JP2002362803A - 帯状ワークの加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 デバイスホールのような貫通孔を有する帯状
ワークであっても、帯状ワークの搬送、リールからの巻
き出し巻き取りを続けられるようにすること。 【解決手段】 送り出しリール１、巻き取りリール２と
加工処理部１０との間に帯状ワークＷをたるませたたる
み部Ａ，Ｂが設けられ、たるみ部Ａ，Ｂの上下２ケ所に
上センサ２１，２３及び下センサ２２，２４が設けられ
ている。制御部３０は、上センサ２１と下センサ２２の
出力に基づき送り出しリール１の駆動を制御し、また、
上センサ２３と下センサ２４の出力に基づき巻き取りリ
ール２の駆動を制御する。また、上センサ２１がワーク
なし、下センサ２２がワークありを検出した場合、帯状
ワークＷに、あらかじめ設定された回数の加工処理と搬
送を実施し、その期間内に、上記上センサ２１または下
センサ２２によるワークの検出状態が変化しないとき、
トラブルとして加工処理と搬送を中止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、帯状ワークを搬送
し、加工処理する帯状ワークの加工装置に関し、特に、
帯状ワークにマスクパターンを露光するに際し、帯状ワ
ークが貫通孔を有する場合であっても、帯状ワークの送
り出しリール、及び／または、巻き取りリールの動作を
問題なく行うことができる帯状ワークの加工装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】帯状ワーク（以下ワークと呼ぶ場合もあ
る）を搬送して加工処理する装置においては、一般に、
帯状ワークを供給する送り出しリールから引き出し、装
置の加工処理部において、所望の位置で位置決めして加
工処理し、巻き取りリールに巻き取る方式が取られてい
る。なお、ロール状に巻かれた有機化合物のフィルムや
薄物金属等の長尺連続ワークを、以下帯状ワークと呼
ぶ。このような加工装置においては、送り出しリールか
ら加工処理部までの間、加工処理部から巻き取りリール
までの間において、帯状ワークの一部をたるませた、ワ
ークたるみ部を設ける場合がある。これは、送り出しリ
ールや巻き取りリールの巻き径が変化しても、帯状ワー
クに加わるテンションを一定にし、また、加工処理部で
のワークの停止位置精度が良い搬送を行うためである。
これにより、帯状ワークの搬送動作と、送り出しリール
や巻取りリールの動作とを、独立して行うことができ
る。帯状ワークの搬送は、加工処理部の搬送下流側に設
けた搬送ローラが、押さえローラと組になってワークを
狭持し、回転することにより行なう。送り出しリールや
巻取りリールの動作は、たるみ部における帯状ワークの
長さを、センサにより検出し、その検出信号に基き、リ
ールの回転と停止を制御する。特開平２−１０００３６
号公報には、上記たるみ部を設けた帯状ワークの露光装
置が記載されている。

【０００３】図６に上記たるみ部を設けた帯状ワークの
搬送系の構成を示す。同図において、送り出しリール１
に巻かれた帯状ワークＷは、送り出しリール駆動機構２
５により駆動される送り出しリール１から送り出され、
第１のたるみ部Ａ、ガイドローラ３を介して加工処理部
１０に送られ、加工処理が行われる。帯状ワークＷの搬
送は、加工処理部１０のステージ１５の搬送方向の上流
側と下流側に設けられた押さえローラ５と搬送ローラ６
により行われ、搬送下流側に設けた搬送ローラ６を駆動
制御することにより、帯状ワークＷは、露光処理部１０
のステージ１５上に送られ、所定の位置に位置決めされ
る。加工処理部１０には、例えば、紫外光を含む光を放
射するランプ１１と、反射鏡１２と、コンデンサレンズ
１３と、マスクパターンを有するマスクＭと、投影レン
ズ１４等が設けられ、ランプ１１が放射する紫外光を含
む光は、反射鏡１２で反射され、コンデンサレンズ１
３、マスクＭ、投影レンズ１４を介してステージ１５上
の帯状ワークに照射され、帯状ワークＷ上にマスクＭの
マスクパターンが露光される。なお、以下では、上記加
工処理部を露光処理部ともいう。露光処理が終わった帯
状ワークＷは、ガイドローラ４、第２のたるみ部Ｂを介
して、巻き取りリール駆動機構２６により駆動される巻
き取りリール２に巻き取られる。

【０００４】以下、図６に示した、たるみ部Ａ，Ｂにお
ける帯状ワークＷの検出と、送り出し側、巻き取り側の
動作について、以下に簡単に説明する。帯状ワークＷの
検出は、たるみ部Ａ，Ｂの上下２ケ所に設けた透過型の
センサ２１，２２，２３，２４を用いて行っている。上
記透過型のセンサ２１，２２，２３，２４は、発光素子
２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａと受光素子２１ｂ，２
２ｂ，２３ｂ，２４ｂとを１組とし、発光素子２１ａ，
２２ａ，２３ａ，２４ａから照射されるセンサ光が、帯
状ワークＷにより遮光され、受光素子２１ｂ，２２ｂ，
２３ｂ，２４ｂで受光されないとき、両素子間に帯状ワ
ークＷが存在することを検出する。以下では、上記セン
サ２１，２３を上センサといい、センサ２２，２４を下
センサという。また、上記センサ２１，２２，２３，２
４が帯状ワークＷにより遮光されていない状態を「透
過」、帯状ワークＷにより遮光されている状態を「遮
光」という。

【０００５】（１）送り出しリールの制御 図７により、従来の送り出しリールの制御について説明
する。なお、同図は、図６における送り出し側の部分を
抜き出して示したものであり、帯状ワークＷは、図６に
示した搬送ローラ６により、図面右側にある露光処理部
１０に向かって搬送される。 (a) 図７（ａ）に示すように、帯状ワークＷのたるみ量
が小さく、たるみ部Ａの上センサ２１、下センサ２２が
共に透過の状態であるとき、送り出しリール１は回転
し、帯状ワークＷを送り出す。これにより、帯状ワーク
Ｗがたるみ部Ａにたるみ始める。 (b) 送り出しリール１が回転すると、図７（ｂ）に示す
ように、帯状ワークＷが上センサ２１を遮光する。送り
出しリール１は回転を継続する。 (c) 図７（ｃ）に示すように、帯状ワークＷが上下セン
サ２１，２２を遮光する。送り出しリール１は回転を停
止し、帯状ワークＷの送り出しを止める。 (d) 図７（ｄ）に示すように、帯状ワークＷが搬送さ
れ、下センサ２２が透過状態になる。なお、上センサ２
１は遮光状態である。送り出しリール１は回転を停止し
た状態を継続する。 (e) 図７（ｅ）に示すように、帯状ワークＷがさらに搬
送され、上下センサ２１，２２とも透過になると〔上記
（ａ）と同じ状態〕、送り出しリール１は回転し、帯状
ワークＷの送り出しを再開する。 (f) ここで、図７（ｆ）に示すように、上センサ２１が
透過し、下センサ２２が遮光の状態は、帯状ワークＷが
正常に搬送されている限りあり得ない。 これは、ゴミや異物（以下障害物と呼ぶ) により、下セ
ンサ２２が遮られているものと考えられるので、送り出
しリール１の回転、帯状ワークＷの搬送・加工を停止
し、トラブルを表示する。以上をまとめると、以下の表
１のような制御となる。

【０００６】

【表１】

【０００７】（２）巻き取りリールの制御 図８により、従来の巻き取りリールの制御について説明
する。なお、同図は、図６における巻き取り側の部分を
抜き出して示したものであり、帯状ワークＷは、図６に
示した搬送ローラ６により、図面左側にある露光処理部
１０から右方向に搬送される。 (a) 図８（ａ）に示すように、たるみ部Ｂの上センサ２
３、下センサ２４は透過状態であり、巻き取りリール２
は停止している。露光処理が終った帯状ワークＷが、露
光処理部１０から搬送され、たるみ部Ｂに送り出され
る。 (b) 帯状ワークが送り出されると、図８（ｂ）に示すよ
うに、帯状ワークＷが上センサ２３を遮光する。巻き取
りリール１は停止を継続する。 (c) 図８（ｃ）に示すように、帯状ワークＷが上下セン
サ２３，２４を遮光する。巻き取りリール２は回転を開
始し、帯状ワークＷを巻き取り始める。 (d) 図８（ｄ）に示すように、帯状ワークＷが巻き取ら
れ、下センサ２４が透過状態になる。なお、上センサ２
３は遮光状態である。巻き取りリール２は回転を継続す
る。 (e) 図８（ｅ）に示すように、帯状ワークＷがさらに巻
き取られ、上下センサ２３，２４とも透過になる〔上記
（ａ）と同じ状態〕と、巻き取りリール２は回転を停止
する。 (f) ここで、図８（ｆ）に示すように、上センサ２３が
透過状態、下センサ２４が遮光の状態は、障害物により
下センサ２４が遮られているものと考えられる。この状
態は、前記した送り出し側と同様、あり得ない状態であ
るとして、巻き取りリール１の回転、および帯状ワーク
Ｗの搬送・加工を停止し、トラブルを表示する。 以上をまとめると、以下の表２のような制御となる。

【０００８】

【表２】

【０００９】上記送り出し側、巻き取り側の、いずれの
場合も、上センサ遮光および下センサ透過の場合、リー
ルの動作は「前の動作を継続」であり、上センサ透過・
下センサ遮光の場合、トラブルにより動作停止である。
上記のように、図６に示す搬送系においては、搬送ロー
ラ６による帯状ワークＷの加工のための搬送と、送り出
しリール１の送り出し動作、及び巻き取りリール２の巻
き取り動作とは独立して行われる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】帯状ワークＷは、デバ
イスホールと呼ばれる貫通孔を有する場合がある。図９
にデバイスホールを有する帯状ワークＷの一例を示す。
帯状ワークＷには、同図に示すように、デバイスホール
Ｗｄと、例えば帯状ワークＷを搬送するために使用され
るパーフォレーションホールＰｈが設けられている。デ
バイスホールＷｄが設けられた部分には、後工程におい
て、各種のデバイスが実装される。この貫通孔を利用し
て配線の接続やデバイスの取付けがなされる。デバイス
ホールＷｄは貫通孔であるのでセンサ光が透過する。し
たがって、図６に示したたるみ部Ａ，Ｂにおいて、帯状
ワークＷのたるみの長さや、デバイスホールＷｄを設け
るピッチによって、センサ光が貫通孔を通過し、帯状ワ
ークＷがあるにもかかわらず、存在を検出できない場合
がある。例えば、上センサ２１，２３の光はデバイスホ
ールＷｄを通過して透過状態となり、下センサ２２，２
４の光はデバイスホールＷｄ以外の部分に遮られて遮光
状態になる場合がある。

【００１１】この場合、搬送は問題なく行なわれている
のにもかかわらず、前記した従来装置ではトラブルを表
示し、処理を停止してしまう。なお、センサ２１〜２４
の位置を、デバイスホールＷｄが形成されない位置、例
えば帯状ワークＷの周辺部を検出するような位置に設け
れば、上記のような問題はなくなる。しかし、デバイス
ホールＷｄの形状や大きさは、帯状ワークＷに形成され
る回路等のパターンによりそれぞれ異なり、そのパター
ンは非常に多く存在する。したがって、パターンに応じ
て、たるみ部のセンサ２１〜２４の位置を変更しなけれ
ばならず、その都度工数がかかり、また、センサ２１〜
２４の取りつけ位置の人為的ミスも起こりやすいので、
実際に行なうことは困難である。

【００１２】本発明は上記従来技術の問題点を解決する
ためになされたものであって、本発明の目的は、帯状ワ
ークにたるみを設け、たるみの長さを検出して、リール
からの帯状ワークの送り出しやリールへの巻き取りを行
ないつつ、これとは独立して帯状ワークの搬送と加工を
行なう帯状ワークの加工装置において、帯状ワークが、
デバイスホールのような部分的な貫通孔を有し、該貫通
孔をセンサ光が通過したとしても、帯状ワークの搬送、
及びリールからの巻き出し、リールへの巻き取りを続け
ることを可能とすることである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を本発明におい
ては、次のようにして解決する。 （１）前記送り出しリールと加工処理部との間に設けた
帯状ワークをたるませたたるみ部と、該たるみ部の上下
２ケ所に設けた上センサ及び下センサと、送り出しリー
ルを動作させる送り出しリール駆動機構とを備えた帯状
ワークの加工装置において、上センサがワークなし、下
センサがワークありを検出した場合、帯状ワークに、あ
らかじめ設定された回数の加工処理と搬送を実施し、該
加工処理と搬送を行なう期間内に、上記上または下セン
サによるワークの検出状態が変化しないとき、トラブル
として加工処理と搬送を中止する制御部を設ける。すな
わち、上記制御部により送り出しリールを次のように制
御する。 (a) たるみ部において、上センサ透過、下センサ遮光を
検出した場合であっても、貫通孔を有する帯状ワークの
場合は、前記したように必ずしも障害物が下センサの光
路中にあるとは限らない。そこでこの場合には直ちに装
置をトラブルとせずに、「トラブル保留状態」とし、帯
状ワークを、あらかじめ設定された回数、例えば３回の
加工と搬送を行なう。 (b) 上記期間内に、上記上センサ、下センサによる帯状
ワークの検出状態に変化がなければ、トラブルとして装
置動作を中止する。 (c) 上記期間内のいずれの時期においても、上、下セン
サの状態が変化すれば、その時点で「トラブル保留状
態」を解除する。その上で、センサの検出信号にしたが
って、送り出しリールの動作を制御する。すなわち、帯
状ワークが正しく送り出されていれば、加工と搬送とを
何回か繰り返す期間内に、たるみ部での帯状ワークの長
さと位置が変化し、帯状ワークの貫通孔と遮光部の位置
が変化して、センサによる帯状ワークの検出状態に、必
ず変化が生じる。帯状ワークの検出状態が変化すれば、
帯状ワークが正しく送られているということで、「トラ
ブル保留状態」を解除し、通常通り、センサの検出信号
にしたがって送り出しリールの動作を制御する。一方、
加工と搬送とを複数回繰り返しても、帯状ワークの検出
状態に変化が生じないのであれば、下側のセンサ付近に
センサ光を遮る障害物がある、または下センサの故障等
の原因と考えられるので、トラブルとして装置を停止す
る。以上のような制御をすることで、貫通孔を有する帯
状ワークであっても、問題なく搬送することができる。 （２）加工処理部と巻き取りリールとの間に設けた、帯
状ワークをたるませたたるみ部と、たるみ部の上下２ケ
所に設けた上センサ及び下センサと、巻き取りリールを
動作させる巻き取りリールの駆動機構とを備えた上記
（１）の帯状ワークの加工装置において、上下のセンサ
ともワークありを検出した場合のみ、巻き取りリールの
動作を開始し、上センサがワークなしを検出した時、巻
き取りリールの動作を停止する制御部を設ける。すなわ
ち、上記制御部により巻き取りリールを次のように制御
する。上センサ透過、下センサ遮光を検出した場合で
も、貫通孔を有する帯状ワークの場合は、前記したよう
に必ずしも障害物が下センサの光路中にあるとは限らな
い。したがって、この場合には、直ちに装置をトラブル
としない。この状態では、巻き取りリールの駆動を停止
し、上下センサがともに遮光を検出した場合にのみ、巻
き取りリールの回転を開始する。そして、上センサが透
過を検出した時、巻き取りリールの回転を停止する。こ
の場合、帯状ワークが搬送されていれば、たるみ部での
帯状ワークの長さと位置が変化し、上下センサがともに
遮光を検出する場合が生じる。センサがそのような状態
になれば、巻き取りリールを回転し、帯状ワークを巻き
取る。

【００１４】以上のように本発明においては、送り出し
リール側のたるみ部に設けられた上センサがワークな
し、下センサがワークありを検出した場合、帯状ワーク
に、あらかじめ設定された回数の加工処理と搬送を実施
し、該加工処理と搬送を行なう期間内に、上記上または
下センサによるワークの検出状態が変化しないときに、
トラブルとして加工処理と搬送を中止するようにしたの
で、帯状ワークが、デバイスホールのような部分的な貫
通孔を有しており、該貫通孔をセンサ光が通過したとし
ても、帯状ワークの搬送、及びリールからの巻き出し、
リールへの巻き取りを続けることができる。また、送り
出しリール側のたるみ部の下側に設けたセンサが、障害
物等により遮光状態となったり、該センサに故障等が生
じた場合には、トラブルが発生したとして、装置の動作
を停止させることができる。また、巻き取りリール側に
ついては、上下のセンサともワークありを検出した場合
のみ、巻き取りリールの動作を開始し、上センサがワー
クなしを検出した時、巻き取りリールの動作を停止する
ようにしたので、巻き取りリール側のたるみ部の下側に
設けたセンサが、障害物等により遮光状態となったり、
該センサに故障等が生じた場合でも、装置の動作を停止
させることなく、帯状ワークを巻き取ることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１に本発明の実施例の帯状ワー
クの加工装置の構成を示す。なお、以下の説明では、帯
状ワークに投影露光によりマスクパターンを投影露光す
る場合について説明するが、帯状ワークの加工処理は、
上記投影露光に限られず、その他の加工処理を行うもの
でもよい。図１において、前記したように、送り出しリ
ール１に巻かれた帯状ワークＷは、送り出しリール駆動
機構２５により駆動される送り出しリール１から送り出
され、第１のたるみ部Ａ、ガイドローラ３を介して露光
処理部１０に送られ、露光処理が行われる。制御部３０
には、送り出しリール１を駆動制御する送り出しリール
制御部３０ａ、巻き取りリール２を制御する巻き取りリ
ール制御部３０ｂ、および、搬送ローラ６を制御する搬
送ローラ制御部３０ｃが設けられている。なお、搬送ロ
ーラ６の制御については、従来と同じであり、詳細につ
いては例えば前記した特開平２−１０００３６号公報等
を参照されたい。制御部３０の送り出しリール制御部３
０ａは、たるみ部Ａに設けられた上センサ２１、下セン
サ２２の出力により、上記送り出しリール駆動機構２５
を駆動制御し、たるみ部Ａにおける帯状ワークＷのたる
み量を制御する。

【００１６】帯状ワークＷの搬送は、前記したように露
光処理部（加工処理部）１０のステージ１５の搬送方向
の上流側と下流側に設けられた押さえローラ５と搬送ロ
ーラ６により行われる。制御部３０の搬送ローラ制御部
３０ｃは、搬送ローラ駆動機構２７により搬送ローラ６
を駆動制御し、帯状ワークＷを、露光処理部１０のステ
ージ１５上に送り、所定の位置に位置決めする。ステー
ジ１５上で位置決めされた帯状ワークＷは、露光処理部
１０において露光処理される。すなわち、ランプ１１が
放射する紫外光を含む光は、反射鏡１２で反射され、コ
ンデンサレンズ１３、マスクＭ、投影レンズ１４を介し
てステージ１５上の帯状ワークに照射され、帯状ワーク
Ｗ上にマスクＭのマスクパターンが露光される。露光処
理が終わった帯状ワークＷは、ガイドローラ４、第２の
たるみ部Ｂを介して、巻き取りリール駆動機構２６によ
り駆動される巻き取りリール２に巻き取られる。

【００１７】制御部３０の巻き取りリール制御部３０ｂ
は、たるみ部Ｂに設けられた上センサ２３、下センサ２
４の出力により、上記巻き取り駆動機構２６を駆動制御
し、たるみ部Ｂにおける帯状ワークＷのたるみ量を制御
する。たるみ部Ａ，Ｂにおける帯状ワークＷの検出は、
前記図６で説明したのと同様に、上下２ケ所に設けた発
光素子２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａと受光素子２１
ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂの組からなる透過型のセン
サ２１，２２，２３，２４を用いて行われ、発光素子２
１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａから照射されるセンサ光
が、帯状ワークＷにより遮光されることにより、帯状ワ
ークＷの存在を検出する。なお、本実施例の帯状ワーク
Ｗには、前記図９に示したように、貫通孔であるデバイ
スホールＷｄが設けられており、前記したように、帯状
ワークＷが上記上センサ２１、あるいは、上センサ２１
および下センサ２２を遮光する位置にある場合でも、セ
ンサ光が上記貫通孔を通過して、上センサ２１あるいは
下センサ２２が透過状態となる場合がある。

【００１８】次に、上記帯状ワークの加工装置におい
て、制御部３０の送り出しリール制御部３０ａ、巻き取
りリール制御部３０ｂによる送り出しリール１、巻き取
りリール２の制御について説明する。 Ａ．送り出しリールの制御 本実施例において、制御部３０の送り出しリール制御部
３０ａはたるみ部Ａの上センサ２１、下センサ２２の出
力に基づき、送り出しリール１を、以下の表３のように
制御する。

【００１９】

【表３】

【００２０】すなわち、帯状ワークＷのたるみ部Ａにお
ける、たるみ量が小さく、上センサ２１、下センサ２２
がともに透過状態の場合には、送り出しリール１を回転
させる。これにより、帯状ワークＷのたるみ量が大きく
なり、上センサ２１、下センサ２２がともに遮光状態に
なると、送り出しリール１の回転を停止させる。そし
て、送り出しリール１を停止させたことにより、帯状ワ
ークＷのたるみ量が小さくなり、再び、上センサ２１、
下センサ２２がともに透過状態になると、送り出しリー
ル１を回転させる。これにより、たるみ部Ａにおける帯
状ワークＷの下端は、上センサ２１と下センサ２２の間
にあるように制御される。なお、上記動作の間に、例え
ば帯状ワークＷに設けられた貫通孔であるデバイスホー
ルをセンサ光が透過して、(1) 上センサ２１が透過、下
センサ２２が透過、(2) 上センサ２１が遮光、下センサ
２２が透過、あるいは、(3) 上センサ２１が透過、下セ
ンサ２２が遮光状態になることがある。上記(1) の場合
には送り出しリール１を回転させる。上記(2) の場合に
は、前の動作状態を継続させる。例えば、送り出しリー
ル１が回転しているときは、回転状態を継続させ、ま
た、送り出しリール１が停止しているときには、停止状
態を継続させる。さらに、上記(3) の場合、本実施例で
は「トラブル保留」状態とし、制御部３０の設定部３０
ｄにあらかじめ設定された、搬送と露光の回数（例えば
３回）の期間、上センサ２１、下センサ２２が連続し
て、この状態を継続した場合のみ、制御部３０はトラブ
ルとして装置を停止させる。

【００２１】次に、上記送り出しリール制御部３０ａに
よる送り出しリール１の制御について、図２、図３によ
り詳述する。帯状ワークＷの搬送方向等は、前記図７で
説明したのと同じである。 （１）図２（ａ）に示すように、帯状ワークＷのたるみ
量が小さく、たるみ部Ａの上センサ２１、下センサ２２
が共に透過の状態であるとき、送り出しリール１は回転
し、帯状ワークＷを送り出す。これにより、帯状ワーク
Ｗがたるみ部Ａにたるみ始める。 （２）送り出しリール１が回転すると、帯状ワークＷの
たるみの先端が上センサ２１と下センサ２２の間にな
る。この時センサは以下の２つの状態を取りうる。 (i) 図２（ｂ）に示すように、帯状ワークＷの遮光部が
上センサ２１を遮光する。これは従来例の図７（ｂ）と
同じ状態である。このように、「上センサ２１が遮光状
態、下センサ２２が透過状態の場合は、送り出しリール
１の動作は前の状態を継続であり、回転を継続する。 (ii)図２（ｃ）に示すように、上センサ２１のセンサ光
が、帯状ワークＷの貫通孔を通過し、上センサ２１は透
過の状態、下センサ２２も透過の状態となる。これは上
記図２（ａ）と同じ状態であり、上記図２（ｂ）と同様
に送り出しリール１は回転する。

【００２２】（３）送り出しリール１の回転が継続する
ことにより、帯状ワークＷのたるみ部Ａへの送り出しが
進み、たるみの先端が、下センサ２１よりも下になる。
この時、上、下センサ２１，２２は次の４つの状態を取
りうる。 (i) 図３（ｄ）に示すように、帯状ワークＷの遮光部が
上下センサ２１，２２を遮光する。この場合、送り出し
リール１は回転を停止し、帯状ワークＷの送り出しを止
める。 (ii)図３（ｅ）に示すように、上センサ２１は、センサ
光が帯状ワークＷの貫通孔を通過して透過状態となり、
下センサ２２は遮光の状態となる。 従来はこれを即トラブルとしていたが、本実施例では、
直ちにトラブルとせず、「トラブル保留」状態とする。
この「上センサ２１透過」、「下センサ２２遮光」場合
は、送り出しリール１の動作は前の状態を継続する。こ
の状態で制御部３０は帯状ワーク加工装置の動作を継続
させる。そして、制御部３０の設定部３０ｄにあらかじ
め設定された、搬送と加工（露光）の回数の期間、例え
ば、３回の露光処理と３回の搬送を行なう期間、上、下
センサ２１，２２が連続して図３（ｅ）の状態を維持す
る場合のみ、制御部３０はトラブルとして装置を停止さ
せる。

【００２３】また、該期間中、センサの状態が図３
（ｅ）の状態から変化した場合、その時点で、制御部３
０は「トラブル保留」をリセットし、その時のセンサの
状態にしたがって動作を続ける。すなわち、障害物や下
センサ２２の故障などの原因により、上センサ２１透
過、下センサ２２遮光の状態であれば、帯状ワークＷの
搬送が行なわれてもその状態は変化しない。したがっ
て、上記のようにトラブルとして装置を停止させればよ
い。 しかし、帯状ワークＷの位置の状態により、たま
たま上センサ２１透過、下センサ２２遮光になっている
のであれば、帯状ワークＷの搬送と加工とを３回行なう
間には、送り出しリール１による帯状ワークＷの送り出
し、または、帯状ワークＷの露光処理部１０への搬送に
より、帯状ワークＷの位置が変化し、図３（ｄ）（ｆ）
（ｇ）のいずれかの状態に変るはずである。この場合に
は、上記のように「トラブル保留」をリセットし、図３
（ｄ）（ｆ）（ｇ）のいずれかの状態から動作を継続す
る。

【００２４】(iii) 図３（ｆ）に示すように、上センサ
２１は遮光状態、下センサ２２はセンサ光が帯状ワーク
Ｗの貫通部を通過して透過の状態となる。これは図２
（ｂ）と同じ状態であり、送り出しリール１は回転を続
ける。しかし、帯状ワークＷが送り出されることによ
り、帯状ワークＷの位置が変わり、必ず図３（ｄ）、図
３（ｅ）、または、以下に説明する図３（ｇ）の状態に
なる。図３（ｄ）の状態になれば送り出しリール１の回
転が停止する。また、図３（ｅ）の状態になれば、上記
のように「トラブル保留」の状態になる。そして、障害
物やセンサの故障などでなければ、「トラブル保留」が
リセットされ、その時のセンサの状態にしたがって動作
を続ける。(iv)図３（ｇ）に示すように、上下センサ２
１，２２とも、センサ光が帯状ワークＷの貫通部を通過
して透過の状態となる。これは、図２（ｃ）または図２
（ａ）と同じ状態であり、送り出しリールは回転を続け
る。しかし、上記と同様に、帯状ワークＷが送り出され
ることにより、帯状ワークＷの位置が変わり、必ず図３
（ｄ）、図３（ｅ）または図３（ｆ）の状態になる。図
３（ｄ）の状態になれば送り出しリール１の回転が停止
する。また、障害物やセンサの故障などでなければ、図
３（ｅ）または図３（ｆ）の状態から状態が変わる。そ
して、図３（ｄ）の状態になれば、送り出しリール１の
回転が停止する。

【００２５】（４）図３（ｄ）の状態から帯状ワークＷ
が搬送されると、やがて、図２（ｂ）、（ｃ）、図３
（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）のいずれかの状態になる。図２
（ｂ）の状態の場合には、前の状態を継続するので、送
り出しリールは停止したままであり、やがて図２（ａ）
の状態になる。これにより、送り出しリール１は回転を
開始する。図２（ｃ）の場合には、図２（ａ）と同じ状
態であるので送り出しリール１は回転する。また、図３
（ｅ）、図３（ｇ）の場合は、上述した通りである。な
お、センサの状態が図３（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）の状態
のみで推移すると、送り出しリール１の回転が止まら
ず、帯状ワークＷがたるみ部Ａにどんどんたまってしま
うことが考えられる。しかし、実際、デバイスホールの
形状が異なる複数種の帯状ワークＷを用い、搬送実験を
行なったところ、たるみ部Ａに帯状ワークＷがたまると
いうことはなかった。

【００２６】Ｂ．巻き取りリールの制御 本実施例において、制御部３０の巻き取りリール制御部
３０ｂは、たるみ部Ｂの上センサ２３、下センサ２４の
出力に基づき、巻き取りリール２を、以下の表４のよう
に制御する。

【００２７】

【表４】

【００２８】すなわち、帯状ワークＷのたるみ量が小さ
く、上センサ２３、下センサ２４がともに透過状態の場
合には、巻き取りリール２を停止させる。帯状ワークＷ
が搬送され、たるみ部Ｂにおける帯状ワークＷのたるみ
量が大きくなり、上センサ２３が遮光状態になっても巻
き取りリール２の停止状態を維持し、上センサ２１、下
センサ２２がともに遮光状態になると、巻き取りリール
２を回転させ、帯状ワークＷを巻き取る。これにより、
帯状ワークＷのたるみ量が小さくなり、上センサ２３が
遮光状態になっても巻き取りリール２の回転状態を維持
し、再び、上センサ２３、下センサ２４がともに透過状
態になると、巻き取りリール２を停止させる。これによ
り、たるみ部Ｂにおける帯状ワークＷの下端は、上セン
サ２３と下センサ２４の間にあるように制御される。

【００２９】なお、上記動作の間に、例えば帯状ワーク
Ｗに設けられた貫通孔であるデバイスホールをセンサ光
が透過して、(1) 上センサ２３が透過、下センサ２４が
透過、(2) 上センサ２３が遮光、下センサ２４が透過、
あるいは、(3) 上センサ２３が透過、下センサ２４が遮
光状態になることがある。上記(1) の場合には巻き取り
リール２を停止させる。上記(2) の場合には、前の動作
状態を継続させる。例えば、巻き取りリール２が回転し
ているときは、回転状態を継続させ、また、巻き取りリ
ール２が停止しているときには、停止状態を継続させ
る。さらに、上記(3) の場合、本実施例では、巻き取り
リール２を停止させる。上記(3) の状態は、帯状ワーク
Ｗに設けられた貫通孔をセンサ光が透過して、下センサ
２４が遮光状態であるにも係わらず上センサ２３が透過
状態となった場合、および、たるみ部Ｂに障害物があっ
たり下センサ２４の故障の場合が考えられるが、いずれ
の場合も表４のように巻き取りリール４を制御すれば、
問題は生じない。

【００３０】すなわち、帯状ワークＷに設けられた貫通
孔をセンサ光が透過して、下センサ２４が遮光状態であ
るにも係わらず、上センサ２３が透過状態となった場合
には、帯状ワークＷが搬送されてくることにより貫通孔
の位置が移動し、やがて、上センサ２３も遮光状態にな
る。そして、この状態になれば、巻き取りリール２が回
転を開始するので、上記(3) の状態のときに巻き取りリ
ール２を停止させても、たるみ部Ｂに帯状ワークＷがど
んどん溜まるといった問題は生じない。また、たるみ部
Ｂに障害物があったり、下センサ２４の故障により、上
記(3)の状態になった場合にも、巻き取りリール２が停
止している間に、帯状ワークＷが搬送されてくることに
より、やがて上センサ２３が遮光状態となり、巻き取り
リール２が回転を開始する。そして、巻き取りリール２
が回転を開始すると、上センサ２３が透過、下センサ２
４が遮光状態となり、巻き取りリール２は回転を停止す
る。以下、同様の動作を繰り返し、たるみ部Ｂにおける
帯状ワークＷのたるみ量は略一定に制御される。

【００３１】次に、上記巻き取りリール制御部３０ｂに
よる巻き取りリール２の制御について図４、図５により
詳述する。帯状ワークＷの搬送方向等は、前記図８で説
明したのと同じである。 （１）図４（ａ）に示すように、たるみ部Ｂの上センサ
２３透過、下センサ２４透過の状態になると、巻き取り
リール２は停止する。搬送ローラ６が回転し、露光処理
が終った帯状ワークＷをたるみ部Ｂに送り出す。 （２）帯状ワークＷのたるみの下端が、上センサ２３と
下センサ２４の間になる。この時、上センサ２３、下セ
ンサ２４は以下の２つの状態を取りうる。 (i) 図４（ｂ）に示すように、帯状ワークＷが上センサ
２３を遮光する。これは従来例で説明したのと同じ状態
であり、上センサ２３が遮光、下センサ２４が透過の状
態の場合は、巻き取りリール２の動作は前の状態を継続
する。この場合は、巻き取りリール２は停止したままで
ある。 (ii)図４（ｃ）に示すように、上センサ２３のセンサ光
が、帯状ワークＷの貫通孔を通過し、上センサ２３は透
過の状態である。これは、図４（ａ）と同じ状態であ
り、巻き取りリールは停止したままである。

【００３２】（３）帯状ワークＷのたるみ部Ｂへの送り
出しが進み、たるみの先端が、下センサ２４よりも下に
なる。この時上センサ２３、下センサ２４は、以下の４
つの状態を取りうる。 (i) 図５（ｄ）に示すように、帯状ワークＷが上センサ
２３、下センサ２４を遮光する。この場合には、巻き取
りリール２は回転を開始し、帯状ワークＷの巻き取りを
始める。これは従来例で説明したのと同じ状態である。 (ii)図５（ｅ）に示すように、上センサ２３は、センサ
光が帯状ワークＷの貫通孔を通過して透過、下センサ２
４は遮光の状態である。従来はこれを即トラブルとして
いたが、本実施例では、巻き取りリールの回転を停止し
たままとする。そして、帯状ワークＷが露光処理されて
搬送され、図５（ｄ）の状態になるまで、巻き取りリー
ルは停止したままである。 (iii) 図５（ｆ）に示すように、上センサ２３は遮光、
下センサ２４は、センサ光が帯状ワークＷの貫通孔を通
過して透過の状態である。これは図４（ｂ）と同じ状態
であり、巻き取りリール２は停止したままである。そし
て、帯状ワークＷが露光処理されて搬送され、図５
（ｄ）の状態になるまで、巻き取りリール２は停止を維
持する。 (iv)図５（ｇ）に示すように、上センサ２３、下センサ
２４とも、センサ光が帯状ワークＷの貫通孔を通過して
透過の状態である。これは、図４（ｃ）または図４
（ａ）と同じ状態であり、巻き取りリール２は停止した
ままである。そして、帯状ワークＷが露光処理されて搬
送され、図５（ｄ）の状態になるまで、巻き取りリール
２は停止を維持する。

【００３３】（４）上記(i) 〜(iv)から図５（ｄ）の状
態になると、巻き取りリール２が回転して帯状ワークＷ
の巻き取りを開始する。帯状ワークＷの巻き取りによっ
て、上センサ２３、下センサ２４の状態が、図４
（ｂ）、または図５（ｆ）の状態に移った場合は、巻き
取りリールの動作は前の状態を継続であり、回転を続け
帯状ワークＷを巻き取る。帯状ワークＷが巻き取られ、
図４（ａ）の状態になると、巻き取りリール２は回転が
停止する。また、図５（ｄ）から図４（ｃ）、図５
（ｅ）、図５（ｇ）のいずれかに状態が移った場合、巻
き取りリール２は停止する。巻き取りリール２は、上記
したように、図５（ｄ）の状態になるまで停止を継続す
る。なお、送り出しリール側と同様に、上センサ２３、
下センサ２４の状態が、図５（ｅ）、図５（ｆ）、図５
（ｇ）の状態のみで推移すると、巻き取りリール２が回
転せず、帯状ワークＷがたるみ部Ｂにどんどんたまって
しまうことが考えられる。しかし、実際、デバイスホー
ルの形状が異なる複数種の帯状ワークＷを用い、搬送実
験を行なったところ、たるみ部Ｂに帯状ワークＷがたま
るということはなかった。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
以下の効果を得ることができる。 （１）帯状ワークが、デバイスホールのような部分的な
貫通孔を有しており、該貫通孔をセンサ光が通過したと
しても、帯状ワークの搬送、及びリールからの巻き出
し、リールへの巻き取りを続けることができる。 （２）また、送り出しリール側のたるみ部の下側に設け
たセンサが、障害物等により遮光状態となったり、該セ
ンサに故障等が生じた場合には、トラブルが発生したと
して、装置の動作を停止させることができる。なお、巻
き取りリール側のたるみ部の下側に設けたセンサが、障
害物等により遮光状態となったり、該センサに故障等が
生じた場合には、装置の動作を停止させることなく、帯
状ワークを巻き取ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の帯状ワークの加工装置の構成
を示す図である。

【図２】送り出しリールの制御を説明する図（１）であ
る。

【図３】送り出しリールの制御を説明する図（２）であ
る。

【図４】巻き取りリールの制御を説明する図（１）であ
る。

【図５】巻き取りリールの制御を説明する図（２）であ
る。

【図６】たるみ部を設けた帯状ワークの搬送系の構成を
示す図である。

【図７】従来の送り出しリールの制御を説明する図であ
る。

【図８】従来の巻き取りリールの制御を説明する図であ
る。

【図９】デバイスホールと呼ばれる貫通孔を有する帯状
ワークの例を示す図である。

【符号の説明】

１ 送り出しリール ２ 巻き取りリール ３，４ ガイドローラ ５ 押さえローラ ６ 搬送ローラ １０ 露光処理部（加工処理部） １１ ランプ １２ 反射鏡 １３ コンデンサレンズ １４ 投影レンズ １５ ステージ ２１，２３ 上センサ ２２，２４ 下センサ ２５ 送り出しリール駆動機構 ２６ 巻き取りリール駆動機構 ２７ 搬送ローラ駆動機構 ３０ 制御部 ３０ａ 送り出しリール制御部 ３０ｂ 巻き取りリール制御部 ３０ｃ 搬送ローラ制御部 Ａ，Ｂ たるみ部 Ｍ マスク Ｗ 帯状ワーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F105 AA00 AB15 BA18 DA08 DB11 DC11

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 送り出しリールから送り出された帯状ワ
   ークを、搬送手段によって加工処理部に搬送し、加工処
   理後、巻き取りリールに巻き取る、帯状ワークの加工装
   置であって、 送り出しリールと加工処理部との間に設けた、帯状ワー
   クをたるませた、たるみ部と、 たるみ部の上下２ケ所に設けた、帯状ワークの有無を検
   出する、上センサ及び下センサと、 送り出しリールを動作させる、送り出しリール駆動機構
   と、 上センサがワークなし、下センサがワークありを検出し
   た場合、帯状ワークに、あらかじめ設定された回数の加
   工処理と搬送を実施し、該加工処理と搬送を行なう期間
   内に、上記上または下センサによるワークの検出状態が
   変化しないとき、トラブルとして加工処理と搬送を中止
   する制御部とを有することを特徴とする帯状ワークの加
   工装置。
2. 【請求項２】 加工処理部と巻き取りリールとの間に設
   けた、帯状ワークをたるませたたるみ部と、 たるみ部の上下２ケ所に設けた帯状ワークの有無を検出
   する、上センサ及び下センサと、 巻き取りリールを動作させる巻き取りリールの駆動機構
   とを備え、 上記制御部は、上下のセンサともワークありを検出した
   場合のみ、巻き取りリールの動作を開始し、上センサが
   ワークなしを検出した時、巻き取りリールの動作を停止
   することを特徴とする請求項１の帯状ワークの加工装
   置。