CN103787130B - 薄膜剥离装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种薄膜剥离装置，即使是干阻焊膜（DFSR）等容易破断的薄膜，也能够通过防止剥离薄膜时的薄膜的破断，防止在基板上残留薄膜的破断片。薄膜剥离装置具备搬运基板（2）的基板搬运组件（1）、将在由该基板搬运组件（1）搬运来的基板（2）上粘贴的薄膜（2b）剥离的剥离组件（30），剥离组件（30）具备：粘着片材的送出及卷取机构（40、50）；将从该粘着片材的送出、卷取机构（40、50）送出的粘着片材（60）在遍及薄膜（2b）的整个面粘贴的粘贴机构（32）；将贴着于粘着片材（60）的薄膜（2b）与粘着片材（60）一起从基板（2）剥离的剥离机构（32）。

Description

薄膜剥离装置
技术领域
本发明涉及用于将粘贴于基板的薄膜剥离的薄膜剥离装置。
背景技术
一直以来，为了剥离粘贴于基板的薄膜，提出有如下所述的方法，如专利文献1所记载的那样，在为了从基板部分地分离薄膜的前端部而将剥离用粘着胶带按压的状态下，通过使基板向搬运路径的下游侧移动而与剥离用粘着胶带一起卷起薄膜，使用由夹持部把持该部分的薄膜把持搬运机构和将基板夹在中间的压接辊，一边使基板向搬运方向移动一边进行剥离，或者是如专利文献2所记载的那样，在由夹持部把持基板的前部而将剥离用粘着胶带按压的状态下，通过使基板向搬运路径的下游侧移动而与剥离用粘着胶带一起卷起薄膜，使用由夹持部把持该部分的薄膜把持搬运机构，一边使基板向搬运方向移动一边进行剥离。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第4779132号公报
专利文献2：日本专利第4231018号公报
发明要解决的课题
然而，在专利文献1及2所公开的方法中，当将粘贴于基板的两面的薄膜从基板分离时，薄膜与剥离用粘着胶带一起分离，在该方法中，对于不具备能够克服剥离力的薄膜强度的薄膜、覆盖有抗蚀膜的薄膜，在剥离时存在薄膜破断而残留于基板上的问题。
本发明鉴于使用上述的剥离用粘着胶带而剥离薄膜时的薄膜的破断的问题点，其目的在于提供一种薄膜剥离装置，即使是干阻焊膜（DFSR：Dry Film Solder Resist）等容易破断的薄膜，也能够通过防止在剥离薄膜时的薄膜的破断，防止在基板上残留薄膜的破断片。
发明内容
解决课题的技术方案
为了实现上述目的，本发明的薄膜剥离装置具备：用于搬运基板的基板搬运组件；将在利用该基板搬运机构搬运的基板粘贴的薄膜剥离的剥离机构，其特征在于，所述剥离组件具备：粘着片材的送出及卷取机构；将从该粘着片材的送出、卷取机构送出的粘着片材在遍及薄膜的整个面粘贴的粘贴机构；将贴着于粘着片材的薄膜与粘着片材一起从基板剥离的剥离机构。
在该情况下，能够将粘贴机构和剥离机构由一个部件构成，更具体而言，由一个辊形状部件构成。
另外，能够在粘着片材的送出机构附设分离片的卷取机构。
发明效果
根据本发明的薄膜剥离装置，即使是干阻焊膜（DFSR）等容易破断的薄膜，通过将粘着片材粘贴于薄膜的整个面而强化薄膜，即使在发生破断的状况下，粘着片材在遍及薄膜的整个面粘贴，由此不在基板上残留薄膜的破断片地剥离粘贴于基板的薄膜。
另外，通过将粘贴机构、剥离机构由一个部件构成，更具体而言，由一个辊形状部件构成，能够简化装置的机构。
另外，通过在粘着片材的送出机构附设分离片的卷取机构，能够使用具有粘着力大的分离片的粘着片材。
附图说明
图1是表示本发明的薄膜剥离装置的一实施方式的概要结构的俯视图。
图2是表示本发明的薄膜剥离装置的一实施方式的概要结构的主视图。
图3是表示图2的实施方式中的粘贴及剥离机构的一例的局部立体图。
图4是表示图2的实施方式中的粘贴及剥离机构的另外一例的局部立体图。
图5是表示图2的实施方式中的粘贴及剥离机构的另外一例的局部立体图。
图6是表示图3～图5的实施方式中的粘贴及剥离辊的一例的局部立体图。
具体实施方式
以下，结合图1～图3对本发明的薄膜剥离装置的一实施方式进行说明。在以下的说明中，对位于相对于后述的基板2靠上侧的位置的构件在引用附图标记末尾添加尾标A，另外对位于相对于基板2靠下侧的位置的构件在引用附图标记末尾添加尾标B，在统称的情况下除去尾标。例如，将位于相对于基板2靠上侧的位置的粘贴及剥离辊记作32A，将位于相对于基板2靠下侧的位置的粘贴及剥离辊记作32B，将统称的情况下将粘贴及剥离辊记作32。
如图1所示，薄膜剥离装置100主要包括基板搬运辊1、剥离机构30。
基板搬运辊1为了搬运基板2而在水平方向上排列有多个，形成基板2的搬运路径。在图2中如箭头A所示，基板2被从薄膜剥离装置100的左侧（搬入口）向右侧（搬出口）搬运。
如图3所示，在基板2的上表面及下表面粘合有抗蚀膜2a，此外在抗蚀膜2a层叠地粘贴有薄膜2b。
在该情况下，抗蚀膜2a通过热处理而粘合于基板2的表面，薄膜2b借助抗蚀膜2a本身具有的粘着性而粘贴于抗蚀膜2a。
在此，薄膜2b用于保护当基板2在基板制造工序中被处理时粘合于其表面的抗蚀膜2a。
如先前说明的那样，在由多个基板搬运辊1构成的基板2的搬运路径的中途设有剥离机构30。
如图1～图2所示，该薄膜的剥离机构30沿着基板2的搬运方向配置，包含上下的部分而合计设在两处位置。
在本实施方式中，剥离机构30包括：用于将粘着片材60在基板2上的薄膜2b粘贴及剥离的粘贴及剥离辊32；用于使该粘贴及剥离辊32朝向基板2伸长的驱动机构31。
另外，在本实施方式中，粘着片材60被从粘着片材的送出机构40送出并卷取在粘着片材的卷取机构50上。
而且，在粘着片材的送出机构40的附近设置有将在粘着片材60中使用的分离片61从粘着片材60分离的分离片分离机构42和将分离了的分离片61卷取的分离片卷取机构41。
如此，通过在粘着片材的送出机构40配设分离片分离机构42及分离片卷取机构41，粘着片材60可以使用具有粘着力大的分离片的粘着片材。
另外，能够在粘着片材的送出机构40的配设位置的附近设置将为了保护基板2的表面而配设的覆盖薄膜等基板保护材料（省略图示）预先除去的除去机构（省略图示），此外，还能够将该除去机构兼作上述分离片卷取机构41。
接着，对如上述那样构成的薄膜剥离装置100的动作进行说明。
基板2由基板搬运辊1沿图2的箭头A方向从薄膜剥离装置100的投入口向薄膜剥离装置100的出口在搬运路径上搬运。
基板2由基板搬运辊1在搬运路径上搬运，当到达剥离机构30的规定位置时，由未图示的光学式传感器检测到而停止。
当基板2停止时，通过使作为驱动机构31的工作缸动作到以基板2的薄膜2b的前端为基准的规定位置，利用粘贴及剥离辊32将从粘着片材的送出机构40送出的剥离用的粘着片材60按压基板2。
然后，一边将基板2沿基板搬运A方向搬运一边通过输送粘着片材60而将薄膜2b与粘着片材60一起剥离。
由粘贴及剥离辊32剥离了的薄膜2b在粘贴于粘着片材60的状态下卷取在粘着片材的卷取机构50上。
剥离了薄膜2b的基板2被基板搬运辊1搬运至设于薄膜剥离装置100的后段的进行清洗处理工序等的装置。
如以上说明的那样，在本实施方式中，当将在粘贴于基板2的抗蚀膜2a上所粘贴的薄膜2b剥离时，通过将粘着片材60对薄膜2b的整个面粘贴、剥离，能够防止薄膜的破断。
在此，图4～图5是示出剥离机构的整体结构的一实施方式的概要立体图。
另外，图6示出粘贴及剥离辊32的其他实施方式。
在图4～图6中，与图1～图3所示的实施方式相同的附图标记表示相同功能的构件，并省略其说明。
在图4中，与图3所示的实施方式的不同之处在于，将粘贴及剥离辊32的功能分为粘贴辊71与剥离辊72这样两根辊而单独地发挥作用。
通过如此拆分功能，能够单独调整粘贴动作与剥离动作，能够增大动作的可靠性。
在图4中，利用粘贴辊71进行粘着片材60的粘贴动作，而在图5中，将粘贴辊71置换为粘贴板74。
根据该变更，能够使薄膜2b的前端部的向粘着片材60的粘贴牢固，在之后的剥离动作中不使用粘贴板74就能够实现由剥离辊72进行的顺畅的剥离。
图6除了示出了粘贴及剥离辊32之外，还示出作为粘贴辊71、剥离辊72使用的辊的一实施方式。
在本实施方式中使用的辊主要使用直线辊，还能够使用多个环形辊73而进行代用。
通过使用环形辊73，能够在粘着片材60的粘贴时、剥离时不向基板2上的产品部分施加压力而进行剥离。
本发明并不局限于以上的实施方式，也可以如下述方式进行实施。
（1）也可以将兼具粘贴与剥离的功能的粘贴及剥离辊32分为粘贴辊71与剥离辊72
（2）也可以将粘贴辊71设为粘贴板74，利用按压动作来粘贴粘着片材60。
（3）也可以是粘贴辊71、剥离辊72为使用多个环形辊73的方式。
（4）在使用环形辊73的情况下，也可以出于将粘着片材60压在环形辊73间的目的而设置空气的喷出机构。
（5）在剥离机构30中，使粘贴及剥离辊32相对于基板2移动的驱动机构31（粘贴辊71、粘贴板74的驱动机构75等也相同。）除了工作缸之外，也可以使用马达驱动机构等任意的驱动机构。
（6）在剥离机构30中，使粘贴及剥离辊32相对于基板2移动的驱动机构不上下分割而由一个驱动系统构成也是可以的。
（7）适用的基板2也可以适用于玻璃、陶瓷、刚性树脂、半导体、层叠板等的各种基板。
（8）也可以适用于使在基板2的上表面或下表面的单侧粘贴的薄膜2b剥离的情况。
以上，关于本发明的薄膜剥离装置，基于其实施方式而进行了说明，但本发明并不局限于上述实施方式所记载的结构，能够在不脱离其主旨的范围内适当地变更其结构。
产业上的可利用性
如以上说明那样，根据本发明，能够提供一种薄膜剥离装置，即使是干阻焊膜（DFSR：Dry Film Solder Resist）等容易破断的薄膜，也能够通过防止剥离薄膜时的薄膜的破断，防止在基板上残留薄膜的破断片。
附图标记说明如下：
1 基板搬运辊（基板搬运组件）
2 基板
2a 抗蚀膜
2b 薄膜
30 剥离机构（剥离组件）
31 驱动机构（工作缸）
32 粘贴及剥离辊（粘贴机构，剥离机构）
40 粘着片材的送出机构
41 分离片卷取机构
42 分离片分离机构
50 粘着片材的卷取机构
60 粘着片材
61 分离片
71 粘贴辊
72 剥离辊
73 环形辊
74 粘贴板
75 驱动机构（工作缸）
100薄膜剥离装置

Claims (4)

1.一种薄膜剥离装置，其具备：用于搬运基板的基板搬运组件；将在利用该基板搬运组件搬运来的基板上粘贴的薄膜剥离的剥离组件；和检测基板到达剥离组件的位置的光学式传感器，其特征在于，所述剥离组件具备：粘着片材的送出、卷取机构；将从该粘着片材的送出、卷取机构送出的粘着片材在遍及薄膜的整个面粘贴的粘贴机构；将贴着于粘着片材的薄膜与粘着片材一起从基板剥离的剥离机构；和用于使该粘贴机构及剥离机构朝向基板伸长的驱动机构，在由所述光学式传感器检测到基板到达剥离组件的位置时停止所述基板的搬运，由驱动机构使粘贴机构及剥离机构朝向基板伸长，将从粘着片材的送出、卷取机构送出的粘着片材按压在基板上，然后一边在基板搬运方向搬运基板一边从粘着片材的送出、卷取机构输送粘着片材，由此将粘着在粘着片材上的薄膜与粘着片材一起从基板剥离。
2.根据权利要求1所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
粘贴机构和剥离机构由一个部件构成。
3.根据权利要求2所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
粘贴机构和剥离机构由一个辊形状部件构成。
4.根据权利要求1、2或3所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
在粘着片材的送出机构附设分离片的卷取机构。
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