CN215729273U - 一种薄膜拉伸对位曝光机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及薄膜生产技术领域，特别是涉及一种薄膜拉伸对位曝光机构，包括相机，还包括PLC控制器和两个分体式的第一底座和第二底座，所述相机设于第一底座和第二底座之间，第一底座上设有第一夹紧机构和第二夹紧机构，第二底座上设有第三夹紧机构和拉伸机构，所述拉伸机构包括第四夹紧机构和转盘，在所述第四夹紧机构两侧底部和第二底座之间还设有用于驱动第四夹紧机构沿转盘转动的动力机构，所述动力机构与相机均电连接于PLC控制器，通过利用动力机构配合拉伸机构对薄膜进行拉伸微调，可以将尺寸不一致的薄膜进行拉伸微调后实现精准曝光做图的效果，通过设置第一夹紧机构和第二夹紧机构共同固定薄膜，可以防止在薄膜拉伸过程中产生微动。

Description

一种薄膜拉伸对位曝光机构

技术领域

本实用新型涉及薄膜生产技术领域，特别是涉及一种薄膜拉伸对位曝光机构。

背景技术

现有的薄膜对位曝光机构原理图如图3和图4所示：主要由反向张力轮a、搬送定位轮b、薄膜材料c、上光罩d、下光罩e、相机f、上光罩靶标g、薄膜材料上靶标h。其中反向张力轮a和搬送定位轮b配合搬送薄膜材料c，搬送完成后，上光罩d上的上光罩靶标g和薄膜材料上靶标h进行对位，对位成功后，进行曝光动作，薄膜材料c经过一道曝光后，每一拍上都会形成4个薄膜材料上靶标h，由于薄膜材料c极易受到外力影响而发生形变，导致每一拍上形成的4个薄膜材料上靶标h位置都不同，所以上光罩靶标g和薄膜材料上靶标h无法稳定对位，其次，反向张力轮a和搬送定位轮b之间的张力是无法高精度控制到±1N，导致每一拍材料涨缩不一致，曝光出来的线路尺寸也会不一致。

因此需要一种薄膜拉伸对位曝光机构能够对薄膜进行精确拉伸从而做出和基准光罩一样的图案。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种薄膜拉伸对位曝光机构，用于解决现有技术中拉伸机构面对每一片材料缩小尺寸不一样时无法调整薄膜拉伸精度的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种薄膜拉伸对位曝光机构，包括相机，还包括PLC控制器和两个分体式的第一底座和第二底座，所述相机设于第一底座和第二底座之间，所述第一底座上依次设有第一夹紧机构和第二夹紧机构，所述第二底座上设有第三夹紧机构和拉伸机构，所述第三夹紧机构设于拉伸机构靠近第一底座的一侧，所述拉伸机构包括第四夹紧机构和转盘，所述转盘转动连接在第二底座上，所述第四夹紧机构固定在转盘上，在所述第四夹紧机构两侧底部和第二底座之间还设有用于驱动第四夹紧机构沿转盘转动的动力机构，所述动力机构与相机均电连接于PLC控制器。

于本实用新型的一实施例中，所述动力机构包括固定在第二底座上的伺服电机，所述伺服电机输出端设有丝杠，所述丝杠上螺纹连接有滑块，所述滑块铰接在第四夹紧机构底部。

于本实用新型的一实施例中，所述第二底座上丝杠下还设有导轨，所述滑块滑动连接在导轨上。

于本实用新型的一实施例中，所述第一夹紧机构和第二夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸，所述第一夹紧机构和第二夹紧机构上还分别设有夹紧板和薄膜固定板，所述夹紧板随驱动气缸动作，所述薄膜固定板固定在第一底座。

于本实用新型的一实施例中，第三夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸，所述第三夹紧机构上还设有夹紧板和薄膜固定板，所述夹紧板随驱动气缸动作，所述薄膜固定板固定在第二底座。

于本实用新型的一实施例中，第四夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸，所述第四夹紧机构上还设有夹紧板和薄膜固定板，所述夹紧板随驱动气缸动作，所述薄膜固定板固定在所述转盘上。

于本实用新型的一实施例中，所述薄膜固定板尺寸小于夹紧板尺寸。

如上所述，本实用新型的一种薄膜拉伸对位曝光机构，具有以下有益效果：

1、通过利用动力机构配合拉伸机构对薄膜进行拉伸微调，可以将尺寸不一致的薄膜进行拉伸微调后实现精准曝光做图的效果。

2、通过设置第三夹紧机构可以避免薄膜在拉伸后作图过程中产生微动。

3、通过设置第一夹紧机构和第二夹紧机构共同固定薄膜，可以防止在薄膜拉伸过程中产生微动。

附图说明

图1显示为本实用新型实施例中公开的一种薄膜拉伸对位曝光机构的结构示意图。

图2显示为本实用新型实施例中公开的一种薄膜拉伸对位曝光机构的动力机构结构示意图。

图3显示为现有技术中公开的薄膜拉伸对位机构的侧视结构示意图。

图4显示为现有技术中公开的薄膜拉伸对位机构的俯视结构示意图。

元件标号说明

1-第一底座；2-第二底座；3-第一夹紧机构；4-第二夹紧机构；5-第三夹紧机构；6-第四夹紧机构；7-转盘；8-伺服电机；9-丝杠；10-滑块；11-导轨；12-驱动气缸；13-夹紧板；14-薄膜固定板；15-薄膜。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

请参阅图1，本实用新型提供一种薄膜拉伸对位曝光机构，包括相机，还包括PLC控制器和两个分体式的第一底座1和第二底座2，所述相机设于第一底座1和第二底座2之间，所述第一底座1上依次设有第一夹紧机构3和第二夹紧机构4，所述第二底座2上设有第三夹紧机构5和拉伸机构，所述第三夹紧机构5设于拉伸机构靠近第一底座1的一侧，所述拉伸机构包括第四夹紧机构6和转盘7，所述转盘7转动连接在第二底座2上，所述第四夹紧机构6固定在转盘7上，在所述第四夹紧机构6两侧底部和第二底座2之间还设有用于驱动第四夹紧机构6沿转盘7转动的动力机构，所述动力机构与相机均电连接于PLC控制器。

所述动力机构包括固定在第二底座2上的伺服电机8，所述伺服电机8输出端设有丝杠9，所述丝杠9上螺纹连接有滑块10，所述滑块10铰接在第四夹紧机构6底部，所述第二底座2上丝杠9下还设有导轨11，所述滑块10滑动连接在导轨11上。

所述夹紧机构两侧均设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸12，所述夹紧机构上还均设有夹紧板13和薄膜固定板14，所述夹紧板13随驱动气缸12动作，所述薄膜固定板14固定在第一底座1或第二底座2上，所述薄膜固定板14尺寸小于夹紧板13尺寸。

本实用新型具体实施方式，当薄膜15进入曝光机构以后，第一夹紧机构3和第二夹紧机构4分别通过驱动气缸12将薄膜15一端固定各自的薄膜固定板141上，然后拉伸机构上的第四夹紧机构6将薄膜15另一端固定，然后通过相机对薄膜15进行定位对准，相机读取基准光罩的靶标和薄膜15上的靶标进行位置对比，相机将采集到的信号传递给PLC控制器，再通过PLC控制器计算出相应的位置移动量，将输出信号传递给动力机构对薄膜15进行微调处理，当需要对薄膜15进行位置微调时，通过固定在第二底座2上的伺服电机8进行微调，通过伺服电机8驱动丝杠9转动，进而带动滑块10沿导轨11滑动，滑块10铰接在第四夹紧机构6底部，当滑块10滑动时，可以带动第四夹紧机构6在转盘7上做微转动，来调整薄膜15上的靶标位置，当相机采集到基准光罩靶标和薄膜15上的靶标位置重合后，第三夹紧机构5将对薄膜15进行固定，避免再次产生位移偏差，然后对薄膜15进行曝光作图，每一次作图前，都会在相机扫描后对薄膜15进行拉伸定位，以保证每张薄膜15作出的图案尺寸与基光准罩一样的图。

综上所述，本实用新型通过利用动力机构配合拉伸机构对薄膜进行拉伸微调，可以将尺寸不一致的薄膜进行拉伸微调后实现精准曝光做图的效果，通过设置第三夹紧机构可以避免薄膜在拉伸后作图过程中产生微动，通过设置第一夹紧机构和第二夹紧机构共同固定薄膜一端，可以防止在拉伸过程中薄膜产生微动。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (7)

1.一种薄膜拉伸对位曝光机构，包括相机，其特征在于，还包括PLC控制器和两个分体式的第一底座和第二底座，所述相机设于第一底座和第二底座之间，所述第一底座上依次设有第一夹紧机构和第二夹紧机构，所述第二底座上设有第三夹紧机构和拉伸机构，所述第三夹紧机构设于拉伸机构靠近第一底座的一侧，所述拉伸机构包括第四夹紧机构和转盘，所述转盘转动连接在第二底座上，所述第四夹紧机构固定在转盘上，在所述第四夹紧机构两侧底部和第二底座之间还设有用于驱动第四夹紧机构沿转盘转动的动力机构，所述动力机构与相机均电连接于PLC控制器。

2.根据权利要求1所述的薄膜拉伸对位曝光机构，其特征在于：所述动力机构包括固定在第二底座上的伺服电机，所述伺服电机输出端设有丝杠，所述丝杠上螺纹连接有滑块，所述滑块铰接在第四夹紧机构底部。

3.根据权利要求2所述的薄膜拉伸对位曝光机构，其特征在于：所述第二底座上丝杠下还设有导轨，所述滑块滑动连接在导轨上。

4.根据权利要求1所述的薄膜拉伸对位曝光机构，其特征在于：所述第一夹紧机构和第二夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸，所述第一夹紧机构和第二夹紧机构上还分别设有夹紧板和薄膜固定板，所述夹紧板随驱动气缸动作，所述薄膜固定板固定在第一底座。

5.根据权利要求1所述的薄膜拉伸对位曝光机构，其特征在于：第三夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸，所述第三夹紧机构上还设有夹紧板和薄膜固定板，所述夹紧板随驱动气缸动作，所述薄膜固定板固定在第二底座。

6.根据权利要求1所述的薄膜拉伸对位曝光机构，其特征在于：第四夹紧机构两侧分别设有用于驱动夹紧机构夹紧薄膜的驱动气缸，所述第四夹紧机构上还设有夹紧板和薄膜固定板，所述夹紧板随驱动气缸动作，所述薄膜固定板固定在所述转盘上。

7.根据权利要求4-6中任一条所述的薄膜拉伸对位曝光机构，其特征在于：所述薄膜固定板尺寸小于夹紧板尺寸。

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