JPH03265836A - 露光装置における原版開閉装置 - Google Patents
露光装置における原版開閉装置Info
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- JPH03265836A JPH03265836A JP2065604A JP6560490A JPH03265836A JP H03265836 A JPH03265836 A JP H03265836A JP 2065604 A JP2065604 A JP 2065604A JP 6560490 A JP6560490 A JP 6560490A JP H03265836 A JPH03265836 A JP H03265836A
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 101100518501 Mus musculus Spp1 gene Proteins 0.000 description 1
- 240000002853 Nelumbo nucifera Species 0.000 description 1
- 235000006508 Nelumbo nucifera Nutrition 0.000 description 1
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- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＩＣのり一トフレームやカラーＴＶのブラウ
ン管に用いるシャドウマスク等を製作する露光装置にお
いて、一対の原版を基材に対して接近させたり離したり
するための露光装置における原版開閉装置に関する。
ン管に用いるシャドウマスク等を製作する露光装置にお
いて、一対の原版を基材に対して接近させたり離したり
するための露光装置における原版開閉装置に関する。
例えば、シャドウマスクを製作する露光装置では絵柄の
書かれたガラスの原版を感光材料が塗布された基材に真
空又は圧空により密着させ、絵柄を露光するが、ｎ先後
は基材を取り出ずため或いは原版を交換するためなどの
理由により、基材と原版の間に隙間を開ける必要があり
、そのため、原版又は基材を開閉させる必要がある。基
材の両面にそれぞれ原版を密着さセ原版の絵柄を露光す
る両面露光装置では両面の原版を開閉させる必要がある
。
書かれたガラスの原版を感光材料が塗布された基材に真
空又は圧空により密着させ、絵柄を露光するが、ｎ先後
は基材を取り出ずため或いは原版を交換するためなどの
理由により、基材と原版の間に隙間を開ける必要があり
、そのため、原版又は基材を開閉させる必要がある。基
材の両面にそれぞれ原版を密着さセ原版の絵柄を露光す
る両面露光装置では両面の原版を開閉させる必要がある
。
基材の両側に配置された原版を開閉させるための従来の
原版開閉装置は、第５図、第６図に示すように両面に感
光材料が塗布された基材１の下方に台座２が配置されそ
の上に基材］に対して直角方向にレール３４が設けられ
ており、このレール３．４に、それぞれ原版５．６を保
持した一対の枠７，８がレール従動体９．１０を介して
スライｌｉＪ能に保持されている。：Ｅた１台座２」二
には、枠７，８の各々に対応してねしシャツｌ−ｌＬ１
２が段目られ、各ねしシャフトは対応する枠７，８に取
付けられた従動体１３．１．４に噛め合っている。
原版開閉装置は、第５図、第６図に示すように両面に感
光材料が塗布された基材１の下方に台座２が配置されそ
の上に基材］に対して直角方向にレール３４が設けられ
ており、このレール３．４に、それぞれ原版５．６を保
持した一対の枠７，８がレール従動体９．１０を介して
スライｌｉＪ能に保持されている。：Ｅた１台座２」二
には、枠７，８の各々に対応してねしシャツｌ−ｌＬ１
２が段目られ、各ねしシャフトは対応する枠７，８に取
付けられた従動体１３．１．４に噛め合っている。
」二記横或の従来装置において、各枠７．８に対応した
ねしシャツｌｉ１．１２をそれぞれモータ（図示せず）
で回転させると、その回転に応して枠７．８がレール３
．４」二をスライドし、原版５．６が基材１の両側で基
材１に接近したり、離れたりして開閉する。
ねしシャツｌｉ１．１２をそれぞれモータ（図示せず）
で回転させると、その回転に応して枠７．８がレール３
．４」二をスライドし、原版５．６が基材１の両側で基
材１に接近したり、離れたりして開閉する。
しかし、かかる従来の構成では、各原版を保持した枠７
，８がそれぞれ、レール従動体９，１０を介してレール
３，４に保持されているため１両側の原版を基材に密着
させた時の位置が、レールとレール従動体との遊びなど
によりずれることが多く、シかも、そのレールとレール
従動体との遊びは２基材の両側にそれぞれ生しるため全
体としての原版のずれが大きくなってしまう。このため
、たびたびどちらか一方の原版の位置を、もう一方の原
版に対応する位置に合わせる必要があった。
，８がそれぞれ、レール従動体９，１０を介してレール
３，４に保持されているため１両側の原版を基材に密着
させた時の位置が、レールとレール従動体との遊びなど
によりずれることが多く、シかも、そのレールとレール
従動体との遊びは２基材の両側にそれぞれ生しるため全
体としての原版のずれが大きくなってしまう。このため
、たびたびどちらか一方の原版の位置を、もう一方の原
版に対応する位置に合わせる必要があった。
本発明はかかる従来技術の問題点に鑑みてなされたもの
で、基材に対して両側から密着さセられる一幻の原版の
相対的な位置ずれを減少させることの可能な露光装置の
原版開閉装置を提供することを目的とする。
で、基材に対して両側から密着さセられる一幻の原版の
相対的な位置ずれを減少させることの可能な露光装置の
原版開閉装置を提供することを目的とする。
本発明者等は上記の問題点を解決すべく種々検副の結果
、基材両側の枠をそれぞれ共通のレールに保持させる代
わりに、一方の枠に他方の枠をスライド可能に保持させ
ることによって、上記問題点を解決しうろことを見出し
て本発明を完成したものである。
、基材両側の枠をそれぞれ共通のレールに保持させる代
わりに、一方の枠に他方の枠をスライド可能に保持させ
ることによって、上記問題点を解決しうろことを見出し
て本発明を完成したものである。
すなわち１本発明は、感光材料を塗布してなる暴利の両
面に、絵柄のかかれた原版を密着さ一吐その上に光を照
射することにより基材に絵柄を露光する露光装置におい
て 第一の原版を保持した第一枠と 、該第一枠を基材に対して直角方向に移動可能に保持す
る第一スライド機構と 第二の原版を保持した第二枠と 前記第一枠に保持され、前記第二枠をｌに対して蓮角方
向に移動可能に保持する第二、スライド機横を備えたこ
とを特徴とする露光装置における原版開閉装置を要旨と
する。
面に、絵柄のかかれた原版を密着さ一吐その上に光を照
射することにより基材に絵柄を露光する露光装置におい
て 第一の原版を保持した第一枠と 、該第一枠を基材に対して直角方向に移動可能に保持す
る第一スライド機構と 第二の原版を保持した第二枠と 前記第一枠に保持され、前記第二枠をｌに対して蓮角方
向に移動可能に保持する第二、スライド機横を備えたこ
とを特徴とする露光装置における原版開閉装置を要旨と
する。
本発明む４」二連のように、第一の原版を保持した第一
枠に対して、第二の原版を保持した第二枠が第ニスライ
ド機＋１４を介して保持させるので、第一の原版と第二
の原版の相対的な位置精度は、第二スライドａ構の精度
のみによって定まり、第一枠を保持した第一スライド機
構の影響は受けないため、従来に比べて、第一の原版と
第二の原版の相対的な位置ずれを約半分に減少させるこ
とができる。
枠に対して、第二の原版を保持した第二枠が第ニスライ
ド機＋１４を介して保持させるので、第一の原版と第二
の原版の相対的な位置精度は、第二スライドａ構の精度
のみによって定まり、第一枠を保持した第一スライド機
構の影響は受けないため、従来に比べて、第一の原版と
第二の原版の相対的な位置ずれを約半分に減少させるこ
とができる。
以下３図面に示す実施例を詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略側面図、第２図はその
正面図、第３図は上記実施例に用いる第一スライドｉ
＋Ｉ４及び第一枠を駆動する機構を示す平面図、第４図
しＪＬ記実施例に用いる第二スライド−機構及び第二枠
を駆動する機構を示す平面図である。同図において１、
５ ＆ｊ露光されるべき暴利であり１両面に感光制料を
塗布されている。この私利１５は図示しない手段に、４
、って、第１図に図示した位置に供給されるようになっ
ている。１６は基材１５の片側に配置された絵柄のかか
れた第一の原版、１７はその原版１６を保持した第一枠
である。第一枠１７は下端に水平に延びる支持台１．７
ａを有している。１８は台座、１９はその台座１８上
に設けられ、第一枠を暴利に対して直角方向に移動可能
に保持する第一スライト機構、２０は基材１５の反対側
に配置された絵柄のかかれた第二の原版２１はその原版
２０を保持した第二枠、２２は第一枠に保持され２第二
枠２Ｉを基材Ｉ５に対して直角方向に移動可能に保持す
る第ニスライド機構である。
正面図、第３図は上記実施例に用いる第一スライドｉ
＋Ｉ４及び第一枠を駆動する機構を示す平面図、第４図
しＪＬ記実施例に用いる第二スライド−機構及び第二枠
を駆動する機構を示す平面図である。同図において１、
５ ＆ｊ露光されるべき暴利であり１両面に感光制料を
塗布されている。この私利１５は図示しない手段に、４
、って、第１図に図示した位置に供給されるようになっ
ている。１６は基材１５の片側に配置された絵柄のかか
れた第一の原版、１７はその原版１６を保持した第一枠
である。第一枠１７は下端に水平に延びる支持台１．７
ａを有している。１８は台座、１９はその台座１８上
に設けられ、第一枠を暴利に対して直角方向に移動可能
に保持する第一スライト機構、２０は基材１５の反対側
に配置された絵柄のかかれた第二の原版２１はその原版
２０を保持した第二枠、２２は第一枠に保持され２第二
枠２Ｉを基材Ｉ５に対して直角方向に移動可能に保持す
る第ニスライド機構である。
第一スライド機構１９は、第３図に示すように１台座１
８に互いに平行に取付けられた２木のレール２４２５と
、これらのレール２４．２５に係合してスライドするレ
ール従動体２６，２７を有しており、レール従動体２６
，２７は第一枠１７に取付けられている。
８に互いに平行に取付けられた２木のレール２４２５と
、これらのレール２４．２５に係合してスライドするレ
ール従動体２６，２７を有しており、レール従動体２６
，２７は第一枠１７に取付けられている。
２木のレール２４．２５は１位置精度を向上させるため
にそれぞれ異なった形状をしている。すなわち、第２図
に示すように、一方のレール２４は山型でありレール２
４］二をスライドするレール従動体２６はこれに対応し
た谷型となっている。また、他方のレール２５は平坦な
型であり、レール従動体２７もこれに対応した平型で、
レール２５」二へ単に乗っただけの構造となっている。
にそれぞれ異なった形状をしている。すなわち、第２図
に示すように、一方のレール２４は山型でありレール２
４］二をスライドするレール従動体２６はこれに対応し
た谷型となっている。また、他方のレール２５は平坦な
型であり、レール従動体２７もこれに対応した平型で、
レール２５」二へ単に乗っただけの構造となっている。
これば２本のレール２４．２５の平行度を出すのが現実
的に無理なこと、露光時にレール２４２５、レール従動
体２６．２７．第一枠１７１台座１８等が熱膨脹した時
の逃げが必要なためである。
的に無理なこと、露光時にレール２４２５、レール従動
体２６．２７．第一枠１７１台座１８等が熱膨脹した時
の逃げが必要なためである。
台座１８はレール２４．２５に平行なねしシャフト２９
とそれを回転駆動するモータ３０を保持しており一方、
第一枠１７はねしシャフト２９に噛み合うねし従動体３
１を保持している。従って、モータ３０によってねしシ
ャフト２９を回転させると、その回転に応してねし従動
体３１がねしシャフト２９に沿って移動し、第一枠１７
が直線運動する。
とそれを回転駆動するモータ３０を保持しており一方、
第一枠１７はねしシャフト２９に噛み合うねし従動体３
１を保持している。従って、モータ３０によってねしシ
ャフト２９を回転させると、その回転に応してねし従動
体３１がねしシャフト２９に沿って移動し、第一枠１７
が直線運動する。
第ニスライド機構２２は、第４図に示すように、第一枠
１７の支持台１７ａに互いに平行に取付けられた２木の
レール３４．３５と、これらのレール３４．３５に係合
してスライドするレール従動体３６，３７を有しており
、レール従動体３６，３７は第二枠２１に取付けられて
いる。ここで使用されるレール３４，３５及びレール従
動体３６．３７も第一スライド機構１９のレール２４．
２５及びレール従動体２６，２７と同一の構造である。
１７の支持台１７ａに互いに平行に取付けられた２木の
レール３４．３５と、これらのレール３４．３５に係合
してスライドするレール従動体３６，３７を有しており
、レール従動体３６，３７は第二枠２１に取付けられて
いる。ここで使用されるレール３４，３５及びレール従
動体３６．３７も第一スライド機構１９のレール２４．
２５及びレール従動体２６，２７と同一の構造である。
更に、第一枠１７の支持部１７２はレール３４，３５に
平行なねしシャフト３９とそれを回転駆動するモータ４
０を保持しており２一方、第二枠２１はねしシャフト３
９に噛み合うねじ従動体４１を保持している。従って、
モータ４０によってねしシャフト３９を回転さセ“ると
、その回転に応してねし従動体４１がねしシャフト３９
に沿って移動し、第二枠２】が第一枠１７の支持台１７
ａに対して直線運動する。
平行なねしシャフト３９とそれを回転駆動するモータ４
０を保持しており２一方、第二枠２１はねしシャフト３
９に噛み合うねじ従動体４１を保持している。従って、
モータ４０によってねしシャフト３９を回転さセ“ると
、その回転に応してねし従動体４１がねしシャフト３９
に沿って移動し、第二枠２】が第一枠１７の支持台１７
ａに対して直線運動する。
ここで、第二枠２１の支持台１．７２に対する移動スト
ロークは、第一枠１７の台座１８に対する移動ストロー
クの２倍に設定されている。
ロークは、第一枠１７の台座１８に対する移動ストロー
クの２倍に設定されている。
次に、上記構成の原版開閉装置による開閉動作を説明す
る。今、第１図に示すように１基材１５の両側の原版１
６．２０は基材１５から離れた開位置にあるものとする
。この状態で１台座１８に設けられたモータ３０が回転
してねしシャフト２９を回転させると、ねし従動体３１
がねしシャフト２９に沿って移動し、そのねし従動体３
１に固定されている第一枠１７が第１図の矢印Ａで示す
方向に移動する。これによって原版１Ｇが基材１５にほ
ぼ密着する位置に移動する。一方これと並行して第一枠
１７の支持台１７ａ上のモータ４０が回転してねしシャ
フト３９をねしシャフト２９とは反対方向に回転させる
。その回転により３ねじ従動体４１がねしシャフト３９
に沿って移動し、そのねし従動体４１に固定されている
第二枠２１が第１図の矢印Ｂで示す方向に移動する。こ
れによって原版２０も基材１５にほぼ密着する位置に移
動する。このようにして基材Ｉ５の両側の原版１６．２
０が閉位置に移動する。また、この逆の動作により、原
版１６．２０は第１図に示す開位置に移動する。
る。今、第１図に示すように１基材１５の両側の原版１
６．２０は基材１５から離れた開位置にあるものとする
。この状態で１台座１８に設けられたモータ３０が回転
してねしシャフト２９を回転させると、ねし従動体３１
がねしシャフト２９に沿って移動し、そのねし従動体３
１に固定されている第一枠１７が第１図の矢印Ａで示す
方向に移動する。これによって原版１Ｇが基材１５にほ
ぼ密着する位置に移動する。一方これと並行して第一枠
１７の支持台１７ａ上のモータ４０が回転してねしシャ
フト３９をねしシャフト２９とは反対方向に回転させる
。その回転により３ねじ従動体４１がねしシャフト３９
に沿って移動し、そのねし従動体４１に固定されている
第二枠２１が第１図の矢印Ｂで示す方向に移動する。こ
れによって原版２０も基材１５にほぼ密着する位置に移
動する。このようにして基材Ｉ５の両側の原版１６．２
０が閉位置に移動する。また、この逆の動作により、原
版１６．２０は第１図に示す開位置に移動する。
ここで５原版２０を保持した第二枠２１は、原版１６を
保持した第一枠１７の一部である支持台１７ａに第ニス
ライド機構２２を介して保持されているので。
保持した第一枠１７の一部である支持台１７ａに第ニス
ライド機構２２を介して保持されているので。
基材１５の両面に密着させた原版１６．２０間の相対的
な位置精度は、第ニスライド機構２２の精度のみによっ
て定まり、第一枠１７を保持した第一スライド機構１９
の影響は受けない。このため、原版１６．２０間のずれ
が極めて小さくなっている。
な位置精度は、第ニスライド機構２２の精度のみによっ
て定まり、第一枠１７を保持した第一スライド機構１９
の影響は受けない。このため、原版１６．２０間のずれ
が極めて小さくなっている。
（発明の効果〕
以上に説明したように１本発明の原版開閉装置では。
第一の原版を保持した第一枠に対して、第二の原版を保
持した第二枠が第ニスライド機構を介して保持されてい
るので、第一の原版と第二の原版の相対的な位置精度を
高めることができ、一方の原版の枠に対する取付位置の
調整を行う必要がなくなるという効果を有している。
持した第二枠が第ニスライド機構を介して保持されてい
るので、第一の原版と第二の原版の相対的な位置精度を
高めることができ、一方の原版の枠に対する取付位置の
調整を行う必要がなくなるという効果を有している。
第１図は本発明の一実施例の概略側面図、第２図はその
正面図、第３図は上記実施例に用いる第一スライド機構
及び第一枠を駆動する機構を示す平面図２第４図は上記
実施例に用いる第ニスライド機構及び第二枠を駆動する
機構を示す平面図、第５図は従来の原版開閉装置の概略
側面図、第６図はその正面図である。 １５−基材、１６−原版、１７−第一枠、１７ａ支持台
、１８−台座１１９−第一スライド機構、２０原版、２
１−第二枠、２２−第二スライド機構。
正面図、第３図は上記実施例に用いる第一スライド機構
及び第一枠を駆動する機構を示す平面図２第４図は上記
実施例に用いる第ニスライド機構及び第二枠を駆動する
機構を示す平面図、第５図は従来の原版開閉装置の概略
側面図、第６図はその正面図である。 １５−基材、１６−原版、１７−第一枠、１７ａ支持台
、１８−台座１１９−第一スライド機構、２０原版、２
１−第二枠、２２−第二スライド機構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 感光材料を塗布してなる基材の両面に、絵柄のかかれた
原版を密着させその上に光を照射することにより基材に
絵柄を露光する露光装置において、 第一の原版を保持した第一枠と、 該第一枠を基材に対して直角方向に移動可能に保持する
第一スライド機構と、 第二の原版を保持した第二枠と、 前記第一枠に保持され、前記第二枠を基材に対して直角
方向に移動可能に保持する第二スライド機構を備えたこ
とを特徴とする露光装置における原版開閉装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2065604A JP2834834B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 露光装置における原版開閉装置 |
| US07/666,081 US5083156A (en) | 1990-03-16 | 1991-03-07 | Vacuum contact printing device and exposure apparatus and original contact device |
| KR1019910004092A KR0177157B1 (ko) | 1990-03-16 | 1991-03-15 | 진공밀착인화장치와 방법, 노광장치 및 원판밀착장치 |
| DE4108838A DE4108838C2 (de) | 1990-03-16 | 1991-03-18 | Vakuumkontakt-Kopiervorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2065604A JP2834834B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 露光装置における原版開閉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03265836A true JPH03265836A (ja) | 1991-11-26 |
| JP2834834B2 JP2834834B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=13291789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2065604A Expired - Lifetime JP2834834B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 露光装置における原版開閉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2834834B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001194801A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-19 | Toshiba Corp | 露光装置 |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP2065604A patent/JP2834834B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001194801A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-19 | Toshiba Corp | 露光装置 |
| KR100496072B1 (ko) * | 2000-01-14 | 2005-06-17 | 가부시끼가이샤 도시바 | 노광 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2834834B2 (ja) | 1998-12-14 |
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