CN101256364A - 曝光装置 - Google Patents

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CN101256364A CNA2008100817021A CN200810081702A CN101256364A CN 101256364 A CN101256364 A CN 101256364A CN A2008100817021 A CNA2008100817021 A CN A2008100817021A CN 200810081702 A CN200810081702 A CN 200810081702A CN 101256364 A CN101256364 A CN 101256364A
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Abstract

本发明提供一种曝光装置，通过有效地进行基板(B)和光掩模(M)及台板(5)的除尘而实现成品率高的曝光。在搬入手(3)的搬入和退避动作时，第一清洁头(1)接触台板(5)的上表面来进行除尘。第二清洁头(2)进行光掩模(M)的除尘。在除尘时通过加压装置(16)经轴承(17)对轴(22)施加载荷，该载荷向硬质连接环(23)、软质连接环(24)、辊芯(21)、清洁部(20)传递，清洁部(20)被按压在清洁面(8)上。虽然轴(22)因加压装置(16)的载荷而弯曲，但轴(22)的弯曲由软质连接环(24)吸收，从而辊芯(21)不弯曲而保持平坦的状态。由此，对清洁面的压力分布变均匀，可进行有效的清洁。

Description

曝光装置
技术领域
本发明涉及曝光装置。
背景技术
通过曝光装置在涂敷有光致抗蚀剂(photo resist)等感光材料的基板表面上感光烧结预定的图形、然后通过蚀刻工序在基板上形成图形的光刻法(photolithographic method)在各种领域中广泛使用，印刷布线基板等近年来也使用曝光装置来制造。
在印刷布线基板(print circuit board)的曝光装置中，如果在光掩模(photo mask)和基板之间存在尘埃，则存在该部分未曝光而成为不良产品的问题。
该尘埃中，有例如铜箔那样自身不具有粘着性的尘埃和干膜光致抗蚀剂(dry film photo resist)或抗焊剂(solder resist)那样自身具有粘着性的尘埃，为了除去此类尘埃而提出了在曝光装置中设置除尘装置的结构，且已知有使用粘着性辊等除尘辊来作为除尘装置的结构。
专利文献1：日本专利第3533380号
但是，在以往的使用除尘辊的除尘装置的情况下，由于是在辊轴的两端施加大的载荷(例如，对640mm的辊施加160N的载荷)来进行清洁的结构，所以辊以其端部为支点向上突出地弯曲，由此，辊对清洁对象面的压力分布变得不均匀，辊和清洁面在轴向的中央部成为非接触，存在清洁性能变差的问题。此外，在使用粘着带辊来作为除尘辊的情况下，因压力分布的不均匀而容易在粘着带辊上产生皱纹，这也成为使清洁性能变差的原因。
发明内容
本发明的目的是解决上述现有技术的问题点。
为了实现上述目的，本发明的曝光装置具备：用于载置应曝光的印刷布线用的基板的台板；和描绘有应曝光的图形的光掩模，其特征在于，该曝光装置具有：除尘辊，其一边旋转一边与上述基板、台板以及光掩模中的至少一个对象物接触来进行除尘；和将上述除尘辊按压在上述对象物上的加压装置；上述除尘辊具备：辊芯；插入该辊芯中的轴；以及配置在该轴上且支撑辊芯的连接环；上述加压装置与该轴连接并通过该轴来按压除尘辊；上述连接环具有：安装在该轴的中央部的由硬质材料制成的中央部环；和分别安装在该中央部环的两端部侧并由比上述中央部环软的材料制成的端部环。
在上述结构中，虽然加压装置与轴连接，轴因该加压而弯曲，但轴的弯曲被端部环吸收，从而可抑制辊芯的弯曲。因此，辊对清洁面的载荷均匀化，可进行有效的除尘。此外，在将粘着带辊用于辊的情况下，可抑制粘着带辊侧产生皱纹，同样可进行有效的除尘。
根据本发明的曝光装置，由于可有效地进行除尘，所以具有可实现成品率高的曝光的效果。
附图说明
图1是表示本发明一个实施方式的概要主视图。
图2是表示本发明的一个实施方式的第一清洁头1和第二清洁头2的结构的概要主视图。
图3是表示本发明的一个实施方式的第一清洁头1和第二清洁头2的结构的概要俯视图。
图4是表示本发明的一个实施方式的清洁辊11的结构的概要主视图。
图5是本发明的一个实施方式的清洁辊11的动作说明图。
符号说明
1：第一清洁头；2：第二清洁头；3：搬入手；4：搬出手；5：台板；6：掩模架；7：曝光台；8：清洁面；9：光源；10：曝光部；11：清洁辊；12：吸引集尘机；13：除电刷；16：加压装置；17：轴承；19：粘着带辊部；20：清洁部；21：辊芯；22：轴；23：硬质连接环；24：软质连接环；30：搬入部；40：搬出部。
具体实施方式
下面，根据附图来说明本发明的实施方式。
首先，对用于制造印刷布线基板的曝光装置的整体结构进行说明。
在图1中，施加有光致抗蚀剂的印刷布线基板B被载置于台板(platen)5上，可通过曝光台7在XYZ及θ方向上移动。在曝光部10中，在基板B的上方配置有在掩模架6上安装的光掩模M，进一步在其上方设有光源9。来自光源9的曝光光线将在光掩模M上描绘的图形曝光在基板B上。
在上述曝光部10的一侧设有搬入部30，从前一工序将基板B搬送到这里。在搬入部30中设有搬入手3，由该搬入手3对基板B进行吸附固定，并将基板B搬运到台板5上。
在曝光部10的另一侧设有搬出部40，构成为将在曝光部10中曝光后的基板B搬送到这里，并将其送至后一工序。在搬出部40设有搬出手4，构成为搬出手4移动到台板5上的基板B的位置，将基板B吸附固定并输送到搬出部40。
在上述搬入手3上安装有第一清洁头1。第一清洁头1安装于搬入手3的曝光部10侧，可在上下方向移动，在搬入手3的搬入和退避动作时，进行台板5和基板B的上表面的除尘。即，在搬入手3向曝光部10方向移动时，第一清洁头1在预定位置下降，接触或接近台板5的上表面，随着搬入手3的移动一边在台板5上移动一边进行除尘。当搬入手3到达台板5上方时，台板5上升，接收基板B并对其进行吸附固定而后下降。然后，搬入手3向搬入部30退避，在该退避时第一清洁头1下降，接触或接近基板B的上表面，随着搬入手3的移动一边在基板B上移动一边进行除尘。
通过以上的动作，构成为用第一清洁头1进行台板5和基板B的除尘。
在图2和图3中示出第一清洁头1的结构。后述的第二清洁头2也成为相同的结构。
第一清洁头1和第二清洁头2具备清洁辊11、吸引集尘机12及除电刷13。清洁辊11是具有粘着性的辊，主要通过该粘着辊来捕集抗蚀剂那样具有粘着性的尘埃。清洁辊11的详细结构在后面说明。
吸引集尘机12主要吸引并除去不具有粘着性的尘埃。这样，通过具备清洁辊11和吸引集尘机12两者，从而可有效地将粘着性尘埃和没有粘着性的尘埃两者都除去。
在搬入部30的曝光部10侧可升降地设有粘着带辊部19，构成为在搬入手3返回到搬入部30时，粘着带辊部19上升并接触清洁辊11，粘着带辊部19旋转，将在清洁辊11上附着的尘埃转移到粘着带辊部19上。
在该实施方式中，还具备两个除电刷13，以除去台板5表面或基板B表面(在第二清洁头2中为光掩模M)的静电。除电刷13设置在清洁辊11和吸引集尘机12的前后，一个在除尘前将静电除去以提高除尘效率。此外，另一个除电刷13在除尘后将静电除去，具有防止在除尘后尘埃再次附着的功能。
接着，对搬出手4进行说明。在搬出手4上安装有第二清洁头2。第二清洁头2安装于搬出手4的曝光部10侧，可在上下方向移动，在搬出手4向曝光部10移动和搬出动作时，进行光掩模M的除尘。即，在搬出手4向曝光部10方向移动时，第二清洁头2在预定位置上升，接触或接近光掩模M，随着搬出手4的移动一边在光掩模M上移动一边进行除尘。在搬出手4到达基板B上方时，搬出手4对基板B进行吸附固定，台板5下降。然后，搬出手4向搬出部40移动以搬出基板B，在该搬出时第二清洁头2上升，接触或接近光掩模M，随着搬出手4的移动一边在光掩模M上移动一边进行除尘。
通过以上的动作，可用第二清洁头2进行两次光掩模M的除尘。
再有，除了搬出手4向上安装之外，第二清洁头2与第一清洁头1是完全相同的结构，具备图2和图3所示的结构。此外，具备粘着带辊部19，同样地将曝光部10的尘埃转移到粘着带辊部19上。
说明以上结构中的曝光装置整体的动作。
先说明第一清洁头1的动作。首先，基板B从前一工序被搬入到搬入部30中。在搬入部30待机的搬入手3将基板B吸住(吸附固定)，搬入手3在该状态下移动(往路)到台板5上的基板交接位置。在搬入手3移动中的预定位置，第一清洁头1下降，清洁辊11接触台板5的上表面。搬入手3继续移动，清洁辊11通过移动所产生的连动旋转而旋转，将在台板5上附着的尘埃除去。同时，进行基于吸引集尘机12的集尘和基于除电刷13的除电。在搬入手3到达基板交接位置后，台板5上升，接收基板B。此时，清洁辊11处于台板5的外部位置，不与台板5接触。
接着，台板5将基板B吸附固定而下降退避。进而，搬入手3返回(返路)到搬入部30，此时，清洁辊11将在台板5上吸附固定的基板B的上表面的尘埃除去。同时，进行基于吸引集尘机12的集尘和基于除电刷13的除电。进而，在搬入手3移动中的预定位置，第一清洁头1上升并返回到原点位置。在搬入手3返回到搬入部30时，粘着带辊部19上升，接触清洁辊11，粘着带辊部19旋转，清洁辊11连动旋转，在清洁辊11上附着的尘埃转移到粘着带辊部19上。
在此期间，台板5上升，基板B和光掩模M紧贴，光源9点亮以进行曝光。
接着，说明第二清洁头2的动作。
在基板B的曝光结束时，台板5和基板B下降，搬出手4从搬出部40移动(往路)到台板5上的基板交接位置。在搬出手4移动中的预定位置，第二清洁头2上升，清洁辊11接触光掩模M，搬出手4继续移动，清洁辊11通过移动所产生的连动旋转而旋转，将在光掩模M上附着的尘埃除去。同时，进行基于吸引集尘机12的集尘和基于除电刷13的除电。在搬出手4到达基板交接位置后，曝光台7和台板5上升，搬出手4将台板5上的已完成曝光的基板B吸住(吸附固定)。进而，台板5下降退避，搬出手4移动(返路)到搬出部40。此时也与往路同样地进行基于清洁辊11和吸引集尘机12的光掩模M的除尘集尘及基于除电刷13的除电。
根据以上说明的结构，可进行基板B和台板5的除尘，且可对光掩模M关于一次曝光而进行两次除尘。特别地，具有通过台板5的除尘而可防止在基板B的曝光面的相反面上附着干膜光致抗蚀剂和抗焊剂等的效果。此外，由于具备清洁辊11和吸引集尘机12两者，所以可有效地除去粘着性的尘埃和没有粘着性的尘埃，能进行可靠的除尘。再有，由于通过除电刷13除去静电，所以可提高除尘效率，且可防止除尘后尘埃的附着。
此外，由于第一清洁头1和第二清洁头2安装于搬入手3和搬出手4上，所以具有不需要设置新的驱动机构等的效果。
如图4所示，清洁辊11具备清洁部20和辊芯21及轴22。
轴22的两端由轴承17支撑，加压装置16安装于该轴承17上，构成为将清洁辊11以预定的力按压在基板B和掩模M等的清洁面8上。
轴22隔开预定间隙地嵌插在辊芯21内，辊芯21和轴22通过硬质连接环23和软质连接环24而固定。硬质连接环23和软质连接环24的位置构成为可在轴22的轴线方向上移动，且可在任意位置由小螺钉等固定，并可调整轴线方向的位置。
硬质连接环23安装于轴22的大致中央部，且安装有两个相同的环。硬质连接环23由硬质的材料形成，使用具有通过加压装置16所产生的载荷而实质上不会变形的硬度的材料。例如，在该实施方式中，使用不锈钢材料。
另一方面，软质连接环24在硬质连接环23的两侧离开预定距离地设置，由比硬质连接环23软的材料构成，使用具有通过加压装置16所产生的载荷而变形预定量的硬度的材料。例如，在该实施方式中，使用聚氨酯橡胶材料。
在上述实施方式中，形成为安装中央部的硬质连接环23和两侧的软质连接环24、24总共三个连接环的结构基于以下的原因。即，如果仅靠中央部的硬质连接环23的支撑而使压力分布均匀，则仅中央部的压力变大，因此，为使压力均匀而需要使硬质连接环23的长度增长。但是，如果使中央部的硬质连接环23的长度增长，则硬质连接环23也随着轴22的弯曲而弯曲，该弯曲传递到轴芯21，存在相对于清洁面8而成为不均匀的压力分布的问题。
在该实施方式中构成为，不使硬质连接环23的长度增长，取而代之的是在两侧设置软质连接环24、24，在实现压力均匀化的同时，通过软质的环24、24的变形来吸收轴的弯曲。
在辊芯21的外侧设有清洁部20，通过该清洁部20来进行清洁面8的除尘。作为清洁部20，可使用硅橡胶辊和粘着带辊等。
说明清洁辊11的动作。
首先，通过加压装置16而经轴承17对轴22施加载荷。施加在轴22上的载荷向硬质连接环23、软质连接环24、辊芯21、清洁部20传递，从而清洁部20被按压在清洁面8上。
图4是施加载荷前的状态。当通过加压装置16施加载荷时，如图5所示，轴22弯曲。但是，轴22的弯曲由软质连接环24吸收，所以辊芯21不弯曲而保持平坦的状态。
如上所述，如果利用硬质连接环23仅靠辊芯21的中央部的支撑来使压力分布变均匀，则需要使硬质连接环23的长度增长。但是，如果使中央部的硬质连接环23的长度增长，则硬质连接环23也随着辊芯21的弯曲而弯曲。此外，硬质连接环23的弯曲会传递到辊芯21，其结果，相对于清洁面8成为不均匀的压力分布。
为解决上述问题，如上所述，在本实施方式中，形成为如下结构：将硬质连接环23和软质连接环24分割配置在中央部及其两侧的端部，并分别使用不同的材料。
首先，通过分割为中央部的硬质连接环23和两侧的端部的软质连接环24，从而可缩短硬质连接环23的长度，且不易跟随轴22的弯曲。
此外，硬质连接环23的材料使用硬质材料。这里是因为，如果使用软质材料，则轴22在中央部的硬质连接环23中过度下沉，轴22会与辊芯21的端部干涉。再有，由于端部的软质连接环24使用软质材料，所以如图5所示，即使轴22弯曲，也不会因压坏而对辊芯21产生影响，辊芯21不会弯曲而能够保持平坦的状态。
硬质连接环23和软质连接环24如上述那样可调整轴22上的轴线方向位置。通过该位置调整而可使清洁部20的压力分布均匀。由于形成为实际上压力分布均匀的配置，所以一边测定施加在清洁面8上的压力分布，一边使硬质连接环23和软质连接环24滑动以调整位置。开始时，可使软质连接环24也靠近中央而逐渐向端部移动。此外，由于辊芯21的长度和整体的质量、施加载荷的方向等条件，在标准的结构中，存在压力分布不均匀的情况。此时，可增加硬质连接环23和软质连接环34的数量来调整。

Claims (6)

1.一种曝光装置，该曝光装置具备：用于载置应曝光的印刷布线用的基板的台板；和描绘有应曝光的图形的光掩模，其特征在于，
该曝光装置具有：
除尘辊，其一边旋转一边与上述基板、台板以及光掩模中的至少一个对象物接触来进行除尘；和
将上述除尘辊按压在上述对象物上的加压装置；
上述除尘辊具备：辊芯；插入该辊芯中的轴；以及配置在该轴上且支撑辊芯的连接环；
上述加压装置与该轴连接并通过该轴来按压除尘辊；
上述连接环具有：安装在该轴的中央部的由硬质材料制成的中央部环；和分别安装在该中央部环的两端部侧并由比上述中央部环软的材料制成的端部环。
2.一种曝光装置，该曝光装置具备：用于载置应曝光的基板的台板；为了将该基板载置于台板上而将基板搬入的基板搬入装置；将该基板从台板搬出的基板搬出装置；以及描绘有应曝光的图形的光掩模，其特征在于，
所述曝光装置具有：
第一除尘辊，其与上述基板搬入装置连动地移动，在上述基板搬入时对上述台板进行除尘，在基板搬入后的退避时，对载置于上述台板上的基板进行除尘；
第二除尘辊，其与上述基板搬出装置连动地移动，对上述光掩模进行除尘；以及
加压装置，其将上述除尘辊按压在上述基板或光掩模上；
上述除尘辊具备：辊芯；插入该辊芯中的轴；以及配置在该轴上且支撑辊芯的连接环；
上述加压装置与该轴连接并通过该轴来按压除尘辊；
上述连接环具有：安装在该轴的中央部的由硬质材料制成的中央部环；和分别安装在该中央部环的两端部侧并由比上述中央部环软的材料制成的端部环。
3.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，
上述连接环的数量可增减。
4.根据权利要求1、2或3所述的曝光装置，其特征在于，
上述连接环可在上述轴上移动。
5.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，
上述中央部环形成为不会因上述加压装置的按压而变形；
上述端部环形成为会因上述加压装置的按压而变形。
6.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，
上述中央部环由钢材制成；
上述端部环由聚氨酯橡胶材料制成。
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