JPH045381B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、プリント基板等の被露光体であるワ
ークの焼付機に関するもので、さらに詳言するな
らば、マスクをワークと一体的に取り扱うことに
よつて、複数枚づつグループで取り扱われるワー
クの露光操作の作業性を向上させることを目的と
したものである。

プリント基板等の被露光体であるワークは、所
定のパターンを有するマスクと組合わさつて、こ
のマスクに描かれた所定のパターンを焼付機によ
つて焼付けられるのであるが、一般に一つのマス
クのパターンは多数枚のワークに連続して露光さ
れるものであることから、ワークとマスクとは全
く別個に取り扱われていた。

すなわち、従来の焼付機は、焼付機の中心部で
ある露光装置を開放して、この露光装置の透明板
に目的とするマスクを手作業により一定位置に組
付け固定しておき、この状態から所望枚数のワー
クを焼付機内に供給して、各ワークを個々にかつ
順に、前記透明板の一定位置に組付け、次いで露
光し、しかる後焼付機外に搬出して、所望枚数の
焼付を達成していた。

上記した従来の焼付けは、一枚のマスクにより
多数枚のワークを連続して焼付ける場合にはさほ
どの不都合を生じることはなかつたのであるが、
一枚（両面焼付けの場合には二枚）のマスクによ
り、例えば20枚前後の少数のワークを焼付ける場
合には、マスクの透明板への組付け、取外し作業
が極めて面倒となると云う欠点をもつていた。

すなわち、透明板は焼付機の心臓部である露光
装置の中心に位置するものであるので、この透明
板を焼付機外に露出させるための開閉作業が面倒
であること、マスク組付け作業時には透明板が焼
付機外に露出されるために、この露出された透明
板および組付けられるマスクにホコリ等が付着し
易くなり、不良品の発生の機会が多くなること、
透明板は露光装置の中心に位置し、焼付機内の各
装置は、この透明板を中心に配置され、かつ駆動
されるために、透明板の周囲には各種の機構部材
が位置して充分な空間を確保するのが困難である
ため、この透明板に対する人手によるマスクの組
付け、取外し、作業は極めて行い難いこと、さら
にマスクはその種類別を明示するために、周端部
に多数の符号が描かれているが、この符号を描い
た周端部に取扱時の指先の接触により手垢等が付
着して前記符号の判読が不能となつてしまうよう
な事態の発生を防止すくため、マスクの周端部は
所定幅で取扱時の指先で摘む部分とし、その内側
に前記した符号を描くようにしなければならない
ので、マスクの大きさの割にはパターンを描くこ
とのできる有効面積が小さくなると云うこと等の
種々の欠点、不都合、不満があつた。

この上記した従来からの焼付操作の欠点および
不満を解消すべく、最近各マスクを個々に収納し
たパレツトとワークを所望枚数づつ収納したパレ
ツトとを積重状に昇降変位自在に格納した収納装
置を焼付機に隣接して設けておき、使用するマス
クの収納されているパレツトを所定位置に昇降位
置させた後、このパレツトを焼付機内に前進させ
て透明板上の一定位置に停止させ、次いで焼付機
の搬送装置によりマスクをパレツト内から引き上
げ、その間にパレツトを収納装置内に後退復帰さ
せ、前記搬送装置を下降させてマスクを透明板上
の一定位置に組付け、しかる後収納装置内からワ
ークを収納した別のパレツトを透明板上の一定位
置まで前進させてマスクと同様に透明板上の一定
位置に組付けてワークに対する露光を行うように
したものが考え出されているが、確かにこのもの
は透明板に対するマスクの組付けおよび取出しを
自動化できて、マスクの取扱上における種々の欠
点、不満を解消することができるものであるが、
専用の収納装置とこの収納装置の動作をプログラ
ム制御するコンピユータが必要となるので、設備
費が増大すると共に、焼付機運転のための空間ス
ペースが増大し、そして何よりも各ワークを透明
板上の一定位置に組付けるのに、その都度ワーク
を収納したパレツトを収納装置内から透明板上に
前進・後退移動させなければならないので、一枚
のワークを露光するのに要する時間が大きくな
り、作業性が悪いと云う欠点をもつている。

また、通常は焼付機外に配置されているパレツ
トを、焼付機の中心部である露光装置の透明板の
上まで侵入位置させるので、このパレツトに付着
してホコリ等が透明板上に運ばれてくる危険性が
極めて高く、このためホコリの付着による不良品
の発生を大幅に削減する効果を得ることができて
いなかつた。

本発明は、上記した従来例における欠点、不都
合そして不満を解消すべく創案されたもので、マ
スクと、このマスクに対応する多数のワークとを
組として位置決めした状態でかつマスクを上位に
位置させた状態で一つのパレツト内に収納し、こ
のパレツトを焼付機内の一定位置である搬入位置
に前進位置させ、このパレツト内からマスクおよ
びワークを順に取出して、透明板上の一定位置に
重ねて取付けて、各ワークの露光を達成すべく構
成したものである。

以下、本発明による焼付機の一実施例を図面を
参照しながら説明する。

本発明による焼付機は、所望枚数のワークを積
重状に位置決めして収納保持すると共に、前記ワ
ークに対するマスクを前記ワークの上位に位置決
めして収納保持したパレツト９を利用すべく構成
した焼付機であつて、光源としてのランプ１ａと
反射鏡１ｂと焼き枠体として透明板１ｆとを有す
る露光装置１と、前記パレツト９を搬入位置Ｎに
保持すると共に、このパレツト９に収納されたマ
スクおよびワークのうちの最上位のものを一定高
さ位置に保持する搬入装置５と、前記搬入位置Ｎ
から露光位置Ｒを通つて搬出位置Ｓまで延びたレ
ール３ａに、このレール３ａに沿つて前記搬入位
置Ｎと露光位置Ｒとの間を往復移動する搬入側背
板ケース３ｂと前記露光位置Ｒと搬出位置Ｓとの
間を往復移動する搬出側背板ケース３ｂとを組付
けた搬送装置３と、下面に前記ワークおよびマス
クを吸着保持する多数の吸着パツト４ｂを設けた
吸着板４ａを前記搬送装置３の背板ケース３ｂ前
面に水平姿勢のまま昇降変位自在に取付けられた
吸着装置４とから構成されている。

すなわち、本発明による焼付機は、焼付機の主
要な構成部分である露光装置１と、パレツト９に
一定位置関係を保つて収納されたマスクおよびワ
ークを、露光装置１に設定された一定位置に対し
て正確に対応位置する位置に前記パレツト９を保
持すると共に、パレツト９に収納されているマス
クまたはワークを常に一定高さ位置に位置させ、
さらに収納したマスクおよびワークの全ての搬出
されたパレツト９を、次のパレツト９の焼付機内
への搬入の邪魔にならないように下降変位させか
つ焼付機外に搬出する搬入装置５と、搬入位置Ｎ
から露光位置Ｒを通つて搬出位置Ｓまで延びた状
態で設けられたレール３ａに、このレール３ａに
沿つて搬入位置Ｎから露光位置Ｒまでの間を往復
移動する搬入側背板ケース３ｂと、露光位置Ｒか
ら搬出位置Ｓまでの間を往復移動する搬出側背板
ケース３ｂとを組付けた搬送装置３と、搬入位置
Ｎに保持されたパレツト９内からマスクまたはワ
ークをバキユーム作用を利用して、このマスクま
たはワークをその水平姿勢を保持したまま吸着
し、かつこの吸着状態のまま一定ストロークで昇
降動できるように前記搬送装置３の両背板ケース
３ｂ前面にそれぞれ組付けられた吸着装置４とか
ら構成され、搬入装置５により搬入位置Ｎに保持
されたパレツト９内からマスクまたはワークを下
降変位した吸着装置４が吸着保持し、この状態の
まま吸着装置４を上昇変位させてから搬入装置３
を駆動して吸着装置４を露光位置Ｒに移動させ、
この露光位置Ｒで吸着装置４の下降変位によつて
前記マスクまたはワークを露光装置１の透明板１
ｆに一定位置関係で組付け、搬送装置３による吸
着装置４の搬入位置Ｎへの復帰をまつて露光作業
を行い、露光されたワークは搬出側部３２の搬送
装置３と吸着装置４との作用によつて搬出位置Ｓ
に取出されるのである。

図示実施例は、両面焼き、すなわち供給された
ワークの表裏両面に同時にパターンを焼付けるこ
とができるように構成されたもので、このため露
光装置１は、基本的には同じ構成となつた上側露
光部１１と下側露光部１２とを有し、かつ上側露
光部１１は昇降装置２を介して焼付機のフレーム
１０に取付け固定されている。

次に、本発明による焼付機を構成している各装
置の具体的構造を順に説明する。

☆露光装置１（第１図ないし第１０図参照） 露光装置１は、本発明による焼付機の中央に位
置していて、上側露光部１１と下側露光部１２と
から構成されている。

下側露光部１２は、ランプ１ａを組付けた反射
鏡１ｂをサポート１ｃによつてフレーム１０に直
接不動に取付け固定し、透明板１ｆを固定した下
枠体１ｄを取付け枠１ｖによつてフレーム１０に
直接不動に固定して構成されている。

下枠体１ｄは、第７図および第８図に示す如
く、四角リング形状をしていて、止めボルト１ｇ
によつて取付け枠１ｖに固定されていると共に、
止め金具１ｈで透明板１ｆを組付けている。

透明板１ｆには、バキユーム作用を利用してマ
スクを吸引固定する、第１０図に示す如き、バキ
ユームパツト１ｊが、吸引固定すべきマスクの大
きさに対応して位置にそれぞれ取付けられてい
て、バキユームパイプ１ｋによつて図示省略した
真空源に接続されている。

このバキユームパツト１ｊとは別に、バキユー
ムパツト１ｊと同様に真空源に接続された状態で
透明板１ｆに形成された露光時バキユーム口１ｉ
は、セツトされたマスクとワークとの間に気泡が
形成残留するのを防止するためのものである。

また、この透明板１ｆには、この透明板１ｆに
対するマスクおよびワークの組付け基準位置を設
定するためる複数個の基準ピン孔１ｍが開孔形成
されているが、この基準ピン孔１ｍのうち、透明
板１ｆに対するマスクおよびワークの組付け基準
位置となる端縁（第７図において左側縁）に位置
する基準ピン孔１ｍは、寸法の異なるマスクおよ
びワークに対して共通した基準位置を設定するた
めのものであるので、常に基準ピン１１が取付け
られているが、残りの基準ピン孔１ｍ、すなわち
第７図における下側縁に沿つて設けられた基準ピ
ン孔１ｍは、組付けられるマスクおよびワークの
寸法の相違に応じて使用される基準ピン孔１ｍが
異なつてくるので、第８図に示す如く、基準ピン
１１を出し入れ自在に組付け、他の基準ピン孔１
ｍの基準ピン１１の使用の邪魔に成らないように
構成されている。

図示実施例の場合、この基準ピン１１は、取付
け枠１ｖにブラケツト１ｏにより固定されたシリ
ンダ１ｐのピストンロツド１ｑの先端を、取付け
枠１ｖに固定されたブラケツト１ｒに止め軸１ｓ
で回転自在に取付けられたリンク１ｔの一端に軸
着し、このリンク１ｔの他端に基準ピン１１の基
端を固定して組付けられており、シリンダ１ｐの
作動によつて基準ピン１１を基準ピン孔１ｍから
出し入れできるように構成されている。

これに対して、第９図に示す如く、上枠体１ｅ
もほぼ同じ構造をしているが、上枠体１ｅの場合
は、基準ピン孔１ｍは盲穴となつていて、下枠体
１ｄに組付けられて基準ピン孔１ｍから突出した
基準ピン１１が侵入位置することのできる空間を
形成し、もつて露光時における枠体の枠閉めに、
この突出した基準ピン１ｌが邪魔とならないよう
にしている。

下枠体１ｄは、フレーム１０に不動に固定され
ていて、その透明板１ｆの上面で露光基準位置を
設定しているのに対して、上枠体１ｅは、昇降装
置２の昇降枠体２ａの下端に回動変位自在に組付
けられている。

なお、両枠体１ｄ，１ｅの近傍には、冷却月エ
アーダクト１ｕが設けられていて、露光動作によ
つて両枠体１ｄ，１ｅに組付けられているマスク
が過剰に加熱されないようにしている。

☆昇降装置２（第１図ないし第６図参照） 昇降装置２は、前記した上枠体１ｅを昇降変位
させるもので、下端に、上枠体１ｅに固定された
ブラケツト２ｄを支持ピン２ｅで枢着した昇降枠
体２ａを、不動に垂直姿勢で固定されたガイド軸
２ｎに沿つて昇降変位させることによつて、上枠
体１ｅを昇降変位させるように構成されている。

図示実施例の場合、この昇降枠体２ａの昇降変
位は、昇降枠体２ａの両側側近に設けられ、モー
タ２ｏにより回転駆動される一対のカム円板２１
によつて達成されるようになつている。

すなわち、カム円板２１は、昇降枠体２ａの両
側側近に設けられた側板２ｋに、この側板２ｋに
支持ブラケツト２ｉを介して固定された支持板２
ｍで補強下状態で、カム軸２ｑにより回転自在に
取付けられており、またこのカム軸２ｑには前記
したモータ２ｏからの回転力が伝達されるように
歯車２ｓが固定されている。

モータ２ｏからの回転力は、フレーム１０の後
端部分に横倒しした姿勢で回転自在に固定された
駆動軸２ｐに、この駆動軸２ｐに固定された歯車
２ｓとモータ軸に固定された歯車２ｓとの間にチ
エーン２ｒを掛け渡すことによつて伝達され、さ
らにこの駆動軸２ｐの両端に固定された歯車２ｓ
と前記したカム軸２ｑに固定された歯車２ｓとの
間にチエーン２ｒを掛け渡すことによつてカム円
板２１に伝達されるようになつている。

このカム円板２１に対して、昇降枠体２ａの両
枠体側板２ｂの外側面中央の上端部には、前記し
たカム円板２１の直上に位置した状態で、カムロ
ーラ２ｇがブラケツト２ｆによつて回転自在に取
付けられており、このカムローラ２ｇによつて、
昇降枠体２ａがカム円板２１上に登載した状態と
なるのである。

カム円板２１は、第５図から明らかなように、
偏心した位置にカム軸２ｑが固定されているの
で、このカム円板２１の回転動作に従つて、カム
ローラ２ｇによつてこのカム円板２１上に登載位
置している昇降枠体２ａは、前記カム軸２ｑの偏
心距離に従つたストロークで昇降動することにな
る。

この昇降枠体２ａよ昇降動作を安定したものと
すべく、昇降枠体２ａの昇降動をガイドするのが
有効であるので、図示実施例の場合、昇枠枠体２
ａの前端部両側縁部分に対向位置する両側板２ｋ
の前端部に、ブラケツト２ｊと支持ブラケツト２
ｉとによつてガイド軸２ｎを設けると共に、昇降
枠体２ａの後側となるフレーム１０に、同じくブ
ラケツト２ｊと支持ブラケツト２ｉとによつてガ
イド軸２ｎを設け、この各ガイド軸２ｎに、昇降
枠体２ａの両枠体側板２ｂおよび枠体後板２ｃに
固定されたスライド軸受２ｈを組付けることによ
つて、昇降枠体２ａの安定した昇降動作を得るこ
とができるようにしている。

なお、昇降枠体２ａに対して、上枠体１ｅを支
持ピン２ｅによつて回動変位可能に組付けている
のは、供給されたワークおよびマスクの全域に対
して、上枠体１ｅと下枠体１ｄとの間で均一な押
圧力を作用させることができるようにするためで
ある。

☆搬送装置３（第１図ないし第３図および第１１
図ないし第１５図参照）。

搬送装置３は、パレツト９を本発明による焼付
機内に搬入保持する搬入装置５により設定される
搬入位置Ｎから、露光装置１により設定される露
光位置Ｒを通つて、前記搬入装置５と略同じ構成
となつた搬出装置により設定される搬出位置Ｓま
で、直線状に横方向に延びた姿勢でフレーム１０
に固定されたレール３ａと、このレール３ａ組付
けられた状態で、このレール３ａに沿つて摺動移
動する搬入側部３１の背板ケース３ｂと、搬出側
部３２の背板ケース３ｂとから構成されている。

図示実施例の場合、背板ケース３ｂのレール３
ａに対する組付きは、背板ケース３ｂの後面の上
端部分に、前記レール３ａに前後方向に抜け出し
不能に組付くスライド駒３ｈを固定すると共に、
背板ケース３ｂの後面の下端部分に、フレーム１
０の後側板に当接するローラ３ｉを取付けること
によつてレール３ａに対する背板ケース３ｂの組
付けを達成している。

また、このレール３ａに沿つた背板ケース３ｂ
の摺動移動は、フレーム１０の後側板のレール３
ａの下方に固定ラツク３ｆを固定しておくと共
に、背板ケース３ｂの後面に移動ラツク３ｇを固
定しておき、両ラツク３ｆ，３ｇに、基端をフレ
ーヌ１０に固定したシリンダ３ｃのピストンロツ
ド３ｄの先端に回転自在に取付けられたピニオン
ギヤ３ｅを噛み合わせる構成によつて達成されて
いる。

この搬送装置３において、搬入側部３１は、マ
スクおよびワークを搬入位置Ｎから露光位置Ｒに
搬送するのに作用し、搬出側部３２は、露光処理
の完了したワークを露光位置Ｒから搬出位置Ｓに
搬送するのに作用することは云うまでもない。

☆吸着装置４（第１図ないし第３図、および第１
１図ないし第１５図参照）。

吸着装置４は、前記した搬送装置３の背板ケー
ス３ｂに昇降変位自在に組付けられていて、ワー
クおよびマスクをバキユーム作用を利用して吸着
保持するもので、前記搬送装置３と同様に、搬入
側部分と搬出側分とに別れて設けられている。

この吸着装置４は、多数の吸着パツト４ｂとプ
ツシヤー４ｃとを設けた吸着板４ａと、この吸着
板４ａを搬送装置３の背板ケース３ｂの前面に昇
降変位自在に組付ける腕体４ｇと取付け板４ｈと
の組合わせ構造体と、そしてこの腕体４ｇと取付
け板４ｈとの組合わせ構造体を昇降変位させるモ
ータ４ｉとから構成されている。

吸着板４ａは、取り扱われるマスクおよびワー
クの最大の寸法に適応した寸法に成形された平板
形状をしていて、その下面にバキユーム作用を利
用してマスクおよびワークを吸着保持すべく、図
示省略された真空装置にバキユームパイプ４ｆに
よつて接続された多数の吸着パツト４ｂが、マス
クおよびワークの寸法に適合した位置にそれぞれ
配置固定されており、この吸着パツト４ｂの側近
には、この吸着パツト４ｂに吸着保持されたマス
クおよびワークの吸着パツト４ｂからの離脱を円
滑に達成するプツシヤー４ｃが取付けられてい
る。

この吸着板４ａの腕体４ｇへの取付けは、数個
の組付けボルト４ｄと中心止め金具４ｅとによつ
て達成されているが、組付けボルト４ｄは、単に
吸着板４ａの腕体４ｇに対する組付き姿勢、すな
わち水平に組付いているか否かを調整するための
ものであつて、吸着板４ａを腕体４ｇに組付け固
定するするのは、吸着板４ａの中央に位置した、
すなわち吸着板４ａの重心位置に位置した中心止
め金具４ｅだけによつて達成されている。

腕体４ｇを前方に延出する姿勢で固定した取付
け板４ｈは、その後面に垂直方向に延びた姿勢で
レール４ｍを固定しており、かつその上端に結合
板４ｌを設けている。

この取付け板４ｈに対して、取付け板４ｈに対
向した背板ケース３ｂの前面には、前記レール４
ｍに摺動自在に噛み合うスライド駒４ｎと、両側
端部分にローラ４ｏとが設けられていて、背板ケ
ース３ｂに対する取付け板４ｈ、すなわち吸着装
置４の昇降変位をガイドしている。

さらに、この背板ケース３ｂ内には、吸着装置
４の昇降動の駆動源であるモータ４ｉが配置され
ており、このモータ４ｉのモータ軸であるラツク
軸４ｊの上端が前記結合板４ｌに固定されてい
る。

なお、背板ケース３ｂ上面に設けられたストツ
パ４ｋは、安全のため、背板ケース３ｂに対する
取付け板４ｈの上昇限を設定するためのものであ
る。

☆搬入装置５（第１図ないし第２図、および第１
６図ないし第１８図参照）。

搬入装置５は、所定のマスクおよび所望枚数の
ワークを一定位置関係で保持したパレツト９を、
搬入位置Ｎに正確に保持すると共に、次々と露光
装置１に供給されるワークを正確な高さの搬入位
置Ｎにセツトし、さらに収納したワークの全てを
搬出したパレツト９を、次に供給されてくるパレ
ツト９の邪魔にならないように、搬入位置Ｎから
降下変位させてから焼付機外に搬出すべく構成さ
れている。

すなわち、搬入装置５は、供給されてきたバレ
ツト９を登載保持するレール５ｈと、このレール
５ｈを組付けたベース板５ｆと、このベース板５
ｆ上に昇降動自在に取付けられた押上下板５ｎ
と、前記ベース板５ｆを昇降変位させる昇降シリ
ンダ５ａと、パレツト９を焼付機外に搬出する搬
送ベルト５ｓと、そして供給されてきたパレツト
９を正確に搬入位置Ｎにセツトする機構とから構
成されている。

昇降シリンダ５ａは、フレーム１０内のやや下
方位置に設けられた取付けベース５ｅの下面に垂
下状に取付けられていて、そのピストンロツド５
ｂの上端をベース板５ｆに結合し、もつて昇降シ
リンダ５ａに作動によつてベース板５ｆを昇降変
位できるように構成されている。

このベース板５ｆには、複数本（図示実施例の
場合は、４本）のガイド軸５ｄが、その四隅に垂
下状に取付けられており、このガイド軸５ｄに対
して、取付けベース５ｅには、この各ガイド軸５
ｄに組合わさるスライド軸受け５ｃが設けられて
いて、昇降動作時におけるベース板５ｆの姿勢
が、水平姿勢から妄りに傾いたりしないようにし
ている。

また、このベース板５ｆの上面中央には、昇降
モータ５ｊが固定されていて、この昇降モータ５
ｊのモータ軸であるラツク軸５ｋの上端が押上げ
板５ｎの中央部分に連結されていて、この昇降モ
ータ５ｊの作動によつて押上げ板５ｎが昇降変位
し、さらにベース板５ｆの上面前後両端部（第１
７図において上下両端部、第１８図において左右
両端部）には、脚板５ｇによつて後端にストツパ
ー５ｉを設けたレール５ｈが平行に取付けられて
いて、供給されているパレツト９を登載保持する
部分を形成している。

この押上げ板５ｎは、搬入位置Ｎに保持された
パレツト９内に下方から侵入できる大きさの平板
形状をしていて、この押上げ板５ｎの下面には、
複数（図示実施例の場合、２本）のガイド軸５ｍ
が垂下状に取付けられていて、このガイド軸５ｍ
が摺動自在に組付くことによつて、押上げ板５ｎ
の姿勢を常に水平姿勢に保持するスライド軸受け
５１がベース板５ｆ上に設けられている。

また、押上げ板５ｎの上面には、複数個（図示
実施例の場合、４個）の押上げ片５ｏが設けられ
ていて、搬入位置Ｎに保持されたパレツト９の遊
離底板９ｇを、この遊離底板９ｇの水平姿勢を保
持したまま押上げ板５ｎによつて押上げるよう
に、押上げ板５ｎから遊離底板９ｇに対する押上
げ力の作用面を形成している。

第１６図ないし第１８図に２点鎖線で示された
パレツト９の搬入位置Ｎには、パレツト９が、こ
の搬入位置Ｎに正確に位置しかつこの搬入位置Ｎ
に強固に保持されるように、フレーム１０の後側
に位置決めピン６ｈと押圧片６ｅとを、そしてフ
レーム１０の前側に押付け板６ｄを設けている。

押付け板６ｄは、供給されてきたパレツト９を
位置決めピン６ｈに押付けて、このパレツト９を
搬入位置Ｎに正確に位置決めするためのもので、
フレーム１０にブラケツト５ｘによつて固定され
た取付け板５ｚに取付けられたシリンダ６ａのピ
ストンロツドの先端に固定されており、前記取付
け板５ｚに取付けられたスライド軸受け６ｂ摺動
自在に組付くガイド軸６ｃを固定している。

それゆえ、この押付け板６ｄは、シリンダ６ａ
の作動によつて妄りに傾くことなく前進・後退移
動することができることになる。

この押付け板６ｄに対向して設けられた押圧片
６ｅは、カラとなつたパレツト９を搬入位置Ｎか
ら前方（第１７図において下方）に押出して、パ
レツト９の両位置決め欠部９ｅ，９ｆの位置決め
ピン６ｈとの係合を解除し、もつて下降変位可能
な状態にするためのもので、フレーム１０に固定
された軸受片６ｉに前後方向に摺動自在に組付け
られたガイド軸片６ｇの先端（第１７図において
下端）に固定されることによつて、前進・後退移
動自在に取付けられており、さらに前記ガイド軸
片６ｇに嵌装された形態で組付けられたスプリン
グ６ｆの弾力によつて、前記した如くパレツト９
を押出すように構成されている。

この搬入位置Ｎへのパレツト９の搬入は、フレ
ーム１０の一方の側壁（第１図において左側壁）
に開口された供給口を通して達成されるが、図示
省略したレール上を滑走して上記供給口に搬送さ
れてきたパレツト９は、この供給口の底面に固定
されたガイドレール５ｖ上に乗つて、このガイド
レール５ｖ上からサイドガイド板５ｗにガイドさ
れながら上昇限位置に位置しているレール５ｈ上
に滑走位置して達成される。

この２点鎖線で示された搬入位置Ｎの直下位置
には、カラとなつたパレツト９を焼付機外に搬出
するための２本のエンドレス状となつた搬送ベル
ト５ｓが、それぞれプーリーに掛け渡された状態
で相互に平行な姿勢で設けられている。

この搬送ベルト５ｓの駆動源である搬出モータ
５ｐは、前記した取付けベース５ｅに固定されて
いて、この搬出モータ５ｐのモータ軸に固定され
た歯車５ｔと、前記搬送ベルト５ｓを掛け渡した
プーリの内の一方のプーリの軸である回転軸５ｒ
に固定された歯車５ｔとの間にチエーン５ｑを掛
け渡すことにより、前記搬出モータ５ｐによつて
搬送ベルト５ｓを走行駆動するようになつてい
る。

この搬入装置５は、マスクおよびワークを収納
したパレツト９を搬入位置Ｎに受け入れ保持し、
かつカラとなつかパレツト９を焼付機外に搬出す
るためのもので、第１図および第２図において、
焼付機のフレーム１０の左側ブロツク内に配置さ
れているが、この搬入装置５とほぼ同じ構成のも
のを搬出装置６としてフレーム１０の右側ブロツ
ク内に配置するのが便利である。

すなわち、この搬出装置６は、カラのパレツト
９を搬出位置Ｓに予め位置させておき、このパレ
ツト９内に露光処理されたワーク、およびこのワ
ークの露光に使用されたマスクの収納し、このパ
レツト９を、次にこの搬出位置Ｓに配置されるカ
ラのパレツト９の焼付機内への侵入に邪魔となら
ないように、搬出位置Ｓから下降変位させたてか
ら焼付機外に搬出するのである。

このように、搬入装置５および搬出装置６にお
いて、焼付機内から搬出するパレツト９を、搬入
位置Ｎおよび搬出位置Ｓから一旦下降変位させ、
しかる後搬出するようにすることによつて、第１
図および第２図に示した実施例の如く、パレツト
９を収納保持することができると共に、目的とす
るパレツト９を自動的に一定位置から送出するこ
とのできる第１および第２の収納ケース７および
８を焼付機の両側に組付け配置して、前記パレツ
ト９の焼付機に対する出し入れを自動制御するこ
とができる。

第１の収納ケース７は、これから露光処理すべ
き所望枚数のワークと、このワークに組み合わさ
れるマスクとを収納した多数のパレツト９を昇降
変位自在に格納したもので、予め入力されたプロ
グラムに従つて、焼付機からのカラのパレツト９
を受け入れると共に、このカラのパレツト９の受
け入れに引き続いて焼付機に供給すべきパレツト
９を送出して焼付機に供給するのである。

第２の収納ケース８は、基本的には、前記した
第１の収納ケース７と同じものであつて、露光処
理された多数のワークと、このワークに対応する
マスクとを収納したパレツト９を焼付機から受け
取ると共に、カラのパレツト９を焼付機の搬出位
置Ｓに供給するものである。

所で、本発明による焼付機に使用されるパレツ
ト９（第１９図ないし第２１図参照）としては、
その構造が限定されることはないが、本発明焼付
機の動作をより有効に発揮させることのできるパ
レツト９の構造として、短長方形筒形状をした周
壁９ａの外周面上端に上外フランジ片９ｄを、外
周面下端に底外フランジ片９ｃを、そして内周面
のやや下位に内フランジ９ｂをそれぞれ周設した
本体部分と、この本体部分の内フランジ９ｂ上に
登載組付けされる平板形状の遊離底板９ｇとを組
合わせて構成されている。

内フランジ９ｂの一側端部（第１９図におい
て、上側の右端部）には、パレツト９内における
マスクおよびワークを収納位置を設定するための
第１の基準ピン９ｈが立設されており、またこの
第１の基準ピン９ｈと組合わさつて収納したマス
クおよびワークの姿勢を一定に保持する第２の基
準ピン９ｉをセツトするためのピン孔９ｊが、内
フランジ９ｂの一方の側辺部分（第１９図におい
て、左側の辺部分）に、収納されるマスクおよび
ワークの寸法に適応した箇所にそれぞれ形成され
ている。

第１の基準ピン９ｈの設けられた側の辺の外側
には、前記した搬入装置５に設けられた位置決め
ピン６ｈと係合することによつて、パレツト９を
搬送位置Ｎに正確に位置決めする第１の位置決め
欠部９ｅおよび第２の位置決め欠部９ｆが削設さ
れているが、第１の位置決め欠部９ｅは、左右お
び前後方向の位置決めを達成すべく三角形状に成
形されているが、第２の位置決め欠部９ｆは、単
に前後方向（第１９図において上下方向）の位置
決めを達成するだけで良いので四角形状に成形さ
れている。

前記した遊離底板９ｇは、収納されるマスクお
よびワークに適応した寸法のものが選択されて使
用されるのであつて、第１の基準ピン９ｈおよび
第２の基準ピン９ｉが嵌入するピン孔が開孔形成
されていて、パレツト９の本体部分とは別に、前
記した搬入装置５の押上げ板５ｎによつて自由に
昇降変位されるようになつている。

なお、第１図ないし第３図において、１１は本
発明による焼付機に対して操作指令を入力するた
めの操作盤であり、１２は露光装置１の冷却空気
用の排気筒である。

本発明による焼付機は、上記した如き構成とな
つているのであるが、次にこの焼付機の動作を、
各構成装置別に説明する。

☆露光装置１。

露光装置１は、透明板１ｆの上および下にマス
クが供給されると、図示省略した真空装置の作用
によつて、このマスクを基準ピン１１で位置決め
した状態で吸着保持する。

また、このマスクを吸着保持した下枠体１ｄの
透明板１ｆの上に説定される露光位置Ｒにワーク
が供給されてくると、このワークを上下の透明板
１ｆによつて挟持すると同時に露光時バキユーム
口１ｉからのバキユーム作用によつて、両マスク
とワークとの間に気泡を生じることなくワークの
セツトを達成する。

なお、セパレータ用ピン１ｎは、ワークと同じ
厚さをした平板形状をしたセパレータ（図示省
略）を一定位置関係を保持した状態で組付けるた
めのもので、このセパレータは、小型のワークを
使用する際においては、両透明板１ｆ間に不要な
間隙が生じないようにするためのものである。

☆昇降装置２。

昇降装置２は、露光装置１の上枠体１ｅを昇降
変位させて、上枠体１ｅと下枠体１ｄとの間への
マスクおよびワークの取付けそして取外しを達成
するためのものである。

なお、昇降装置２の昇降枠体２ａの下端に上枠
体１ｅが支持ピン２ｅを介して組付けて、この上
枠体１ｅが支持ピン２ｅを軸として回動変位する
ことができるように構成しているのは、供給され
たワークの厚みが偏つているような場合に、この
ワークの上面全域に上枠体１ｅの透明板１ｆ下面
を面接触させることができる姿勢に姿勢制御する
ことができるようにするためである。

☆搬送装置３。

搬送装置３は、背板ケース３ｂに取付けられた
吸着装置４を、搬入位置Ｎと露光位置Ｒとの間
で、または露光位置Ｒと搬出位置Ｓとの間で、シ
リンダ３ｃの作用によつてレール３ａに沿つて移
動させるべく動作する。

☆吸着装置４。

吸着装置４は、搬入位置Ｎおよび露光位置Ｒに
位置したワークまたはマスクをバキユーム作用を
利用して吸着し、かつ昇降変位するもので、吸着
したマスクおよびマークを前記した搬送装置３の
動作に従つて、搬入位置Ｎから露光位置Ｒに、そ
して露光位置Ｒから搬出位置Ｓに、一定姿勢を保
持したまま搬送する。

☆搬入装置５。

搬入装置５は、昇降シリンダ５ａによつてレー
ル５ｈを、パレツト搬入位置とパレツト搬出位置
との間で昇降変位させ、またパレツト搬入位置に
位置したパレツト９を搬入位置Ｎに不動に保持
し、さらにパレツト搬出位置に下降変位して来る
パレツト９を搬送ベルト５ｓの作用によつて焼付
機外に搬出し、またさらに昇降モータ５ｊの作用
によつて、パレツト９内のワークを順に搬入位置
Ｎに位置させるべく動作する。

次に、装置全体におけるマスクおよびワークの
流れ順に従つて動作説明する。

レール５ｈ上にパレツト９が供給されて来る
と、シリンダ６ａの作用によつて押付け板６ｄで
パレツト９を基準ピン６ｈに押付け、次いで昇降
モータ５ｊを作動させてパレツト９内の最上位に
位置したマスクおよびワークを搬入位置に位置さ
せる。

マスクおよびワークの搬入位置Ｎへのセツトが
完了したならば、この搬入位置Ｎの直上に位置し
ている吸着装置４を作動させて吸着板４ａを下降
させて前記したマスクまたはワークを吸着保持
し、引続きこのマスクまたはワークを吸着保持し
た吸着板４ａを元の待機位置まで上昇させる。

吸着板４ａが待機位置に復帰したならば、搬送
装置３を作動させて、このマスクまたはワークを
吸着保持した吸着装置４を露光位置Ｒの直上まで
移動させ、次いで再び吸着装置４のモータ４ｉを
作動させて、吸着保持したマスクまたはワークを
露光位置Ｒに位置させる。

この、ワークおよびマスクの搬入動作に対し、
露光処理されたワークおよび所定枚数のワークの
露光の完了したマスクの搬出動作は、搬送装置３
の搬出側部３２、およびこの搬出側部３２に組付
けられた吸着装置４の前記した動作と全く同じ動
作によつて、露光位置Ｒからカラのパレツト９が
保持された搬出位置Ｓまで達成される。

また、搬入装置５に保持されたパレツト９内に
収納されたワークのすべてが搬出されると、シリ
ンダ６ａの後退動作および押圧片６ｅの前進動作
によつてパレツト９は押だされて、位置決めピン
６ｈとの係合が解除され、次いで昇降シリンダ５
ａの作動によつて、ベース板５ｆと一体に下降変
位して搬送ベルト５ｓ上に登載し、この搬送ベル
ト５ｓによつて焼付機外に搬出され、さらにこの
カラのパレツト９の搬出が完了したならば、昇降
シリンダ５ａを再び作動させてレール５ｈを第１
６図図示位置まで上昇させて、次のパレツト９の
搬入に備える。

同様に、搬出位置Ｓに位置していたパレツト９
は、露光処理されたワークの全て、およびこのホ
ークの露光処理に使用されたマスクを収納したな
らば、下降変位してそのまま焼付機外に搬出する
と共に、次のカラのパレツト９を搬出位置Ｓに保
持すべく待機するのである。

なお、上記した各動作は、光電管とかホトカプ
ラさらにはリミツトスイツチ等を使用した検出手
段によつて、各部材の動作の完了および位置検出
を行つて、この検出信号に従つて、プログラムに
従つた次の動作を行うようになつていることは云
うまでもない。

このように、本発明による焼付機は、目的とす
るパターンを有するマスクと、露光処理される所
望枚数のワークとを一緒に収納したパレツト９を
受け入れることにより、一組のマスクとワークと
を一体的にかつ連続して取扱うことができ、これ
がためマスクの取付けとワークの露光とを一連の
操作にまとめることができる。

すなわち、従来の露光操作は、焼付機に対する
マスクの供給およびセツトと、ワークの焼付機に
対する供給およびセツトとは全く別の独立した操
作となつていたので、焼付機に対するマスクの供
給およびセツトの作業が完了するまでの間、ワー
クの供給およびセツトを待機させておかなければ
ならず、かつマスクとワークの供給およびセツト
作業は全く別の作業であるために、マスクおよび
ワークの位置合わせを個々に行う必要があり、こ
のため各マスクおよびワーク毎に位置合わせの確
認作業が必要となり、これによつて作業時間が長
くなると共に、多くの作業工程を要するものとな
つていたが、本発明による焼付機においては、焼
付機に、予め相互位置関係を正確に設定および規
制されたマスクと所望数のワークとを単一のパレ
ツト９に収納して焼付機内の一定位置である搬入
位置Ｎに供給保持するので、マスクおよびワーク
の焼付機への供給は一回の操作で良く、かつ焼付
機内における位置合わせ作業を要しないですむこ
とになる。

また、予めパレツト９内に収納されるマスクと
ワークとは、ワークの上位にマスクが積重状に収
納されているので、焼付機内におけるマスクおよ
びワークの透明板１ｆへの組付けは、単にパレツ
ト９に収納された上位のものから順に透明板１ｆ
に取付ければ良いことになり、マスクまたはワー
クの透明板１ｆへの組付けのために動作する焼付
機の搬送機構の構造そして制御形態が極めて単純
になると共に容易となる。

さらに、マスクおよびワークを収納したパレツ
ト９は、焼付機の主体部分である露光装置１内に
侵入位置する必要がないので、この種々の機構部
材が配置されている露光装置１部分の構造を複雑
にすることがなく、またマスクおよびワークだけ
が出し入されるので、ホコリ、ゴミ等の露光装置
１内への侵入機会を大幅に減少させることがで
き、これによつて良好な露光条件と露光動作を得
ることができる。

またさらに、マスクおよびワークのパレツト９
に対する位置決めされた組付けは、焼付機外の適
当な箇所で、時間に制約されることなく、有利な
作業機器を用いて行うことができるので、マスク
とワークとのパレツト９内における位置決めが極
めて正確に達成できると共に、その位置決め作業
自体も容易であり、さらに適当な機器を用いるこ
とによりマスクの周端部に手垢を付けずにすむの
で、マスクの全面をより有効に利用することがで
きることになる。

なお、云うまでもないが、本発明による焼付機
は、マスクと所望数のワークとを一つのパレツト
９内に一緒に収納して露光処理するものであるか
ら、要求されるパターンを少数枚のワークに露光
させる場合に極めて有利となる。

以上の説明から明らかな如く、本発明による焼
付機は、マスクとワークとを一体的にかつ一つの
処理工程操作で取り扱うことができるので、マス
クの取扱が極めて容易にかつ正確に達成すること
ができ、また良好なワークの露光を達成すること
ができ、さらに焼付全体としての構造が簡単とな
るので、安価に得ることができ、またさらにマス
クおよびワークの焼付機内での位置決め操作を全
く必要としないので、ワークの露光処理をスムー
ズに達成することができることになる等多くの優
れた効果を発揮するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、両側にパレツト収納用の収納ケース
を配置組付けした本発明による焼付機の全体正面
図である。第２図は、第１図に示した焼付機の全
体平面図である。第３図は、第１図に示した焼付
機の全体側面図である。第４図は、露光装置およ
び昇降装置を示す正面図である。第５図は、昇降
装置および露光装置の上枠体を示す側面図であ
る。第６図は、露光装置および昇降装置を示す平
面図である。第７図は、露光装置の下枠体部分の
詳細を示す平面図である。第８図は、露光装置に
設けられた基準ピンの昇降機能部分を示す一部縦
断面図である。第９図は、露光装置の上枠体部分
の詳細を示す平面図である。第１０図は、露光装
置に設けられたバキユームパツトの構造の詳細例
を示す一部縦断面図である。第１１図は、搬送装
置および吸着装置の全体的配置関係を示す平面図
である。第１２図は、搬送装置の正面図である。
第１３図は、搬送装置と昇降装置との組付け形態
を示す正面図である。第１４図は、搬送装置に組
付けられた昇降装置の平面図である。第１５図
は、搬送装置に組付けられた昇降装置の側面図で
ある。第１６図は、搬入装置の正面図である。第
１７図は、搬入装置の平面図である。第１８図
は、搬入装置の側面図である。第１９図ないし第
２１図は、パレツトを示す図で、第１９図は平面
図、第２０図は背面図、そして第２１図は第１９
図中Ｘ−Ｘ線に沿つて切断矢視した部分縦断面図
である。 符号の説明、１；露光装置、１ｄ；下枠体、１
ｅ；上枠体、１ｆ；透明板、１１；基準ピン、
２；昇降装置、２ａ；昇降枠体、２ｅ；支持ピ
ン、２ｋ；側板、２ｌ；カム円板、２ｎ；ガイド
軸、２ｏ；モータ、３；搬送装置、３ａ；レー
ル、３ｂ；背板ケース、３ｃ；シリンダ、３ｅ；
ピニオンギヤ、３ｆ；固定ラツク、３ｇ；移動ラ
ツク、４；吸着装置、４ａ；吸着板、４ｂ；吸着
パツト、４ｇ；腕体、４ｈ；取付け板、４ｍ；レ
ール、４ｎ；スライド駒、５；搬入装置、５ａ；
昇降シリンダ、５ｄ；ガイド軸、５ｅ；取付けベ
ース、５ｆ；ベース板、５ｈ；レール、５ｊ；昇
降モータ、５ｍ；ガイド軸、５ｎ；押上げ板、５
ｐ；搬出モータ、５ｓ；搬送ベルト、６ｄ；押付
け板、６ｈ；位置決めピン、６；搬出装置、７，
８；収納ケース、９；パレツト、９ｅ，９ｆ；位
置決め欠部、９ｇ；遊離底板、１０；フレーム、
Ｎ；搬入位置、Ｓ；搬出位置、Ｒ；露光位置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 所望枚数のワークを積重状に位置決めして収
   納保持すると共に、前記ワークに対するマスクを
   前記ワークの上位に位置決めして収納保持したパ
   レツトを利用すべく構成した焼付機であつて、光
   源としてのランプと反射鏡と焼き枠体とそして透
   明板とを有する露光装置と、前記パレツトを搬入
   位置に保持すると共に、該パレツトに収納された
   マスクおよびワークのうちの最上位のものを一定
   高さ位置に保持する搬入装置と、前記搬入位置か
   ら露光位置を通つて搬出位置まで延びたレール
   に、該レールに沿つて前記搬入位置と露光位置と
   の間を往復移動する搬入側背板ケースと前記露光
   位置と搬出位置との間を往復移動する搬出側背板
   ケースとを組付けた搬送装置と、下面に前記ワー
   クおよびマスクを吸着保持する多数の吸着パツト
   を設けた吸着板を前記搬送装置の背板ケース前面
   に水平姿勢のまま昇降変位自在に取付けられた吸
   着装置とを有する焼付機。 ２ 所望枚数のワークを積重状に位置決めして収
   納保持すると共に、前記ワークに対するマスクを
   前記ワークの上位に位置決めして収納保持したパ
   レツトを利用すべく構成した焼付機であつて、光
   源としてのランプと反射鏡と焼き枠体とそして透
   明板とを有する上側露光部と下側露光部とから成
   る露光装置と、該露光装置の上側露光部を昇降変
   位自在に保持する昇降装置と、前記パレツトを搬
   入位置に保持すると共に、該パレツトに収納され
   たマスクおよびワークのうちの最上位のものを一
   定高さ位置に保持する搬入装置と、前記搬入位置
   から露光位置を通つて搬出位置まで延びたレール
   に、該レールに沿つて前記搬入位置と露光位置と
   の間を往復移動する搬入側背板ケースと前記露光
   位置と搬出位置との間を往復移動する搬出側背板
   ケースとを組付けた搬送装置と、下面に前記ワー
   クおよびマスクを吸着保持する多数の吸着パツト
   を設けた吸着板を前記搬送装置の背板ケース前面
   に水平姿勢のまま昇降変位自在に取付けられた吸
   着装置とを有する焼付機。