JP2008018347A - アライメント方法、描画方法、アライメント機構および描画装置 - Google Patents

Abstract

【課題】反りのあるワークに対しても正確なアライメントを行うことができるアライメント方法およびアライメント機構を提供すること、また、反りのあるワークに対しても正確に描画することが可能な描画方法および描画装置を提供すること。
【解決手段】テープ８０をステージ５０に載置するステップ（ａ）と、押さえ機構３４がテープ８０の両端部をステージ５０に向かって押圧するステップ（ｂ）と、ステージ５０がテープ８０を吸着するステップ（ｃ）と、によってテープ８０の反りを矯正した状態でステージ５０に吸着させ、ステージ５０をテープ８０とともに移動させてアライメントを行う。その後、液滴吐出ヘッドからテープ８０へ機能液を吐出するステップと、機能液を乾燥させてテープ８０上にパターンを形成するステップと、によってパターンを描画する。
【選択図】図６

Description

本発明は、アライメント方法、描画方法、アライメント機構および描画装置に関するものである。

例えば液晶表示装置に用いられるＣＯＦ（Chip On Film）には、各種配線が形成されるが、近年ではこうしたフィルム状の基板に配線を形成する技術として、液滴吐出方式の利用が拡大する傾向にある。液滴吐出方式による塗布技術は、一般に、基板と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから金属材料を含む機能液を液滴として吐出し、その液滴を基板上に繰り返し付着させて塗布膜を描画形成するものであり、機能液の消費に無駄が少なく、任意のパターンをフォトリソグラフィーなどの手段を用いず直接塗布することができるといった利点を有している。

この種の配線形成においては、まず帯状のワーク（例えばフィルムキャリアテープ）をリールトゥリール方式等によって搬送する。そして、ワークの位置を微調整してワークと液滴吐出ヘッドとの相対位置関係を調整するいわゆるアライメントを行った後に、ワーク上に液滴を吐出するのが一般的である。この際、ワークに反りがあると、アライメントや液滴の吐出が正確に行えない。ワークの反りを矯正する手法としては、矯正部材をワークに当接させて、当接方向に付勢するものが知られている（特許文献１参照）。

特開２００５−５５８６号公報

しかしながら、矯正部材を当接させればワークの反りは解消するものの、その状態のままでは矯正部材で覆われた部位に液滴を吐出することができないという問題点があった。また、ワークを載置するステージに吸着機構を持たせて、吸引力によってワークを平らな状態に吸着しようとしても、ワークに反りがある状態ではワークを吸着させることが困難であるという問題点があった。

本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、反りのあるワークに対しても正確なアライメントを行うことができるアライメント方法およびアライメント機構を提供すること、また、反りのあるワークに対しても正確に描画することが可能な描画方法および描画装置を提供することを目的とする。

本発明のアライメント方法は、吸着機構を有するステージと、押さえ機構とを備えたアライメント機構を用いて、帯状のワークをアライメントするアライメント方法であって、前記ワークを前記ステージに載置するステップと、前記押さえ機構が、前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧するステップと、前記ステージが前記ワークを吸着するステップと、前記ステージを、当該ステージに吸着された前記ワークとともに移動させてアライメントを行うステップと、を有することを特徴とする。

この方法においては、押さえ機構によって帯状のワークの両端部をステージに押圧した状態でステージによるワークの吸着を行う。このため、ワークが下に凸に反っている場合であっても、反りによって浮いた部位（例えば両端部）をステージに押圧した状態で吸着を行うこととなり、確実にワークをステージに吸着させて固定することができる。この状態で、ステージおよびこれに吸着されたワークを所定の位置に移動させるステップを行うため、反りを有するワークであっても正確なアライメントをすることができる。

上記アライメント方法においては、前記ステージを当該ステージに吸着された前記ワークとともに移動させるステップの前に、前記押さえ機構の前記押圧を解除するステップを有していることが好ましい。この方法によれば、アライメント後に押さえ機構とワークとが相互作用することがないので、例えばアライメント後に押さえ機構の押圧を解除した際にワークに力がかかるようなことに起因して、アライメントにずれを生じさせるおそれがなくなる。ここで、押さえ機構による押圧を解除した際には、ワークはステージに吸着されているので、再び反りが生ずることはない。

上記アライメント方法においては、前記ワークを前記ステージに載置するステップの後に、前記ステージを、前記ワークが載置されている側に平行移動させるステップを有することが好ましい。この方法によれば、上記ステージの平行移動によって、ステージに載置されたワークをより大きな張力のかかる状態に張ることができる。これにより、ワークが上に凸または下に凸のいずれの反りを有している場合であっても、ステージ上におけるワークの反りを軽減させることができる。

本発明の描画方法は、吸着機構を有するステージと、押さえ機構と、液滴吐出ヘッドとを備えた描画装置を用いて、帯状のワークにパターンを描画する描画方法であって、前記ワークを前記ステージに載置するステップと、前記押さえ機構が、前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧するステップと、前記ステージが前記ワークを吸着するステップと、前記ステージを、当該ステージに吸着された前記ワークとともに前記液滴吐出ヘッドに対して移動させてアライメントを行うステップと、前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上の前記パターンに応じた位置へ機能液を吐出するステップと、前記機能液を乾燥させて前記ワーク上に前記パターンを形成するステップと、を有することを特徴とする。

この方法においては、押さえ機構によって帯状のワークの両端部をステージに押圧した状態でステージによるワークの吸着を行う。このため、ワークが下に凸に反っている場合であっても、反りによって浮いた部位をステージに押圧した状態で吸着を行うこととなり、確実にワークをステージに吸着させて固定することができる。この状態で、ステージおよびこれに吸着されたワークを液滴吐出ヘッドに対して移動させるステップを行うため、反りを有するワークであっても正確なアライメントをすることができる。そして、ワークへ機能液を吐出し、当該機能液を乾燥させることで、反りを有するワーク上にも正確にパターンを描画することができる。

上記描画方法においては、前記ステージを当該ステージに吸着された前記ワークとともに移動させるステップの前に、前記押さえ機構の前記押圧を解除するステップを有していることが好ましい。この方法によれば、アライメント後に押さえ機構とワークとの相互作用によってアライメントにずれを生じさせるおそれがなくなる。このため、より正確にパターンを描画することができる。ここで、押さえ機構による押圧を解除した際には、ワークはステージに吸着されているので、再び反りが生ずることはない。

上記描画方法においては、前記ワークを前記ステージに載置するステップの後に、前記ステージを、前記ワークが載置されている側に平行移動させるステップを有することが好ましい。この方法によれば、ステージに載置されたワークをより大きな張力のかかる状態に張ることにより、ワークの反りを軽減させることができる。

本発明のアライメント機構は、帯状のワークをアライメントするアライメント機構であって、前記ワークを載置する、吸着機構を備えたステージと、前記ステージに載置された前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧する押さえ機構と、前記ステージおよび前記押さえ機構の動作を制御する制御部であって、前記押さえ機構が、前記ステージに載置された前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧するステップと、前記ステージが前記ワークを吸着するステップと、前記ステージを、当該ステージに吸着された前記ワークとともに移動させてアライメントを行うステップと、を少なくとも実行させる制御部と、を備えることを特徴とする。

上記構成のアライメント機構は、ステージに載置された帯状のワークの両端部を、押さえ機構によって押圧した状態で、ステージによるワークの吸着を行う。このため、ワークが下に凸に反っている場合であっても、反りによって浮いた部位をステージに押圧した状態で吸着を行うこととなり、確実にワークをステージに吸着させて固定することができる。この状態で、ステージおよびこれに吸着されたワークを所定の位置に移動させるステップを行うため、反りを有するワークであっても正確なアライメントをすることができる。

上記アライメント機構において、前記制御部は、前記ステージを当該ステージに吸着された前記ワークとともに移動させるステップの前に、前記押さえ機構の前記押圧を解除するステップを前記押さえ機構に実行させることが好ましい。この構成によれば、アライメント後に押さえ機構とワークとの相互作用によってアライメントにずれを生じさせるおそれがなくなる。

上記アライメント機構において、前記制御部は、前記ワークを前記ステージに載置するステップの後に、前記ステージを、前記ワークが載置されている側に平行移動させるステップをさらに実行させることが好ましい。この構成によれば、ステージに載置されたワークをより大きな張力のかかる状態に張ることにより、ワークの反りを軽減させることができる。

本発明の描画装置は、帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、前記ワークを載置する、吸着機構を備えたステージと、前記ステージに載置された前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧する押さえ機構と、前記ステージに載置された前記ワークに機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ステージ、前記押さえ機構および前記液滴吐出ヘッドの動作を制御する制御部であって、前記押さえ機構が、前記ステージに載置された前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧するステップと、前記ステージが前記ワークを吸着するステップと、前記ステージを、当該ステージに吸着された前記ワークとともに前記液滴吐出ヘッドに対して移動させてアライメントを行うステップと、前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上の前記パターンに応じた位置へ機能液を吐出するステップと、を少なくとも実行させる制御部と、を備えることを特徴とする。

この構成の描画装置は、帯状のワークをステージに載置し、押さえ機構によって両端部を押圧した状態でステージによるワークの吸着を行う。このため、ワークが下に凸に反っている場合であっても、反りによって浮いた部位をステージに押圧した状態で吸着を行うこととなり、確実にワークをステージに吸着させて固定することができる。この状態で、ステージおよびこれに吸着されたワークを液滴吐出ヘッドに対して移動させるステップを行うため、反りを有するワークであっても正確なアライメントをすることができる。そして、ワークへ機能液を吐出し、当該機能液を乾燥させることで、反りを有するワーク上にも正確にパターンを描画することができる。

上記描画装置において、前記制御部は、前記ステージを当該ステージに吸着された前記ワークとともに移動させるステップの前に、前記押さえ機構の前記押圧を解除するステップを前記押さえ機構に実行させることが好ましい。この構成によれば、アライメント後に押さえ機構とワークとの相互作用によってアライメントにずれを生じさせるおそれがなくなる。

上記描画装置において、前記制御部は、前記ワークを前記ステージに載置するステップの後に、前記ステージを、前記ワークが載置されている側に平行移動させるステップをさらに実行させることが好ましい。この構成によれば、ステージに載置されたワークをより大きな張力のかかる状態に張ることにより、ワークの反りを軽減させることができる。

以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。

（Ａ．描画装置）
図１は、本発明の実施形態に係る描画装置１の平面図である。描画装置１は、Ｙ軸方向に沿って搬送される帯状のテープ８０に対して配線等のパターンを描画形成するものであって、テープ８０を載置するステージ５０、ステージ５０の上方にＸ軸方向に延びて設けられる一対のフレーム２０、フレーム２０に架設され、それぞれ図示しないリニアモータ等の駆動装置によりＸ軸方向に独立して駆動される描画ユニット２２、アライメントユニット２４およびＵＶ照射ユニット２６、テープ８０を巻出す巻出しリール８４およびテープ８０を巻取る巻取りリール８５を主体に構成されている。描画ユニット２２には液滴吐出ヘッド９０が、アライメントユニット２４にはカメラ３２，３３が、ＵＶ照射ユニット２６にはＵＶ照射装置２７が、それぞれ搭載されている。

テープ８０は、巻出しリール８４と巻取りリール８５との間に掛け渡され、両者間においてステージ５０の上面に載置されるようになっている。また、ステージ５０は、吸着機構を備えており、テープ８０を吸着保持することができる。ここで、テープ８０は、本発明における帯状のワークに対応する。

図２は、ステージ５０およびアライメントユニット２４の外観斜視図である。ステージ５０は、定盤６０の表面に多孔質板５１を配置（埋設）して構成され、その多孔質板５１の表面に上述したテープ８０を吸着しうるようになっている。テープ８０の吸着位置は、多孔質板５１の幅方向中央部であり、テープ８０の中心線が多孔質板５１の中心線と一致する位置に設定されている。これにより、テープ８０のサイズの変更にともなう描画装置１の段取り換えを最小限にとどめることができるようになっている。

この多孔質板５１は、樹脂材料を焼結成形した樹脂焼結材で構成されている。焼結成形は、原料粉末を金型内に充填して加熱し、原料粉末の表層同士を融着（焼結）させることにより、粉末間の空間を残したまま成形する手法である。その原料粉末として、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド（ＰＡ）、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、フッ素樹脂（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ）等の熱可塑性樹脂材料を採用することが可能である。このように多孔質板５１を樹脂材料で構成することにより、多孔質板５１の表面に吸着されるテープ８０の損傷を防止することができる。

多孔質板５１には、本発明における吸着機構としての負圧吸引装置（不図示）が接続されており、多孔質板５１の表面全体にわたってほぼ均一に負圧が供給される。したがって、幅の異なる複数種のテープ８０に対しても、一様に吸着保持可能な構成となっている。

また、ステージ５０は、その下方に配置された可動プレート１８に固定されている。この可動プレート１８は、モータ１６によりθｚ方向（Ｚ軸周りの回転方向）に回動しうるようになっている。そのモータ１６はスライダ１４に固定されている。このスライダ１４は、ベースプレート１２の表面をＹ軸方向に移動しうるようになっている。これによりステージ５０は、ベースプレート１２に対してθｚ方向およびＹ軸方向に移動しうるようになっている。

アライメントユニット２４は、上述したフレーム２０に沿って移動する移動フレーム３１、移動フレーム３１に搭載されたカメラ３２，３３および押さえ機構３４等から構成されている。カメラ３２，３３は、ＣＣＤカメラ等で構成されるものであり、テープ８０に形成されたアライメントマークＡＭ（図４参照）を計測し、制御部９９に出力する。制御部９９は、カメラ３２，３３の計測結果に基づいて、モータ１６、スライダ１４を駆動してステージ５０の動作を制御するとともに、押さえ機構３４の動作を制御する。また、制御部９９は、巻出しリール８４、巻取りリール８５、および液滴吐出ヘッド９０（図１）の駆動を制御する。ここで、ステージ５０、押さえ機構３４および制御部９９を含んで構成される機構が、本発明におけるアライメント機構に対応する。

カメラ３２は、移動フレーム３１に一体的に固定されているが、カメラ３３は、移動フレーム３１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたスライダ３５に搭載されることにより、制御部９９の制御下でカメラ３２に対してＹ軸方向に移動可能となっている。

図６（ａ）は、主として押さえ機構３４に関する断面図である。押さえ機構３４は、Ｙ軸方向（図２参照）に延在する一対の押さえ部３６と、Ｘ軸方向に延び、支持柱３７を介して押さえ部３６の一方（＋Ｘ側）を上方から支持する支持フレーム３８と、支持柱３９を介して押さえ部３６の他方（−Ｘ側）を上方から支持するとともに、支持フレーム３８をＹ軸方向に伸縮自在に支持する支持フレーム４０とを有している。

支持フレーム３８は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により支持フレーム４０に対してＸ軸方向に移動する構成となっている。

支持フレーム４０は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により、移動フレーム３１にＺ軸方向に延びて設けられたガイドフレーム４１に沿ってＺ軸方向に移動する構成となっている。

押さえ部３６は、ステージ５０に密着させた状態で支持柱３７，３９に取り付けられ、固定されたものである。このため、押さえ部３６は、その下面の全体がステージ５０に接するような状態でステージ５０（またはステージ５０に載置されたテープ８０）を押圧することができる。

図１に戻り、描画ユニット２２には、液滴吐出ヘッド９０が搭載されている。液滴吐出ヘッド９０は、主走査方向に移動しながらステージ５０に載置されたテープ８０へ液滴を吐出することができる。ここで、主走査方向はＸ軸方向に略平行であり、テープ８０の長さ方向に直交する方向である。図３は、液滴吐出ヘッド９０の側面断面図である。液滴吐出ヘッド９０は、ヘッド本体９０Ａと、ヘッド本体９０Ａの一方面に装着されたノズルプレート９２と、ヘッド本体９０Ａの他方面に装着されたピエゾ素子９８とを主として構成されている。

液滴吐出面を構成するノズルプレート９２には、液滴を吐出するための複数のノズル９１が整列配置されている。また、ヘッド本体９０Ａには、各ノズル９１と連通する複数の圧力室９３が形成されている。各圧力室９３はリザーバ９５に接続され、リザーバ９５は機能液導入口９６に接続されている。そして、機能液９は、機能液導入口９６からリザーバ９５を通って各圧力室９３に供給されるようになっている。一方、ヘッド本体９０Ａの上端面には、可撓性を有する振動板９４が装着されている。その振動板９４を挟んで各圧力室９３の反対側には、それぞれピエゾ素子９８が設けられている。ピエゾ素子９８は、ＰＺＴ（登録商標）等の圧電材料を電極で挟持したものである。その電極は、制御部９９に接続されている。

そして制御部９９からピエゾ素子９８に駆動電圧を印加すると、ピエゾ素子９８が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子９８が収縮変形すると、圧力室９３内の圧力が低下して、リザーバ９５から圧力室９３に機能液９が流入する。またピエゾ素子９８が膨張変形すると、圧力室９３内の圧力が増加して、ノズル９１から機能液９の液滴が吐出される。なお、ピエゾ素子９８に印加する駆動電圧を制御することにより、液滴の吐出条件を制御しうるようになっている。

ここで、機能液９について説明する。配線パターン形成に用いられる機能液９は、導電性微粒子を分散媒に分散した分散液からなるものである。本実施形態では、導電性微粒子として、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、及びニッケルのうちの少なくともいずれか１つを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用いられる。これらの導電性微粒子は分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上１．０μｍ以下であることが好ましい。１．０μｍより大きいと液滴吐出ヘッド９０のノズル９１に目詰まりが生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと導電性微粒子に対するコーテイング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。

分散媒としては、上記の導電性微粒子を分散できるもので凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。

上記導電性微粒子の分散液の表面張力は、０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲内であることが好ましい。液滴吐出法により機能液９を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、機能液９のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えるとノズル９１の先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、上記分散液には、被吐出面との接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、機能液９の被吐出面への濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。上記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでもよい。

上記分散液の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴吐出法を用いて機能液９を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合にはノズル９１の周辺部が機能液９の流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、ノズル９１の目詰まり頻度が高くなり円滑な機能液９の吐出が困難となる。

なお液滴吐出方式として、ピエゾ素子の変形により圧力室内の圧力を変化させる上記ピエゾ方式の他に、機能液を加熱して気泡（バブル）を発生させることにより圧力室内の圧力を変化させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、機能液を加熱しないので材料の組成に悪影響を与えないなどの点で優れている。

ＵＶ照射ユニット２６には、機能液９の乾燥等のためのＵＶランプ等を有するＵＶ照射装置２７が搭載されている。

本実施形態の描画装置１は、以上のように構成されている。

（Ｂ．テープ）
次に、上記の描画装置１により機能液９が吐出されてパターンが描画形成される、帯状のワークとしてのテープ８０について説明する。図４は、本発明における帯状のワークの一態様である様々なテープ（ＴＡＢテープ；ワーク）８１〜８３の部分平面図である。上記したテープ８０は、これらのテープ８１〜８３のいずれであってもよく、また帯状のワークであればこれ以外の態様とすることもできる。

テープ８１の幅方向両端部には、テープの搬送や巻取りのためのスプロケット孔８６が連続形成され、テープ８１の幅方向中央部には、半導体装置を実装したり配線を形成したりするための作業領域８８が連続形成されている。この作業領域８８は、例えばデバイス毎に設定されるものである。そして、上記の描画装置１は、この作業領域８８に配線パターンを描画形成するものである。

上述した作業領域８８の大きさに対応して、また幅方向における作業領域８８の配列数に応じて、幅寸法の異なる複数種類のテープ８１，８２，８３が存在する。ここで、幅寸法は、例えば４８ｍｍ、７０ｍｍ、１５０ｍｍ等とすることができる。

各テープ８１〜８３における各作業領域８８には、テープ８１〜８３を位置決めする際に観察されるアライメントマークＡＭが、例えばそれぞれ３個ずつ形成されている。なお、アライメントマークＡＭの形状は、計測方法等によって各種存在するが、ここでは円形のマークとし、矩形の作業領域８８の３つのコーナー部に配置されるものとして図示している。

テープ８０（８１〜８３）のうち、上記した押さえ機構３４の押さえ部３６によって押圧される部位は、スプロケット孔８６が配置された、幅方向に見た場合における端部であって、作業領域８８を含まない部位である。この部位が、本発明における両端部に対応する。

（Ｃ．描画方法）
次に、上述した描画装置１を用いた描画方法について図５から図７を用いて説明する。図５は、本実施形態に係る描画方法の工程図である。また、図６および図７は、本実施形態に係る描画方法の各ステップ（工程）における、主として押さえ機構３４およびテープ８０に関する断面図である。以下、図５に示す工程図に沿って説明する。

まず、ステップＳ１では、図２に示す巻出しリール８４と巻取りリール８５との間にテープ８０を掛け渡し、その両者間に配置されたステージ５０（多孔質板５１）の表面にテープ８０を載置する。このとき、テープ８０は、図６（ａ）に示すように下に凸に反っているものとする。こうした反りは、テープ８０の片面のみに配線などが形成されている場合等に起こりうるものであり、テープ８０の表裏間で張力が異なること等に起因して発生する。

続いて、アライメントユニット２４をフレーム２０に沿って移動させ（図１参照）、アライメントユニット２４に含まれる押さえ機構３４をステージ５０に対向する位置に配置する（図６（ａ））。

次に、ステップＳ２では、支持フレーム４０をガイドフレーム４１に沿って下降させることにより、押さえ機構３４の押さえ部３６をテープ８０の両端部に当接させ、ステージ５０に向かって押圧する（図６（ｂ））。このとき、押さえ部３６は、あらかじめ支持フレーム３８を支持フレーム４０に対してＸ軸方向に移動させることにより、テープ８０の幅方向の両端部に当接するように位置が調整されている。このように押さえ機構３４がテープ８０の両端部を押圧することによって、テープ８０は、反りが矯正された状態でステージ５０に密着する。また、こうした方法によれば、テープ８０のうち両端部のみを押圧し、作業領域８８には押さえ部３６が当接しないため、作業領域８８上の機能液９を吐出すべき領域に、傷や打痕等を生じさせることがない。

続くステップＳ３では、ステージ５０がテープ８０を吸着する。本実施形態では、ステージ５０の負圧吸引装置を作動させて、テープ８０を多孔質板５１の表面に吸着保持させることにより、テープ８０がステージ５０に吸着される。テープ８０の両端部は、押さえ機構３４（押さえ部３６）によって押さえられているため、テープ８０に反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなくステージ５０の表面に平滑に吸着保持される。

次に、ステップＳ４では、支持フレーム４０をガイドフレーム４１に沿って上昇させることにより、押さえ機構３４によるテープ８０に対する押圧を解除する（図６（ｃ））。こうしてあらかじめ押さえ機構３４をステージ５０から離しておくことにより、後述するステップＳ６においてステージ５０を移動してアライメントを行った後に、押さえ機構３４とテープ８０との相互作用によってアライメントにずれが生じるおそれがなくなる。ここで、押さえ機構３４による押圧を解除した際には、テープ８０はステージ５０に吸着されているので、テープ８０に再び反りが生ずることはない。

次に、ステップＳ５では、カメラ３２，３３によりテープ８０上のアライメントマークＡＭを撮影する（図７（ａ））。例えば、テープ８０が図４に示すテープ８１のような形状を有するものであれば、カメラ３２によりアライメントマークＡＭ１を撮影・計測し、カメラ３３によりアライメントマークＡＭ２を撮影・計測する。このとき、テープ８０は、ステップＳ２およびステップＳ３を経て反りを矯正された状態でステージ５０に吸着されているので、アライメントマークＡＭの正確な撮影・計測を行うことができる。

上記のように２つのカメラ３２，３３によって同時にアライメントマークＡＭの撮影を行うために、ステップＳ５の前に、カメラ３２，３３をあらかじめ以下のように移動させておく。すなわち、カメラ３２の計測範囲にアライメントマークＡＭ１が位置するように、移動フレーム３１のＸ軸方向の位置を調整し、アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の相対位置関係に応じた距離だけ、スライダ３５を介してカメラ３３をＹ軸方向に移動させておく。

これらの撮影結果から、制御部９９はテープ８０の作業領域８８の現在位置を算出し、さらに所定位置からのオフセット量を算出する。

次に、ステップＳ６では、上記算出結果に基づいて、ステージ５０を移動させてテープ８０のアライメントを行う。より詳しくは、制御部９９が、上記算出結果に基づいて、スライダ１４およびモータ１６を駆動してステージ５０をＹ軸方向およびθｚ方向に移動させ、ステージ５０の表面に吸着されたテープ８０を液滴吐出ヘッド９０に対して相対移動させて位置合わせをする。この位置合わせは、例えばアライメントマークＡＭ１とアライメントマークＡＭ２とを結んだ直線が、液滴吐出ヘッド９０の主走査方向と直交する状態となるように行う。なお、テープ８０のＸ軸方向についての位置合わせは、描画ユニット２２の移動量を調整することによって行われる。

ここまでの工程は、本発明における描画方法の実施形態の一部であるとともに、本発明におけるアライメント方法の実施の一態様でもある。本発明のアライメント方法によれば、テープ８０が反りを有する場合であっても、当該反りを矯正した上で正確なアライメントをすることができる。

次に、ステップＳ７では、液滴吐出ヘッド９０からテープ８０へ機能液９を吐出する（図７（ｂ））。より詳しくは、まず、ステップＳ６におけるテープ８０のアライメントが完了すると、フレーム２０に沿ってアライメントユニット２４を移動させて、ステージ５０（すなわちテープ８０）との対向位置から退避させるとともに、描画ユニット２２をＸ軸方向に移動させてステージ５０との対向位置に配置する。そして、液滴吐出ヘッド９０から機能液９を吐出することにより、テープ８０の作業領域８８のうち、配線パターン１１２（図７（ｃ）参照）を形成すべき位置に機能液９が配置される。

次に、ステップＳ８では、ステップＳ７で吐出された機能液９を乾燥させてテープ８０上に配線パターン１１２を形成する（図７（ｃ））。より詳しくは、まず、ステップＳ７におけるテープ８０に対する液滴吐出処理が完了すると、フレーム２０に沿って描画ユニット２２を移動させて、ステージ５０（すなわちテープ８０）との対向位置から退避させるとともに、ＵＶ照射ユニット２６をＸ軸方向に移動させてステージ５０との対向位置に配置する。そして、ＵＶ照射装置２７からＵＶを照射することにより、テープ８０に吐出された機能液９を乾燥させる。これにより、機能液９に含まれていた溶媒が蒸発して除去されるとともに導電物質がテープ８０上に残り、当該導電物質からなる配線パターン１１２が形成される。

なお、上述したステップＳ７およびステップＳ８を繰り返し行うことにより、同種または異種の被膜を積層形成することが可能である。異種の被膜を積層形成する場合には、１つの描画ユニット２２に異なる機能液９を吐出する複数の液滴吐出ヘッド９０を搭載してもよいし、異なる機能液９を吐出する液滴吐出ヘッド９０を備えた複数の描画ユニット２２を設けてもよい。また、機能液９の乾燥は必ずしも描画装置１に備えられたＵＶ照射ユニット２６によって行わなくてもよく、テープ８０の搬送路上に備えられた別の乾燥装置によって乾燥させる構成とすることもできる。

上記したステップＳ１からステップＳ８における、押さえ機構３４、支持フレーム４０、ステージ５０、カメラ３２，３３、液滴吐出ヘッド９０、ＵＶ照射装置２７等の、描画装置１に含まれる各種構成要素の動作は、制御部９９による制御のもとに行われる。

以上のステップを経て、描画装置１によってテープ８０上に配線パターン１１２が形成される。

この後、テープ８０を送って未処理の作業領域８８をステージ５０の表面に載置し、上述した描画方法を繰り返し行うことによって、テープ８０上に順次配線パターン１１２を形成していくことができる。また、テープ８０の全ての作業領域８８に対する描画処理が終了したら、図２に示す巻出しリール８４および巻取りリール８５とともにテープ８０を交換する。なお、テープサイズ（幅寸法）を変更する場合でも、テープ８０の幅方向の中心線をステージ５０の中心線と一致させる。これにより、テープ８０のサイズの変更にともなう描画装置１の段取り換えを最小限にとどめることができる。

以上説明したように、本実施形態の描画装置１を用いた描画方法では、テープ８０が例えば下に凸に反っている場合であっても、反りによって浮いた部位をステージ５０に押圧した状態で吸着を行うことで、確実にテープ８０をステージ５０に吸着させて固定することができる。この状態で、ステージ５０およびこれに吸着されたテープ８０を所定の位置に移動するステップを行うことによって、反りを有するテープ８０であっても当該反りを矯正した上で正確なアライメントをすることができる。そして、テープ８０へ機能液９を吐出し、当該機能液９を乾燥させることで、反りを有するテープ８０上にも当該反りを矯正した上で正確に配線パターン１１２を描画することができる。

さらに、本実施形態では、押さえ部３６の幅をテープ８０の幅に応じて変更可能であるとともに、テープ８０をステージ５０により吸着する構成であるので、幅の異なる種々のテープ８０にも容易に対応することができ、テープ８０の種類変更に伴う作業を効率化することができる。

（Ｄ．液晶表示装置）
続いて、図８を用いて、上記描画装置１により配線パターン１１２が形成された回路基板１０３を有する液晶表示装置１０１について説明する。

図８は、電気光学装置である液晶表示装置１０１の分解斜視図である。液晶表示装置１０１は、大別するとカラー表示が可能な液晶パネル１０２と、液晶パネル１０２に接続される回路基板１０３とを備えている。また、必要に応じて、バックライト等の照明装置、その他の付帯機器が液晶パネル１０２に付設される。

液晶パネル１０２は、シール材１０４によって接着された一対の基板１０５ａおよび基板１０５ｂを有し、これらの基板１０５ａと基板１０５ｂとの間に形成される間隙、いわゆるセルギャップには液晶が封入されている。これらの基板１０５ａおよび基板１０５ｂは、一般には透光性材料、例えばガラス、合成樹脂等によって形成されている。基板１０５ａおよび基板１０５ｂの外側表面には偏光板１０６ａおよび偏光板１０６ｂが貼り付けられている。なお、図８においては、偏光板１０６ｂの図示を省略している。

また、基板１０５ａの内側表面には電極１０７ａが形成され、基板１０５ｂの内側表面には電極１０７ｂが形成されている。これらの電極１０７ａ、１０７ｂはストライプ状または文字、数字、その他の適宜のパターン状に形成されている。また、これらの電極１０７ａ、１０７ｂは、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウムスズ酸化物）等の透光性材料によって形成されている。

基板１０５ａは、基板１０５ｂに対して張り出した張り出し部を有し、この張り出し部に複数の端子１０８が形成されている。これらの端子１０８は、基板１０５ａ上に電極１０７ａを形成するときに電極１０７ａと同時に形成される。したがって、これらの端子１０８は、例えばＩＴＯによって形成されている。これらの端子１０８には、電極１０７ａから一体に延びるもの、および導電材（不図示）を介して電極１０７ｂに接続されるものが含まれる。

なお、実際の電極１０７ａ，１０７ｂおよび端子１０８は、極めて狭い間隔をもって多数本が基板１０５ａおよび基板１０５ｂ上にそれぞれ形成されているが、図８においては、液晶パネル１０２の構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、それらの内の数本のみを図示することにして他の部分を省略してある。また、端子１０８と電極１０７ａとの接続状態および端子１０８と電極１０７ｂとの接続状態も図８においては図示を省略している。

回路基板１０３には、配線基板１０９上の所定位置に液晶駆動用ＩＣとしての半導体素子１００が実装されている。配線基板１０９は、例えばポリイミド等の可撓性を有するベース基板１１１の上に形成されたＣｕ等の金属膜をパターニングして配線パターン１１２を形成することによって製造されている。

なお、実際の配線パターン１１２は、極めて狭い間隔をもって多数本がベース基板１１１上に形成されているが、図８においては、構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、構造を簡略化して図示してある。また、図示は省略しているが、半導体素子１００が実装される部位以外の部位の所定位置には抵抗、コンデンサ、その他のチップ部品が実装されていてもよい。

本実施形態では、この回路基板１０３が、上述した描画装置１により配線パターン１１２が形成されたテープ８０をデバイス毎に切断することにより製造される。

本実施形態に係る液晶表示装置１０１においては、これに含まれる回路基板１０３が上述した描画装置１を用いて製造されているため、高精度に配線パターン１１２が形成された高品質の液晶表示装置１０１を得ることができる。

（Ｅ．電子機器）
図９（ａ）〜（ｃ）は、前述した液晶表示装置１０１を有する電子機器の実施形態を示す図である。

図９（ａ）は、携帯電話機の一例を示した斜視図である。図９（ａ）において、符号１０００は携帯電話機本体（電子機器）を示し、符号１００１は表示部を示している。

図９（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図９（ｂ）において、符号１１００は時計本体（電子機器）を示し、符号１１０１は表示部を示している。

図９（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図９（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置（電子機器）、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は表示部をそれぞれ示している。

図９（ａ）〜（ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、本発明の描画装置１および描画方法を用いて製造された液晶表示装置１０１を備えているので、配線パターン１１２の描画精度が向上した高品質の電子機器となる。

また、上記実施形態では、電子機器として、携帯電話機、腕時計、情報処理装置を例に挙げて説明したが、これらに限らず、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）およびエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。

（変形例１）
上記実施形態の描画方法においては、テープ８０をステージ５０に載置するステップＳ１の後に、ステージ５０を、テープ８０が載置されている側に平行移動させるステップがさらに含まれていてもよい。

図１０は、このステップについて説明するための、ステージ５０およびテープ８０の斜視図である。本変形例においては、巻出しリール８４とステージ５０との間、およびステージ５０と巻取りリール８５との間に、それぞれクランプ７４，７５が配置されている。クランプ７４，７５は、その位置においてテープ８０の両端部を保持して固定することができる。

図１０（ａ）は、テープ８０がステージ５０に載置された状態、すなわち図５におけるステップＳ１が終了した状態を示している。このとき、テープ８０に反りがあると、図１１（ａ１）または図１１（ａ２）の断面図に示すように、テープ８０はステージ５０に密着しない。ここで、図１１（ａ１）は、テープ８０が下に凸に反っている場合の断面図、図１１（ａ２）は、テープ８０が上に凸に反っている場合の断面図である。

本変形例では、この状態からクランプ７４，７５によってテープ８０を保持し、その後ステージ５０を、図１０（ｂ）中の矢印に示すように、テープ８０の載置されている側（すなわち＋Ｚ方向）に平行移動させる。この方法によれば、ステージ５０の移動によって、ステージ５０に載置されたテープ８０をより大きな張力のかかる状態に張ることができる。これにより、テープ８０が上に凸の反りまたは下に凸の反りを有している場合であっても、図１１（ｂ１）または図１１（ｂ２）に示すように、ステージ５０上におけるテープ８０の反りを矯正または軽減することができる。

上記したステージ５０の平行移動だけでは反りが完全に矯正できない場合であっても、その後、押さえ機構３４によってテープ８０を押圧するステップＳ２において矯正することができる。あらかじめステージ５０の平行移動によって反りを小さくしておくことによって、ステップＳ２において容易に反りの矯正を行うことができる。

なお、本変形例においては、クランプ７４，７５は、その機能を他の構成要素に持たせることにして省略してもよい。例えば、巻出しリール８４、巻取りリール８５や、他の搬送ローラ等をクランプ７４，７５の代わりとすることができる。また、ステージ５０の平行移動と、押さえ機構３４によるテープ８０の押圧（ステップＳ２）を同時に行ってもよい。

（変形例２）
上記実施形態においては、図２等に示すアライメントユニット２４に代えて、図１２の斜視図に示すようなアライメントユニット２４ａを用いてもよい。アライメントユニット２４ａは、移動フレーム３１、移動フレーム３１に搭載されたカメラ３２，３３および押さえ機構３４ａ等から構成されている。アライメントユニット２４ａは、昇降機構７３によって全体がＺ軸方向に平行に移動可能となっている。カメラ３２は、移動フレーム３１に一体的に固定されているが、カメラ３３は、移動フレーム３１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたスライダ３５に搭載されることにより、カメラ３２に対してＹ軸方向に移動可能となっている。

押さえ機構３４ａは、移動フレーム３１に固定された、Ｘ軸方向に延在する２本の支持フレーム３８と、支持フレーム３８に取り付けられた、Ｙ軸方向に延在する一対の押さえ部３６ａ，３６ｂとを有している。このうち押さえ部３６ａは、支持フレーム３８に一体的に固定されている。また、２つの支持フレーム３８には、ともに複数の孔７２が開けられており、インデックスプランジャ７１をこれらの孔７２の任意の位置で固定できるようになっている。押さえ部３６ｂは、このインデックスプランジャ７１によって支持フレーム３８に固定されるため、インデックスプランジャ７１の位置を変えることによって支持フレーム３８における固定位置を変更することができる。この機構により、押さえ部３６ａと押さえ部３６ｂの間隔を、テープ８０の幅に応じて変更することができる。

押さえ部３６ａ，３６ｂは、ステージ５０に密着させた状態で支持フレーム３８に取り付けられ、固定されたものである。このため、押さえ部３６ａ，３６ｂは、その下面の全体がステージ５０に接するような状態でステージ５０（またはステージ５０に載置されたテープ８０）を押圧することができる。

また、アライメントユニット２４ａに代えて、図１３に示すようなアライメントユニット２４ｂを用いることもできる。アライメントユニット２４ｂは、押さえ部３６ａ，３６ｂの下面に複数の押圧肢７７を備えており、テープ８０を押圧する際にはこの押圧肢７７のみがテープ８０に接触する。このような構成とすることにより、テープ８０との接触面積を低減させて、テープ８０に傷や打痕などを生じさせにくくすることができる。押圧肢７７は、単に押さえ部３６ａ，３６ｂの下面に設けられた突起であってもよい。また、押圧肢７７の形状を、球などのような丸みを帯びたものとすることにより、テープ８０との接触面積をさらに低減させることができる。

また、上記アライメントユニット２４ａ，２４ｂに代えて、図１４に示すような構成のアライメントユニット２４ｃを用いることもできる。アライメントユニット２４ｃの押さえ機構３４ｂに含まれる押さえ部３６ａ，３６ｂは、支持部７６を支点としてＹＺ平面内で回動可能に取り付けられている。こうした構成によれば、押さえ部３６ａ，３６ｂがステージ５０（またはステージ５０に載置されたテープ８０）と接触する際に、ステージ５０の傾きに常に追随することができる。したがって、ステージ５０が傾いている場合であっても押さえ部３６ａ，３６ｂの下面の全面でテープ８０を押圧することができる。

（変形例３）
上記実施形態では、ステップＳ２において押さえ機構３４によってテープ８０を押圧した後に、ステップＳ３において負圧吸引装置を作動させてステージ５０の表面にテープ８０を吸着保持する手順としたが、負圧吸引装置は、ステップＳ２と同時に作動させるか、またはそれ以前から作動させておいてもよい。こうした方法によれば、ステップＳ２において、押さえ機構３４による押圧と負圧吸引装置による吸引との双方がテープ８０に作用するため、より容易にテープ８０の反りを矯正することができる。

（変形例４）
上記実施形態では、カメラ３３がカメラ３２に対してＹ軸方向の一軸で相対移動可能な構成としたが、これに限定されるものではなく、Ｙ軸方向およびＸ軸方向の二軸で相対移動可能な構成であってもよい。

本発明の実施形態に係る描画装置の平面図。 ステージおよびアライメントユニットの外観斜視図。 液滴吐出ヘッドの側面断面図。 本発明における帯状のワークの一態様である様々なテープの部分平面図。 本実施形態に係る描画方法の工程図。 （ａ）から（ｃ）は、本実施形態に係る描画方法の各ステップ（工程）における、押さえ機構、テープ等の断面図。 （ａ）から（ｃ）は、本実施形態に係る描画方法の各ステップ（工程）における、押さえ機構、テープ等の断面図。 液晶表示装置の分解斜視図。 （ａ）から（ｃ）は、電子機器の例を示す図。 （ａ）および（ｂ）は、本発明の変形例におけるステージおよびテープの斜視図。 （ａ１）および（ａ２）は、図１０（ａ）におけるステージおよびテープの断面図、（ｂ１）および（ｂ２）は、図１０（ｂ）におけるステージおよびテープの断面図。 アライメントユニットの変形例を示す斜視図。 アライメントユニットの変形例を示す斜視図。 アライメントユニットの変形例を示す斜視図。

符号の説明

１…描画装置、９…機能液、２２…描画ユニット、２４…アライメントユニット、２６…ＵＶ照射ユニット、３２，３３…カメラ、３４…押さえ機構、３６…押さえ部、５０…ステージ、８０…帯状のワークとしてのテープ、８４…巻出しリール、８５…巻取りリール、９０…液滴吐出ヘッド、９９…制御部、１０１…液晶表示装置、１１２…パターンとしての配線パターン。

Claims (8)

1. 吸着機構を有するステージと、押さえ機構とを備えたアライメント機構を用いて、帯状のワークをアライメントするアライメント方法であって、
   前記ワークを前記ステージに載置するステップと、
   前記押さえ機構が、前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧するステップと、
   前記ステージが前記ワークを吸着するステップと、
   前記ステージを、当該ステージに吸着された前記ワークとともに移動させてアライメントを行うステップと、
   を有することを特徴とするアライメント方法。
2. 請求項１に記載のアライメント方法であって、
   前記ワークを前記ステージに載置するステップの後に、前記ステージを、前記ワークが載置されている側に平行移動させるステップを有することを特徴とするアライメント方法。
3. 吸着機構を有するステージと、押さえ機構と、液滴吐出ヘッドとを備えた描画装置を用いて、帯状のワークにパターンを描画する描画方法であって、
   前記ワークを前記ステージに載置するステップと、
   前記押さえ機構が、前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧するステップと、
   前記ステージが前記ワークを吸着するステップと、
   前記ステージを、当該ステージに吸着された前記ワークとともに前記液滴吐出ヘッドに対して移動させてアライメントを行うステップと、
   前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上の前記パターンに応じた位置へ機能液を吐出するステップと、
   前記機能液を乾燥させて前記ワーク上に前記パターンを形成するステップと、
   を有することを特徴とする描画方法。
4. 請求項３に記載の描画方法であって、
   前記ワークを前記ステージに載置するステップの後に、前記ステージを、前記ワークが載置されている側に平行移動させるステップを有することを特徴とする描画方法。
5. 帯状のワークをアライメントするアライメント機構であって、
   前記ワークを載置する、吸着機構を備えたステージと、
   前記ステージに載置された前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧する押さえ機構と、
   前記ステージおよび前記押さえ機構の動作を制御する制御部であって、
   前記押さえ機構が、前記ステージに載置された前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧するステップと、
   前記ステージが前記ワークを吸着するステップと、
   前記ステージを、当該ステージに吸着された前記ワークとともに移動させてアライメントを行うステップと、を少なくとも実行させる制御部と、
   を備えることを特徴とするアライメント機構。
6. 請求項５に記載のアライメント機構であって、
   前記制御部は、前記ワークを前記ステージに載置するステップの後に、前記ステージを、前記ワークが載置されている側に平行移動させるステップをさらに実行させることを特徴とするアライメント機構。
7. 帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、
   前記ワークを載置する、吸着機構を備えたステージと、
   前記ステージに載置された前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧する押さえ機構と、
   前記ステージに載置された前記ワークに機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
   前記ステージ、前記押さえ機構および前記液滴吐出ヘッドの動作を制御する制御部であって、
   前記押さえ機構が、前記ステージに載置された前記ワークの両端部を前記ステージに向かって押圧するステップと、
   前記ステージが前記ワークを吸着するステップと、
   前記ステージを、当該ステージに吸着された前記ワークとともに前記液滴吐出ヘッドに対して移動させてアライメントを行うステップと、
   前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上の前記パターンに応じた位置へ機能液を吐出するステップと、を少なくとも実行させる制御部と、
   を備えることを特徴とする描画装置。
8. 請求項７に記載の描画装置であって、
   前記制御部は、前記ワークを前記ステージに載置するステップの後に、前記ステージを、前記ワークが載置されている側に平行移動させるステップをさらに実行させることを特徴とする描画装置。
   

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