KR101985550B1 - 필름 박리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는, DFSR 등의 파단되기 쉬운 필름이어도, 필름을 박리할 때의 필름의 파단을 방지함으로써, 기판 상에 필름의 파단편이 잔류하는 것을 방지할 수 있도록 한 필름 박리 장치를 제공하는 것이다. 기판(2)을 반송하는 기판 반송 수단(1)과, 이 기판 반송 수단(1)에 의해 반송되어 온 기판(2)에 부착된 필름(2b)을 박리하는 박리 수단(30)을 구비한 필름 박리 장치에 있어서, 박리 수단(30)을, 점착 시트의 송출 및 권취 기구(40, 50)와, 이 점착 시트의 송출·권취 기구(40, 50)로부터 송출된 점착 시트(60)를 필름(2b)의 전체면에 걸쳐 부착하는 부착 기구(32)와, 점착 시트(60)에 부착된 필름(2b)을 점착 시트(60)와 함께 기판(2)으로부터 박리하는 박리 기구(32)를 구비한다.

Description

필름 박리 장치{FILM PEELING DEVICE}

본 발명은 기판에 부착된 필름을 박리하기 위한 필름 박리 장치에 관한 것이다.

종래, 기판에 부착된 필름을 박리하기 위해, 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 기판으로부터 필름의 전단부를 부분적으로 분리하기 위해 박리용 점착 테이프를 압박한 상태에서, 기판을 반송로의 하류측으로 이동시킴으로써 박리용 점착 테이프와 함께 필름을 말아 올리고, 그 부분을 클램프부에서 파지하는 필름 파지 반송 기구와, 기판을 사이에 끼우는 압접 롤러를 사용하여, 기판을 반송 방향으로 이동시키면서 박리하는 방법이나, 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 기판의 전방부를 클램프부에서 파지하고, 박리용 점착 테이프를 압박한 상태에서, 기판을 반송로의 하류측으로 이동시킴으로써 박리용 점착 테이프와 함께 필름을 말아 올리고, 그 부분을 클램프부에서 파지하는 필름 파지 반송 기구를 사용하여, 기판을 반송 방향으로 이동시키면서 박리하는 방법이 제안되어 있다.

일본특허 제4779132호 공보 특허 제4231018호 공보

그런데, 특허문헌 1 및 2에 개시된 방법에서는, 기판의 양면에 부착된 필름을 기판으로부터 분리할 때, 필름이 박리용 점착 테이프와 함께 분리되게 되지만, 이 방법에서는, 박리력에 대항할 수 있는 필름 강도를 구비하고 있지 않은 필름이나, 레지스트막이 피복되어 있는 필름에서는, 박리시에 필름이 파단되어 기판 상에 남는 문제가 있었다.

본 발명은, 상기한 박리용 점착 테이프를 사용하여 필름을 박리할 때의 필름의 파단의 문제점을 감안하여, DFSR(Dry Film Solder Resist) 등의 파단되기 쉬운 필름이어도, 필름을 박리할 때의 필름의 파단을 방지함으로써, 기판 상에 필름의 파단편이 잔류하는 것을 방지할 수 있도록 한 필름 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 필름 박리 장치는, 기판을 반송하는 기판 반송 수단과, 상기 기판 반송 수단에 의해 반송되어 온 기판에 부착된 필름을 박리하는 박리 수단과, 기판이 박리 수단의 위치에 도달한 것을 검지하는 검지 수단을 구비한 필름 박리 장치에 있어서, 상기 박리 수단은, 점착 시트의 송출·권취 기구와, 상기 점착 시트의 송출·권취 기구로부터 송출된 점착 시트를 필름의 전체면에 걸쳐 부착하는 부착 기구와, 점착 시트에 부착된 필름을 점착 시트와 함께 기판으로부터 박리하는 박리 기구와, 부착 기구 및 박리 기구를 기판을 향해 신장시키기 위한 구동 기구를 구비하고, 상기 기판 반송을, 상기 검지 수단에 의해 기판이 박리 수단의 위치에 도달한 것을 검지한 때에 정지하고, 구동 기구에 의해 부착 기구 및 박리 기구를 기판을 향해 신장시켜서 점착 시트의 송출·권취 기구로부터 송출된 점착 시트를 기판에 압박한 후, 기판을 기판 반송 방향으로 반송하면서, 점착 시트의 송출·권취 기구로부터 점착 시트를 보냄으로써, 점착 시트에 부착된 필름을 점착 시트와 함께 기판으로부터 박리하도록 한 것을 특징으로 한다.

이 경우에 있어서, 부착 기구와, 박리 기구를, 1개의 부재, 보다 구체적으로는, 1개의 롤러 형상 부재로 구성할 수 있다.

또한, 점착 시트의 송출 기구에, 세퍼레이터의 권취 기구를 부설할 수 있다.

본 발명의 필름 박리 장치에 따르면, DFSR 등의 파단되기 쉬운 필름이어도, 점착 시트를 필름의 전체면에 부착함으로써, 필름을 강화하고, 가령 파단되는 상황이 있어도, 점착 시트가 필름의 전체면에 걸쳐 부착되어 있음으로써, 기판 상에 필름의 파단편이 잔류하는 일 없이, 기판에 부착된 필름을 박리할 수 있다.

또한, 부착 기구와, 박리 기구를, 1개의 부재, 보다 구체적으로는, 1개의 롤러 형상 부재로 구성함으로써, 장치의 기구를 간략화할 수 있다.

또한, 점착 시트의 송출 기구에, 세퍼레이터의 권취 기구를 부설함으로써, 점착력이 큰 세퍼레이터를 갖는 점착 시트를 사용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 필름 박리 장치의 일 실시 형태를 도시하는 개략 구조의 평면도.
도 2는 본 발명의 필름 박리 장치의 일 실시 형태를 도시하는 개략 구조의 정면도.
도 3은 도 2의 실시 형태에 있어서의 부착 및 박리 기구의 일례를 도시하는 부분 사시도.
도 4는 도 2의 실시 형태에 있어서의 부착 및 박리 기구의 다른 일례를 도시하는 부분 사시도.
도 5는 도 2의 실시 형태에 있어서의 부착 및 박리 기구의 다른 일례를 도시하는 부분 사시도.
도 6은 도 3∼도 5의 실시 형태에 있어서의 부착 및 박리 롤러의 일례를 도시하는 부분 사시도.

이하, 본 발명의 필름 박리 장치의 일 실시 형태를 도 1∼도 3에 의해 설명한다.

이하의 설명에 있어서, 후술하는 기판(2)보다 상측에 위치하는 것에 대해 인용 부호 말미에 첨자 A를, 또한, 기판(2)보다 하측에 위치하는 것에 대해서는 첨자 B를, 각각 부가하고, 총칭하는 경우에는 첨자를 제외하는 것으로 한다. 예를 들어, 기판(2)보다 상측에 위치하는 부착 및 박리 롤러를 부호 32A, 하측에 위치하는 부착 및 박리 롤러를 부호 32B, 부착 및 박리 롤러를 총칭하여 부르는 경우에는 부호 32로 기재한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 필름 박리 장치(100)는, 기판 반송 롤러(1)와, 박리 기구(30)로, 그 주요부가 구성되어 있다.

기판 반송 롤러(1)는, 기판(2)을 반송하기 위해 수평으로 복수개 배열되고, 기판(2)의 반송로를 형성하고 있다. 기판(2)은, 도 2에 화살표 A로 나타내는 바와 같이, 필름 박리 장치(100)의 좌측(반입구)으로부터 우측(반출구)을 향하여 반송된다.

기판(2)의 상면 및 하면에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 레지스트막(2a)이 접착되어 있고, 또한, 레지스트막(2a)에는 필름(2b)이 적층되어 부착되어 있다.

이 경우, 레지스트막(2a)은, 열처리에 의해 기판(2)의 표면에 접착되고, 필름(2b)은 레지스트막(2a) 자체가 갖는 점착성에 의해 레지스트막(2a)에 부착되어 있다.

여기서, 필름(2b)은, 기판(2)이 기판 제조 공정에서 처리될 때에 그 표면에 접착된 레지스트막(2a)을 보호하기 위한 것이다.

앞서 설명한 바와 같이, 복수의 기판 반송 롤러(1)로 이루어지는 기판(2)의 반송로의 도중에는, 박리 기구(30)가 설치되어 있다.

이 필름의 박리 기구(30)는, 도 1∼도 2에 도시한 바와 같이, 기판(2)의 반송 방향을 따라 배치되고, 상하의 분을 포함하여 합계 2개소 설치되어 있다.

본 실시 형태에 있어서, 박리 기구(30)는, 점착 시트(60)를 기판(2) 상의 필름(2b)에 부착 및 박리하기 위한 부착 및 박리 롤러(32)와, 이 부착 및 박리 롤러(32)를, 기판(2)을 향해 신장시키기 위한 구동 기구(31)로 구성되어 있다.

그런데, 본 실시 형태에 있어서, 점착 시트(60)는, 점착 시트의 송출 기구(40)로부터 송출되고, 점착 시트의 권취 기구(50)에 권취되도록 되어 있다.

그리고 점착 시트의 송출 기구(40)의 근방에는, 점착 시트(60)에 사용되어 있는 세퍼레이터(61)를 점착 시트(60)로부터 분리하는 세퍼레이터 분리 기구(42)와, 분리된 세퍼레이터(61)를 권취하는 세퍼레이터 권취 기구(41)가 설치되어 있다.

이와 같이, 점착 시트의 송출 기구(40)에, 세퍼레이터 분리 기구(42) 및 세퍼레이터 권취 기구(41)를 배치함으로써, 점착 시트(60)에 점착력이 큰 세퍼레이터를 갖는 점착 시트를 사용할 수 있다.

또한, 점착 시트의 송출 기구(40)의 배치 위치의 근방에, 기판(2)의 표면을 보호하기 위해 배치되어 있었던 커버 필름 등의 기판 보호 재료(도시 생략)를 미리 제거하는 제거 기구(도시 생략)를 설치할 수 있고, 또한, 이 제거 기구를, 상기 세퍼레이터 권취 기구(41)와 겸용하도록 구성할 수도 있다.

다음에, 상기한 바와 같이 구성된 필름 박리 장치(100)의 동작을 설명한다.

기판(2)은, 도 2의 화살표 A 방향으로 필름 박리 장치(100)의 투입구로부터 기판 반송 롤러(1)에 의해 필름 박리 장치(100)의 출구를 향하여 반송로상을 반송된다.

기판(2)이 기판 반송 롤러(1)에 의해 반송로상을 반송되고, 박리 기구(30)의 소정 위치에 도달하면, 도시하고 있지 않은 광학식 센서에 의해 검지되어 정지한다.

기판(2)이 정지하면, 기판(2)의 필름(2b)의 전단부를 기준으로 한 소정 위치에, 구동 기구(31)로서의 실린더를 작동시킴으로써, 부착 및 박리 롤러(32)에 의해, 점착 시트의 송출 기구(40)로부터 송출된 박리용의 점착 시트(60)를, 기판(2)에 압박한다.

그 후, 기판(2)을 기판 반송 A 방향으로 반송하면서, 점착 시트(60)를 보냄으로써 점착 시트(60)와 함께 필름(2b)을 박리한다.

부착 및 박리 롤러(32)에서 박리된 필름(2b)은, 점착 시트(60)에 부착된 상태에서 점착 시트의 권취 기구(50)에 권취된다.

필름(2b)이 박리된 기판(2)은, 기판 반송 롤러(1)에 의해 필름 박리 장치(100)의 후단에 설치한 세정 처리 공정 등을 행하는 장치에 반송된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 기판(2)에 부착된 레지스트막(2a) 상에 부착되어 있는 필름(2b)을 박리하는 경우에, 점착 시트(60)를 필름(2b)의 전체면에 부착, 박리함으로써 필름의 파단을 방지할 수 있다.

여기서, 박리 기구의 전체 구조의 일 실시 형태를, 도 4∼도 5에 개략 사시도에서 도시한다.

또한, 부착 및 박리 롤러(32)의 다른 실시 형태를 도 6에 도시한다.

도 4∼도 6에 있어서, 도 1∼도 3에 도시하는 실시 형태와 동일한 부호는 동일한 기능 부재를 나타내고, 그 설명을 생략한다.

도 4에 있어서, 도 3에 도시하는 실시 형태와의 차이는, 부착 및 박리 롤러(32)의 기능을, 부착 롤러(71)와 박리 롤러(72)의 2개의 롤러로 나누어 개별적으로 발휘하도록 한 점이다.

이와 같이 기능을 나눔으로써, 부착 동작과 박리 동작을 개별 조정하는 것이 가능해져, 동작의 확실성을 늘릴 수 있다.

도 5는, 도 4에 있어서, 점착 시트(60)의 부착 동작을 부착 롤러(71)에서 행하고 있었지만, 부착 롤러(71)를 부착 플레이트(74)로 치환한 것이다.

이 변경에 의해, 필름(2b)의 선단부에의 점착 시트(60)의 부착을 견고하게 하고, 그 후의 박리 동작에서는 부착 플레이트(74)를 사용하지 않고 박리 롤러(72)에 의한 원활한 박리를 가능하게 할 수 있다.

도 6은 부착 및 박리 롤러(32)의 외에, 부착 롤러(71)나 박리 롤러(72)에 사용되는 롤러의 일 실시 형태를 도시한다.

본 실시 형태에서 사용하는 롤러는, 스트레이트 롤러가 기본으로 되지만, 복수개의 링 롤러(73)를 사용하여 대용하는 것도 가능하다.

링 롤러(73)를 사용함으로써, 점착 시트(60)의 부착시나 박리시에 기판(2) 상의 제품 부분에 압력을 가하지 않고 박리하는 것이 가능해진다.

본 발명은, 이상의 실시 형태로 한정되지 않고, 다음과 같이 실시해도 된다.

(1) 부착과 박리의 기능을 함께 갖는 부착 및 박리 롤러(32)를, 부착 롤러(71)와 박리 롤러(72)로 나누도록 해도 된다.

(2) 부착 롤러(71)를 부착 플레이트(74)로 하고, 압박 동작에 의해 점착 시트(60)를 부착하도록 해도 된다.

(3) 부착 롤러(71)나 박리 롤러(72)가, 복수개의 링 롤러(73)를 사용한 형태이어도 된다.

(4) 링 롤러(73)를 사용하는 경우, 링 롤러(73) 사이에 점착 시트(60)를 누르는 목적으로 공기의 분사 기구를 설치해도 된다.

(5) 박리 기구(30)에서, 부착 및 박리 롤러(32)를 기판(2)에 대해 이동시키는 구동 기구(31)[부착 롤러(71)나 부착 플레이트(74)의 구동 기구(75) 등도 동일함]는, 실린더 외에, 모터 구동 기구 등의 임의의 구동 기구를 사용해도 된다.

(6) 박리 기구(30)에서 부착 및 박리 롤러(32)를 기판(2)에 대해 이동시키는 구동 기구는, 상하로 분할하지 않고, 1개의 구동계로 구성해도 된다.

(7) 적용하는 기판(2)은, 글래스, 세라믹, 강성 수지, 반도체, 적층판 등의 각종 기판에 적용하도록 해도 된다.

(8) 기판(2)의 상면 혹은 하면의 편측에 부착된 필름(2b)을 박리시키는 경우에 적용하도록 해도 된다.

이상, 본 발명의 필름 박리 장치에 대해, 그 실시 형태에 기초하여 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 기재한 구성으로 한정되는 것은 아니고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 적절하게 그 구성을 변경할 수 있는 것이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, DFSR(Dry Film Solder Resist) 등의 파단되기 쉬운 필름이어도, 필름을 박리할 때의 필름의 파단을 방지함으로써, 기판 상에 필름의 파단편이 잔류하는 것을 방지할 수 있도록 한 필름 박리 장치를 제공할 수 있다.

1 : 기판 반송 롤러(기판 반송 수단)
2 : 기판
2a : 레지스트막
2b : 필름
30 : 박리 기구(박리 수단)
31 : 구동 기구(실린더)
32 : 부착 및 박리 롤러(부착 기구, 박리 기구)
40 : 점착 시트의 송출 기구
41 : 세퍼레이터 권취 기구
42 : 세퍼레이터 분리 기구
50 : 점착 시트의 권취 기구
60 : 점착 시트
61 : 세퍼레이터
71 : 부착 롤러
72 : 박리 롤러
73 : 링 롤러
74 : 부착 플레이트
75 : 구동 기구(실린더)
100 : 필름 박리 장치

Claims (4)

1. 기판을 반송하는 기판 반송 수단과, 상기 기판 반송 수단에 의해 반송되어 온 기판에 부착된 필름을 박리하는 박리 수단과, 기판이 박리 수단의 위치에 도달한 것을 검지하는 검지 수단을 구비한 필름 박리 장치에 있어서, 상기 박리 수단은, 점착 시트의 송출·권취 기구와, 상기 점착 시트의 송출·권취 기구로부터 송출된 점착 시트를 필름의 전체면에 걸쳐 부착하는 부착 기구와, 점착 시트에 부착된 필름을 점착 시트와 함께 기판으로부터 박리하는 박리 기구와, 부착 기구 및 박리 기구를 기판을 향해 신장시키기 위한 구동 기구를 구비하고, 상기 기판 반송을, 상기 검지 수단에 의해 기판이 박리 수단의 위치에 도달한 것을 검지한 때에 정지하고, 구동 기구에 의해 부착 기구 및 박리 기구를 기판을 향해 신장시켜서 점착 시트의 송출·권취 기구로부터 송출된 점착 시트를 기판에 압박한 후, 기판을 기판 반송 방향으로 반송하면서, 점착 시트의 송출·권취 기구로부터 점착 시트를 보냄으로써, 점착 시트에 부착된 필름을 점착 시트와 함께 기판으로부터 박리하도록 한 것을 특징으로 하는, 필름 박리 장치.
2. 제1항에 있어서,
   부착 기구와, 박리 기구를, 1개의 부재로 구성한 것을 특징으로 하는, 필름 박리 장치.
3. 제2항에 있어서,
   부착 기구와, 박리 기구를, 1개의 롤러 형상 부재로 구성한 것을 특징으로 하는, 필름 박리 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   점착 시트의 송출 기구에, 세퍼레이터의 권취 기구를 부설하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 필름 박리 장치.

Images