JP3842655B2 - 帯状ワークの緊張装置、及び同装置を用いた帯状ワークの加工又は検査装置 - Google Patents
帯状ワークの緊張装置、及び同装置を用いた帯状ワークの加工又は検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3842655B2 JP3842655B2 JP2002017883A JP2002017883A JP3842655B2 JP 3842655 B2 JP3842655 B2 JP 3842655B2 JP 2002017883 A JP2002017883 A JP 2002017883A JP 2002017883 A JP2002017883 A JP 2002017883A JP 3842655 B2 JP3842655 B2 JP 3842655B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- workpiece
- processing
- shaped workpiece
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
- Controlling Rewinding, Feeding, Winding, Or Abnormalities Of Webs (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、帯状ワーク、例えば有機化合物のフィルムの緊張装置、及び同装置を用いた帯状ワークの加工又は検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
帯状ワーク上へのマスクパターンの露光、ガイド孔のパンチング、又はICチップの実装等には、生産効率の高い設備とするためにロール・ツウ・ロール方式が採用されている。
【0003】
かかるロール・ツウ・ロール方式では、ロール巻きした帯状ワークを巻き出し、各種の加工ユニット又は検査ユニットを経て、巻き取りリールに巻き取られるが、加工ユニット又は検査ユニットにおいては帯状ワークの厳しい位置決め精度が必要であるため、巻出装置から繰り出された帯状ワークを、加工ユニット又は検査ユニットを経由して巻取装置に連続的に搬送する場合、各所における搬送速度のずれの吸収や帯状ワークへの張力付与のため、加工ユニット又は検査ユニットの前後に緊張装置を配設している。
【0004】
このような緊張装置は、既に各種特許文献により公知である。例えば、特許第2836787号公報には、フィルムの弛んだ部分を収納する箱体の該フィルムの幅方向の側板には多数の穴が、また底部には吸引孔が設けられ、該吸引孔には箱体外部からの空気を該側板の穴から該底面の吸引孔へ流すように吸引する吸引手段を具備する装置が開示されている。
【0005】
また、特開平6−115780号公報には、フィルム材の垂下部分を収容可能に形成された上部開放の空箱体と、この空箱体内に収容された該垂下部分の各外面と空箱体の各内壁面との間に空気を吐出する一対の吐出ノズルと、空箱体の底部吸引口から空気を吸込んで該垂下部分の下端を下方に吸引するための負圧を生成する負圧生成手段とから成る装置がが開示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、特許第2836787号公報に記載の装置では、フィルムの裏面と側板間に負圧による空気流が形成されるので、フィルムに傷を付けることはないが、穴から流入した風がフィルムをその搬送方向と直交する方向に僅かに押しながら吸引口に流れるので、例えば穴の不均一性等により薄物フィルムでは搬送に乱れ、即ち、バタツキが生じる。その結果、加工ユニット又は検査ユニットにおける位置決め精度に悪影響を与えることになる。
【0007】
また、特開平6−115780号公報に記載の装置では、空箱体に収容されたフィルム材の垂下部分の各外面と空箱体の各内壁面との間に、しかもフィルム材の走行方向の直交方向に空気を吐出しているので、前者の公知例の場合よりも搬送の乱れ、即ち、バタツキが大きくなり、蛇行の原因となる。
【0008】
更に、フィルム材の静電気等でその一部が空箱体の内壁面に接着したときは、吐出された空気がフィルム材と空箱体の内壁面との隙間部で抵抗が小さいためショートパスし、効率的な緊張機能と円滑な搬送効果が得られないという問題がある。
【0009】
その上、空箱体の下部に設けたブロワーから出た空気を吐出するため、フィルム材に塵埃を撒き散らすことになり、フィルム材にファインパターンの微細な加工を施すような場合にはダメージが大きい。
【0010】
そこで、本発明の目的は、帯状ワーク、例えば、有機化合物のフィルムに損傷を与えることなく、また、搬送に乱れ、即ち、バタツキを生じる心配がない帯状ワークの緊張装置、及び同装置を用いた帯状ワークの加工又は検査装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の帯状ワークの緊張装置 は、一対のガイドローラ間に配設された帯状ワークの垂下部分を収容可能に形成された上部開放の箱体と、該箱体の底部に配設した前記帯状ワークの垂下部分を吸引するための負圧生成手段とから成る帯状ワークの緊張装置 において、前記箱体の帯状ワークの幅方向の側板を、該側板と前記帯状ワークとの間に空気道を確保するように、エンボス加工を施した板材で構成せしめたものである。
【0012】
かかる構成により、帯状ワークと側板との間に確実に空気道を形成し得るので、帯状ワークが箱体の側板に密着することがなくなり、蛇行の発生も皆無となる。
【0013】
なお、箱体の帯状ワークの幅方向の側板はエンボス加工した金属板で形成しても良いし、箱体を構成する側板にエンボス加工した金属板を貼り付けても良い。エンボス加工は帯状ワークの走行抵抗を軽減するために半球状が望ましい。
【0014】
また、本発明の帯状ワークの加工又は検査装置は、帯状ワークの搬送方向に沿って、帯状ワークの巻出装置、加工又は検査ユニット、グリップフィード装置、及び帯状ワークの巻取装置をこの順序に設けると共に、前記巻出装置と加工又は検査ユニットの間、及び前記グリップフィード装置と前記巻取装置の間に夫々本発明の帯状ワークの緊張装置を配設せしめたものであり、前記従来例のような塵埃発生の問題はなく、無塵状態での加工又は検査を行うことができるので、極めて有効である。
【0015】
なお、加工ユニットとはガイド孔のパンチング、樹脂コーティング、マスクパターンの露光、回路パターンの印刷又はICチップの実装等を行う装置を指すものである。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【0017】
本発明の帯状ワークの緊張装置は、図1に示す如く、一対のガイドローラ2、2′間に配設された、帯状ワーク3の垂下部分を収納する上部開放の箱体1と、該箱体1の底部の多孔板4、吸引配管5を介して接続された不図示の負圧生成手段とから成り、該箱体1の帯状ワーク3の幅方向の側板6、6′は、図2に示すようにエンボス加工が施されている。このエンボス加工は図3に拡大図で示すように半球状が望ましい。
【0018】
なお、負圧生成手段は吸引配管5を用いずに、多孔板4の下部に直接配設することも可能である。更に、図示していないが、図1において、側板6、6′の何れか一方に帯状ワークの垂下部分の下端の位置を一定の範囲にコントロールするために少なくとも2個の位置検出センサを設けている。
【0019】
次に、図4に基づいて本発明の帯状ワークの加工又は検査装置を説明する。本発明は、帯状ワークのガイド孔のパンチング装置、帯状ワークへの樹脂コーティング装置、帯状ワーク上へのマスクパターンの露光装置、帯状ワークへの印刷装置、又はICチップの実装装置等、或は検査装置に適用可能であるが、一例として、帯状ワーク上へのマスクパターンの露光装置について説明する。
【0020】
該露光装置は、帯状ワーク3の搬送方向に沿って、帯状ワーク3の巻出装置11、緊張装置10、露光ユニット12、グリップフィード装置13、緊張装置10、及び巻取装置14を配設したものである。
【0021】
緊張装置10の底部に接続した吸引配管5は負圧生成手段である吸引ブロアー7に接続されている。
【0022】
露光ユニット12は、露光機ユニット15と、マスク16と、露光時に帯状ワーク3を所定位置に固定する吸着ステージ17と、一対の昇降ローラ18、18′から成る。
【0023】
グリップフィード装置13は、固定グリップ19と移動グリップ20とから構成され、移動グリップ20は駆動モータ21に接続された送り螺子22で左右動する。
【0024】
上記帯状ワークの露光装置において、帯状ワークの搬送・露光処理は次のように行われる。
【0025】
巻出装置11から引出された帯状ワーク3は緊張装置10を経て露光ユニット12で所定の露光処理が行われ、グリップフィード装置13及び緊張装置10を経て巻取装置14で巻き取られる。
【0026】
そして、所定の露光処理が行われると、吸着ステージ17の吸引が停止され、昇降ローラ18、18′を上昇せしめて、固定グリップ19を開にすると共に移動グリップ20を閉にして所定距離分帯状ワーク3を搬送せしめる。
【0027】
かかる搬送の結果、グリップフィード装置13と巻取装置14の間に設けた緊張装置10において帯状ワーク3の垂下部分の下端位置が下限センサ26で検知されると巻取装置14を駆動し、上限センサ25で検知されると巻取装置14の駆動は停止される。
【0028】
一方、巻出装置11と露光ユニット12との間に設けた緊張装置において、帯状ワーク3の垂下部分の下端が上限センサ23で検知されると巻出装置11は駆動し、下限センサ24で検知されると駆動は停止される。
【0029】
そして、次回の露光領域が露光ユニット12に至ると昇降ローラ18、18′を下降せしめると共に、吸着ステージ17を作用させて帯状ワーク3の露光領域を固定する。次いで、マスク16をXYZθ駆動せしめてマスク16と帯状ワーク3との位置合わせを行う。その後、所定の露光処理を行う。
以下、この作業を繰り返すことになる。
【0030】
なお、巻出装置11は帯状ワーク3が惰性で搬送されないように、搬送方向と逆方向に回転する力が常に加えられている。
【0031】
【発明の効果】
本発明の緊張装置は箱体の帯状ワークの幅方向の側板をエンボス加工を施した板材で構成せしめたことを特徴とするものであり、帯状ワークと側板との間に確実に空気道を形成し得るので、帯状ワークが箱体の側板に密着することがなくなり、蛇行の発生も皆無となる。
【0032】
また、本発明の帯状ワークの加工又は検査装置は、帯状ワークの搬送方向に沿って、帯状ワークの巻出装置、加工又は検査ユニット、グリップフィード装置、及び帯状ワークの巻取装置をこの順序に設けると共に、前記巻出装置と加工又は検査ユニットの間、及び前記グリップフィード装置と前記巻取装置の間に夫々本発明の帯状ワークの緊張装置を配設せしめたものであり、従来例のように帯状ワークに対し、空気を吹き付けることがないので、塵埃発生の問題はなく、無塵状態での加工又は検査を行うことができるので、極めて有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の帯状ワークの緊張装置の概要を示す斜視図である。
【図2】本発明の帯状ワークの緊張装置の帯状ワークの幅方向の側板の概略図である。
【図3】図2のA部の拡大図である。
【図4】本発明の帯状ワークの加工又は検査装置の一例である露光装置の概要を示す正面図である。
【符号の説明】
1 箱体
2、2′ ガイドローラ
3 帯状ワーク
6、6′ 側板
7 吸引ブロアー
11 巻出装置
12 露光ユニット
13 グリップフィード装置
14 巻取装置
Claims (3)
- 一対のガイドローラ間に配設された帯状ワークの垂下部分を収容可能に形成された上部開放の箱体と、該箱体の底部に設けた前記帯状ワークの垂下部分を吸引するための負圧生成手段とから成る帯状ワークの緊張装置において、前記箱体の帯状ワークの幅方向の側板を、該側板と前記帯状ワークとの間に空気道を確保するように、エンボス加工を施した板材で構成せしめたことを特徴とする帯状ワークの緊張装置。
- 前記側板の全面に半球状のエンボス加工を施したことを特徴とする請求項1に記載の帯状ワークの緊張装置。
- 帯状ワークの搬送方向に沿って、帯状ワークの巻出装置、加工又は検査ユニット、グリップフィード装置、及び帯状ワークの巻取装置をこの順序に設けると共に、前記巻出装置と加工又は検査ユニットの間、及び前記グリップフィード装置と前記巻取装置の間に夫々請求項1に記載の帯状ワークの緊張装置を配設せしめたことを特徴とする帯状ワークの加工又は検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002017883A JP3842655B2 (ja) | 2002-01-28 | 2002-01-28 | 帯状ワークの緊張装置、及び同装置を用いた帯状ワークの加工又は検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002017883A JP3842655B2 (ja) | 2002-01-28 | 2002-01-28 | 帯状ワークの緊張装置、及び同装置を用いた帯状ワークの加工又は検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003212408A JP2003212408A (ja) | 2003-07-30 |
JP3842655B2 true JP3842655B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=27653425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002017883A Expired - Lifetime JP3842655B2 (ja) | 2002-01-28 | 2002-01-28 | 帯状ワークの緊張装置、及び同装置を用いた帯状ワークの加工又は検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3842655B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104973439A (zh) * | 2014-04-14 | 2015-10-14 | 亚伊色尔株式会社 | 片材张力机构 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103043488A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-17 | 应树丰 | 一种蜂窝纸芯机 |
-
2002
- 2002-01-28 JP JP2002017883A patent/JP3842655B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104973439A (zh) * | 2014-04-14 | 2015-10-14 | 亚伊色尔株式会社 | 片材张力机构 |
CN104973439B (zh) * | 2014-04-14 | 2018-03-02 | 亚伊色尔株式会社 | 片材张力机构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003212408A (ja) | 2003-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3417313B2 (ja) | 帯状ワークの露光装置 | |
ITRM930057A1 (it) | Procedimento ed apparecchio per la rimozione del foglio di copertura da pannelli laminati. | |
JP6439931B2 (ja) | 吸着搬送装置および吸着搬送方法 | |
KR101376160B1 (ko) | 롤투롤 필름 처리 시스템 | |
JP2013103806A (ja) | フィルムの間欠搬送装置及びフィルムの間欠搬送方法 | |
JP3842655B2 (ja) | 帯状ワークの緊張装置、及び同装置を用いた帯状ワークの加工又は検査装置 | |
JP3672028B2 (ja) | 帯状ワークの露光装置 | |
US6152345A (en) | Method for controlling width-wise expansion of a conveyed web | |
JPH05246011A (ja) | 刷版作成装置 | |
JP3409769B2 (ja) | 帯状ワークの露光装置 | |
KR101666802B1 (ko) | 롤투롤 코팅 시스템 | |
JP4876265B2 (ja) | シート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置 | |
JP2002113841A (ja) | 枚葉紙処理機械、特に枚葉紙印刷機の排紙装置 | |
JP2009220945A (ja) | 搬送装置 | |
JP6468485B2 (ja) | 吸着搬送装置および吸着搬送方法 | |
KR20170006307A (ko) | 롤투롤 필름 처리 시스템 및 방법 | |
JPH11240653A (ja) | スリット基材の巻取装置 | |
JP6536081B2 (ja) | 処理システムおよび処理方法 | |
JP4499482B2 (ja) | 帯状ワークの露光装置 | |
JP2005262088A (ja) | 支持体表面の防塵方法及び装置 | |
JPH11334953A (ja) | 帯状ワークの搬送・加工装置 | |
KR100515046B1 (ko) | 강판 형상 측정용 샘플 이송장치 | |
JP3613564B2 (ja) | 薄物帯状ワークの吸着ステージ | |
CN220502126U (zh) | 一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置 | |
US6108930A (en) | Apparatus for controlling widthwise expansion of a conveyed web |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040716 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040722 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040820 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040915 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041015 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041110 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20041115 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20050114 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060810 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3842655 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090818 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110818 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120818 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130818 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |