JP2009175287A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】安価且つ短時間で、高精細なマスクパターンを光透過性円筒基材の外周面に形成させる露光装置を提供する。
【解決手段】光透過性円筒基材の外周面に少なくとも１層の感光層を有する感光体の露光装置であって、マスクパターンフィルムの挿入口と、前記マスクパターンフィルムを前記感光体に押し付け且つ前記感光体を支持する支持手段と、前記感光体を支持する支持手段と、前記感光体の外周面の一部を覆い、前記感光体と共に前記マスクパターンフィルムを挟持しながら搬送させるための光透過性搬送手段とを、少なくとも有する露光装置。
【選択図】 図１

Description

本発明は、光透過性のある円筒基材の外周面にマスクパターンを形成させるための露光装置に関するものである。

近年、情報化社会が急速に発達するに伴って、情報関連機器に関する技術が急速に進歩し普及してきた。そのような技術の一つとして、可撓性プラスチックフィルムに導電性パターンを形成させる技術があり、電気回路の配線パターンとして利用すれば、電子機器の小型化、軽量化に寄与し、基材として光透過性プラスチックフィルムを用いた場合、タッチパネルの配線パターンやプラズマテレビ等ディスプレイ機器の電磁波シールド材として利用される。

可撓性プラスチックフィルムに導電性パターンを形成させる方法としては、該可撓性プラスチックフィルムに金属箔を貼り合わせ、更にその上にフォトレジスト層を設け、パターン露光、およびエッチングにより導電性パターンを形成させる方法や、現像処理によって物理現像核層に金属銀を析出させて導電性パターンを形成させる方法（銀錯塩拡散転写法）等が挙げられる。

これらの方法では、導電性パターンを形成するために用いられる元の材料（前駆体フィルムという）をロールの形態で準備し、これを露光、エッチングあるいは現像した後ロール状に巻き取るいわゆるロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ）で連続処理できるので生産性が向上する。

ロール状の前駆体フィルムの搬送を停止させることなく露光処理を行う連続露光装置としては、光透過性円筒基材の外周面にマスクパターンが形成された原稿円筒体を前駆体フィルムの搬送速度に同期させ、該原稿円筒体の内部から露光を行う装置が、特開平２−２９３７５４号公報、特開２０００−３５６７７号公報、特開２０００−７５４９７号公報、特開２００７−２２５８８４号公報等に開示されている。

これらの装置に用いられる原稿円筒体は、光透過性円筒基材の外周面に遮光性の塗膜を設け、レーザーアブレーション等で不要部分を除去して、光透過性円筒基材に直接マスクパターンを描画する装置、光透過性円筒基材の外周面に感光性の塗膜を設け、レーザー等でマスクパターンを直接デジタル露光し、現像してマスクパターンを描画する装置（非特許文献１）、光透過性円筒基材にナノインプリント技術により溝を付け、光透過性円筒基材の外周面に遮光性の塗膜を設け、その後不要部分を削り取る装置（特許文献１）などで作製することができる。

しかしながら、レーザーアブレーションや、レーザー露光等により、光透過性円筒基材にマスクパターンを直接描画する装置においては、レーザービームの熱により、集光レンズ等の光学部品が加熱し、ビームスポットが拡大するので、安定的に２０μｍ以下の細線を描画することが難しく、細線化（マスクパターンの高精細化）が課題である。更に、光透過性円筒基材の外周面をレーザービームで何度も走査して露光するいわゆる走査露光方式であるので、露光終了までに非常に長い時間を要する。また、ナノインプリント技術により光透過性円筒基材にマスクパターンを直接描画する方法においては、マスクパターンの溝を付けるための型（モールド）が高価であり、溝付け時の加熱、加圧、冷却により、寸法精度の維持や、処理時間が掛かるといった課題がある。従って、昨今製造現場に求められる、納期短縮、高品質化、低価格化の観点から、短時間で高精細の原稿円筒体を、安価に作製する装置が求められている。
２００２年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集、２００２年、ｐ．５６４ 特開２００７−７６３５８号公報

本発明の目的は、安価且つ短時間で、高精細なマスクパターンを、原稿円筒体の作製に好適な光透過性円筒基材の外周面に形成させる露光装置を提供することである。

本発明の上記目的は、光透過性円筒基材の外周面に少なくとも１層の感光層を有する感光体の露光装置であって、マスクパターンフィルムの挿入口と、前記マスクパターンフィルムを前記感光体に押し付け且つ前記感光体を支持する支持手段と、前記感光体を支持する支持手段と、前記感光体の外周面の一部を覆い前記感光体と共に前記マスクパターンフィルムを挟持しながら搬送させるための光透過性搬送手段とを、少なくとも有する露光装置によって基本的に達成された。

本発明により、安価且つ短時間で、高精細なマスクパターンを光透過性円筒基材の外周面に形成させる露光装置を提供することができる。

本発明の露光装置が対象とする感光体は、少なくとも露光、現像の各工程を経ることにより、マスクパターンを得ることができる感光体であり、該マスクパターンの透過濃度は３．０以上であることが好ましい。本発明の装置が対象とする感光体が有する感光層としては、例えば、特開平６−３１３９３６号公報、特開平９−２８１６２２号公報、特開平９−１０６０２９号公報、特開２０００−２８４４１５号公報、特開２００６−３４９８６７号公報等に記載される感光層が挙げられる。特に、特開平６−３１３９３６号公報、特開平９−２８１６２２号公報、特開平９−１０６０２９号公報、特開２０００−２８４４１５号公報に記載のハロゲン化銀乳剤層は、高精細な画像が得られるので好適である。本発明にかかる感光体は、感光性塗布液を、光透過性円筒基材の外周面に、スプレーコーター、ロールコーターやリングコーター等の公知の塗工方法を用いて塗布、乾燥させることにより作製することができる。ここで光透過性円筒基材とは、全光線透過率が８０％以上の円筒基材を意味する。

本発明の露光装置は、前記感光体を露光する装置であり、少なくとも露光後、現像処理を行うことにより、光透過性円筒基材の外周面にマスクパターンが得られる。

以下、本発明の連続露光装置の一例を、図面を用いて詳細に説明する。図１は、本発明の露光装置の一例を示す概略側断面図である。図２〜４は、図１に示す本発明の露光装置の一例における、露光手順を示す概略側断面図である。図５は、本発明の露光装置の別の一例を示す概略側断面図である。図６は、図５に示す本発明の露光装置の一例における、マスクパターンフィルムの位置決め動作の一例を示す概略側断面図である。図７は、図５に示す本発明の露光装置の一例における、マスクパターンフィルムの搬送動作の一例を示す概略側断面図である。図８は、本発明の露光装置に使用されるマスクパターンフィルムの一例を示す図である。図９は、感光体に取り付けられた、本発明の露光装置の内部遮光手段の一例を示す概略断面図である。

図１に示すように、円筒状の感光体１は、感光体１の軸方向に対して平行に配置されている２つの支持手段である支持ローラ７、および支持ローラ８の上に、回転自在に乗せられている。そして、光透過性搬送手段である光透過性フィルム３１は、ロールの状態で、巻出軸３０に取り付けられ、クリーニングローラ３３ａ、クリーニングローラ３３ｂ、搬送ローラ３４ａを通り、感光体１と支持ローラ７の間を通って、感光体１の外周面の一部を覆うようにして感光体１に接触し、搬送ローラ３４ｂを通って、巻取軸３２で巻き取られる。巻出軸３０にはブレーキ３５、巻取軸３２にはクラッチ３６および巻き取りモータ３７が接続されており、光透過性フィルム３１に張力を加えている。光透過性フィルム３１に張力を加えることにより、光透過性フィルム３１が、感光体１に密着する。これにより、感光体１は、光透過性フィルム３１の搬送に同調して回転するようになっている。

光透過性フィルム３１の表面および裏面に付着している塵埃は、クリーニングローラ３３ａ、３３ｂにより除去されるようになっており、光透過性フィルム３１から塵埃が持ち込まれ、感光体１に塵埃が付着するのを防止している。また、感光体１を支持している支持ローラ８は、クリーニングローラとしても作用させて、感光体１に付着した塵埃を除去してもよい。

感光体１の外側において、光透過性フィルム３１で覆われている部分には、露光部Ｅが配置（図１においては、感光体１の真上部分）されている。露光部Ｅは、光源２０、密着ローラ２１、遮光カバー２２、位置検出機構２３で構成されている。感光体１の内側には、図９に示す内部遮光手段Ｃが取り付けられている。図１においては、内部遮光手段Ｃを構成する部材のうち、遮光チューブ２、遮光チューブ支持軸４のみが図示されている。そして、前述の感光体１、支持手段、光透過性搬送手段、露光部Ｅ、内部遮光手段Ｃは、筐体１０に内包されており、外部からの光および粉塵の侵入を防止している。マスクパターンフィルム５０は、マスクパターンフィルムの挿入口Ｊより、感光体１と光透過性フィルム３１の間に挿入される。

図８に示すように、マスクパターンフィルム５０には、マスクパターン５８と位置決めマーク５９ａ、５９ｂが描画されている。位置決めマーク５９ａ、５９ｂは、マスクパターンフィルム５０の四隅に描画されており、図１に示す露光領域Ｌで露光を開始するタイミングを検出する時の基準として用いられる。位置決めマーク５９ａがマスクパターンフィルム５０を搬送させる方向の前側、位置決めマーク５９ｂが後ろ側に描画されている。マスクパターンフィルム５０の前側部分に描画された位置決めマーク５９ａを検出することにより、露光が開始され、マスクパターンフィルム５０の後側部分に描画された位置決めマーク５９ｂを検出することにより、露光が終了するようになっている。位置決めマーク５９ａと５９ｂの間の距離は、感光体１の直径と等しいか、若干長くなっている。

図２、図３、および図４により、本発明の露光装置の露光手順について説明する。図２に示すように、マスクパターンフィルムの挿入口Ｊより挿入されたマスクパターンフィルム５０は、支持ローラ７に押し付けられて、感光体１と光透過性フィルム３１の間に挟持される。従って支持ローラ７は感光体１を支持すると共に、マスクパターンフィルム５０を感光体１に押し付ける。そして、光透過性フィルム３１を搬送させることにより、マスクパターンフィルム５０は、感光体１に密着しながら感光体１と共に光透過性フィルム３１の搬送に同調して搬送される。光透過性フィルム３１に加えられる張力は、感光体１とマスクパターンフィルム５０の密着性に影響を与えており、光透過性フィルム３１の張力としては、４０Ｎ／ｍから１５０Ｎ／ｍの範囲が適当である。

図３に示すように、マスクパターンフィルム５０が露光部Ｅまで搬送されたところで、位置検出機構２３がマスクパターンフィルム５０に描画された図示しない位置決めマーク５９ａを検出することにより、光源２０が点灯し感光体１への露光が開始される。露光部Ｅを通過したマスクパターンフィルム５０は、図４に示すように、感光体１と、光透過性フィルム３１に挟持されなくなった部分から、感光体１と離れて、下方に排出される。そして、マスクパターンフィルム５０に描画された図示しない位置決めマーク５９ｂを、位置検出機構２３が検出することにより、光源２０を消灯し露光が終了する。露光の開始および終了は光源の点灯、消灯のみならず、例えば、図３においては示されないが、感光体１と光源２０の間にシャッターを設けて、光源２０は常時点灯させておき、該シャッターの開放により露光を開始し、該シャッターの閉鎖により露光を終了させてもよい。光透過性フィルム３１は、マスクパターンフィルム５０が排出されるまで搬送している。

図１に示すように、支持ローラ７、および支持ローラ８は、感光体１の直径より短い距離に、平行に配置されており、感光体１は支持ローラ７、および支持ローラ８の上に回転自在に載置されている。支持ローラ８は粘着性のクリーニングローラとして作用させてもよく、感光体１と回転接触することにより感光体１の外周面に付着した塵埃等を除去することもできる。支持ローラ７および支持ローラ８としては、感光体１が滑らず、また感光体１を傷つけない程度の面質であればよく、例えば、ゴム硬度６０程度のニトリルゴム（ＮＢＲ）製のローラ等が好適に用いられる。支持ローラ８としては、感光体１の外周に設けられた感光層を剥離せずに感光体１の外周面に付着した塵埃を除去できる粘着性を付与してもよく、この場合には、粘着性ゴムローラ（例えば、金陽社製クリンタック）等が好適に用いられる。

本発明において、光透過性フィルム３１は、感光体１を感光させ得る波長の光を８０％以上透過し、マスクパターンフィルム５０が滑らず、帯電しにくく、３００Ｎ／ｍ程度の張力に耐えうる材質のものであればよく、厚み１００μｍ以上の光透過性ＰＥＴフィルム等が好適に用いられる。クリーニングローラ３３ａ、３３ｂは、光透過性フィルム３１に付着した塵埃を除去し、感光体１側に塵埃を持ち込まないようにするために取り付けられている。クリーニングローラ３３ａ、３３ｂは、光透過性フィルム３１に付着した塵埃を除去できる粘着性を有しておればよく、粘着性ゴムローラ（例えば、金陽社製クリンタック）等が好適に用いられる。搬送ローラ３４ａ、３４ｂは、光透過性フィルムを搬送するためのローラであり、光透過性フィルム３１が滑らず、また光透過性フィルム３１を傷つけない程度の面質であればよく、例えば、ゴム硬度６０程度のニトリルゴム製のローラ等が好適に用いられる。

感光体１を露光するための光源２０は、感光体１の軸方向に配置された線状の光源で感光体１の外側から感光体１の半径方向に光を照射する。光源２０としては、例えば感光体の軸方向に線状に配置された高圧水銀灯、無電極電源、発光ダイオード等、および蛍光灯等が用いられる。図１において図示しないが、光源２０からの照射光に、露光に不要な波長の光が含まれている場合、光源２０と感光体１の間に、露光に不要な波長の光をカットする光学フィルタを用いてもよい。光源２０には、図示しない露光量調整手段（例えば、光源として蛍光灯を用いた場合、インバータ回路による調光手段）が接続されており、露光量を増減させることができる。

密着ローラ２１は、光源２０からの光を露光部Ｅの外側に漏らさず、感光体１の軸方向に均一に密着できればよい。例えば、弾性変形することにより感光体の軸方向に十分密着できるゴム硬度を有し、両端部に比べて中央部の直径が大きくなっている太鼓状のローラが好適に用いられる。密着ローラ２１の材質としては、弾性変形して感光体１に密着しやすいローラが好ましく、ゴム硬度３０〜６０程度のニトリルゴム製のローラ等が好適に用いられる。遮光カバー２２は、光源２０からの照射光を、感光体１の外周面の一部分（図１において、Ｌで示されている領域）のみに限定させるために、光源２０を覆っている。遮光カバー２２としては、つや消し黒色塗装された、鉄板、アルミ板等が好適に用いられる。図１においては、密着ローラ２１が、光源２０からの光を遮光する機能と、露光領域Ｌにおいて、マスクパターンフィルム５０を感光体１に密着させる機能の２つの機能を有している。しかしながら、遮光カバー２２のみで充分遮光ができる場合は、密着ローラ２１を図１で示す位置より更に光源２０側、あるいは遮光カバー２２の外側に配置させてもよい。

位置検出機構２３は、感光体１の端部を撮影できる位置に取り付けられており、位置検出機構２３が、マスクパターンフィルム５０の位置決めマーク５９ａを検出することにより露光が開始され、マスクパターンフィルム５０の位置決めマーク５９ｂを検出することにより露光を終了する。このような位置検出機構２３としては例えば、撮影用ランプと撮影用ＣＣＤカメラを挙げることができる。位置決めマーク５９ａが、位置検出機構２３の撮影位置で、正確に撮影されなかった場合（位置決めマーク５９ａが、感光体１の軸方向にずれていたり、傾いていたりした場合）、露光せずに、マスクパターンフィルム５０が排出される。位置検出機構２３には感光体１の端部を検出するための補助手段として例えば、撮影用ランプを用いることも可能であるがその場合、感光体１の感光波長領域外の波長の光を発するランプであることが好ましい。

内部遮光手段Ｃは、光源２０からの光が感光体１の外周面を透過して感光体１の反対側の外周面を露光しないために遮光できればよく、好ましい一例を図９に示す。図９（ａ）および（ｂ）において、内側遮光手段Ｃは、遮光チューブ２、フランジ３、遮光チューブ支持軸４、締め込みナット９で構成されている。そして、遮光チューブ支持軸４には、空気注入管５、および空気注入口６が取り付けられている。図９（ａ）は、遮光チューブ２に気体が充満していない状態であり、これによって、遮光チューブ２を感光体１の内面に接触させずに、内部遮光手段Ｃを感光体１に取り付けることができるようになっている。そして、図９（ｂ）では、遮光チューブ２に気体が充満しており、遮光チューブ２が感光体１の内面に密着して、光源２０からの光が感光体１の外周面を透過して感光体１の反対側の外周面を露光しないために充分遮光している状態である。

遮光チューブ２は管状の伸縮性部材で、その両端が、遮光チューブ支持軸４に接着されており、空気注入管５を通して、空気注入口６より、空気を注入したときに、接着部分から空気が漏れないようになっている。そして、図９（ａ）に示すように、遮光チューブ２が接着された遮光チューブ支持軸４は、感光体１の基材である光透過性円筒基材の中に通され、更に遮光チューブ支持軸４の両端にフランジ３が通される。そして、遮光チューブ支持軸４の両端には雄ねじが創成されており、遮光チューブ支持軸４の両端から、締め込みナット９で締め込むことにより、フランジ３で、感光体１を挟持するようになっている。遮光チューブ２に空気を充満させずに、遮光チューブ支持軸４を感光体１に通すことにより、遮光チューブ２と感光体１の内面が接触し、擦過傷ができるのを防止している。図９（ｂ）は、遮光チューブ２に、空気を充満させた状態である。これにより、遮光チューブ２は、感光体１の内面と擦過することなく密着し遮光することができる。

遮光チューブ２は、光透過性が実質的に無く、伸縮性に富んでいて。帯電防止加工がされていればよく、導電性カーボンブラックが混練された天然ゴムチューブ、ブチルゴムチューブ、ニトリルゴムチューブ、シリコンゴムチューブ等が好適に利用できる。ここで実質的にとは、遮光チューブ２に気体が充満したときの透過濃度が３．０以上であることを意味する。フランジ３は、感光体１を保持する側にテーパーが付いており、感光体１を保持しやすくなっている。フランジ３は、感光体１を保持できるだけの機械的強度を有しておればよいが、安価且つ軽量である方が好ましく、Ａ２０１７アルミニウム合金等が好適に用いられる。遮光チューブ支持軸４についても安価且つ軽量であることが好ましいが、その両端に雄ねじ部分を設けることからＳＵＳ３０４ステンレスパイプ等が好適に用いられる。遮光チューブ支持軸４に取り付けられている空気注入口には、図示しない逆止弁が付いており、空気を注入した後は、図示しない空気抜き治具を用いない限り、空気が抜けないようになっている。

図５は、本発明の露光装置における、別の好ましい一例であり、図１に示す露光装置に、マスクパターンフィルム５０の位置決めを行う位置決め部Ｐと、位置決め部Ｐと図１に示す本発明の露光装置の間で、マスクパターンフィルム５０の受け渡しをする搬送部Ｍが加えられている。

位置決め部Ｐは、マスクパターンフィルム５０の位置決めをするためのもので、マスクパターンフィルム５０を感光体１に巻き付ける前に位置決めをするための原稿台５５、Ｘ−Ｙ−θステージ５６、位置検出機構５７、押さえバー６１で構成されている。

原稿台５５は、マスクパターンフィルム５０を載置する台であり、マスクパターンフィルム５０を傷つけない程度平滑であり、帯電して塵埃がマスクパターンフィルム５０に付着しないようになっていればよく、帯電防止加工されたガラス板、アクリル板などが好適に使用される。Ｘ−Ｙ−θステージ５６は、マスクパターンフィルム５０が載置された原稿台５５をＸ方向、Ｙ方向、回転方向に移動させて、マスクパターンフィルム５０の位置決めを行う調整装置である。

位置検出機構５７は、前述のマスクパターンフィルム５０に描画された位置決めマーク５９ａを検出するための機構で、例えば撮影用ランプと撮影用ＣＣＤカメラで構成されている。図５では、マスクパターンフィルム５０は、原稿台５５の右側へ搬送されるようになっており、マスクパターンフィルムの先頭側（図５においては右側）の両端部に、位置検出機構５７は取り付けられている。そして、位置検出機構５７は、撮影された位置決めマーク５９ａのずれを、図示しない位置決めコントローラに送信し、図示しない位置決めコントローラがＸ−Ｙ−θステージ５６を制御して位置決めを行う。押さえバー６１は、マスクパターンフィルム５０を原稿台５５に押し付け保持する部材であり、Ｘ−Ｙ−θステージ５６の駆動以外でマスクパターンフィルム５０が動くのを防止するものである。位置決めが終了し、入口ローラ対５４で、マスクパターンフィルム５０が挟持された後は、押さえバー６１をマスクパターンフィルム５０から離して押し付け保持を解放する。押さえバー６１は、マスクパターンフィルムを傷つけないように先端部分に弾性体が取り付けられたエアシリンダ、油圧シリンダ等が好適に利用できる。

搬送部Ｍは、位置決め部Ｐと図５に示す本発明の露光装置の間で、マスクパターンフィルム５０の受け渡しをするために設けられている。搬送部Ｍは、マスクパターンフィルム５０を感光体１まで搬送するための入口ロール対５４、搬送ローラ対５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、挿入ガイド５２、排出ガイド５３で構成されている。

入口ローラ対５４は、マスクパターンフィルム５０の位置決めが終了した後、マスクパターンフィルム５０を挟持し、そして回転することにより、マスクパターンフィルム５０を搬送ローラ対５１ａに送るためのものである。搬送ローラ対５１ａ、５１ｂ、５１ｃは、この順番にマスクパターンフィルム５０を挟持し、回転搬送して、感光体１と支持ローラ７の間にあるマスクパターンフィルムの挿入口Ｊにマスクパターンフィルム５０を送るためのものである。搬送ローラ対５１ａ、５１ｂ、５１ｃは、マスクパターンフィルム５０が滑らず、またマスクパターンフィルム５０を傷つけない程度の面質であればよく、例えば、ゴム硬度６０程度のニトリルゴム製のローラ等が好適に用いられる。搬送ローラ対５１ｂの下側ローラ、および搬送ローラ対５１ｃの上側ローラは、粘着性ローラであってもよく、マスクパターンフィルム５０に付着した塵埃等を除去してから、マスクパターンフィルム５０を感光体１に巻き付けてもよく、粘着性ゴムローラ（例えば、金陽社製クリンタック）等を利用することもできる。

挿入ガイド５２は、マスクパターンフィルム５０が、搬送ローラ対５１ａ、５１ｂ、５１ｃの順に搬送しやすいように取り付けられたガイド板である。そして、排出ガイド５３は、マスクパターンフィルム５０を原稿台５５側に導くためのガイド板である。挿入ガイド５２、および排出ガイド５３は、帯電しにくく、マスクパターンフィルム５０を傷つけない程度の面質であればよく、帯電防止プラスチック板（例えば、日本ポリペンコ（株）製、ＭＣナイロン、ＭＣ５０１ＣＤ等）が好適に利用できる。

図６は、図５に示す本発明の露光装置の一例における、マスクパターンフィルム５０の位置決め動作の一例を示す概略側断面図であり、マスクパターンフィルム５０を所望の位置に位置決めするための機構の一例を以下に説明する。図６に示すように、マスクパターンフィルム５０は、原稿台５５に載置される。この時、入口ロール対５４の上側ローラと下側ローラの間にマスクパターンフィルム５０を通すのに十分な隙間が空けられており、マスクパターンフィルム５０の先端を入口ロール対５４の間に通しておく。そして、押さえバー６１で、マスクパターンフィルム５０を押さえ、位置検出機構５７で、マスクパターンフィルム５０に描画された図示しない位置決めマーク５９ａを例えば撮影用ＣＣＤカメラにより撮影して、マスクパターンフィルム５０のずれを算出し、Ｘ−Ｙ−θテーブル５６を駆動して、原稿台５５ごとマスクパターンフィルム５０を動かし、位置決めを行う。位置決めが終了した後、入口ローラ対５４でマスクパターンフィルム５０を挟持し、押さえバー６１を、マスクパターンフィルム５０から離す。このように、機械的に位置決めを行うことにより、常にばらつきなく位置決めが行える。

図７は、図５に示す本発明の露光装置の一例における、マスクパターンフィルムの搬送動作の一例を示す概略側断面図であり、位置決め部Ｐと図５に示す本発明の露光装置の間で、マスクパターンフィルム５０をマスクパターンフィルムの挿入口Ｊへ搬送する機構の一例を以下に説明する。図７に示すように、入口ローラ対５４、搬送ローラ対５１ａ、５１ｂ、５１ｃを矢印方向に回転させ、感光体１と支持ローラ７の間にあるマスクパターンフィルムの挿入口Ｊまでマスクパターンフィルム５０を搬送する。そして、搬送ローラ対５１ｂの下側ローラ、および搬送ローラ対５１ｃの上側ローラが前述のようにクリーニングローラとした場合には、マスクパターンフィルム５０に付着した塵埃はここで除去される。マスクパターンフィルムの挿入口Ｊまでマスクパターンフィルム５０が到達すると、光透過性フィルム３１が、図５に示す巻き取りモータ３７、ブレーキ３５により、張力を加えられながら巻き取られ、同時に感光体１も矢印方向に回転する。また、図５に示されるように、光透過性フィルム３１の搬送経路にもクリーニングローラ３３ａ、３３ｂが取り付けられており、感光体１、およびマスクパターンフィルム５０に接触する前に、塵埃の除去が行われている。また、支持ローラ８がクリーニングローラであれば、感光体１も清浄に保たれる。

そして、マスクパターンフィルム５０は、感光体１と光透過性フィルム３１の間に挟まり、感光体１と共に光透過性フィルム３１の搬送に同調して露光部Ｅへ搬送される。入口ローラ対５４、搬送ローラ対５１ａ、５１ｂ、５１ｃによるマスクパターンフィルムの搬送速度は、光透過性フィルム３１の搬送速度より遅くなっている。そして、入口ローラ対５４、搬送ローラ対５１ａ、５１ｂ、５１ｃには、図示しないワンウェイクラッチが入っており、これにより、マスクパターンフィルム５０が、感光体１と光透過性フィルム３１の間に挟まったところで、マスクパターンフィルム５０の搬送速度が、光透過性フィルムの搬送速度に同期するようになっている。マスクパターンフィルム５０が露光部Ｅまで搬送されたところで、位置検出機構２３がマスクパターンフィルム５０に描画された図示しない位置決めマーク５９ａを検出することにより、光源２０が点灯し感光体１への露光が開始される。

露光部Ｅを通過したマスクパターンフィルム５０は、排出ガイド５３に沿って進み、原稿台５５上へ送られる。そして、マスクパターンフィルム５０に描画された図示しない位置決めマーク５９ｂを、位置検出機構２３が検出することにより、光源２０を消灯し露光が終了する。露光の開始および終了は光源の点灯、消灯のみならず、例えば、図７においては示されないが、感光体１と光源２０の間にシャッターを設けて、光源２０は常時点灯させておき、該シャッターの開放により露光を開始し、該シャッターの閉鎖により露光を終了させてもよい。光透過性フィルム３１は、マスクパターンフィルム５０が排出されるまで搬送している。

本発明の露光装置によって露光された円筒状の感光体を現像処理することにより得られるマスクパターンを有する円筒体は、連続露光装置の原稿円筒体に利用可能である。

発明の露光装置の一例を示す概略側断面図 マスクパターンフィルムの露光動作を示す概略側断面図 マスクパターンフィルムの露光動作を示す概略側断面図 マスクパターンフィルムの露光動作を示す概略側断面図 発明の露光装置の別の一例を示す概略側断面図 マスクパターンフィルムの位置決め動作の一例を示す概略側断面図 マスクパターンフィルムの搬送動作の一例を示す概略側断面図 本発明の露光装置に使用されるマスクパターンフィルムの一例を示す図 本発明の露光装置の内部遮光手段の一例を示す概略断面図

符号の説明

１ 感光体
２ 遮光チューブ
７、８ 支持ローラ
２０ 光源
２２ 遮光カバー
２３ 位置検出機構
３１ 光透過性フィルム
５０ マスクパターンフィルム
５７ 位置検出機構
５９ａ、５９ｂ 位置決めマーク
５５ 原稿台
Ｅ 露光部
Ｌ 露光領域
Ｊ マスクパターンフィルムの挿入口
Ｐ 位置決め部
Ｍ 搬送部

Claims (1)

1. 光透過性円筒基材の外周面に少なくとも１層の感光層を有する感光体の露光装置であって、マスクパターンフィルムの挿入口と、前記マスクパターンフィルムを前記感光体に押し付け且つ前記感光体を支持する支持手段と、前記感光体を支持する支持手段と、前記感光体の外周面の一部を覆い前記感光体と共に前記マスクパターンフィルムを挟持しながら搬送させるための光透過性搬送手段とを、少なくとも有する露光装置。

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