CN111842257A - 自动清洁底片装置 - Google Patents

自动清洁底片装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111842257A
CN111842257A CN201910359760.4A CN201910359760A CN111842257A CN 111842257 A CN111842257 A CN 111842257A CN 201910359760 A CN201910359760 A CN 201910359760A CN 111842257 A CN111842257 A CN 111842257A
Authority
CN
China
Prior art keywords
dust
cleaning
roller
paper roll
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910359760.4A
Other languages
English (en)
Inventor
尹作均
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
C Sun Manufacturing Ltd
Original Assignee
C Sun Manufacturing Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by C Sun Manufacturing Ltd filed Critical C Sun Manufacturing Ltd
Priority to CN201910359760.4A priority Critical patent/CN111842257A/zh
Publication of CN111842257A publication Critical patent/CN111842257A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B08B1/32—
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor

Abstract

本发明公开一种自动清洁底片装置，包含基座、设置于基座的台框、及设置于基座并位于台框一侧的清洁模块。所述清洁模块包含设置于基座并邻近于台框的驱动机构、安装于驱动机构的黏尘滚轮、及位置对应于黏尘滚轮的除尘纸卷。所述黏尘滚轮能被驱动机构的气缸组驱动而沿高度方向移动，所述黏尘滚轮能被驱动机构的线性马达组驱动而沿垂直高度方向的黏尘方向移动，用以能够滚动地清洁位于台框上底片。所述除尘纸卷的黏着力大于黏尘滚轮的黏着力，除尘纸卷与黏尘滚轮能够相对地移动，以使除尘纸卷清洁黏尘滚轮。据此，台框上的底片能够被自动清洁底片装置所自动清洁，进而达到降低人力需求并有效地提升曝光设备的生产效率。

Description

自动清洁底片装置
技术领域
本发明涉及一种曝光设备，尤其涉及应用于曝光设备中的一种自动清洁底片装置。
背景技术
现有的曝光设备在进行多个曝光作业之后，现有曝光设备内的台框上的底片都需要人工进行清洁，此不但耗费时间，也使得现有曝光设备的生产效率难以被进一步地提升。
于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。
发明内容
本发明实施例在于提供一种自动清洁底片装置，其能有效地改善现有曝光设备所可能产生的缺陷。
本发明实施例公开一种自动清洁底片装置，包括：一基座；一台框，设置于所述基座，并用来供一底片设置；以及一清洁模块，设置于所述基座并位于所述台框的一侧，所述清洁模块包含有：一驱动机构，设置于所述基座并邻近于所述台框，并且所述驱动机构包含有一线性马达组及一气缸组；一黏尘滚轮，安装于所述驱动机构，并且所述黏尘滚轮能被所述气缸组驱动而沿一高度方向移动，所述黏尘滚轮能被所述线性马达组驱动而沿垂直所述高度方向的一黏尘方向移动，用以能够进行一底片清洁作业来滚动地清洁位于所述台框上的所述底片；及一除尘纸卷，位置对应于所述黏尘滚轮，并且所述除尘纸卷的一黏着力大于所述黏尘滚轮的一黏着力；其中，所述除尘纸卷与所述黏尘滚轮能够相对地移动，以使所述除尘纸卷进行一滚轮清洁作业来清洁所述黏尘滚轮。
优选地，所述除尘纸卷呈螺旋状卷绕，并且所述除尘纸卷可选择性地移除其部分，以维持所述除尘纸卷的所述黏着力大于所述黏尘滚轮的所述黏着力。
优选地，于所述滚轮清洁作业中，所述黏尘滚轮具有能够受所述除尘纸卷压迫而形成的一预压量，并且所述除尘纸卷的厚度大于所述预压量。
优选地，所述清洁模块包含有设置于所述基座的一动力组件，并且所述动力组件包含：一气缸，连动于所述除尘纸卷，以使所述除尘纸卷能沿所述高度方向而相对于所述黏尘滚轮移动；一限位杆，位于所述气缸的一侧，并且所述除尘纸卷能通过所述限位杆而以一预定距离相对于所述黏尘滚轮移动；及一马达，连动于所述除尘纸卷，并且所述除尘纸卷能被所述马达驱使而转动，用以进行所述滚轮清洁作业。
优选地，所述基座包含有对应于所述动力组件设置的一快拆机构，并且所述快拆机构包含有一定位端部及能够相对于所述定位端部移动的一快拆端部，所述定位端部连接于所述除尘纸卷的一端，并且所述快拆端部可操控地连接于所述除尘纸卷的另一端。
优选地，所述自动清洁底片装置包含有另一清洁模块，并且两个所述清洁模块分别位于所述台框的相反两侧；两个所述清洁模块的其中一个所述清洁模块在进行所述底片清洁作业的过程中，其中另一个所述清洁模块能够进行所述滚轮清洁作业。
优选地，所述自动清洁底片装置包含有另一台框，用来供另一底片设置；两个所述台框彼此面对面设置，而两个所述清洁模块分别位于两个所述台框的相反两侧；其中，两个所述清洁模块能用来分别清洁位于两个所述台框上的两个所述底片。
本发明实施例也公开一种自动清洁底片装置，包括：一基座；一台框，设置于所述基座，并用来供一底片设置；一驱动机构，设置于所述基座并邻近于所述台框，并且所述驱动机构包含有一线性马达组及一气缸组；以及一黏尘滚轮，安装于所述驱动机构，并且所述黏尘滚轮能被所述气缸组驱动而沿一高度方向移动，所述黏尘滚轮能被所述线性马达组驱动而沿垂直所述高度方向的一黏尘方向移动，用以能够进行一底片清洁作业来滚动地清洁位于所述台框上的所述底片。
优选地，所述自动清洁底片装置包含有分别位于所述台框相反两侧的两个除尘纸卷，并且所述黏尘滚轮沿所述黏尘方向的一动作路径，其相反两侧位置分别位于两个所述除尘纸卷的下方；任一个所述除尘纸卷与所述黏尘滚轮能够相对地移动，以进行一滚轮清洁作业来清洁所述黏尘滚轮。
优选地，所述自动清洁底片装置包含有另一台框，用来供另一底片设置；两个所述台框彼此面对面设置，而两个所述除尘纸卷分别位于两个所述台框的相反两侧；其中，所述黏尘滚轮能用来依序清洁位于两个所述台框上的两个所述底片。
综上所述，本发明实施例所公开的自动清洁底片装置，能通过在台框旁设有清洁模块(如：驱动机构及黏尘滚轮)，据以使台框上的底片能够被自动清洁底片装置所自动清洁，进而达到降低人力需求并有效地提升曝光设备的生产效率。其中，所述自动清洁底片装置中的清洁模块来能通过除尘纸卷来对黏尘滚轮进行清洁，进而有效地提升自动清洁底片装置的运作效率。
为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。
附图说明
图1为本发明实施例一的自动清洁底片装置的立体示意图。
图2为图1的侧视示意图。
图3为图1的自动清洁底片装置进行底片清洁作业的侧视示意图。
图4为图1的自动清洁底片装置进行滚轮清洁作业的侧视示意图。
图5为图1的自动清洁底片装置进行除尘纸卷裁切的侧视示意图。
图6为本发明实施例二的自动清洁底片装置的侧视示意图。
图7为图6的自动清洁底片装置于进行底片清洁作业与滚轮清洁作业的侧视示意图。
图8为本发明实施例三的自动清洁底片装置的侧视示意图。
图9为图8的自动清洁底片装置于两个台框进行底片清洁作业的侧视示意图。
图10为本发明实施例四的自动清洁底片装置的侧视示意图。
图11为本发明实施例五的自动清洁底片装置的侧视示意图。
图12为图11的自动清洁底片装置进行滚轮清洁作业的侧视示意图。
图13为本发明实施例六的自动清洁底片装置的侧视示意图。
图14为图13的自动清洁底片装置于其中一个台框进行底片清洁作业的侧视示意图。
图15为图13的自动清洁底片装置于其中另一个台框进行底片清洁作业的侧视示意图。
具体实施方式
请参阅图1至图15，其为本发明的实施例，需先说明的是，本实施例对应附图所提及的相关数量与外型，仅用来具体地说明本发明的实施方式，以便于了解本发明的内容，而非用来局限本发明的保护范围。
[实施例一]
如图1至图5所示，其为本发明的实施例一。本实施例公开一种自动清洁底片装置100，其适用于一曝光设备中，用以在上述曝光设备进行至少一次曝光作业之后进行其内的底片清洁。其中，所述自动清洁底片装置100包含有一基座2、设置于所述基座2的一台框3、设置于所述基座2并位于台框3一侧(如：图2中的台框3左侧)的一清洁模块1。
所述基座2用来设置于一工作面(如：地面)上、并形成能够承载各种组件(如：台框3与清洁模块1)的构造；也就是说，上述基座2的实际构造能依据设计需求而加以调整变化，本发明在此不加以限制。所述台框3于本实施例中是可拆卸地安装于上述基座2、并用来供一底片F设置，以使上述底片F能用来进行一曝光作业。
所述清洁模块1包含有一驱动机构11、安装于所述驱动机构11的一黏尘滚轮12、位置对应于所述黏尘滚轮12的一除尘纸卷13、及连接于上述黏尘滚轮12的一动力组件14。
所述驱动机构11设置于上述基座2并邻近于台框3，并且驱动机构11包含有用来驱使黏尘滚轮12操作的一线性马达组111(如包含有马达、线轨、及其他相关构件)及一气缸组112。其中，所述黏尘滚轮12能被上述气缸组112驱动而沿一高度方向H移动，并且所述黏尘滚轮12能被线性马达组111驱动而沿垂直高度方向H的一黏尘方向P移动，用以能够进行一底片清洁作业来滚动地清洁位于所述台框3上的底片F。
更详细地说，所述黏尘滚轮12呈圆柱状并以具备弹性的材质形成有黏尘表面(未标示)，以使黏尘滚轮12能通过气缸组112而压抵于台框3上的底片F，并以线性马达组111驱使黏尘滚轮12滚动地压过上述底片F。据此，上述黏尘滚轮12的黏尘表面能将附着于底片F上的污染物(图未示)黏着于其上，而达到清洁底片F的效果。
所述除尘纸卷13的位置于本实施例中是在黏尘滚轮12的正上方，并且所述除尘纸卷13的一黏着力大于上述黏尘滚轮12的一黏着力，但本发明不受限于此。其中，所述除尘纸卷13于本实施例中是呈螺旋状卷绕，并且除尘纸卷13可选择性地移除其部分，以维持所述除尘纸卷13的黏着力大于上述黏尘滚轮12的黏着力。也就是说，所述除尘纸卷13能够将其黏着有较多污染物的部分移除。
进一步地说，所述除尘纸卷13与黏尘滚轮12能够相对地移动，以使所述除尘纸卷13进行一滚轮清洁作业来清洁上述黏尘滚轮12，据以将黏着于所述黏尘滚轮12的污染物改为黏着在除尘纸卷13上，进而利于黏尘滚轮12进行后续的底片清洁作业。而于上述滚轮清洁作业中，所述黏尘滚轮12具有能够受除尘纸卷13压迫而形成的一预压量，并且所述除尘纸卷13的厚度大于所述预压量，据以使得上述除尘纸卷13被移除部分之后，还是能够有效地用来进行所述滚轮清洁作业。
更详细地说，上述黏尘滚轮12与除尘纸卷13的相对移动于本实施例是以所述动力组件14驱使除尘纸卷13朝向黏尘滚轮12移动而达成，但本发明不限于此。举例来说，在本发明未绘示的其他实施例中，所述清洁模块1、1’也可以省略所述动力组件14，并且上述黏尘滚轮12与除尘纸卷13的相对移动可以是通过驱动机构11以驱使黏尘滚轮12朝向除尘纸卷13移动而达成，据以实现所述滚轮清洁作业。
而于本实施例中，所述动力组件14设置于上述基座2，并且所述动力组件14包含一气缸141、位于所述气缸141的一侧的至少一个限位杆142(本实施例是以两个限位杆142来说明)、及一马达143。其中，所述气缸141连动于上述除尘纸卷13，以使所述除尘纸卷13能沿上述高度方向H而相对于所述黏尘滚轮12移动。所述除尘纸卷13能通过所述限位杆142而以一预定距离相对于黏尘滚轮12移动。所述马达143连动于除尘纸卷13，并且所述除尘纸卷13能被马达143驱使而转动，用以进行所述滚轮清洁作业。
换个角度来说，所述除尘纸卷13能被气缸141驱使而朝着黏尘滚轮12移动，并且所述除尘纸卷13受到限位杆142的限制而在移动所述预定距离之后压抵于上述黏尘滚轮12，以使黏尘滚轮12具有上述预压量。此时，所述马达143驱使除尘纸卷13自转而清洁上述黏尘滚轮12，据以使除尘纸卷13将附着于黏尘滚轮12上的污染物(图未示)黏着于其上，而达到清洁黏尘滚轮12的效果。
需说明的是，所述底片清洁作业与滚轮清洁作业的实施频率能够依据设计需求而加以调整变化，例如：在所述底片F进行过M次曝光后才实施一次所述底片清洁作业，并且进行在N次底片清洁作业之后才实施一次滚轮清洁作业，上述M、N可以是正整数。
此外，由于所述除尘纸卷13会根据其使用频率而将黏着有较多污染物的部分移除，但当除尘纸卷13被移除的部分过多而需要被替换时，为便于自上述基座2更换除尘纸卷13，所述基座2包含有对应于上述动力组件14设置的一快拆机构21。其中，所述快拆机构21包含有一定位端部211及能够相对于所述定位端部211移动的一快拆端部212，所述定位端部211连接于除尘纸卷13的一端(如：图1中的除尘纸卷13左端)，并且所述快拆端部212可操控地连接于除尘纸卷13的另一端(如：图1中的除尘纸卷13右端)。也就是说，使用者可以向外拉动上述快拆端部212，以使所述快拆端部212与除尘纸卷13分离，据以利于使用者将除尘纸卷13自基座2移除。
[实施例二]
如图6和图7所示，其为本发明的实施例二，本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处则不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异主要在于：本实施例的自动清洁底片装置100进一步包含有另一清洁模块1’。
具体来说，上述两个清洁模块1、1’于本实施例中优选是大致相同的构造、并分别位于所述台框3的相反两侧(如：图6中的台框3左侧与右侧)，例如：所述两个清洁模块1、1’相对于台框3呈镜像对称设置，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未绘示的其他实施例中，所述自动清洁底片装置100的两个清洁模块1、1’也可以是略有差异。
再者，为使本实施例的自动清洁底片装置100能够具备有优选的运行效率，上述两个清洁模块1、1’的其中一个清洁模块1’在进行所述底片清洁作业的过程中，其中另一个所述清洁模块1能够进行所述滚轮清洁作业。
[实施例三]
如图8和图9所示，其为本发明的实施例三，本实施例类似于上述实施例二，所以两个实施例的相同处则不再加以赘述，而本实施例与上述实施例二的差异主要在于：本实施例的自动清洁底片装置100进一步包含有另一台框3’，用来供另一底片F’设置。
具体来说，所述两个台框3、3’(及位于其上的两个底片F、F’)彼此面对面设置，而上述两个清洁模块1、1’则是分别位于两个台框3、3’的相反两侧(如：图8中的两个台框3、3’左侧与右侧)。再者，为使本实施例的自动清洁底片装置100能够具备有优选的运行效率，所述两个清洁模块1、1’能用来分别清洁位于上述两个台框3、3’上的两个底片F、F’。
此外，当所述两个清洁模块1、1’的其中一个清洁模块1在完成底片清洁作业而欲朝向初始位置移动时，其中另一个清洁模块1’能够同步启动所述底片清洁作业，据以缩短上述两个清洁模块1、1’进行底片清洁作业的时程，进而提升自动清洁底片装置100的运作效率。
[实施例四]
如图10所示，其为本发明的实施例四，本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处则不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异主要在于：本实施例自动清洁底片装置100的清洁模块1仅包含有所述驱动机构11及黏尘滚轮12，也就是说，本实施例的清洁模块1未包含有除尘纸卷13。
[实施例五]
如图11和图12所示，其为本发明的实施例五，本实施例类似于上述实施例四，所以两个实施例的相同处则不再加以赘述，而本实施例与上述实施例四的差异主要在于：本实施例自动清洁底片装置100的清洁模块1包含有单个黏尘滚轮12及分别位于所述台框3相反两侧的两个除尘纸卷13。
具体来说，所述黏尘滚轮12能沿上述黏尘方向P移动并定义有一动作路径，所述动作路径的相反两侧位置分别位于台框3的相反两侧(如：图11中的台框3左侧与右侧部位)、并分别位于上述两个除尘纸卷13的下方。据此，上述任一个除尘纸卷13与黏尘滚轮12能够相对地移动，以进行所述滚轮清洁作业来清黏尘滚轮12。
[实施例六]
如图13至图15所示，其为本发明的实施例六，本实施例类似于上述实施例五，所以两个实施例的相同处则不再加以赘述，而本实施例与上述实施例五的差异主要在于：本实施例的自动清洁底片装置100进一步包含有另一台框3’，用来供另一底片F’设置。
具体来说，所述两个台框3、3’(及位于其上的两个底片F、F’)彼此面对面设置，而上述两个除尘纸卷13分别位于两个台框3、3’的相反两侧(如：图13中的两个台框3、3’左侧与右侧)。再者，所述黏尘滚轮12能用来依序清洁位于两个台框3、3’上的两个底片F、F’。
[本发明实施例的技术效果]
综上所述，本发明实施例所公开的自动清洁底片装置，能通过在台框旁设有清洁模块(如：驱动机构及黏尘滚轮)，据以使台框上的底片能够被自动清洁底片装置所自动清洁，进而达到降低人力需求并有效地提升曝光设备的生产效率。其中，所述自动清洁底片装置中的清洁模块来能通过除尘纸卷来对黏尘滚轮进行清洁，进而有效地提升自动清洁底片装置的运作效率。
以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种自动清洁底片装置，其特征在于，所述自动清洁底片装置包括：
一基座；
一台框，设置于所述基座并用来设置一底片；以及
一清洁模块，设置于所述基座并位于所述台框的一侧，所述清洁模块包含有：
一驱动机构，设置于所述基座并邻近于所述台框，并且所述驱动机构包含有一线性马达组及一气缸组；
一黏尘滚轮，安装于所述驱动机构，并且所述黏尘滚轮能被所述气缸组驱动而沿一高度方向移动，所述黏尘滚轮能被所述线性马达组驱动而沿垂直所述高度方向的一黏尘方向移动，用以能够进行一底片清洁作业来滚动地清洁位于所述台框上的所述底片；以及
一除尘纸卷，位置对应于所述黏尘滚轮，并且所述除尘纸卷的一黏着力大于所述黏尘滚轮的一黏着力；其中，所述除尘纸卷与所述黏尘滚轮能够相对地移动，以使所述除尘纸卷进行一滚轮清洁作业来清洁所述黏尘滚轮。
2.根据权利要求1所述的自动清洁底片装置，其特征在于，所述除尘纸卷呈螺旋状卷绕，并且所述除尘纸卷可选择性地移除所述除尘纸卷的部分，以维持所述除尘纸卷的所述黏着力大于所述黏尘滚轮的所述黏着力。
3.根据权利要求2所述的自动清洁底片装置，其特征在于，在所述滚轮清洁作业中，所述黏尘滚轮具有能够受所述除尘纸卷压迫而形成的一预压量，并且所述除尘纸卷的厚度大于所述预压量。
4.根据权利要求1所述的自动清洁底片装置，其特征在于，所述清洁模块包含有设置于所述基座的一动力组件，并且所述动力组件包含：
一气缸，连动于所述除尘纸卷，以使所述除尘纸卷能沿所述高度方向而相对于所述黏尘滚轮移动；
一限位杆，位于所述气缸的一侧，并且所述除尘纸卷能通过所述限位杆而以一预定距离相对于所述黏尘滚轮移动；及
一马达，连动于所述除尘纸卷，并且所述除尘纸卷能被所述马达驱使而转动，用以进行所述滚轮清洁作业。
5.根据权利要求4所述的自动清洁底片装置，其特征在于，所述基座包含有对应于所述动力组件设置的一快拆机构，并且所述快拆机构包含有一定位端部及能够相对于所述定位端部移动的一快拆端部，所述定位端部连接于所述除尘纸卷的一端，并且所述快拆端部可操控地连接于所述除尘纸卷的另一端。
6.根据权利要求1所述的自动清洁底片装置，其特征在于，所述自动清洁底片装置包含有另一清洁模块，并且两个所述清洁模块分别位于所述台框的相反两侧；两个所述清洁模块的其中一个所述清洁模块在进行所述底片清洁作业的过程中，其中另一个所述清洁模块能够进行所述滚轮清洁作业。
7.根据权利要求6所述的自动清洁底片装置，其特征在于，所述自动清洁底片装置包含有另一台框，用来设置另一底片；两个所述台框彼此面对面设置，而两个所述清洁模块分别位于两个所述台框的相反两侧；其中，两个所述清洁模块能用来分别清洁位于两个所述台框上的两个所述底片。
8.一种自动清洁底片装置，其特征在于，所述自动清洁底片装置包括：
一基座；
一台框，设置于所述基座，并用来设置一底片；
一驱动机构，设置于所述基座并邻近于所述台框，并且所述驱动机构包含有一线性马达组及一气缸组；以及
一黏尘滚轮，安装于所述驱动机构，并且所述黏尘滚轮能被所述气缸组驱动而沿一高度方向移动，所述黏尘滚轮能被所述线性马达组驱动而沿垂直所述高度方向的一黏尘方向移动，用以能够进行一底片清洁作业来滚动地清洁位于所述台框上的所述底片。
9.根据权利要求8所述的自动清洁底片装置，其特征在于，所述自动清洁底片装置包含有分别位于所述台框相反两侧的两个除尘纸卷，并且所述黏尘滚轮沿所述黏尘方向的一动作路径的相反两侧位置分别位于两个所述除尘纸卷的下方；任一个所述除尘纸卷与所述黏尘滚轮能够相对地移动，以进行一滚轮清洁作业来清洁所述黏尘滚轮。
10.根据权利要求9所述的自动清洁底片装置，其特征在于，所述自动清洁底片装置包含有另一台框，用来设置另一底片；两个所述台框彼此面对面设置，而两个所述除尘纸卷分别位于两个所述台框的相反两侧；其中，所述黏尘滚轮能用来依次清洁位于两个所述台框上的两个所述底片。
CN201910359760.4A 2019-04-30 2019-04-30 自动清洁底片装置 Pending CN111842257A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910359760.4A CN111842257A (zh) 2019-04-30 2019-04-30 自动清洁底片装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910359760.4A CN111842257A (zh) 2019-04-30 2019-04-30 自动清洁底片装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111842257A true CN111842257A (zh) 2020-10-30

Family

ID=72965482

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910359760.4A Pending CN111842257A (zh) 2019-04-30 2019-04-30 自动清洁底片装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111842257A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114699017A (zh) * 2021-12-03 2022-07-05 友达光电股份有限公司 清洁装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1146564A (zh) * 1995-09-29 1997-04-02 株式会社精工舍 曝光装置
JP2002028596A (ja) * 2000-07-12 2002-01-29 Nitto Denko Corp 除塵装置
JP2002162749A (ja) * 2000-09-12 2002-06-07 Seiichiro Toyoda 露光機の除塵装置及び除塵方法
CN101387822A (zh) * 2007-09-12 2009-03-18 志圣工业股份有限公司 压合机的压合结构及其制程
CN201456547U (zh) * 2009-07-28 2010-05-12 昆山华冠商标印刷有限公司 印刷设备
CN203381342U (zh) * 2013-07-09 2014-01-08 通达（厦门）光电科技有限公司 印刷机粘尘滚轮装置
CN203540963U (zh) * 2013-09-30 2014-04-16 深圳市深科达气动设备有限公司 用于板材表面的高效清洁装置
CN204149659U (zh) * 2014-09-28 2015-02-11 卢雄新 一种用于印刷材料的新型除尘机
CN205413704U (zh) * 2016-03-14 2016-08-03 深圳市睿华涂布科技有限公司 一种薄膜在线除尘装置
CN208321520U (zh) * 2018-03-18 2019-01-04 无锡旭电科技有限公司 一种曝光机自动清洁装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1146564A (zh) * 1995-09-29 1997-04-02 株式会社精工舍 曝光装置
JP2002028596A (ja) * 2000-07-12 2002-01-29 Nitto Denko Corp 除塵装置
JP2002162749A (ja) * 2000-09-12 2002-06-07 Seiichiro Toyoda 露光機の除塵装置及び除塵方法
CN101387822A (zh) * 2007-09-12 2009-03-18 志圣工业股份有限公司 压合机的压合结构及其制程
CN201456547U (zh) * 2009-07-28 2010-05-12 昆山华冠商标印刷有限公司 印刷设备
CN203381342U (zh) * 2013-07-09 2014-01-08 通达（厦门）光电科技有限公司 印刷机粘尘滚轮装置
CN203540963U (zh) * 2013-09-30 2014-04-16 深圳市深科达气动设备有限公司 用于板材表面的高效清洁装置
CN204149659U (zh) * 2014-09-28 2015-02-11 卢雄新 一种用于印刷材料的新型除尘机
CN205413704U (zh) * 2016-03-14 2016-08-03 深圳市睿华涂布科技有限公司 一种薄膜在线除尘装置
CN208321520U (zh) * 2018-03-18 2019-01-04 无锡旭电科技有限公司 一种曝光机自动清洁装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114699017A (zh) * 2021-12-03 2022-07-05 友达光电股份有限公司 清洁装置
CN114699017B (zh) * 2021-12-03 2024-03-19 友达光电股份有限公司 清洁装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102443971B1 (ko) 롤투롤 양면 노광 장치
KR101892101B1 (ko) 프레스 금형 클린 장치
CN108500618B (zh) 一种背光源前端组装设备
CN104624563A (zh) 一种显示屏清洁系统及方法
KR20040071589A (ko) 상하 작동 기구를 구비한 클리닝 롤러장치
CN111842257A (zh) 自动清洁底片装置
JP2007212765A (ja) 近接露光装置の手動式クリーナ及びクリーナ装置
JP4041794B2 (ja) 紙製打抜き製品の紙粉・紙片除去方法及びその装置
CN204122383U (zh) 偏光片清洁机
CN111070505A (zh) 一种循环加工装置
CN115806211A (zh) 一种薄膜吹塑机收卷装置
CN214638453U (zh) 一种板材清洗设备
CN216728607U (zh) 可自清洁的粘胶式清洁机构
CN213468740U (zh) 一种毛刷带除尘装置
CN216539954U (zh) Pet覆膜材料用的覆膜除尘结构
TWI699609B (zh) 自動清潔底片裝置
CN211538821U (zh) 一种医用干式胶片用静电除尘装置
CN113351554A (zh) 一种线路板清洁除尘装置
CN211391927U (zh) 一种u盘加工用的贴膜装置
CN209969069U (zh) 一种清洁装置
US20080083439A1 (en) Cleaning method and cleaner device for laminated substrate fabrication apparatus
CN220239497U (zh) 一种光学胶生产用除尘装置
CN212170592U (zh) 一种可以吸尘的静电膜切割装置
CN113149409B (zh) 一种浮法tft-lcd玻璃生产设备
CN220242583U (zh) 一种包装袋打孔机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20201030