JP5324942B2 - ダイシング方法およびエキスパンド装置 - Google Patents
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Description
1a MEMSデバイス
10 ウェハ
11 透光性基板
11a 改質部
12 結晶性基板
12a 改質部
30 粘着性樹脂テープ
41 テーブル
42 ウェハリング
43 リングステージ
44 押圧ステージ
44a 押圧面
L ストリート
LB レーザビーム
Claims (7)
- ウェハを個々のチップに分割するダイシング方法であって、粘着性樹脂テープの一表面側に貼り付けたウェハのストリートに沿ってウェハの内部にレーザビームを照射することによって改質部を形成する改質部形成工程と、改質部形成工程の後で粘着性樹脂テープを引き伸ばすエキスパンド工程とを備え、エキスパンド工程では、ウェハのサイズよりも大きな開口部を有するテーブル上に粘着性樹脂テープの周部を固定した状態でテーブルの内側に配置されているウェハリングをテーブルにおける粘着性樹脂テープの固定面を含む仮想平面に対して相対的に上昇させて粘着性樹脂テープをウェハリングに張設する張設過程と、張設過程の後でウェハリングよりも内側に配置され粘着性樹脂テープを裏面側から押圧する押圧面が凸面である押圧ステージを上昇させて粘着性樹脂テープを伸張させるとともにウェハに曲げ応力をかけることで個々のチップに分割する分割過程と、分割過程の後でウェハリングを前記仮想平面に対して更に上昇させることで粘着性樹脂テープをウェハリングに再び張設する再張設過程とを有することを特徴とするダイシング方法。
- 前記分割過程では、前記押圧ステージとして、前記凸面が球面の一部により構成されるものを用いることを特徴とする請求項1記載のダイシング方法。
- 前記分割過程では、前記押圧ステージを上昇させる際に前記ウェハの周辺の空気を吸引することを特徴とする請求項1または請求項2記載のダイシング方法。
- ウェハのサイズよりも大きな開口部を有し当該開口部の周囲にウェハを接着した粘着性樹脂テープの周部が固定されるテーブルと、テーブルの内側に配置されテーブルにおける粘着性樹脂テープの固定面を含む仮想平面に対して相対的に上昇および下降が可能であり上昇時に粘着性樹脂テープを裏面側から押圧する押圧面が凸面である押圧ステージと、ウェハリングが着脱自在でありテーブルと押圧ステージとの間に配置されて前記仮想平面に対して相対的に上昇および下降が可能なリングステージと、押圧ステージおよびリングステージを駆動する駆動装置とを備えることを特徴とするエキスパンド装置。
- 前記押圧ステージは、前記凸面が球面の一部により構成されてなることを特徴とする請求項4記載のエキスパンド装置。
- 前記テーブルに粘着性樹脂テープの周部が固定された状態において前記ウェハの周辺の空気を吸引する吸引手段を備えることを特徴とする請求項4または請求項5記載のエキスパンド装置。
- 前記押圧ステージは、交換可能であることを特徴とする請求項4ないし請求項6のいずれか1項に記載のエキスパンド装置。
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