JP2005262088A - 支持体表面の防塵方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】嫌塵ラインに設けられた搬送路を搬送される被搬送物（支持体）を、低コストでかつ効率的に防塵することのできる支持体表面の防塵方法及び装置を提供する。
【解決手段】走行する帯状の支持体Ｗの表面に対し、所定距離を隔てて対向するように板状体２０を配し、支持体と板状体との間にクラス１０以下のクリーン度の気体を供給し、支持体と板状体との間に大気圧以上の加圧空間を形成する。
【選択図】 図１

Description

本発明は支持体表面の防塵方法及び装置に係り、特に、高度のクリーン度が要求される塗布ライン、印刷ライン等の搬送路を搬送される支持体表面の防塵方法及び装置に関する。

帯状可撓性の支持体（以下、「ウェブ」という）に写真感光液、磁性液、溶剤塗料など水や溶剤を溶媒とする塗布液を塗布・乾燥等する塗布ラインの搬送路は、ウェブが塵埃に最も晒され易く、高いクリーン度が要求される。このため、従来は、塗布ラインを設置する室内をクリーンルーム化するようにしていた。

しかし、この場合には室内全体をクリーンルーム仕様で設計しなくてはならず、建設設備費が嵩むという欠点があるとともに、室内全体を清浄エアで換気しなくてはならないことから、清浄エアの使用量が多く、ランニングコストも嵩むという欠点がある。

この対策として、塗布ライン全体をケーシングで囲み、このケーシング内に清浄エアを供給することにより、換気に要する容積を小さくすることも行われている。ところが、塗布ライン全体をケーシングで囲む方法は、室内全体をクリーンルーム化する場合に比べるとコストを低減できるが、ケーシング内には、ウェブやロールの他に、発塵源となる軸受、摺動レール、ラック、昇降装置、エアシリンダ等が存在し、場合によっては、モータ、ベルト、ギア、軸継ぎ手等の駆動装置が存在する。また、これらは、発塵源になるだけでなく、埃溜まりにもなるため、クリーン度を上げるための障害になる。

更には、清浄エアが流れないデッドゾーンを形成し易いという問題がある。したがって、塗布ライン全体をケーシングで囲む方法であっても、ウェブが塵埃に最も晒され易く、高いクリーン度が要求される搬送路を、所望のクリーン度に維持できないという問題がある。

このような事情に鑑みて、本出願人により、低コストでかつ効率的に防塵することのできる被搬送物の防塵装置が提案されている（特許文献１参照。) 。この装置は、ウェブの搬送路のみを囲い、ウェブ近傍のクリーン度を維持する構成のものであり、所定の効果が得られることが確認されている。
特開２００３−２６３２６号公報

しかしながら、このような装置であっても、ウェブが切断した場合等には、搬送路の囲いを開けて対処する必要があり、この作業によりウェブ近傍のクリーン度が低下し、ウェブを汚染するという問題点がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、塗布ライン、印刷ライン等の塵埃を嫌う嫌塵ラインに設けられた搬送路を搬送される被搬送物（支持体）を、低コストでかつ効率的に防塵することのできる支持体表面の防塵方法及び装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明は、走行する帯状の支持体の表面に対し、所定距離を隔てて対向するように板状体を配し、前記支持体と前記板状体との間にクラス１０以下のクリーン度の気体を供給し、前記支持体と前記板状体との間に大気圧以上の加圧空間を形成することを特徴とする支持体表面の防塵方法及びそのための装置を提供する。

本発明によれば、支持体と板状体との間にクリーンな気体が供給され、これにより加圧空間が形成されるので、支持体表面が塵埃に晒されることはなく、搬送路を所望のクリーン度に維持できる。すなわち、支持体と板状体との間の加圧空間は大気圧以上であるので、塵埃が混入することはない。

また、支持体が塵埃に最も晒され易い搬送路を小容積とすることができるので、クリーンな気体の風速を落とさずに、かつクリーンな気体が流れないデッドゾーンを発生させないようにできる。したがって、少ないクリーンな気体で支持体を効果的に防塵することができる。また、支持体が塵埃に最も晒され易い搬送路を所望のクリーン度に維持できるので、嫌塵ライン全体に使用するクリーンな気体の使用量も削減される。

なお、支持体としては、既述の帯状可撓性の支持体（ウェブ）が一般的であるが、ガラス基板やシリコンウェーハ等の板状体であっても本発明の効果が得られる。

また、「クリーンな気体」とは、清浄エアが一般的であるが、窒素ガス、アルゴンガス等の気体も使用できる。

本発明において、前記板状体の幅が前記支持体の幅と同一又は前記支持体の幅以上であり、前記板状体には前記支持体の走行方向に沿ってスリットが形成されており、該スリットより前記クラス１０以下のクリーン度の気体が供給されることが好ましい。このような構成とすれば、板状体のスリットより供給されたクリーンな気体により加圧空間が形成され、搬送路を所望のクリーン度に維持できる。

また、本発明において、前記板状体の幅が前記支持体の幅と同一又は前記支持体の幅以上であり、前記板状体には前記支持体の走行方向の直角方向に沿ってスリットが形成されており、該スリットより前記クラス１０以下のクリーン度の気体が供給されることが好ましい。このような構成とすれば、板状体のスリットより供給されたクリーンな気体により加圧空間が形成され、搬送路を所望のクリーン度に維持できる。

また、本発明において、前記板状体の幅が前記支持体の幅と同一又は前記支持体の幅以上であり、前記板状体に多数の給気孔が形成されており、該給気孔より前記クラス１０以下のクリーン度の気体が供給されることが好ましい。このような構成とすれば、板状体の多数の給気孔より供給されたクリーンな気体により加圧空間が形成され、搬送路を所望のクリーン度に維持できる。

また、本発明において、前記板状体の幅が前記支持体の幅と同一又は前記支持体の幅以上であり、前記板状体の表面が通気性部材で形成されており、該通気性部材より前記クラス１０以下のクリーン度の気体が供給されることが好ましい。このような構成とすれば、通気性部材である板状体の表面より供給されたクリーンな気体により加圧空間が形成され、搬送路を所望のクリーン度に維持できる。

また、本発明において、前記支持体表面に塗布手段により塗布時の厚さが１０μｍ以下となる塗布膜を形成する前に、及び／又は、前記塗布膜を形成した後に、前記支持体の塗布面側表面と前記板状体との間に大気圧以上の加圧空間を形成することが好ましい。このような塗布手段の前後の搬送路に加圧空間を形成することにより、嫌塵ラインの効果が発揮できる。

また、本発明において、前記支持体表面のクリーニングを行った後に、前記支持体と前記板状体との間に大気圧以上の加圧空間を形成することが好ましい。このように、クリーニング（除塵）後の搬送路に加圧空間を形成することにより、嫌塵ラインの効果が発揮できる。なお、「支持体表面のクリーニング」の手段としては、超音波が印加された高速エアブロー手段、粘着ローラ、溶剤に浸漬させた丸棒、等の公知の各種手段が採用できる。

以上説明したように、本発明によれば、支持体と板状体との間にクリーンな気体が供給され、これにより加圧空間が形成されるので、支持体表面が塵埃に晒されることはなく、搬送路を所望のクリーン度に維持できる。

以下、添付図面に従って本発明に係る支持体表面の防塵方法及び装置の好ましい実施の形態（第１の実施形態）について詳説する。図１は、本発明に係る支持体表面の防塵方法及び装置が適用されるフィルムの製造ラインを説明する説明図である。

フィルムの製造ライン１０は、図１に示されるように、送り出し機６６からウェブＷが送り出されるようになっている。ウェブＷはガイドローラ６８によってガイドされて防塵搬送路１２に送りこまれるようになっている。防塵搬送路１２の上流には除塵機７４が設けられており、ウェブＷの表面に付着した塵を取り除くことができるようになっている。防塵搬送路１２の詳細については後述する。

防塵搬送路１２の下流には塗布装置１４が設けられており、塗布液がウェブＷに塗布できるようになっている。この塗布装置１４は、エクストルージョンタイプのコータである。塗布装置１４の下流には、乾燥ゾーン７６が設けられており、ウェブＷ上に形成された塗布層の乾燥ができるようになっている。そして、乾燥ゾーン７６の下流に設けられた巻取り機８２により、塗布層が形成されたウェブＷが巻き取られるようになっている。

支持体表面のクリーニング手段である除塵機７４としては、乾式除塵方法によるものと、湿式除塵方法によるものとに分類される。

乾式除塵方法としては、ウェブＷの表面に不織布やブレード等を押し付ける方法や、清浄度の高い空気を高速で吹き付けて、付着物をウェブＷ表面から剥離させるとともに、付着物を近接した吸い込み口に吸い込んで除去する方法や、粘着性のあるローラを走行するウェブＷに接触させ、ウェブＷの表面の付着物を除去する方法等が採用できる。

湿式除塵方法としては、ウェブＷに溶剤を塗布した後、溶剤が残存している間に不織布やブレード等をウェブＷに押し付ける方法や、ウェブＷに溶剤を塗布した後、溶剤が残存している間にウェブＷの搬送方向と逆方向に回転するロッド部材をウェブＷの表面に押し付け、付着物を掻き落とす方法等が採用できる。

更に、乾式除塵方法と湿式除塵方法とを組み合わせたウェブの防塵方法及び装置として本出願人による提案がなされており（特開２００２−７９２００公報）、所定の効果が得られることが確認されている。したがって、このようなウェブの防塵方法及び装置を採用してもよい。

次に、本発明の特徴部分である防塵搬送路１２について説明する。図２は、図１に示されるフィルムの製造ライン１０のうち、防塵搬送路１２を示す斜視図である。図１及び図２において、防塵搬送路１２は、矢印の方向に走行するウェブＷの表面に対し、所定距離を隔てて対向するように板状体１８、２０、２２が配されており、ウェブＷと板状体１８、２０、２２との間にクラス１０以下のクリーン度のエアが供給され、ウェブＷと板状体１８、２０、２２との間に大気圧以上の加圧空間が形成されるように構成されている。

図３は、ウェブＷと板状体２０（１８、２２）との関係を示す要部拡大斜視図である。板状体２０（１８、２２）の幅は、ウェブＷの幅以上となっており、ウェブＷの走行方向に沿って板状体２０（１８、２２）の表面にスリット２０Ａ（１８Ａ、２２Ａ）が形成されており、スリット２０Ａ（１８Ａ、２２Ａ）よりクラス１０以下のクリーン度のエア（以下、「クリーンエア」という）が供給される。

このクリーンエアは、スリット２０Ａ（１８Ａ、２２Ａ）に対向する部分のウェブＷの表面（下面）に衝突し、左右に分かれて矢印に示される方向に流動して、ウェブＷの端縁より外側に流出する。このクリーンエアの流れにより、ウェブＷと板状体２０（１８、２２）との間に大気圧以上の加圧空間が形成されるので、ウェブＷの表面（下面）が塵埃に晒されることはなく、防塵搬送路１２を高いクリーン度に維持できる。

スリット２０Ａ（１８Ａ、２２Ａ）からクリーンエアが供給できるように、図１に示されるように、板状体１８、２０、２２にはクリーンエア配管１８Ｂ、２０Ｂ、２２Ｂがそれぞれ接続されており、このクリーンエア配管１８Ｂ、２０Ｂ、２２Ｂの上流側にはフィルター付きエア供給装置１８Ｃ、２０Ｃ、２２Ｃがそれぞれ接続されており、フィルター付きエア供給装置１８Ｃ、２０Ｃ、２２Ｃの上流側にはバルブ１８Ｄ、２０Ｄ、２２Ｄがそれぞれ接続されており、バルブ１８Ｄ、２０Ｄ、２２Ｄの上流側は１本のエア供給配管２４に接続されている。

この防塵搬送路１２において、板状体２０（１８、２２）のサイズ、材質、スリット２０Ａ（１８Ａ、２２Ａ）のサイズ、ウェブＷと板状体２０（１８、２２）との間隔、クリーンエアの流量等の値は、ウェブＷの搬送速度、塗布液の材質、塗布膜の厚さ、製品の仕様、要求クリーン度等に応じて、適宜の値が採用できる。

次に、防塵搬送路１２の下流に配される塗布装置１４について説明する。図４は、塗布装置１４の要部である塗布ヘッド２８の構成を説明する一部を切り欠いた斜視図である。

塗布ヘッド２８は、塗布ヘッド先端が連続走行するウェブＷと近接された状態で対向配置される。すなわち、図１に示されるように、ウェブＷは塗布装置１４の前後に配されるガイドローラ３０、３２に巻き掛けられて、表面（下面）が塗布ヘッド１８の先端に近接した状態で支持される。

図４に示されるように、塗布ヘッド２８内には、筒状のポケット部２８ＢがウェブＷの幅方向に平行に形成されるとともに、塗布用ポケット部２８Ｂは供給ライン２８Ａに接続される。また、塗布ヘッド２８内には、塗布ヘッド先端に吐出口を有する塗布用スリット２８Ｃが形成されるとともに、塗布用スリット２８Ｃが塗布用ポケット部２８Ｂに連通される。

塗布用スリット２８Ｃは、ポケット部２８Ｂと塗布ヘッド先端とを繋ぐ狭隘な流路であり、ウェブＷの幅方向に延長される。そして、供給ライン２８ＡからウェブＷに塗布する所望の塗布量の塗布液が塗布ヘッド２８の塗布用ポケット部２８Ｂに供給される。

なお、図４では、塗布用ポケット部２８Ｂに塗布液を送液する方法として、塗布用ポケット部２８Ｂの一方側から供給するようにしたが、この他にも塗布用ポケット部２８Ｂの一方側から供給して他方側から引き抜くタイプ、又は塗布用ポケット部２８Ｂの中央部から供給して両側に分流させるタイプがあり、いずれを適用してもよい。

なお、図４に示される塗布装置１４は一例であり、これ以外の方式の塗布装置、たとえば、バーコータ（「ロッドコータ」とも称され、メイヤーバーコータをも含む）、グラビアコータ（グラビアキスコータ、マイクログラビアコータ等）、ロールコータ（トランスファロールコータ、リバースロールコータ等）、ダイコータ、ファウンテンコータ、カーテンコータ、ディップコータ、スピンコータ、スプレーコータ又はスライドホッパ等が採用できる。

次に、図１に示されるフィルムの製造ラインを使用したフィルムの製造方法について説明する。先ず、送り出し機６６から、ウェブＷが送り出される。ウェブＷはガイドローラ６８によってガイドされて除塵機７４により、ウェブＷの表面に付着した塵が取り除かれる。

次いで、ウェブＷが塗布装置１４に搬送されるまで防塵搬送路１２を通過する。防塵搬送路１２において、クリーンエアの流れにより、ウェブＷと板状体１８、２０、２２との間に大気圧以上の加圧空間が形成され、ウェブＷの表面（下面）が塵埃に晒されることが防止され、防塵搬送路１２は高いクリーン度に維持される。

そして、塗布装置１４により塗布液がウェブＷに塗布される。この後に、乾燥ゾーン７６を経てウェブＷは巻取り機８２により巻き取られる。

次に、本発明の第２の実施形態について詳説する。図５は、ウェブＷと他の例の板状体との関係を示す要部拡大斜視図である。なお、図１に示される既述のフィルムの製造ライン１０の構成、及び、図４に示される塗布装置１４の塗布ヘッド２８の構成は同一であるので、その説明を省略する。

図５において、板状体１２０の幅は、ウェブＷの幅以上となっており、ウェブＷの走行方向の直角方向に沿って板状体１２０の表面にスリット１２０Ａ、１２０Ａが形成されており、スリット１２０Ａ、１２０Ａよりクリーンエアが供給されるようになっている。

次に、本発明の第２の実施形態におけるフィルムの製造方法について説明する。ただし、防塵搬送路１２以外は第１実施形態と同一であることより、防塵搬送路１２の部分についてのみ説明する。

ウェブＷは、除塵機７４より塗布装置１４に搬送されるまで防塵搬送路１２を通過する。防塵搬送路１２において、クリーンエアは、スリット１２０Ａ、１２０Ａに対向する部分のウェブＷの表面（下面）に衝突し、矢印に示されるようにウェブＷに同伴されて流動するとともに、左右に分かれて矢印に示される方向に流動して、ウェブＷの端縁より外側に流出する。このクリーンエアの流れにより、ウェブＷと板状体１２０との間に大気圧以上の加圧空間が形成されるので、ウェブＷの表面（下面）が塵埃に晒されることはなく、防塵搬送路１２を高いクリーン度に維持できる。

次に、本発明の第３の実施形態について詳説する。図６は、ウェブＷと更に他の例の板状体との関係を示す一部を切り欠いた要部拡大斜視図である。なお、図１に示される既述のフィルムの製造ライン１０の構成、及び、図４に示される塗布装置１４の塗布ヘッド２８の構成は同一であるので、その説明を省略する。

図６において、板状体２２０の幅は、ウェブＷの幅以上となっており、板状体２２０の表面の略全面に多数の給気孔２２０Ａ、２２０Ａ…が形成されており、給気孔２２０Ａ、２２０Ａ…よりクリーンエアが供給されるようになっている。すなわち、板状体２２０は内部が中空状となっており、クリーンエア配管２０Ｂ（図１参照）よりこの内部に供給されたクリーンエアが、多数の給気孔２２０Ａ、２２０Ａ…より均一に噴出されるようになっている。

次に、本発明の第３の実施形態におけるフィルムの製造方法について説明する。ただし、防塵搬送路１２以外は第１実施形態と同一であることより、防塵搬送路１２の部分についてのみ説明する。

ウェブＷは、除塵機７４より塗布装置１４に搬送されるまで防塵搬送路１２を通過する。防塵搬送路１２において、クリーンエアは、ウェブＷの表面（下面）に衝突し、矢印に示されるようにウェブＷに同伴されて流動するとともに、左右に分かれて矢印に示される方向に流動して、ウェブＷの端縁より外側に流出する。このクリーンエアの流れにより、ウェブＷと板状体２２０との間に大気圧以上の加圧空間が形成されるので、ウェブＷの表面（下面）が塵埃に晒されることはなく、防塵搬送路１２を高いクリーン度に維持できる。

以上、本発明に係る支持体表面の防塵方法及び装置の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。

たとえば、本実施形態では、３種類の板状体２０、１２０及び２２０について説明したが、これ以外の構成の板状体を採用することもできる。一例として、板状体の表面を通気性部材で形成し、この通気性部材よりクラス１０以下のクリーン度の気体を供給する構成である。このような通気性部材としては、多孔質セラミックス、多孔質のフッ素樹脂等が好ましく採用できる。

また、板状体２０、１２０及び２２０の数や配置方法等についても、本実施形態以外の各種の構成が採用できる。

図１に示されるフィルムの製造ライン１０を使用して、ウェブＷの処理（塗布液の塗布等）を行った。

ウェブＷとして、幅が３００ｍｍ、厚さが１０μｍのＰＥＴフィルムを使用した。ウェブＷの走行速度は、１００ｍ／ｍｉｎに固定した。

除塵機７４として、清浄度の高いエアを高速でウェブＷの表面吹き付けて、付着物をウェブＷの表面から剥離させるとともに、この付着物を近接した吸い込み口より吸引して除去する方式のものを使用した。

塗布装置１４により塗布される塗布液の粘度を０．０２Ｐａｓ（２０ｃＰ）とし、塗布膜厚（ウェット膜厚）は８μｍとした。

防塵搬送路１２に使用される板状体として、図３の板状体２０（１８、２２）と、図５の板状体１２０と、図６の板状体２２０に代えて通気性部材を使用したものの３種を採用した。また、比較例として、防塵搬送路１２に板状体を使用しない構成（後述する図７及び図８の表で「防塵設備なし」として示される）も採用した。

図３の板状体２０（１８、２２）では、板状体２０の材質をステンレス鋼とし、板状体２０の幅をウェブＷの幅より両側に５０ｍｍずつ広くした。ウェブＷと板状体２０との距離は、５０ｍｍに設定した。板状体２０における、ウェブＷの幅方向の中心に位置するスリット２０Ａの幅は２ｍｍとした。このスリット２０Ａよりの吹き出し風速を５ｍ／ｓｅｃとした。この板状体２０の評価結果は、後述する図７及び図８の表で「防塵設備１」として示される。

図５の板状体１２０では、板状体１２０の材質をステンレス鋼とし、板状体１２０の幅をウェブＷの幅より両側に５０ｍｍずつ広くした。ウェブＷと板状体１２０との距離は、５０ｍｍに設定した。板状体１２０における、スリット１２０Ａ、１２０Ａ同士の間隔は２００ｍｍである。スリット１２０Ａの幅は２ｍｍとした。このスリット２０Ａよりの吹き出し風速を５ｍ／ｓｅｃとした。この板状体１２０の評価結果は、後述する図７の表で「防塵設備２」として示される。

図６の板状体２２０に代えて通気性部材を使用したものでは、筒状の板状体のうち表面側の材質をポリプロピレン製繊維（三菱レイヨン社製）とし、板状体の幅を３５０ｍとし、高さを２００ｍｍとした。ウェブＷと板状体の表面との距離は、５０ｍｍに設定した。板状体の表面よりの吹き出し風速を１．０ｍ／ｓｅｃとした。この板状体の評価結果は、後述する図７及び図８の表で「防塵設備３」として示される。

防塵搬送路１２に各種板状体を採用した効果の評価方法として、ウェブＷの近傍におけるクリーン度測定と、塗布液を塗布した際の塗布欠陥（スジ状欠陥）の有無の判定法を採用した。

クリーン度の測定は、トランスティツク社製のレーザーパーティクルカウンタを使用して、粒径が０．５〜３．０μｍの塵挨の数を測定した。クリーン度の測定結果を図７の表に纏めた。

塗布欠陥（スジ状欠陥）の有無の判定は、目視検査により行った。ウェブＷの長さ１０ｍで発生しているスジをハロゲンランプの下でカウントし、５回測定した平均値を求め、これにより判定した。スジ状欠陥の平均値を図８の表に纏めた。

図７の表によれば、本発明の実施例（すなわち「防塵設備１〜３」）においては、比較例（すなわち「防塵設備なし」）と比較して、非常に良好なクリーン度が得られている。特に微細な粒径である０．５μｍの塵挨の数では、約３０〜１００倍の差となっている。

図８の表によれば、本発明の実施例（すなわち「防塵設備１、３」）においては、比較例（すなわち「防塵設備なし」）と比較して、スジ状欠陥の数が１／２〜１／４となっており、良好なクリーン度に維持されていることが確認できる。

本発明が適用されるフィルムの製造ラインを説明する説明図 防塵搬送路を示す斜視図 ウェブと板状体との関係を示す要部拡大斜視図 塗布ヘッドの構成を説明する一部を切り欠いた斜視図 ウェブと他の例の板状体との関係を示す要部拡大斜視図 ウェブと更に他の例の板状体との関係を示す要部拡大斜視図 実施例の評価結果を示す表 実施例の評価結果を示す表

符号の説明

１０…フィルムの製造ライン、１２…防塵搬送路、１４…塗布装置、１８、２０、２２…板状体、２４…エア供給配管、６６…送り出し機、６８…ガイドローラ、７４…除塵機、７６…乾燥ゾーン、Ｗ…ウェブ

Claims (8)

1. 走行する帯状の支持体の表面に対し、所定距離を隔てて対向するように板状体を配し、前記支持体と前記板状体との間にクラス１０以下のクリーン度の気体を供給し、前記支持体と前記板状体との間に大気圧以上の加圧空間を形成することを特徴とする支持体表面の防塵方法。
2. 前記板状体の幅が前記支持体の幅と同一又は前記支持体の幅以上であり、前記板状体には前記支持体の走行方向に沿ってスリットが形成されており、該スリットより前記クラス１０以下のクリーン度の気体が供給される請求項１に記載の支持体表面の防塵方法。
3. 前記板状体の幅が前記支持体の幅と同一又は前記支持体の幅以上であり、前記板状体には前記支持体の走行方向の直角方向に沿ってスリットが形成されており、該スリットより前記クラス１０以下のクリーン度の気体が供給される請求項１に記載の支持体表面の防塵方法。
4. 前記板状体の幅が前記支持体の幅と同一又は前記支持体の幅以上であり、前記板状体に多数の給気孔が形成されており、該給気孔より前記クラス１０以下のクリーン度の気体が供給される請求項１に記載の支持体表面の防塵方法。
5. 前記板状体の幅が前記支持体の幅と同一又は前記支持体の幅以上であり、前記板状体の表面が通気性部材で形成されており、該通気性部材より前記クラス１０以下のクリーン度の気体が供給される請求項１に記載の支持体表面の防塵方法。
6. 前記支持体表面に塗布手段により塗布時の厚さが１０μｍ以下となる塗布膜を形成する前に、及び／又は、前記塗布膜を形成した後に、前記支持体の塗布面側表面と前記板状体との間に大気圧以上の加圧空間を形成する請求項１〜５のいずれか１項に記載の支持体表面の防塵方法。
7. 前記支持体表面のクリーニングを行った後に、前記支持体と前記板状体との間に大気圧以上の加圧空間を形成する請求項１〜６のいずれか１項に記載の支持体表面の防塵方法。
8. 帯状の支持体を走行させる支持体搬送手段と、
   走行する前記支持体の表面に対し、所定距離を隔てて対向するように配される板状体と、
   前記支持体と前記板状体との間にクラス１０以下のクリーン度の気体を供給する気体供給手段と、を備え、
   前記支持体と前記板状体との間に大気圧以上の加圧空間が形成されていることを特徴とする支持体表面の防塵装置。
   
   
   

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