JPH03265837A - 真空密着焼付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、露光すべき基材の両面に真空を利用して原版
を密着させ焼付けるための真空密着焼付装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、フィルムやガラス板などからなる透過性の原版
にかかれた絵柄を他の露光材料に密着焼付法で輻射する
場合、高品位複写法として真空密着法が用いられている
（例えば、特開昭５８−１３６０２６号公報参照）。

この真空密着法を利用した密着焼付装置の１例として、
第５図に示すものがある。この密着焼付装置は感光基材
１の両側に、それぞれガラス等の原版２，２を配置させ
るように真空チャック等（図示せず）により固定した一
対の枠３，３と、各枠３，３の対向する面に取？−１け
られたバッキング４．４と、一方の枠３に形成された排
気口５に接続された真空ポンプ（図示せず）と、各枠３
，３を互いに接近及び離間するように往復動可能に保持
したヘッド６と、基材１の両側に配置された光源７等を
備えている。

この密着焼付装置による焼付動作は次のように行われる
。すなわち、まず、感光基材１を原版２，２間の所定位
置に位置決めした後、一対の枠３．３を感光基＋Ａ’　
］に接近する方向に移動させて、感光基材１を両面の原
版３，３ではさみ、バッキング４．４により枠３３間を
シールする。これにより９両面の原版２．２枠３．３及
びバッキング４，４によって密閉された真空室８が形成
される。次に、真空室８に連通した排気口５から内部の
空気を真空ポンプで吸引して真空室８内を真空にする。

その結果、第６図に示す如く１両面の原版２．２が大気
に押圧され、感光基材１に密着する。その後、光源７．
７を点灯させることにより、原版２．２の絵柄が感光基
材１に焼付けられる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、かかる従来装置では２例えば、ブラウン管用シ
ャドウマスクのように感光基材１が大面積であって、同
様に原版２が大型な場合、第７図に示すように真空密着
不良な部分９がしばしば発生ずるという問題があった。

この真空密着不良な部分９は局所的に発生し、特に中心
部付近に発生ずることが多い。この現象は、当事者がニ
ュートンリングと称する干渉縞を見ることにより判別し
たり、或いは複写された感光基材の複写状態からあとで
確認されることもある。

この原因は、真空室内の端部から吸引減圧する際に原版
又は感光基材の外周部付近が素早く吸引密着され中心部
付近の空気が閉しこめられ、吸引しにくくなるからであ
る。

中心部付近の空気を吸引するには、長時間かけて外周部
密着部から引き出すより手段がない。従って、原版及び
感光基材が大型で且つ平滑性のよい場合には外周部が密
着してしまうと、中心部の空気を吸引することが極めて
困難であり、中心部の空気を吸引して両者を密着させる
には数分から数十分要するため生産上大きな問題となっ
ている。

この吸引密着時間を短縮するための手段としては原版又
は感光基材に工夫がなされていることが多い。

例えば、密着面に露光」二実害とならない程度の微細な
粗面化を行っている。粗面化された部分は密着時に微小
な空間を形成するから、この微小空間から内部の空気を
吸引除去可能であり２粗面化の程度にもよるが吸引時間
を】／２〜数分の１に短縮することが可能である。しか
しながら、この方法では原版又は感光基材に粗面化を行
うという別工程を必要とするという問題が生しる。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、原版や
感光、２１（材に粗面化等のカロエを必要とせず、しか
も極めて短時間ｔこ原版を感光基材に良好−に密着させ
ることの可能な真空密着焼付装置を提供することを目的
とする。

〔課題を解決するための手段〕

すわなち２本発明は、原版をそれぞれ保持した一対の枠
であって、前記原版の間に第一真空室を形成する一対の
枠と 該一対の枠の各々に、保持した原版の外側に原版との間
に第二真空室を形成するように取イ］けられた透光性板
と 、前記第一真空室及び第二真空室を排気して減圧し且つ
少な（とも第二真空室のみの真空を解除可能な真空吸引
装置を有する真空密着焼付装置を要旨とする。

〔作用〕

上記構成の真空密着焼付装置では、感光基材を一対の原
版の間に位置させ、その感光基材に原版を真空密着させ
るに際し、原版間の第一真空室とその外側に形成された
第二真空室とを同時に真空吸引する。このため、原版は
その両面に真空が作用するので、変形することがなく、
従って感光基材に押付けられ外周部が先に密着してしま
うということがない。このため、原版と感光基材との間
に空気が閉し込められず、原版と感光基材との間の空気
は短時間で十分に吸引される。原版間の第一真空室が所
望の真空状態となると、第二真空室に空気を戻す。これ
により原版外面に大気圧が作用し、原版は感光基材に押
圧され密着する。かくして極めて短時間のうちに、原版
を感光基材に良好に真空密着させることができる。露光
は、透光性板を通して行うことができる。

〔実施例〕

以下１図面に示す本発明の好適な実施例を説明する。

第１図は本発明の一実施例による真空密着焼付装置の概
略側面図、第２図はその概略平面図である。同図におい
て、１１は露光ずべき感光基材、１２．１２は感光暴利
１１に複写するための所定の絵柄がかかれたガラス等の
原版である。この原版１．２．１２は、一対の枠１３．
１３に、真空吸着溝１４．１４によって真空吸着されて
保持されている。一対の枠１３．１３の対向面には、原
版１２．１２の外側に位置するようにバッキング１５．
１５が取付けられている。これらの原版１２，１２．枠
１．３．１．３．バッキング１５，１５は第一真空室１
６を形成する。ここで使用するバ・ノキング１５は軟質
なほどよく、硬質なものを用いると真空密着する際、バ
フ−１−ングが縮みに＜＜、原版同志が密着しにくくな
る。更にバンキング１５が硬質な場合、第１図の様に感
光基材１１とバンキング１５が接しないところと、第２
図の様に接するところとの境い目から真空が漏れること
がまれに発生ずるという問題がある。

一対の原版１．２．１２の」−下の端部間には、テープ
金属板９紙等で形成されるスペーサ１７が設けられてい
る。このスペーサ１７は、感光基材１１よりはやや厚み
があるが、原版１２．１２が真空密着により感光基材１
１に押圧されたときには原版１２．１２がたわむことに
より感光基材１１に隙間なく密着することができる程度
の厚みに定められている。スペーサ１７の効果について
は後述する。

一対の枠ｉ、１３の各々には、原版１．２，１．２の外
側に原版との間に第二真空室１９．１９を形成するよう
に、原版１２．１２に平行に、ガラス、樹脂板等で構成
された透光性＋７ｉ２０．２０がボルト又は市販のワン
タッチクランプ（図示せず）により取付けられている。

また、枠１３と透光性板２０との間にはバッキング２１
が配置され気密性を保つようになっている。

透光性板２０．２０の更に外側には、露光用光源２２．
２２が設けられている。この露光用光源２２は透光性板
２０を通して原版１２の画像を感光基材１１に焼４＝Ｊ
ｔＪることための露光用光を照射するものであり従来使
用されている光源を使用できる。例えば、感光基材１１
に塗布した感光剤が３００〜５００ｎｍの波長の光によ
って感光するものを用いた場合、光源２２は、主として
紫外領域（約４００　ｎ　ｍ以下）の光を含んだ露光用
光を照射する超高圧水銀灯等の光源や、或いは逆に主と
して紫外領域より長波長域の光を含んだ露光用光を照射
するメタルハライドランプ等の光源を用いることができ
る。前記した透光性板２０は、露光に使用する光を透過
しうる材料で構成されるものであり２例えば、露光に紫
外光を利用する場合には、透光性板２０として紫外光透
過性のガラスや樹脂板（例えばアクリル板）が使用され
る。また、逆に紫外領域より長波長域の光を使用する場
合には、その波長域の光を透過させるものが使用される
。なお、透光性板２０には２強度面からガラス板よりも
、アクリル板等の樹脂板を使用することが望ましいが、
一般に樹脂板は紫外光吸収性のものが多い。従って、露
光用光源としてメタルハライドランプ光源を使用する場
合には、紫外光吸収性のアクリル樹脂板を使用すること
ができる。

露光用光源２２の強さば２透光性板２０の透過特性と感
光材料の感度により選定される。

第一真空室１６及び第二真空室１９．１９には２内部を
排気して減圧する真空吸引装置２３が接続されている。

この真空吸引装置２３は、第一真空室１６に開口した真
空吸引口２４ａに接続された第一真空配管２４と、各第
二真空室１９に開口した真空吸引口２６ａに接続された
第二真空配管２６と、これらの真空配管２４．２６にそ
れぞれ弁（図示せず）を介して接続された真空ポンプ等
の真空源等を備えており、その真空源によって、第一真
空室１６．第二真空室１９．１９を真空吸引可能である
。なお、真空配管２４．２６Ｌよそれぞれに設けた弁（
図示セず）によって１個々に真空を解除可能となってい
る。

更に、真空配管２４．．２６は逆止弁２７及び配管２８
ａ、２８ｂを介して相互に接続されている。この逆止弁
２７は、第一真空室１６から第二真空室１９，１９へば
気体が流れるがその逆の流れは阻止するように設りるも
のであり、この逆止弁２７を設けたことにより９例えば
バンキング１５から真空が漏れて第一真空室１６の圧力
が上昇しても、同時に第二真空室１９゜１９の圧力が上
昇し、原版１２が第二真空室１９側に押圧されて破損す
るということを防止することができる。逆止弁２７は、
配管２８ａ、２８ｂにつながれた透明なアクリルの箱２
７ａと、第一真空室１６につながる側の配管２８ａを寒
く位置に配置されたアクリル板２７ｂ及びそれを押すば
ね２７ｃ等を有しており第一真空室１６よりも第二真空
室１９の方が、より真空となった場合、アクリル板２７
ｂが矢印の方に押されて通路を開くことにより、第一真
空室１６と第二真空室１９が同し圧力となる。なお、厳
密には、矢印の方へアクリル板２７ｂが押されるときに
、ばね２７　ｃ。

が押し戻そうとする力とアクリル板２７ｂの重量がある
ため、この力に打ち勝つまでアクリル板２７ｂは配管２
８ａを塞いだ状態のままに保たれるため、若干の圧力差
は生しる。この圧力差は極力小さい方が望ましいので、
ばね２７ｃはできるだ６ノ弱い方がよく、原版の剛性に
応してばね２７ｃの許容される力を決定すればよい。

一対の枠１３．１３は、水平に配置されたヘッド３０上
を往復動するように配置されている。すなわちヘッド３
０上にはレール３１が取付けられ、そのレール３■に沿
って摺動可能なレール従動体３２が各枠１３に取付けら
れている。更に、ベツド３０」二には二つの枠１３．１
３に対応してボールネジ（図示せず）が取付けられ、各
ボールネジに噛み合うねし従動体（図示せず）が各枠１
３に取付けられている。かくして２本のボールネジをモ
ータ（図示せず）によって回転させることにより、各ね
し従動体に連結された枠１３Ｉ３を、第１図、第２図に
示す閉位置と、その位置から左右に開いた開位置とに開
閉することができる。

第２図において、一対の枠１．３．１３をはさんだ両側
に、感光基材１１を案内するガイドローラ３６，３７と
、感光基材１１を巻装した繰出しドラム３日を装着する
ためのドラＪ、回転軸３９と、感光基材１１を巻取るた
めの巻取りドラム４０を装着するためのドラム回転軸４
１等が設けられている。感光基材繰出側のドラム回転軸
３９にはブレーキ（図示せず）が連結されており、感光
基材巻取側のドラム回転軸４１には減速機を介してモー
タ〈図示せず〉が連結されている。かくして、モータの
回転により、感光基）Ａ１１を一定長さずつ送ることが
できる。

次に以上のように構成された真空密着焼付装置によって
原版の画像を感光基材に焼付ける工程について説明する
。

最初ムこ、一対の枠１３．１３を開いた状態で、感光基
材１１を巻装した繰出しドラム３８及び巻取りドラム４
０をそれぞれドラム回転軸３９．４．１に取付は繰出し
ドラム３８から感光基材１１を引き出し、ガイドローラ
３６を通して枠１３．１３の中に通し、その後ガイドロ
ーラ３７を通した後１巻取りドラム４０へ掛は渡し、張
設する。

感光基材】】を以上のようにセントした後、一対の枠１
．３，１．３を閉しる。これ番こより、第１図に示すよ
２ うに、一対の原版１２．１２が上下のスペーサ１７で定
まる間隔に保持され、また、一対の原版１２．１２間に
形成される第一真空室１６の周縁がバッキング１５．１
５同志の接触及びバッキング１５と感光基材１１との接
触（第２図参照）によって密閉される。

次に、真空配管２４．２６に同時に真空を作用させて第
一真空室１６．第二真空室１９．１９を同時に同圧ずつ
減圧させ、真空とする。この時、透光性板２０２０の外
面には第１図に矢印で示すように大気圧が作用するが、
原版１２．１２の外面は第二真空室１９１９となってい
るので大気圧が作用しない。このため原版１２．１２が
従来のように直ちに感光基材１１に押付けられ、感光基
材１１との間に空気を閉じ込めるということがなく、原
版１２と感光基材１１との間の空気も敏速に排気される
。

第一真空室１６．第二真空室１．９．１９を所望の真空
度にまで減圧した後、第一真空室１６は減圧したまま、
第二真空室１９．１９への真空を解除する。これにより
、第二真空室１９．１９の内圧が上昇し、第３図に矢印
で示すように、原版１２．１２の外面側に圧力が作用し
、原版］、２．１２を感光基材１１の全面に密着させる
。第二真空室１．９，１．９が大気圧になった後、光源
２２．２２を点灯し、ｉ３光性根２０．２０を通して露
光を行う。

次に第一真空室１６の真空を解除し、原版１２，１２を
固定した枠１３．１３を開き１巻取りドラム４１を回転
して感光基材１１を所定の長さだけ巻き取る。

これにより１次に露光すべき感光基材１■の部分が一対
の原版１２．１２の間に送られる。その後、再び枠１３
．１３を閉し、以」−の動作を繰り返す。これにより、
連続的に密着焼付が行われる。

」二記したように、第一真空室１６と第二真空室１９】
９とを同時に所望の真空度ムこまで吸引すると、原版１
２．１２と感光基材１１との間の空気も吸引され。

この間に空気が局部的に閉し込められるということがな
い。このため、第二真空室１９．１９の真空を破って原
版１２．１２の外面に大気圧を作用させることにより、
原版１２．１２を感光基材１１に良好に密着させること
ができる。従って、良好な密着状態を得るまでの時間は
、主に、第一真空室１６．第二真空室１９１９を所望の
真空度にまで排気するに必要な時間によって定まる。こ
の時間は、真空ポンプの能力と、第一真空室１６．第二
真空室１９．１９の容積と、真空配管２４．２６の管抵
抗等によって決まるから、ポンプ排気能力の増大、配管
径の大口化等を行うことにより、短縮することができる
。

これに対し、第５図〜第７図に示す従来装置では前記し
たように原版の周縁が先に感光基材に密着し、内部に閉
しこめられた空気が周辺密着部の外部に排気されにくい
ため１ポンプ能力を増大しても、これに比例した時間短
縮が図れない。従って、上記した本発明の実施例では従
来に比べてはるかに短時間で密着を行うことができる。

なお、上記実施例では一対の原版１２，１．２間にスペ
ーサ１７を介在させている。このスペーサ１７は必ずし
も本発明に必須のものではないが、これを用いることに
より１次の効果が得られる。すなわち、スペーサ１７が
あると、一対の枠１３．１３を閉じ、第一真空室１６．
第二真空室１９，１．９を真空吸引した際。

第１図に示すように、枠１３，１．３及び透光性板２０
５ ２０の外面に大気圧が作用して原版１２．１２を相互に
押付けても原版１２．１２が一定の間隔に保たれ。

感光基材１１に対して密着することがなく、このため感
光基材１工と原版１２．Ｉ２との間の空気を敏速に排気
することができる。しかも、感光基材１］と原版】２と
の間には微小な隙間しかないため、第一真空室１６の真
空度が成る程度低くても良好な密着を行うことができる
。もし、スペー→ノ°１８が無い場合には、第一真空室
１６．第二真空室１９．１９を真空吸引した場合、第４
図に示すように、一対の枠１３．１３が大気圧によって
押され、感光基材１１の端部１１Ａに原版１２．］、２
が当たり、中心部付近に大きい隙間４３が生しる。この
ため、中心部の隙間４３内の空気の吸引が若干遅くなる
。しかも、このような大きい隙間４３が生しると、第一
真空室１６内の真空吸引が十分でなく多少気体が残って
いた場合、第二真空室１９，１９に大気を戻し、原版１
２．１２を感光基材１１に真空密着さセる際に、隙間４
３内の残留気体が押しつぶされ、第一真空室１６の圧力
が−Ｌ昇し、密着不良を起こすことがまれにある。これ
に列し、第１図の如くス６ ペーサ１７を入れた場合には、原版１２．１２が感光基
材１１の端部に当たることがないため、原版１２１２が
たわむことがなく、原版１２，１．２と感光基材１１と
の間の隙間が小さく、このため第一真空室】６の真空吸
引が完全でなく多少残留気体があっても」二記の密着不
良は発生しにくい。換言すれば、スペーサ１７を使用す
ることにより、第一真空室１６の真空度をあまり高くし
なくても、良好な密着を得ることができる。実験的には
、スペーサ１７がある状態では、第一真空室１６．第二
真空室１．９．１．９が−４０（ｌｎ１４ｇ程度以上の
真空度番こなった時に第二真空室１．９．１．９を大気
圧に戻せば、原版の十分な密着状態を得ることができる
。

〔発明の効果〕

以上のように１本発明の真空密着装置によれば対の原版
間に形威される第一真空室の外側に、透光性板を配置し
て原版との間に第二真空室を形威し、第−及び第二真空
室を共に真空吸引するように構成しているので、感光基
材を一対の原版の間に位置さ一吐、その感光基材に原版
を真空密着させるに際し、原版間の第−真空室とその外
側に形成された第二真空室とを同時に真空吸引し、その
後、第二真空室の真空を解除することにより、原版を感
光暴利に幻して良好に密着させることができ、原版や感
光基材表面δこ粗面化処理等を施すことな（、極めて短
時間で密着を行うことができるという効果を有している
。

なお３図示実施例に示すように、一対の原版間に感光基
材よりわずかに厚いスペーサを配置すると、一対の枠を
閉じて第一真空室、第二真空室を真空吸引する際に、原
版が感光基材の端部に押付けられて湾曲するということ
がなく、原版と感光基材との間の排気が一層敏速且つ確
実となり２また。原版と感光基材との間に大きい隙間が
生しないので、密着不良を一層確実に防止できるという
効果が得られる。

また、第一真空室と第二真空室とを真空吸引する第一真
空配管と第二真空配管との間に、第一真空室から第二真
空室への気体の流れは許容するがその逆の流れは阻止す
る逆止弁を配置すると、第一真空室が第二真空室よりも
圧力が高くなって原版が第二真空室側に押圧され、破損
するということを防止することができるという効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による真空密着焼付装置の概
略断面図、第２図はその概略平面図、第３図は上記装置
において原版を感光基材に密着させた状態を示す概略断
面図、第４図は上記装置においてスペーサ１８を設けな
い場合を説明する第１図と同様な概略断面図、第５図は
従来の真空密着焼付装置の概略断面図第６図はその装置
において原版を感光基材に密着させた状態を示す概略断
面図、第７図はその装置における問題点を説明するため
の概略断面図である。 １１−感光基材、１２−原版、１３−枠、１５バツキン
グ、１６−第一真空室、１７−スペーサ、１９−第二真
空室、２０−透光性板、２２−光源、２４第一真空配管
、２６−第二真空配管、２７−逆止弁。 ３０−ヘッド、３１−レール、３２−レール従動体。 ３４−＝−光源、３６．３７−　ガイドローラ、３８−
繰出しドラム、４．０−巻取りドラム、３９．４１−　
ドラム回転軸。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）原版をそれぞれ保持した一対の枠であって、前記
   原版の間に第一真空室を形成する一対の枠と、該一対の
   枠の各々に、保持した原版の外側に原版との間に第二真
   空室を形成するように取付けられた透光性板と、 前記第一真空室及び第二真空室を排気して減圧し且つ少
   なくとも第二真空室のみの真空を解除可能な真空吸引装
   置を有する真空密着焼付装置。
2. （２）一対の枠にそれぞれ保持された原版の間に、スペ
   ーサが設けられていることを特徴とする請求項１記載の
   真空密着焼付装置。
3. （３）第一真空室に連通する第一真空配管と、第二真空
   室に連通する第二真空配管と、前記第一真空配管と第二
   真空配管との間に設けられ、前記第一真空室から第二真
   空室への気体の流れは許容するがその逆の流れは阻止す
   る逆止弁を有することを特徴とする請求項１又は２記載
   の真空密着焼付装置。
4. （４）一対の枠に保持された透光性板の外側に、少なく
   とも紫外領域の光を含んだ露光用光を照射する光源が配
   置されており、前記透光性板が紫外光透過性の樹脂板で
   構成されていることを特徴とする請求項１から３のいず
   れか１項に記載の真空密着焼付装置。
5. （５）一対の枠に保持された透光性板の外側に、露光用
   のメタルハライドランプ光源が配置されており、前記透
   光性板が紫外線吸収性の樹脂板で構成されていることを
   特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の真空
   密着焼付装置。