JP3533380B2 - 露光機の除塵装置及び除塵方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板と原版とを密
着してパターンを露光する露光機において、基板及び原
版に付着した塵埃等を除塵する露光機の除塵装置及び除
塵方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板を製造する場合、感光性を
有する基板と予めパターンを付した原板とを密着した状
態で紫外線等を露光機を用いて露光して、露光部又は露
光部位外の部分の導体を除去することにより、所望の導
体パターンを基板上に形成している。この場合に、原版
と基板との間にゴミやほこり等の塵埃が存在すると、そ
の部分が未露光となり、導通不良又は短絡等が生じてし
まう。これらの塵埃を手作業で取り除くのは、大変な作
業であり、また、生産性が著しく低下する。そこで、こ
れらの露光機における除塵装置について、従来から、多
くの提案がなされている。

【０００３】例えば、特許第２８１０９１１号及び特許
第２８５２３３２号では、両面同時露光を行う露光機に
おいて、２つの粘着ローラを用いて２枚の原版の除塵を
自動で行う手法が開示されている。

【０００４】また、特許第２８４７８０８号では、基板
を搬送するキャリアに原版除塵用の粘着ローラを設け、
更に露光部への搬送路途中に、基板除塵用の粘着ローラ
を設け、これら２つの粘着ローラを除塵対象物方向へ突
出動作させた状態でキャリアによって基板を搬入し、搬
入と同時に除塵を行う手法が開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した特許
第２８１０９１１号及び特許第２８５２３３２号の手法
では、原版の除塵しか行えず、また、除塵動作を基板の
搬入前に行うため、除塵動作中は、露光及び搬送動作が
中断してしまい、作業効率が悪いという問題があった。

【０００６】また、特許第２８４７８０８号の手法で
は、基板と原版それぞれのために専用の除塵装置が必要
な上に、これらの駆動源が更に各々に対して必要であ
り、装置が複雑となり、装置の単価が高くなると共に、
装置が大型となるという問題があった。

【０００７】本発明の課題は、簡単かつ確実に効率よく
基板及び原版の除塵を行うことができ、しかも小型で低
価格な露光機の除塵装置及び除塵方法を提供することで
ある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、以下のような
解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容
易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付
して説明するが、これに限定されるものではない。すな
わち、請求項１の発明は、感光性を有する基板（１１）
と予めパターンを付した原板（１２）とを密着して前記
基板の少なくとも片面を露光する露光部（２１）と、前
記基板を保持及び保持解除可能であって、前記露光部と
外部との間を往復するキャリア（１４，１５）を有し、
前記基板を前記露光部に搬入及び／又は搬出する搬送部
（２０，２２）と、を備える露光機に設けられ、前記基
板及び／又は前記原板を除塵する露光機の除塵装置であ
って、前記キャリアの搬入及び搬出動作と一体となって
動く除塵部（１６）により前記キャリアの往路中に前記
基板及び前記原板の内の一方を除塵し、前記キャリアの
復路中に残る一方を前記除塵部と同一の除塵部により除
塵すること、を特徴とする露光機の除塵装置である。

【０００９】請求項２の発明は、感光性を有する基板と
予めパターンを付した上面用及び下面用の原板とを密着
して前記基板の両面を露光する露光部と、前記基板を保
持及び保持解除可能であって、前記露光部と外部との間
を往復するキャリアを有し、前記基板を前記露光部に搬
入及び／又は搬出する搬送部と、を備える露光機に設け
られ、前記原板を除塵する露光機の除塵装置であって、
前記キャリアの搬入及び搬出動作と一体となって動く除
塵部により前記キャリアの往路中に下面用及び／又は上
面用の前記原板を除塵し、前記キャリアの復路中に上面
用及び／又は下面用の前記原版を前記除塵部と同一の除
塵部により除塵すること、を特徴とする露光機の除塵装
置である。

【００１０】

【００１１】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載の露光機の除塵装置において、前記除塵部（１
６）は、前記基板（１１）の搬入時に除塵を行うこと、
を特徴とする露光機の除塵装置である。

【００１２】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載の露光機の除塵装置におい
て、前記除塵部（１６）は、前記基板（１１）と前記原
板（１２）との間を移動すること、を特徴とする露光機
の除塵装置である。

【００１３】請求項５の発明は、請求項４に記載の露光
機の除塵装置において、前記除塵部（１６）は、少なく
とも前記キャリア（１４）の往路と復路とで前記基板
（１１）及び前記原板（１２）との距離が変化するこ
と、を特徴とする露光機の除塵装置である。

【００１４】請求項６の発明は、請求項５に記載の露光
機の除塵装置において、前記除塵部（１６）と前記基板
（１１）及び／又は前記原板（１２）との相対位置に応
じて、前記除塵部（１６）を前記基板（１１）及び／又
は前記原板（１２）との距離が変化する方向に移動させ
る駆動部（３１，３２，３４，３５，３６，３７，４
１，４２，４３，４４）を有していること、を特徴とす
る露光機の除塵装置である。

【００１５】請求項７の発明は、請求項６に記載の露光
機の除塵装置において、前記駆動部（３１，３２，３
４，３５，３６，３７）は、前記搬送動作の往路と復路
とで異なる経路を通るガイド部材（３３）によりガイド
されることにより、前記除塵部（１６）を前記基板（１
１）及び／又は前記原板（１２）との距離が変化する方
向に移動させること、を特徴とする露光機の除塵装置で
ある。

【００１６】請求項８の発明は、請求項５から請求項７
までのいずれか１項に記載の露光機の除塵装置におい
て、前記除塵部（１６）は、前記搬送動作の往路と復路
における前記除塵部の位置とは別に、それらの中間位置
に停止又は移動可能であること、を特徴とする露光機の
除塵装置である。

【００１７】請求項９の発明は、請求項６に記載の露光
機の除塵装置において、前記駆動部（４１，４２，４
３，４４）は、前記キャリア（１４）に設けられたトグ
ル機構を有し、前記除塵部（１６）は、前記トグル機構
によって、前記基板（１１）及び前記原板（１２）との
距離が変化する方向に移動すること、を特徴とする露光
機の除塵装置である。

【００１８】請求項１０の発明は、請求項６から請求項
９までのいずれか１項に記載の露光機の除塵装置におい
て、前記駆動部（３１，３２，３４，３５，３６，３
７，４１，４２，４３，４４）は、前記搬送部（１４）
の搬送動作によって駆動されていること、を特徴とする
露光機の除塵装置である。

【００１９】

【００２０】請求項１１の発明は、請求項１から請求項
１０までのいずれか１項に記載の露光機の除塵装置にお
いて、前記除塵部（１６）は、粘着性を付与したローラ
を有すること、を特徴とする露光機の除塵装置である。

【００２１】請求項１２の発明は、請求項１から請求項
１１までのいずれか１項に記載の露光機の除塵装置にお
いて、前記除塵部（１６０）は、除塵する部位の帯電を
除去するイオンエアーブロアー（１６２），塵埃を除去
する除塵ブラシ（１６１），塵埃を吸引する集塵吸引手
段（１６３）のうち、少なくともひとつを有すること、
を特徴とする露光機の除塵装置である。

【００２２】請求項１３の発明は、キャリアの搬入及び
搬出動作と一体となって動く同一の除塵部を用いて、基
板（１１）を露光部（２１）に搬入するときのキャリア
の往路中において原板（１２）の除塵を行い、前記キャ
リアの復路中において前記基板の除塵を行うこと、を特
徴とする露光機の除塵方法である。

【００２３】請求項１４の発明は、キャリアの搬入及び
搬出動作と一体となって動く同一の除塵部を用いて、基
板（１１）を露光部（２１）から搬出するときのキャリ
アの往路中及び／又は復路中において前記原板（１２）
の除塵を行い、前記基板を露光部に搬入するときの前記
キャリアの復路中において前記基板（１１）の除塵を行
うこと、を特徴とする露光機の除塵方法である。

【００２４】請求項１５の発明は、キャリアの搬入及び
搬出動作と一体となって動く同一の除塵部を用いて、基
板を露光部に搬入するときのキャリアの往路中において
下面用の原板の除塵を行い、前記基板を前記露光部に搬
入するときの前記キャリアの復路中において上面用の原
板の除塵を行うこと、を特徴とする露光機の除塵方法で
ある。

【００２５】請求項１６の発明は、キャリアの搬入及び
搬出動作と一体となって動く同一の除塵部を用いて、基
板を露光部から搬出するときのキャリアの往路中におい
て上面用の原板の除塵を行い、前記基板を前記露光部か
ら搬出するときの前記キャリアの復路中において下面用
の原板の除塵を行うこと、を特徴とする露光機の除塵方
法である。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、図面等を参照しながら、本
発明の実施の形態について、更に詳しく説明する。 （第１実施形態）図１は、本発明による露光機の除塵装
置の第１実施形態の概要を示す図である。尚、以下に示
す図面は、機構、動作等の理解を容易にするために、各
要素を適宜簡略化して示しているので、同一部品であっ
ても、各図面で図面上の形状を異ならせてある。基板１
１を露光する露光機及び除塵装置は、搬入部２０，露光
部２１，搬出部２２に分かれており、原版１２，透明板
１３，搬入キャリア１４，搬出キャリア１５，除塵ロー
ラ１６，転写ローラ１７，露光テーブル１８，光源１９
等を有している。

【００２７】基板１１は、感光性を有しており、感光し
た後に所定の処理を行うことにより、感光部又は非感光
部の導体を除去することにより、配線パターンを形成す
る基板である。

【００２８】原版１２は、パターンを付したフィルムで
あり、透明板１３に貼り付けられている。

【００２９】透明板１３は、アクリル樹脂製の、透明な
平板であり、光源１９と、露光テーブル１６との間にあ
って、上下方向に移動可能に設けられている。

【００３０】搬入キャリア１４は、基板１１を吸着し
て、搬入部２０から露光部２１に搬入する部分であり、
上下方向及び搬入方向に移動可能に設けられている。

【００３１】搬出キャリア１５は、搬入キャリア１４と
同様な構成をしており、基板１１を露光部２１から搬出
部２２に搬出する部分である。

【００３２】除塵ローラ１６は、粘着性を有するローラ
であり、搬入キャリア１４の搬入方向の移動に伴い移動
すると共に、上下方向にも移動可能に設けられている。

【００３３】転写ローラ１７は、搬入キャリア１４が搬
入部２０に位置するときに除塵ローラ１６と接触した状
態で図示しない駆動源により回転し、除塵ローラ１６に
付着した塵埃を写し取るローラであり、除塵ローラ１６
の粘着性よりも強力な粘着性を有している。

【００３４】露光テーブル１８は、基板１１が搬入キャ
リア１４によって搬入されて載置されるテーブルであ
り、この上に基板１１があるときに露光が行われる。露
光テーブル１８は、露光時に基板１１と原版１２との相
対位置の微調整を行うために、面内方向に移動可能に設
けられている。

【００３５】光源１９は、紫外線を照射する光源であ
る。

【００３６】図２は、除塵装置の動作の流れを示す図で
ある。外部から運ばれてきた基板１１が搬入部２０にあ
り、これを露光部２１に搬入するために、搬入キャリア
１４が搬入部に移動してくる（図２（ａ））。このと
き、除塵ローラ１６は、転写ローラ１７と接触し、転写
ローラ１７が図示しない駆動源より駆動力を得て回転
し、除塵ローラ１６に付着している塵埃を除去する。搬
入部には、図示しない粗位置決め装置が設けられてお
り、基板１１の位置を搬入キャリア１４に対して大まか
に合わせ、その後、搬入キャリア１４は、基板１１を吸
着する。

【００３７】次に、搬入キャリア１４は、基板１１を吸
着したまま露光部２１へ搬入する（図２（ｂ））。この
とき、除塵ローラ１６が上昇し、原版１２に接触して回
転し、原版１２に付着している塵埃の除去を行う。尚、
除塵ローラ１６の上下駆動については、後述する。

【００３８】搬入キャリア１４は、基板１１を所定の位
置まで搬入すると、下降して、基板１１を露光テーブル
１８に載置し、基板１１の吸着を解除する（図２
（ｃ））。このとき、除塵ローラ１６は、下降してお
り、露光テーブル１８と接触している。また、基板１１
は、露光テーブル１８に吸着して固定される。

【００３９】搬入キャリア１４は、基板１１の吸着を解
除した後、露光部２１から搬入部２０へ移動を開始する
（図２（ｄ））。このとき、除塵ローラ１６は、基板１
１の露光面に接触して回転し、基板１１の露光面に付着
している塵埃の除去を行う。

【００４０】図３は、除塵ローラ１６の駆動部を示す模
式図であり、図４は、除塵ローラ１６の駆動部を図３
（ａ）に対応した状態で走行方向から見た模式図であ
る。駆動部は、基部３１，ガイドローラ３２，ガイド軸
３４，圧縮ばね３５，第１移動台３６，第２移動台３７
等を有し、ガイドレール３３によってガイドされてい
る。

【００４１】基部３１は、搬入キャリア１４に接続さ
れ、搬入キャリア１４と一体で移動するベース部分であ
る。

【００４２】ガイドローラ３２は、第１移動台３６に回
転自在に設けられると共に、ガイドレール３３によって
上下方向の位置を規制され、第２移動台３７を上下方向
に移動させるローラである。

【００４３】ガイドレール３３は、図示しないベースに
固定されたレールであり、ガイドローラ３２をガイドす
るガイド部材である。

【００４４】ガイド軸３４は、第１移動台３６及び第２
移動台３７の上下方向の移動をガイドする軸であり、基
部３１に固定されている。

【００４５】圧縮ばね３５は、第１移動台３６及び第２
移動台３７に挟まれる位置であって、ガイド軸３４回り
に設けられた圧縮コイルばねである。

【００４６】第１移動台３６は、上下方向の移動が自在
となるようにガイド軸３４にガイドされており、ガイド
ローラ３２がガイドレール３３によって上下方向の位置
を規制されることによって、上下位置が決まる部材であ
る。

【００４７】第２移動台３７は、上下方向の移動が自在
となるようにガイド軸３４にガイドされており、圧縮ば
ね３５を介して第１移動台３６の上下方向の移動に伴い
上下方向に移動する部材である。また、第２移動台３７
には、除塵ローラ１６が回転自在に設けられている。

【００４８】図５は、搬入動作中の、ガイドローラ３２
とガイドレール３３との関係及び除塵ローラ１６と基板
１１，原版１２との関係を示す図である。ガイドレール
３３は、搬入キャリア１４の搬入動作の往路と復路と
で、ガイドローラ３２がガイドされる経路が異なり、往
路ガイドレール３３ａ，復路ガイドレール３３ｂ，中間
位置ガイドレール３３ｃ，斜面ガイドレール３３ｄ，３
３ｅを有している。

【００４９】搬入動作開始時には、ガイドローラ３２
は、中間位置ガイドレール３３ｃにガイドされるので、
上下方向の位置は、中間位置にある（図３（ａ））。搬
入キャリア１４が移動し、ガイドローラ３２が、往路ガ
イドレール３３ａにさしかかると、斜面ガイドレール３
３ｄによって、第１移動台３６及び第２移動台３７が上
昇する。第２移動台が所定量以上上昇すると、除塵ロー
ラ１６が原版１２又は透明板１３に接触し、除塵ローラ
１６を含む第２移動台３７は、それ以上の上昇ができな
くなる。この状態になっても更に搬入キャリア１４は、
露光部２１の方向に前進し、ガイドローラ３２を含む第
１移動台３６は、上昇を続けるので、圧縮ばね３５がチ
ャージされる。

【００５０】ガイドローラ３２が完全に往路ガイドレー
ル３３ａに乗り上げると、圧縮ばね３５は、所定量チャ
ージされ、第２移動台３７を上昇方向へ所定力量で付勢
する（図３（ｂ））。したがって、除塵ローラ１６は、
原版１２に対して所定力量で圧接されながら回転して、
原版１２に付着した塵埃を完全に除去する。

【００５１】搬入キャリア１４が更に進み、基板１１を
載置する位置に到達すると、ガイドローラ３２は、斜面
ガイドレール３３ｅにしたがい、下降するので、第１移
動台３６及び第２移動台３７も下降を行う。斜面ガイド
レール３３ｅによってガイドローラ３２は、先の中間位
置を越えて下降するので、第１移動台３６及び第２移動
台３７も中間位置を越えて下降する。第１移動台３６及
び第２移動台３７が所定量下降すると、除塵ローラ１６
が露光テーブル１８に接触し、第２移動台３７がそれ以
上下降できなくなると共に、第１移動台３６も位置規制
部３６ａが第２移動台３７に当接し、それ以上の下降が
できなくなる。よって、第１移動台３６及び第２移動台
３７の上下方向の位置は、除塵ローラ１６が露光テーブ
ル１８によって支えられることにより決まる。

【００５２】尚、斜面ガイドレール３３ｅは、回転可能
に設けられており、図示しないばねにより図５中の実線
で示した位置に付勢されており、ガイドローラ３２が通
過する際に、除塵ローラ１６，第１移動台３６及び第２
移動台３７等の自重によって押し下げられて図５中の破
線で示した位置（斜面）となり、ガイドローラ３２の通
過後は、再び元の位置に復帰する。

【００５３】搬入キャリア１４は、基板１１を露光テー
ブル１８に載置し吸着を解除した後、進行方向を反対に
して復路の動作に移行する。この場合斜面ガイドレール
３３ｅは、既に跳ね上がっており、ガイドローラ３２
は、何ら規制を受けないので、復路では、除塵ローラ１
６が露光テーブル１８及び基板１１に接触したまま回転
移動して、基板１１上の塵埃を除去する。このとき、除
塵ローラ１６には、ガイドローラ３２，第１移動台３６
及び第２移動台３７等の自重が掛かっているので、除塵
ローラ１６が適度な押圧力を受けて基板１１に接触し、
除塵を効果的に行うことができる。

【００５４】基板１１の除塵が完了した後、ガイドロー
ラ３２は、斜面ガイドレール３３ｂにさしかかると斜面
に沿って上昇するので、第１移動台３６及び第２移動台
３７も上昇し、除塵ローラ１６は、基板１１及び露光テ
ーブル１８から離れる。このとき、斜面ガイドレール３
３ｄがガイドローラ３２の進路上にあるが、斜面ガイド
レール３３ｄは、回転可能に取り付けられており、ガイ
ドローラ３２は、斜面ガイドレール３３ｄを押し上げて
進むことができる。

【００５５】本実施形態によれば、一つの除塵ローラ１
６を用いて、搬入キャリア１４の往路において原版１２
の除塵を行い、復路において基板１１の除塵を行うの
で、除塵のために工程時間を設ける必要がなく、効率よ
く除塵及び露光工程を行うことができる上、装置を小型
で低価格にすることができる。また、除塵ローラ１６の
駆動は、搬入キャリア１４の駆動力を利用して行うの
で、新たにアクチュエータを設ける必要がなく、装置を
更に小型で低価格にすることができる。

【００５６】（第２実施形態）図６は、第２実施形態に
おける除塵ローラ１６の駆動部の概要と動作を説明する
図である。第２実施形態は、除塵ローラ１６の駆動部の
みが異なるので、第１実施形態と共通する部分の説明は
省略する。除塵ローラ１６の駆動部は、ローラ支持腕４
１，引張ばね４２，第１ストライカ４３，第２ストライ
カ４４等を備えている。

【００５７】ローラ支持腕４１は、搬入キャリア１４に
回転可能に取り付けられ、先端に除塵ローラ１６を配置
している。また、ローラ支持腕４１は、切替レバー４１
ａ，４１ｂを有している。

【００５８】引張ばね４２は、一端が搬入キャリア１４
に掛けられ、他端がローラ支持腕４１に掛けられた引張
コイルばねであり、除塵ローラ１６が原版１２と露光テ
ーブル１８とのほぼ中間位置にあるときに最も引き延ば
されるように設けられており、この中間位置を切替ポイ
ントとして、除塵ローラ１６を原版１２側又は露光テー
ブル１８側に付勢する方向を切り替えるトグル切替機構
をローラ支持腕４１と共に構成している。

【００５９】第１ストライカ４３は、搬入部２０近辺に
設けられ、搬入部２０側から切替レバー４１ａに当接す
るときには、除塵ローラ１６の位置を切り替えると共
に、逆方向から（露光部２１側から）切替レバー４１ａ
に当接するときには、自らが回転移動して退避する部材
である。

【００６０】第２ストライカ４４は、搬出部２２付近に
設けられ、搬出部２０側から切替レバー４１ｂに当接す
るときには、除塵ローラ１６の位置を切り替えると共
に、逆方向から（露光部２１側から）切替レバー４１ｂ
に当接するときには、自らが回転移動して退避する部材
である。

【００６１】次に、本実施形態における除塵ローラ１６
及び駆動部の動作について説明する。搬入部２０におい
て、搬入キャリア１４が基板１１を吸着し、露光部２１
方向に移動を開始すると（図６（ａ））、切替レバー４
１ａがストライカ４３に当接する。この方向で切替レバ
ー４１ａがストライカ４３に当接すると、ストライカ４
３の回転移動は、規制部４５によって規制される。した
がって、ストライカ４３によって、切替レバー４１ａを
介して支持腕４１が回転させられ、トグル機構の作用に
よって、除塵ローラ１６の位置が切り替わり、除塵ロー
ラ１６は、原版１２側に付勢される。

【００６２】搬入キャリア１４が搬入部２０から露光部
２１へ移動中には、除塵ローラ１６は、原版１２上に付
着している塵埃の除去を行う（図６（ｂ））。

【００６３】搬入キャリア１４が露光部２１に到達する
ときに（図６（ｂ）〜図６（ｃ））、切替レバー４１ｂ
がストライカ４４に当接するが、この方向で当接した場
合には、ストライカ４４は、自らが回転移動して退避す
るので、除塵ローラ１６の上下方向の位置はそのままで
ある。

【００６４】搬入キャリア１４が露光部２１に到着し
（図６（ｃ））、基板１１を露光テーブル１８上に載置
して吸着を解除した後、搬入キャリア１４は、進行方向
を逆にして搬入部２０方向へ移動を開始する（図６
（ｃ）〜図６（ｄ））。このとき、切替レバー４１ｂが
ストライカ４４に当接するが、今度は、ストライカ４４
の回転移動が規制部４６によって規制されている。した
がって、ストライカ４４によって、切替レバー４１ｂを
介して支持腕４１が回転させられ、トグル機構の作用に
よって、除塵ローラ１６の位置が切り替わり、除塵ロー
ラ１６は、基板１１側に付勢される。

【００６５】搬入キャリア１４が露光部２１から搬入部
２０へ移動中には、除塵ローラ１６は、基板１１上に付
着している塵埃の除去を行う（図６（ｄ））。

【００６６】最後に、搬入キャリア１４が搬入部２０に
到着するとき（図６（ｄ）〜図６（ａ））は、切替レバ
ー４１ａがストライカ４３に当接するが、この場合に
は、ストライカ４３が退避するので、除塵ローラ１６の
上下方向の位置は、そのままである。

【００６７】本実施形態によれば、トグル機構を利用し
て、除塵ローラ１６の駆動を行うので、駆動部が更に簡
単になり、一層小型で低価格な露光機の除塵装置を得る
ことができる。

【００６８】（第３実施形態）図８は、第３実施形態に
おける除塵ユニット１６０を示す図であり、図８（ａ）
は、露光機上方から除塵ユニット１６０を見た図であ
り、図８（ｂ）は、搬入キャリア１４の往路における露
光部２１付近の除塵ユニット１６０を側面から見た図で
ある。本実施形態における露光機は、第１実施形態にお
ける露光機の除塵部である除塵ローラ１６を除塵ユニッ
ト１６０に置き換えたものであるので、第１実施形態と
共通する部分の説明は省略する。

【００６９】除塵ユニット１６０は、除塵ブラシ１６
１，イオンエアーブロアー１６２，集塵吸引ダクト１６
３，モータ１６４等を備えた除塵部である。除塵ユニッ
ト１６０は、第１実施形態における除塵ローラ１６と同
様に、搬入キャリア１４の搬入方向の移動に伴い移動す
ると共に、上下方向にも移動可能に設けられている。
尚、第１実施形態における除塵ローラ１６の代わりに除
塵ユニット１６０を使用するので、第１実施形態におけ
る転写ローラ１７は、本実施形態では、設けていない。

【００７０】除塵ブラシ１６１は、モータ１６４により
回転駆動力を得て回転し、基板１１及び原版１２の除塵
を行うブラシである。

【００７１】イオンエアーブロアー１６２は、イオン化
したエアーを基板１１，原版１２及び除塵ブラシ１６１
に吹きつけて、これらの帯電を除去し、帯電を防止する
役割を果たしている。

【００７２】集塵吸引ダクト１６３は、エアー吸引する
ことにより、基板１１，原版１２及び除塵ブラシ１６１
から塵埃を除去し、図示しない集塵部部分へ塵埃を送る
集塵吸引手段である。

【００７３】モータ１６４は、除塵ブラシ１６１の回転
軸線上に設けられ、除塵ブラシ１６１を駆動するモータ
である。尚、モータ１６４は、単体のモータでなくても
よく、歯車などを組合わせて適宜減速等を行うようにし
てもよい。

【００７４】除塵ブラシ１６１は、搬入キャリア１４の
往路又は復路において原版１２又は基板１１に接すると
きに、原版１２又は基板１１の除塵を行う。このとき
に、イオンエアーブロアー１６２及び集塵吸引ダクト１
６３も除塵ブラシ１６１と共に原版１２又は基板１１に
接近して、除塵を確実に行えるようになっている。

【００７５】本実施形態によれば、一つの除塵ユニット
１６０を用いて、搬入キャリア１４の往路において原版
１２の除塵を行い、復路において基板１１の除塵を行う
ので、除塵のために工程時間を設ける必要がなく、効率
よく除塵及び露光工程を行うことができる上、装置を小
型で低価格にすることができる。また、除塵ブラシ１６
１の駆動は、除塵ブラシ１６１の回転軸線上に設けられ
たモータ１６４によって行うので、装置を小型にするこ
とができる。更に、除塵ブラシ１６１に加えて、イオン
エアーブロアー１６２及び集塵吸引ダクト１６３を備え
るので、除塵を確実に行うことができる。

【００７６】（変形形態）以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。 （１）第１実施形態において、ガイドレール３３は、固
定されており、搬入キャリア１４の往路と復路で経路が
異なることにより、除塵ローラ１６を上下させる例を示
したが、これに限らず、例えば、図７（ａ）に示すよう
な、エアシリンダ又は油圧シリンダ等のアクチュエータ
５０と、リンク５１，５２等とを組み合わせて、ガイド
レール３３自身を上下駆動させてもよい。

【００７７】また、この場合に、搬入キャリア１４の往
路と復路とのレール位置の他に、これらの中間の位置に
も止まるようにしてもよい。このようにすることで、除
塵ローラ１６が基板１１及び原版１２に接触しない状態
とすることができ、露光機のメンテナンス等の作業を容
易に行うことができる。この場合の具体的な例を、図７
（ｂ）に示す。図７（ｂ）のように、アクチュエータ５
０の代わりに２つのアクチュエータ５０ａ，５０ｂを背
中合わせで設ければ、各々のアクチュエータのＯＮ，Ｏ
ＦＦの組合せによって、中間位置を設けることができ、
位置センサなどを使用したフィードバック制御等を行う
必要がなくなる。尚、図７(ａ)に示したアクチュエータ
５０を使用して、中間位置で停止可能なように制御を行
ってもよい。更に、リンクを用いずに、アクチュエータ
でガイドレール３３を直接駆動するようにしてもよい。

【００７８】（２）各実施形態において、搬入キャリア
１４が基板１１を搬入するときに除塵を行う例を示した
が、これに限らず、例えば、搬出キャリア１５が基板１
１を露光部２１から搬出するときの往路及び／又は復路
において原板１２の除塵を行い、搬入キャリア１４が基
板１１を露光部２１に搬入するときの復路において基板
１１の除塵を行うようにしてもよい。

【００７９】（３）各実施形態において、片面露光機に
本発明を適用した例を示したが、これに限らず、例え
ば、両面露光機に本発明を適用してもよい。この場合、
例えば、一つの除塵部を用いて上面用の原版と下面用の
原版の除塵を行い、基板は、従来の方法によって、搬入
前に除塵すれば、各実施形態と同様な構成によって、除
塵装置を設けることができる。

【００８０】（４）第３実施形態において、除塵ユニッ
ト１６０は、除塵ブラシ１６１，イオンエアーブロアー
１６２，集塵吸引ダクト１６３を備えた例を示したが、
これに限らず、例えば、イオンエアーブロアー１６２を
除く除塵ブラシ１６１と集塵吸引ダクト１６３としても
よいし、除塵ブラシ１６１を除くイオンエアーブロアー
１６２と集塵吸引ダクト１６３としてもよく、除塵を行
う手段は、除塵ローラ１６も含めて、単独で又は適宜選
択して組合わせて使用してもよいし、他の除塵手段を用
いてもよい。

【００８１】（５）第３実施形態において、除塵ユニッ
ト１６０を駆動する機構は、第１実施形態と同様な機構
によって行う例を示したが、これに限らず、例えば、第
２実施形態と同様な機構としてもよい。

【００８２】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、以下の効果を奏することができる。 （１） キャリアの往路中に基板及び原板の内の一方を除
塵し、キャリアの復路中に残る一方を除塵するので、搬
送と除塵とを同時に行うことができ、一枚の基板の露光
に要する時間を短縮することができる。

【００８３】（２）両面露光機において、キャリアの往
路中に下面用及び／又は上面用の原板を除塵し、キャリ
アの復路中に上面用及び／又は下面用の原版を除塵する
ので、搬送と同時に原版の除塵をすることができ、一枚
の基板の露光に要する時間を短縮することができる。

【００８４】（３）基板及び原版の除塵は、同一の除塵
部によって行われるので、除塵装置を小型で低価格にす
ることができる。

【００８５】（４）除塵部は、基板の搬入時に除塵を行
うので、露光の直前に除塵を行うことができ、露光時に
塵埃を基板又は原版に残さずに露光をすることができ
る。

【００８６】（５）除塵部は、基板と原板との間を移動
するので、確実に塵埃を除去することができ、かつ、ス
ペースを有効に利用するので、除塵装置を小型にするこ
とができる。

【００８７】（６）除塵部は、少なくともキャリアの往
路と復路とで基板及び原板との距離が変化するので、基
板及び原版を往路と復路とで別々に除塵することを容易
に行うことができる。

【００８８】（７）除塵部と基板及び／又は原板との相
対位置に応じて、除塵部を基板及び原板との距離が変化
する方向に移動させる駆動部を有しているので、基板及
び原版を往路と復路とで別々に除塵することを確実に行
うことができる。

【００８９】（８）駆動部は、搬送動作の往路と復路と
で異なる経路を通るガイド部材によりガイドされるの
で、除塵部を基板及び原板との距離が変化する方向に移
動させることを、簡単な構成で行うことができる。

【００９０】（９）前記除塵部は、中間位置に停止又は
移動可能であるので、露光機のメンテナンスを行うとき
等に作業を容易に行うことができる。

【００９１】（１０）駆動部は、キャリアに設けられた
トグル機構を有するので、除塵部を基板及び原板との距
離が変化する方向に移動させることを、簡単な構成で行
うことができる。

【００９２】（１１）駆動部は、搬送部の搬送動作によ
って駆動されているので、除塵部を基板及び原板との距
離が変化する方向に移動させることを、新たなアクチュ
エータを用いずに行うことができる。

【００９３】（１２）除塵部は、キャリアに設けられて
いるので、容易に除塵部の移動を搬送部の動作と同期さ
せることができる。

【００９４】（１３）除塵部は、粘着性を付与したロー
ラを有するので、安価な構成で確実に除塵を行うことが
できる。

【００９５】（１４）除塵部は、イオンエアーブロア
ー，除塵ブラシ，集塵吸引手段のうち、少なくともひと
つを有するので、確実に除塵を行うことができる。

【００９６】（１５）基板を露光部に搬入するときの往
路において原板の除塵を行い、復路において基板の除塵
を行うので、搬送と除塵とを同時に行うことができ、一
枚の基板の露光に要する時間を短縮することができる。

【００９７】（１６）基板を露光部から搬出するときの
往路及び／又は復路において原板の除塵を行い、基板を
露光部に搬入するときの復路において基板の除塵を行う
ので、搬送と除塵とを同時に行うことができ、一枚の基
板の露光に要する時間を短縮することができる。また、
基板と原版とを異なる除塵部で除塵するようにしても、
除塵装置を小型にすることができる。

【００９８】（１７）基板を露光部に搬入するときの往
路において下面用の前記原板の除塵を行い、前記基板を
露光部に搬入するときの復路において上面用の前記基板
の除塵を行うので、両面露光機において、搬入と同時に
原版の除塵を行うことができ、一枚の基板の露光に要す
る時間を短縮することができる。

【００９９】（１８）基板を露光部から搬出するときの
往路において上面用の前記原板の除塵を行い、前記基板
を露光部から搬出するときの復路において下面用の前記
基板の除塵を行うので、両面露光機において、搬出と同
時に原版の除塵を行うことができ、一枚の基板の露光に
要する時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による露光機の除塵装置の第１実施形態
の概要を示す図である。

【図２】除塵装置の動作の流れを示す図である。

【図３】除塵ローラ１６の駆動部を示す模式図である。

【図４】除塵ローラ１６の駆動部を図３（ａ）に対応し
た状態で走行方向から見た模式図である。

【図５】搬入動作中の、ガイドローラ３２とガイドレー
ル３３との関係及び除塵ローラ１６と基板１１，原版１
２との関係を示す図である。

【図６】第２実施形態における除塵ローラ１６及び駆動
部の動作を説明する図である。

【図７】ガイドレール３３の変形形態を示す図である。

【図８】第３実施形態における除塵ユニット１６０を示
す図である。

【符号の説明】

１１ 基板 １２ 原版 １４ 搬入キャリア １５ 搬出キャリア １６ 除塵ローラ １７ 転写ローラ １８ 露光テーブル １９ 光源 ２０ 搬入部 ２１ 露光部 ２２ 搬出部 ３２ ガイドローラ ３３ ガイドレール ４１ ローラ支持腕 ４１ａ，４１ｂ 切替レバー ４２ 引張ばね ４３ 第１ストライカ ４４ 第２ストライカ １６０ 除塵ユニット １６１ 除塵ブラシ １６２ イオンエアーブロアー １６３ 集塵吸引ダクト

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/20 - 7/24 G03F 9/00 - 9/02

Claims (16)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光性を有する基板と予めパターンを付
   した原板とを密着して前記基板の少なくとも片面を露光
   する露光部と、 前記基板を保持及び保持解除可能であって、前記露光部
   と外部との間を往復するキャリアを有し、前記基板を前
   記露光部に搬入及び／又は搬出する搬送部と、 を備える露光機に設けられ、前記基板及び／又は前記原
   板を除塵する露光機の除塵装置であって、前記キャリアの搬入及び搬出動作と一体となって動く除
   塵部により 前記キャリアの往路中に前記基板及び前記原
   板の内の一方を除塵し、前記キャリアの復路中に残る一
   方を前記除塵部と同一の除塵部により除塵すること、 を特徴とする露光機の除塵装置。
2. 【請求項２】 感光性を有する基板と予めパターンを付
   した上面用及び下面用の原板とを密着して前記基板の両
   面を露光する露光部と、 前記基板を保持及び保持解除可能であって、前記露光部
   と外部との間を往復するキャリアを有し、前記基板を前
   記露光部に搬入及び／又は搬出する搬送部と、 を備える露光機に設けられ、前記原板を除塵する露光機
   の除塵装置であって、前記キャリアの搬入及び搬出動作と一体となって動く除
   塵部により 前記キャリアの往路中に下面用及び／又は上
   面用の前記原板を除塵し、前記キャリアの復路中に上面
   用及び／又は下面用の前記原版を前記除塵部と同一の除
   塵部により除塵すること、 を特徴とする露光機の除塵装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の露光機の
   除塵装置において、 前記除塵部は、前記基板の搬入時に除塵を行うこと、 を特徴とする露光機の除塵装置。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれか１
   項に記載の露光機の除塵装置において、 前記除塵部は、前記基板と前記原板との間を移動するこ
   と、 を特徴とする露光機の除塵装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の露光機の除塵装置にお
   いて、 前記除塵部は、少なくとも前記キャリアの往路と復路と
   で前記基板及び前記原板との距離が変化すること、 を特徴とする露光機の除塵装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の露光機の除塵装置にお
   いて、 前記除塵部と前記基板及び／又は前記原板との相対位置
   に応じて、前記除塵部を前記基板及び／又は前記原板と
   の距離が変化する方向に移動させる駆動部を有している
   こと、 を特徴とする露光機の除塵装置。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の露光機の除塵装置にお
   いて、 前記駆動部は、前記搬送動作の往路と復路とで異なる経
   路を通るガイド部材によりガイドされることにより、前
   記除塵部を前記基板及び／又は前記原板との距離が変化
   する方向に移動させること、 を特徴とする露光機の除塵装置。
8. 【請求項８】 請求項５から請求項７までのいずれか１
   項に記載の露光機の除塵装置において、 前記除塵部は、前記搬送動作の往路と復路における前記
   除塵部の位置とは別に、それらの中間位置に停止又は移
   動可能であること、 を特徴とする露光機の除塵装置。
9. 【請求項９】 請求項６に記載の露光機の除塵装置にお
   いて、 前記駆動部は、前記キャリアに設けられたトグル機構を
   有し、 前記除塵部は、前記トグル機構によって、前記基板及び
   前記原板との距離が変化する方向に移動すること、 を特徴とする露光機の除塵装置。
10. 【請求項１０】 請求項６から請求項９までのいずれか
    １項に記載の露光機の除塵装置において、 前記駆動部は、前記搬送部の搬送動作によって駆動され
    ていること、 を特徴とする露光機の除塵装置。
11. 【請求項１１】 請求項１から請求項１０までのいずれ
    か１項に記載の露光機の除塵装置において、 前記除塵部は、粘着性を付与したローラを有すること、 を特徴とする露光機の除塵装置。
12. 【請求項１２】 請求項１から請求項１１までのいずれ
    か１項に記載の露光機の除塵装置において、 前記除塵部は、除塵する部位の帯電を除去するイオンエ
    アーブロアー，塵埃を除去する除塵ブラシ，塵埃を吸引
    する集塵吸引手段のうち、少なくともひとつを有するこ
    と、 を特徴とする露光機の除塵装置。
13. 【請求項１３】 キャリアの搬入及び搬出動作と一体と
    なって動く同一の除塵部を用いて、基板を露光部に搬入
    するときのキャリアの往路中において原板の除塵を行
    い、前記キャリアの復路中において前記基板の除塵を行
    うこと、 を特徴とする露光機の除塵方法。
14. 【請求項１４】 キャリアの搬入及び搬出動作と一体と
    なって動く同一の除塵部を用いて、基板を露光部から搬
    出するときのキャリアの往路中及び／又は復路中におい
    て原板の除塵を行い、 前記基板を前記露光部に搬入するときの前記キャリアの
    復路中において前記基板の除塵を行うこと、 を特徴とする露光機の除塵方法。
15. 【請求項１５】 キャリアの搬入及び搬出動作と一体と
    なって動く同一の除塵部を用いて、基板を露光部に搬入
    するときのキャリアの往路中において下面用の原板の除
    塵を行い、 前記基板を前記露光部に搬入するときの前記キャリアの
    復路中において上面用の原板の除塵を行うこと、 を特徴とする露光機の除塵方法。
16. 【請求項１６】 キャリアの搬入及び搬出動作と一体と
    なって動く同一の除塵部を用いて、基板を露光部から搬
    出するときのキャリアの往路中において上面用の原板の
    除塵を行い、 前記基板を前記露光部から搬出するときの前記キャリア
    の復路中において下面用の原板の除塵を行うこと、 を特徴とする露光機の除塵方法。