JP2000086080A - カバーフィルム剥離用引起し装置 - Google Patents
カバーフィルム剥離用引起し装置Info
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- JP2000086080A JP2000086080A JP25007498A JP25007498A JP2000086080A JP 2000086080 A JP2000086080 A JP 2000086080A JP 25007498 A JP25007498 A JP 25007498A JP 25007498 A JP25007498 A JP 25007498A JP 2000086080 A JP2000086080 A JP 2000086080A
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- JP
- Japan
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- cover film
- substrate
- pull
- adhesive
- resin layer
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
- B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C63/0013—Removing old coatings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プリント配線板やガラス基板等にラミネート
されたカバーフィルムの一部を引起すことを容易にす
る。 【解決手段】 基板に張り付けられたカバーフィルムを
剥離するカバーフィルムの剥離装置において、前記基板
に張り付けらたカバーフィルムの一部を引起すカバーフ
ィルム引起し手段として、ｉ）取り付け部材に回転自在
なローレットロール及び粘着ロールが連結されたカバー
フィルム引起し部材を備える。
されたカバーフィルムの一部を引起すことを容易にす
る。 【解決手段】 基板に張り付けられたカバーフィルムを
剥離するカバーフィルムの剥離装置において、前記基板
に張り付けらたカバーフィルムの一部を引起すカバーフ
ィルム引起し手段として、ｉ）取り付け部材に回転自在
なローレットロール及び粘着ロールが連結されたカバー
フィルム引起し部材を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カバーフィルム
（保護フィルム）を有する基板、特に、カバーフィルム
を有する銅貼り積層板やガラス基板からカバーフィルム
を剥離するためのカバーフィルム引起し装置に関する。
（保護フィルム）を有する基板、特に、カバーフィルム
を有する銅貼り積層板やガラス基板からカバーフィルム
を剥離するためのカバーフィルム引起し装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピューターや携帯電話等の電子機器
に使用されるプリント配線板は、銅等の微細パターンが
絶縁性の基板の片面又は両面に形成されたものである。
また、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）に使用さ
れる基板は、低融点のガラスや酸化錫、インジウムチン
オキシド（ＩＴＯ）等の微細パターンがガラス基板上に
形成されたものである。
に使用されるプリント配線板は、銅等の微細パターンが
絶縁性の基板の片面又は両面に形成されたものである。
また、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）に使用さ
れる基板は、低融点のガラスや酸化錫、インジウムチン
オキシド（ＩＴＯ）等の微細パターンがガラス基板上に
形成されたものである。
【０００３】この様な微細パターンが形成された基板
は、以下に述べる製造工程により製造することができ
る。まず、感光性樹脂層とその表面を保護するカバーフ
ィルムからなる積層体を基板上に熱圧着ラミネートす
る。その後、所望の微細パターンを有するフォトマスク
を積層体上に密着させ、活性光線源を用いて露光を施
す。そして、カバーフィルムを剥離した後、アルカリ現
像液を用いて感光性樹脂層の未露光部分を溶解除去する
ことによって、微細なレジストパターンを基板上に形成
する。この後、形成されたレジストパターン上から薬液
や固体状の粉末等を吹き付け、パターン以外の不必要な
部分をエッチング除去する。さらに、残存するレジスト
パターンをアルカリ剥離液を用いて基板から除去するこ
とによって、微細パターンが形成された基板を製造する
ことができる。
は、以下に述べる製造工程により製造することができ
る。まず、感光性樹脂層とその表面を保護するカバーフ
ィルムからなる積層体を基板上に熱圧着ラミネートす
る。その後、所望の微細パターンを有するフォトマスク
を積層体上に密着させ、活性光線源を用いて露光を施
す。そして、カバーフィルムを剥離した後、アルカリ現
像液を用いて感光性樹脂層の未露光部分を溶解除去する
ことによって、微細なレジストパターンを基板上に形成
する。この後、形成されたレジストパターン上から薬液
や固体状の粉末等を吹き付け、パターン以外の不必要な
部分をエッチング除去する。さらに、残存するレジスト
パターンをアルカリ剥離液を用いて基板から除去するこ
とによって、微細パターンが形成された基板を製造する
ことができる。
【０００４】ところで、前述の微細パターンが形成され
た基板の製造工程においてカバーフィルムを剥離する手
段としては、以下に例示するような、手動または自動の
カバーフィルムの剥離装置やそれを用いたカバーフィル
ムの剥離方法が提案されている。 （１）特公平５−３０７４３号公報（特許第１８１９９
５２号）、特開昭６２−１８０３７１号公報に記載にさ
れた、カバーフィルムの端部を針状の突起押圧部材で浮
上させ、その浮上した部分に流体を吹き付けることによ
ってカバーフィルムを剥離する方法。 （２）特公平５−９０１９号公報（特許第１８００９６
６号）、特開昭６２−５６２４３号公報に記載に記載さ
れた、回転体の外周部に樹脂、鋼等の複数の硬質針で構
成されたブラシを用いてカバーフィルムの一部を引起
し、引起されたカバーフィルムと基板の間に流体を吹き
付けてカバーフィルムを剥離する方法。 （３）特開昭６２−５１５５６号公報に記載された、円
柱形状の回転体に粘着性物質を設けた粘着性部材を用い
てカバーフィルムの一部を引起し、引起されたカバーフ
ィルムと基板の間に流体を吹き付けてカバーフィルムを
剥離する方法。 （４）特開昭６３−２５０１９０号公報に記載された、
カバーフィルムの端辺に複数の引起し線状刃を押し当て
ることによりカバーフィルムの一部を引起しカバーフィ
ルムを剥離する方法。 （５）特開昭６２−８３９７４号公報に記載された、カ
バーフィルムの先端に沿って圧力車を移動させつつ押圧
してフィルム先端を弛めた後にフィルム先端部分にエア
ジェットを吹き込んでカバーフィルムを剥離する方法。 （６）特開平７−１０１６２３号公報に記載された、フ
ィルム端縁に沿って間欠的に複数箇所で、先端に複数の
小突起を備えた部材により繰り返し複数回押圧し、押圧
箇所におけるフィルム端縁に向けて気体ジェットを吹き
付けてカバーフィルムを剥離する方法。
た基板の製造工程においてカバーフィルムを剥離する手
段としては、以下に例示するような、手動または自動の
カバーフィルムの剥離装置やそれを用いたカバーフィル
ムの剥離方法が提案されている。 （１）特公平５−３０７４３号公報（特許第１８１９９
５２号）、特開昭６２−１８０３７１号公報に記載にさ
れた、カバーフィルムの端部を針状の突起押圧部材で浮
上させ、その浮上した部分に流体を吹き付けることによ
ってカバーフィルムを剥離する方法。 （２）特公平５−９０１９号公報（特許第１８００９６
６号）、特開昭６２−５６２４３号公報に記載に記載さ
れた、回転体の外周部に樹脂、鋼等の複数の硬質針で構
成されたブラシを用いてカバーフィルムの一部を引起
し、引起されたカバーフィルムと基板の間に流体を吹き
付けてカバーフィルムを剥離する方法。 （３）特開昭６２−５１５５６号公報に記載された、円
柱形状の回転体に粘着性物質を設けた粘着性部材を用い
てカバーフィルムの一部を引起し、引起されたカバーフ
ィルムと基板の間に流体を吹き付けてカバーフィルムを
剥離する方法。 （４）特開昭６３−２５０１９０号公報に記載された、
カバーフィルムの端辺に複数の引起し線状刃を押し当て
ることによりカバーフィルムの一部を引起しカバーフィ
ルムを剥離する方法。 （５）特開昭６２−８３９７４号公報に記載された、カ
バーフィルムの先端に沿って圧力車を移動させつつ押圧
してフィルム先端を弛めた後にフィルム先端部分にエア
ジェットを吹き込んでカバーフィルムを剥離する方法。 （６）特開平７−１０１６２３号公報に記載された、フ
ィルム端縁に沿って間欠的に複数箇所で、先端に複数の
小突起を備えた部材により繰り返し複数回押圧し、押圧
箇所におけるフィルム端縁に向けて気体ジェットを吹き
付けてカバーフィルムを剥離する方法。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、カバー
フィルムと感光性樹脂層の間の密着力が強い等の場合に
は、上記のような従来技術で用いられるような、突起押
圧部材、ブラシ、粘着性部材、引起し線状刃、圧力車、
小突起を備えた部材等のカバーフィルム剥離用引起し部
材では、カバーフィルムの一部を十分に引起すことがで
きないため、カバーフィルムが確実に剥離できないとい
う問題点があった。また、カバーフィルムの一部を引起
すために、前述の従来のカバーフィルム剥離用引起し部
材を用いて、カバーフィルムに過剰な力を加えたり何回
も力を加えたりすると、カバーフィルムが破れてしまっ
たり、カバーフィルムと基材に挟まれた感光性樹脂層を
損傷してしまうという問題点があった。
フィルムと感光性樹脂層の間の密着力が強い等の場合に
は、上記のような従来技術で用いられるような、突起押
圧部材、ブラシ、粘着性部材、引起し線状刃、圧力車、
小突起を備えた部材等のカバーフィルム剥離用引起し部
材では、カバーフィルムの一部を十分に引起すことがで
きないため、カバーフィルムが確実に剥離できないとい
う問題点があった。また、カバーフィルムの一部を引起
すために、前述の従来のカバーフィルム剥離用引起し部
材を用いて、カバーフィルムに過剰な力を加えたり何回
も力を加えたりすると、カバーフィルムが破れてしまっ
たり、カバーフィルムと基材に挟まれた感光性樹脂層を
損傷してしまうという問題点があった。
【０００６】さらに、プラズマディスプレイパネル等の
ガラス基板の場合には、カバーフィルム剥離用引起し部
材によって過剰な力が加えられると、基板自体が損傷し
てしまうという問題点があった。
ガラス基板の場合には、カバーフィルム剥離用引起し部
材によって過剰な力が加えられると、基板自体が損傷し
てしまうという問題点があった。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明者らは上記課題を解
決すべく鋭意研究を重ねた結果、回転自在なローレット
ロール及び粘着ロールを備えた引起し部材を用いること
により、カバーフィルムや感光性樹脂層や基板を損傷す
ることなくカバーフィルムの一部を十分に引起すことが
でき、上述の課題を解決しうることを見出した。
決すべく鋭意研究を重ねた結果、回転自在なローレット
ロール及び粘着ロールを備えた引起し部材を用いること
により、カバーフィルムや感光性樹脂層や基板を損傷す
ることなくカバーフィルムの一部を十分に引起すことが
でき、上述の課題を解決しうることを見出した。
【０００８】すなわち、本発明は、カバーフィルムを有
する基板からカバーフィルムを剥離するための装置であ
って、ｉ）取り付け部材に回転軸を中心として回転可能
なローレットロール及び粘着ロールが連結されたカバー
フィルム引起し部材、及びｉｉ）カバーフィルム引起し
部材に垂直な力を加えるための押圧機構を備えたことを
特徴とするカバーフィルム剥離用引起し装置を提供する
ものである。
する基板からカバーフィルムを剥離するための装置であ
って、ｉ）取り付け部材に回転軸を中心として回転可能
なローレットロール及び粘着ロールが連結されたカバー
フィルム引起し部材、及びｉｉ）カバーフィルム引起し
部材に垂直な力を加えるための押圧機構を備えたことを
特徴とするカバーフィルム剥離用引起し装置を提供する
ものである。
【０００９】なお、本発明で言う基板とは、単独の基板
だけでなく、ガラス基板や銅貼り積層板などに感光性樹
脂層が設けられたような積層体も含むものである。以
下、本発明を詳細に説明する。本発明に用いられるカバ
ーフィルム引起し部材は、取り付け部材に回転軸を中心
として回転可能なローレットロール及び粘着ロールが連
結されたものである。
だけでなく、ガラス基板や銅貼り積層板などに感光性樹
脂層が設けられたような積層体も含むものである。以
下、本発明を詳細に説明する。本発明に用いられるカバ
ーフィルム引起し部材は、取り付け部材に回転軸を中心
として回転可能なローレットロール及び粘着ロールが連
結されたものである。
【００１０】ローレットロールは、円柱状の回転体の外
周部に様々な形状の溝を形成し、回転軸を中心として自
由に回転できる構造を有するもので、特開昭６２−８３
９７４号公報に開示されている圧力車や特開平７−１０
１６２３号公報に開示されているローレットロール等公
知の種類のものが使用できる。ローレットロールの素材
としては、金属、プラスチック、セラミック等が用いら
れる。ローレットロールの大きさについては、特に制限
は無いが、通常直径が１０〜５０ｍｍ、外周部の幅が３
〜３０ｍｍのものが用いられる。外周部の溝についても
特に制限は無いが、通常ピッチが０．１〜３ｍｍ、溝の
深さが０．１〜３ｍｍで、直線状に縦及び又は横及び又
は斜めに刻まれたものが用いられる。
周部に様々な形状の溝を形成し、回転軸を中心として自
由に回転できる構造を有するもので、特開昭６２−８３
９７４号公報に開示されている圧力車や特開平７−１０
１６２３号公報に開示されているローレットロール等公
知の種類のものが使用できる。ローレットロールの素材
としては、金属、プラスチック、セラミック等が用いら
れる。ローレットロールの大きさについては、特に制限
は無いが、通常直径が１０〜５０ｍｍ、外周部の幅が３
〜３０ｍｍのものが用いられる。外周部の溝についても
特に制限は無いが、通常ピッチが０．１〜３ｍｍ、溝の
深さが０．１〜３ｍｍで、直線状に縦及び又は横及び又
は斜めに刻まれたものが用いられる。
【００１１】粘着ロールは、円柱状の回転体の外周部が
粘着性を有し、回転軸を中心として自由に回転できる構
造を有するものである。粘着ロールの大きさについては
特に制限は無いが、直径１０〜５０ｍｍ、外周部の幅が
３〜３０ｍｍのものがよい。円柱状の回転体の外周部に
粘着性を付与するためには、粘着ロール全体をウレタン
ゴム等の粘着性のある素材で構成してもよいし、金属、
プラスチック、セラミック等の円柱状の回転体の外周部
に粘着性のテープ等を貼り付けてもよい。粘着性の程度
は、感光性樹脂層からカバーフィルムの一部を引き起こ
すのに十分な粘着性があれば良いが、粘着性の程度が大
きすぎると粘着ロールからカバーフィルムが離脱せずカ
バーフィルムの感光性樹脂層からの剥離に支障を来す場
合がある。
粘着性を有し、回転軸を中心として自由に回転できる構
造を有するものである。粘着ロールの大きさについては
特に制限は無いが、直径１０〜５０ｍｍ、外周部の幅が
３〜３０ｍｍのものがよい。円柱状の回転体の外周部に
粘着性を付与するためには、粘着ロール全体をウレタン
ゴム等の粘着性のある素材で構成してもよいし、金属、
プラスチック、セラミック等の円柱状の回転体の外周部
に粘着性のテープ等を貼り付けてもよい。粘着性の程度
は、感光性樹脂層からカバーフィルムの一部を引き起こ
すのに十分な粘着性があれば良いが、粘着性の程度が大
きすぎると粘着ロールからカバーフィルムが離脱せずカ
バーフィルムの感光性樹脂層からの剥離に支障を来す場
合がある。
【００１２】本発明のカバーフィルム剥離用引起し装置
は、基板に熱圧着ラミネートされた、感光性樹脂層とカ
バーフィルムからなる積層体の端辺上に押し転がすこと
によって、カバーフィルムの一部を引起すことができ
る。この場合、ローレットロールの通過した端辺上を少
なくとも１個の粘着ロールが通過するように、ローレッ
トロールと粘着ロールの配置を設定する必要がある。例
えば、ローレットロールと粘着ロールが端辺上を同一方
向に進行する場合には、進行方向に対し、少なくとも１
個の粘着ロールをローレットロールの後方に配置する必
要がある。
は、基板に熱圧着ラミネートされた、感光性樹脂層とカ
バーフィルムからなる積層体の端辺上に押し転がすこと
によって、カバーフィルムの一部を引起すことができ
る。この場合、ローレットロールの通過した端辺上を少
なくとも１個の粘着ロールが通過するように、ローレッ
トロールと粘着ロールの配置を設定する必要がある。例
えば、ローレットロールと粘着ロールが端辺上を同一方
向に進行する場合には、進行方向に対し、少なくとも１
個の粘着ロールをローレットロールの後方に配置する必
要がある。
【００１３】本発明においては、ローレットロールと粘
着ロールは各々、同一装置内に少なくとも１個あればよ
いが、複数個あってもよい。複数個ある場合にはローレ
ットロールと粘着ロールを交互に設けることが好まし
い。本発明に用いられる押圧機構としては、基板に対し
て垂直な方向に、カバーフィルム引起し部材を押圧でき
る機構であればよく、好ましくはエアシリンダーが用い
られる。
着ロールは各々、同一装置内に少なくとも１個あればよ
いが、複数個あってもよい。複数個ある場合にはローレ
ットロールと粘着ロールを交互に設けることが好まし
い。本発明に用いられる押圧機構としては、基板に対し
て垂直な方向に、カバーフィルム引起し部材を押圧でき
る機構であればよく、好ましくはエアシリンダーが用い
られる。
【００１４】本発明におけるカバーフィルム剥離用引起
し装置を用いて、カバーフィルムを引起すと同時に或い
は引起した後で、引起されたカバーフィルムと感光性樹
脂層との間に、圧力を加えた流体を吹き付ける工程を設
けることはより好ましい態様である。この場合の流体と
は、空気、窒素、不活性ガス等の気体や、水等の液体の
ことである。
し装置を用いて、カバーフィルムを引起すと同時に或い
は引起した後で、引起されたカバーフィルムと感光性樹
脂層との間に、圧力を加えた流体を吹き付ける工程を設
けることはより好ましい態様である。この場合の流体と
は、空気、窒素、不活性ガス等の気体や、水等の液体の
ことである。
【００１５】カバーフィルムの一部が引起された状態で
上記流体の吹き付けを行うことにより、感光性樹脂層か
ら完全にカバーフィルムを剥離できる場合もあるが、完
全に剥離できない場合には従来公知のカバーフィルムの
剥離方法を組み合わせて剥離することもできる。例え
ば、特開昭６２−５１５５６号公報に記載の、円柱形状
の回転体に粘着性テープ等の粘着性物質を設けた粘着性
部材をカバーフィルムに押し付けて貼り付け、感光性樹
脂層から引き剥がす方法などである。
上記流体の吹き付けを行うことにより、感光性樹脂層か
ら完全にカバーフィルムを剥離できる場合もあるが、完
全に剥離できない場合には従来公知のカバーフィルムの
剥離方法を組み合わせて剥離することもできる。例え
ば、特開昭６２−５１５５６号公報に記載の、円柱形状
の回転体に粘着性テープ等の粘着性物質を設けた粘着性
部材をカバーフィルムに押し付けて貼り付け、感光性樹
脂層から引き剥がす方法などである。
【００１６】感光性樹脂層から完全に剥離されたカバー
フィルムを排出する方法については、公知の様々な方法
を用いることができる。例えば、特公平５−９０１９号
公報（特許第１８００９６６号）に記載された方法等で
ある。
フィルムを排出する方法については、公知の様々な方法
を用いることができる。例えば、特公平５−９０１９号
公報（特許第１８００９６６号）に記載された方法等で
ある。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施態様を図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
【００１８】
【実施例１】図１、図２に示すように、基板１上には感
光性樹脂層２とカバーフィルム３とからなる積層体が熱
圧着ラミネートされている。感光性樹脂層２は所定のフ
ォトマスクを介して露光された後の状態にある。カバー
フィルム剥離用引起し装置において、カバーフィルム引
起し部材４は、ローレットロール５と粘着ロール６がシ
ャフト７を介して取り付け部材８で連結され、このカバ
ーフィルム引起し部材は、押圧機構であるエアシリンダ
ー１５により基板１に垂直な方向に押圧できる構成にな
っている。ローレットロール５は、回転軸９を中心に自
由回転できるように構成され、この外周部には横溝１０
が刻まれている。粘着ロール６は、回転軸１１を中心に
自由回転できるように構成され、この外周部には粘着性
の両面テープ１２が貼り付けられている。カバーフィル
ム３の端辺上をローレットロール５と粘着ロール６がこ
の順序で進行する。この場合ローレットロール５、粘着
ロール６はエアシリンダー１５によって一定の圧力でカ
バーフィルムに押しつけられている。ローレットロール
５が通過した部分のカバーフィルムと感光性樹脂層の間
には微少な空隙１３が生じ、その後粘着ロールが通過す
ることによって微少な空隙をきっかけとしてカバーフィ
ルムが感光性樹脂層から引起される。
光性樹脂層２とカバーフィルム３とからなる積層体が熱
圧着ラミネートされている。感光性樹脂層２は所定のフ
ォトマスクを介して露光された後の状態にある。カバー
フィルム剥離用引起し装置において、カバーフィルム引
起し部材４は、ローレットロール５と粘着ロール６がシ
ャフト７を介して取り付け部材８で連結され、このカバ
ーフィルム引起し部材は、押圧機構であるエアシリンダ
ー１５により基板１に垂直な方向に押圧できる構成にな
っている。ローレットロール５は、回転軸９を中心に自
由回転できるように構成され、この外周部には横溝１０
が刻まれている。粘着ロール６は、回転軸１１を中心に
自由回転できるように構成され、この外周部には粘着性
の両面テープ１２が貼り付けられている。カバーフィル
ム３の端辺上をローレットロール５と粘着ロール６がこ
の順序で進行する。この場合ローレットロール５、粘着
ロール６はエアシリンダー１５によって一定の圧力でカ
バーフィルムに押しつけられている。ローレットロール
５が通過した部分のカバーフィルムと感光性樹脂層の間
には微少な空隙１３が生じ、その後粘着ロールが通過す
ることによって微少な空隙をきっかけとしてカバーフィ
ルムが感光性樹脂層から引起される。
【００１９】
【発明の効果】本発明のカバーフィルム剥離用引起し装
置は、カバーフィルムと感光性樹脂層の間の密着力が強
い等の場合に、カバーフィルムや感光性樹脂層や基板を
損傷することなくカバーフィルムの一部を十分に引き起
こすことができ、確実にカバーフィルムを剥離できると
いう効果を有する。
置は、カバーフィルムと感光性樹脂層の間の密着力が強
い等の場合に、カバーフィルムや感光性樹脂層や基板を
損傷することなくカバーフィルムの一部を十分に引き起
こすことができ、確実にカバーフィルムを剥離できると
いう効果を有する。
【図１】本発明のカバーフィルム剥離用引起し装置を用
いたカバーフィルムの一部の引起し方法の一例を示す要
部拡大斜視図である。
いたカバーフィルムの一部の引起し方法の一例を示す要
部拡大斜視図である。
【図２】前記図１の態様を矢印Ｉ方向から見た断面図で
ある。
ある。
１ 基板 ２ 感光性樹脂層 ３ カバーフィルム ４ カバーフィルム引起し部材 ５ ローレットロール ６ 粘着ロール ７ シャフト ８ 取り付け部材 ９ ローレットロールの回転軸 １０ ローレットロールの横溝 １１ 粘着ロールの回転軸 １２ 粘着性の両面テープ １３ 微少な空隙 １４ 引起されたカバーフィルム １５ エアシリンダー
Claims (1)
- 【請求項１】 カバーフィルムを有する基板からカバー
フィルムを剥離するための装置であって、ｉ）取り付け
部材に回転軸を中心として回転可能なローレットロール
及び粘着ロールが連結されたカバーフィルム引起し部
材、及びｉｉ）カバーフィルム引起し部材に垂直な力を
加えるための押圧機構を備えたことを特徴とするカバー
フィルム剥離用引起し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25007498A JP2000086080A (ja) | 1998-09-03 | 1998-09-03 | カバーフィルム剥離用引起し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25007498A JP2000086080A (ja) | 1998-09-03 | 1998-09-03 | カバーフィルム剥離用引起し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000086080A true JP2000086080A (ja) | 2000-03-28 |
Family
ID=17202431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25007498A Pending JP2000086080A (ja) | 1998-09-03 | 1998-09-03 | カバーフィルム剥離用引起し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000086080A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7481901B2 (en) | 2004-12-03 | 2009-01-27 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Method and apparatus for producing a wiring board, including film-peeling |
| CN103560101A (zh) * | 2013-11-11 | 2014-02-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性器件剥离设备 |
| KR20140031005A (ko) * | 2012-09-04 | 2014-03-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 필름 박리장치 및 그것을 이용한 필름 박리방법 |
| JP2021104889A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-26 | イビデン株式会社 | 保護フィルムの剥離方法および剥離装置 |
| JP2023001912A (ja) * | 2021-06-21 | 2023-01-06 | 志聖工業股▲ふん▼有限公司 | スクレーパー機構、フィルム剥取機、及びフィルム端部を持ち上げる方法 |
-
1998
- 1998-09-03 JP JP25007498A patent/JP2000086080A/ja active Pending
Cited By (10)
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