CN116593497B - 一种高精度oled金属掩膜板视觉缺陷检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，包括：机体，其外侧设置用于密封机体的密封门以及用于观测成像位置的玻璃板，玻璃板连接该机体，且该密封门可摆动开启；安装组件，其内部用以安装掩膜板，该安装组件背离掩膜板的一端设置调整组件，调整组件能够控制该安装组件产生位移；清洁部，位于该安装组件下部，该清洁部可升降形成对掩膜板位置的密封，清洁部包括等离子装置，等离子装置出气端设置输送管延伸至清洁部外侧，清洁部的中部设置可调整的调节头，输送管连通等离子装置与调节头。在本发明中，通过改变掩膜板的图像检测方式来使掩膜板能够放大被检测，从而能够保证在进行检测过程中的检测精度。

Description

一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备

技术领域

本发明涉及视觉缺陷检测技术领域，具体为一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备。

背景技术

金属掩膜板是一种用于光刻或蒸镀等工艺的高精度金属板，可以在其表面制作出微小的图形或电路。金属掩膜板的材料一般是不锈钢，其最小线宽可以达到20微米。金属掩膜板在OLED显示屏、集成电路等领域有广泛的应用。

金属掩膜板检测是指对金属掩膜板的质量和性能进行检测的过程，主要包括对掩膜板的图形、尺寸、缺陷、对准等方面进行检测。金属掩膜板检测的目的是保证掩膜板的精度和可靠性，避免在光刻或蒸镀等工艺中造成缺陷或误差。金属掩膜板检测的方法有多种，主要分为光学检测和电子束检测。光学检测是利用光源和光学系统对掩膜板进行成像和分析，电子束检测是利用电子束扫描掩膜板并收集散射电子进行图像处理。

金属掩膜板缺陷是指金属掩膜板上存在的影响图形转移或光学性能的缺陷，主要有两大类：软缺陷和硬缺陷。软缺陷是指可以通过清洗或其他方法去除的缺陷，如灰尘、水渍、指纹等。硬缺陷是指无法通过清洗或其他方法去除的缺陷，如金属铬残留、金属铬缺失、玻璃划痕等。

现有的掩膜板在进行检测时大多为将掩膜板固定在检测装置内部，通过检测装置实现对掩膜板的检测，但由于掩膜板自身软缺陷的存在，在检测完成之后需要再次进行掩膜板的检测，直到消除所有的缺陷。

但软缺陷与硬缺陷的处理方式不同，因此，需要不同的处理工艺来进行处理，而软缺陷的处理方式较为简单，在掩膜板只存在软缺陷时，通过只需要对掩膜板进行清洗即可，将掩膜板从检测装置拆除，之后送去清洗，再回来进行检测的方式较为麻烦。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，通过光源对掩膜板的照射，之后将掩膜板图形进行放大投射，从而能够保证稳定的进行视觉检测，且在检测出现软缺陷时能够对其进行清洗处理，避免了需要二次装夹检测的麻烦。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，包括：

机体，其外侧设置用于密封机体的密封门以及用于观测成像位置的玻璃板，玻璃板连接该机体，且该密封门可摆动开启；

安装组件，其内部用以安装掩膜板，该安装组件背离掩膜板的一端设置调整组件，调整组件被限制于该机体内壁，且能够控制该安装组件产生位移；

清洁部，位于该安装组件下部，该清洁部可升降形成对掩膜板位置的密封，清洁部包括等离子装置，等离子装置出气端设置输送管延伸至清洁部外侧，清洁部的中部设置可调整的调节头，输送管连通等离子装置与调节头；

光源，设置于清洁部一侧并倾斜照射该掩膜板，清洁部的另一侧设置反射板，反射板位于光源照射该掩膜板的反射路径上并放大反射图形，反射板的一侧设置成像结构，成像结构显示反射路径最终位置的图形，成像结构正上方设置检测装置。

在本发明一或多个实施方式中，上述的调整组件包括：

驱动滑台，设置于该机体内侧，且能够相对于该机体产生与驱动滑台驱动方向相垂直方向的运动，该驱动滑台的驱动端设置连接架，连接架连接该安装组件，且该驱动滑台驱动安装组件移动；

伸缩杆，于该机体内壁，该伸缩杆伸缩端设置定位头，在驱动滑台带动连接架运动到一端时，连接架运动至定位头内部。

在本发明一或多个实施方式中，上述的安装组件包括：

安装架，连接该连接架，定位架内部设置反光板，反光板连接该安装架内壁，掩膜板位于该反光板外壁，掩膜板边角位置设置限位头，限位头由掩膜板的四角位置夹持该掩膜板；

夹板，位于该限位头外侧形成对限位头的夹持，夹板两端设置滑块，该滑块与夹板之间设置连接螺栓形成对夹板的固定。

在本发明一或多个实施方式中，上述的清洁部包括：

箱体，于该机体内壁，该箱体上部设置顶板，顶板下端延伸至箱体内部，顶板上部设置能够插入到该安装架内侧并与反光板接触的密封框，密封框实现反光板以及顶板之间的密封；

驱动装置，安装于该箱体内壁，其上部设置推板，驱动装置驱动该推板上下运动，推板上部设置支撑板，支撑板支撑该顶板；

定位框，连接该顶板底部，定位框内部设置异形板，异形板连接该推板。

在本发明一或多个实施方式中，上述的顶板包括：

升降板，连接该定位框，该支撑板形成对升降板的支撑，升降板内部设置位移组件，位移组件上部安装磁吸组件并控制实现平面内的运动。

在本发明一或多个实施方式中，上述的密封框包括：

框架，其上部以及下部内侧均设置密封圈，密封圈分别接触反光板以及升降板，该框架外侧安装真空泵，真空泵抽起端设置连接管形成真空泵与框架内侧之间的连通；

液压箱，于升降板内部，该液压箱内侧设置挤压结构，挤压结构位于该升降板内部并连接该挤压结构内壁，形成对液压箱内部液压油的挤压，液压箱外侧设置液压管，液压油由升降板内部延伸至升降板外侧；

插杆，由液压管内部延伸至液压管的外侧，且该插杆伸缩运动调整框架的位置，该调节头位于该框架内侧并与该磁吸组件适配磁吸。

在本发明一或多个实施方式中，上述的插杆包括：

滑杆，两段式设置，一段为刚性，一段为柔性，柔性一段插入液压管内部，刚性一段设置滑头，滑头位于该框架内侧且能够相对于框架滑动；

加强板，可伸缩安装于液压管内侧，滑杆刚性端开设导槽，加强板延伸至导槽内部并与导槽内壁接触。

在本发明一或多个实施方式中，上述的调节头包括：

运动架，位于该框架内部，其底壁贴合升降板上表面，运动架的上部安装可滑动的喷头，喷头连接输送管背离等离子装置的一端，喷头一侧设置推杆，推杆伸缩推动喷头滑动；

磁板二，于该运动架底部，该磁板二外侧设置磁环二，磁环二上下分别设置铁板以及橡胶垫，铁板连接该运动架，橡胶垫连接该磁环二，磁板二以及磁环二均形成与磁吸组件之间的磁吸；

凹槽，开设于橡胶垫外表面，该凹槽开口朝向升降板。

在本发明一或多个实施方式中，上述的磁吸组件包括：

调节架，安装于位移组件内侧，并由位移组件驱动改变位置，调节架内侧设置与磁板二以及磁环二位置对应的磁板一以及磁环一，磁板一与磁环一分别磁吸磁板二与磁环二。

在本发明一或多个实施方式中，上述的成像结构包括：

支架，于机体内部，该支架上部设置放置板，放置板安装于支架上，放置板的内部设置成像板；

气囊，位于该成像板底部并形成对成像板的支撑，气囊与真空泵出气口之间设置气管，气管连通真空泵以及气囊；

反射板包括：

连接板，位于机体内部并与机体连接，该连接板内侧放置用于放大反射图形的凸镜。

本发明提供了一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备。与现有技术相比具备以下有益效果：

1、在本发明中，通过改变掩膜板的图像检测方式来使掩膜板能够放大被检测，从而能够保证在进行检测过程中的检测精度，而由于就按测装置并非直接朝向掩膜板的表面进行检测，因此，在检测完成之后能够对掩膜板表面的软缺陷进行处理。

2、在检测装置检测到软缺陷时，通过对掩膜板进行密封，之后将掩膜板位置进行抽真空处理，在真空状态下利用等离子气体来实现对软缺陷位置的冲击，从而能够在检测设备内部完成对软缺陷的处理，在处理完成之后能够及时进行二次检测。

3、本发明通过能够调整位置的调节头，在经过抽真空之后，能够通过控制磁吸组件的位置来实现对内部调节头的位置调整，从而能够保证在使用的过程中对调节头的位置调整，进行不同位置软缺陷的处理，利用磁性来控制真空内部的物体运动，减少密封框的密封难度。

4、本发明通过设置可调整位置的顶板，在使用时，密封框与反光板接触之后能够通过控制顶板的位置实现对内部调节头位置的调整，利用顶板的整体运动来使调节头运动，而再通过磁吸组件带动调节头运动能够实现对调节头的双重控制，使调节头获得更大的运动范围。

附图说明

图1为本发明的立体图；

图2为本发明的机体剖视图；

图3为本发明的机体内部结构示意图；

图4为本发明的成像板与检测装置爆炸图；

图5为本发明的机体内部局部结构示意图；

图6为本发明的调整组件与安装组件示意图；

图7为本发明的安装组件仰视图；

图8为本发明的安装组件翻转爆炸图；

图9为本发明的安装组件局部结构爆炸图；

图10为本发明的机体半剖平面图；

图11为本发明的清洁部示意图；

图12为本发明的箱体剖视图；

图13为本发明的箱体内部结构仰视图；

图14为本发明的箱体内部结构去除推板结构示意图；

图15为本发明的升降板剖视图；

图16为本发明的密封框结构爆炸图；

图17为本发明的位移组件示意图；

图18为本发明的液压箱剖视图；

图19为本发明的插杆结构爆炸图；

图20为本发明的液压管剖视图；

图21为本发明的位移组件、磁吸组件以及调节头示意图；

图22为本发明的调节头与磁吸组件爆炸图；

图23为本发明的调节头与磁吸组件平面图；

图24为本发明的调节头仰视爆炸图。

图中：1机体、2密封门、3玻璃板；

21光源、22调整组件、23安装组件、24清洁部、25反射板、26成像结构、27检测装置；

221驱动滑台、222连接架、223伸缩杆、224定位头；

231安装架、232反光板、233掩模板、234滑槽、235滑块、236夹板、237连接螺栓、238限位头、239套管、2310定位杆；

241箱体、242顶板、243密封框、244等离子装置、2441输送管、245推板、246驱动装置、247支撑板、248定位框、249异形板；

2421升降板、2422位移组件、2423磁吸组件；

24231调节架、24232磁板一、24233磁环一；

2431框架、2432真空泵、2433连接管、2434密封圈、2435液压箱、2436液压管、2437插杆、2438挤压结构、2439调节头；

24371滑杆、24372滑头、24373加强板、24374导槽；

24391运动架、24392喷头、24393推杆、24394磁板二、24395铁板、24396磁环二、24397橡胶垫、24398凹槽；

251连接板、252凸镜、253伸缩架、254定位架；

261支架、262放置板、263成像板、264气囊、265气管。

具体实施方式

以下将以附图揭露本发明的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说，在本发明部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些现有惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示之，而在所有附图中，相同的标号将用于表示相同或相似的元件。且若实施上为可能，不同实施例的特征是可以交互应用。

除非另有定义，本文所使用的所有词汇（包括技术和科学术语）具有其通常的意涵，其意涵能够被熟悉此领域者所理解。更进一步的说，上述的词汇在普遍常用的字典中的定义，在本说明书的内容中应被解读为与本发明相关领域一致的意涵。除非有特别明确定义，这些词汇将不被解释为理想化的或过于正式的意涵。

请参阅图1-24，本发明提供一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，用于对掩模板233进行视觉检测，在进行检测的过程中能够将掩膜板的电路图放大进行检测，在进行检测时能够对掩模板233的软缺陷进行处理。

其特征在于，包括：

机体1，其外侧设置用于密封机体1的密封门2以及用于观测成像位置的玻璃板3，玻璃板3固定连接该机体1，且该密封门2可摆动开启；

安装组件23，其内部用以安装掩膜板，该安装组件23背离掩膜板的一端设置调整组件22，调整组件22被限制于该机体1内壁，且能够控制该安装组件23产生位移；

清洁部24，位于该安装组件23下部，该清洁部24可升降形成对掩膜板位置的密封，清洁部24包括等离子装置244，等离子装置244出气端设置输送管2441延伸至清洁部24外侧，清洁部24的中部设置可调整的调节头2439，输送管2441连通等离子装置244与调节头2439；

光源21，设置于清洁部24一侧并倾斜照射该掩膜板，清洁部24的另一侧设置反射板25，反射板25位于光源21照射该掩膜板的反射路径上并放大反射图形，反射板25的一侧设置成像结构26，成像结构26显示反射路径最终位置的图形，成像结构26正上方设置检测装置27。

在本实施例中，光源21所照射掩膜板形成的反射路径能够放大掩膜板表面的图形，在经过反射板25的反射成像之后能够放大最终所显示的图形，从而在检测装置27进行图像的检测时能够更加精准，而由于在反射之后所形成的缺陷为图形光暗变化，在成像时只需要进行光亮度的处理即可识别软缺陷的位置。

在一种实施例中，调整组件22包括：

驱动滑台221，设置于该机体1内侧，且能够相对于该机体1产生与驱动滑台221驱动方向相垂直方向的运动，该驱动滑台221的驱动端设置连接架222，连接架222连接该安装组件23，且该驱动滑台221驱动安装组件23移动；

伸缩杆223，固定于该机体1内壁，该伸缩杆223伸缩端设置定位头224，在驱动滑台221带动连接架222运动到一端时，连接架222运动至定位头224内部。

在本实施例中，通过设置能够带动运动架24391运动的伸缩杆223以及定位头224，在使用时伸缩杆223的伸缩会带动定位头224的移动，定位头224通过运动架24391带动驱动滑台221的移动。

其中，驱动滑台221的上部设置T型块，T型块延伸至机体1内侧，机体1内侧配置能够供T型块产生一定距离运动的T型槽，使驱动滑台221能够产生一定量的移动。

在一种实施例中，安装组件23包括：

安装架231，固定连接该连接架222，定位架254内部设置反光板232，反光板232固定连接该安装架231内壁，掩膜板位于该反光板232外壁，掩膜板边角位置设置限位头238，限位头238由掩膜板的四角位置夹持该掩膜板；

夹板236，位于该限位头238外侧形成对限位头238的夹持，夹板236两端设置滑块235，该滑块235与夹板236之间设置连接螺栓237形成对夹板236的固定。

在本实施例中，通过夹板236的设置，能够贴合限位头238外表面，使限位头238能够被固定，由于限位头238与反光板232之间仅为接触，限位头238在不被限制不能够产生对掩膜板的固定，而通过连接螺栓237来调整滑块235与夹板236之间的间隙之后能够使夹板236稳定的对限位头238进行夹持。

其中，该反光板232内侧形成滑槽234，滑槽234与滑块235形状适配，使滑块235能够在滑块235内部滑动从而调整夹板236的对限位头238的夹持位置。

在另外的实施例中，限位头238的外侧设置定位杆2310，定位杆2310延伸至限位头238内侧，形成对限位头238的限位，定位杆2310相互靠近的一端设置套管239，套管239套设于定位杆2310外侧，而定位杆2310螺纹连接该套管239，且定位杆2310螺纹方向相反。

在一种实施例中，清洁部24包括：

箱体241，固定于该机体1内壁，该箱体241上部设置顶板242，顶板242下端延伸至箱体241内部，顶板242上部设置能够插入到该安装架231内侧并与反光板232接触的密封框243，密封框243实现反光板232以及顶板242之间的密封；

驱动装置246，安装于该箱体241内壁，其上部设置推板245，驱动装置246驱动该推板245上下运动，推板245上部设置支撑板247，支撑板247支撑该顶板242；

定位框248，固定连接该顶板242底部，定位框248内部设置异形板249，异形板249连接该推板245。

在本实施例中，通过异形板249延伸至定位框248内部，利用定位框248限制异形板249的位置，从而能够使顶板242的活动范围被限制，不会运动过度导致支撑板247无法对顶板242进行支撑的情况，而驱动装置246为驱动电机带动螺纹杆转动，驱动电机带动螺纹杆转动能够使推动进行高度位置的调整。

在一种实施例中，顶板242包括：

升降板2421，连接该定位框248，该支撑板247形成对升降板2421的支撑，升降板2421内部设置位移组件2422，位移组件2422上部安装磁吸组件2423并控制实现平面内的运动。

在本实施例中，位移组件2422为四个滑台相互组合形成对磁吸组件2423位置的控制，使磁吸组件2423能够在一定的范围内运动，而磁吸组件2423的运动能够实现对调节头2439的控制。

在一种实施例中，密封框243包括：

框架2431，其上部以及下部内侧均设置密封圈2434，密封圈2434分别接触反光板232以及升降板2421，该框架2431外侧安装真空泵2432，真空泵2432抽起端设置连接管2433形成真空泵2432与框架2431内侧之间的连通；

液压箱2435，固定于升降板2421内部，该液压箱2435内侧设置挤压结构2438，挤压结构2438位于该升降板2421内部并连接该挤压结构2438内壁，形成对液压箱2435内部液压油的挤压，液压箱2435外侧设置液压管2436，液压油由升降板2421内部延伸至升降板2421外侧；

插杆2437，由液压管2436内部延伸至液压管2436的外侧，且该插杆2437伸缩运动调整框架2431的位置，该调节头2439位于该框架2431内侧并与该磁吸组件2423适配磁吸。

在本实施例中，框架2431在使用时其上下表面会接触反光板232和升降板2421，而密封圈2434的设置能够在真空泵2432工作将框架2431内侧进行抽真空时，密封圈2434能够保证框架2431密封的稳定性，而在使用的过程中，密封圈2434能够弥补框架2431与反光板232和升降板2421之间接触的间隙。

其中，插杆2437延伸至液压管2436外部的一端延伸至框架2431的内侧，在液压管2436内部的液压油变化时，能够通过插杆2437来调整框架2431的位置，而框架2431的位置被安装架231固定，因此，在插杆2437伸缩时，升降板2421移动。插杆2437延伸至框架2431内侧的一端可移动，在伸缩杆223通过定位头224带动驱动滑台221运动时，能够使框架2431的位置运动，升降板2421不动。

在一种实施例中，插杆2437包括：

滑杆24371，两段式设置，一段为刚性，一段为柔性，柔性一段插入液压管2436内部，刚性一段设置滑头24372，滑头24372位于该框架2431内侧且能够相对于框架2431滑动；

加强板24373，可伸缩安装于液压管2436内侧，滑杆24371刚性端开设导槽24374，加强板24373延伸至导槽24374内部并与导槽24374内壁接触。

在本实施例中，将滑杆24371设置于一段刚性一段柔性，在使用时，能够使柔性一段插入液压管2436内部之后弯曲，从而减少液压管2436的长度，降低空间的占用，而在通过滑杆24371将整个框架2431推动需要较长的滑杆24371才能够保证框架2431在升降板2421的密封范围内完整的运动，而由于框架2431的位移距离较长，通过柔性滑杆24371会导致位移量出现偏差，通过刚性滑杆24371所需要的空间较大。

其中，为了能够保证柔性一段在伸出时能够减少误差，刚性一段在伸出之后会将加强板24373拉出，使加强板24373贴合柔性一段的外壁，从而形成对柔性一段延伸过程中的支撑，保证位移的稳定性，而为了保证防护板能够稳定的伸缩，导槽24374靠近柔性一段与防护板接触所产生的摩擦力大于防护板插入液压管2436时的摩擦力。

在一种实施例中，调节头2439包括：

运动架24391，位于该框架2431内部，其底壁贴合升降板2421上表面，运动架24391的上部安装可滑动的喷头24392，喷头24392连接输送管2441背离等离子装置244的一端，喷头24392一侧设置推杆24393，推杆24393伸缩推动喷头24392滑动；

磁板二24394，固定于该运动架24391底部，该磁板二24394外侧设置磁环二24396，磁环二24396上下分别设置铁板24395以及橡胶垫24397，铁板24395固定连接该运动架24391，橡胶垫24397固定连接该磁环二24396，磁板二24394以及磁环二24396均形成与磁吸组件2423之间的磁吸；

凹槽24398，开设于橡胶垫24397外表面，该凹槽24398开口朝向升降板2421。

在本实施例中，输送管2441贯穿框架2431以及运动架24391并在运动架24391的内部弯折为U型，为了保证输送管2441在真空下不会收缩，输送管2441为金属软管，且输送管2441与框架2431的贯穿的位置为密封固定连接，而通过在运动架24391内部的U型弯折，在使用时运动架24391产生位移，能够利用U型弯折的位置变化来保证输送管2441的输气稳定。

其中，将喷头24392设置为可伸缩式，能够弥补在输送管2441与运动架24391连接位置弯折无法进行该位置的清洁问题，通过运动喷头24392，能够获得更稳定的清洁范围，利用喷头24392喷出等离子气体来对掩膜板的表面进行清洁。

在一种实施例中，磁吸组件2423包括：

调节架24231，安装于位移组件2422内侧，并由位移组件2422驱动改变位置，调节架24231内侧设置与磁板二24394以及磁环二24396位置对应的磁板一24232以及磁环一24233，磁板一24232与磁环一24233分别磁吸磁板二24394与磁环二24396。

在本实施例中，磁板一24232以及磁环一24233均为电磁铁，通电之后磁板一24232磁吸磁板二24394，调节架24231被位移组件2422带动改变位置，从而带动运动架24391的位置改变，达到调整喷头24392位置的目的，而磁环一24233在磁吸磁环二24396时，磁环二24396脱离铁板24395，带动橡胶垫24397向下运动，凹槽24398贴合升降板2421上表面，内部的空气被挤压出，而磁环一24233在断电之后，磁环二24396磁吸铁板24395。

在一种实施例中，成像结构26包括：

支架261，固定于机体1内部，该支架261上部设置放置板262，放置板262安装于支架261上，放置板262的内部设置成像板263；

气囊264，位于该成像板263底部并形成对成像板263的支撑，气囊264与真空泵2432出气口之间设置气管265，气管265连通真空泵2432以及气囊264；

反射板25包括：

连接板251，位于机体1内部并与机体1连接，该连接板251内侧放置用于放大反射图形的凸镜252。

在本实施例中，成像板263为柔性设置，在气囊264充气之后中部被支撑形成球面，在使用过程中，由于成像板263的表面光滑容易吸附灰尘，而成像板263位于检测装置27的位置，在吸附灰尘之后会影响对图形的判断，而在进行清洁时能够配合真空泵2432形成球面，以便于进行清洁液体的导向。

在另外的实施例中，位于清洁部24一侧的反射板25下部还设置伸缩架253和定位架254，通过调整伸缩架253和定位架254能够调整该位置反射板的高度，伸缩架253和定位架254通过螺栓固定。

综上所述，本发明上述实施方式所揭露的技术方案至少具有以下优点：

1、在本发明中，通过改变掩膜板的图像检测方式来使掩膜板能够放大被检测，从而能够保证在进行检测过程中的检测精度，而由于就按测装置并非直接朝向掩膜板的表面进行检测，因此，在检测完成之后能够对掩膜板表面的软缺陷进行处理。

2、在检测装置27检测到软缺陷时，通过对掩膜板进行密封，之后将掩膜板位置进行抽真空处理，在真空状态下利用等离子气体来实现对软缺陷位置的冲击，从而能够在检测设备内部完成对软缺陷的处理，在处理完成之后能够及时进行二次检测。

3、本发明通过能够调整位置的调节头2439，在经过抽真空之后，能够通过控制磁吸组件2423的位置来实现对内部调节头2439的位置调整，从而能够保证在使用的过程中对调节头2439的位置调整，进行不同位置软缺陷的处理，利用磁性来控制真空内部的物体运动，减少密封框243的密封难度。

4、本发明通过设置可调整位置的顶板242，在使用时，密封框243与反光板232接触之后能够通过控制顶板242的位置实现对内部调节头2439位置的调整，利用顶板242的整体运动来使调节头2439运动，而再通过磁吸组件2423带动调节头2439运动能够实现对调节头2439的双重控制，使调节头2439获得更大的运动范围。

虽然结合以上实施方式公开了本发明，然而其并非用以限定本发明，任何熟悉此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围应当以所附的权利要求所界定的为准。

Claims (6)

1.一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，其特征在于，包括：

机体，其外侧设置用于密封机体的密封门以及用于观测成像位置的玻璃板，玻璃板连接该机体，且该密封门可摆动开启；

安装组件，其内部用以安装掩膜板，该安装组件背离掩膜板的一端设置调整组件，调整组件被限制于该机体内壁，且能够控制该安装组件产生位移；

清洁部，位于该安装组件下部，该清洁部可升降形成对掩膜板位置的密封，清洁部包括等离子装置，等离子装置出气端设置输送管延伸至清洁部外侧，清洁部的中部设置可调整的调节头，输送管连通等离子装置与调节头；

光源，设置于清洁部一侧并倾斜照射该掩膜板，清洁部的另一侧设置反射板，反射板位于光源照射该掩膜板的反射路径上并放大反射图形，反射板的一侧设置成像结构，成像结构显示反射路径最终位置的图形，成像结构正上方设置检测装置；

调整组件包括：

驱动滑台，设置于该机体内侧，且能够相对于该机体产生与驱动滑台驱动方向相垂直方向的运动，该驱动滑台的驱动端设置连接架，连接架连接该安装组件，且该驱动滑台驱动安装组件移动；

安装组件包括：

安装架，连接该连接架，定位架内部设置反光板，反光板连接该安装架内壁，掩膜板位于该反光板外壁，掩膜板边角位置设置限位头，限位头由掩膜板的四角位置夹持该掩膜板；

清洁部包括：

箱体，于该机体内壁，该箱体上部设置顶板，顶板下端延伸至箱体内部，顶板上部设置能够插入到该安装架内侧并与反光板接触的密封框，密封框实现反光板以及顶板之间的密封；

驱动装置，安装于该箱体内壁，其上部设置推板，驱动装置驱动该推板上下运动，推板上部设置支撑板，支撑板支撑该顶板；

定位框，连接该顶板底部，定位框内部设置异形板，异形板连接该推板；

顶板包括：

升降板，连接该定位框，该支撑板形成对升降板的支撑，升降板内部设置位移组件，位移组件上部安装磁吸组件并控制实现平面内的运动；

密封框包括：

框架，其上部以及下部内侧均设置密封圈，密封圈分别接触反光板以及升降板，该框架外侧安装真空泵，真空泵抽起端设置连接管形成真空泵与框架内侧之间的连通；

调节头包括：

运动架，位于该框架内部，其底壁贴合升降板上表面，运动架的上部安装可滑动的喷头，喷头连接输送管背离等离子装置的一端，喷头一侧设置推杆，推杆伸缩推动喷头滑动；

磁板二，位于该运动架底部，该磁板二外侧设置磁环二，磁环二上下分别设置铁板以及橡胶垫，铁板连接该运动架，橡胶垫连接该磁环二，磁板二以及磁环二均形成与磁吸组件之间的磁吸；

凹槽，开设于橡胶垫外表面，该凹槽开口朝向升降板；

磁吸组件包括：

调节架，安装于位移组件内侧，并由位移组件驱动改变位置，调节架内侧设置与磁板二以及磁环二位置对应的磁板一以及磁环一，磁板一与磁环一分别磁吸磁板二与磁环二。

2.根据权利要求1所述的一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，其特征在于，调整组件还包括：伸缩杆，于该机体内壁，该伸缩杆伸缩端设置定位头，在驱动滑台带动连接架运动到一端时，连接架运动至定位头内部。

3.根据权利要求2所述的一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，其特征在于，安装组件还包括：夹板，位于该限位头外侧形成对限位头的夹持，夹板两端设置滑块，该滑块与夹板之间设置连接螺栓形成对夹板的固定。

4.根据权利要求3所述的一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，其特征在于，密封框还包括：

液压箱，于升降板内部，该液压箱内侧设置挤压结构，挤压结构位于该升降板内部并连接该挤压结构内壁，形成对液压箱内部液压油的挤压，液压箱外侧设置液压管，液压油由升降板内部延伸至升降板外侧；

插杆，由液压管内部延伸至液压管的外侧，且该插杆伸缩运动调整框架的位置，该调节头位于该框架内侧并与该磁吸组件适配磁吸。

5.根据权利要求4所述的一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，其特征在于，插杆包括：

滑杆，两段式设置，一段为刚性，一段为柔性，柔性一段插入液压管内部，刚性一段设置滑头，滑头位于该框架内侧且能够相对于框架滑动；

加强板，可伸缩安装于液压管内侧，滑杆刚性端开设导槽，加强板延伸至导槽内部并与导槽内壁接触。

6.根据权利要求5所述的一种高精度OLED金属掩膜板视觉缺陷检测设备，其特征在于，成像结构包括：

支架，于机体内部，该支架上部设置放置板，放置板安装于支架上，放置板的内部设置成像板；

气囊，位于该成像板底部并形成对成像板的支撑，气囊与真空泵出气口之间设置气管，气管连通真空泵以及气囊；

反射板包括：

连接板，位于机体内部并与机体连接，该连接板内侧放置用于放大反射图形的凸镜。