JP2009023788A - フィルム剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルム剥離段階で、粘着テープで巻き上げられたフィルム先端部をクランプ具で把持し該フィルムの幅方向に張力を与えるフィルム把持搬送機構を設け、基板を把持しフィルムを剥離しながら基板を基板搬送方向に移動させる基板支持搬送ローラ上面から基板を挟む圧接ローラを設置した。
【選択図】図2
Description
(1)フィルム把持搬送機構を基板搬送方向に移動させる駆動方式にはモータ駆動方式以外のシリンダ方式などを設けてもよい。
(2)前記フィルム剥離機構20については気体噴射方式に適用してもよい。
(3)基板はガラス、セラミック、樹脂、半導体の基板でもよい。
(4)基板の上面あるいは下面の片側、及び両面に貼られたフィルムを剥離させるものでもよい。
Claims (3)
- 基板を搬送する基板搬送手段と、前記基板搬送手段により搬送される基板の表面に貼られたフィルム先端部を剥離させるフィルム剥離機構と、フィルム剥離機構により捲り上げられたフィルム先端部を把持するクランプ具と、把持したフィルム幅方向に張力を与える幅方向張力印加機構と、基板を搬送方向に移動させる搬送ローラの上面に基板を挟む圧接ローラを設け、前記フィルムを前記基板から剥離させながら前記クランプ具で把持したフィルムをフィルム回収容器方向に搬送するフィルム把持搬送機構と、基板搬送面より下側に設置された回収容器にフィルムを収納するためのフィルム回収機構を備えたことを特徴とするフィルム剥離装置。
- 請求項1に記載のフィルム剥離装置において、
前記フィルム剥離機構がフィルム剥離時、圧接ローラ表面上でフィルムを挟むキャッチローラを設置したことを特徴とするフィルム剥離装置。 - 請求項1に記載のフィルム剥離装置において、
前記基板を基板下面より吸着保持する基板保持吸着機構を設置し、基板面より離した位置に前記圧接ローラに代えてフィルム分岐ローラを固定設置したことを特徴とするフィルム剥離装置。
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