KR950028589A - 필름 제거장치 - Google Patents

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KR950028589A
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가쓰야 상구
아쓰시 오구마
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미즈따니 군지
가부시끼가이샤 아도테크엔지니어링
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Abstract

본 발명은 대상물에 상처를 내지 않고 필름을 효율적으로 분리시키는 필름분리 장치를 제공하며 그 구성은 롤레트(10)의 돌기부(11)를 기판(W)의 필름(F) 표면에 당접시키고 필름(F)의 일부를 탈리시키고 이 일부 탈리부분에 점착로울러(2)를 점착시켜 필름(F)을 분리시키는 장치.

Description

필름 제거장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 필름제거 장치의 구성을 나타내는 개략 평면도,
제2도는 본 발명 필름제거 장치의 구성을 나타내는 개략 측면도,
제3도는 제2도의 부분 확대도,
제4도 (A)는 본 발명 필름제거 장치에 사용되는 금속표면이 도툴도툴한 공구인 “롤레트”의 확대 정면도, 제4도 (B)는 상기 “롤레트”의 확대 정면도,
제5도는 상기 “롤레트”의 돌기부 확대도.

Claims (7)

  1. 대상물에 점착된 필름을 분리시키는 필름분리장치로서, 필름표면에 당접하여 필름을 걸어당겨 들어올리는 돌기부와 이 들뜬 필름을 지지하는 오목부로 이루어지는 분리 수단과 이 분리 수단에 의해 분리된 부분에 접하여 점착에 의해 필름을 대상물로부터 탈리시키는 점착로울러로 구성됨을 특징으로 하는 필름 제거장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 대상물이 분리장치에 대해 상대적으로 이동하고, 돌기부가 상대적으로 이동하는 필름을 걸어당겨 들어올리고, 점착로울러가 상대적으로 이동하는 필름을 점착시켜 분리시킴을 특징으로 하는 필름 제거장치.
  3. 재1항 또는 제2항에 있어서, 돌기부가 상하이동 가능하게 설치하고, 이 돌기부에 필름 표면을 눌러주는 수단을 구비하여 돌기부가 필름표면의 상하방향 변위에 대응하여 상하이동 가능하게 구성됨을 특징으로 하는 필름 제거장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 돌기부는 디스크의 둘레주변에 소정간격으로 여러 개의 규칙적으로 배설되고, 각 돌기부와 돌기부 사이에 오목부를 형성함을 특징으로 하는 필름 제거장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 분리 수단을 대상물과 접합 또는 이탈시킬 수 있는 구동장치를 갖춤을 특징으로 하는 필름 제거장치.
  6. 제1항에 있어서, 필름이 대상물의 표면과 이면에 점착하여 상기 분리수단과 점착로울러가 대상물의 표리에 대향하여 각각 한쌍이상 설치되어 있음을 특징으로 하는 필름 제거장치.
  7. 제6항에 있어서, 대상물이 회로기판과 이 회로기판상에 설치된 포토레지스트이고, 포토레지스트 상에 필름이 점착되어 있음을 특징으로 하는 필름 제거장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940019348A 1994-03-01 1994-08-05 필름제거장치 KR100311777B1 (ko)

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