KR960030356A - 웨이퍼로부터 다이를 절단하여 분리시키는 방법 및 장치 - Google Patents

웨이퍼로부터 다이를 절단하여 분리시키는 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 개개의 소자로 절단하는 장치 및 그 사용 방법에 관한 것이다, 앤빌(100)은 웨이퍼(300)가 장착된 유연성 막에 대하여 가압된다. 애빌(100)에는 진공이 가해지므로 유연성 막 및 웨이퍼(300)가 앤빌(100)면에 대하여 가압되게 된다. 유연성 막이 앤빌(100)에 대하여 변형될 때 웨이퍼(300)가 개개의 소자로 절단된다. 웨이퍼(300)가 절단될 때 발생되는 다이싱 조각이 베이스 구조물(408)로 떨어지게 되어 있어서 이들 조각들이 소자와 접촉하지 않고 상기 소자에 손상을 주지 않는다.

Description

웨이퍼로부터 다이를 절단하여 분리시키는 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 반도체 위에퍼를 절단하는데 사용되는 앤빌(anvil)에 대한 본 발명의 한 실시예에 따른 평면도.

Claims (11)

  1. 웨이퍼를 웨이퍼 부분으로 분리시키기 위한 방법에 있어서, 웨이퍼를 유연성 막 위에 장치하는 단계, 물리적으로 웨이퍼를 웨이퍼 부분으로 분리시키기 위해 웨이퍼를 앤빌로 변형시키는 단계, 및 공간적으로 웨이퍼 부분을 분리시키기 위해 상기 막을 연장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 웨이퍼 부분으로 분리시키는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 변현시키는 단계에 앞서 웨이퍼 부분들 간의 에이퍼 영역을 연화(weakening)시키는 단계를 더 포함하며, 이러한 연화 단계에 의해 연화된 영역의 절단이 용이해지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 웨이퍼 부분으로 분리시키는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 변형시키는 단계는, 상기 앤빌과 유연성 막을 접촉시키는 단계, 및 상기 유연성 막이 상기 앤빌에 대하여 압축되도록 상기 앤빌의 내부 영역을 진공화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 웨이퍼 부분으로 분리시키는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 유연성 막은 내측링과 외측링 사이에 속박되어 있으며, 상기 연장 단계는 상기 내측링을 제3의 링 속으로 가압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 웨이퍼 부분으로 분리시키는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 유연성 막은 내측링과 외측링의 제1부분 사이에 속박되어 있으며, 상기 연장 단계는 상기 내측링을 상기 외측링의 제2부분 속으로 가압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 웨이퍼 부분으로 분리시키는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 유연성 막은 내측링과 외측링의 제1부분 사이에 속박되어 있으며, 상기 연장 단계는 분할링을 외측링의 제2부분 상에 가압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 웨이퍼 부분으로 분리시키는 방법.
  7. 웨이퍼를 소자로 분리시키는 장치에 있어서, 앤빌, 일면에 웨이퍼가 붙어 있는 유연성 막을 지지하는 테이프 프레임, 상기 앤빌이 유연성 막 및 웨이퍼를 변형시켜 웨이퍼를 개개의 소자로 절단시킬 때 상기 테이프 프레임을 지지하는 베이스 구조물, 및 공간적으로 개개의 소자를 분리시키기 위해 유연성 막을 연장시키는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 소자로 분리시키는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 테이프 프레임은 내측링 및 외측링으로 구성되고 있고, 상기 유연성 막은 상기 내측링과 상기 외측링의 제1부분 사이에 속박되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 소자로 분리시키는 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 유연성 막을 연장시키는 수단은 상기 내측링은 제3링 속으로 가압하기 위해 상기 앤빌 상에 립(lip)을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 소자로 분리시키는 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 유연성 막을 연장시키는 수단은 상기 내측링을 상기 외측링의 제2부분에 가압하기 위해 앤빌 상에 립을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 소자로 분리시키는 장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 유연성 막을 연장시키는 수단은 상기 내측링으로부터 분할링을 가압하여 상기 분할링이 상기 외측링의 제2부분에 대향하여 상기 유연성 막을 연장 및 가압하도록 하기 위해 앤빌 상에 립을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 소자로 분리시키는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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