書かれた原版を密着させる複数の原版密着装置
と, 原版の外側に配置された露光光源と, 前記複数の原版密着装置をそれぞれ保持し,各原版密着
装置を,露光位置と,その露光位置の下方の交換位置と
に昇降させる昇降装置と, 前記交換位置の横に待機するように設けられた予備の原
版密着装置と, 前記昇降装置に保持された前記原版密着装置を,前記昇
降装置上からその横に移動させ,予備の原版密着装置を
前記昇降装置上に移動させる原版密着装置駆動装置と, 前記原版密着装置を前記昇降装置上の所定位置に固定す
る固定装置とを有することを特徴とする露光装置。 - 【請求項3】前記昇降装置の両側にそれぞれ配置され,
予備の原版密着装置を前記基材に平行に移動させる移動
装置を有することを特徴とする請求項2記載の露光装
置。 - 【請求項4】前記基材を,露光位置と,それより上方に
退避した位置に昇降させる基材昇降装置を有することを
特徴とする請求項2又は3に記載の露光装置。 - 【請求項5】両面に感光材料を塗布してなる長尺の基材
を,その感光材料を塗布した面が垂直となる状態で所定
の露光位置を通して水平に走行させる基材搬送装置と, 露光位置にある基材に沿って配置され,前記基材の両面
に絵柄の書かれた原版を密着させる複数の原版密着装置
と, 原版の外側に配置された露光光源と, 前記基材を,露光位置と,それより上方に退避した位置
に昇降させる基材昇降装置と, 前記基材に沿って配置された原版密着装置に隣接して配
置された予備の原版密着装置と, 前記原版密着装置を,露光位置から横方向に移動させ,
予備の原版密着装置を前記露光位置に移動させる原版密
着装置駆動装置と, 前記原版密着装置を前記露光位置に固定する固定装置と
を有することを特徴とする露光装置。 - 【請求項6】前記作動位置にある原版密着装置の両側に
それぞれ配置され,予備の原版密着装置を前記基材に平
行に移動させ移動装置を有することを特徴とする請求項
5記載の露光装置。 - 【請求項7】両面に感光材料を塗布してなる長尺の基材
を,その感光材料を塗布した面が水平となる状態で所定
の露光位置を通して水平に走行させる基材搬送装置と, 露光位置にある基材に沿って配置され,前記基材の両面
に絵柄の書かれた原版を密着させる複数の原版密着装置
と, 原版の外側に配置された露光光源と, 露光位置を外れた位置で前記基材の側縁に対向するよう
に配置された予備の原版密着装置と, 前記原版密着装置を,露光位置から横方向に移動させ,
予備の原版密着装置を露光位置に移動させる原版密着装
置駆動装置と, 前記原版密着装置を前記露光位置に固定する固定装置
と, 前記露光位置にある基材の両側にそれぞれ配置され,予
備の原版密着装置を前記基材に平行に移動させる移動装
置を有することを特徴とする露光装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2065605A JP2834835B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 露光装置 |
US07/666,081 US5083156A (en) | 1990-03-16 | 1991-03-07 | Vacuum contact printing device and exposure apparatus and original contact device |
KR1019910004092A KR0177157B1 (ko) | 1990-03-16 | 1991-03-15 | 진공밀착인화장치와 방법, 노광장치 및 원판밀착장치 |
DE4108838A DE4108838C2 (de) | 1990-03-16 | 1991-03-18 | Vakuumkontakt-Kopiervorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2065605A JP2834835B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03265835A JPH03265835A (ja) | 1991-11-26 |
JP2834835B2 true JP2834835B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=13291815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2065605A Expired - Lifetime JP2834835B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2834835B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102799078A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-11-28 | 霍永峰 | 一种实现pcb板两面曝光一致的辅助装置及方法 |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP2065605A patent/JP2834835B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102799078A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-11-28 | 霍永峰 | 一种实现pcb板两面曝光一致的辅助装置及方法 |
CN102799078B (zh) * | 2012-08-31 | 2014-09-03 | 霍永峰 | 一种实现pcb板两面曝光一致的辅助装置及方法 |
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Publication number | Publication date |
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JPH03265835A (ja) | 1991-11-26 |
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