JP2001213557A

JP2001213557A - 長尺フィルムの搬送装置及び長尺フィルムの搬送方法

Info

Publication number: JP2001213557A
Application number: JP2000026046A
Authority: JP
Inventors: Satoru Izawa; 悟井澤
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-02-03
Filing date: 2000-02-03
Publication date: 2001-08-07
Anticipated expiration: 2020-02-03
Also published as: JP3957250B2

Abstract

(57)【要約】【課題】セラミックグリーンシートなどの長尺フィル
ムを搬送する際において、長尺フィルムの張力の変動を
吸収して、安定した張力を保ちながら確実に搬送するこ
とが可能な長尺フィルムの搬送装置及び搬送方法を提供
する。【解決手段】張力検出手段５からの検出信号と、目標
張力（設定張力）とを比較して、両者に差があるときに
は、ダンサロール４が動作して長尺フィルム（セラミッ
クグリーンシート）３の張力変動を吸収するとともに、
セラミックグリーンシート３を搬送する際の巻き出しロ
ール１と巻き取りロール２の回転速度に差が生じた場合
には、張力検出手段５からの信号に、速度差検出手段か
らの信号を加算した制御信号にしたがってダンサロール
４を変位させることにより、セラミックグリーンシート
３の緩みや張りを事前に防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、グリーンシート
や樹脂フィルムなどの長尺フィルムを搬送するための搬
送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、セラミック電子部品の製造工程
においては、セラミックグリーンシートに電極ペースト
を印刷したり、その他の加工を行ったりする目的で、長
尺のセラミックグリーンシートを搬送することが必要に
なる場合がある。

【０００３】そして、セラミックグリーンシートを搬送
するに際しては、セラミックグリーンシートにしわやた
るみが発生したり、厚みが変化したり、あるいは蛇行が
生じたりしないよういに、セラミックグリーンシートに
一定の張力をかけて搬送することが行われている。な
お、セラミックグリーンシートを搬送するにあたって
は、そのまま搬送する場合に限らず、セラミックグリー
ンシートを樹脂フィルム（キャリアフィルム）上に保持
させた状態で搬送する場合もある。

【０００４】図５は、キャリアフィルム上に保持された
状態の、長尺のセラミックグリーンシート５３の巻き出
し、巻き取り装置を備えたセラミックグリーンシートの
搬送装置の要部を示す図である。この搬送装置は、巻き
出しロール５１と、巻き取りロール５２と、巻き出しロ
ール５１と巻き取りロール５２の間に配設された、セラ
ミックグリーンシート５３の搬送方向を転換させるガイ
ドロール６４，６５と、自在に変位して、セラミックグ
リーンシート５３の張力を所定範囲に保つ機能を果たす
ダンサロール（ダンサロール機構）５４と、搬送途中の
セラミックグリーンシート５３の張力を検出し、張力に
応じた信号を発信する張力検出手段５５と、張力検出手
段５５からの信号に応じて、ダンサロール５４を上下方
向に駆動（変位）させる駆動モータ（サーボモータ）５
６及びサーボモータドライバ５７を介して、ダンサロー
ル５４の動作を制御することによりセラミックグリーン
シートの張力を制御する張力制御手段５８とを備えてい
る。また、このセラミックグリーンシートの搬送装置
は、さらに、巻き出しロール５１を駆動する駆動モータ
（サーボモータ）５９及びサーボモータドライバ６０を
介して巻き出しロール５１の駆動・停止や、回転速度の
制御などを行うとともに、巻き取りロール５２を駆動す
る駆動モータ（サーボモータ）６１及びサーボモータド
ライバ６２を介して巻き取りロール５２の駆動・停止
や、回転速度の制御などを行うことによりセラミックグ
リーンシートの搬送を制御する搬送制御手段６３を備え
ている。

【０００５】このセラミックグリーンシートの搬送装置
において、セラミックグリーンシート５３は、巻き出し
ロール５１より巻き出され、張力検出手段５５により張
力が検出された後、ダンサロール５４を経て、巻き取り
ロール５２により巻き取られる。また、巻き出しロール
５１の回転速度（搬送速度）は、サーボモータ５９によ
り制御され、サーボモータ５９はサーボモータドライバ
６０により駆動される。また、巻き取りロール５２の回
転速度（搬送速度）は、サーボモータ６１により制御さ
れ、サーボモータ６１はサーボモータドライバ６２より
駆動される。そして、ダンサロール５４は、張力検出手
段５５からの信号に応じて、サーボモータ５６により駆
動され、上下方向に変位することにより、セラミックグ
リーンシート５３の張力とバランスし、セラミックグリ
ーンシート５３の張力が所定の範囲に保たれるように構
成されている。

【０００６】ところで、上記従来のセラミックグリーン
シートの搬送装置では、長尺のセラミックグリーンシー
ト５３を所定量（所定長さ）搬送する場合において、巻
き出しロール５１と巻き取りロール５２を、定められた
速度カーブで、同時に一定量回転させることによりセラ
ミックグリーンシート５３を搬送し、張力制御手段５８
が、張力検出手段５５からの検出結果に応じて、サーボ
モータ５６，サーボモータドライバ５７を介してダンサ
ロール５４を駆動することにより、セラミックグリーン
シート５３の張力が所定の範囲に保たれるようにしてい
る。

【０００７】なお、この従来の搬送装置の場合、制御の
方法としては、例えば、図６に示すように、巻き出しロ
ール速度指令器から、巻き出しロール用のサーボモータ
を駆動するサーボモータドライバに速度指令を出力する
とともに、巻き取りロール速度指令器から、巻き取りロ
ール用のサーボモータを駆動するサーボモータドライバ
に速度指令を出力する一方、張力検出手段からの張力の
検出信号と、張力設定手段からの張力の設定値を比較し
て、両者に差（偏差）がある場合には、その偏差を減ら
す方向に演算を行い、ダンサロール用のサーボモータを
駆動するサーボモータドライバに速度指令を出力してセ
ラミックグリーンシートの張力を一定に保つ方法などが
適用されることになる。なお、この制御方法において、
演算はＰ（比例）＋Ｉ（積分）＋Ｄ（微分）動作であ
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
セラミックグリーンシートの搬送装置の場合、セラミッ
クグリーンシートの張力が一定で、連続して搬送されて
いる場合には、特に問題はないが、加速完了時や減速時
などにおいて、セラミックグリーンシートの張力が急激
に増大、減少する場合においては、大きな張力変動が発
生し、独立したダンサロールによる張力制御では、必ず
しもセラミックグリーンシートの張力変化を速やかに吸
収することができず、セラミックグリーンシートに蛇行
が生じたりするという問題点があり、また、セラミック
グリーンシートの搬送を停止させる際においては、セラ
ミックグリーンシートの整定までに長い時間を要したり
するという問題点がある。

【０００９】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、セラミックグリーンシートなどの長尺フィルムを
搬送する際において、長尺フィルムの張力が急激に変動
する場合も、これを吸収して、安定した張力を保ちなが
ら長尺フィルムを確実に搬送することが可能な長尺フィ
ルムの搬送装置及び搬送方法を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明の長尺フィルムの搬送装置は、長尺フィル
ムを供給する巻き出しロールと、巻き出しロールから供
給された長尺フィルムを巻き取る巻き取りロールと、巻
き出しロールと巻き取りロールの間に配設され、変位し
て、長尺フィルムの張力を制御することができるように
構成されたダンサロールと、搬送途中の長尺フィルムの
張力を検出するとともに、張力に応じた信号を発信する
張力検出手段と、巻き出しロールと巻き取りロールの回
転速度差を検出するとともに、回転速度差に応じた信号
を発信する速度差検出手段と、張力検出手段からの信号
と速度差検出手段からの信号とを加算した制御信号にし
たがってダンサロールを変位させることにより、長尺フ
ィルムの張力を目標張力範囲に制御する張力制御手段と
を具備することを特徴としている。

【００１１】張力検出手段からの検出信号と、目標張力
（設定張力）とを比較して、両者に差（偏差）があると
きには、ダンサロールが動作して長尺フィルム（セラミ
ックグリーンシートなど）の張力変動を吸収するととも
に、長尺フィルムを搬送する際の巻き出しロールと巻き
取りロールの回転速度に差が生じた場合には、張力検出
手段からの信号に、速度差検出手段からの信号を加算し
た制御信号にしたがってダンサロールを変位させること
により、いわゆるフィードフォワード制御を行うことが
可能になり、セラミックグリーンシートの緩みや張りを
事前に防止し、長尺フィルムの張力を目標張力範囲に制
御しつつ、安定した搬送を行うことが可能になる。

【００１２】また、請求項２の長尺フィルムの搬送装置
は、前記巻き出しロールと前記巻き取りロールを間欠的
に回転させることにより、長尺フィルムを間欠的に搬送
するように構成されていることを特徴としている。

【００１３】巻き出しロールと巻き取りロールを間欠的
に回転させるようにした場合、長尺フィルムの張力に大
きな変動が生じやすいが、このような場合に本願発明を
適用することにより、フィードフォワード制御を行っ
て、セラミックグリーンシートの緩みや張りを事前に防
止し、長尺フィルムの張力を目標張力範囲に制御するこ
とが可能になるため特に有意義である。

【００１４】また、請求項３の長尺フィルムの搬送装置
は、前記巻き出しロールと前記巻き取りロールのそれぞ
れが、外周面に吸引孔を備えており、該吸引孔から吸引
することにより、長尺フィルムを外周面に吸着した状態
で搬送するように構成されていること特徴としている。

【００１５】外周面に吸引孔を備えた巻き出しロールと
巻き取りロールを用い、該吸引孔から吸引して、長尺フ
ィルムを外周面に吸着した状態で搬送するようにした場
合、各ロール表面での長尺フィルムの滑りが抑制、防止
され、各ロールの回転速度と長尺フィルムの搬送量や張
力の関係がより正確に対応することになるため、さらに
確実に張力を所定範囲に制御しつつ、長尺フィルムを所
定量だけ確実に搬送することが可能になる。

【００１６】また、請求項４の長尺フィルムの搬送装置
は、前記長尺フィルムが、樹脂フィルム上にセラミック
グリーンシートを保持させたものであることを特徴とし
ている。

【００１７】また、本願発明は、長尺フィルムが、樹脂
フィルム上にセラミックグリーンシートを保持させたも
のである場合にも適用することが可能であり、その場合
にも、セラミックグリーンシートなどの長尺フィルムの
緩みや張りを事前に防止し、長尺フィルムの張力を目標
張力範囲に制御することが可能になる。

【００１８】また、請求項５の長尺フィルムの搬送装置
は、前記巻き取りロールが正・逆回転可能に構成されて
おり、長尺フィルムを所定の位置に停止させるに際し
て、前記巻き出しロールを所定のタイミングで停止させ
るとともに、前記巻き出しロールを停止させた状態で、
前記巻き取りロールを正・逆回転させることにより、長
尺フィルムの位置決めを行うように構成されていること
を特徴としている。

【００１９】巻き取りロールが正・逆回転可能であっ
て、長尺フィルムを所定の位置に停止させるに際して、
前記巻き出しロールを所定のタイミングで停止させると
ともに、前記巻き出しロールを停止させた状態で、前記
巻き取りロールを正・逆回転させることにより、長尺フ
ィルムの位置決めを行うように構成された搬送装置にも
本願発明を適用することが可能であり、その場合にも、
フィードフォワード制御を行って、セラミックグリーン
シートの緩みや張りを事前に防止し、長尺フィルムの張
力を目標張力範囲に制御しつつ、安定した搬送を行うこ
とが可能になる。

【００２０】また、本願発明（請求項６）の長尺フィル
ムの搬送方法は、長尺フィルムを供給する巻き出しロー
ルと、巻き出しロールから供給された長尺フィルムを巻
き取る巻き取りロールとによって、長尺フィルムを搬送
する搬送方法であって、巻き出しロールと巻き取りロー
ルの間に、自在に変位して、長尺フィルムの張力を目標
張力範囲に保つダンサロールを配設し、搬送途中の長尺
フィルムの張力を張力検出手段により検出して張力に応
じた信号を発信するとともに、巻き出しロールと巻き取
りロールの回転速度差を速度差検出手段により検出して
回転速度差に応じた信号を発信し、張力検出手段からの
張力に応じた信号に、速度差検出手段からの回転速度差
に応じた信号を加算した制御信号にしたがってダンサロ
ールを変位させることにより、張力を目標張力範囲に保
ちながら長尺フィルムを搬送することを特徴としてい
る。

【００２１】本願発明の搬送方法によれば、通常は、張
力検出手段からの検出信号と、目標張力（設定張力）と
を比較して、両者に差（偏差）があるときには、ダンサ
ロールが動作して長尺フィルム（セラミックグリーンシ
ートなど）の張力変動を吸収するとともに、長尺フィル
ムを搬送する際の巻き出しロールと巻き取りロールの回
転速度に差が生じた場合には、張力検出手段からの信号
に速度差検出手段からの信号を加算した制御信号にした
がってダンサロールを変位させるようにしているので、
いわゆるフィードフォワード制御を行うことが可能にな
り、セラミックグリーンシートの緩みや張りを事前に防
止し、長尺フィルムの張力を目標張力範囲に制御しつ
つ、安定した搬送を行うことが可能になる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、発明の実施形態を示して、
その特徴とするところをさらに詳しく説明する。

【００２３】［実施形態１］この実施形態では、長尺フ
ィルムとして、キャリアフィルム上に保持された長尺の
セラミックグリーンシートを搬送する場合を例にとって
説明する。なお、この実施形態では、キャリアフィルム
上に保持された長尺のセラミックグリーンシートを「セ
ラミックグリーンシート」と略称する。図１は本願発明
の一実施形態にかかる長尺フィルム（セラミックグリー
ンシート）の搬送装置の要部構成を模式的に示す図であ
る。この実施形態のセラミックグリーンシートの搬送装
置は、巻き出しロール１と、巻き取りロール２と、巻き
出しロール１と巻き取りロール２の間に配設された、セ
ラミックグリーンシートの搬送方向を転換させるガイド
ロール１４，１５と、ガイドロール１４と１５の間に配
設され、変位して、セラミックグリーンシート３の張力
を所定の範囲に保つ機能を果たすダンサロール（ダンサ
ロール機構）４と、搬送途中のセラミックグリーンシー
ト３の張力を検出し、張力に応じた信号を発信する張力
検出手段５と、張力検出手段５からの信号に応じて、ダ
ンサロール４を上下方向に駆動（変位）させる駆動モー
タ（サーボモータ）６及びサーボモータドライバ７を介
して、ダンサロール４の動作を制御してセラミックグリ
ーンシート３の張力を制御するとともに、巻き出しロー
ル１を駆動する駆動モータ（サーボモータ）９及びサー
ボモータドライバ１０を介して巻き出しロール１の駆動
・停止や回転速度の制御、及び、巻き取りロール２を駆
動する駆動モータ（サーボモータ）１１及びサーボモー
タドライバ１２を介して巻き取りロール２の駆動・停止
や回転速度の制御を行うことにより、セラミックグリー
ンシートの搬送を制御する搬送・張力制御手段８を備え
ている。なお、この実施形態においては、搬送・張力制
御手段８が、巻き出しロール１と巻き取りロール２の回
転速度差を検出し、この回転速度差に応じた信号を発信
する速度差検出手段としての機能と、張力検出手段５か
らの信号に速度差検出手段からの信号を加算した制御信
号にしたがってダンサロール４を変位させることによ
り、長尺フィルム３の張力を目標張力範囲に制御する張
力制御手段としての機能の両方の機能を果たすように構
成されている。

【００２４】上記のように構成されたこの実施形態のセ
ラミックグリーンシートの搬送装置を用いてセラミック
グリーンシート（長尺フィルム）を搬送する場合、ま
ず、セラミックグリーンシート３が、巻き出しロール１
により送り出され、ガイドロール１４及び張力検出手段
５を経て、ダンサロール（ダンサロール機構）４により
張力が制御されながら、ガイドロール１５を経て、巻き
取りロール２により巻き取られる。そして、搬送工程で
は、巻き出しロール１、巻き取りロール２の回転速度が
サーボモータ９及び１１で制御され、サーボモータ９及
び１１は、搬送・張力制御手段８からの指令を受けたサ
ーボモータドライバ１０及び１２より駆動される。

【００２５】そして、同時に搬送・張力制御手段８は、
張力検出手段５の出力を入力することによりダンサロー
ル駆動用のサーボモータ６を駆動し、セラミックグリー
ンシート３の張力とバランスさせることにより、セラミ
ックグリーンシート３の張力を所定の範囲に制御する。
なお、ダンサロール駆動用のサーボモータ６は、搬送・
張力制御手段８からの指令を受けたサーボモータドライ
バ７により駆動される。

【００２６】図２は、上記のような搬送・張力制御手段
の構成の一例を示す図である。この搬送・張力制御手段
による制御方法は、図２に示すように、張力検出手段か
らの検出信号と張力設定手段により設定された張力設定
値とを比較して、両者に差（偏差）がある場合には、そ
の偏差を減らす方向に比例・積分・微分した張力制御信
号を生成し、ダンサロール駆動用のサーボモータドライ
バに速度指令を出力してセラミックグリーンシートの張
力を一定に保つとともに、巻き出しロールと巻き取りロ
ールの回転速度差を演算し、回転速度差に応じた信号
を、上記の速度指令に加える。そして、巻き出しロール
と巻き取りロールの回転速度差により張力が増加する場
合には、ダンサロールに対して、張力が減少する方向へ
の速度を加え、また、巻き出しロールと巻き取りロール
の回転速度差により張力が減少する場合は、ダンサロー
ルに対して、張力が増加する方向への速度を加える。

【００２７】なお、図２では、制御信号が、比例・積分
・微分の加算による制御信号である場合を例示したが、
要求精度によっては、例えば、比例・積分動作のよう
な、通常のフイードバック制御のための演算信号を用い
ることも可能である。

【００２８】上記のように、この実施形態のセラミック
グリーンシートの搬送装置においては、張力検出手段か
らの検出信号と、目標張力（設定張力）とを比較して、
両者に差（偏差）があるときには、ダンサロールが動作
してセラミックグリーンシートの張力変動を吸収すると
ともに、セラミックグリーンシートを搬送する際の巻き
出しロールと巻き取りロールの回転速度に差にある場合
には、張力検出手段からの信号に速度差検出手段からの
信号を加算した制御信号にしたがってダンサロールを変
位させるようにしているので、ダンサロールにより張力
を制御する作用と、巻き出しロールと巻き取りロールの
回転速度差に起因する張力変動を事前に阻止する作用の
両方の作用が奏されることになるため、搬送中のセラミ
ックグリーンシートの張力を所定範囲内に精度よく保持
することが可能になる。したがって、例えば、セラミッ
クグリーンシートの伸び量を検出し、一定量のセラミッ
クグリーンシートを所定時間内で搬送するような場合、
巻き取りロールの回転速度を巻き出しロールの回転速度
よりも速くして、巻き出しロールから巻き出される量よ
りも多くの量のセラミックグリーンシートを巻き取るこ
とが必要となるため、従来の搬送装置では、張力変動が
発生することになるが、この実施形態の搬送装置におい
ては、搬送中のセラミックグリーンシートの張力変動を
大幅に低減することが可能になる。

【００２９】また、この実施形態の搬送装置の場合、セ
ラミックグリーンシートを搬送する際に、巻き出しロー
ルと巻き取りロールを完全に同期させて動作させる必要
がなくなり、巻き出しロールと巻き取りロールの加速完
了時や減速時などに発生する張力変動を効率よく防止す
ることが可能になるとともに、停止時にセラミックグリ
ーンシートが整定するまでに要する時間を短縮すること
が可能になる。

【００３０】［実施形態２］この実施形態の長尺フィル
ム（セラミックグリーンシート）の搬送装置は、図３に
示すように、上記実施形態１の搬送装置に、さらに、長
尺フィルム（セラミックグリーンシート）３上に一定間
隔に印刷された位置決めマーク（図示せず）を検出する
ためのセンサ２０を設け、巻き出しロール１と巻き取り
ロール２を間欠的に回転させることにより、セラミック
グリーンシート３の位置決めマークが所定の位置（例え
ば、導電性ペーストをスクリーン印刷機などの印刷手段
２１により印刷すべき所定位置Ｐ）にきたときにセラミ
ックグリーンシート３をその位置で確実に停止させた
り、搬送を再開したりすることができるように構成され
ている。

【００３１】また、この実施形態２の搬送装置において
は、巻き出しロール１と巻き取りロール２が、外周面に
吸引孔（図示せず）を備えており、該吸引孔から吸引す
ることにより、セラミックグリーンシート３を外周面に
吸着した状態で搬送することができるように構成されて
いる。

【００３２】また、この実施形態２の搬送装置において
は、巻き取りロール２が正・逆回転可能に構成されてお
り、セラミックグリーンシート３を停止させて位置決め
を行うに際して、巻き出しロール１を停止させた状態
で、巻き取りロール２を正・逆回転させることにより、
セラミックグリーンシートの位置決めを精度よく行うこ
とができるように構成されている。

【００３３】この実施形態２の搬送装置においては、セ
ラミックグリーンシート３を搬送して、所定の位置でセ
ラミックグリーンシート３を停止させる場合、巻き出し
ロール１と、巻き取りロール２を回転させてセラミック
グリーンシートを一定量搬送した後、巻き出しロール１
を停止させ、巻き取りロール２だけを低速で回転させて
センサ２０が、セラミックグリーンシート３に印刷され
た位置決めマークを検出したところで巻き取りロール２
の回転を停止させることにより、セラミックグリーンシ
ート３が所定の位置で停止する（すなわち、位置決めが
行われる）。

【００３４】図４(ａ)は、位置決めマークの位置に従っ
てセラミックグリーンシートの位置決めを行う際におい
て、巻き取りロールが正方向にのみ回転する場合の、巻
き出しロールと巻き取りロールのタイムチャートを示す
図である。図３及び図４(ａ)に示すように、巻き出しロ
ール１を回転させてセラミックグリーンシート３を一定
量搬送した後、巻き出しロール１を停止させ、巻き取り
ロール２だけを低速で回転させてセンサ２０が位置決め
マークを検出したところで巻き取りロール２の回転を停
止させることにより、セラミックグリーンシートが所定
の位置で停止する。

【００３５】図４(ｂ)は位置決めマークの位置に従って
セラミックグリーンシートの位置決めを行う際におい
て、巻き取りロールが正方向のみではなく、逆方向にも
回転するように構成されている場合の、巻き出しロール
と巻き取りロールのタイムチャートを示す図である。

【００３６】この場合、図３及び図４(ｂ)に示すよう
に、巻き出しロール１を回転させることにより、センサ
２０が位置決めマークを検出するまでセラミックグリー
ンシート３を一定量搬送した後、巻き出しロール１を停
止させ、巻き取りロール２だけを低速で逆方向に回転さ
せてセンサ２０が位置決めマークを検出しなくなるまで
セラミックグリーンシート３を逆方向に搬送し、その
後、巻き取りロール２を再び正方向に回転させ、センサ
２０が位置決めマークを検出したところで、巻き取りロ
ール２を停止させることにより、セラミックグリーンシ
ート３が精度よく所定の位置で停止する。

【００３７】このように、巻き取りロール２のみが動作
する場合であっても、巻き出しロール１が停止している
ことから、巻き出しロール１と巻き取りロール２の間に
は回転速度差が発生することになるが、この回転速度差
に応じた信号が、張力検出手段からの信号に加えられる
ため、例えば、長尺のセラミックグリーンシートが搬送
中に伸び縮みし、一定量の巻き出し、巻き取りの搬送に
よる方法では、正確にセラミックグリーンシートの位置
決めを行うことが困難であるような場合にも、高精度な
位置決めを行うことができる。

【００３８】なお、上記実施形態では、長尺フィルムが
キャリアフィルム上に保持された長尺のセラミックグリ
ーンシートである場合を例にとって説明したが、本願発
明は、樹脂フィルムその他の、種々の長尺フィルムを搬
送する場合に広く適用することが可能である。

【００３９】なお、本願発明は上記実施形態に限定され
るものではなく、ダンサロール（ダンサロール機構）の
具体的な構成、張力検出手段や速度差検出手段の種類な
どに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、
変形を加えることが可能である。

【００４０】

【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
長尺フィルムの搬送装置は、張力検出手段からの検出信
号と、目標張力（設定張力）とを比較して、両者に差が
あるときには、ダンサロールが動作して長尺フィルム
（セラミックグリーンシートなど）の張力変動を吸収す
るとともに、長尺フィルムを搬送する際の巻き出しロー
ルと巻き取りロールの回転速度に差が生じた場合には、
張力検出手段からの信号に、速度差検出手段からの信号
を加算した制御信号にしたがってダンサロールを変位さ
せることにより、フィードフォワード制御を行うことが
可能になり、セラミックグリーンシートの緩みや張りを
事前に防止し、長尺フィルムの張力を目標張力範囲に制
御しつつ、安定した搬送を行うことができる。

【００４１】また、巻き出しロールと巻き取りロールを
間欠的に回転させるようにした場合、長尺フィルムの張
力に大きな変動が生じやすいが、請求項２のように、か
かる場合に本願発明を適用することにより、フィードフ
ォワード制御を行って、セラミックグリーンシートなど
の長尺フィルムの緩みや張りを事前に防止し、長尺フィ
ルムの張力を目標張力範囲に制御することが可能になる
ため特に有意義である。

【００４２】また、請求項３の長尺フィルムの搬送装置
のように、外周面に吸引孔を備えた巻き出しロールと巻
き取りロールを用い、該吸引孔から吸引して、長尺フィ
ルムを外周面に吸着した状態で搬送するようにした場
合、各ロール表面での長尺フィルムの滑りが抑制、防止
され、各ロールの回転速度と長尺フィルムの搬送量や張
力の関係がより正確に対応することになるため、さらに
確実に張力を目標張力範囲に制御しつつ、長尺フィルム
を所定量だけ確実に搬送することが可能になる。

【００４３】また、本願発明は、請求項４の長尺フィル
ムの搬送装置のように、長尺フィルムが、樹脂フィルム
上にセラミックグリーンシートを保持させたものである
場合にも適用することが可能であり、その場合にも、セ
ラミックグリーンシートなどの長尺フィルムの緩みや張
りを事前に防止して、長尺フィルムの張力を目標張力範
囲に制御することができる。

【００４４】また、巻き取りロールが正・逆回転可能で
あって、巻き取りロールを正・逆回転させて、長尺フィ
ルムの位置決めをする場合、長尺フィルムの張力に大き
な変動が生じやすくなるが、請求項５のように、かかる
場合に本願発明を適用することにより、フィードフォワ
ード制御を行って、セラミックグリーンシートの緩みや
張りを事前に防止し、長尺フィルムの張力を目標張力範
囲に制御しつつ、安定した搬送を行うことができる。

【００４５】また、本願発明（請求項６）の長尺フィル
ムの搬送方法は、張力検出手段からの検出信号と、目標
張力（設定張力）とを比較して、両者に差（偏差）があ
るときには、ダンサロールが動作して長尺フィルム（セ
ラミックグリーンシートなど）の張力変動を吸収すると
ともに、長尺フィルムを搬送する際の巻き出しロールと
巻き取りロールの回転速度に差が生じた場合には、張力
検出手段からの信号に速度差検出手段からの信号を加算
した制御信号にしたがってダンサロールを変位させるよ
うにしているので、いわゆるフィードフォワード制御を
行うことが可能になり、セラミックグリーンシートの緩
みや張りを事前に防止して、長尺フィルムの張力を目標
張力範囲に制御しつつ、安定した搬送を行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態にかかる長尺フィルム
（セラミックグリーンシート）の搬送装置の要部構成を
模式的に示す図である。

【図２】本願発明の一実施形態にかかる長尺フィルムの
搬送装置において用いられている搬送・張力制御手段の
構成の一例を示す図である。

【図３】本願発明の他の実施形態にかかる長尺フィルム
の搬送装置の要部構成を模式的に示す図である。

【図４】(ａ)は位置決めマークの位置に従ってセラミッ
クグリーンシートの位置決めを行う際において、巻き取
りロールが正方向にのみ回転する場合の、巻き出しロー
ルと巻き取りロールのタイムチャートを示す図であり、
(ｂ)は位置決めマークの位置に従ってセラミックグリー
ンシートの位置決めを行う際において、巻き取りロール
が正方向のみではなく、逆方向にも回転するように構成
されている場合の、巻き出しロールと巻き取りロールの
タイムチャートを示す図である。

【図５】従来の長尺フィルムの搬送装置の要部構成を模
式的に示す図である。

【図６】従来の長尺フィルムの搬送装置の搬送制御方法
を示す図である。

【符号の説明】

１巻き出しロール２巻き取りロール３セラミックグリーンシート４ダンサロール５張力検出手段６駆動モータ（サーボモータ）７サーボモータドライバ８搬送・張力制御手段９，１１駆動モータ（サーボモータ）１０，１２サーボモータドライバ１４，１５ガイドロール２０センサ２１印刷手段Ｐ所定位置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】長尺フィルムを供給する巻き出しロール
と、巻き出しロールから供給された長尺フィルムを巻き取る
巻き取りロールと、巻き出しロールと巻き取りロールの間に配設され、変位
して、長尺フィルムの張力を制御することができるよう
に構成されたダンサロールと、搬送途中の長尺フィルムの張力を検出するとともに、張
力に応じた信号を発信する張力検出手段と、巻き出しロールと巻き取りロールの回転速度差を検出す
るとともに、回転速度差に応じた信号を発信する速度差
検出手段と、張力検出手段からの信号と速度差検出手段からの信号と
を加算した制御信号にしたがってダンサロールを変位さ
せることにより、長尺フィルムの張力を目標張力範囲に
制御する張力制御手段とを具備することを特徴とする長
尺フィルムの搬送装置。
【請求項２】前記巻き出しロールと前記巻き取りロール
を間欠的に回転させることにより、長尺フィルムを間欠
的に搬送するように構成されていることを特徴とする請
求項１記載の長尺フィルムの搬送装置。
【請求項３】前記巻き出しロールと前記巻き取りロール
のそれぞれが、外周面に吸引孔を備えており、該吸引孔
から吸引することにより、長尺フィルムを外周面に吸着
した状態で搬送するように構成されていること特徴とす
る請求項１又は２記載の長尺フィルムの搬送装置。
【請求項４】前記長尺フィルムが、樹脂フィルム上にセ
ラミックグリーンシートを保持させたものであることを
特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の長尺フィル
ムの搬送装置。
【請求項５】前記巻き取りロールが正・逆回転可能に構
成されており、長尺フィルムを所定の位置に停止させる
に際して、前記巻き出しロールを所定のタイミングで停
止させるとともに、前記巻き出しロールを停止させた状
態で、前記巻き取りロールを正・逆回転させることによ
り、長尺フィルムの位置決めを行うように構成されてい
ることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の長
尺フィルムの搬送装置。
【請求項６】長尺フィルムを供給する巻き出しロール
と、巻き出しロールから供給された長尺フィルムを巻き
取る巻き取りロールとによって、長尺フィルムを搬送す
る搬送方法であって、巻き出しロールと巻き取りロールの間に、自在に変位し
て、長尺フィルムの張力を目標張力範囲に保つダンサロ
ールを配設し、搬送途中の長尺フィルムの張力を張力検出手段により検
出して張力に応じた信号を発信するとともに、巻き出し
ロールと巻き取りロールの回転速度差を速度差検出手段
により検出して回転速度差に応じた信号を発信し、張力検出手段からの張力に応じた信号に、速度差検出手
段からの回転速度差に応じた信号を加算した制御信号に
したがってダンサロールを変位させることにより、張力
を目標張力範囲に保ちながら長尺フィルムを搬送するこ
とを特徴とする長尺フィルムの搬送方法。