KR101376160B1 - 롤투롤 필름 처리 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명인 롤투롤 필름 처리 시스템은 피처리 필름을 풀어서 공급하는 언와이딩 장치, 상기 언와이딩 장치에서 공급되는 피처리 필름에 대하여 공정을 처리하는 공정 처리 장치 및 상기 공정 처리 장치에서 공정 처리된 피처리 필름을 되감는 리와인딩 장치를 포함하여 이루어지고, 공정 처리될 피처리 필름을 버퍼링 상태로 유지하여 공급하고, 공정 처리된 피처리 필름을 버퍼링 상태로 유지하여 감아서, 언와인딩 장치와 리와인딩 장치 사이의 피처리 필름이 손상되는 문제점을 해결할 수 있다.

Description

롤투롤 필름 처리 시스템{apparatus for processing film by roll­to­roll method}

본 발명은 롤투롤 필름 처리 시스템에 관한 것으로, 특히 공정 처리될 피처리 필름을 버퍼링 상태로 유지하여 공급하고, 공정 처리된 피처리 필름을 버퍼링 상태로 유지하여 감는 롤투롤 필름 처리 시스템에 관한 것이다.

롤투롤(roll to roll) 처리 기술은 최근 생산라인에 지속적으로 확산, 도입되고 있는 차세대 처리 기술로서, 수율과 생산성을 향상시키고, 아울러 제조 비용을 낮추어 제품의 경쟁력을 향상시킬 수 있는 기술이다.

종래의 롤투롤 방식을 이용한 필름 처리 시스템은 피처리 필름을 풀어서 공급하는 언와이딩 장치와, 상기 언와인딩 장치에서 공급되는 피처리 필름에 대하여 공정을 처리하는 공정 처리 장치 및 상기 공정 처리 장치에서 공정 처리된 피처리 필름을 다시 감는 리와인딩 장치를 포함하여 구성된다.

상기 언와인딩 장치와 상기 리와인딩 장치 사이에 배치되는 상기 피처리 필름은 텐션이 유지된다. 따라서 상기 언와인딩 장치와 상기 리와인딩 장치는 상기 피처리 필름이 텐션을 유지할 수 있도록 구동된다.

그런데, 이와 같은 종래의 방식에 의하면, 상기 리와인딩 장치에 의한 상기 피처리 필름의 감겨지는 속도가 상기 언와인딩 장치에 의한 상기 피처리 필름의 풀리는 속도보다 빠를 때, 상기 피처리 필름이 찢어지거나 늘어나는 문제점을 발생시킨다.

본 발명은 공정 처리될 피처리 필름을 버퍼링 상태로 유지하여 공급하고, 공정 처리된 피처리 필름을 버퍼링 상태로 유지하여 감는 롤투롤 필름 처리 시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 롤투롤 필름 처리 시스템을 이루는 구성수단은, 보호 필름과 함께 감겨져 있는 피처리 필름을 풀어서 공급하는 언와이딩 장치, 상기 언와이딩 장치에서 공급되는 피처리 필름에 대하여 공정을 처리하는 공정 처리 장치 및 상기 공정 처리 장치에서 공정 처리된 피처리 필름에 보호 필름을 부착하여 감는 리와인딩 장치를 포함하여 이루어지되, 상기 언와인딩 장치는 상기 보호 필름이 부착된 상태로 상기 피처리 필름이 감겨져 있고, 회전력에 의하여 상기 보호 필름이 부착된 피처리 필름을 풀어서 공급하는 언와이딩 롤러, 상기 언와이딩 롤러 전방에 배치되되, 상호 수직 방향으로 이격 배치되는 상하 가이드 롤러, 상기 상하 가이드 롤러 후방 상측에 배치되어 상기 상하 가이드 롤러 사이를 통과한 상기 보호 필름을 회전력에 의하여 감는 보호 필름 회수 롤러 및 상기 상하 가이드 롤러 사이를 통과하여 상기 보호 필름이 분리된 상태의 상기 피처리 필름을 상기 공정 처리 장치로 회전력에 의하여 공급하는 공급 롤러를 포함하여 구성되고, 상기 상하 가이드 롤러와 상기 공급 롤러 사이를 통과하는 상기 피처리 필름은 텐션을 유지하지 않고, 버퍼링 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.

여기서, 상기 공정 처리 장치는 복수개의 공정을 연속적으로 처리하기 위하여, 각 공정을 처리할 수 있는 챔버가 연속적으로 연결되어 구성되고, 각 챔버 내 하부에는 상기 피처리 필름을 이송할 수 있는 회전 이송 롤러가 구비되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 리와인딩 장치는 상기 공정 처리 장치에서 공정 처리가 완료된 상기 피처리 필름이 하방향으로 안내되도록 하는 안내봉, 상기 하방향으로 안내되어 버퍼링 상태에 있는 상기 피처리 필름을 회전력으로 끌어올려 이송시키는 흡착 롤러, 상기 흡착 롤러 전방에 배치되어 상기 피처리 필름의 텐션을 유지시키는 텐션 유지 롤러 및 상기 텐션 유지 롤러 하측에 배치되어 텐션을 유지한 상태로 상기 피처리 필름을 감는 리와인딩 롤러를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 리와인딩 장치는 상기 리와인딩 롤러 상측에 배치되어 상기 리와인딩 롤러에 감겨지는 상기 피처리 필름이 보호 필름과 함께 감겨질 수 있도록 상기 보호 필름을 제공하는 보호 필름 제공 롤러를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 텐션 유지 롤러, 상기 리와인딩 롤러 및 상기 보호 필름 제공 롤러는 각각의 일단이 수평 이동체에 결합되고, 상기 텐션 유지 롤러의 후방에는 상기 피처리 필름 에지 부분의 정렬 상태를 센싱하는 정렬 감지 센서가 인접하여 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 흡착 롤러와 상기 텐션 유지 롤러 사이에는 상기 피처리 필름의 위치를 교정하는 교정 롤러가 배치되고, 상기 교정 롤러의 양단은 각각 승강할 수 있도록 구동기에 결합되며, 상기 교정 롤러의 양측 상부에는 상기 피처리 필름의 이탈을 감지하는 이탈 감지 센서가 설치되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 상하 가이드 롤러와 상기 공급 롤러 사이에는 상기 피처리 필름을 정렬된 상태로 절단하기 위한 절단판이 접철 가능하게 배치되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 상하 가이드 롤러 상측에는 상기 피처리 필름의 표면에 발생한 정전기를 제거하는 이오나이저가 설치되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 언와인딩 장치에서 공급하는 상기 피처리 필름은 기재 필름 상에 패터닝 대상층과 포토레지스트층이 순서대로 적층된 후, 노광 공정을 마친 상태이고, 상기 공정 처리 장치는 상기 피처리 필름에 대하여 현상 공정, 에칭 공정 및 스트립 공정을 순서대로 처리하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 현상 공정, 에칭 공정 및 스트립 공정은 각각의 챔버 내에서 처리되고, 상기 각각의 챔버 입구 하측에 형성된 개구부에는 상기 개구부를 통해 상기 챔버 내로 이동하는 상기 피처리 필름의 양측을 가이드하는 사이드 안내 부재가 설치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 공정 처리될 피처리 필름을 버퍼링 상태로 유지하여 공급하고, 공정 처리된 피처리 필름을 버퍼링 상태로 유지하여 감기 때문에, 언와인딩 장치와 리와인딩 장치 사이의 피처리 필름이 손상되는 문제점을 해결할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 롤투롤 필름 처리 시스템의 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 필름 처리 시스템을 구성하는 언와인딩 장치의 사시도이고, 도 3은 공정 처리 장치의 챔버를 보여주는 개략도이며, 도 4는 리와인딩 장치의 사시도이다.
도 5는 본 발명에 적용되는 정렬 감지 센서의 동작을 보여주기 위한 개략도이고, 도 6은 정렬 감지 센서의 감지 결과에 따른 수평 이동체의 이동 방향을 설명하기 위한 개략도이다.
도 7은 본 발명에 적용되는 교정 롤러와 이탈 감지 센서의 동작을 보여주기 위한 개략도이고, 도 8은 본 발명에 적용되는 절단판의 구조를 보여주는 개략도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 롤투롤 필름 처리 시스템에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 롤투롤 필름 처리 시스템의 전체 구조를 보여준다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 롤투롤 필름 처리 시스템(100)은 피처리 필름을 풀어서 공급하는 언와인딩 장치(10), 상기 피처리 필름에 대하여 공정 처리를 수행하는 공정 처리 장치(30) 및 상기 공정 처리된 피처리 필름을 다시 감는 리와인딩 장치(50)를 포함하여 구성된다.

상기 언와인딩 장치(10)는 보호 필름(P)과 함께 감겨져 있는 피처리 필름(F)을 풀어서 상기 공정 처리 장치(30)로 공급한다. 상기 피처리 필름은 상기 언와인딩 장치(10)에 마련된 버퍼링 공간(B)에서 버퍼링 상태를 거친 후, 상기 공정 처리 장치(30)로 공급된다.

상기 공정 처리 장치(30)는 상기 언와인딩 장치(10)에서 공급되는 피처리 필름에 대하여 적어도 하나 이상의 공정을 처리한다. 예를 들어, 상기 공정 처리 장치(30)는 복수개의 챔버로 구성되어, 현상 공정, 에칭 공정 및 스트립 공정 등을 연속적으로 수행할 수 있다.

상기 리와인딩 장치(50)는 상기 공정 처리 장치(30)에서 공정 처리된 피처리 필름(F)을 되감는다. 이때, 상기 리와인딩 장치(50)는 상기 공정 처리된 피처리 필름을 보호하기 위한 보호 필름을 상기 피처리 필름에 부착하여 함께 감는다. 상기 공정 처리된 피처리 필름은 상기 리와인딩 장치(50)에 마련된 버퍼링 공간(B')에서 버퍼링 상태를 거친 후, 상기 보호 필름과 함께 감겨진다.

본 발명에 따른 롤투롤 필름 처리 시스템은 상기 피처리 필름(F)이 상기 언와인딩 장치(10)에 마련된 버퍼링 공간(B)에서 버퍼링 상태를 유지하면서 상기 공정 처리 장치(30)로 공급되도록 하고, 상기 공정 처리된 피처리 필름(F)이 상기 리와인딩 장치(50)에 마련된 버퍼링 공간(B')에서 버퍼링 상태를 유지하면서 되감겨질 수 있도록 한다. 따라서, 상기 언와인딩 장치(10)와 상기 리와인딩 장치(50) 사이의 피처리 필름은 찢어지거나 늘어나는 문제가 발생하지 않는다.

상기 언와인딩 장치(10)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 피처리 필름이 텐션을 유지하지 않고, 늘어진 상태를 유지할 수 있도록 하는 버퍼링 공간(B)을 구비한다. 따라서, 상기 피처리 필름은 상기 버퍼링 공간(B)에서 버퍼링 상태를 거친 후, 상기 공정 처리 장치(30)로 공급된다.

상기 언와인딩 장치(10)는 도 2에 도시된 바와 같이, 보호 필름(P)이 부착된 피처리 필름(F)을 풀어서 공급하는 언와인딩 롤러(11), 상기 언와인딩 롤러(11) 전방(공정 처리 장치를 향하는 방향)에 배치되는 상하 가이드 롤러(13), 상기 상하 가이드 롤러(13)를 통과하면서 분리되는 상기 보호 필름(P)을 당겨서 감는 보호 필름 회수 롤러(15) 및 상기 상하 가이드 롤러(13)를 통과하면서 분리되는 상기 피처리 필름(F)을 회전력으로 끌어 당겨서 상기 공정 처리 장치(30)로 공급하는 공급 롤러(17)를 포함하여 구성된다.

상기 언와인딩 롤러(11)는 상기 보호 필름이 부착된 상기 피처리 필름을 감고 있고, 상기 보호 필름이 부착된 피처리 필름을 풀어서 공급하기 위하여 회전 구동된다. 구체적으로, 상기 언와인딩 롤러(11)에는 상기 보호 필름이 부착된 상태로 상기 피처리 필름이 감겨져 있고, 상기 언와인딩 롤러(11)는 모터와 같은 구동 장치(미도시)의 회전력에 의하여 상기 보호 필름이 부착된 피처리 필름을 풀어서 공급한다.

상기 언와인딩 롤러(11)에 감겨져 있는 상기 피처리 필름은 소정의 공정(예를 들어, 금속층 및 포토레지스트층 적층 공정)을 받은 상태일 수 있다. 따라서, 상기 피처리 필름은 상기 보호 필름이 겹쳐져서 부착된 상태로 상기 언와인딩 롤러(11)에 감겨져 있다.

상기 언와인딩 롤러(11)로부터 풀어져서 공급되는 상기 보호 필름이 부착된 피처리 필름은 상기 상하 가이드 롤러(13)를 통과할 수 있도록 배치된다. 상기 상하 가이드 롤러(13)는 상기 언와인딩 롤러(11) 전방(공정 처리 장치가 배치되는 방향)에 배치되되, 상호 수직 방향으로 이격 배치된다. 즉, 상기 상하 가이드 롤러(13)는 상부 가이드 롤러(13a)와 이 상부 가이드 롤러(13a)의 하측으로 이격되어 배치되는 하부 가이드 롤러(13b)로 구성된다. 상기 상하 가이드 롤러(13)는 구동 장치의 회전력에 의하여 회전되는 것이 아니라, 외력에 의하여 자유자재로 회전되는 아이들 롤러(idle roller)이다.

상기 보호 필름이 부착된 피처리 필름은 상기 상부 가이드 롤러(13a)와 상기 하부 가이드 롤러(13b) 사이의 이격 공간을 통하여 지나간다. 상기 상부 가이드 롤러(13a)와 상기 하부 가이드 롤러(13b) 사이의 이격 공간을 통과한 상기 피처리 필름은 상기 보호 필름과 분리된 상태로 상기 버퍼링 공간(B)으로 이동하고, 상기 피처리 필름으로부터 분리된 상기 보호 필름은 상기 상부 가이드 롤러(13a)에 의하여 텐션이 유지된 상태로 상기 보호 필름 회수 롤러(15)에 감겨진다.

상기 보호 필름 회수 롤러(15)는 상기 상하 가이드 롤러(13)의 후방(언와인딩 롤러가 배치되는 방향) 상측에 배치되어 상기 상하 가이드 롤러(13) 사이를 통과한 상기 보호 필름을 회전력에 의하여 감는다. 상기 보호 필름 회수 롤러(15)가 상기 상하 가이드 롤러(13)의 후방 상측에 배치되고, 구동 장치(미도시)의 회전력에 의하여 회전되기 때문에, 상기 상하 가이드 롤러(13)를 통과한 상기 보호 필름은 상기 상부 가이드 롤러(13a)에 접촉된 상태로 상기 보호 필름 회수 장치(15)에 의하여 당겨진다. 결과적으로, 상기 보호 필름과 상기 피처리 필름은 분리되고, 상기 분리된 보호 필름은 상기 보호 필름 회수 롤러(15)에 감겨지며, 상기 분리된 피처리 필름은 자중에 의하여 상기 버퍼링 공간(B)으로 이동한다.

상기 버퍼링 공간(B)으로 이동한 상기 피처리 필름은 버퍼링 상태를 거친 후, 상기 공급 롤러(17)의 회전력에 의하여 상기 공정 처리 장치(30)로 공급된다. 상기 공급 롤러(17)는 상기 상하 가이드 롤러(13) 사이를 통과하여 상기 보호 필름이 분리된 상태의 상기 피처리 필름을 상기 공정 처리 장치(30)로 회전력에 의하여 공급한다.

상기 공급 롤러(17)는 상기 피처리 필름과 접촉된 상태를 유지한다. 따라서, 상기 공급 롤러(17)에 회전력이 발생하면, 상기 공급 롤러(17)의 표면과 상기 피처리 필름 표면 사이의 마찰력에 의하여, 상기 피처리 필름이 상기 공정 처리 장치로 공급될 수 있다. 상기 공급 롤러(17)는 구동 장치(미도시)에 의하여 회전력을 발생시킬 수 있다. 또한, 상기 공급 롤러(17)는 별도의 구동 장치(미도시)에 의하여 회전되는 것이 아니라, 아이들 롤러(idle roller)로 구성될 수 있다. 이 경우, 상기 아이들 롤러로 구성되는 공급 롤러(17)는 상기 리와인딩 장치(50)에서 당기는 힘에 의하여 이동하는 상기 피처리 필름과의 접촉 마찰력에 의하여 회전력을 받는다.

상기 공급 롤러(17)에 의하여 상기 공정 처리 장치(30)로 공급되는 상기 피처리 필름은 상기 버퍼링 공간(B)에서 버퍼링 상태를 거친다. 상기 버퍼링 공간(B)은 상기 상하 가이드 롤러(13)와 상기 공급 롤러(17) 사이에 형성된다. 이 버퍼링 공간(B)은 상기 피처리 필름이 텐션을 유지하지 않은 상태, 즉 버퍼링 상태를 유지할 수 있는 공간에 해당한다.

따라서, 상기 상하 가이드 롤러(13)와 상기 공급 롤러(17) 사이(버퍼링 공간)를 통과하는 상기 피처리 필름은 텐션을 유지하지 않고, 버퍼링 상태를 유지한다. 상기 버퍼링 공간에서의 상기 피처리 필름은 상기 상하 가이드 롤러(13)에서 하방향으로 늘어진 후, 다시 상기 공급 롤러(17)에 의하여 상방향으로 이동하는 상태를 유지한다. 즉, 상기 버퍼링 공간(B)에서의 상기 피처리 필름은 지면에 닿지 않은 상태를 유지하면서 "U"자 형상을 유지한다. 상기 버퍼링 공간(B)의 상측과 하측 중, 적어도 한 쪽에는 상기 버퍼링 상태의 피처리 필름의 최하단과 지면 사이의 거리를 측정할 수 있는 이격 거리 측정 센서가 구비되는 것이 바람직하다. 상기 이격 거리 측정 센서에 의하여, 상기 지면과 피처리 필름 사이의 거리가 사전에 정해진 최소 허용거리보다 작은 것으로 감지되면, 상기 언와인딩 롤러(11)의 회전 속도가 감소되도록 제어함으로써, 상기 피처리 필름이 지면에 닿는 것을 방지한다.

상기 언와인딩 장치(10)에 마련된 버퍼링 공간(B)에서 버퍼링 상태를 거친 후, 상기 공정 처리 장치(30)로 공급되는 상기 피처리 필름(F)은 상기 공정 처리 장치(30)를 이동하면서 적어도 하나 이상의 공정 처리를 받는다.

상기 공정 처리 장치(30)는 복수개의 공정을 연속적으로 처리하기 위한 복수의 챔버로 구성된다. 예를 들어, 상기 공정 처리 장치(30)는 현상(development) 공정을 수행하는 챔버, 에칭 공정을 수행하는 챔버, 스트립(strip) 공정을 수행하는 챔버, 세정 공정을 수행하는 챔버, 액절(liquid removing) 공정을 수행하는 챔버, 건조 공정을 수행하는 챔버 등이 연속적으로 연결되어 구성된다.

상기 각각의 챔버 내 하부에는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 피처리 필름을 이송시킬 수 있는 회전 이송 롤러(33)가 구비된다. 따라서, 상기 피처리 필름은 상기 회전 이송 롤러(33)에 의하여 상기 챔버(31)들을 거치면서 이동할 수 있고, 해당 챔버(31) 내에서 소정의 공정을 수행받는다.

즉, 상기 공정 처리 장치(30)는 복수개의 공정을 연속적으로 처리하기 위하여, 각 공정을 처리할 수 있는 챔버(31)가 연속적으로 연결되어 구성되고, 각 챔버(31) 내 하부에는 상기 피처리 필름을 이송할 수 있는 회전 이송 롤러(33)가 구비되어 있다.

상기 공정 처리 장치(30)를 구성하는 복수의 챔버(31)를 거치면서 복수의 공정을 수행받은 상기 피처리 필름은 상기 리와인딩 장치(50)에 의하여 다시 감겨진다.

도 4는 상기 리와인딩 장치의 사시도를 보여준다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 리와인딩 장치(50)는 상기 공정 처리 장치(30)에서 공정 처리가 완료된 상기 피처리 필름을 하방향으로 안내하는 안내봉(51), 상기 하방향으로 안내되어 버퍼링 상태에 있는 상기 피처리 필름을 회전력으로 끌어올려 이송시키는 흡착 롤러(52), 상기 흡착 롤러(52) 전방(리와인딩 롤러가 배치되는 방향)에 배치되어 상기 이송되는 피처리 필름의 텐션을 유지시키는 텐션 유지 롤러(53), 상기 텐션 유지 롤러(53) 하측에 배치되어 텐션을 유지한 상태로 상기 피처리 필름을 감는 리와인딩 롤러(54)를 포함하여 구성된다.

상기 안내봉(51)은 상기 공정 처리 장치(30)의 챔버(31)를 거치면서 공정 처리가 완료된 피처리 필름을 하방향으로 안내하기 위하여, 상기 공정 처리 장치(30)를 구성하는 복수개의 챔버(31) 중, 마지막 챔버의 출구 쪽에 배치된다. 즉, 상기 안내봉(51)은 상기 공정 처리 장치에서 공정 처리가 완료된 상기 피처리 기판이 자중에 의하여 하방향으로 안내되도록 한다. 상기 안내봉(51)은 표면이 매끄럽고 부드러운 재질로 형성되고, 아이들 롤러로 구성되는 것이 바람직하다.

상기 안내봉(51)을 따라 하방향으로 안내되는 피처리 필름은 리와인딩 장치(50)에 마련된 버퍼링 공간(B')에서 버퍼링 상태를 거친 후, 상기 흡착 롤러(52)에 의하여 당겨져서 전방(리와인딩 장치가 배치되는 방향)으로 이송된다. 즉, 상기 공정 처리가 완료된 피처리 필름은 상기 안내봉(51)과 상기 흡착 롤러(52) 사이에 마련되는 버퍼링 공간(B')에서 텐션을 유지하지 않고, 늘어진 상태에 해당하는 버퍼링 상태를 유지한다.

상기 안내봉(51)과 상기 흡착 롤러(52) 사이의 공간에 해당하는 상기 버퍼링 공간(B')에서 버퍼링 상태를 유지하는 상기 피처리 필름은 지면에 닿지 않은 상태로, "U"자 형상을 유지한다. 상기 버퍼링 공간(B')의 상측과 하측 중, 적어도 한 쪽에는 상기 버퍼링 상태의 피처리 필름의 최하단과 지면 사이의 거리를 측정할 수 있는 이격 거리 측정 센서가 구비되는 것이 바람직하다. 상기 이격 거리 측정 센서에 의하여, 상기 지면과 피처리 필름 사이의 거리가 사전에 정해진 최소 허용거리보다 작은 것으로 감지되면, 상기 리와인딩 롤러(54)의 회전 속도가 증가되도록 제어함으로써, 상기 피처리 필름이 지면에 닿는 것을 방지한다.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 안내봉(51)의 하측에는 상기 안내봉(51)을 거쳐 자중에 의하여 하방향으로 안내되는 상기 피처리 필름의 양단을 가이드하는 한 쌍의 가이드판(51a)이 서로 대향되도록 배치되는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 버퍼링 공간(B')에서 버퍼링 상태를 유지하는 상기 피처리 필름은 상기 가이드판(51a)에 의하여 좌우 방향으로 유동되지 않고 안정적인 상태를 유지할 수 있다. 상기 대향 배치되는 한 쌍의 가이드판(51a)은 상기 피처리 필름의 너비에 따라 상호 이격 거리가 조절될 수 있도록 배치되는 것이 바람직하다.

상기 하방향으로 안내되어 버퍼링 상태에 있는 상기 피처리 필름은 상기 흡착 롤러(52)에 의하여 끌어 당겨져서 전방으로 이송된다. 즉, 상기 흡착 롤러(52)는 상기 하방향으로 안내되어 버퍼링 상태에 있는 상기 피처리 필름을 회전력으로 끌어올려 이송시킨다. 상기 흡착 롤러(52)는 구동 장치(미도시)에 의하여 회전 구동된다.

상기 흡착 롤러(52)는 자신의 회전력과 상기 리와인딩 롤러(54)의 당기는 힘에 의하여 상기 버퍼링 상태의 피처리 필름을 끌어올릴 수 있다. 한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 흡착 롤러(52)의 표면에는 상기 피처리 필름을 진공 흡착으로 끌어올려 이송시키기 위하여, 진공홀(52a)이 복수개 형성되어 있다. 따라서, 상기 흡착 롤러(52)는 상기 피처리 필름을 용이하게 끌어올림과 동시에, 자신과 상기 텐션 유지 롤러(53) 사이에 배치되는 피처리 필름의 텐션을 유지시킬 수 있다.

상기 흡착 롤러(52)의 진공 흡착력에 의하여 이송되는 상기 피처리 필름은 상기 텐션 유지 롤러(53)를 거쳐 상기 리와인딩 롤러(54)에 감겨진다. 상기 텐션 유지 롤러(53)는 상기 흡착 롤러(52)의 전방에 배치되어 상기 피처리 필름의 텐션을 유지시킨다. 따라서, 상기 텐션 유지 롤러(53)는 상기 흡착 롤러(52)와 비슷한 높이에 배치될 수 있고, 상기 리와인딩 롤러(54)보다는 더 높게 배치되는 것이 바람직하다. 상기 텐션 유지 롤러(53)는 아이들 롤러인 것이 바람직하다.

상기 리와인딩 롤러(54)는 상기 텐션 유지 롤러(53) 하측에 배치되어 텐션을 유지한 상태로 상기 피처리 필름을 감는다. 따라서, 상기 리와인딩 롤러(54)는 구동 장치(미도시)에 의하여 회전 구동된다. 결과적으로, 상기 버퍼링 공간(B')에서 버퍼링 상태를 거치는 상기 피처리 필름은 상기 리와인딩 롤러(54)의 회전력에 의하여 당겨지고, 텐션이 유지된 상태로 상기 리와인딩 롤러(54)에 감겨질 수 있다.

상기 리와인딩 롤러(54)에 감겨지는 상기 공정 처리가 완료된 피처리 필름을 보호할 필요가 있는 경우에, 상기 피처리 필름(F)은 보호 필름(P)이 부착된 상태로 상기 리와인딩 롤러(54)에 감겨지는 것이 바람직하다. 따라서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 리와인딩 장치(50)는 상기 보호 필름(P)을 공급하는 보호 필름 제공 롤러(55)를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

즉, 상기 리와인딩 장치(50)는 상기 리와인딩 롤러(54) 상측에 배치되어 상기 리와인딩 롤러(54)에 감겨지는 상기 피처리 필름이 보호 필름과 함께 감겨질 수 있도록 상기 보호 필름을 제공하는 보호 필름 제공 롤러(55)를 더 구비한다. 따라서, 상기 리와인딩 롤러(54)는 상기 피처리 필름과 보호 필름을 함께 리와인딩하되, 상기 피처리 필름에 상기 보호 필름이 겹쳐져서 감길 수 있도록 한다.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 텐션 유지 롤러(53), 상기 리와인딩 롤러(54) 및 상기 보호 필름 제공 롤러(55)는 동시에 수평 이동될 수 있도록, 수평 이동체(56)에 결합된다. 즉, 상기 텐션 유지 롤러, 상기 리와인딩 롤러 및 상기 보호 필름 제공 롤러는 각각의 일단이 수평 이동체에 결합되어 있다. 그리고, 상기 수평 이동체(56)는 구동 장치(미도시)에 의하여 수평 방향(피처리 필름의 이송 방항에 직교하는 방향)으로 왕복 이동될 수 있다.

상기 수평 이동체(56)는 상기 텐션 유지 롤러(53)를 거쳐 상기 리와인딩 롤러(54)로 이송되는 상기 피처리 필름의 정렬 상태가 어긋난 경우, 상기 피처리 필름이 다시 정렬 상태를 유지할 수 있는 방향으로 이동되도록 구동된다. 따라서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 텐션 유지 롤러(53)의 후방(흡착 롤러가 배치되는 방향)에는 상기 피처리 필름 에지 부분의 정렬 상태를 센싱하는 정렬 감지 센서(57)가 인접하여 설치된다. 상기 정렬 감지 센서(57)는 상기 텐션 유지 롤러(53)의 전방(라와인딩 롤러가 배치되는 방향)에 인접하여 배치될 수도 있다.

상기 정렬 감지 센서(57)는 송파기(57a)와 수파기(57b)가 수직 방향으로 이격되어 서로 대향 배치되는 투과형 초음파 센서로 구성할 수 있다. 상기 정렬 감지 센서(57)는 상기 피처리 필름이 상기 송파기(57a)와 수파기(57b) 사이를 지나갈 수 있도록 배치된다. 즉, 상기 송파기(57a)와 수파기(57b)는 상기 피처리 기판을 사이에 두고 대향 배치된다.

상기 송파기(57a)에서 송출한 초음파 신호는 상기 수파기(57b)가 수신한다. 상기 수파기(57b)에서 수신된 초음파 신호의 검출 감도는 세 종류로 분류될 수 있다. 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 수파기(57b)는 최소 감도를 수신하거나((a)인 경우), 정렬 허용 감도를 수신하거나((b)인 경우) 또는 최대 감도를 수신(((c)인 경우)할 수 있다.

상기 수파기(57b)가 최소 감도를 수신한 경우((a)인 경우)는 상기 피처리 필름(F)이 초음파 송출 범위(점선으로 표시)를 완전히 차단하는 위치에 있는 경우이고, 정렬 허용 감도를 수신한 경우((b)인 경우)는 상기 피처리 필름이 초음파 송출 범위(점선으로 표시)를 일부 차단하는 위치에 있는 경우이며, 최대 감도를 수신한 경우(((c)인 경우)는 상기 피처리 필름이 초음파 송출 범위(점선으로 표시)를 차단하지 않는 위치에 있는 경우이다.

상기 피처리 필름이 초음파 송출 범위(점선으로 표시)를 일부 차단하는 위치에 있는 경우((b)인 경우)가 상기 피처리 필름이 정렬 상태에 있는 경우이고, 나머지 경우들이 상기 피처리 필름이 정렬되지 않은 상태에 있는 경우이다. 따라서, 상기 수파기(57b)가 최대 감도 또는 최소 감도를 수신한 경우, 상기 피처리 필름이 다시 정렬 상태가 될 수 있도록(수파기가 정렬 허용 감도를 수신할 수 있도록), 상기 수평 이동체(56)를 수평 이동시킨다. 즉, 상기 텐션 유지 롤러(53), 상기 리와인딩 롤러(54) 및 상기 보호 필름 제공 롤러(55)가 동시에 수평 이동되도록 제어함으로써, 상기 피처리 필름이 다시 정렬 상태를 유지하도록 한다.

도 6은 상기 정렬 감지 센서(57)의 감지 결과에 따른 상기 수평 이동체(56)의 이동 방향을 설명하기 위한 개략도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 피처리 필름이 정렬 상태를 벗어난 경우(수파기가 최대 감도를 수신한 경우를 예시함), 상기 수평 이동체(56)를 수평 이동시킴으로써(화살표 방향으로 이동), 상기 피처리 필름이 다시 정렬 상태가 유지될 수 있도록 한다(수파기가 정렬 허용 감도를 수신할 수 있도록 한다).

한편, 도 4 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 리와인딩 장치(50)는 상기 피처리 필름의 위치를 교정하는 교정 롤러(58)와 상기 피처리 필름의 이탈을 감지하는 이탈 감지 센서(59)를 구비한다. 구체적으로, 상기 흡착 롤러(52)와 상기 텐션 유지 롤러(53) 사이에는 상기 피처리 필름의 위치를 교정하는 교정 롤러(58)가 배치되고, 상기 교정 롤러(58)의 양단은 각각 승강할 수 있도록 구동기(58a)에 결합되며, 상기 교정 롤러(58)의 양측 상부에는 상기 피처리 필름의 이탈을 감지하는 이탈 감지 센서(59)가 설치된다.

상기 교정 롤러(58)는 구동 장치(미도시)에 의하여 회전 가능하게 배치될 수도 있지만, 상기 피처리 필름이 접촉 이동함에 따라 자유롭게 회전할 수 있는 아이들 롤러로 구성하는 것이 바람직하다. 상기 교정 롤러(58)의 양단은 각각 상기 구동기(58a)에 결합된다. 상기 구동기(58a)는 상기 교정 롤러(58)의 양단을 각각 승하강시킬 수 있는 장치이면 모두 적용될 수 있는데, 예를 들어, 상기 구동기(58a)는 실린더로 구성될 수 있다.

상기 흡착 롤러(52)와 교정 롤러(58) 사이를 지나가는 상기 피처리 필름이 일측 방향으로 이탈되는 경우, 상기 구동기(58a)는 상기 교정 롤러(58)의 양단 중, 한쪽 단이 상승될 수 있도록 구동된다. 상기 피처리 필름의 이탈은 상기 이탈 감지 센서(59)에 의하여 감지된다. 상기 이탈 감지 센서(59)는 상기 교정 롤러(58)의 양측 상부에 각각 하나씩 배치되어, 상기 피처리 필름이 일측으로 이탈되는 것을 감지한다.

상기 이탈 감지 센서(59)는 상기 피처리 필름의 이탈을 감지할 수 있는 센서이면 모두 적용할 수 있다. 예를 들어, 상기 이탈 감지 센서(59)는 발광부와 수광부를 구비되는 포토 센서로 구성할 수 있다. 구체적으로, 상기 이탈 감지 센서(59)는 상기 피처리 필름이 이탈되지 않은 상태로 이동하는 경우에, 상기 발광부에서 출사한 광이 상기 피처리 필름에 의하여 반사되지 않는 위치에 배치된다. 따라서, 상기 피처리 필름이 정상적으로 이동되면(어느 일측 방향으로 이탈되지 않으면), 상기 교정 롤러(58)의 양측 상부에 설치되는 상기 이탈 감지 센서 각각은 발광부에서 출사한 광을 수광부에서 거의 수신하지 못한다.

반면, 상기 피처리 필름이 일측 방향으로 이탈된 경우, 상기 일측 방향에 배치되는 상기 이탈 감지 센서(59)는 발광부에서 출사되어 상기 피처리 필름에 반사되어 돌아오는 광을 수광부에 의하여 수신할 수 있다. 따라서, 상기 이탈 감지 센서(59)는 상기 수광부에 수신되는 광량의 변화에 따라 상기 피처리 필름의 이탈을 감지할 수 있다. 상기 일측 방향의 이탈 감지 센서에 의하여 상기 피처리 필름의 이탈이 감지되면, 상기 교정 롤러(58)의 양단 중, 상기 타측 방향에 위치하는 상기 교정 롤러의 끝단이 상승될 수 있도록, 상기 구동기(58a)가 구동된다.

예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 피처리 필름이 일측 방향으로 이탈되면, 상기 일측 방향에 배치되는 상기 이탈 감지 센서가 상기 피처리 필름의 이탈을 감지하고, 제어 장치(미도시)는 상기 일측 방향의 반대 방향, 즉 타측 방향에 위치하는 상기 교정 롤러(58)의 끝단이 상승될 수 있도록, 상기 구동기(58a)를 구동한다. 결과적으로, 상기 일측 방향으로 이탈된 상기 피처리 필름은 타측 방향으로 당겨지면서 위치가 교정된 상태로 이송될 수 있다. 상기 상승된 상태의 구동기는 상기 일측 방향에 배치되는 상기 이탈 감지 센서에 의하여 상기 피처리 필름이 감지되지 않으면(피처리 필름에 반사되어 돌아오는 광량이 거의 없으면), 상기 상승된 교정 롤러의 끝단이 하강할 수 있도록 원래의 위치로 하강한다.

이상에서 설명한 구성으로 이루어진 롤투롤 필름 처리 시스템(100)은 상기 언와인딩 장치(10)와 상기 리와인딩 장치(50) 사이에 상기 피처리 필름이 배치되어 이송된다. 따라서, 상기 리와인딩 장치(50)는 상기 공정 처리 장치(30)를 통해 공정 처리 받은 피처리 필름을 계속적으로 감고, 이와 동시에 상기 언와인딩 장치(10)는 상기 공정 처리 장치(30)에서 공정 처리될 상기 피처리 필름을 풀어서 계속적으로 공급한다.

상기 언와인딩 장치(10)에서 공급되는 피처리 필름과 상기 리와인딩 장치(50)에서 감겨지는 피처리 필름은 버퍼링 공간(B 및 B')에서 버퍼링 상태를 거치면서 이동한다. 따라서, 상기 언와인딩 장치(10)와 상기 리와인딩 장치(50)를 구성하는 다양한 롤러, 특히 언와인딩 롤러(11)와 리와인딩 롤러(54)의 회전 속도 차이로 인하여 발생하는 상기 피처리 필름의 손상 문제를 미연에 방지할 수 있다.

한편, 본 발명인 롤투롤 필름 처리 시스템을 통하여 상기 피처리 필름에 대하여 공정 처리를 수행하는 경우, 상기 피처리 필름의 처음 단(언와인딩 롤러에서 가장 먼저 풀리는 일단)은 정렬된 상태로 절단된 다음, 상기 공정 처리 장치(30)로 공급될 필요성이 있다. 이후, 상기 피처리 필름의 처음 단부터 연속적으로 공정 처리가 수행되고, 상기 공정 처리가 완료된 상기 피처리 필름의 처음 단이 작업자에 의하여 상기 리와인딩 롤러(54)에 감겨지면, 이후 자동으로 피처리 필름에 대한 공정 처리 공정이 이루어진다.

상기 피처리 필름의 처음 단은 상기 언와인딩 장치(10)에 마련된 버퍼링 공간(B)에 배치되는 절단판(60)을 이용하여 정렬된 상태로 절단된다. 따라서, 상기 버퍼링 공간(B), 즉 상기 상하 가이드 롤러(13)와 상기 공급 롤러(17) 사이에는 상기 피처리 필름을 정렬된 상태로 절단하기 위한 절단판(60)이 접철 가능하게 배치된다(도 8 참조).

구체적으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 절단판(60)은 상기 공급 롤러(17) 하측에 접혀진 상태로 배치되어 있고, 상기 피처리 필름의 처음 단을 정렬된 상태로 절단하고자 하는 경우에만, 작업자에 의하여 펼쳐진다.

상기 절단판(60)은 판 형태를 가지고, 표면에 흡착홀(61)이 구비되어 상기 피처리 필름을 흡착 고정할 수 있다. 상기 절단판(60)의 표면 양측에는 서로 평행한 정렬선(63)이 형성되어 있고, 상기 정렬선에 직교되는 방향으로 커팅 홀(65)이 길게 형성되어 있다.

상기 피처리 필름을 정렬된 상태로 절단하고자 하는 경우, 우선적으로 상기 피처리 필름의 양측단이 상기 정렬선(63)에 일치되도록 상기 절단판(60) 표면에 올려 놓고, 그런 다음, 상기 피처리 필름을 고정하기 위하여 흡착홀(61)을 통하여 공기가 흡입되도록 구동한다. 그런 다음, 작업자가 커터를 상기 커팅 홀(65)에 삽입하여 상기 피처리 필름을 절단한다. 그러면, 상기 피처리 필름은 정렬된 상태로 절단된다.

한편, 상기 언와인딩 장치(10) 및 리와인딩 장치(50)에는 상기 피처리 필름 및(또는) 보호 필름의 표면에서 발생하는 정전기를 제거하기 위한 이오나이저가 설치되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 상기 언와인딩 장치(10)를 구성하는 상기 상하 가이드 롤러(13) 상측에는 상기 보호 필름이 분리되는 과정에서 상기 피처리 필름의 표면에 발생한 정전기를 제거하는 이오나이저가 설치되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 리와인딩 장치(50)를 구성하는 롤러(텐션 유지 롤러(53), 흡착 롤러(52), 리와인딩 롤러(54), 교정 롤러(58) 및 보호 필름 제공 롤러(55))를 따라 이동하는 상기 피처리 필름 및(또는) 상기 보호 필름의 표면에서 발생한 정전기를 제거하기 위한 이오나이저가 설치되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 언와인딩 장치(10)에서 공급하는 상기 피처리 필름(F)은 기재 필름 상에 패터닝 대상층(예를 들어 메탈층)과 포토레지스트층(예를 들어 DFR(Dry Film Resist)층)이 순서대로 적층된 후, 노광 공정을 마친 상태에 있는 필름이 적용될 수 있다. 이 경우, 상기 공정 처리 장치(30)는 상기 피처리 필름에 대하여 현상 공정, 에칭 공정 및 스트립 공정을 순서대로 처리한다. 즉, 상기 공정 처리 장치(30)는 상기 노광된 포토레지스트층의 일부를 현상하고, 현상되어 노출된 상기 패터닝 대상층을 에칭처리하여 패터닝을 수행하며, 상기 잔존하고 있는 포토레지스트를 스트립하는 공정을 순서대로 처리할 수 있다.

한편, 상기 현상 공정, 에칭 공정 및 스트립 공정은 각각의 챔버(31) 내에서 처리되고, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 각각의 챔버(31) 입구(35) 하측에 형성된 개구부(37)에는 상기 개구부(37)를 통해 상기 챔버(31) 내로 이동하는 상기 피처리 필름(F)의 양측을 가이드하는 사이드 안내 부재(70)가 설치되는 것이 바람직하다. 상기 피처리 필름에 대하여 소정의 공정(패터닝 대상층 및 포토레지스트 적층 공정, 현상 공정, 에칭 공정 및 스트립 공정 등)이 진행되면, 상기 피처리 필름의 양측이 가운데 부분에 비하여 상승되어 구부러진 형태를 가질 수 있기 때문에, 상기 챔버 내로 이동하는 과정에서 상기 사이드 안내 부재(70)에 의하여 가이딩될 수 있도록 한다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

F : 피처리 필름 P : 보호 필름
B : 언와인딩 장치에 마련된 버퍼링 공간
B' : 리와인딩 장치에 마련된 버퍼링 공간
10 : 언와인딩 장치 11 : 언와인딩 롤러
13 : 상하 가이드 롤러 13a : 상부 가이드 롤러
13b : 하부 가이드 롤러 15 : 보호 필름 회수 롤러
17 : 공급 롤러 30 : 공정 처리 장치
31 : 챔버 33 : 회전 이송 롤러
35 : 챔버 입구 37 : 개구부
50 : 리와인딩 장치 51 : 안내봉
51a : 안내판 52 : 흡착 롤러
52a : 진공홀 53 : 텐션 유지 롤러
54 : 리와인딩 롤러 55 : 보호 필름 제공 롤러
56 : 수평 이동체 57 : 정렬 감지 센서
57a : 송파기 57b : 수파기
58 : 교정 롤러 58a : 구동기
59 : 이탈 감지 센서 60 : 절단판
61 : 흡착홀 63 : 정렬선
65 : 커팅 홀 70 : 사이드 안내 부재
100 : 롤트롤 필름 처리 시스템

Claims (10)

1. 롤투롤 필름 처리 시스템에 있어서,
   보호 필름과 함께 감겨져 있는 피처리 필름을 풀어서 공급하는 언와이딩 장치, 상기 언와이딩 장치에서 공급되는 피처리 필름에 대하여 공정을 처리하는 공정 처리 장치 및 상기 공정 처리 장치에서 공정 처리된 피처리 필름에 보호 필름을 부착하여 감는 리와인딩 장치를 포함하여 이루어지되,
   상기 언와인딩 장치는 상기 보호 필름이 부착된 상태로 상기 피처리 필름이 감겨져 있고, 회전력에 의하여 상기 보호 필름이 부착된 피처리 필름을 풀어서 공급하는 언와이딩 롤러, 상기 언와이딩 롤러 전방에 배치되되, 상호 수직 방향으로 이격 배치되는 상하 가이드 롤러, 상기 상하 가이드 롤러 후방 상측에 배치되어 상기 상하 가이드 롤러 사이를 통과한 상기 보호 필름을 회전력에 의하여 감는 보호 필름 회수 롤러 및 상기 상하 가이드 롤러 사이를 통과하여 상기 보호 필름이 분리된 상태의 상기 피처리 필름을 상기 공정 처리 장치로 회전력에 의하여 공급하는 공급 롤러를 포함하여 구성되고,
   상기 상하 가이드 롤러와 상기 공급 롤러 사이를 통과하는 상기 피처리 필름은 텐션을 유지하지 않고, 버퍼링 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 공정 처리 장치는 복수개의 공정을 연속적으로 처리하기 위하여, 각 공정을 처리할 수 있는 챔버가 연속적으로 연결되어 구성되고, 각 챔버 내 하부에는 상기 피처리 필름을 이송할 수 있는 회전 이송 롤러가 구비되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 리와인딩 장치는 상기 공정 처리 장치에서 공정 처리가 완료된 상기 피처리 필름이 하방향으로 안내되도록 하는 안내봉, 상기 하방향으로 안내되어 버퍼링 상태에 있는 상기 피처리 필름을 회전력으로 끌어올려 이송시키는 흡착 롤러, 상기 흡착 롤러 전방에 배치되어 상기 피처리 필름의 텐션을 유지시키는 텐션 유지 롤러 및 상기 텐션 유지 롤러 하측에 배치되어 텐션을 유지한 상태로 상기 피처리 필름을 감는 리와인딩 롤러를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 리와인딩 장치는 상기 리와인딩 롤러 상측에 배치되어 상기 리와인딩 롤러에 감겨지는 상기 피처리 필름이 보호 필름과 함께 감겨질 수 있도록 상기 보호 필름을 제공하는 보호 필름 제공 롤러를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 텐션 유지 롤러, 상기 리와인딩 롤러 및 상기 보호 필름 제공 롤러는 각각의 일단이 수평 이동체에 결합되고, 상기 텐션 유지 롤러의 후방에는 상기 피처리 필름 에지 부분의 정렬 상태를 센싱하는 정렬 감지 센서가 인접하여 설치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.
6. 청구항 3에 있어서
   상기 흡착 롤러와 상기 텐션 유지 롤러 사이에는 상기 피처리 필름의 위치를 교정하는 교정 롤러가 배치되고, 상기 교정 롤러의 양단은 각각 승강할 수 있도록 구동기에 결합되며, 상기 교정 롤러의 양측 상부에는 상기 피처리 필름의 이탈을 감지하는 이탈 감지 센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.
7. 청구항 1 내지 청구항 6 중, 어느 한 항에 있어서,
   상기 상하 가이드 롤러와 상기 공급 롤러 사이에는 상기 피처리 필름을 정렬된 상태로 절단하기 위한 절단판이 접철 가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.
8. 청구항 1 내지 청구항 6 중, 어느 한 항에 있어서,
   상기 상하 가이드 롤러 상측에는 상기 피처리 필름의 표면에 발생한 정전기를 제거하는 이오나이저가 설치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.
9. 청구항 1 내지 청구항 6 중, 어느 한 항에 있어서,
   상기 언와인딩 장치에서 공급하는 상기 피처리 필름은 기재 필름 상에 패터닝 대상층과 포토레지스트층이 순서대로 적층된 후, 노광 공정을 마친 상태이고, 상기 공정 처리 장치는 상기 피처리 필름에 대하여 현상 공정, 에칭 공정 및 스트립 공정을 순서대로 처리하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 현상 공정, 에칭 공정 및 스트립 공정은 각각의 챔버 내에서 처리되고, 상기 각각의 챔버 입구 하측에 형성된 개구부에는 상기 개구부를 통해 상기 챔버 내로 이동하는 상기 피처리 필름의 양측을 가이드하는 사이드 안내 부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 필름 처리 시스템.

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