JP3285158B2 - 真空密着焼付装置 - Google Patents
真空密着焼付装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、露光すべき基材の両面
に真空を利用して原版を密着させて焼き付けるための真
空密着焼付装置に関し、特に、絵柄を変形なく忠実に再
現できる真空密着焼付装置に関する。
に真空を利用して原版を密着させて焼き付けるための真
空密着焼付装置に関し、特に、絵柄を変形なく忠実に再
現できる真空密着焼付装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にフィルムやガラス板等からなる透
過性の原版にかかれた絵柄を感光基材に密着焼付法で露
光する場合、高速でかつ均一に密着させる装置として、
本出願人がすでに提案した特願平２−６５６０３号のも
のがある。これは、原版や感光基材に粗面化等の加工を
必要とせず、しかも極めて短時間に原版を感光基材に良
好に密着させることの可能な真空密着焼付装置であり、
図２の概略断面図に示すように、ガラス原版１２、１２
をそれぞれ保持した一対の枠１３、１３であって、前記
原版１２、１２の間に第一真空室１６を形成する一対の
枠１３、１３と、この一対の枠１３、１３の各々に保持
した原版１２、１２の外側に原版１２、１２との間に第
二真空室１９、１９を形成するように取り付けられた透
光性板２０、２０と、前記第一真空室１６及び第二真空
室１９、１９を排気して減圧しかつ少なくとも第二真空
室１９、１９のみの真空を解除可能な真空吸引装置２３
とを有するものである。
過性の原版にかかれた絵柄を感光基材に密着焼付法で露
光する場合、高速でかつ均一に密着させる装置として、
本出願人がすでに提案した特願平２−６５６０３号のも
のがある。これは、原版や感光基材に粗面化等の加工を
必要とせず、しかも極めて短時間に原版を感光基材に良
好に密着させることの可能な真空密着焼付装置であり、
図２の概略断面図に示すように、ガラス原版１２、１２
をそれぞれ保持した一対の枠１３、１３であって、前記
原版１２、１２の間に第一真空室１６を形成する一対の
枠１３、１３と、この一対の枠１３、１３の各々に保持
した原版１２、１２の外側に原版１２、１２との間に第
二真空室１９、１９を形成するように取り付けられた透
光性板２０、２０と、前記第一真空室１６及び第二真空
室１９、１９を排気して減圧しかつ少なくとも第二真空
室１９、１９のみの真空を解除可能な真空吸引装置２３
とを有するものである。
【０００３】このような構成において、感光基材１１に
一対の原版１２、１２を密着するには、原版１２、１２
の間に位置させ、原版１２、１２間に第一真空室１６と
その外側に形成された第二真空室１９、１９とを同時に
真空吸引して、原版１２、１２を変形させることなく、
その両面を真空吸引し、その後、第二真空室１９、１９
の真空を解除して、原版１２、１２と感光基材１１の間
に空気が閉じ込めずに短時間で両者を良好に密着させよ
うとするものである。
一対の原版１２、１２を密着するには、原版１２、１２
の間に位置させ、原版１２、１２間に第一真空室１６と
その外側に形成された第二真空室１９、１９とを同時に
真空吸引して、原版１２、１２を変形させることなく、
その両面を真空吸引し、その後、第二真空室１９、１９
の真空を解除して、原版１２、１２と感光基材１１の間
に空気が閉じ込めずに短時間で両者を良好に密着させよ
うとするものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２の
ように二重真空吸引を利用する真空密着焼付装置におい
て、第一真空室１６と第二真空室１９、１９との間に圧
力差が発生しないように同時に高速に真空排気すること
は、配管の管抵抗の違い等により実際上困難であり、そ
のため、排気途中で図３に示すように、ガラス原版１
２、１２が透光性板２０、２０側へ湾曲して、ガラス原
版１２、１２の中心部が感光基材１１から大きく離れて
しまうことがある。このため、第二真空室１９、１９の
真空を解除して大気圧へ戻したとき、ガラス原版１２、
１２の周辺部から先に感光基材１１に密着してしまい、
第一真空室１６が真空排気されているにもかかわらず、
その中心部の感光基材１１に対する密着不良が発生し、
絵柄を変形なく忠実に再現することができない場合があ
る。
ように二重真空吸引を利用する真空密着焼付装置におい
て、第一真空室１６と第二真空室１９、１９との間に圧
力差が発生しないように同時に高速に真空排気すること
は、配管の管抵抗の違い等により実際上困難であり、そ
のため、排気途中で図３に示すように、ガラス原版１
２、１２が透光性板２０、２０側へ湾曲して、ガラス原
版１２、１２の中心部が感光基材１１から大きく離れて
しまうことがある。このため、第二真空室１９、１９の
真空を解除して大気圧へ戻したとき、ガラス原版１２、
１２の周辺部から先に感光基材１１に密着してしまい、
第一真空室１６が真空排気されているにもかかわらず、
その中心部の感光基材１１に対する密着不良が発生し、
絵柄を変形なく忠実に再現することができない場合があ
る。
【０００５】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、原版の両側に別々の真空室を
設けた真空密着焼付装置において、真空排気中に両真空
室間に圧力差が発生しても、原版が実質的に湾曲しない
ようにして、原版を感光基材に均一に密着させ、原版の
絵柄を変形なく忠実に再現させるようにすることであ
る。
ものであり、その目的は、原版の両側に別々の真空室を
設けた真空密着焼付装置において、真空排気中に両真空
室間に圧力差が発生しても、原版が実質的に湾曲しない
ようにして、原版を感光基材に均一に密着させ、原版の
絵柄を変形なく忠実に再現させるようにすることであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の真空密着焼付装置は、原版をそれぞれ保持した一対
の枠であって前記原版の間に第一真空室を形成する一対
の枠と、該一対の枠の各々に保持した原版の外側に原版
との間に第二真空室を形成するように取り付けられた透
光性板と、前記第一真空室及び第二真空室を排気して減
圧しかつ少なくとも第二真空室のみの真空を解除可能な
真空吸引装置とを有する真空密着焼付装置において、前
記透光性板と原版との間の間隔を、前記第一真空室と第
二真空室の排気中の圧力差による前記原版の前記透光性
板側へのたわみを前記透光性板が制限する距離に設定し
たことを特徴とするものである。
明の真空密着焼付装置は、原版をそれぞれ保持した一対
の枠であって前記原版の間に第一真空室を形成する一対
の枠と、該一対の枠の各々に保持した原版の外側に原版
との間に第二真空室を形成するように取り付けられた透
光性板と、前記第一真空室及び第二真空室を排気して減
圧しかつ少なくとも第二真空室のみの真空を解除可能な
真空吸引装置とを有する真空密着焼付装置において、前
記透光性板と原版との間の間隔を、前記第一真空室と第
二真空室の排気中の圧力差による前記原版の前記透光性
板側へのたわみを前記透光性板が制限する距離に設定し
たことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】本発明においては、透光性板と原版との間の間
隔が、第一真空室と第二真空室の排気中の圧力差による
原版の透光性板側へのたわみを透光性板が制限する距離
に設定されているので、原版は実質的にたわまず、その
ため、原版の周辺部から先に感光基材に密着して、第一
真空室が真空排気されているにもかかわらず、その中心
部の感光基材に対する密着不良が発生し、絵柄が変形し
て忠実に再現されないのを防止することができる。ま
た、透光性板と原版の間隔が小さくなるので、第二真空
室の排気容積が小さくなり、吸引排気時間が短縮され、
原版の感光基材に対する密着作業時間が短縮される。
隔が、第一真空室と第二真空室の排気中の圧力差による
原版の透光性板側へのたわみを透光性板が制限する距離
に設定されているので、原版は実質的にたわまず、その
ため、原版の周辺部から先に感光基材に密着して、第一
真空室が真空排気されているにもかかわらず、その中心
部の感光基材に対する密着不良が発生し、絵柄が変形し
て忠実に再現されないのを防止することができる。ま
た、透光性板と原版の間隔が小さくなるので、第二真空
室の排気容積が小さくなり、吸引排気時間が短縮され、
原版の感光基材に対する密着作業時間が短縮される。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照にして本発明の真空密着焼
付装置の実施例について説明する。本発明の真空密着焼
付装置の基本的な構成は、図２に示した本出願人の提案
による特願平２−６５６０３号のものと同じである。大
きな違いは、透光性板２０、２０と原版１２、１２の間
の間隔を可及的に小さくして、原版１２、１２を湾曲し
ないようにし、それによって、原版１２、１２の中心部
の感光基材１１に対する密着不良を防止して、絵柄を変
形なく忠実に再現するようにすることである。
付装置の実施例について説明する。本発明の真空密着焼
付装置の基本的な構成は、図２に示した本出願人の提案
による特願平２−６５６０３号のものと同じである。大
きな違いは、透光性板２０、２０と原版１２、１２の間
の間隔を可及的に小さくして、原版１２、１２を湾曲し
ないようにし、それによって、原版１２、１２の中心部
の感光基材１１に対する密着不良を防止して、絵柄を変
形なく忠実に再現するようにすることである。
【０００９】このような本発明の真空密着焼付装置の１
実施例の概略断面図を図１に示す。図１において、１１
は露光すべき感光基材、１２、１２は感光基材１１に複
写するための所定の絵柄がかかれたガラス等の原版であ
る。この原版１２、１２は、一対の枠１３、１３に真空
吸着溝１４、１４によって真空吸着されて保持されてい
る。一対の枠１３、１３の対向面には、原版１２、１２
の外側に位置するようにパッキング１５、１５が取り付
けられている。これらの原版１２、１２、枠１３、１
３、パッキング１５、１５は第一真空室１６を形成す
る。一対の原版１２、１２の上下の端部間には、テー
プ、金属板、紙等で形成されるスペーサ１７が設けられ
ている。このスペーサ１７は、感光基材１１よりはやや
厚みがあるが、原版１２、１２が真空密着により感光基
材１１に押圧されたときには原版１２、１２がたわむこ
とにより感光基材１１に隙間なく密着することができる
程度の厚みに定められている。なお、このスペーサ１７
は必ずしも必須のものではない。
実施例の概略断面図を図１に示す。図１において、１１
は露光すべき感光基材、１２、１２は感光基材１１に複
写するための所定の絵柄がかかれたガラス等の原版であ
る。この原版１２、１２は、一対の枠１３、１３に真空
吸着溝１４、１４によって真空吸着されて保持されてい
る。一対の枠１３、１３の対向面には、原版１２、１２
の外側に位置するようにパッキング１５、１５が取り付
けられている。これらの原版１２、１２、枠１３、１
３、パッキング１５、１５は第一真空室１６を形成す
る。一対の原版１２、１２の上下の端部間には、テー
プ、金属板、紙等で形成されるスペーサ１７が設けられ
ている。このスペーサ１７は、感光基材１１よりはやや
厚みがあるが、原版１２、１２が真空密着により感光基
材１１に押圧されたときには原版１２、１２がたわむこ
とにより感光基材１１に隙間なく密着することができる
程度の厚みに定められている。なお、このスペーサ１７
は必ずしも必須のものではない。
【００１０】一対の枠１３、１３の各々には、原版１
２、１２の外側に原版との間に第二真空室１９、１９を
形成するように、原版１２、１２に平行に、ガラス、樹
脂板等で構成された透光性板２０、２０がボルト又は市
販のワンタッチクランプ（図示せず）により取り付けら
れている。また、枠１３と透光性板２０との間にはパッ
キング２１が配置され気密性を保つようになっている。
２、１２の外側に原版との間に第二真空室１９、１９を
形成するように、原版１２、１２に平行に、ガラス、樹
脂板等で構成された透光性板２０、２０がボルト又は市
販のワンタッチクランプ（図示せず）により取り付けら
れている。また、枠１３と透光性板２０との間にはパッ
キング２１が配置され気密性を保つようになっている。
【００１１】ここで、本発明により、透光性板２０、２
０の第二真空室１９、１９側の面の位置は、第一真空室
１６と第二真空室１９、１９の圧力差による原版１２、
１２の透光性板２０、２０側へのたわみを透光性板２
０、２０が制限する位置に設定される。実際上、原版１
２、１２が透光性板２０、２０にほぼ接する距離から１
ｍｍ程度の距離離間して配置される。ここで、ほぼ接す
るとは、完全密着でなく空気が通る程度の距離であり、
原版１２、１２、透光性板２０、２０の平滑度程度以上
の距離である。
０の第二真空室１９、１９側の面の位置は、第一真空室
１６と第二真空室１９、１９の圧力差による原版１２、
１２の透光性板２０、２０側へのたわみを透光性板２
０、２０が制限する位置に設定される。実際上、原版１
２、１２が透光性板２０、２０にほぼ接する距離から１
ｍｍ程度の距離離間して配置される。ここで、ほぼ接す
るとは、完全密着でなく空気が通る程度の距離であり、
原版１２、１２、透光性板２０、２０の平滑度程度以上
の距離である。
【００１２】さて、透光性板２０、２０のさらに外側に
は、露光用光源２２、２２が設けられている。この露光
用光源２２は透光性板２０を通して原版１２の画像を感
光基材１１に焼付けるための露光用の光を照射するもの
であり、従来使用されている光源が使用できる。前記し
た透光性板２０、２０は、露光に使用する光を透過し得
る材料で構成されるものであり、例えば露光に紫外光を
利用する場合には、透光性板２０、２０として紫外光透
過性のガラスや樹脂板（例えば、アクリル板）が使用さ
れる。また逆に、紫外領域より長波長域の光を使用する
場合には、その波長域の光を透過させるものが使用され
る。なお、透光性板２０、２０には、強度面からガラス
板よりもアクリル板等の樹脂板を使用することが望まし
いが、一般に樹脂板は紫外光吸収性のものが多い。した
がって、露光用光源としてメタルハライドランプ光源を
使用する場合には、紫外光吸収性のアクリル樹脂板を使
用することができる。露光用光源２２の強さは、透光性
板２０の透過特性と感光材料の感度により選定される。
は、露光用光源２２、２２が設けられている。この露光
用光源２２は透光性板２０を通して原版１２の画像を感
光基材１１に焼付けるための露光用の光を照射するもの
であり、従来使用されている光源が使用できる。前記し
た透光性板２０、２０は、露光に使用する光を透過し得
る材料で構成されるものであり、例えば露光に紫外光を
利用する場合には、透光性板２０、２０として紫外光透
過性のガラスや樹脂板（例えば、アクリル板）が使用さ
れる。また逆に、紫外領域より長波長域の光を使用する
場合には、その波長域の光を透過させるものが使用され
る。なお、透光性板２０、２０には、強度面からガラス
板よりもアクリル板等の樹脂板を使用することが望まし
いが、一般に樹脂板は紫外光吸収性のものが多い。した
がって、露光用光源としてメタルハライドランプ光源を
使用する場合には、紫外光吸収性のアクリル樹脂板を使
用することができる。露光用光源２２の強さは、透光性
板２０の透過特性と感光材料の感度により選定される。
【００１３】第一真空室１６及び第二真空室１９、１９
には、内部を排気して減圧する真空吸引装置２３が接続
されている。この真空吸引装置２３は、第一真空室１６
に開口した真空吸引口２４ａに接続された第一真空配管
２４と、各第二真空室１９に開口した真空吸引口２６ａ
に接続された第二真空配管２６と、これらの真空配管２
４、２６にそれぞれ弁（図示せず）を介して接続された
真空ホンプ等の真空源等を備えており、その真空源によ
って、第一真空室１６、第二真空室１９、１９を真空吸
引可能である。なお、真空配管２４、２６はそれぞれに
設けた弁（図示せず）によって、個々に真空を解除可能
となっている。
には、内部を排気して減圧する真空吸引装置２３が接続
されている。この真空吸引装置２３は、第一真空室１６
に開口した真空吸引口２４ａに接続された第一真空配管
２４と、各第二真空室１９に開口した真空吸引口２６ａ
に接続された第二真空配管２６と、これらの真空配管２
４、２６にそれぞれ弁（図示せず）を介して接続された
真空ホンプ等の真空源等を備えており、その真空源によ
って、第一真空室１６、第二真空室１９、１９を真空吸
引可能である。なお、真空配管２４、２６はそれぞれに
設けた弁（図示せず）によって、個々に真空を解除可能
となっている。
【００１４】さらに、真空配管２４、２６は、逆止弁２
７及び配管２８ａ、２８ｂを介して相互に接続されてい
る。この逆止弁２７は、第一真空室１６から第二真空室
１９、１９へは気体は流れるが、その逆の流れは阻止す
るように設けたものであり、この逆止弁２７を設けたこ
とにより、例えばパッキング１５から真空が漏れて第一
真空室１６の圧力が上昇しても、同時に第二真空室１
９、１９の圧力が上昇し、両真空室１６、１９の間の圧
力差が小さくなるようになっている。なお、本発明にお
いては、この逆止弁２７及び配管２８ａ、２８ｂは必ず
しも必要なものではない。
７及び配管２８ａ、２８ｂを介して相互に接続されてい
る。この逆止弁２７は、第一真空室１６から第二真空室
１９、１９へは気体は流れるが、その逆の流れは阻止す
るように設けたものであり、この逆止弁２７を設けたこ
とにより、例えばパッキング１５から真空が漏れて第一
真空室１６の圧力が上昇しても、同時に第二真空室１
９、１９の圧力が上昇し、両真空室１６、１９の間の圧
力差が小さくなるようになっている。なお、本発明にお
いては、この逆止弁２７及び配管２８ａ、２８ｂは必ず
しも必要なものではない。
【００１５】一対の枠１３、１３は、水平に配置された
ベッド３０上を往復運動するように配置されている。す
なわち、ベッド３０上にはレール３１が取り付けられ、
そのレール３１に沿って摺動可能なレール従動体３２が
各枠１３に取り付けられている。さらに、ベッド３０上
には２つの枠１３、１３に対応してボールネジ（図示せ
ず）が取り付けられ、各ボールネジに噛み合うねじ従動
体（図示せず）が各枠１３に取り付けられている。かく
して、２本のボールネジをモータ（図示せず）によって
回転させることにより、各ねじ従動体に連結された枠１
３、１３を図２に示す閉位置と、その位置から左右に開
いた開位置とに開閉することができる。
ベッド３０上を往復運動するように配置されている。す
なわち、ベッド３０上にはレール３１が取り付けられ、
そのレール３１に沿って摺動可能なレール従動体３２が
各枠１３に取り付けられている。さらに、ベッド３０上
には２つの枠１３、１３に対応してボールネジ（図示せ
ず）が取り付けられ、各ボールネジに噛み合うねじ従動
体（図示せず）が各枠１３に取り付けられている。かく
して、２本のボールネジをモータ（図示せず）によって
回転させることにより、各ねじ従動体に連結された枠１
３、１３を図２に示す閉位置と、その位置から左右に開
いた開位置とに開閉することができる。
【００１６】以上のように構成された真空密着焼付装置
によって原版の画像を感光基材に焼き付けるには、感光
基材１１を図１のようにセットした後、一対の枠１３、
１３を閉じる。こうして、一対の原版１２、１２間に形
成される第一真空室１６の周縁がパッキング１５、１５
同志の接触によって密閉される。
によって原版の画像を感光基材に焼き付けるには、感光
基材１１を図１のようにセットした後、一対の枠１３、
１３を閉じる。こうして、一対の原版１２、１２間に形
成される第一真空室１６の周縁がパッキング１５、１５
同志の接触によって密閉される。
【００１７】次に、真空配管２４、２６に同時に真空を
作用させて第一真空室１６、第二真空室１９、１９を同
時に減圧させ、真空とする。この際、真空配管２４、２
６間の管抵抗の違い、第一真空室１６、第二真空室１
９、１９の容積の違い等により、第一真空室１６の圧力
が第二真空室１９、１９の圧力より高くなることがあ
り、原版１２、１２が図３に示したように外側にたわ
む。しかし、本発明の場合、前記したように、透光性板
２０、２０と原版１２、１２の間隔が、このたわみを制
限する距離に設定されているので、このような圧力差が
真空排気中に起きても、第二真空室１９、１９を大気圧
に戻す際、原版１２、１２の周辺部から先に感光基材１
１に密着してその中心部の感光基材１１に対する密着不
良が発生するおそれはなくなり、原版１２、１２の絵柄
が変形なく忠実に感光基材１１に複写される。なお、本
発明においては、透光性板２０、２０と原版１２、１２
の間隔を上記のように小さくしたので、第二真空室１
９、１９の排気容積も小さくなり、吸引排気時間が短縮
されるメリットもある。
作用させて第一真空室１６、第二真空室１９、１９を同
時に減圧させ、真空とする。この際、真空配管２４、２
６間の管抵抗の違い、第一真空室１６、第二真空室１
９、１９の容積の違い等により、第一真空室１６の圧力
が第二真空室１９、１９の圧力より高くなることがあ
り、原版１２、１２が図３に示したように外側にたわ
む。しかし、本発明の場合、前記したように、透光性板
２０、２０と原版１２、１２の間隔が、このたわみを制
限する距離に設定されているので、このような圧力差が
真空排気中に起きても、第二真空室１９、１９を大気圧
に戻す際、原版１２、１２の周辺部から先に感光基材１
１に密着してその中心部の感光基材１１に対する密着不
良が発生するおそれはなくなり、原版１２、１２の絵柄
が変形なく忠実に感光基材１１に複写される。なお、本
発明においては、透光性板２０、２０と原版１２、１２
の間隔を上記のように小さくしたので、第二真空室１
９、１９の排気容積も小さくなり、吸引排気時間が短縮
されるメリットもある。
【００１８】第一真空室１６、第二真空室１９、１９を
所望の真空度にまで減圧した後、第一真空室１６は減圧
したまま、第二真空室１９、１９への真空を解除する。
これにより、第二真空室１９、１９の内圧が上昇し、原
版１２、１２の外面側に圧力が作用し、原版１２、１２
を感光基材１１の全面に密着させる。第二真空室１９、
１９が大気圧になった後、光源２２、２２を点灯し、透
光性板２０、２０を通して露光を行う。
所望の真空度にまで減圧した後、第一真空室１６は減圧
したまま、第二真空室１９、１９への真空を解除する。
これにより、第二真空室１９、１９の内圧が上昇し、原
版１２、１２の外面側に圧力が作用し、原版１２、１２
を感光基材１１の全面に密着させる。第二真空室１９、
１９が大気圧になった後、光源２２、２２を点灯し、透
光性板２０、２０を通して露光を行う。
【００１９】以上、実施例に基づいて本発明の真空密着
焼付装置を説明してきたが、本発明はこれら実施例に限
定されず種々の変形が可能である。例えば、感光基材の
片面にのみ１枚の原版を真空密着させる焼付装置におい
ても、同様に構成できる。
焼付装置を説明してきたが、本発明はこれら実施例に限
定されず種々の変形が可能である。例えば、感光基材の
片面にのみ１枚の原版を真空密着させる焼付装置におい
ても、同様に構成できる。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の真空密着焼付装置によると、透光性板と原版との間の
間隔が、第一真空室と第二真空室の排気中の圧力差によ
る原版の透光性板側へのたわみを透光性板が制限する距
離に設定されているので、原版は実質的にたわまず、そ
のため、原版の周辺部から先に感光基材に密着して、第
一真空室が真空排気されているにもかかわらず、その中
心部の感光基材に対する密着不良が発生し、絵柄が変形
して忠実に再現されないのを防止することができる。ま
た、透光性板と原版の間隔が小さくなるので、第二真空
室の排気容積が小さくなり、吸引排気時間が短縮され、
原版の感光基材に対する密着作業時間が短縮される。
の真空密着焼付装置によると、透光性板と原版との間の
間隔が、第一真空室と第二真空室の排気中の圧力差によ
る原版の透光性板側へのたわみを透光性板が制限する距
離に設定されているので、原版は実質的にたわまず、そ
のため、原版の周辺部から先に感光基材に密着して、第
一真空室が真空排気されているにもかかわらず、その中
心部の感光基材に対する密着不良が発生し、絵柄が変形
して忠実に再現されないのを防止することができる。ま
た、透光性板と原版の間隔が小さくなるので、第二真空
室の排気容積が小さくなり、吸引排気時間が短縮され、
原版の感光基材に対する密着作業時間が短縮される。
【図１】本発明の真空密着焼付装置の１実施例の概略断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の前提の真空密着焼付装置の概略断面図
である。
である。
【図３】図２の真空密着焼付装置の問題点を説明するた
めの概略断面図である。
めの概略断面図である。
１１…感光基材 １２、１２…原版 １３、１３…枠 １４、１４…真空吸着溝 １５、１５…パッキング １６…第一真空室 １７…スペーサ １９、１９…第二真空室 ２０、２０…透光性板 ２１…パッキング ２２、２２…露光用光源 ２３…真空吸引装置 ２４…第一真空配管 ２４ａ…真空吸引口 ２６…第二真空配管 ２６ａ…真空吸引口 ２７…逆止弁 ２８ａ、２８ｂ…配管 ３０…ベッド ３１…レール ３２…レール従動体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−265837（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−69620（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03B 27/02 G03B 27/20 G03F 7/20
Claims (1)
- 【請求項１】 原版をそれぞれ保持した一対の枠であっ
て前記原版の間に第一真空室を形成する一対の枠と、該
一対の枠の各々に保持した原版の外側に原版との間に第
二真空室を形成するように取り付けられた透光性板と、
前記第一真空室及び第二真空室を排気して減圧しかつ少
なくとも第二真空室のみの真空を解除可能な真空吸引装
置とを有する真空密着焼付装置において、前記透光性板
と原版との間の間隔を、前記第一真空室と第二真空室の
排気中の圧力差による前記原版の前記透光性板側へのた
わみを前記透光性板が制限する距離に設定したことを特
徴とする真空密着焼付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22006892A JP3285158B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 真空密着焼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22006892A JP3285158B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 真空密着焼付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0667311A JPH0667311A (ja) | 1994-03-11 |
| JP3285158B2 true JP3285158B2 (ja) | 2002-05-27 |
Family
ID=16745445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22006892A Expired - Fee Related JP3285158B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 真空密着焼付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3285158B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4379997B2 (ja) * | 2000-01-14 | 2009-12-09 | 東洋熱工業株式会社 | 露光装置 |
| KR101289337B1 (ko) * | 2007-08-29 | 2013-07-29 | 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 | 양면 임프린트 리소그래피 장치 |
| CN109003916B (zh) * | 2018-07-04 | 2020-08-28 | 安徽修武工业技术有限公司 | 一种集成电路板抓取用机械手系统 |
-
1992
- 1992-08-19 JP JP22006892A patent/JP3285158B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0667311A (ja) | 1994-03-11 |
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