JPS6155937A - 半導体基板用印刷装置 - Google Patents
半導体基板用印刷装置Info
- Publication number
- JPS6155937A JPS6155937A JP17875784A JP17875784A JPS6155937A JP S6155937 A JPS6155937 A JP S6155937A JP 17875784 A JP17875784 A JP 17875784A JP 17875784 A JP17875784 A JP 17875784A JP S6155937 A JPS6155937 A JP S6155937A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- printing
- stage
- pattern
- horizontal rotation
- Prior art date
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- Pending
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- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、半導体基板に高精度にパターンを印刷形成
する半導体基板用印刷装置に関する。
する半導体基板用印刷装置に関する。
従来、この積の半導体基板用印刷装置は、第１図に概要
斜視図で示すようになっていた。（１）は半導体基板、
（２）はこの半導体基板（１）を載せ固定するステージ
、（３）はこのステージ（２）を上面に固定し、Ｘ軸方
向に移動し印刷位置にするスライドテーブルで、Ｘ軸方
向の１対の案内軸（４）に支持されている。（５）は合
板、（６）は印刷パターン孔（力が設けられた印刷マス
クで、保持枠（８１Ｋ保持されている。（９）はマスク
（６）上をＡ及びＢ方向に往復移動し、間に置かれた印
刷ペーストをパターン孔（７）から半導体基板＋１１上
に刷込む１対のスキージである。
斜視図で示すようになっていた。（１）は半導体基板、
（２）はこの半導体基板（１）を載せ固定するステージ
、（３）はこのステージ（２）を上面に固定し、Ｘ軸方
向に移動し印刷位置にするスライドテーブルで、Ｘ軸方
向の１対の案内軸（４）に支持されている。（５）は合
板、（６）は印刷パターン孔（力が設けられた印刷マス
クで、保持枠（８１Ｋ保持されている。（９）はマスク
（６）上をＡ及びＢ方向に往復移動し、間に置かれた印
刷ペーストをパターン孔（７）から半導体基板＋１１上
に刷込む１対のスキージである。
）によりステージ（２）上に供給し、位置決め部（２ａ
）に当て位置決めする。ついで、スライドテーブル（３
）がＣ方向に移動し、ステージ（２）上の半導体基板（
１）をマスク（６）下の所定位＃にする。スキージ（９
）の矢印Ａ、Ｂ方向の往復移動によし、印刷ペーストが
パターン孔（７）から半導体基板（１）上に印刷され、
配線パターンが形成される。
）に当て位置決めする。ついで、スライドテーブル（３
）がＣ方向に移動し、ステージ（２）上の半導体基板（
１）をマスク（６）下の所定位＃にする。スキージ（９
）の矢印Ａ、Ｂ方向の往復移動によし、印刷ペーストが
パターン孔（７）から半導体基板（１）上に印刷され、
配線パターンが形成される。
上記従来の印刷装置では、半導体基板（１）をその側辺
を基準にステージ（２）の位１決め部（２ａ） Ｋ当て
位置決め固定しているが、各半導体基板１１）Ｆｉ印刷
されるべきパターン箇所と側辺との関係位置が均一でな
いため、マスク（６）のパターン孔（７）と半導体基板
（１）の所定の印刷位置がずれて、このずれた位置に印
刷され配線パターンが形成されてしまう欠点があった。
を基準にステージ（２）の位１決め部（２ａ） Ｋ当て
位置決め固定しているが、各半導体基板１１）Ｆｉ印刷
されるべきパターン箇所と側辺との関係位置が均一でな
いため、マスク（６）のパターン孔（７）と半導体基板
（１）の所定の印刷位置がずれて、このずれた位置に印
刷され配線パターンが形成されてしまう欠点があった。
この発明は、上記従来装置の欠点をなくするためになさ
れたものであり、半導体基板を載置するステージの下方
にＸＹｐ４！！１テーブルと、水平回動ｐｉ整装置とを
介在させてスライドテーブル上に装着し、半導体基板位
置を上方から工業用テレビカメラで検出し、設定しであ
る基準位置とのずれを、上記ＸＹ調整テーブルと水平回
動調整装置とによる調整で半導体基板の位置を修正し、
スライドテーブルの前進移動により半導体基板を印刷マ
スクの所定位置下にして印刷されるようＫＬ、半導体基
板の正規な位置に精度よくパターンが形成される、半導
体基板用印刷装置を提供することを目的としている。
れたものであり、半導体基板を載置するステージの下方
にＸＹｐ４！！１テーブルと、水平回動ｐｉ整装置とを
介在させてスライドテーブル上に装着し、半導体基板位
置を上方から工業用テレビカメラで検出し、設定しであ
る基準位置とのずれを、上記ＸＹ調整テーブルと水平回
動調整装置とによる調整で半導体基板の位置を修正し、
スライドテーブルの前進移動により半導体基板を印刷マ
スクの所定位置下にして印刷されるようＫＬ、半導体基
板の正規な位置に精度よくパターンが形成される、半導
体基板用印刷装置を提供することを目的としている。
第２図はこの発明の一実施例による半導体装置用印刷装
置の概要斜視図であシ、（１）〜（９） 、 （２ａ）
は上記従来装置と同一のものである。α１）は上部に固
定したステージ（２）をＸ軸及びＹ軸方向に位置を微ｖ
４整するＸＹ調整テーブルで、Ｘ軸移動機構（Ｈａ）と
Ｙ軸移動機構（１１ｂ）とからなる。ａ２はスライドテ
ーブル（３）上に固定され、上部にＸＹｐＩ整テーブル
αυを固定支持し、水平面上の回動角度を微調整する水
平回動調整装置、（至）はステージ（２）の上方に配設
され、半導体基板（１）の位置を検出する工業用テレビ
カメラである０ 上記一実施例の装置による印刷は、次のようにする。ス
テージ（２）上に位置決め部（２ａ）に当て載置された
半導体基板（１）上の特定のパターンを上記テレビカメ
ラα℃で検出、シ、設定されである基準のパターンの位
ＲＫ対するＸＹの位置ずれ及び角度ずれを比較袋Ｒ（図
示は略す）１にどＫより求める。
置の概要斜視図であシ、（１）〜（９） 、 （２ａ）
は上記従来装置と同一のものである。α１）は上部に固
定したステージ（２）をＸ軸及びＹ軸方向に位置を微ｖ
４整するＸＹ調整テーブルで、Ｘ軸移動機構（Ｈａ）と
Ｙ軸移動機構（１１ｂ）とからなる。ａ２はスライドテ
ーブル（３）上に固定され、上部にＸＹｐＩ整テーブル
αυを固定支持し、水平面上の回動角度を微調整する水
平回動調整装置、（至）はステージ（２）の上方に配設
され、半導体基板（１）の位置を検出する工業用テレビ
カメラである０ 上記一実施例の装置による印刷は、次のようにする。ス
テージ（２）上に位置決め部（２ａ）に当て載置された
半導体基板（１）上の特定のパターンを上記テレビカメ
ラα℃で検出、シ、設定されである基準のパターンの位
ＲＫ対するＸＹの位置ずれ及び角度ずれを比較袋Ｒ（図
示は略す）１にどＫより求める。
つづいて、求められたＸＹの位置ずれ及び角度ずれをＸ
Ｙｐ！整テーブル（１１）及び水平回動調整装置（２）
により修正する。つぎに、スライドテーブル（３）Ｋよ
りステージ（２）をＣ方向に移動し、半導体基板（１）
をマスク（６）のパターン孔（７）の下へ位置する。ス
キージ（９）の矢印Ａ、Ｂ方向の往復移動により、印刷
ペーストがパターン孔（７）から半導体基板（１１上の
所定の位１［印刷され、精度よく配線パターンが形成さ
れる。
Ｙｐ！整テーブル（１１）及び水平回動調整装置（２）
により修正する。つぎに、スライドテーブル（３）Ｋよ
りステージ（２）をＣ方向に移動し、半導体基板（１）
をマスク（６）のパターン孔（７）の下へ位置する。ス
キージ（９）の矢印Ａ、Ｂ方向の往復移動により、印刷
ペーストがパターン孔（７）から半導体基板（１１上の
所定の位１［印刷され、精度よく配線パターンが形成さ
れる。
なお、上記実施例では、水平回動調整装置０２はＸＹ鯛
整テーブル（１つの下に配設したが、ｘＹ調整テーブル
αυの上に配設してもよい。
整テーブル（１つの下に配設したが、ｘＹ調整テーブル
αυの上に配設してもよい。
〔発明の９０果〕
以上のように、この発明によれば、スライドテーブル上
にＸＹＩ整テーブル及び水平回動調整装置を介しステー
ジを取付け、このステージ上に裁置した半導体基板を上
方の工業用テレビカメラにより位置検出をし、設定基準
位Ｕとのずれを、上記ＸＹ調整テーブルと水平回動調整
装置とにより移動微調整で修正し、スライドテーブルの
前進移動により、半導体基板を印刷マスクの所定位置下
にし印刷するようにし九ので、半導体基板の基準位置か
らのずれが修正されて正規な位置に印刷され、精度よく
パターンが形成される。
にＸＹＩ整テーブル及び水平回動調整装置を介しステー
ジを取付け、このステージ上に裁置した半導体基板を上
方の工業用テレビカメラにより位置検出をし、設定基準
位Ｕとのずれを、上記ＸＹ調整テーブルと水平回動調整
装置とにより移動微調整で修正し、スライドテーブルの
前進移動により、半導体基板を印刷マスクの所定位置下
にし印刷するようにし九ので、半導体基板の基準位置か
らのずれが修正されて正規な位置に印刷され、精度よく
パターンが形成される。
第１図は従来の半導体基板用印刷装置の概要斜視図、第
２図はこの発明の一実施例による半導体基板用印刷装置
の概要斜視図である。 １・・・半導体基板、２・・・ステージ、２ａ・・・位
置決め部、３・・・スライドテーブル、６・・・印刷マ
スク、７・・・バルーｙ孔、９・・・スキージ、１１・
・・ＸＹ調整テーブル、１２・・・水平回動調整装置、
１３・・・工業用テレビカメラ なお、図中同一符号は同−又は相轟部分を示す。
２図はこの発明の一実施例による半導体基板用印刷装置
の概要斜視図である。 １・・・半導体基板、２・・・ステージ、２ａ・・・位
置決め部、３・・・スライドテーブル、６・・・印刷マ
スク、７・・・バルーｙ孔、９・・・スキージ、１１・
・・ＸＹ調整テーブル、１２・・・水平回動調整装置、
１３・・・工業用テレビカメラ なお、図中同一符号は同−又は相轟部分を示す。
Claims (1)
- 上面の所定位置に半導体基板を保持するステージと、上
部にこのステージを固定しており、前進移動し上記半導
体基板を所定位置にするスライドテーブルと、保持枠に
取付けられ印刷用パターン孔が形成された印刷マスクと
、このマスク上を前進、後退し供給された印刷ペースト
を、下方の所定位置に送込まれた上記半導体基板上に印
刷しパターンを形成させるスキージとを有する装置にお
いて、後退復帰位置の上記ステージ上の上記半導体基板
の上方に配設され、上記半導体基板の位置を検出するこ
とにより、設定基準位置とのずれがわかるようにするた
めの工業用テンピカメラ、及び上記スライドテーブルと
上記ステージとの間に介在し、上記半導体基板の位置ず
れを移動調整により修正するＸΥ調整テーブルと水平回
動調整装置を備えた半導体基板用印刷装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17875784A JPS6155937A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 半導体基板用印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17875784A JPS6155937A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 半導体基板用印刷装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6155937A true JPS6155937A (ja) | 1986-03-20 |
Family
ID=16054064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17875784A Pending JPS6155937A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 半導体基板用印刷装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6155937A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61287294A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-17 | エツイオ・クルテイ | 電子回路を担体板の基準孔に対し正確にアラインメントして印刷するための方法及び装置 |
| JPS63196056A (ja) * | 1987-02-10 | 1988-08-15 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体組立装置 |
| JPH02123788A (ja) * | 1988-11-02 | 1990-05-11 | Sanyo Electric Co Ltd | スクリーン印刷機のスクリーン位置合わせ方法及びその装置 |
| WO2009030409A2 (de) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Manz Automation Ag | Verfahren zum herstellen einer solarzelle |
-
1984
- 1984-08-27 JP JP17875784A patent/JPS6155937A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61287294A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-17 | エツイオ・クルテイ | 電子回路を担体板の基準孔に対し正確にアラインメントして印刷するための方法及び装置 |
| JPS63196056A (ja) * | 1987-02-10 | 1988-08-15 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体組立装置 |
| JPH02123788A (ja) * | 1988-11-02 | 1990-05-11 | Sanyo Electric Co Ltd | スクリーン印刷機のスクリーン位置合わせ方法及びその装置 |
| WO2009030409A2 (de) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Manz Automation Ag | Verfahren zum herstellen einer solarzelle |
| WO2009030409A3 (de) * | 2007-08-29 | 2009-09-24 | Manz Automation Ag | Verfahren zum herstellen einer solarzelle |
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