KR950028589A - 필름 제거장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 대상물에 상처를 내지 않고 필름을 효율적으로 분리시키는 필름분리 장치를 제공하며 그 구성은 롤레트(10)의 돌기부(11)를 기판(W)의 필름(F) 표면에 당접시키고 필름(F)의 일부를 탈리시키고 이 일부 탈리부분에 점착로울러(2)를 점착시켜 필름(F)을 분리시키는 장치.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 필름제거 장치의 구성을 나타내는 개략 평면도,
제2도는 본 발명 필름제거 장치의 구성을 나타내는 개략 측면도,
제3도는 제2도의 부분 확대도,
제4도 (A)는 본 발명 필름제거 장치에 사용되는 금속표면이 도툴도툴한 공구인 “롤레트”의 확대 정면도, 제4도 (B)는 상기 “롤레트”의 확대 정면도,
제5도는 상기 “롤레트”의 돌기부 확대도.
Claims (7)
- 대상물에 점착된 필름을 분리시키는 필름분리장치로서, 필름표면에 당접하여 필름을 걸어당겨 들어올리는 돌기부와 이 들뜬 필름을 지지하는 오목부로 이루어지는 분리 수단과 이 분리 수단에 의해 분리된 부분에 접하여 점착에 의해 필름을 대상물로부터 탈리시키는 점착로울러로 구성됨을 특징으로 하는 필름 제거장치.
- 제1항에 있어서, 상기 대상물이 분리장치에 대해 상대적으로 이동하고, 돌기부가 상대적으로 이동하는 필름을 걸어당겨 들어올리고, 점착로울러가 상대적으로 이동하는 필름을 점착시켜 분리시킴을 특징으로 하는 필름 제거장치.
- 재1항 또는 제2항에 있어서, 돌기부가 상하이동 가능하게 설치하고, 이 돌기부에 필름 표면을 눌러주는 수단을 구비하여 돌기부가 필름표면의 상하방향 변위에 대응하여 상하이동 가능하게 구성됨을 특징으로 하는 필름 제거장치.
- 제3항에 있어서, 상기 돌기부는 디스크의 둘레주변에 소정간격으로 여러 개의 규칙적으로 배설되고, 각 돌기부와 돌기부 사이에 오목부를 형성함을 특징으로 하는 필름 제거장치.
- 제1항에 있어서, 상기 분리 수단을 대상물과 접합 또는 이탈시킬 수 있는 구동장치를 갖춤을 특징으로 하는 필름 제거장치.
- 제1항에 있어서, 필름이 대상물의 표면과 이면에 점착하여 상기 분리수단과 점착로울러가 대상물의 표리에 대향하여 각각 한쌍이상 설치되어 있음을 특징으로 하는 필름 제거장치.
- 제6항에 있어서, 대상물이 회로기판과 이 회로기판상에 설치된 포토레지스트이고, 포토레지스트 상에 필름이 점착되어 있음을 특징으로 하는 필름 제거장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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