SU1606957A1 - Устройство двустороннего контактного фотокопировани - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к устройствам дл  экспонировани  при контактном печатании. Цель изобретени  - упрощение конструкции устройства, снижение его металлоемкости и энергопотреблени , а также расширение функциональных возможностей. Устройство содержит плиту 1, прозрачное основание 2, вакуумную раму 3, мембрану 4, канал 5 разрежени , упругие направл ющие 6 и 7, прокладки 8 и 9, фотошаблоны 10 и 11, источники 12 и 13 активного излучени , экспонируемый материал 14, светоотражающие покрыти  15 и 16 на основании 2 и мембране 4, упругие элементы 17, 18 дл  подъема вакуумной рамы 3. При отсутствии вакуумировани  имеютс  зазор между шаблонами 10, 11 за счет упругости материала направл ющих 6 и 7 и зазор между рамой 3 и основанием 2. При вакуумировании через канал 5 вакуумна  рама 3 опускаетс  и плотно прижимаетс  к основанию 2, мембрана 4 давит на упругую направл ющую 6, обеспечива  плотный контакт фотошаблона 10 с верхним фоторезистивным слоем материала 14 и нижнего фоторезистивного сло  материала 14 с фотошаблоном 11. После экспонировани  объем вакуумной рамы 3 заполн етс  атмосферным давлением, что обеспечивает зазор между фотошаблонами 10 и 11 под действием сил упругости направл ющей 6 и зазор между вакуумной рамой 3 и основанием 2 под действием упругих элементов 17 и 18. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относитс  к устройствам дл  экспонировани  при контактном печаташш, в частности предназначено дл  двусторонней контактной фотопечати.

Целью изобретени   вл етс  упроще- конструкции с одновременным у 1еньшением металлоемкости, энергопотреблени , расширение функциональных возможностей за счет обеспечени  копировани  на основе металлизированных масок, а также повышение качества фотокопировани .

На фиг. 1 представлена принципи- . альна  схема устройства в положении зазора между фотошаблонами при .перемещении экспонируемого материала с оторезистивными слольш,; на фиг. 2 - то же, в положении контакта фотошабона с материалом при экспонировании оторезистивных слоев.

Устройство состоит из плиты 1, прозрачного основани  2, вакуумной рамы 3, мембраны 4, канала 5 разрежени , упругих направл ющих 6 и 7, прокладок 8 и 9, фотошаблонов 10 и 11, источников 12 и 13 актнничного излучени , экспонируемого материала в Bi-ще ленты с фоторезистивными сло ми 14, светоотражающих покрытий 15 и 16 на основании и на мембране, упругих элементов 17 и 18 дл  подъема вакуумной рамы.

Устройство работает следующим образом .

Узел совмещени  и копировани , представл ющий собой совмещенные фотошаблоны 10 и 11 на упругих пр моугольных направл ющих б и 7, распоагаетс  на прозрачном основании 2 в вакуумной раме 3. При отсутствии ва- куумировани  имеетс  зазор между шaбдoнa И за счет упругости материала направл ющих б и 7 и зазор между рамой 3 и основанием 2, осуществл емый подн тием рамы упругими элементами 17 и 18.

При вакуумировании через канал 5 разрежени  вакуумна  рама 3 опускаетс  и плотно прижимаетс  к основанию, что способствует дальнейшему разрежению объема под вакуумной, рамой 3 и авлешпо мембраны 4 на упругую на- правл ющзпо б, что обеспечивает в конечном итоге плотньй контакт фотошаб- лона 10 с верхним фоторезистивным слоем материала 14 и нижнего фоторе-  истивного сло  материала 14 с фото

0

5

0

5

0

5

0

5

шаблоном 11. После обеспечени  контакта производитс  экспонирование фоторезистивных слоев источниками 12 и 13 актиничного излучени  сквозь экспозиционные окна в упругих направл ющих 6 и 7, сквозь отверстие в основании 2 и сквозь незапщщенные отражающим покрытием участки поверхности основани  2 и мембраны 4, По окончании экспонировани  после сн ти  вакуумировани  через канал 5 разрежени  снимаетс  давление на мембрану 4 и вакуумную раму 3 и обеспечивает-- с  под действием сил упругости материала направл ющей 6 зазор между фотошаблонами 10 и 11 и под действием упругих элементов 17 и 18 зазор между вакуумной рамой 3 и основанием 2.

Перемещение материала с фоторезистивными сло ми с гарантированным зазором между фотошаблонами исключает повреждение фоторезистивных слоев на материале основой фотошаблона и повреждение и равно загр знение маскирующего сло  4 отошаблона, что определ ет качество фотокопировани . I В предлагаемом устройстве узел совмещени  выполнен в виде двух упругих параллельно расположенных пр моугольных направл ющих, соединенных между собой по торцовой стороне посредством прокладок, зазор между которыми соответствует величине

L 2а + b,

где а - толщина одного фотошаблона, b - зазор между фотошаблонами, равный

ь b -- ,

где 2 - касательна  напр жени ,

G - модуль упругости направл ющих , выпапненных из изотропного материала,

при этом в направл ющих узла совмещени  выполнены соосные экспозиционные окна, а средство вакуумировани  выполнено в виде одного канала разрежени  .

V

Кроме того, в устройстве в прозрачном основании выполнено отверстие , соответствующее по форме экспозиционным окнам направл ющих, и нанесено светоотражающее покрытие на

мембрану вакуумной рамы и на основание вне экспозиционных окон,

Пр моугольность направл ющих определена тем, что напр женному состо нию чистого сдвига соответствует напр женное состо ние по двум взаимно перпендикул рным площадкам.

Ввиду отсутстви  необходимости выполнени  вакуумных присосок дл  фотошаблонов в основании и в вакуумной раме и других конструктивных доработок в цел х обеспечени  зазора между шаблонами конструкци  предложенной вакуумной рамы обладает меньшей сложностью и меньшей металлоемкостью . При этом достижение зазора и контакта между основанием и рамой достигаетс  не подачей и отводом воздуха, а только отводом воздуха и применением упр-угих элементов, благодар  указанному упрощению и уменьшению металлоемкости, что непосредственно ведет к уменьшению энергопотреблени  устройства в целом.

Наличие в прозрачном основании отверсти , соответствующего по форме и размерам экспозиционным окнам направл юших, совместно с нанесенным на остальную поверхность основани  и на поверхность мембраны светоотг- ражаю1цим покрытием обеспечивает повышение качества изображени  при фотокопировании за счет снижени  температурных погрешностей при экспонировании . Отверстие в прозрачном основании способствует уравнению величин потоков актиничного излучени  при экспонировании верхнего и нижнего слоев фоторезиста, осуществл емого расположенными с двух сторон источниками .

Таким образом, конструкци  пред- лагаемого устройства обладает меньшей сложностью и меньшей металлоемкостью , что ведет также к уменьшению .энергопотреблени  устройства в целом В устройстве расширены функциональные возможности в св зи с обеспечением копировани  на основе металлизированных масок, что ведет к повышению качества фотокопироваш .

Р м у л а и

А

3 о

бретени 

0

5

0

5

0

1. Устройство двустороннего контактного фотокопировани , содержащее два совмещенных относительно друг друга фотошаблона, расположенные в вакуумной раме на прозрачном основании узла совмещени  и копировани , снизу и сверху относительно которого установлены осветители, и средства вакуумировани , отличающее- с   тем, что, с целью упрощени  конструкции с одновременным уменьшением металлоемкости и энергопотреблени  и расширени  функциональных возможностей за счет обеспечени  копировани  на основе металлизированных масок , узел со мещени  и копировани  выполнен в виде упругих параллельно распопоженньп; пр моугольных направл ющих , соединенных между собой по торцовым сторонам посредством прокладок , зазор между которыми соответствует величине

L 2а + Ь,

где а - толшина одного фотошаблона, b - зазор между фотошаблонами, равный

G

5

0

5

0

где

- и

Р „

касательна  напр жени ; модуль упругости направл ющих ,, выполненных из изотропного упругого материала, при этом в направл ющих узла совмещени  выполнены сооспые экспозиционные окна, а средство вакуумнровани  выполнено в виде одного канала разрежени .

2. Устройство по Па 1, о т л и - ч а ю щ е е с   тем, что, с цепью повьш1ени  качества изображени  при фотокопировании за счет снижени  температурных погрешностей, в прозрачном основании выполнено отверстие, соответствующее по форме.экспозиционным окнам направл юш {х, а на мембране вакуумной рамы и на основании вне экспозиционных окон нанесено светоотражающее покрытие.

п5

Редактор Е.Кспча

Составитель В.Архипов

Техред М.ДвдыкКорректор А.Осауленкс

За.каэ 3549

Тираж 375

ВНИИПК Государственного комитета по изобретени м и. открыти м при ГКНТ СССР П3035, Москва, Ж-ЗЗ, Раушска  набо д„ Д/5

ПронзБодственно-издатальский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Подписное

Claims (2)

1. Формула изобретения

   1. Устройство двустороннего контактного фотокопирования, содержащее

   5 два совмещенных относительно друг друга фотошаблона, расположенные в вакуумной раме на прозрачном основании узла совмещения и копирования, ^0 снизу и сверху относительно которого установлены осветители, и средства вакуумирования, отличающеес я тем, что, с целью упрощения кон- струкции с одновременным уменьшением металлоемкости и энергопотребления и расширения функциональных возможностей за счет обеспечения копирования на основе металлизированных масок, узел совмещения и копирования 2Q выполнен в виде упругих параллельно расположенных прямоугольных направляющих, соединенных между собой по торцовым сторонам посредством прокладок, зазор между которыми соответ25 ствует величине

   L = 2а + Ь, где а - толщина одного фотошаблона, b - зазор между фотошаблонами, равный ^ь =£>

   где и - касательная напряжения;

   G - модуль упругости направляю35 щих,. выполненных из изотропного упругого материала, при этом в направляющих узла совмещения выполнены соосные экспозиционные окна, а средство вакуумирования

   40 выполнено в виде одного канала разрежения.
2. 2. Устройство поп, 1, о т лича ю щ е еся тем, что, с целью повышения качества изображения при

   45 фотокопировании за счет снижения температурных погрешностей, в прозрач- ном основании выполнено отверстие, соответствующее по форме.экспозиционным окнам направляющих, а на мембране вакуумной рамы и на основании вне экспозиционных окон нанесено светоотражающее покрытие.