JP2009242112A - 液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】帯状のワーク80を幅方向で保持するローラ61を備える。幅方向で分割されそれぞれがワーク80を保持する一対の保持体65を有する。一対の保持体65のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体65Aと、複数の分割体65Aを一体化する方向に付勢する付勢部材71と、複数の分割体65Aが一体化されたときに、保持体65を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有する。
【選択図】図4
Description
このテープ状フィルムは、フィルムを幅方向両側から保持するフランジを有するローラにより連続的に送られるが、フィルムの幅は機種に応じて変動するため、ローラにおいてもフランジによる保持幅を対応させる必要がある。
保持幅調整にリンク機構を用いるため、装置が大型化するという問題が生じる。
また、ローラをフィルム(テープ)の幅方向(回転軸の軸方向)に分割し、それぞれ回転軸にフィルム幅に応じた位置で取付ネジやプランジャを用いて固定する方法も考えられるが、この場合、取付ネジの取り付け、取り外しにレンチ等の工具が必要になり、作業が繁雑になるという問題が生じる。
さらに、取付ネジやプランジャを用いたローラの固定では、フィルムに対する十分な位置決め精度を確保しづらいという問題もある。
本発明の搬送装置は、帯状のワークを幅方向で保持するローラを備えた搬送装置であって、前記ローラは、前記幅方向で分割されそれぞれが前記ワークを保持する一対の保持体を有し、前記一対の保持体のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体と、前記複数の分割体を一体化する方向に付勢する付勢部材と、前記複数の分割体が一体化されたときに、当該保持体を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有することを特徴とするものである。
そのため、本発明では、工具等を用いることなく、簡便にワーク幅の変更に対応することができる。また、本発明では、付勢部材の付勢力に抗して分割体を分離させる方向に力を加えればよいため、プランジャ等による摺接が生じず、クリーン度の低下も防止することができる。
また、この構成では、前記保持体は、前記分割体が一体化されたときに前記突部が前記溝部に嵌合し、前記分割体が前記付勢部材の付勢力に抗して分離されたときに前記突部と溝部との嵌合が解除される構成を採用できる。
従って、本発明では、分割体が一体化されたときに、保持体の突部が軸体の溝部に嵌合することにより、保持体が軸体に対して位置決めされる。
この溝部としては、前記ワークの幅に応じて複数設けられる構成が好適である。
従って、本発明では、変更されるワークの幅に対応する溝部に保持体の突部を嵌合させることにより、保持体によりワークを幅方向に保持することが可能になる。
従って、本発明では、軸体と保持体とが、いわゆるテーパ合わせにて位置決めされるため、保持体を軸体に対してがたつきなく、取り付けることが可能になり、ワークを精度よく保持することが可能になる。
また、この構成においては、前記嵌合面の少なくとも一つは、前記幅方向と略直交して設けられることが好ましい。
これにより、本発明では、保持体のワークの幅方向の位置を、前記幅方向と略直交する嵌合面により規定することができる。
従って、本発明の描画装置では、上述した搬送装置を備えているため、簡便にワーク幅の変更に対応でき、クリーン度の低下も防止できる描画装置を提供することができる。
描画装置1は、Y方向に沿って送られる帯状のテープ(ワーク)80に対して配線等のパターンを描画形成するものであって、テープ80を吸着保持する吸着装置50、吸着装置の上方にX方向に延びて設けられる一対のフレーム20、フレーム20に架設され、それぞれ図示しないリニアモータ等の駆動装置によりX方向に独立して駆動される描画ユニット22、アライメントユニット24およびUV照射ユニット26、図2に示すように、ガイドローラ(ローラ)61を介してテープ80を繰り出す繰出しローラ84およびガイドローラ62を介してテープ80を巻き取る巻取りローラ85を主体に構成されている。
これらガイドローラ61、62、繰出しローラ84、巻取りローラ85により、本発明に係る搬送装置が構成される。
テープ80は、ガイドローラ61、62の間に掛け渡され、両者間において吸着装置50の上面に載置されるようになっている。
吸着装置50は、定盤60の表面に多孔質板51を配置(埋設)して構成され、その多孔質板51の表面に上述したテープ80を吸着しうるようになっている。なお80テープの吸着位置は、多孔質板51の幅方向中央部であり、テープの中心線が多孔質板51の中心線と一致する位置に設定されている。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができるようになっている。
テープ押さえ装置34は、Y軸方向に延在する一対の押さえ部36と、Y軸方向に延び、支持柱37を介して押さえ部36の一方(−Y側)を上方から支持する支持フレーム38、支持柱39を介して押さえ部36の他方(+Y側)を上方から支持するとともに、支持フレーム38をY軸方向に伸縮自在に支持する支持フレーム40とを有している。
支持フレーム40は、制御部99の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により、移動フレーム31にZ方向に延びて設けられたガイドフレーム41に沿ってZ軸方向に移動する構成となっている。
なお、フランジ体65、66は同様の構成を有しているため、以下フランジ体65についてのみ説明する。
各フランジ体65は、内周面でガイド軸63に嵌合する筒状に形成されており、外周面でテープ80の裏面(液滴で描画される面と逆側の面)を支持する円筒部67と、テープ80の幅方向の側縁を保持するフランジ部68とを有している。また、各フランジ体65は、直径方向に沿って分離一体可能に2分割された分割体65A、65Aから構成されている。
また、各分割体65Aには、図5及び図6に示すように、内周面からほぼ同じ高さで垂直に突出する突部72が位置決め部として設けられている。
溝部73A〜73Cは、フランジ体65の突部72が嵌合したときに、対向するフランジ部68間の距離Lがテープ80の種類に応じた所定幅となる位置に形成されている。
なお、フランジ体65の突部72は、各分割体65Aの接合面近傍まで設けられた場合には、溝部73A〜73Cから外す(嵌合解除させる)ためのストロークが大きくなるため、各分割体65Aの中央部のみに設けられている。
本実施形態の描画装置1は、以上のように構成されている。
図8は、様々なテープ(TABテープ;ワーク)81〜83の部分平面図である。テープ81の幅方向両端部には、テープを巻き取るためのスプロケット孔86が連続形成され、テープ81の幅方向中央部には、半導体装置を形成するための作業領域88が連続形成されている。この作業領域88は、例えばデバイス毎に設定されるものである。
上述した作業領域88の大きさに対応して、また幅方向における作業領域88の配列数に応じて、幅寸法の異なる複数種類のテープ81,82,83が存在する。
フランジ体65をガイド軸63に取り付ける際には、まず、引張バネ71を装着していない状態で、一対の分割体65Aによりガイド軸63を挟み込む。
このとき、使用するテープ80の幅に対応する溝部73A〜73Cにフランジ体65の突部72を嵌合させる。
そして、フランジ体65の突部72と、ガイド軸63の溝部(73A〜73Cのいずれか)との嵌合が解除される位置まで分割体65Aを離間させると、分割体65AをX軸方向に移動させて、変更されるテープの幅に対応する溝部(例えば73B)にフランジ体65の突部72を嵌合させる。
そして、分割体65Aへの引張を解除すると、引張バネ71の付勢力により、フランジ体65は、フランジ部68間の距離Lが変更されたテープ幅に設定された状態でガイド軸63にX軸方向に位置決めされて取り付けられる。
ここでは、上述したテープ81を用いるものとして説明する。
また、本実施形態では、4つの作業領域88からなる作業領域88’に対して、一括して描画処理を行うものとし、作業領域88’における一端側(+Y側)に位置するアライメントマークAM1と、他端側(−Y側)に位置し、アライメントマークAM1と同列(同じX位置)に位置するアライメントマーク(第2マーク)AM2とを計測することにより、テープ81を位置決めするものとする。
次に、描画ユニット22またはUV照射ユニット26が吸着装置50と対向する位置にある場合は、当該ユニットを吸着装置50との対向位置から予め退避させておく。
このとき、カメラ32の計測範囲にアライメントマークAM1が位置するように、移動フレーム31のX方向の位置を調整する。また、アライメントマークAM1、AM2の相対位置関係は既知であるため、この相対位置関係に応じた距離、スライダ35を介してカメラ33をY軸方向に移動させる。
この後、負圧吸引装置を作動させて、テープ81を多孔質板51の表面に吸着保持させる。テープ81の両側は、押さえ部36によって押さえられているため、テープに反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板51の表面に平滑に吸着保持される。
また、テープ81の全ての作業領域に対する描画処理が終了したら、図2に示す繰出しローラ84および巻取りローラ85とともにテープ81を交換するとともに、上述した手順でフランジ体65を移動させて新たなテープ幅に対応させる。
なお、テープサイズ(幅寸法)を変更する場合でも、テープの幅方向の中心線を吸着装置50の中心線と一致させる。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができる。
加えて、本実施形態では、ガイド軸63への溝部を追加形成するとともに、フランジ体65及び引張バネ71を用意することにより、既存の搬送装置に対しても、本発明を容易に適用することが可能である。
加えて、本実施形態では、テープ押さえ装置34によりテープ81の側縁を押さえる構成としているので、テープ81に反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板51の表面に平滑に吸着保持することが可能になり、アライメントマークを精度よく計測でき、所定位置にパターンを高精度に形成することができる。
続いて、上記描画装置1により配線パターンが形成されたテープを有する液晶表示装置について説明する。
図9は、電気光学装置である液晶表示装置の分解斜視図である。
この図に示す液晶表示装置(電気光学装置)101は、大別するとカラーの液晶パネル(電気光学パネル)102と、液晶パネル102に接続される回路基板103とを備えている。また、必要に応じて、バックライト等の照明装置、その他の付帯機器が液晶パネル102に付設されている。
基板105aは、基板105bに対して張り出した張り出し部を有し、この張り出し部に複数の端子108が形成されている。これらの端子108は、基板105a上に電極107aを形成するときに電極107aと同時に形成される。従って、これらの端子108は、例えばITOによって形成されている。これらの端子108には、電極107aから一体に延びるもの、及び導電材(不図示)を介して電極107bに接続されるものが含まれる。
なお、実際の配線パターン112は、極めて狭い間隔をもって多数本がベース基板111上に形成されているが、図9においては、構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、構造を簡略化して図示してある。また、図示は省略しているが、半導体素子100が実装される部位以外の部位の所定位置には抵抗、コンデンサ、その他のチップ部品が実装されていてもよい。
本実施形態に係る液晶表示装置は、上述した描画装置1を用いて回路基板3が製造されているため、高精度に配線パターンが形成された高品質の液晶表示装置を得ることができる。
図10(a)〜(c)は、前述した液晶表示装置を有する電子機器の実施の形態例を示す図である。
図10(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図10(a)において、符号1000は携帯電話本体(電子機器)を示し、符号1001は表示部を示している。
図10(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図10(b)において、符号1100は時計本体(電子機器)を示し、符号1101は表示部を示している。
図10(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図10(c)において、符号1200は情報処理装置(電子機器)、符号1202はキーボードなどの入力部、符号1204は情報処理装置本体、符号1206は表示部を示している。
図10(a)〜(c)に示すそれぞれの電子機器は、本発明の描画装置及び描画方法を用いて製造された液晶表示装置を備えているので、配線パターンの描画精度が向上した高品質の電子機器となる。
また、上記実施形態では、カメラ33がカメラ32に対してY軸方向の1軸で相対移動可能な構成としたが、これに限定されるものではなく、Y軸方向及びX軸方向の2軸で相対移動可能な構成であってもよい。
さらに、図11(b)に示すように、嵌合面の中、図中、左側の嵌合面72b、73bのように、テープの幅方向(テープ保持方向)と直交するように設ける構成も好適である。この構成では、テーパ合わせにより、がたつきがない状態でフランジ体65を取り付けられるとともに、嵌合面72b、73bによりフランジ体65のテープ幅方向の位置を高精度に位置決めすることができ、より高精度にテープを保持することが可能になる。
Claims (8)
- 帯状のワークを幅方向で保持するローラを備えた搬送装置であって、
前記ローラは、前記幅方向で分割されそれぞれが前記ワークを保持する一対の保持体を有し、
前記一対の保持体のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体と、
前記複数の分割体を一体化する方向に付勢する付勢部材と、
前記複数の分割体が一体化されたときに、当該保持体を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有することを特徴とする搬送装置。 - 請求項1記載の搬送装置において、
前記ローラに挿通され、外周面に溝部が形成された軸体を有し、
前記位置決め部は、前記溝部に嵌合する突部を有することを特徴とする搬送装置。 - 請求項2記載の搬送装置において、
前記溝部は、前記ワークの幅に応じて複数設けられることを特徴とする搬送装置。 - 請求項2または3記載の搬送装置において、
前記保持体は、前記分割体が一体化されたときに前記突部が前記溝部に嵌合し、前記分割体が前記付勢部材の付勢力に抗して分離されたときに前記突部と溝部との嵌合が解除されることを特徴とする搬送装置。 - 請求項2から4のいずれかに記載の搬送装置において、
前記溝部及び前記突部は、互いに交差する嵌合面で嵌合することを特徴とする搬送装置。 - 請求項5記載の搬送装置において、
前記嵌合面の少なくとも一つは、前記幅方向と略直交して設けられることを特徴とする搬送装置。 - 帯状のワークを搬送する搬送装置と、搬送された前記ワークに対して液滴を吐出して描画する吐出ヘッドとを備えた描画装置であって、
前記搬送装置として請求項1から6のいずれかに記載の搬送装置が用いられることを特徴とする描画装置。 - 帯状のワークを幅方向で保持し軸体が挿通するローラにより搬送する方法であって、
前記ローラを、前記幅方向で分割され、それぞれが前記ワークを保持する一対の保持体で構成し、
前記一対の保持体のそれぞれを、分離一体可能で、且つ一体化する方向に付勢され、前記軸体と嵌合したときに前記幅方向に位置決めされる複数の分割体で構成し、
前記複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除する工程と、
前記ワークに応じた位置で前記分割体を前記軸体に嵌合させる工程とを有することを特徴とする搬送方法。
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