DE60203365T2

DE60203365T2 - Vorrichtung zum Bearbeiten eines streifenförmigen Werkstücks

Info

Publication number: DE60203365T2
Application number: DE60203365T
Authority: DE
Inventors: Hirosuke Yohohama-shi Takamatsu; Yoshihiko Sagamahara-shi Mitsumoto
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2001-06-01
Filing date: 2002-05-28
Publication date: 2006-02-09
Anticipated expiration: 2022-05-29
Also published as: JP3829654B2; EP1348659A3; JP2002362803A; EP1348659B1; KR100582652B1; US6744490B2; KR20020092195A; TW528922B; US20020191164A1; DE60203365D1; EP1348659A2

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
GEBIET DER ERFINDUNG
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines streifenförmigen Werkstücks, welche Vorrichtung ein streifenförmiges Werkstück transportiert und bearbeitet. Die Erfindung betrifft insbesondere eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines streifenförmigen Werkstücks, bei welcher man den Betrieb einer Zustellspule und/oder einer Aufwickelspule auch in dem Fall problemlos durchführen kann, dass das streifenförmige Werkstück Durchgangsöffnungen aufweist, wenn ein Maskenmuster auf das Streifenwerkstück belichtet wird.
BESCHREIBUNG DES STANDES DER TECHNIK
Bei einer Vorrichtung, welche ein streifenförmiges Werkstück (nachfolgend auch "Werkstück" genannt) transportiert und bearbeitet, wird im Allgemeinen eine Methode angewandt, bei welcher ein streifenförmiges Werkstück von einer Zustellspule, welche es zuführt, abgezogen, in einem Bearbeitungsteil der Vorrichtung an einer erwünschten Stelle positioniert und auf eine Aufwickelspule aufwickelt wird. Im Folgenden wird ein Endlos-Werkstück mit einer großen Länge, wie ein gerollter Film aus einer organischen Verbindung, ein Folienmetall oder dergleichen, "streifenförmiges Werkstück" genannt.
Bei einer derartigen Verarbeitungsvorrichtung gibt es Fälle, in welchen es zwischen der Zustellspule und dem Verarbeitungsteil und zwischen dem Verarbeitungsteil und der Aufwickelspule einen Durchhang des Werkstücks gibt, in welchem ein Teil des streifenförmigen Werkstücks durchhängt, das heißt, die Länge des Werkstücks zwischen der Zustellspule und der ersten Führungsrolle ist länger als der Abstand zwischen ihnen, so dass das Werkstück zwischen ihnen durchhängt. Der Grund für die Erzeugung dieses Durchhangs ist es, die Spannung, die auf das streifenförmige Werkstück ausgeübt wird, konstant zu halten und an Veränderungen des Durchmessers des Werkstücks, das von der Zustellspule abgewickelt und auf die Aufwickelspule aufgewickelt wird, anzupassen und das Werkstück im Verarbeitungsteil mit einer hohen Anhalt-Positionierungsgenauigkeit zu transportieren. Auf diese Weise kann man den Transport des streifenförmigen Werkstücks und den Betrieb der Zustellspule und der Aufwickelspule voneinander unabhängig durchführen.
Das streifenförmige Werkstücks wird mit einer dem Bearbeitungsteil bezüglich des Transports nachgelagert angeordneten Transportrolle zusammen mit einer Druckrolle, die das Werkstück einspannt und dreht, transportiert. Die Zustellspule und die Aufwickelspule werden in der Weise betrieben, dass die Länge des streifenförmigen Werkstücks in den Durchhängen durch Sensoren ermittelt und basierend auf diesen Ermittlungssignalen die Drehung und das Stoppen der Spulen geregelt werden. JP-A-02100036 beschreibt eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 zur Belichtung eines streifenförmigen Werkstücks, welches mit den vorstehend beschriebenen Durchhängen versehen ist.
6 zeigt die Anordnung eines Transportsystems für ein streifenförmiges Werkstück, welches mit den vorstehend beschriebenen Durchhängen versehen ist. In der Darstellung ist eine Zustellspule 1 mit einem streifenförmigen Werkstück W umwickelt. Das streifenförmige Werkstück W wird von der Zustellspule 1, welche durch eine Antriebsvorrichtung 25 angetrieben wird, zugestellt, über einen ersten Durchhang A und die Führungsrolle 3 zu einem Bearbeitungsteil 10 gesandt und einer Bearbeitung unterzogen.
Der Transport des streifenförmigen Werkstücks W wird von einer Drückrolle 5 und einer Transportrolle 6 durchgeführt, welche jeweils der Transportrichtung eines Trägers 15 des Bearbeitungsteils 10 vorgeschaltet und nachgeschaltet sind. Das streifenförmige Werkstück W wird von einer Antriebsregelung der Transportrolle 6 auf den Träger 15 des Belichtungsteils 10 gesandt, welcher in Transportrichtung an einer vorgegebenen Position nachgeschaltet ist.
Im Bearbeitungsteil 10 gibt es beispielsweise eine Lampe 11, welche Licht ausstrahlt, welches UV-Licht enthält, einen Reflektor 12, eine Kondensatorlinse 13, eine Maske M mit einem Maskenmuster, ein Projektiv 14 und dergleichen. Das Licht, das UV-Licht enthält und das von der Lampe 11 ausgestrahlt wird, wird von dem Reflektor 12 reflektiert und über die Kondensatorlinse 13, die Maske M und das Projektiv 14 auf das streifenförmige Werkstück auf dem Träger 15 ausgestrahlt. Somit wird das Maskenmuster der Maske M auf das streifenförmige Werkstück W belichtet. Der vor stehend beschriebene Bearbeitungsteil wird nachfolgend auch "Belichtungsteil" genannt. Nach Abschluss der Belichtung wird das streifenförmige Werkstück W über eine Führungsrolle 4 und einen zweiten Durchhang B auf eine Aufwickelspule 2 aufgewickelt, welche von einer Antriebsvorrichtung 26 angetrieben wird.
Nachfolgend werden die Ermittlung des streifenförmigen Werkstücks W in den Durchhängen A und B und der Betrieb auf der Zustellseite und der Aufwickelseite gemäß 6 dargestellt und kurz beschrieben.
Das streifenförmige Werkstück W wird unter Verwendung von Sensoren vom Durchlasstyp 21, 22; 23, 24 ermittelt, welche jeweils übereinander, das heißt, an zwei senkrecht beabstandeten Stellen jedes der Durchhänge A und B, angeordnet sind.
Bei den vorstehend beschriebenen Sensoren vom Durchlasstyp 21, 22; 23, 24 gehören die Emissionselemente 21a, 22a, 23a, 24a zu einer Gruppe und die Lichtaufnahme-Elemente 21b, 22b, 23b und 24b zu einer Gruppe. Wenn das von den Emissionselementen 21a, 22a, 23a, 24a ausgestrahlte Sensorlicht durch das streifenförmige Werkstück W abgeschirmt und von den Lichtaufnahme-Elementen 21b, 22b, 23b, 24b nicht aufgenommen wird, wird ermittelt, dass das streifenförmige Werkstück W zwischen den beiden Elementen angeordnet ist. Nachfolgend werden die Sensoren 21, 23 "obere Sensoren" und die Sensoren 22, 24 "untere" Sensoren genannt. Ferner wird der Zustand, in welchem die Lichtaufnahme-Elemente 21b, 22b, 23b, 246 der Sensoren 21, 22, 23 und 24 nicht durch das streifenförmige Werkstück W abgeschirmt sind, "Durchlass" und der Zustand, in welchem sie durch das streifenförmige Werkstück W abgeschirmt sind, "Abschirmung" genannt.
(1) Regelung der Zustellspule
Anhand der 7(a) bis 7(f) wird die Regelung einer herkömmlichen Zustellspule beschrieben. Die 7(a) bis 7(f) zeigen den Teil auf der in 6 gezeigten Zustell- oder Aufwickelseite. Das streifenförmige Werkstück W wird von der in 6 gezeigten Transportrolle 6 in Richtung auf den Belichtungsteil 10 transportiert, welcher in der Darstellung auf der rechten Seite angeordnet ist.

(a) Wie in 7(a) gezeigt wird, dreht sich die Zustellspule 1 und beginnt das streifenförmige Werkstück W zuzustellen, und das Ausmaß des Durchhängens des streifenförmigen Werkstücks W ist gering, so dass sich sowohl der obere Sensor 21 als auch der untere Sensor 22 des Durchhangs A im Durchlasszustand befinden. In diesem Zustand darf das streifenförmige Werkstück W im Durchhang A durchhängen.
(b) Die Zustellspule 1 dreht sich und das streifenförmige Werkstück W schirmt den oberen Sensor 21 ab, wie in 7(b) gezeigt wird, die Zustellspule 1 dreht sich weiter.
(c) Wie in 7(c) gezeigt wird, schirmt das streifenförmige Werkstück W den oberen Sensor 21 und den unteren Sensor 22 ab. Wenn dieser Zustand eintritt, stoppt die Zustellspule 1 die Drehung und die Zustellung des streifenförmigen Werkstücks W.
(d) Wie in 7(d) gezeigt wird, wird das streifenförmige Werkstück W weiter transportiert, so dass der untere Sensor 22 in einen Durchlasszustand versetzt wird, während der obere Sensor 21 sich noch immer im Abschirmzustand befindet. Die Zustellspule 1 setzt den Zustand fort, in welchem ihre Drehung angehalten wird.
(e) Wie in 7(e) gezeigt wird, werden, während das streifenförmige Werkstück W weiter transportiert wird, sowohl der obere Sensor 21 als auch der untere Sensor 22 in den Durchlasszustand versetzt (in denselben Zustand wie der vorstehend in 7(a) beschriebene Zustand), die Zustellspule 1 dreht sich wieder und die Zustellung des streifenförmigen Werkstücks W beginnt wieder.
(f) Der Zustand, der in 7(f) gezeigt wird, in welchem im oberen Sensor 21 der Durchlass erfolgt, der untere Sensor 22 jedoch abgeschirmt wird, kann eigentlich nicht auftreten, wenn das streifenförmige Werkstück W normal transportiert wird. Das Auftreten dieses Zustands wird vermutlich erzeugt, weil der untere Sensor 22 durch Abfall und Fremdkörper (nachfolgend "Hindernis" genannt) abgeschirmt wird. Die Drehung der Zustellspule 1 und der Transport und die Bearbeitung des streifenförmigen Werkstücks W werden deshalb gestoppt und eine Störungsanzeige ausgegeben.

Die vorstehend beschriebene Regelung wird nachfolgend anhand von Tabelle 1 zusammengefasst.
(Tabelle 1)
(2) Regelung der Aufwickelspule
Anhand der 8(a) bis 8(f) wird die Regelung einer herkömmlichen Aufwickelspule beschrieben. Die 8(a) bis 8(f) zeigen den Teil auf der Aufwickelseite gemäß 6. Das streifenförmige Werkstück W wird von der Transportrolle 6 vom Belichtungsteil 10 nach rechts transportiert; in 6 ist der Belichtungsteil auf der linken Seite der Aufwickelseite angeordnet.

(a) Wie in 8(a) gezeigt wird, sind der obere Sensor 23 und der untere Sensor 24 im Durchhang B im Durchlasszustand angeordnet, und die Aufwickelspule 2 ist angehalten. Das streifenförmige Werkstück W wird nach Abschluss der Belichtung vom Belichtungsteil 10 transportiert und dem Durchhang B zugestellt.
(b) Wenn das streifenförmige Werkstück zugestellt wird, schirmt das streifenförmige Werkstück W den oberen Sensor 23 ab, wie in 8(b) gezeigt wird. Die Aufwickelspule 1 bleibt angehalten.
(c) Wie in 8(c) gezeigt wird, schirmt das streifenförmige Werkstück W den oberen Sensor 23 und den unteren Sensor 24 ab. Die Aufwickelspule 2 beginnt sich zu drehen und das streifenförmige Werkstück W aufzuwickeln.
(d) Wie in 8(d) gezeigt wird, wird das streifenförmige Werkstück W aufgewickelt und der untere Sensor 24 in den Durchlasszustand versetzt. Der obere Sensor 23 befindet sich im Abschirmzustand. Die Aufwickelspule 2 dreht sich weiter.
(e) Wie in 8(e) gezeigt wird, wird das streifenförmige Werkstück W weiter aufgewickelt. Wenn sowohl der obere Sensor 23 als auch der untere Sensor 24 in den Durchlasszustand versetzt werden (in denselben Zustand wie der vorstehend in (a) beschriebene Zustand), hört die Aufwickelspule 22 auf sich zu drehen.
(f) Hierbei kann man sich vorstellen, dass der Zustand, der in 8(f) gezeigt wird und in welchem der Durchlass zum oberen Sensor 23 stattfindet und der untere Sensor 24 abgeschirmt wird, durch Abschirmung des unteren Sensors 24 durch ein Hindernis hervorgerufen wird. Man geht davon aus, dass es diesen Zustand eigentlich nicht geben kann, wie vorstehend bezüglich der Zustellseite beschrieben. Die Drehung der Aufwickelspule 2 und der Transport und die Bearbeitung des streifenförmigen Werkstücks W werden deshalb angehalten und eine Störungsanzeige ausgegeben.

Die vorstehend beschriebene Regelung wird nachfolgend anhand von Tabelle 2 zusammengefasst.
(Tabelle 2)
Sowohl auf der vorstehend beschriebenen Zustellseite als auch auf der vorstehend beschriebenen Aufwickelseite heißt der Betrieb der Spulen "Fortsetzung des vorherigen Betriebs", wenn sich der obere Sensor im Abschirmzustand und der untere Sensor im Durchlasszustand befindet. Wenn sich der obere Sensor im Durchlasszustand und der untere Sensor im Abschirmzustand befindet, heißt der Betrieb der Spulen "Stoppen des Betriebs wegen einer Störung".
Wie vorstehend beschrieben wurde, werden in dem in 6 gezeigten Transportsystem der Transport des streifenförmigen Werkstücks für die Bearbeitung durch die Transportrolle 6, das Zustellen der Zustellspule 1 und das Aufwickeln der Aufwickelspule 2 unabhängig voneinander durchgeführt.
Es gibt Fälle, in welchen das streifenförmige Werkstück W Durchgangsöffnungen aufweist, welche "Vorrichtungsöffnungen" genannt werden. 9 zeigt ein Beispiel eines streifenförmigen Werkstücks W mit Vorrichtungsöffnungen. Wie 9 zeigt, sind in dem streifenförmigen Werkstück W Vorrichtungsöffnungen Wd und Perforationslöcher Ph, welche beispielsweise für den Transport des streifenförmigen Werkstücks W verwendet werden. In den Bereichen, die mit Vorrichtungsöffnungen versehen sind, werden in einem späteren Vorgang verschiedene Vorrichtungen eingebaut. Unter Verwendung dieser Durchgangsöffnungen werden Verkabelungen angeschlossen und Vorrichtungen eingebaut.
Die Vorrichtungsöffnungen Wd sind Durchgangsöffnungen und lassen deshalb Sensorlicht durch. In den Durchhängen A und B, die in 6 gezeigt sind, gibt es deshalb Fälle, in welchen das Sensorlicht in Abhängigkeit von der Länge der Durchhänge des streifenförmigen Werkstücks W und in Abhängigkeit von dem Abstand, in welchem sich die Vorrichtungsöffnungen Wd befinden, durch die Durchgangsöffnungen hindurchgeht, und in welchen man die Existenz des streifenförmigen Werkstücks W nicht ermitteln kann, selbst wenn es vorhanden ist.
Es gibt beispielsweise folgend Fälle:
Das Licht aus den oberen Sensoren 21 und 23 geht durch die Vorrichtungsöffnungen Wd hindurch, und es wird ein Durchlasszustand ermittelt; und
das Licht aus den unteren Sensoren 22 und 24 wird von dem Bereich außerhalb der Vorrichtungsöffnungen Wd abgeschirmt, und es wird ein Abschirmzustand ermittelt.
In diesem Fall zeigt die vorstehend beschriebene herkömmliche Vorrichtung eine Störung an und hält die Behandlung an, auch wenn der Transport problemlos durchgeführt werden könnte.
Der vorstehend beschriebene Nachteil wird beseitigt, wenn die Sensoren 21, 24 an Stellen positioniert werden, welche nicht mit Vorrichtungsöffnungen Wd versehen sind, beispielsweise an Stellen, an welchen die Umfangsfläche des streifenförmigen Werkstücks W ermittelt wird. Die Form und die Größe der Vorrichtungsöffnungen Wd sind jedoch unterschiedlich in Abhängigkeit von dem im streifenförmigen Werkstück W gebildeten Muster, wie einem Schaltkreismuster oder dergleichen, und es gibt sehr viele Muster hiervon.
Die Positionen der Sensoren 21 bis 24 muss deshalb entsprechend dem Muster in den Durchhängen verändert werden, wodurch man jedes Mal einen Arbeitsgang benötigt. Ferner schleichen sich an den Stellen, an welchen die Sensoren 21 bis 24 angebracht sind, häufig künstliche Fehler ein. Eine praktische Durchführung ist deshalb schwierig.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Die Erfindung wurde entwickelt, um die vorstehend beschriebenen Nachteile im Stand der Technik zu beseitigen.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines streifenförmigen Werkstücks zu erhalten, bei welcher:

– ein streifenförmiges Werkstück mit einem Durchhang versehen wird, welcher durch Durchhängen eines streifenförmigen Werkstücks zwischen der Zustellspule und dem Bearbeitungsteil und zwischen dem Bearbeitungsteil und der Aufwickelspule gebildet wird;
– die Länge der Durchhänge ermittelt wird;
– das streifenförmige Werkstück von einer Spule zugestellt und auf eine Spule aufgewickelt wird; und
– eine Vorrichtung für den Antrieb der Zustellspule bereitgestellt wird;
– ein oberer Sensor und ein unterer Sensor übereinander an zwei Stellen der Durchhänge angeordnet werden; und
– zugleich, ungeachtet der vorstehend beschriebenen Zustellung und der vorstehend beschriebenen Aufwicklung, Transport und Bearbeitung des streifenförmigen Werkstücks durchgeführt werden, um zu ermöglichen, dass der Transport des streifenförmigen Werkstücks, seine Zustellung durch eine Spule und sein Aufwickeln auf eine Spule fortgesetzt werden, selbst wenn das streifenförmige Werkstück Teil-Durchgangsöffnungen, wie Vorrichtungsöffnungen oder dergleichen, hat, und selbst wenn Sensorlicht durch die vorstehend beschriebenen Durchgangsöffnungen hindurchgeht, indem Folgendes erfindungsgemäß getan wird:
(1) Im Allgemeinen führt ein Regelglied die Bearbeitung und den Transport des streifenförmigen Werkstücks mit einer voreingestellten Häufigkeit durch, wenn der obere Sensor das Nicht-Vorhandensein des Werkstücks und der untere Sensor das Vorhandensein des Werkstücks ermittelt hat, und welches eine Störung erkennt und die Bearbeitung und den Transport unterbricht, wenn der Werkstück-Ermittlungszustand durch den vorstehend beschriebenen oberen Sensor oder den vorstehend beschriebenen unteren Sensor sich für die Dauer, während welcher die vorstehend beschriebene Bearbeitung und der vorstehend beschriebene Transport durchgeführt werden, nicht verändert.

Die Zustellspule wird folgendermaßen durch das vorstehend beschriebene Regelglied geregelt.

(a) Im Fall eines streifenförmigen Werkstücks mit Durchgangsöffnungen ist nicht immer ein Hindernis im optischen Weg des unteren Sensors vorhanden, wie vorstehend beschrieben wurde, auch wenn in dem Durchhang ein Durchlass des oberen Sensors und eine Abschirmung des unteren Sensors ermittelt wurden. In diesem Fall wird die Vorrichtung deshalb nicht sofort für "gestört" gehalten, sondern für "in einem Störungsvorbehalt-Zustand" gehalten. Das streifenförmige Werkstück wird mit einer voreingestellten Häufigkeit, beispielsweise dreimal, bearbeitet und transportiert.
(b) Wenn sich während des vorstehend beschriebenen Zeitabstands der Ermittlungszustand des streifenförmigen Werkstücks durch den vorstehend beschriebenen oberen Sensor und den vorstehend beschriebenen unteren Sensor nicht ändert, wird die Vorrichtung für "fehlerhaft" gehalten und der Betrieb der Vorrichtung angehalten.
(c) Wenn sich zu irgendeiner Zeit während des vorstehend beschriebenen Intervalls die Zustände des oberen Sensors und des unteren Sensors verändern, wird zu diesem Zeitpunkt der "Störungsvorbehalt-Zustand" aufgehoben. Erst danach wird aufgrund der Ermittlungssignale der Sensoren der Betrieb der Zustellspule geregelt. Das heißt, dass sich die Länge und die Position des streifenförmigen Werkstücks im Durchhang für die Dauer, während welcher die Bearbeitung und der Transport mehrmals wiederholt werden, verändern, wenn das streifenförmige Werkstück richtig zugestellt wird. Hierbei verändern sich die Positionen der Durchgangsöffnungen und des Abschirmbereiches des streifenförmigen Werkstücks, und im Ermittlungszustand des streifenförmigen Werkstücks durch die Sensoren entsteht mit Sicherheit eine Veränderung.

Wenn sich der Ermittlungszustand des streifenförmigen Werkstücks ändert, wird erkannt, dass das streifenförmige Werkstück richtig zugestellt wird. Somit wird der "Störungsvorbehalt-Zustand" aufgehoben, und der Betrieb der Zustellspule wird basierend auf den Ermittlungssignalen der Sensoren geregelt, wie das normalerweise der Fall ist.
Andererseits kann man sich vorstellen, dass in der Nähe des nachgeschalteten Sensors ein Hindernis vorhanden ist, welches das Sensorlicht abschirmt, oder dass der untere Sensor fehlerhaft ist, wenn im Ermittlungszustand des streifenförmigen Werkstücks auch bei mehrmaliger Wiederholung von Bearbeitung und Transport keine Veränderung auftritt. In diesem Fall gilt die Vorrichtung als "fehlerhaft" und wird angehalten.
Mit der vorstehend beschriebene Regelung kann ein streifenförmiges Werkstück mit Durchgangsöffnungen problemlos transportiert werden.
(2) Bei der vorstehend in (1) beschriebenen Vorrichtung zur Bearbeitung eines streifenförmigen Werkstücks gibt es im Allgemeinen ein Regelglied, welches den Betrieb der Aufwickelspule startet, wenn sowohl der obere Sensor als auch der untere Sensor das Vorhandensein des Werkstücks festgestellt haben, und welches den Betrieb der Aufwickelspule stoppt, wenn der obere Sensor das Nicht-Vorhandensein des Werkstücks festgestellt hat.
Die Aufwickelspule wird folgendermaßen besonders durch das vorstehend beschriebene Regelglied geregelt.
In dem Fall, in welchem ein Durchlass des oberen Sensors und eine Abschirmung des unteren Sensors ermittelt wurden, ist bei einem streifenförmigen Werkstück mit Durchgangsöffnungen nicht immer ein Hindernis im optischen Weg des unteren Sensors vorhanden, wie vorstehend beschrieben wurde. In diesem Fall wird die Vorrichtung deshalb nicht sofort für "fehlerhaft" gehalten. In diesem Zustand wird die Drehung der Aufwickelspule nur dann gestartet, wenn der Antrieb der Aufwickelspule gestoppt wurde und wenn sowohl der obere Sensor als auch der untere Sensor eine Abschirmung ermittelt haben. Die Drehung der Aufwickelspule wird gestoppt, wenn der obere Sensor einen Durchlass ermittelt hat. In diesem Fall verändern sich die Länge und die Position des streifenförmigen Werkstücks im Durchhang, wenn das streifenförmige Werkstück transportiert wird. So tritt ein Fall auf, in welchem sowohl der obere Sensor als auch der untere Sensor eine Abschirmung ermitteln. Wenn die Sensoren in einen derartigen Zustand versetzt werden, wird die Aufwickelspule gedreht und das streifenförmige Werkstück aufgewickelt.
Wie vorstehend beschrieben wurde, können der Transport des streifenförmigen Werkstücks, seine Zustellung durch eine Spule und sein Aufwickeln auf eine Spule sogar dann fortgeführt werden, wenn das streifenförmige Werkstück Teil-Durchgangsöffnungen, wie Vorrichtungsöffnungen oder dergleichen, aufweist, durch welche das Sensorlicht hindurchgeht, durch die erfindungsgemäße Maßnahme, dass die Bearbeitung und der Transport des streifenförmigen Werkstücks mit einer voreingestellten Häufigkeit durchführt werden, wenn der obere Sensor das Nicht-Vorhandensein des Werkstücks und der untere Sensor das Vorhandensein des Werkstücks ermittelt haben, wobei diese Sensoren in dem Durchgang auf der Seite der Zustellspule angeordnet sind, und ferner dass eine Störung erkannt wird und die Bearbeitung und der Transport unterbrochen werden, wenn sich während der Zeitspanne, während welcher die vorstehend beschriebene Bearbeitung und der vorstehend beschriebene Transport durchgeführt werden, der Werkstück-Ermittlungszustand durch den vorstehend beschriebenen oberen Sensor oder den vorstehend beschriebenen unteren Sensor nicht verändert.
Im Fall, dass der dem Durchhang auf der Seite der Zustellspule nachgeschaltete Sensor wegen eines Hindernisses oder dergleichen in einen Abschirmzustand versetzt wird, oder im Fall, dass in diesem Sensor eine Störung oder dergleichen auftritt, wird erkannt, dass eine Störung entstanden ist, und der Betrieb der Vorrichtung kann auf diese Weise angehalten werden.
Auf der Seite der Aufwickelspule wird der Betrieb der Aufwickelspule nur dann gestartet, wenn sowohl der obere Sensor als auch der untere Sensor das Vorhandensein des Werkstücks ermittelt haben, und ferner wird hier der Betrieb der Aufwickelspule gestoppt, wenn der obere Sensor das Nicht-Vorhandensein des Werkstücks ermittelt hat. Dadurch kann das streifenförmige Werkstück ohne Anhalten des Betriebs der Vorrichtung sogar in dem Fall aufgewickelt werden, dass der dem Durchhang auf der Seite der Aufwickelspule nachgeschaltete Sensor wegen eines Hindernisses oder dergleichen in einen Abschirmzustand versetzt wird oder dass in diesem Sensor eine Störung oder dergleichen auftritt.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen ausführlich beschrieben.
KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
1 zeigt eine schematische Darstellung der Anordnung eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Verarbeitung eines streifenförmigen Werkstücks;
2(a) bis 2(c) zeigen jeweils eine schematische Darstellung einer ersten Regelung einer Zustellspule;
3(d) bis 3(g) zeigen jeweils eine schematische Darstellung einer zweiten Regelung einer Zustellspule;
4(a) bis 4(c) zeigen jeweils eine schematische Darstellung einer ersten Regelung einer Aufwickelspule;
5(d) bis 5(g) zeigen jeweils eine schematische Darstellung einer zweiten Regelung einer Aufwickelspule;
6 zeigt eine schematische Darstellung der Anordnung des Transportsystems für ein streifenförmiges Werkstück, welches mit Durchhängen versehen wurde, gemäß dem Stand der Technik;
7(a) bis 7(f) zeigen jeweils eine schematische Darstellung der Regelung einer herkömmlichen Zustellspule;
8(a) bis 8(f) zeigen jeweils eine schematische Darstellung der Regelung einer herkömmlichen Aufwickelspule und
9 zeigt eine schematische Darstellung eines Beispiels eines bekannten streifenförmigen Werkstücks mit Durchgangsöffnungen, welche Vorrichtungsöffnungen genannt werden.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
1 zeigt eine schematische Darstellung der Anordnung eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Bearbeitung eines streifenförmigen Werkstücks. Nachfolgend wird ein Fall beschrieben, in welchem ein Maskenmuster durch eine Projektionsbelichtung auf ein streifenförmiges Werkstück projektionsbelichtet wird. Die Bearbeitung des streifenförmigen Werkstücks ist jedoch nicht auf die vorstehend beschriebene Projektionsbelichtung beschränkt, sondern man kann auch andere Bearbeitungen durchführen.
In 1 wird, wie vorstehend beschrieben wurde, das streifenförmige Werkstück W, mit welchem die Zustellspule 1 umwickelt ist, von der Zustellspule 1 zugestellt, welche von der Vorrichtung 25 angetrieben wird, und über den ersten Durchhang A und die Führungsrolle 3 zum Belichtungssteil 10 gesandt und einer Belichtung unterzogen.
Ein Regelglied 30 umfasst ein Zustellspulen-Regelglied 30a für die Antriebsregelung der Zustellspule 1, ein Aufwickelspulen-Regelglied 30b für die Regelung der Aufwickelspule 2 und ein Transportrollen-Regelglied 30c für die Regelung der Transportrolle 6. Die Transportrolle 6 wird auf dieselbe Weise kontrolliert wie im herkömmlichen Fall und ist beispielsweise in der vorstehend beschriebenen Japanischen Offenlegungsschrift HEI 2-100036 ausführlich beschrieben.
Das Zustellspulen-Regelglied 30a des Regelgliedes 30 unterzieht die vorstehend beschriebene Vorrichtung 25 zum Antreiben der Zustellspule einer Antriebsregelung durch die Ausgaben des oberen Sensors 21 und des unteren Sensors 22, wobei diese Sensoren 21, 22 in dem Durchhang A vorgesehen sind, und regelt das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W in dem Durchhang A.
Das Transportieren des streifenförmigen Werkstücks W wird, wie vorstehend beschrieben wurde, durch die Drückrolle 5 und die Transportrolle 6 durchgeführt, welche dem Belichtungsteil 10 bezüglich der Transportrichtung des Trägers 15 des Belichtungsteils (Bearbeitungsteils) 10 vorgeschaltet und nachgeschaltet sind. Das Transportrollen-Regelglied 30c des Regelgliedes 30 unterzieht die Transportrolle 6 durch eine Vorrichtung 27 zum Antreiben einer Transportrolle einer Antriebsregelung, sendet das streifenförmige Werkstück W auf den Träger 15 des Belichtungsteils 10 und positioniert es an einer vorgegebenen Position.
Das streifenförmige Werkstück W, das auf dem Träger 15 positioniert wurde, wird im Belichtungsteil 10 belichtet. Das heißt, dass das Licht, welches UV-Licht enthält und welches von der Lampe 11 ausgestrahlt wird, durch den Reflektor 12 reflektiert und über die Kondensatorlinse 13, die Maske M und das Projektiv 14 auf das streifenförmige Werkstück auf dem Träger 15 ausgestrahlt wird. Somit wird das Maskenmuster der Maske M auf das streifenförmige Werkstück W belichtet. Nach Abschluss der Belichtung wird das streifenförmige Werkstück W über eine Führungsrolle 4 und den zweiten Durchhang B auf die Aufwickelspule 2 aufgewickelt, welche von der Vorrichtung 26 zum Antreiben einer Aufwickelspule angetrieben wird.
Das Aufwickelspulen-Regelglied 30b des Regelgliedes 30 unterzieht durch die Ausgaben des oberen Sensors 23 und des unteren Sensors 24 die vorstehend beschriebene Vorrichtung 26 zum Antreiben einer Aufwickelspule einer Antriebsregelung, wobei diese Sensoren 23 und 24 im Durchhang B vorgesehen sind, und regelt das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W im Durchhang B.
Das streifenförmige Werkstücks W wird in den Durchhängen A und B auf dieselbe Weise ermittelt, wie vorstehend anhand von 6 beschrieben, unter Verwendung der Sensoren 21, 22, 23, 24 vom Durchlasstyp, welche in Paaren übereinander liegend, das heißt, an zwei Stellen, angeordnet sind. Bei den vorstehend beschriebenen Sensoren 21, 22, 23, 24 vom Durchlasstyp gehören die Emissionselemente 21a, 22a, 23a, 24a zu einer Gruppe und die Lichtaufnahme-Elemente 21b, 22b, 23b und 24b zu einer anderen Gruppe. Die erste Gruppe strahlt Sensorlicht aus, das von dem jeweiligen Element der zweiten Gruppe, welches dem zugehörigen Element der ersten Gruppe gegenüberliegend angeordnet ist, aufgenommen wird. Da das von den Emissionselementen 21a, 22a, 23a, 24a ausgestrahlte Sensorlicht durch das streifenförmige Werkstück W abgeschirmt wird, wird ermittelt, dass das streifenförmige Werkstück W vorhanden ist.
In diesem Ausführungsbeispiel ist das streifenförmige Werkstück W, wie anhand von 9 gezeigt wurde, mit Vorrichtungsöffnungen Wd als Durchgangsöffnungen versehen. Wie vorstehend beschrieben wurde, gibt es Fälle, wo das Sensorlicht sogar in dem Fall durch die vorstehend beschriebenen Durchgangsöffnungen hindurchgeht, in welchen das streifenförmige Werkstück W an einer Position angeordnet ist, an welcher es den oberen Sensor 21 oder den oberen Sensor 21 und den unteren Sensor 22 abschirmt und in welcher der obere Sensor 21 oder der untere Sensor 22 in einen Durchlasszustand versetzt werden.
Nachfolgend wird die Regelung der Zustellspule 1 durch das Zustellspulen-Regelglied 30a des Regelgliedes 30 und die Regelung der Aufwickelspule 2 durch das Aufwickelspulen-Regelglied 30b der Regler bei der vorstehend beschriebenen Vorrichtung zur Bearbeitung eines streifenförmigen Werkstücks beschrieben.
A. Regelung der Zustellspule
Bei diesem Ausführungsbeispiel regelt das Zustellspulen-Regelglied 30a des Regelgliedes 30 die Zustellspule 1 in der nachfolgend anhand von Tabelle 3 gezeigten Weise, basierend auf den Ausgaben des oberen Sensors 21 und des unteren Sensors 22 des Durchhangs A.
(Tabelle 3)
Das heißt, dass für den Fall, dass das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W im Durchhang A klein ist und sich sowohl der obere Sensor 21 als auch der untere Sensor 22 im Durchlasszustand befinden, die Zustellspule 1 gedreht wird. Auf diese Weise wird die Drehung der Zustellspule 1 gestoppt, wenn das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W erhöht wird und sowohl der obere Sensor 21 als auch der untere Sensor 22 in den Abschirmzustand versetzt werden. Durch das Stoppen der Zustellspule 1 nimmt das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W ab. Wenn sowohl der obere Sensor 21 als auch der untere Sensor 22 wieder in den Durchlasszustand versetzt werden, wird die Zustellspule 1 gedreht. Auf diese Weise wird die Regelung so ausgeführt, dass sich das untere Ende des streifenförmigen Werkstücks W in dem Durchhang A zwischen dem oberen Sensor 21 und dem unteren Sensor 22 befindet. Während des vorstehend beschriebenen Betriebs wird das Sensorlicht beispielsweise von den Vorrichtungsöffnungen durchgelassen, welche in dem streifenförmigen Werkstück W vorgesehene Durchgangsöffnungen sind. Es gibt folgende Fälle:

(1) Durchlasszustand des oberen Sensors 21 und Durchlasszustand des unteren Sensors 22
(2) Abschirmzustand des oberen Sensors 21 und Durchlasszustand des unteren Sensors 22
(3) Durchlasszustand des oberen Sensors 21 und Abschirmzustand des unteren Sensors 22

Im vorstehend beschriebenen Fall (1) wird die Zustellspule 1 gedreht. Im vorstehend beschriebenen Fall (2) wird der vorherige Betriebszustand fortgesetzt. Wenn sich beispielsweise die Zustellspule 1 dreht, wird der Drehzustand fortgesetzt. Wenn die Zustellspule 1 anhält, wird der Anhaltezustand fortgesetzt. Der vorstehend beschriebene Fall (3) wird in diesem Beispiel als "Störungs vorbehalt-Zustand" bezeichnet. Das Regelglied 30 erkennt eine Störung und stoppt die Vorrichtung nur dann, wenn dieser Zustand von dem oberen Sensor 21 und dem unteren Sensor 22 während des Intervalls mit einer Häufigkeit des Transportes und der Belichtung (beispielsweise dreimal), welche in einem Einstellteil 30d des Regelgliedes 30 im Voraus eingestellt wurde, kontinuierlich fortgesetzt wurde.
Nachfolgend wird die Regelung der Zustellspule 1 durch das vorstehend beschriebene Zustellspulen-Regelglied 30a anhand der 2(a) bis 2(c) und der 3(d) bis 3(g) beschrieben. Die Transportrichtung oder dergleichen des streifenförmigen Werkstücks W ist identisch mit der vorstehend anhand der 7(a) bis 7(f) beschriebenen Transportrichtung oder dergleichen.

(1) Wie in 2(a) gezeigt wird, wird die Zustellspule 1 gedreht und das streifenförmige Werkstück W zugestellt, wenn das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W klein ist und wenn sowohl der obere Sensor 21 als auch der untere Sensor 22 des Durchhangs A sich im Durchlasszustand befinden. Dadurch beginnt sich das streifenförmige Werkstück W im Durchhang A auszuhängen.
(2) Wenn sich die Zustellspule 1 dreht, befindet sich die Spitze des Durchhangs des streifenförmigen Werkstücks W zwischen dem oberen Sensor 21 und dem unteren Sensor 22. Die Sensoren können sich in folgenden zwei Zuständen befinden:
(i) Wie in 2(b) gezeigt wird, schirmt der Abschirmbereich des streifenförmigen Werkstücks W den oberen Sensor 21 ab. Dies ist derselbe Zustand wie im herkömmlichen Beispiel gemäß 7(b). In diesem Fall des Abschirmzustandes des oberen Sensors 21 und des Durchlasszustandes des unteren Sensors 22 wird der vorherige Zustand fortgesetzt; das betrifft den Betrieb der Zustellspule 1. Das heißt, dass die Drehung der Zustellspule 1 fortgesetzt wird.
(ii) Wie in 2(c) gezeigt wird, geht das Sensorlicht des oberen Sensors 21 durch die Durchgangsöffnungen des streifenförmigen Werkstücks W hindurch. Dadurch werden sowohl der obere Sensor 21 als auch der untere Sensor 22 in einen Durchlasszustand versetzt. Dies ist derselbe Zustand wie der vorstehend anhand von 2(a) gezeigte Zustand. Wie vorstehend anhand von 2(b) beschrieben wurde, dreht sich die Zustellspule 1.
(3) Durch die Fortsetzung der Drehung der Zustellspule 1 schreitet die Zustellung des streifenförmigen Werkstücks W zum Durchhang A fort, wodurch sich die Spitze des Durchhangs unterhalb des unteren Sensors 21 befindet. Der obere Sensor 21 und der untere Sensor 22 können sich in einem beliebigen der hier folgenden vier Zuständen befinden.
(i) Wie in 3(d) gezeigt wird, schirmt der Abschirmbereich des streifenförmigen Werkstücks W den oberen Sensor 21 und den unteren Sensor 22 ab. In diesem Fall hält die Zustellspule 1 die Drehung und die Zustellung des streifenförmigen Werkstücks W an.
(ii) Wie in 3(e) gezeigt wird, geht das Sensorlicht des oberen Sensors 21 durch die Durchgangsöffnungen des streifenförmigen Werkstücks W hindurch. Der obere Sensor 21 wird in den Durchlasszustand und der untere Sensor 22 in den Abschirmzustand versetzt. Herkömmlicherweise wurde dies für "fehlerhaft" gehalten. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird dieser Zustand nicht sofort für " fehlerhaft " gehalten, sondern vielmehr für einen "Störungsvorbehalts-Zustand". In diesem Fall des "Durchlasses des oberen Sensors 21" und der "Abschirmung des unteren Sensors 22" wird der vorherige Zustand fortgesetzt; das betrifft den Betrieb der Zustellspule 1. In diesem Zustand setzt das Regelglied 30 den Betrieb der Vorrichtung zur Bearbeitung des streifenförmigen Werkstücks fort. Das Regelglied 30 erkennt eine Störung und hält die Vorrichtung nur dann an, wenn der in 3(e) gezeigte Zustand von dem oberen Sensor 21 und dem unteren Sensor 22 während eines Intervalls mit einer Häufigkeit von Transport und Bearbeitung (Belichtung), beispielsweise während einer dreimaligen Belichtung und eines dreimaligen Transportes, welche in einem Einstellteil 30d des Regelgliedes 30 im Voraus eingestellt wurde, kontinuierlich aufrechterhalten wird. Wenn sich während dieses Intervalls die Sensorzustände gegenüber den in 3(e) gezeigten Zuständen verändern, setzt das Regelglied 3 zu diesem Zeitpunkt den "Störungsvorbehalt" zurück und setzt den Betrieb entsprechend den Sensorzuständen zu diesem Zeitpunkt fort. Wenn aufgrund von Faktoren wie einem Hindernis, einer Störung des unteren Sensors 22 und dergleichen, sich der obere Sensor 21 im Durchlasszustand und der untere Sensor 22 im Abschirmzustand befindet, verändert sich der Zustand nicht, auch wenn das streifenförmige Werkstück W transportiert wird. Deshalb kann, wie vorstehend beschrieben wurde, eine Störung erkannt und die Vorrichtung gestoppt werden. Wenn sich jedoch in Abhängigkeit vom Zustand der Position des streifenförmigen Werkstücks W der obere Sensor 21 zufällig im Durchlasszustand und der untere Sensor 22 im Abschirmzustand befindet, verändert sich die Position des streifenförmigen Werkstücks W infolge der Zustellung des streifenförmigen Werkstücks W durch die Zustellspule 1 oder infolge des Transportes des streifenförmigen Werkstücks W zu dem Belichtungsteil 10 während des dreimaligen Transportes und der dreimaligen Bearbeitung des streifenförmigen Werkstücks W. Somit muss unweigerlich eine Veränderung in die Zustände gemäß 3(d), 3(f) und 3(g) eintreten. In diesem Fall wird, wie vorstehend beschrieben wurde, der "Störungsvorbehalt" zurückgesetzt und der Betrieb ausgehend von einem der in den 3(d), 3(f) und 3(g) gezeigten Zustände fortgesetzt.
(iii) Wie in 3(f) gezeigt, befindet sich der obere Sensor 21 in einem Abschirmzustand. Das Sensorlicht des unteren Sensors 22 geht durch den Durchgangsbereich des streifenförmigen Werkstücks W hindurch, und der untere Sensor 22 wird in den Durchlasszustand versetzt. Dies ist derselbe Zustand wie in 2(b). Die Drehung der Zustellspule 1 wird fortgesetzt. Die Position des streifenförmigen Werkstücks W wird jedoch durch die Zustellung des streifenförmigen Werkstücks W verändert und unweigerlich in einen der in 3(d), 3(e) und 3(g) gezeigten Zustände versetzt. Wenn der in 3(d) gezeigte Zustand erhalten wird, wird die Drehung der Zustellspule 1 angehalten. Wenn der Zustand gemäß 3(e) erhalten wird, wird, wie vorstehend beschrieben wurde, der "Störungsvorbehalt-Zustand" erhalten. Wenn weder ein Hindernis noch eine Störung des Sensors oder dergleichen vorhanden ist, wird der "Störungsvorbehalt" zurückgesetzt. Der Betrieb wird entsprechend den Sensorzuständen zu diesem Zeitpunkt fortgesetzt.
(iv) Wie in 3(g) gezeigt ist, geht das Sensorlicht durch den Durchgangsbereich des streifenförmigen Werkstücks W sowohl zum oberen Sensor 21 als auch zum unteren Sensor 22 hindurch. Auf diese Weise werden die Sensoren 21 und 22 in den Durchlasszustand versetzt. Dies ist derselbe Zustand wie der in 2(c) gezeigte Zustand oder der in 2(a) gezeigte Zustand. Die Zustellspule setzt die Drehung fort. Die Position des streifenförmigen Werkstücks W wird durch die Zustellung des streifenförmigen Werkstücks W verändert, wie oben beschrieben wurde, und wird unweigerlich in einen der Zustände gemäß 3(d), 3(e) und 3(f) versetzt. Wenn der Zustand gemäß 3(d) erhalten wird, wird die Drehung der Zustellspule 1 gestoppt. Wenn weder ein Hindernis noch eine Störung des Sensors oder dergleichen vorhanden ist, wird der Zustand ausgehend von dem Zustand gemäß 3(e) oder 3(f) verändert. Wenn der Zustand gemäß 3(d) erhalten wird, wird die Drehung der Zustellspule 1 gestoppt.
(4) Wenn ausgehend von dem Zustand gemäß 3(d) das streifenförmige Werkstück W transportiert wird, wird bald einer der Zustände gemäß 2(b), 2(c), 3(e), 3(f) und 3(g) erhalten. Im Fall des in 2(b) gezeigten Zustandes wird der vorherige Zustand fortgesetzt. Die Zustellspule bleibt deshalb angehalten und wird bald in den in 2(a) gezeigten Zustand versetzt. Auf diese Weise beginnt sich die Zustellspule 1 zu drehen. Im Fall des Zustandes gemäß 2(c) ist derselbe Zustand wie der in 2(a) gezeigte Zustand vorhanden. Die Zustellspule 1 dreht sich deshalb. In Fällen wie in 3(e) und 3(g) gezeigt, läuft die Situation in der vorstehend beschriebenen Weise ab. Wenn der Sensorzustand nur in den Zustand gemäß 3(e), 3(f) oder 3(g) übergeht, kann man sich vorstellen, dass die Drehung der Zustellspule 1 nicht aufhört und sich das streifenförmige Werkstück W mehr und mehr im Durchhang A ansammelt. Bei einem Transportversuch in der Praxis unter Verwendung verschiedener Arten von streifenförmigen Werkstücken mit einer unterschiedlichen Form von Vorrichtungsöffnungen gab es jedoch keinen Fall, in welchem sich das streifenförmige Werkstück W im Durchhang A angesammelt hat.

B. Regelung der Aufwickelspule
Bei diesem Ausführungsbeispiel regelt das Aufwickelspulen-Regelglied 30b des Regelgliedes 30 die Aufwickelspule 2 aufgrund der Ausgaben des oberen Sensors 23 und des unteren Sensors 24 des Durchhangs B auf die nachfolgend anhand von Tabelle 4 gezeigte Weise.
(Tabelle 4)
Das heißt, dass für den Fall, dass das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W klein ist und sich sowohl der obere Sensor 23 als auch der untere Sensor 24 im Durchlasszustand befinden, die Aufwickelspule 2 gestoppt wird. Wenn das streifenförmige Werkstück W transportiert wird, falls das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W im Durchhang B groß wird, und auch wenn der obere Sensor 23 in den Abschirmzustand versetzt wird, wird der Anhalte-Zustand der Aufwickelspule 2 aufrechterhalten. Wenn sowohl der obere Sensor 21 als auch der untere Sensor 22 in den Abschirmzustand versetzt werden, wird die Aufwickelspule 2 gedreht und das streifenförmige Werkstück W aufgewickelt. Das reduziert das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W. Der Drehzustand der Aufwickelspule 2 wird aufrechterhalten, auch wenn der obere Sensor 23 in den Abschirmzustand versetzt wird. Wenn sowohl der obere Sensor 23 als auch der untere Sensor 24 wieder in den Durchlasszustand versetzt werden, wird die Aufwickelspule 2 angehalten. Auf diese Weise wird die Regelung so ausgeführt, dass das untere Ende des streifenförmigen Werkstücks W sich im Durchhang B zwischen dem oberen Sensor 23 und dem unteren Sensor 24 befindet. Während des vorstehend beschriebenen Betriebs wird das Sensorlicht beispielsweise von den Vorrichtungsöffnungen durchgelassen, welche in dem streifenförmige Werkstück W vorgesehene Durchgangsöffnungen sind. Es gibt folgende Fälle:

(1) Durchlasszustand des oberen Sensors 23 und Durchlasszustand des unteren Sensors 24
(2) Abschirmzustand des oberen Sensors 23 und Durchlasszustand des unteren Sensors 24
(3) Durchlasszustand des oberen Sensors 23 und Abschirmzustand des unteren Sensors 24

Im vorstehend beschriebenen Fall (1) wird die Aufwickelspule 2 angehalten. Im vorstehend beschriebenen Fall (2) wird der vorherige Betriebszustand fortgesetzt. Wenn sich beispielsweise die Aufwickelspule 2 dreht, wird der Drehzustand fortgesetzt. Wenn die Aufwickelspule 2 anhält, wird der Anhaltezustand fortgesetzt. Im vorstehend beschriebenen Fall (3) wird die Aufwickelspule 2 in diesem Ausführungsbeispiel angehalten. Bei dem vorstehend in (3) beschriebenen Zustand ist es möglich, sich einen Fall vorzustellen, in welchem das Sensorlicht von den Durchgangsöffnungen, welche sich in dem streifenförmigen Werkstück W befinden, durchgelassen wird und in welchem der obere Sensor 23 trotz des Abschirmzustandes des unteren Sensors 24 in einen Durchlasszustand versetzt wurde, und einen Fall, in welchem im Durchhang B ein Hindernis vorhanden ist oder der untere Sensor 24 eine Störung aufweist. Wenn jedenfalls die Aufwickelspule 2 in der in 4 beschriebenen Weise geregelt wird, tritt kein Problem auf.
Wenn nämlich das Sensorlicht von den Durchgangsöffnungen, die sich in dem streifenförmigen Werkstück W befinden, durchgelassen wird und wenn der obere Sensor 23 trotz des Abschirmzustandes des unteren Sensors 24 in den Durchlasszustand versetzt wurde, bewegen sich die Positionen der Durchgangsöffnungen durch den Transport des streifenförmigen Werkstücks W, bis bald auch der obere Sensor 23 in den Abschirmzustand versetzt wird. Wenn dieser Zustand erreicht ist, beginnt sich die Aufwickelspule 2 zu drehen. Daher tritt das Problem nicht auf, dass sich das streifenförmige Werkstück W im Durchhang B immer mehr ansammelt, selbst wenn die Aufwickelspule 2 im vorstehend in (3) beschriebenen Zustand angehalten wird.
In dem Zustand, in welchem im Durchhang B ein Hindernis vorhanden ist oder in welchem wegen einer Störung des unteren Sensors 24 der vorstehend in (3) beschriebene Zustand erhalten wird, wird durch den Transport des streifenförmigen Werkstücks W während des Anhaltes der Aufwickelspule 2 der obere Sensor 23 bald in einen Abschirmzustand versetzt, wodurch sich die Aufwickelspule 2 zu drehen beginnt. Wenn sich die Aufwickelspule 2 zu drehen beginnt, wird der obere Sensor 23 in den Durchlasszustand und der untere Sensor 24 in den Abschirmzustand versetzt, und die Aufwickelspule 2 hält die Drehung an. Dann werden dieselben Vorgänge wiederholt, und das Durchbiegemaß des streifenförmigen Werkstücks W im Durchhang B wird im Wesentlichen konstant geregelt.
Nachfolgend wird die Regelung der Aufwickelspule 2 durch das vorstehend beschriebene Aufwickelspulen-Regelglied 30b anhand der 4(a) bis 4(c) und der 5(d) bis 5(g) beschrieben. Die Transportrichtung oder dergleichen des streifenförmigen Werkstücks W ist mit der in 8(a) bis 8(f) identisch.

(1) Wie in 4(a) gezeigt, hält die Aufwickelspule 2 an, wenn der obere Sensor 23 und der untere Sensor 24, welche im Durchhang B vorhanden sind, in den Durchlasszustand versetzt werden. Die Transportrolle 6 dreht sich und stellt das streifenförmige Werkstück W nach Abschluss der Belichtung dem Durchhang B zu.
(2) Das untere Ende des durchhängenden streifenförmigen Werkstücks W befindet sich zwischen dem oberen Sensor 23 und dem unteren Sensor 24. Hierbei können sich der obere Sensor 23 und der untere Sensor 24 in den folgenden beiden Zuständen befinden.
(i) Wie in 4(b) gezeigt, schirmt das streifenförmige Werkstück W den oberen Sensor 23 ab. Dies ist derselbe Zustand wie bei dem herkömmlichen Beispiel. Im Fall des Abschirmzustandes des oberen Sensors 23 und des Durchlasszustandes des unteren Sensors 24 wird der vorherige Zustand fortgesetzt; dies betrifft den Betrieb der Aufwickelspule 2. In diesem Fall bleibt die Aufwickelspule 2 angehalten.
(ii) Wie in 4(c) gezeigt, geht das Sensorlicht des oberen Sensors 23 durch die Durchgangsöffnungen des streifenförmigen Werkstücks W hindurch. Das versetzt den oberen Sensor 23 in den Durchlasszustand. Dies ist derselbe Zustand wie der vorstehend anhand von 4(a) gezeigte Zustand. Die Aufwickelspule bleibt angehalten.
(3) Die Zustellung des streifenförmigen Werkstücks W zum Durchhang B dauert an, wodurch die Spitze des Durchhangs unterhalb des unteren Sensors 24 angeordnet wird. Der obere Sensor 23 und der untere Sensor 24 können sich hierbei in den folgenden vier Zuständen befinden.
(i) Wie in 5(d) gezeigt, schirmt das streifenförmige Werkstück W den oberen Sensor 23 und den unteren Sensor 24 ab. In diesem Fall beginnt sich die Aufwickelspule 2 zu drehen und das streifenförmige Werkstück W aufzuwickeln. Dies ist derselbe Zustand wie im herkömmlichen Beispiel.
(ii) Wie in 5(e) gezeigt, geht das Sensorlicht des oberen Sensors 23 durch die Durchgangsöffnungen des streifenförmigen Werkstücks W hindurch. Der obere Sensor 23 wird in den Durchlasszustand und der untere Sensor 24 in den Abschirmzustand versetzt. Herkömmlicherweise wurde dies sofort für "fehlerhaft" gehalten. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird jedoch die Drehung der Aufwickelspule angehalten. Die Aufwickelspule bleibt angehalten, bis das streifenförmige Werkstück W belichtet, transportiert und in den in 5(d) gezeigten Zustand versetzt wird.
(iii) Wie in 5(f) gezeigt, befindet sich der obere Sensor 23 im Abschirmzustand. Das Sensorlicht des unteren Sensors 24 geht durch die Durchgangsöffnungen des streifenförmigen Werkstücks W hindurch, und der untere Sensor 24 befindet sich im Durchlasszustand. Dies ist derselbe Zustand wie in 4(b). Die Aufwickelspule 2 bleibt angehalten. Das Anhalten der Aufwickelspule 2 wird aufrechterhalten, bis das streifenförmige Werkstück W belichtet, transportiert und in den in 5(d) gezeigten Zustand versetzt wird.
(iv) Wie in 5(g) gezeigt, geht sowohl bei dem oberen Sensor 23 als auch bei dem unteren Sensor 24 das Sensorlicht durch die Durchgangsöffnungen des streifenförmigen Werkstücks W hindurch. Diese Sensoren 23, 24 befinden sich im Durchlasszustand. Dies ist derselbe Zustand wie der in 4(c) oder 4(a) gezeigte Zustand. Die Aufwickelspule 2 bleibt angehalten. Das Anhalten der Aufwickelspule 2 wird aufrechterhalten, bis das streifenförmige Werkstück W belichtet, transportiert und in den in 5(d) gezeigten Zustand versetzt ist.
(4) Wenn ausgehend von den Punkten (i) bis (iv) der Zustand gemäß 5(d) erreicht wird, dreht sich die Aufwickelspule 2, und sie beginnt das streifenförmige Werkstück W aufzuwickeln. Für den Fall, dass durch das Aufwickeln des streifenförmigen Werkstücks W die Zustände des oberen Sensors 23 und des unteren Sensors 24 in den Zustand gemäß 4(b) oder 5(f) übergangen sind, wird der vorherige Zustand fortgesetzt; das betrifft den Betrieb der Aufwickelspule. Die Aufwickelspule dreht sich daher weiter und wickelt das streifenförmige Werkstück W auf. Wenn das strei fenförmige Werkstück W aufgewickelt worden ist und wenn der Zustand gemäß 4(a) erreicht ist, stoppt die Aufwickelspule 2 die Drehung.

Wenn ferner ausgehend von 5(d) ein Übergang in einen der Zustände gemäß 4(c), 5(e) und 5(g) erfolgt ist, hält die Aufwickelspule 2 an. Die Aufwickelspule 2 bleibt, wie vorstehend beschrieben wurde, angehalten, bis der Zustand gemäß 5(d) erreicht ist.
Wenn die Zustände des oberen Sensors 23 und des unteren Sensors 24 nur in den Zustand gemäß 5(e), 5(f) oder 5(g) übergehen, wie auf der Seite der Zustellspule, kann man sich vorstellen, dass sich die Aufwickelspule 2 nicht dreht und dass das streifenförmige Werkstück W sich immer mehr im Durchhang B ansammelt. Bei einem Transportversuch in der Praxis, bei dem mehrere Arten streifenförmiger Werkstücke mit unterschiedlicher Form der Vorrichtungsöffnungen verwendet wurden, gab es jedoch keinen Fall, in welchem sich das streifenförmige Werkstück W im Durchhang B angesammelt hat.
WIRKUNG DER ERFINDUNG
Wie vorstehend beschrieben wurde, kann man erfindungsgemäß folgende Wirkungen erhalten:

(1) Auch wenn das streifenförmige Werkstück Teil-Durchgangsöffnungen, wie Vorrichtungsöffnungen oder dergleichen, hat, durch welche Sensorlicht hindurchgeht, kann der Transport des streifenförmigen Werkstücks, seine Zustellung durch eine Spule und sein Aufwickeln auf eine Spule fortgesetzt werden.
(2) Für den Fall, dass der Sensor, welcher dem Durchhang auf der Seite der Zustellspule nachgeschaltet ist, durch ein Hindernis oder dergleichen in einen Abschirmzustand versetzt wird oder in diesem Sensor eine Störung oder dergleichen auftritt, kann das Auftreten einer Störung erkannt und der Betrieb der Vorrichtung angehalten werden. Des Weiteren kann das streifenförmige Werkstück für den Fall, dass der Sensor, der dem Durchhang auf der Seite der Aufwickelspule nachgeschaltet ist, durch ein Hindernis oder dergleichen in einen Abschirmzustand versetzt wird oder dass in diesem Sensor eine Störung oder dergleichen auftritt, aufgewickelt werden, ohne dass der Betrieb der Vorrichtung angehalten wird.

Claims

Vorrichtung zur Verarbeitung eines streifenförmigen Werkstücks (W), umfassend: eine Zustellspule (1) zum Zuführen eines streifenförmigen Werkstücks (W), das darauf aufgewickelt ist; eine der Zustellspule (1) nachgeschaltete Verarbeitungseinheit (10); eine der Verarbeitungseinheit nachgeschaltete Aufwickelspule (2) zum Aufnehmen des streifenförmigen Werkstücks nach der Bearbeitung desselben in der Verarbeitungseinheit (10); einen Transportmechanismus (5, 6) zum Transportieren des streifenförmigen Werkstücks von der Zustellspule (1) zum Verarbeitungsteil (10); – einen oberen Sensor (21) und einen unteren Sensor (22), welche übereinander an Stellen unterhalb des direkten Weges zwischen Zustellspule (1) und Verarbeitungsteil (10) angeordnet sind, wobei die Sensoren (21, 22) ausgebildet sind, das Vorhandensein und Nichtvorhandensein des streifenförmigen Werkstücks (W) zu ermitteln, das zwischen der Zustellspule (1) und dem Verarbeitungsteil (10) durchhängt; – eine Antriebsvorrichtung (25) zum Antreiben der Zustellspule (1 ); sowie – ein Regelglied (30), welches Verarbeitung und Transport des streifenförmigen Werkstücks mit einer vorgegebenen Zeitabfolge regelt, dadurch gekennzeichnet, dass das Regelglied (30) ausgebildet ist, die Antriebsvorrichtung (25) basierend auf den Ausgaben des oberen Sensors (21) und des unteren Sensors (22) zu regeln, die Zustellspule (1) anzutreiben, und welches, bei Auftreten eines Zustands, bei dem der obere Sensor die Abwesenheit des Werkstücks festgestellt hat und der untere Sensor die Anwesenheit des Werkstücks festgestellt hat, einen Fehler feststellt und die Bearbeitung und den Transport unterbricht, wenn dieser Zustand während eines Zeitraums anhält, der ein Vielfaches der vorgegebenen Zeitabfolge überspannt, während welcher die Verarbeitung und der Transport durchgeführt werden.
Vorrichtung zur Verarbeitung eines streifenförmiges Werkstücks nach Anspruch 1, welche weiter umfasst: – einen zweiten oberen Sensor (23) und einen zweiten unteren Sensor (24), welche übereinander an Stellen unterhalb des direkten Weges zwischen Verarbeitungsteil (10) und Aufwickelspule (2) angeordnet sind, wobei die zweiten Sensoren (23, 24) ausgebildet sind, das Vorhandensein und Nichtvorhandensein des streifenförmigen Werkstücks (W) zu ermitteln, das zwischen dem Verarbeitungsteil und der Auswickelspule durchhängt; – eine Aufwickelspulen-Antriebsvorrichtung (26) zum Antreiben der Aufwickelspule und worin das Regelglied (30) ausgebildet ist, den Betrieb der Aufwickelspulen-Antriebsvorrichtung (26) zu starten, wenn sowohl der obere Sensor als auch der untere Sensor die Anwesenheit des Werkstücks festgestellt haben, und den Betrieb der Aufwickelspule zu beenden, wenn der obere Sensor die Abwesenheit des Werkstücks festgestellt hat.