JP6062210B2 - フィルム剥離装置 - Google Patents
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Description
以下の説明において、後述する基板2より上側に位置するものについて引用符号末尾に添字Aを、また、基板2より下側に位置するものについては添字Bを、それぞれ付加し、総称する場合は添字を除くものとする。例えば、基板2より上側に位置する貼付及び剥離ローラを32A、下側に位置する貼付及び剥離ローラを32B、貼付及び剥離ローラを総称して呼ぶ場合は32と記す。
この場合、レジスト膜2aは、熱処理により基板2の表面に接着され、フィルム2bはレジスト膜2a自体が持つ粘着性でレジスト膜2aに貼付されている。
ここで、フィルム2bは、基板2が基板製造工程で処理される際にその表面に接着されたレジスト膜2aを保護するためのものである。
このフィルムの剥離機構30は、図1〜図2に示すように、基板2の搬送方向に沿って配置し、上下の分を含めて合計2箇所設けてある。
このように、粘着シートの送出機構40に、セパレータ分離機構42及びセパレータ巻取機構41を配設することにより、粘着シート60に粘着力が大きいセパレータを有する粘着シートを使用することができる。
なお、粘着シートの送出機構40の配設位置の近傍に、基板2の表面を保護するために配設されていたカバーフィルム等の基板保護材料(図示省略)を予め除去する除去機構(図示省略)を設けることができ、さらに、この除去機構を、上記セパレータ巻取機構41と兼用するように構成することもできる。
基板2は、図2の矢印A方向にフィルム剥離装置100の投入口から基板搬送ローラ1によりフィルム剥離装置100の出口に向かって搬送路上を搬送される。
基板2が基板搬送ローラ1により搬送路上を搬送され、剥離機構30の所定位置に到達すると、図示していない光学式センサにより検知され停止する。
基板2が停止すると、基板2のフィルム2bの前端を基準とした所定位置に、駆動機構31としてのシリンダを作動させることにより、貼付及び剥離ローラ32によって、粘着シートの送出機構40から送出された剥離用の粘着シート60を、基板2に押し付ける。
その後、基板2を基板搬送A方向に搬送しながら、粘着シート60を送ることにより粘着シート60とともにフィルム2bを剥離する。
貼付及び剥離ローラ32で剥離されたフィルム2bは、粘着シート60に貼付された状態で粘着シートの巻取機構50に巻き取られる。
フィルム2bを剥離された基板2は、基板搬送ローラ1でフィルム剥離装置100の後段に設けた洗浄処理工程等を行う装置に搬送される。
また、貼付及び剥離ローラ32の別実施形態を図6に示す。
図4〜6において、図1〜図3に示す実施形態と同符号は同一機能部材を示し、その説明を省略する。
このように機能を分けることで、貼付動作と剥離動作を個別調整することが可能となり、動作の確実性を増すことができる。
この変更により、フィルム2bの先端部への粘着シート60の貼付を強固にし、その後の剥離動作では貼付プレート74を使用せずに剥離ローラ72による円滑な剥離を可能とすることができる。
本実施形態で使用するローラは、ストレートローラが基本となるが、複数個のリングローラ73を用いて代用することも可能である。
リングローラ73を使用することにより、粘着シート60の貼付時や剥離時に基板2上の製品部分に圧力をかけずに剥離することが可能となる。
(1)貼付と剥離の機能を併せ持つ貼付及び剥離ローラ32を、貼付ローラ71と剥離ローラ72とに分けるようにしてもよい。
(2)貼付ローラ71を貼付プレート74とし、押付動作で粘着シート60を貼り付けるようにしてもよい。
(3)貼付ローラ71や剥離ローラ72が、複数個のリングローラ73を用いた形態でもよい。
(4)リングローラ73を用いる場合、リングローラ73間に粘着シート60を押える目的で空気の吹付機構を設けてもよい。
(5)剥離機構30で、貼付及び剥離ローラ32を基板2に対して移動させる駆動機構31(貼付ローラ71や貼付プレート74の駆動機構75等も同様。)は、シリンダのほか、モータ駆動機構等の任意の駆動機構を用いてもよい。
(6)剥離機構30で貼付及び剥離ローラ32を基板2に対して移動させる駆動機構は、上下で分割せず、1つの駆動系で構成してもよい。
(7)適用する基板2は、ガラス、セラミック、剛性樹脂、半導体、積層板等の各種基板に適用するようにしてもよい。
(8)基板2の上面あるいは下面の片側に貼付されたフィルム2bを剥離させる場合に適用するようにしてもよい。
2 基板
2a レジスト膜
2b フィルム
30 剥離機構(剥離手段)
31 駆動機構(シリンダ)
32 貼付及び剥離ローラ(貼付機構、剥離機構)
40 粘着シートの送出機構
41 セパレータ巻取機構
42 セパレータ分離機構
50 粘着シートの巻取機構
60 粘着シート
61 セパレータ
71 貼付ローラ
72 剥離ローラ
73 リングローラ
74 貼付プレート
75 駆動機構(シリンダ)
100 フィルム剥離装置
Claims (4)
- 基板を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送されてきた基板に貼付されたフィルムを剥離する剥離手段と、基板が剥離手段の位置に到達したことを検知する検知手段とを備えたフィルム剥離装置において、前記剥離手段を、粘着シートの送出・巻取機構と、該粘着シートの送出・巻取機構から送出された粘着シートをフィルムの全面に亘って貼り付ける貼付機構と、粘着シートに貼着されたフィルムを粘着シートとともに基板から剥離する剥離機構と、貼付機構及び剥離機構を基板に向けて伸張させるための駆動機構とを備え、前記基板搬送を、前記検知手段によって基板が剥離手段の位置に到達したことを検知したときに停止し、駆動機構によって貼付機構及び剥離機構を基板に向けて伸張させて粘着シートの送出・巻取機構から送出された粘着シートを基板に押し付けた後、基板を基板搬送方向に搬送しながら、粘着シートの送出・巻取機構から粘着シートを送ることにより、粘着シートに貼着されたフィルムを粘着シートとともに基板から剥離するようにしたことを特徴とするフィルム剥離装置。
- 貼付機構と、剥離機構とを、1つの部材で構成したことを特徴とする請求項1記載のフィルム剥離装置。
- 貼付機構と、剥離機構とを、1つのローラ形状部材で構成したことを特徴とする請求項2記載のフィルム剥離装置。
- 粘着シートの送出機構に、セパレータの巻取機構を付設してなることを特徴とする請求項1、2又は3記載のフィルム剥離装置。
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