JPS62264164A

JPS62264164A - 薄膜張付装置用搬送装置

Info

Publication number: JPS62264164A
Application number: JP61104394A
Authority: JP
Inventors: Noriyasu Sawada; 沢田　範泰; Kazuo Fukuda; 一夫福田
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1986-05-07
Filing date: 1986-05-07
Publication date: 1987-11-17

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的〔産業上の利用分野〕本発明は、搬送技術に関し、特に、薄膜を基板に張り付
ける薄膜張付装置に使用される搬送装置に適用して有効
な技術に関するものである。

〔従来技術〕

コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。

まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に、感光性樹
脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネート
する。この熱圧着ラミネートは。

薄膜張付装置所謂ラミネータにより量産的に行われる。

この後、前記積層体に配線パターンフィルムを重ね、こ
の配線パターンフィルム及び透光性樹脂フィルムを通し
て、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性
樹脂フィルムを剥離装置で剥離した後、露光された感光
性樹脂層を現像してエツチングマスクパターンを形成す
る。この後、前記導電層の不必要部分をエツチングによ
り除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定
の配線パターンを有するプリント配線板を形成する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述のプリント配線板の製造工程においては。

絶縁性基板の導電層上に、薄膜張付装置で自動的に積層
体を熱圧着ラミネートする工程が必要とされている。こ
の熱圧着ラミネート工程の概要は次のとおりである。

まず、薄膜張付装置の供給ローラに連続的に巻回されて
いる積層体を、メインバキュームプレートで基板に供給
する。メインバキュームプレートは、積層体供給面に複
数の吸着孔が設けられており、この吸着孔に積層体を吸
着し供給するように構成されている。基板に供給される
積層体の先端部は、メインバキュームプレートの先端部
に設けられた円孤形状の仮付部に吸着され、この仮付部
で絶縁性基板の導電層上に仮り付け（成熱圧着）される
。

次に、先端部が仮り付けされた積層体は、熱圧着ローラ
で基板に熱圧着ラミネートされる。熱圧着ローラは、仮
付動作で仮付部と接触しないように、仮付位置から離反
した位置に待機し、仮付動作後に仮付位置に接触して基
板を挟持し、回転しながら熱圧着ラミネートを行うよう
に構成されている。熱圧着ラミネートされた基板は、搬
送ローラで露光装置に搬送される。

しかしながら、この種の薄膜張付装置の搬送経路におい
ては、熱圧着ローラが移動するため、熱圧着ローラと熱
圧着ラミネートされた基板を搬送する搬送ローラとの間
にかなりの空間が形成される。このため、特に、薄い基
板においては、搬送ローラに達する前に、搬送方向の先
端部に垂れ下りを生じ、搬送ローラに導びかれず、搬送
することができないなどのトラブルを生じるという問題
があった。

本発明で解決しようとする前記ならびにその他の問題点
と新規な特徴は１本明細書の記述及び添付図面によって
明らかになるであろう。

（２）発明の構成〔問題点を解決するための手段〕本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば１次のとおりである。

本発明は、搬送ローラで基板を搬送し、この搬送経路中
に、薄膜を圧着ローラで基板に張り付ける薄膜張付装置
用搬送装置において、前記圧着ローラと、前記薄膜が張
り付けられた基板を搬送する搬送ローラとの間に、前記
圧着ローラから搬送ローラに搬送される基板をガイドす
る基板ガイド部材を設けたことを特徴としたものである
。

〔作用〕

上述した手段によれば、特に、薄い基板において、薄膜
の張り付は後に、搬送方向の先端部が垂れ下がることを
防止し、搬送ローラに確実に導びいて搬送することがで
きるので、搬送経路におけるトラブルを防止することが
できる。

〔発明の実施例〕

以下、プリント配線用基板に感光性樹脂層と透光性樹脂
フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする薄膜
張付装置に使用される搬送装置に適用した本発明の一実
施例について１図面を用いて具体的に説明する。

なお、実施例を説明するための全図において、同−機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

本発明の一実施例である薄膜張付装置を第１図（概略構
成図）及び第２図（第１図の要部拡大構成図）で示す。

第１図及び第２図に示すように、透光性樹脂フィルム、
感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムの３層構造からな
る積層体１は、供給ローラ２に連続的に巻回されている
。供給ローラ２の積層体１は、剥離ローラ３で、透光性
樹脂フィルム（保護膜）ＩＡと、−面（接着面）が露出
された感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積
層体ＩＢとに分離される０分離された透光性樹脂フィル
ムＩＡは、巻取ローラ４により巻き取られるように構成
されている。

前記分離された積層体ＩＢの供給方向の先端部は、テン
ションローラＳを通してメインバキュームプレート６に
吸着されるように構成されている。

テンションローラ５は、供給ローラ２とメインバキュー
ムプレート６との間の積層体ＩＢに適度なテンションを
与えるように構成されている。つまり、テンションロー
ラ５は、積層体ＩＢにしわ等を生じないように構成され
ている。

メインバキュームプレート（ｇ膜供給部材）６は。

積層体ＩＢを供給ローラ２から絶縁性基板１２の導電層
上に供給するように構成されている。メインバキューム
プレート６は、絶縁性基板１２に近接しかつ離反する（
矢印入方向に移動する）支持部材７を介して、装置本体
（薄膜張付装置の筐体）８に支持されている。支持部材
７は、メインバキュームプレート６を移動させる１例え
ばエアーシリンダからなる駆動源７Ａと、駆動源７Ａを
装置本体８に支持する支持部７Ｂとで構成されている。

駆動源７Ａは、エアーシリンダに限定されず、例えば、
油圧シリンダ又は電磁シリンダ、或はステップモータ及
びその変位をメインバキュームプレート６に伝達する伝
達機構等で構成することができる。

メインバキュームプレート６には、第３図（部分断面斜
視図）で示すように、積層体ＩＢの供給方向と略直交す
る供給幅方向に延在する溝部６Ａが搬送方向に複数設け
られている。溝部６Ａの長さく積層体ＩＢの供給幅方向
の長さ）は、供給幅方向の積層体ＩＢの寸法と略同−の
寸法で構成され。

溝部６Ａを積層体ＩＢが覆うように構成されている。溝
部６Ａの底部には、積層体ＩＢを吸着させるための吸着
孔６Ｂが複゛数設けられている１図示していないが、吸
着孔６Ｂは、排気管を介して。

真空ポンプ等の真空源に接続されている。溝部６Ａの端
部６Ｃは、メインバキュームプレート６の端部から中央
部に掘り下げたテーパ形状に構成されている。この端部
６Ｃ（テーバ部）には、メインバキュームプレート６に
吸着さ・れる積層体ＩＢの端部が位置するようになって
いる。

このテーパ形状に構成された端部６Ｃは、溝部６Ａと積
層体ＩＢとの吸着面積を最大限に確保して吸着効果を高
めると共に、積層体ＩＢの吸着時に、溝部６Ａと積層体
ＩＢとの吸着位置にずれが若干生じても、溝部６Ａに比
べて浅いので、積層体ＩＢの端部と端部６Ｃとの吸着性
を良好にし。

溝部６Ａと積層体ＩＢとの吸着効果をさらに良好にする
ことができる。

積層体ＩＢの供給方向におけるメインバキュームプレー
ト６の先端部には、ｆａ層体重Ｂの吸着面が円孤形状に
形成された仮付部材６Ｄが設けられている。仮付部材６
Ｄは、メインバキュームプレート６と一体に構成されて
いる。仮付部材６Ｄの内部には、第１図及び第２図で示
すように、円孤形状部分を加熱するヒータ６Ｅが設けら
れている。

仮付部材６Ｄは、メインバキュームプレート６で供給さ
れる積層体ＩＢの先端部を、基板１２に仮り付け（成熱
圧着）するように構成されている。

なお、本発明は、メインバキュームプレート６と仮付部
材６Ｄとを、夫々、別部材で構成し１両者を支持部材７
を介して装置本体８に設けてもよ覧１゜前記仮付部材６Ｄに近接した位置、つまり、仮付部材６
Ｄと基板１２との間の積層体ＩＢの供給経路の近傍の装
置本体８には、サブバキュームプレート９が設けられて
いる。サブバキュームプレ−ト９は、吸引孔を図示して
いないが、上部吸着部９ａと下部吸着部９ｂとでコの字
形状に構成されている。サブバキュームプレート９の上
部吸着部９ａは、主に、供給方向の積層体ＩＢの先端部
を吸着し、仮付部材６Ｄに吸着（保持）させるように構
成されている。サブバキュームプレート９は。

積層体ＩＢの先端部を仮付部材６Ｄに吸着可能なように
、！ｉ１層体体重の供給経路に対して近接及び離反（矢
印Ｂ方向に移動）する例えばエアーシリンダからなる駆
動源９Ａを介して、装置本体８に固着されている。

また、サブバキュームプレート９の下部吸着部９ｂは、
連続した積層体ＩＢを切断装置１ｔｔｏで切断し、この
切断された積層体ＩＢの後端部を吸着するように構成さ
れている。下部吸着部９ｂは。

熱圧着ラミート開始後、回転バキュームプレート１３と
の間において、￥１１Ｍ体ＩＢにたるみを形成する（た
るみを持たせた積層体ＩＢ″　を形成する）ように構成
されている。このたるみを持たせた積層体ＩＢ’は、メ
インバキュームプレート６の積層体ＩＢの供給速度に対
して、熱圧着ローラ１１・の周速度（熱圧着ラミネート
速度）を遅く制御することにより形成することができる
０例えば、熱圧着ローラ１１の周速度を一定とした場合
には、メインバキュームプレー６で積層体ＩＢを供給す
る速度を前記周速度よりも速く設定する１両者の制御は
１図示していないが、シーケンス制御回路により行われ
るようになっている。

なお、サブバキュームプレート９の駆動［９Ａとしては
、エアーシリンダの他に、前記駆動源７Ａと同様に、油
圧シリンダ等で構成することができる。

前記仮付部材６Ｄと基板１２との間の積層体ＩＢの供給
経路の近傍の装置本体８（又は前段搬送装置１１１４）
には、切断′Ｖ＆１１１０が設けられている。

詳述すれば、切断装置１１１０は、積層体ＩＢを介在し
てサブバキュームプレート９に対向した位置に構成され
ている。切断装置１１０は、メインバキュームプレート
６で連続的に供給される積層体ＩＢを基板１２の寸法に
対応して所定長になるように切断するように構成されて
いる。

この切断装置１０の具体的な構成を第４図（第２図の矢
印１■方向から見た概略平面図）及び第５図（第４図の
Ｖ−ＶＳで切った断面図）で示す。

切断袋ｖ！Ｌ１０は、第４図及び第５図に示すように、
主に、ガイド部材１０Ａと、移動部材１０Ｂと１円板状
カッター１０Ｇとで構成されている。

ガイド部材１０Ａは、積層体ＩＢの供給幅方向に延在し
、その両端部（又は一端部）が装置本体８に固定されて
いる。この固定は、ねじ、ボルト。

ナツト、ビス、接着剤等の固定手段で行なわれる。

ガイド部材１０Ａには、積層体ＩＢの供給幅方向（第１
１図に示す矢印Ｃ方向）において、移動部材ｌＯＢを正
確に移動できるように、移動部材１０Ｂの凸部（又は凹
部）１０ａと嵌合する凹部（又は凸部）１０ｂが設けら
れている。

移動部材１０Ｂは、ガイド部材１０Ａに沿って（積層体
ＩＢの供給幅方向に）移動するように構成されている。

移動部材１０Ｂ哄、ガイド部材１０Ａに沿って延在しか
つ両端部が装置本体８に支持された中空管１０Ｄ内を、
矢印Ｃ′力方向移動する中空管内移動部材１０Ｅと接続
されている。中空管内移動部材１０Ｅの移動は、中空管
１０Ｄの夫々の端部がら空気（ａｉｒ）等の流体を吹き
込む（又は吸引する）ことにより行われる。つまり、中
空管内移動部材１０Ｅは、第４図において、中空管１０
Ｄの左側から流体を吹き込むと左側から右側に移動し、
中空管１００の右側から流体を吹き込むと右！から左側
に移動するように構成されている。中空管内移動部材１
０Ｅは、移動部材１０Ｂを移動させるように構成されて
４いる。中空管１０Ｄ内に吹き込む流体としては空気を
用いる。また。

流体としては、不活性ガス等の気体、水、油等の液体を
用いてもよい、また、移動部材１０Ｂは。

エアーシリンダ、油圧シリンダ、モータ等で移動するよ
うに構成してもよい。

円板状カッター１０Ｃは、移動部材１０Ｂの移動に従っ
て回転し、少なくともその円周部に積層体ＩＢを切断す
る刃部が設けられている６円板状カッター１．０Ｃの回
転は、回転軸１０Ｆに設けられた歯車（ピニオン）１０
Ｇを介在し１回転軸１゜Ｈに設けられた歯車１０Ｉとラ
ックＩＯＪとの嵌合により与えられる。ラックＩＯＪは
、両端部（又は一端部）が装置本体８に固定されている
。

ラックＩＯＪと歯車１０Ｉとの嵌合は、移動部材１０Ｂ
に設けられた保持ローラＩＯＬにより安定に保持される
。

円板状カッター１０Ｃは例えば高速度工具鋼等の金属材
料で構成されており、少なくとも刃部の表面にはポリテ
トラフルオロエチレンが塗布されている。ポリテトラプ
ルオロエチレンは、化学薬品に対する不活性、熱的安定
性に優れており、摩擦係数が小さく、又、他の材料へ付
着しずらい特徴がある。特に、薄膜張付装置においては
、積層体ＩＢの切断により生じる微小で種々の化学薬品
を含有する切り屑が刃部に付着し、円板状カッターｔＯ
Ｃの切れ味じを劣化し易いので、ポリテトラフルオロエ
チレンの塗布は有効である。

円板状カッター１０Ｇの近傍の移動部材１０Ｂには、主
に、作業者の安全を確保するために１円板状カッター１
０Ｃを覆う保護カバー１０Ｋが設けられている。

この切断装置ｉ！１０は、移動部材１０Ｂがガイド部材
１０Ａを一方向に移動することにより、この移動で与え
られる円板状カッター１００の回転で、絶縁性基板１２
の長さに対応した寸法に積層体ＩＢを切断することがで
きる。また１円板状カッターＩＯＣは、一方向の移動に
より積層体ＩＢを切断することができるので、積層体Ｉ
Ｂの切断時間を短縮することができる。

このように構成される薄膜張付装置において、メインバ
キュームプレート６と仮付部材６Ｄとを。

基板１２に近接及び離反する支持部材７を介して装置本
体８に設け、積層体ＩＢを切断する切断装置１０を、前
記仮付部材６Ｄと基板１２との間の積層体ＩＢの供給経
路の近傍の装置本体８に固定したことにより、前記支持
部材７で支持する部材の重量を軽くしたので、駆動能力
（容量）め小さな駆動源７Ａで支持部材７を駆動するこ
とができる。

また、支持部材７に支持される部品点数を低減すること
ができるので、支持部材７及びその周辺の構成を簡単化
し、薄膜張付装置を小型化することができる。

また、駆動源７八等を小型化することができるので、薄
膜張付装置の製造上のコストを低減することができる。

なお、サブバキュームプレート９は、本実施例において
装置本体８に支持されているが、切断装置１０に比べて
非常に軽いので、メインバキュームプレート６と共に支
持部材７に設けてもよい。

また、切断袋［１０は１円板状カッター１０Ｃを移動さ
せる構成に代えて、超音波、レーザビーム等を使用した
ビームカッタとか、積層体ＩＢの供給幅方向に、積層体
ＩＢの供給幅寸法と略同等又はそれよりも大きな寸法の
刃部を有するカッター、例えばギロチンカッター、帯状
カッター、加熱もしくは非加熱ワイヤー状カッター、ナ
イフ状カッター等で構成してもよい、この切断装置ｆ！
１０は、一度に積層体ＩＢを切断することができる。

前記メインバキュームプレート６の仮付部材６Ｄで絶縁
性基板１２の導？１！層上に先端部が仮り付け（偏熱圧
着）される積層体ＩＢは、熱圧着ローラ１１でその全体
が熱圧着ラミネートされるように構成されている。熱圧
着ローラ１１は、積層体ＩＢの先端部を仮付部材６Ｄで
仮り付けする仮付動作時は、第１図に符号１１′を符し
た点線で示す位置に配置されかつ回転している。熱圧着
ローラ１１は、仮付動作時に、仮付部材６Ｄと接触しな
いように構成されている。仮付動作後の熱圧着ローラ１
１は、符号１１′を示す点線で示した位置から実線で示
す位置、つまり、積層体ＩＢを介在して基板１２を挟持
する位置に移動するように構成されている。積層体ＩＢ
を介在して基板１２を挟持した熱圧着ローラ１１は、第
２図に示す矢印り方向に回転し、積層体ＩＢを絶縁性基
板１２の導電層上に熱圧着ラミネートすると共に、この
基板１２を搬送するように構成されている。熱圧着ラミ
ネート工程中においては、メインバキュームプレート６
及びサブバキュームプレート９の積層体ＩＢの吸着動作
は停止している。すなわち、熱圧着ローラ１１には、そ
の回転力と、基板１２との挟持力とで、積層体ＩＢが供
給ローラ２から自動的に供給されるように構成されてい
る。

前記切断装置１０で切断された積層体ＩＢの後端部は、
三角形状の回転バキュームプレート１３でしわ等を生じ
ないようにガイドされ、熱圧着ローラ１１で熱圧着ラミ
ネートされるように構成されている０回転バキュームプ
レート１３は、第６図（要部斜視図）で示すように、熱
圧着ローラ１１と同一軸に支持されかつそれを中心に回
転するように構成されており、積層体ＩＢと対向する吸
着面には、複数の吸引孔１３Ａが設けられている。

前記吸着孔１３Ａが配設された吸着面の構造は。

第３図に示すメインバキュームプレート６の吸着面と同
様の構造になっている０図示しないが１回転バキューム
プレート１８の上面にも吸引孔を設けてもよく、このよ
うに構成することにより、たるみＩＢ’　を第２図に示
すような状態とすることができる。

前記基板１２は、搬送ローラ（下段）１４Ａと搬送ロー
ラ（上段）１４Ｂとで構成される前段搬送装置！１４に
より、ｆｖ［張付装置の積層体ＩＢの仮付位置まで搬送
される。

また、搬送ローラ（下段）１５Ａと搬送ローラ（上段）
１５Ｂとで構成される後段搬送袋Ｖ１１１５は、薄膜張
付装置の熱圧着ローラ１１で積層体ＩＢが熱圧着ラミネ
ートされた基板１２を配線パターンを形成する露光装置
まで搬送するように構成されている。

前記メインバキュームプレート６の仮付部材６Ｄの移動
経路（薄膜供給経路）近傍の装置本体８（又は前段搬送
装置１１４、或は支持部材７）には、薄膜矯正装置１１
６が設けられている。薄膜矯正袋Ｗ１１６は、仮付部材
６Ｄに密着させる方向に積層体ＩＢの供給方向の先端部
を矯正するように構成されている。薄膜矯正装置１１６
の具体的な構成は、第２図及び第７図（要部斜視図）で
示すように、積層体ＩＢの供給幅方向に延在して設けら
れた流体搬送管１６Ａと、この流体搬送管１６Ａに複数
設けられた流体吹付孔１６Ｂとで構成されている。

流体搬送管１６Ａは、内部が中空に構成されており、常
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管１６Ａの断面形状は１本実施例では略円形状に
構成されているが、これに限定されず、方形状又は楕円
形状に構成してもよ％Ｎ。

流体吹付孔１６Ｂは、積層体ＩＢを矯正する方向（第２
図及び第７図に示す矢印Ｅ方向）に流体を吹き付けるよ
うに設けられている。

薄膜矯正袋ａ１ｅで使用する流体としては、空気を使用
する。また、流体としては、不活性ガス等の気体、水、
油等の液体を用いてもよい。

このように、薄膜張付装置において、仮付部材６Ｄに密
着させる方向に供給方向の積層体ＩＢの先端部を矯正す
る薄膜矯正装置１６を、前記仮付部材６Ｄの移動経路の
近傍の装置本体８（又は支持部材７或は前段搬送装置！
１４）に設けたことにより、積層体ＩＢの先端部を確実
に仮付部材６Ｄに密着させることができるので、絶縁性
基板１２の導電層上に確実に積層体ＩＢの先端部を仮り
付け（成熱圧ｆｉ）することができる。

さらに、サブバキュームプレート９の下部吸着部９ｂと
回転バキュームプレート１３との間に供給される積層体
ＩＢ（ＩＢ’）に近接した装置本体８（又は前段搬送装
置！Ｅ１４゛、戒は支持部材７）には、′ｇｔｗＸ突出
装置ｉ！１７が設けられている。つまり、薄膜突出装置
１７は、熱圧着ローラ１１に密着させる方向に前記たる
みを持たせた積層体ＩＢ’　を突出させるように構成さ
れている。薄膜突出装置１７の具体的な構成は、第２図
及び第７図で示すように、積層体ＩＢの供給幅方向に延
在して設けられた流体搬送管１７Ａと、この流体搬送管
１７Ａに複数設けられた流体吹付孔１７Ｂとで構成され
ている。

流体搬送管１７Ａは、内部が中空に構成されており、常
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管１７Ａの断面形状は１本実施例では略円形状に
構成されているが、流体搬送管１６Ａと同様に、これに
限定されず、方形状又は楕円形状に構成してもよい。

流体吹付孔１７Ｂは、積層体ＩＢ″の前記たるみを前述
のように突出させる方向（第２図及び第７図に示す矢印
Ｆ方向）に流体を吹き付けるように設けられている。

薄膜突出装置１１７で使用する流体としては、薄膜矯正
装置１６と同様に、空気を使用する。また。

流体としては、不活性ガス等の気体、水、油等の液体を
用いてもよい。

このように、薄膜張付装置において、熱圧着ローラ１１
に密着させる方向に前記たるみを持たせた積層体ＩＢ’
　を矯正する薄膜突出装置１７を、積層体ＩＢ’の近傍
の装置本体８（又は支持部材７或は前段搬送装置１４）
に設けたことにより、積層体ＩＢ’　を確実に熱圧着ロ
ーラ１１に密着させる方向にたるみを持たせることがで
きるので。

特に、回転バキュームプレート１３に積層体ＩＢの後端
部を確実に吸着させることができる。従って、しわ等を
生じることなく、絶縁性基板１２の導電層上に確実に積
層体ＩＢの後端部を熱圧着ラミネートすることができる
。

なお１本発明は、薄膜矯正装置１６又は薄膜突出装置１
７を、積層体ＩＢの供給幅方向に複数設けられた。積層
体ＩＢを前述の如く適正な方向に矯正又は突出させるよ
うに流体を吹き付ける流体吹付ノズルで構成してもよい
。

また、本発明は、′：ａ’ｌＡ矯正装置１６又は薄膜突
出装置１７を、積層体ＩＢの供給幅方向に延在して設け
られた吸引管と、この吸引管に複数設けられた。積層体
ＩＢを前述の如く適正な方向に矯正又は突出させる方向
に吸引する吸引孔とで構成してもよい。

また、本発明は、薄膜矯正装置１６又は薄膜突出装置１
ｔ１７を、積層体ＩＢを前述の如く適正な方向に矯正又
は突出させる突状部材で構成してもよし１゜また１本発明は、ｇ改矯正装置１６を薄膜突出装置１７
で、若しくは薄膜突出装置１７を薄膜矯正装置１６で兼
用することも可能である。

前記熱圧着ローラ１１と後段搬送装置１５の搬送ローラ
１５Ａとの間の装置本体８（又は後段搬送装置１５）に
は、基板ガイド部材１８が設けられている。基板ガイド
部材１８は、積層体ＩＢが熱圧着ラミネートされた基板
１２を、熱圧着ネミネート位置から搬送ローラ１５Ａ及
び１５Ｂの位置までガイドするように構成されている。

基板ガイド部材１８は、特に、第６図で示すように、基
板１２の搬送方向に延在する棒状部をその搬送幅方向に
複数配置したクシ型形状に構成したものである。クシ型
形状に構成された基板ガイド部材１８は、基板１２の搬
送に際して、基板１２との接触面積を小さくし摩擦抵抗
を小さくできるので。

スムーズに基板１２をガイドすることができる。

このように、前記熱圧着ローラ１１と後段搬送袋［１５
の搬送ローラ１５Ａとの間に基板ガイド部材１８を設け
ることにより、特に、薄い基板１２においては、熱圧着
ラミネート後の搬送方向の先端部の垂れ下りを防止し、
搬送ローラ１５Ａ及び１５Ｂに確実に導びき、搬送する
ことができるので、後段搬送装置！１５（基板１２の搬
送経路）におけるトラブルを防止することができる。特
に。

本実施例の薄膜張付装置の搬送装置においては、仮付動
作を行うために、熱圧着ローラ１１が符号１１′を付け
た点線で示す位置から実線で示す位置まで移動する空間
が必要となり、熱圧着ローラ１１と搬送ローラ１５Ａと
の間にかなりの空間が形成されるので、基板ガイド部材
１８は有効である。

なお、本発明は、基板ガイド部材１８を網状構造で構成
してもよい。

また１本発明は、基板ガイド部材１８を板状構造で構成
してもよい。

次に１本実施例の薄膜張付装置による積層体ＩＢの熱圧
着ラミネート方法について、簡単に説明する。

まず最初に１手作業により、剥離ローラ３で分離された
積層体ＩＢの供給方向の先端部を、サブバキュームプレ
ート９と切断装置１０との間に配置する。

次に、前段搬送装置１４の搬送ローラ１４Ａ及びＬ４Ｂ
で搬送される基板１２の搬送方向の先端部が仮付位置に
搬送されると、サブバキュームプレート９で積層体ＩＢ
の先端部を吸着する。積層体ＩＢの吸着後、駆動源９Ａ
で積層体ＩＢの供給経路から離反する位置にサブバキュ
ームプレート９を移動させ、仮付部材６Ｄに積層体ＩＢ
の先端部を吸着させる。この時、メインバキュームプレ
ート６及び仮付部材６Ｄの吸着動作が行われると共に、
薄膜矯正装置１６で積層体ＩＢを矯正できるので、仮付
部材６Ｄに積層体ＩＢの先端部を確実に吸着させること
ができる。なお、連続動作が行われている時は、切断装
置１０で切断された積層体ＩＢの先端部が仮付部材６Ｄ
に吸着される。

この後、駆動源７Ａにより、メインバキュームプレート
６を基板１２に近接する方向に移動させる。この移動に
より、仮付部材６Ｄに吸着された積層体ＩＢの先端部が
絶縁性基板１２の導電層上に仮り付け（成熱圧着）され
る。

積層体ＩＢの仮り付は後、メインバキュームプレート６
及び仮付部材６Ｄの吸着動作を停止し。

駆動源７Ａにより、メインバキュームプレート６及び仮
付部材６Ｄを仮付位置から離反させる。この駆動源７Ａ
は、前述したように、切断装置１０を装置本体８に固定
しているので、小型に構成或は駆動能力を高めて高速動
作できるように構成されている。

この後、符号１１′を付けて点線で示す位置から実線で
示す仮付位置に熱圧着ローラ１１を近接させる。そして
、この熱圧着ローラ１１で積層体ＩＢの先端部が仮り付
けされた絶縁性基板１２を挟持し回転することにより、
絶縁性基板１２の導電層上に積層体ＩＢを熱圧着ラミネ
ートする。この時、メインバキュームプレート６、仮付
部材６Ｄ、サブバキュームプレート９の夫々の吸着動作
は停止しているので、熱圧着ローラ１１には、その回転
力と、基板１２との挟持力とで、積層体ＩＢが供給ロー
ラ２から自動的に供給されるようになっている。

積層体ＩＢが一定量熱圧着ラミネートされると。

メインバキュームプレート６、回転バ・キュームプレー
ト１３の夫々の吸着動作が開始され、駆動源７Ａにより
、メインバキュームプレート６で積層体ＩＢを基板１２
に供給する。この供給速度は、熱圧着ローラ１１による
熱圧着ラミネート速度（熱圧着ローラ１１の周速度）よ
りも速く設定されている。

積層体ＩＢの供給後、メインバキュームプレート６の吸
着動作を停止させて、駆動源７Ａにより、メインバキュ
ームプレート６を離反させる。この離反動作とともに、
サブバキュームプレート９の吸着動作を開始すると共に
、積層体ＩＢの供給経路に近接させ、積層体ＩＢの後端
部（切断部分）を吸着保持する。この吸着により、サブ
バキュームプレート９と回転バキュームプレート１３と
の間にたるみを持たせた積層体ＩＢ’　を形成すること
ができる。このたるみを持たせた積層体ＩＢ’の供給方
向の両端部は、薄膜矯正装置１７の矯正により、サブバ
キュームプレート９の下部吸着部９ｂ、回転バキューム
プレート１３の夫々に確実に吸着させることができる。

前記サブバキュームプレート９で積層体ＩＢの後端部が
吸着保持されると、切断装置１０により、基板１２の寸
法に対応した所定寸法に積層体ＩＢの後端部が切断され
る。

この後、切断装置！１０で切断された積層体ＩＢの後端
部が回転バキュームプレート１３に吸着されると、熱圧
着ローラ１１の回転速度より若干遅い速度で回転バキュ
ームプレート１３が回転し、熱圧着ローラド１による薄
膜張付部と薄膜の後端との間の薄膜に適度のテンション
を与えるので、積層体ＩＢにしわ等を生じることなく、
絶縁性基板１２の導電層上に積層体ＩＢの後端部を熱圧
着ラミネートすることができる。

積層体ＩＢが熱圧着ラミネートされた基板１２は、熱圧
着ローラ１１の回転力により、基板ガイド部材１８を通
して、トラブルを生じることなく。

後段搬送装置１５の搬送ローラ１５Ａ及び１５１Ｋに搬
送される。後段搬送装置１５に搬送された基板１２は、
露光装置に搬送される。

以上１本発明者によってなされた発明を、前記実施例に
基づき具体的に説明したが１本発明は、前記実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて１種々変形し得ることは勿論である。

例えば、本発明は、前記サブバキュームプレート９を、
仮付部材６Ｄに積層体ＩＢの供給方向の先端部を吸着さ
せるサブバキュームプレートと、前記切断装置１０のホ
ルダとして使用されるサブバキュームプレートとで構成
し、夫々を独立に制御してもよい。

また１本発明は、前記実施例の基板１２を予熱した後、
この基板１２に積層体ＩＢを非加熱圧着ローラで熱圧着
ラミネートする薄膜張付装置に使用される搬送装置に適
用することができる。

また１本発明は、建築材として使用される化粧板に保護
膜を張り付ける薄膜張付装置に使用される搬送装置に適
用することができる。

（３）発明の効果本発明によれば、搬送ローラで基板を搬送し。

この搬送経路中に、薄膜を圧着ローラで基板に張り付け
る薄膜張付装置用搬送装置において、前記圧着ローラと
、前記薄膜が張り付けられた基板を搬送する搬送ローラ
との間に、前記圧着ローラから搬送ローラに搬送される
基板をガイドする基板ガイド部材を設けたことにより、
特に、薄い基板においては、薄膜の張り付は後に、搬送
方向の先端部が垂れ下がることを防止し、搬送ローラに
確実に導びき搬送することができるので、搬送経路にお
けるトラブルを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例である薄膜張付装置の概略
構成図、第２図は、前記第１図の要部拡大構成図、第３図は、前
記第１図に示すメインバキュームプレートの部分断面斜
視図、第４図は、前記第２図における矢印■方向から見た概略
平面図、第５図は、前記第４図の■−■線で切った要部断面図。第６図は、前記第１図及び第２図に示す熱圧着ローラ及
び基板ガイド部材の要部斜視図。第７図は、前記第１図及び第２図に示す薄膜矯正装置及
び霧膜突出装置の要部斜視図である。図中、ＩＢ・・・積層体（薄膜）、２・・・供給ローラ
。６・・・メインバキュームプレート（薄膜供給部材）、
６Ｄ・・・仮付部材、７・・・支持部材、７Ａ、９Ａ・
・・駆動源、８・・・装置本体、９・・・サブバキュー
ムプレート、１０・・・切断装置、ＩＯＡ・・・ガイド
部材、１０Ｂ・・・移動部材、１０Ｃ・・・円板状カッ
ター、１１・・・熱圧着ローラ、１２・・・絶縁性基板
、１３・・・回転バキュームプレート（回転吸着部材）
、１４．１５・・・搬送装置、１４Ａ、１４Ｂ、１５Ａ
、１５Ｂ・・・搬送ローラ、１６・・・薄膜矯正装置、
１７・・・薄膜突出装置、１８・・・基板ガイド部材で
ある。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）搬送ローラで基板を搬送し、この搬送経路中に、
薄膜を圧着ローラで基板に張り付ける薄膜張付装置用搬
送装置において、前記圧着ローラと、前記薄膜が張り付
けられた基板を搬送する搬送ローラとの間に、前記圧着
ローラから搬送ローラに搬送される基板をガイドする基
板ガイド部材を設けたことを特徴とする薄膜張付装置用
搬送装置。
（２）前記基板ガイド部材は、基板の搬送方向に延在す
る棒状部を前記搬送方向と直交する搬送幅方向に複数配
置したクシ型形状で構成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載の薄膜張付装置用搬送装置。
（３）前記基板ガイド部材は、網状構造で構成されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の薄膜
張付装置用搬送装置。
（４）前記基板ガイド部材は、板状構造で構成されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の薄膜
張付装置用搬送装置。
（５）前記圧着ローラは、薄膜の先端部を基板に仮り付
けする仮付動作時には基板から離反した位置に配置され
、この仮付動作後に薄膜が仮付けされた基板に接触し、
薄膜を圧着し張り付けるように構成されていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の薄膜張付装置用
搬送装置。
（６）前記圧着ローラは、仮付動作時には薄膜が張り付
けられた基板を搬送する搬送ローラ側に離反した位置に
配置されることを特徴とする特許請求の範囲第５項に記
載の薄膜張付装置用搬送装置。