KR100505086B1

KR100505086B1 - 띠형상 워크의 노광장치

Info

Publication number: KR100505086B1
Application number: KR10-1999-0041565A
Authority: KR
Inventors: 다카노이타루
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 1998-09-28
Filing date: 1999-09-28
Publication date: 2005-07-29
Also published as: JP2000095402A; EP0990612A2; JP3417313B2; US6243160B1; KR20000023496A; EP0990612A3; TW427937B; EP0990612B1; DE69904999D1; DE69904999T2

Abstract

본 발명은 그립 피드 방식으로 띠형상 워크를 반송하는 노광장치에서, 띠형상 워크에 장력(tension)을 가하지 않고 노광할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

전송 그립부(12)에 의해 띠형상 워크(Wb)를 파지(把持)하고, 띠형상 워크(Wb)를 반송방향 하류측으로 반송한다. 띠형상 워크(Wb)의 반송 중, 띠형상 워크(Wb)의 사행(蛇行)을 검출하고 사행수정을 행한다. 띠형상 워크(Wb)의 이동정지후, 노광부(3)의 상류측에 설치한 워크 고정기구(21)에 의해 띠형상 워크(Wb)를 고정한다. 이어서, 전송 그립부(12)가 띠형상 워크(Wb)를 끼워 지지한 상태로 띠형상 워크(Wb)가 펼쳐져 있는 양만큼 반송 상류를 향하여 이동하고, 띠형상 워크(Wb)에 가해져 있는 장력을 제거한다. 이어서, 워크 고정기구(22)에 의해 띠형상 워크(Wb)를 고정하고, 띠형상 워크(Wb)를 워크 스테이지에 흡착고정하고, 마스크(M)를 이동시켜 얼라이먼트를 행하고, 띠형상 워크(Wb)에 노광처리를 행한다.

Description

띠형상 워크의 노광장치{Exposure apparatus for a band-type work}

본 발명은 유기 화합물의 필름, 얇은 금속 등의 긴 연속 워크(이하, 띠형상 워크라 한다)의 노광장치에 관한 것으로, 특히 본 발명은 띠형상 워크 상으로의 마스크 패턴의 노광 등에 사용되는 띠형상 워크의 노광장치에 관한 것이다.

유기 화합물의 필름, 얇은 금속 등의 띠형상 워크의 노광은 워크를 롤러형상으로 감긴 상태로부터 끌어내서 풀어서 노광하고, 다시 롤러에 감는 방법으로 행해진다.

일반적으로, 상기 노광장치에 이용되는 띠형상 워크의 반송은 워크 반송 중의 워크 전송의 안정성, 위치 정밀도의 확보, 워크의 휘어짐·흔들림의 교정을 위해, 풀림 롤러로 부터 감김 롤러의 사이에서, 워크에 대해 항상 장력을 가한다.

도6은 상기한 띠형상 워크의 노광장치의 종래예를 나타낸 도면이다.

이 도면에서, 10은 풀림 롤러부이고, 풀림 롤러부(10)에는 풀림 롤러(1), 스페이서 감김 롤러(1a), 가이드 롤러(R1)가 설치되어 있다. 띠형상 워크(Wb)는 통상 스페이서(S)와 겹쳐서 풀림 롤러(1)에 롤러형상으로 감겨져 있고, 풀림 롤러(1)로부터 띠형상 워크(Wb)가 풀려 나올 때, 스페이서(S)는 스페이서 감김 롤러(1a)에 의해 감긴다.

띠형상 워크(Wb)는 비교적 두껍고(t=150㎛ 이상, 주로 사용되는 것은 250㎛), 예를 들면 수지제의 필름 상에 동박(통상 수지제 필름보다 두껍다)을 입힌 것이 사용된다. 이 때문에, 띠형상 워크(Wb)에는 폭방향으로 휘어짐이 발생하는 것이 있다.

띠형상 워크의 반송에는 예를 들면, 특개평3-19249호 공보에 개시된 바와 같은 방법이 이용된다. 즉, 띠형상 워크(Wb)의 주변 가장자리를 후술하는 그립 피드 기구로 끼워 지지하여 소정량 잡아 당기고, 띠형상 워크(Wb)를 소정량 반송하는 것이다(이하, 이 반송방식을 그립 피드 방식이라 한다).

그립 피드 방식은 두껍게 폭방향으로 휘어짐이 있는 띠형상 워크를, 워크를 노광처리하는 부분에 접촉하지 않고 반송할 때에 유효하다. 이 방식은 워크 양단을 잡은 상태에서 잡아 당기기 때문에, 휘어짐이 있는 워크를 고속으로 반송하여도 워크가 반송수단으로부터 벗어나지 않는다.

그립 피드 기구(11)에 의해 풀림 롤러(1)로부터 풀린 띠형상 워크(Wb)는 상기한 가이드 롤러(R1), 띠형상 워크의 엣지 위치를 검출하는 엣지 센서(S1), 가이드 롤러(R2)를 통해 워크 스테이지(WS) 등으로 구성되는 노광부(3)로 보내진다.

띠형상 워크(Wb)의 소정의 영역이 노광부(3)에 도달하면, 띠형상 워크(Wb)의 반송이 정지되고, 띠형상 워크(Wb)에 노광처리가 행해진다.

노광부(3)에서 노광된 띠형상 워크(Wb)는 가이드 롤러(R3, R4)를 통해 감김 롤러(2)에 감긴다. 띠형상 워크(Wb)가 감길 때, 스페이서 풀림 롤러(2a)로부터 스페이서(S)가 내보내지고, 노광을 마친 띠형상 워크(Wb)는 스페이서(S)와 함께 감김 롤러(2)에 감긴다.

여기서, 띠형상 워크(Wb)에 요동, 주름이 생기지 않도록 하기 위해서는 띠형상 워크(Wb)에 항상 장력을 가하는 것이 바람직하다.

이 때문에, 풀림 롤러(1)에는 띠형상 워크(Wb)가 반송되는 방향과 역방향(도6에서는 시계방향)으로 회전하는 힘이 항상 가해지고 있다. 따라서, 띠형상 워크(Wb)의 반송 중, 띠형상 워크(Wb)의 정지 중의 어느 것에도, 풀림 롤러(1)와 감김 롤러(2)와의 사이에서는 띠형상 워크(Wb)에 항상 장력이 가해진다.

마찬가지로, 감김 롤러(2)에는 띠형상 워크(Wb)를 감는 방향으로 회전하는 힘이 항상 가해진다. 따라서, 풀림 롤러(1)와 감김 롤러(2)와의 사이에서는 띠형상 워크(Wb)는 항상 장력이 가해진다.

상기 띠형상 워크의 노광장치에서, 띠형상 워크(Wb)의 반송·노광처리·사행수정은 다음과 같이 행해진다.

(1) 그립 피드 기구에 의한 띠형상 워크(Wb)의 반송·노광처리

띠형상 워크(Wb)는 그립 피드 기구로 주변을 끼워 지지하고, 소정량 반송된다.

도7은 도6에 도시한 그립 피드 기구를 확대한 도면이다. 이 도면에 도시한 바와 같이, 그립 피드 기구(11)는 띠형상 워크(Wb)의 단부를 파지하는 전송 그립부(12)와, 전송 그립부(12)를 소정량 이동시키는 전송 그립 구동부(13)로 구성된다.

전송 그립 구동부(13)는, 예를 들면 이 도면에 도시한 바와 같이, 전송 모터(13a)에 의해 회전하는 볼나사(13b)와 구동 벨트(13c)를 구비하고, 모터(13a)에 의해 볼나사(13b)가 회전하고, 볼나사(13b)에 걸어 맞추는 전송 그립부(12)가 동 도의 화살표 방향으로 이동한다.

도8은 상기 그립 피드 기구(11)의 구체적 구성예를 도시한 도면이다. 이 도면은 반송방향에서 본 워크 스테이지(WS)의 단면도 및 그립 피드 기구(11)를 나타내고 있고, 이 도면에서는 한 쪽의 그립부(12)를 나타내고 있는데, 다른 쪽에도 마찬가지의 구성을 갖는 전송 그립부(12)가 설치되고, 띠형상 워크(Wb)의 양단을 잡아 띠형상 워크(Wb)를 반송한다.

이 도면에 도시한 바와 같이, 전송 그립부(12)는 상기한 볼나사(13b)에 걸어 맞추고, 이 도면의 전후방향으로 이동하는 전송 가이드(13d)에 의해 가이드되는 이동부(12a)의 양측에 설치된 그립 고정대(12b)에 부착되고, 띠형상 워크(Wb)의 주변부를 상부 부재(12c)의 그립부(Gr1)와 하부 부재(12d)의 그립부(Gr2)로 상하에서 끼우는 구조로 되어 있다.

하부 부재(12d)에는 가이드 샤프트(12e)가 부착되고, 가이드 샤프트(12e)는 그립 고정대(12b)에 접동가능하도록 부착되어 있다. 또한, 그립 고정대(12b)에는 제1 에어 실린더(12f)가 부착되고, 제1 에어 실린더(12f)의 구동축은 하부 부재(12d)에 부착되어 있다. 이 때문에, 제1 에어 실린더(12f)가 구동되면, 하부 부재(12d)는 상방향으로 이동한다.

상부 부재(12c)는 축(12g)을 통해 하부 부재(12d)에 부착되어 있고, 축(12g)을 중심으로 회동한다. 또한, 상부 부재(12c)와 하부 부재(12d)의 그립부(Gr1, Gr2)의 반대측에는 스프링(12h)이 부착되어 있고, 스프링(12h)에 의해 상부 부재(12c)와 하부 부재(12d)는 그립부(Gr1, Gr2)가 열리는 방향으로 힘이 가해지고 있다.

또한, 하부 부재(12d)에는 제2 에어 실린더(12i)가 부착되어 있고, 제2 에어 실린더(12i)의 구동축은 하부 부재(12d)를 관통하여 돌출하여 있고, 그 선단은 상부 부재(12c)에 접촉하고 있다. 이 때문에, 제2 에어 실린더(12i)가 구동되면, 상부 부재(12c)가 축(12g)을 중심으로 하여 회동하고, 그립부(Gr1, Gr2)가 닫힌다.

한편, 워크 스테이지(WS)에는 이 도면에 도시한 바와 같이 진공 흡착 구멍(M)이 형성되어 있고, 띠형상 워크(Wb)를 노광할 때, 진공 통로(VP)로부터 진공을 공급하고, 진공 흡착 구멍(M)에 의해 띠형상 워크(Wb)를 흡착고정한다.

전송 그립부(12)가 띠형상 워크(Wb)를 끼워 지지하고, 반송하는 동작은 다음과 같다.

도9(a)에 도시한 상태로부터 제1 에어 실린더(12f)에 의해 하부 부재(12d)가 상승하고, 도9(b)에 도시한 바와 같이, 하부 부재(12d)의 그립부(Gr2)가 띠형상 워크(Wb)의 뒷면에 접촉한다.

제2 에어 실린더(12i)가 상승하고, 상부 부재(12c)의 띠형상 워크(Wb)를 끼우는 그립부(Gr1)가 하강하여 띠형상 워크(Wb)를 끼워 지지한다.

전송 그립부(12)가 띠형상 워크(Wb)를 파지하면, 전송 그립 구동부(13)의 볼나사(13b)가 회전하고, 전송 그립부(12)가 반송방향 하류측으로 소정량 이동한다. 이에 의해 띠형상 워크(Wb)가 소정량 반송되고, 띠형상 워크(Wb)의 다음의 노광 영역이 노광부(3)에 반송된다.

띠형상 워크(Wb)의 반송 중, 워크 스테이지(WS)를 반송 레벨의 하방으로 후퇴시켜서 띠형상 워크(Wb)의 뒷면이 워크 스테이지(WS)에 접촉하여 손상을 입는 것을 방지한다. 또한, 띠형상 워크(Wb)의 반송시에, 워크 스테이지(WS)의 띠형상 워크 고정용으로 형성된 진공 흡착 구멍(M)(도8 참조)으로부터 공기를 분출하도록 하면, 띠형상 워크(Wb)의 뒷면과 워크 스테이지(WS)가 접촉함으로써 띠형상 워크(Wb) 뒷면의 손상의 염려가 없어진다.

띠형상 워크(Wb)가 소정량 이동하고, 노광부(3)에 띠형상 워크(Wb)의 노광영역이 도달하면, 띠형상 워크(Wb)의 이동을 정지한다. 하방으로 후퇴한 워크 스테이지(WS)가 워크 스테이지 구동부(WSD)에 의해 반송 레벨까지 상승하고, 상기한 진공 통로(VP)로부터 워크 스테이지(WS)에 진공을 공급하고, 진공 흡착에 의해 띠형상 워크(Wb)를 워크 스테이지(WS) 표면에 지지한다.

여기서, 전송 그립부(12)가 띠형상 워크(Wb)를 끼워 지지한 상태이면, 전송 그립부(12)에 의한 반송의 장력이 띠형상 워크(Wb)에 가해진 상태로 워크 스테이지(WS)에 흡착된다. 또한, 전송 그립부(12)가 띠형상 워크(Wb)의 파지를 해제한 경우에도 띠형상 워크(Wb)는 풀림 롤러(1)와 감김 롤러(2)와의 사이에서 발생하는 장력이 가해진 상태로 워크 스테이지(WS)에 흡착된다.

띠형상 워크(Wb)가 워크 스테이지(WS)에 흡착고정되면, 제2 에어 실린더(12i)가 복귀하고, 전송 그립부(12)의 상부 부재(12c)가 회동하고, 그립(Gr1, Gr2)은 띠형상 워크(Wb)를 개방한다(도9(b)의 상태). 따라서, 제1 에어 실린더(12f)가 복귀하고, 하부 부재(12d)가 하강한다(도9(a)의 상태). 이어서, 전송 그립부(12)는 전송 그립 구동부(13)에 의해 반송방향 상류측으로 이동하고, 원래의 위치로 돌아온다.

한편, 노광부(3)에서는 마스크 스테이지 구동부(MSD)에 의해 마스크(M)를 이동시키고, 마스크(M)와 워크와의 위치결정을 행하여 노광처리한다.

노광처리가 끝나면, 전송 그립부(12)가 띠형상 워크(Wb)의 양측을 사이에 끼운다. 또한, 워크 스테이지(WS)에 의한 띠형상 워크(Wb)의 진공에 의한 지지가 해제되고, 워크 스테이지(WS)가 하방으로 후퇴한다.

이어서, 반송방향 상류측의 원래의 위치로 돌아오는 전송 그립부(12)에 의해 상기한 바와 같이 띠형상 워크(Wb)의 양측을 파지하고, 전송 그립부(12)를 반송방향 하류로 이동시키고, 띠형상 워크의 다음의 노광영역이 노광부(3)에 오도록 띠형상 워크(Wb)를 반송한다.

(2)사행수정

띠형상 워크(Wb)를 연속하여 반송하면, 띠형상 워크(Wb)가, 노광부(3)에서 띠형상 워크(Wb)의 축방향(띠형상 워크(Wb)의 진행방향에 대해 직각방향)에서 위치어긋남이 발생하는 경우가 있고, 이것을 수정하여 노광부에서의 띠형상 워크(Wb)의 위치를 확보할 필요가 있다. 여기서, 띠형상 워크(Wb)의 폭방향의 어긋남을 띠형상 워크(Wb)의 사행, 띠형상 워크(Wb)의 사행을 수정하는 것을 사행수정이라 한다.

상술한 바와 같이, 띠형상 워크(Wb) 전체에 상시 장력을 가하는 장치의 경우, 띠형상 워크(Wb)의 사행의 검출과, 그 수정은 이하와 같은 방법으로 행한다.

도10에 도시한 바와 같이, 노광부(3)의 워크 반송 상류측의 소정의 위치에 엣지 센서(S1)를 설치하고, 엣지 센서(S1)에 의해 띠형상 워크(Wb)의 엣지 위치를 검출한다. 엣지 센서(S1)의 출력은 제어부(31)를 통하여 풀림 롤러 구동기구(32), 엑츄에이터(33)로 보내진다. 반송 중, 엣지 센서(S1)에 의해 띠형상 워크(Wb)의 사행이 검출되면, 제어부(31)는 풀림 롤러 구동기구(32)를 통하여 엑츄에이터(33)에 의해 풀림 롤러부(10) 전체를 띠형상 워크(Wb)의 폭방향으로 이동시키고, 사행을 수정한다.

엣지 센서(S1)로서는 도11에 도시한 것을 이용할 수 있다. 즉, 도11(a)에 도시한 바와 같이, 발광소자(L11)와 수광소자(PT1), 발광소자(L12)와 수광소자(PT2)로 구성되는 2조의 포토 센서(S11, S12)를 띠형상 워크(Wb)의 외측과 내측에 나란히 한 것, 혹은 도11(b)에 도시한 바와 같이, 발광소자(L13)와, 워크의 반송방향에 대해 직각으로 배치한 CCD 등의 라인 센서(LS1)로 구성되는 리니어 센서(S13)를 사용할 수 있다.

도11(a)에 도시한 센서를 이용하는 경우에는 포트 센서(S11, S12)의 ON, OFF의 조합에 의해 띠형상 워크(Wb)의 엣지 위치를 검출한다. 또한, 도11(b)를 이용하는 경우에는 빛이 라인 센서(LS1)에 입사하는 위치에서 띠형상 워크(Wb)의 엣지 위치를 검출한다.

상기한 바와 같이, 종래의 장치에서는 띠형상 워크(Wb)에 장력이 가해진 상태로 워크 스테이지(WS)에 지지되어 노광하게 된다. 이 때문에, 띠형상 워크(Wb)가 예를 들면, 유기 화합물의 얇은 필름인 경우, 띠형상 워크(Wb)가 펼쳐진 상태에서 노광된다. 그리고, 조광장치로부터 떼어지면, 띠형상 워크(Wb)에 장력이 가해지지않게 되고, 띠형상 워크(Wb)가 수축하고, 노광 정밀도가 변화한다는 문제가 발생한다. 즉, 도12(a)에 도시한 바와 같이 장력을 가한 상태에서 노광한 후, 장력을 해제하면 도12(b)에 도시한 바와 같이 띠형상 워크(Wb)가 수축하여 노광 패턴의 위치가 어긋나고, 노광 정밀도를 확보할 수 없게 된다.

이상과 같은 문제는 노광 패턴의 미세화 등, 노광 정밀도의 향상과 더불어 최근 특히 문제시 되고 있다.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 띠형상 워크에 장력을 가하여 그립 피드 방식으로 반송하는 노광장치에서, 띠형상 워크에 장력을 가하지 않고서 워크 스테이지에 지지될 수 있도록 하여, 띠형상 워크의 노광 정밀도를 향상시키고자 하는 것이다.

본 발명에서는 상기 과제를 다음과 같이 하여 해결한다.

긴 연속 워크를 쥐고 간헐적으로 반송하는 반송기구와, 상기 반송기구를 제어하고, 상기 워크의 미노광 영역을 간헐적으로 노광부에 반송제어하는 제어부를 갖추고, 상기 워크를 상시 장력을 가하여 반송하고, 노광부에서 상기 워크상에 노광처리를 행하는 노광장치에서, 노광부의 상류측에 상기 워크를 파지하는 제1 워크 고정부를 설치함과 아울러, 하류측에 상기 워크를 파지하는 제2 워크 고정부를 설치하고, 또한 상기 제어부에 워크에 가한 장력에 의해 펼쳐진 만큼 워크를 상류측으로 되돌리는 양을 기억하는 기억부를 설치한다.

그리고, 워크상에 노광처리를 행할 때에 상기 제어부는 워크를 노광부에 정지시키고, 제1 워크 고정부에서 워크를 고정한 후, 상기 기억부에 기억된 되돌린 양에 근거하여 반송기구를 노광부 방향으로 되돌리고, 워크에 장력이 걸리지 않은 상태로 하고 나서 제2 워크 고정부에 의해 워크를 고정한다.

본 발명에서, 상기와 같은 노광부의 상류측 및 하류측에 상기 워크를 파지하는 제1 및 제2 고정부를 설치하고, 또한 제어부에, 워크에 가한 장력에 의해 펼쳐진 만큼 워크를 상류측으로 되돌린 양을 기억하는 기억부를 설치하고, 제1 워크 고정부로 워크를 고정한 후, 상기 기억부에 기억된 되돌린 양에 근거하여 반송기구를 노광부 방향으로 되돌리고, 워크에 장력을 가하지 않은 상태로 하고 나서 제2 워크 고정부로 워크를 고정하고, 노광처리를 행하도록 하였기 때문에, 노광시, 워크에 장력을 가하지 않고, 노광 정밀도를 향상시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해 설명한다.

도1은 본 발명의 실시예의 띠형상 워크의 노광장치의 구성을 나타낸 도면이고, 상기 도6에 도시한 것과 동일한 것에는 동일의 부호를 부여하였고, 본 실시예에서는 도1에 도시한 것에 워크 고정기구(21, 22), 제어부(40)가 추가되어 있다.

이 도면에서, 10은 풀림 롤러부이고, 풀림 롤러부(10)에는 상기한 바와 같이 풀림 롤러(1), 스페이서 감김 롤러(1a), 가이드 롤러(R1)가 설치되어 있다. 또한, 띠형상 워크(Wb)는 통상 스페이서(S)와 겹쳐져 풀림 롤러(1)에 롤러형상으로 감겨져 있고, 풀림 롤러(1)로부터 띠형상 워크(Wb)가 풀릴 때, 스페이서(S)는 스페이서 감김 롤러(1a)에 의해 감긴다.

띠형상 워크의 반송에는 상기 도6∼도9에 도시한 그립 피드 방식이 이용된다.

즉, 워크 스테이지(WS)의 하류측에 그립 피드 기구(11)가 설치되어 있고, 상기한 바와 같이 그립 피드 기구(11)의 전송 그립부(12)에 의해 띠형상 워크(Wb)의 양측을 파지하고, 띠형상 워크(Wb)를 반송한다.

또한, 본 실시예에서는 노광장치의 노광부(3)의 띠형상 워크(Wb)의 반송방향에서의 상류측과 하류측에 제1, 제2 워크 고정기구(21, 22)가 형성되어 있다.

도2는 도1의 일부를 확대한 도면이고, 제1, 제2 워크 고정기구(21, 22)는 이 도면에 도시한 바와 같이 띠형상 워크(Wb)를 뒷면으로부터 진공흡착하는 제1, 제2 흡착고정 스테이지(23, 24)와, 띠형상 워크(Wb)의 주변부를 상하에서 끼워 지지하는 제1, 제2 고정그립부(25, 26)로 구성된다.

제1, 제2 흡착고정 스테이지(23, 24)는 띠형상 워크(Wb)의 뒷면측에 반송 레벨로 설치되어 있다.

제1, 제2 흡착고정 스테이지(23, 24)는 상기 도8에 도시한 워크 스테이지(WS)와 마찬가지의 구성을 갖고, 그 표면에 띠형상 워크(Wb) 고정용의 진공흡착 구멍(M)이 형성되어 있다. 그리고, 진공 통로(VP)를 통하여 진공이 공급되었을 때, 띠형상 워크(Wb)는 흡착고정 스테이지(23, 24)에 흡착고정된다. 또한, 띠형상 워크(Wb)의 반송시에는 상기 진공 흡착 구멍(M)으로부터 공기를 분출하고, 띠형상 워크(Wb) 뒷면과 제1, 제2 흡착고정 스테이지(23, 24) 표면과의 접촉을 방지한다.

제1, 제2 고정 그립부(25, 26)의 구조는 상기 도8에 도시한 전송 그립부의 구조와 기본적으로는 같지만, 제1, 제2 워크 고정기구(21, 22)에는 도7, 도8에 도시한 전송 그립 구동부가 설치되지 않고, 제1, 제2 고정그립부(25, 26)는 이동하지 않는다.

도3은 제1과 제2 워크 고정기구(21, 22) 및 전송 그립부(12)를 위에서 본 도면이고, 이 도면에 도시한 바와 같이, 흡착고정 스테이지(24)는 그립 피드 기구(11)의 부분까지 늘어져 있다.

또한, 제1, 제2 고정그립부(25, 26)의 구조는 상기 도7에서 설명한 전송 그립부(12)와 마찬가지이지만, 제1, 제2 고정그립부(25, 26)의 경우, 볼나사(13b), 이동부(12a)가 설치되어 있지 않고, 제1, 제2 고정그립부(25, 26)를 고정하기 위한 그립 고정대가 직접 기판에 부착되어 있다.

또한, 제1, 제2 고정그립부(25, 26)에 의한 띠형상 워크(Wb)의 파지/개방동작도 상기 도9에서 설명한 것과 마찬가지이다.

도1로 돌아가서, 40은 제어부이고, 제어부(40)에는 사행제어부(41), 전송 제어부(42), 전체 제어부(43)가 설치되어 있고, 사행 제어부(41)는 상기 도10에서 설명한 바와 같이, 엣지 센서(S1)의 출력에 의해 풀림 롤러부(10)를 구동하고, 띠형상 워크의 사행수정을 행한다. 또한, 전송 제어부(42)는 풀림 롤러(1), 감김 롤러(2), 고정 그립부(25, 26), 전송 그립부(12)를 구동하고, 띠형상 워크(Wb)의 반송을 제어한다. 전체 제어부(43)는 광조사부(4), 워크 스테이지 구동부(WSD), 마스크 스테이지 구동부(MSD) 등을 제어함과 아울러, 반송, 노광처리 등의 전체의 시퀀스를 제어한다.

도4, 도5는 본 실시예의 띠형상 워크의 반송·노광처리를 설명하는 도면으로, 이 도면을 참조하면서 본 실시예의 반송·노광처리에 대해 설명한다. 또한, 풀림 롤러(1), 감김 롤러(2)에서의 띠형상 워크(Wb)의 풀림, 감김 제어는 상기 도6에서 설명한 종래예와 같고, 워크 고정기구(21, 22)에 의해 띠형상 워크(Wb)가 파지되지 않을 때, 띠형상 워크(Wb)에는 장력이 가해진다.

(1) 띠형상 워크(Wb)로의 노광처리가 끝난 단계에서는 도4(a)에 도시한 바와 같이, 전송 그립부(12)가 점선으로 나타낸 바와 같이, 띠형상 워크(Wb)의 주변부를 끼워 지지하고, 워크 고정기구(21, 22)의 고정그립부(25, 26)는 함께 개방된다.

또한, 워크 스테이지(WS)는 띠형상 워크 반송면보다도 아래로 하강하고 있다. 마스크 스테이지(MS)는 워크 반송면보다도 위로 상승하고 있다.

(2) 전송 그립 구동부(13)를 구동하고, 전송 그립부(12)를 반송방향 하류측으로 이동시킨다. 띠형상 워크(Wb)는 전송 그립부(12)에 끼워 지지되어 있기 때문에, 전송 그립부(12)의 이동과 함께 반송된다.

(3) 띠형상 워크(Wb)의 반송중, 워크 스테이지(WS) 및 흡착고정 스테이지(23, 24)에 설치된 워크 지지용의 진공흡착 구멍(M)으로부터 공기를 취출하도록 하면, 띠형상 워크(Wb)가 워크 스테이지(WS) 및 흡착고정 스테이지(23, 24) 상면에서 들어 올려지기 때문에, 띠형상 워크(Wb)의 뒷면과 워크 스테이지(WS) 및 흡착고정 스테이지(23, 24)의 표면이 접촉하여 띠형상 워크(Wb) 표면이 손상을 입을 염려가 없다.

(4) 띠형상 워크 스테이지(Wb)의 반송중, 엣지 센서(S1)가 띠형상 워크(Wb)의 엣지 위치를 검출한다. 그 센서(S1)에 의해 띠형상 워크(Wb)의 사행이 검출되면, 엣지 센서(S1)의 신호를 피드백하고, 상기 도10에서 설명한 바와 같이 풀림 롤러부(10) 전체를 띠형상 워크(Wb)의 폭방향으로 이동시키고, 사행수정을 행한다.

(6) 전송 그립 구동부(13)는 소정량 반송방향 하류측으로 이동하면 정지한다. 또한, 띠형상 워크(Wb)를 다음의 노광영역까지 반송하기 위한 워크 이동량의 제어는 전송 그립 구동부(13)의 이동량을 조정함으로써 행한다.

(7) 띠형상 워크(Wb)의 이동 정지 후, 노광부(3)의 상류측에 설치한 제1 워크 고정기구(21)의 고정 그립부(25)가 띠형상 워크(Wb)의 주변부를 끼우고, 또한 흡착고정 스테이지(23)가 진공흡착에 의해 띠형상 워크(Wb)의 뒷면을 흡착함으로써, 띠형상 워크(Wb)의 고정을 보다 확실히 하는 것이다.

(8) 그 상태에서, 도4(b)에 도시한 바와 같이, 전송 그립부(12)가 전송 그립 구동부(13)에 의해 띠형상 워크(Wb)를 끼워 지지한 상태에서, 장력 반송에 의해 띠형상 워크(Wb)가 펼쳐진 양(100∼200㎛)만큼 반송 상류를 향하여 이동한다. 이에 의해, 띠형상 워크(Wb)에 발생하는 장력이 없어진다.

(9) 도4(c)에 도시한 바와 같이, 노광부(3)의 하류측에 설치한 제2 워크 고정기구(22)의 고정 그립부(26)가 띠형상 워크(Wb)의 주변부를 끼우고, 또한 흡착고정 스테이지(24)가 진공흡착에 의해 띠형상 워크(Wb)의 뒷면을 흡착함으로써, 띠형상 워크(Wb)의 고정을 보다 확실히 하는 것이다.

(10) 도4(d)에 도시한 바와 같이, 그립 피드 기구(11)에서, 전송 그립부(12)가 개방된다.

또한, 워크 스테이지(WS)의 진공흡착기구가 ON이 되고, 워크 스테이지 구동부(WSD)에 의해 워크 스테이지(WS)가 띠형상 워크(Wb) 반송위치까지 상승하고, 띠형상 워크(Wb)를 워크 스테이지(WS)상에 진공흡착·지지한다. 즉, 띠형상 워크(Wb)에는 장력이 가해지지 않은 상태로 워크 스테이지(WS)에 지지되게 된다.

또한, 띠형상 워크(Wb)를 워크 스테이지(WS)에 흡착하여도 제1, 제2 워크 고정기구(21, 22)의 해제는 행하지 않는다. 이것은 제1, 제2 워크 고정기구(21, 22)를 해제하면, 풀림 롤러(1)와 감김 롤러(2)와의 사이에는 장력이 가해지고 있기 때문에, 장력이 가해지지 않은 상태로 지지한 띠형상 워크(Wb)에 장력이 가해지게 되기 때문이다.

(11) 도5(e)(f)에 도시한 바와 같이, 얼라이먼트, 노광처리를 행한다. 이 동안에 전송 그립부(12)가 다음의 띠형상 워크(Wb) 반송을 위해 반송 상류측의 소정의 위치(도5(e)의 실선위치)로 되돌아오고, 다시 띠형상 워크(Wb)를 사이에 끼운다.

얼라이먼트, 노광처리는 다음과 같이 행해진다.

우선, 도5(e)일 때, 도1에 나타낸 마스크 스테이지(MS)가 마스크 스테이지 구동부(MSD)에 의해 얼라이먼트 위치까지 하강한다. 또한, 띠형상 워크(Wb)는 장력이 가해지지는 않더라도 느슨하지 않기 때문에, 띠형상 워크(Wb)를 지지한 워크 스테이지(WS)를 워크 반송면 이상으로 상승시킬 수 없다. 또한, 마찬가지로 마스크와 띠형상 워크(Wb)의 위치맞춤도 띠형상 워크(Wb)를 이동시켜 행할 수 없다.

이어서, 마스크(M)와 띠형상 워크(Wb)와의 위치맞춤을 행한다. 상기와 같이 띠형상 워크(Wb)를 이동시킬 수 없기 때문에, 마스크 스테이지(MS)를 XYθ방향(X방향은 예를 들면 도5의 좌우방향, Y방향은 도5의 지면 전후방향, θ는 X, Y평면에 수직인 축을 중심으로 회전)으로 이동시켜서 위치맞춤을 한다.

위치맞춤 종료후, 마스크 스테이지(MS)를 노광위치까지 이동시키고, 광조사부(4)(도1 참조)로부터 노광광을 조사하여, 노광처리를 행한다.

(12) 노광처리가 종료하면, 마스크 스테이지(M)는 상승함과 아울러, 얼라이먼트시 XYθ방향으로 이동하고 있기 때문에, 이동전의 원점위치까지 되돌아온다.

(13) 워크 스테이지(WS)의 워크 진공흡착을 해제하고, 도5(g)에 도시한 바와 같이 워크 스테이지(WS)가 하강한다. 또한, 제1, 제2 워크 고정기구(21, 22)의 고정 그립부(25, 26)가 개방되고, 또한 제1, 제2 흡착고정 스테이지(23, 24)의 진공흡착이 해제된다.

(14) 그립 피드 기구(11)의 전송 그립부(12)는 띠형상 워크(Wb)를 사이에 끼우고 있기 때문에, 도4(a)에서 설명한 바와 같이, 전송 그립부(12)가 이동하고, 상기 (8)에서 장력을 완화하기 위해 되돌린 만큼을 보정하고서 띠형상 워크(Wb)를 다음의 노광위치까지 반송한다. 이하, 상기(1)∼(14)를 반복한다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에서는 이하의 효과를 얻을 수 있다.

(1) 노광처리부의 상류측에 제1 워크 고정부를, 하류측에 제2 워크 고정부를 설치하고, 띠형상 워크 반송후, 제1 워크 고정부로 띠형상 워크를 고정한 후, 띠형상 워크를 장력에 의해 펼쳐진 만큼 상류측으로 되돌리고, 그 후 제2 워크 고정부에 의해 띠형상 워크를 고정하고, 워크 스테이지에 지지하지 때문에, 노광처리시, 띠형상 워크에 장력이 가해지지 않는다. 이 때문에, 띠형상 워크가 펼쳐진 상태에서 노광을 행하지 않고, 노광 정밀도가 저하하지 않는다.

(2) 띠형상 워크가 워크 스테이지에 흡착지지되기 바로 전까지 띠형상 워크에 장력이 가해진 상태이기 때문에, 띠형상 워크에 요동·주름이 발생하지 않고 워크 스테이지에 흡착·지지할 수 있다. 따라서, 띠형상 워크의 주름·요동 등에 의한 노광 정밀도의 저하를 방지할 수 있다.

도1은 본 발명의 실시예를 도시한 도면,

도2는 도1의 제1, 제2 워크 고정기구, 그립 피드(grip-feed) 기구를 확대하여 도시한 도면,

도3은 제1, 제2 워크 고정기구 및 전송 그립부를 위에서 본 도면,

도4는 본 발명의 실시예의 띠형상 워크의 반송·노광처리를 설명하는 도면,

도5는 본 발명의 실시예의 띠형상 워크의 반송·노광처리를 이어서 설명하는 도면,

도6은 종래예를 도시한 도면,

도7은 도6에 도시한 그립 피드 기구를 확대한 도면,

도8은 그립 피드 기구의 구체적 구성예를 도시한 도면,

도9는 전송 그립부에 의한 워크의 파지(把持)를 설명하는 도면,

도10은 사행수정을 설명하는 도면,

도11은 엣지 센서의 구성예를 도시한 도면,

도12는 노광후, 띠형상 워크의 수축에 의한 가공 정밀도의 저하를 설명하는 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 풀림 롤러 1a: 스페이서 감김 롤러

2: 감김 롤러 2a: 스페이서 풀림 롤러

3: 노광부 4: 광조사부

10: 풀림 롤러 부 11: 그립 피드 기구

12: 전송 그립부 13: 전송 그립 구동부

21, 22: 워크 고정기구 23, 24: 흡착고정 스테이지

25, 26: 고정 그립부 40: 제어부

41: 사행 제어부 42: 전송 제어부

43: 전체 제어부 R1∼R4: 가이드 롤러

S1: 엣지 센서 Wb: 띠형상 워크

WS: 워크 스테이지 WSD: 워크 스테이지 구동부

MS: 마스크 스테이지 MSD: 마스크 스테이지 구동부

Claims

긴 연속 워크를 파지하여 간헐적으로 반송하는 반송기구와,

상기 반송기구를 제어하여, 상기 워크의 미 노광영역을 간헐적으로 노광부에 반송제어하는 제어부를 구비하고,

상기 워크를 상시 장력을 가하여 반송하고, 노광부에서 상기 워크상에 노광처리를 행하는 노광장치에 있어서,

노광부의 상류측에 상기 워크를 파지하는 제1 워크 고정부를 설치함과 아울러, 하류측에 상기 워크를 파지하는 제2 워크 고정부를 설치하고,

또한, 상기 제어부에 워크에 걸린 장력에 의해 펼쳐진 부분만큼 워크를 상류측으로 되돌리는 양을 기억하는 기억부를 설치하고,

워크 상에 노광처리를 행할 때, 상기 제어부는 워크를 노광부에 정지시키고, 제1 워크 고정부에서 워크를 고정한 후, 상기 기억부에 기억된 되돌린 양에 근거하여 반송기구를 노광부 방향으로 되돌리고, 워크에 장력이 걸리지 않은 상태로 하고 나서 제2 워크 고정부에 의해 워크를 고정하는 것을 특징으로 하는 띠형상 워크의 노광장치.