JPH0261024B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はプリント配線基板製造用感光性ドライ
フイルムレジストを導電性金属貼り積層板上に良
好に熱圧着せしめる方法及び該方法を実施するた
めの装置に関するものである。

近年、電子工学技術は急速な進歩を遂げ、各種
プリント配線基板の製造が実施されて来ている。
かかるプリント配線基板の製造は、導電性金属貼
り積層板上にデユポン社製の「リストン」やチオ
コール・ダイナケム社製の「ラミナー」などの商
品名で代表される常温固体型で且つ可撓性を有す
るタイプのフイルム状または常温液体型のプリン
ト配線基板製造用感光性樹脂組成物を塗布または
熱圧着せしめた後、その感光性樹脂組成物に配線
パターンが描かれているネガフイルムまたはポジ
フイルムを通して活性光線を照射し、活性光線を
照射された部分の感光性樹脂組成物を光重合また
は光崩壊せしめ、その感光性樹脂組成物が光重合
型である場合には未光重合部分をまたその感光性
樹脂組成物が光崩壊型である場合には光崩壊部分
を溶剤で除去して感光性樹脂組成物が除去されて
導電性金属貼り積層板の導電性金属が露出した状
態とし、その露出した導電性金属部をその導電性
金属用溶解液によつてエツチング除去し、しかる
後に導電性金属貼り積層板上に残つている溶解液
に対してレジスト材としての役目を成していた感
光性樹脂組成物を剥離液で除去することによつて
行なつている。

このようにしてプリント配線基板を製造するに
際し、プリント配線基板製造用感光性樹脂組成物
として常温固体型のフイルムレジストを使用する
場合に製造されるプリント配線基板の良否を決定
付ける最も重要な要件は、導電性金属貼り積層板
上にプリント配線基板製造用ドライフイルムレジ
スト（以下において単にフイルムレジストと言う
ことがある）を熱圧着せしめる際に該フイルムレ
ジストにシワやスリ疵が生じたり、導電性金属貼
り積層板と該フイルムレジストとの間に空気の抱
込みが生じたりするという該フイルムレジストと
該導電性金属貼り積層板との密着性に関する諸問
題と活性光線照射前に導電性金属貼り積層板と光
線照射ランプとの間に存在する塵埃や異物に起因
する諸問題である。このような問題の中で塵埃や
異物に起因する諸問題は導電性金属貼り積層板上
に熱圧着されたフイルムレジストに活性光線を照
射してその感光性樹脂組成物を光重合又は光崩壊
せしめる際に活性光線を遮光したり散乱・収束し
たりする現象を塵埃や異物が惹起する結果、製造
されるプリント配線基板の配線に線細りや線太り
や断線などが生じて所望のプリント配線基板を得
ることができない問題である。そしてこの問題は
プリント配線基板の製造現象を改善して、塵埃や
異物などがプリント配線基板の製造環境に混入し
なにようにすることで解決できる。

しかしながら、導電性金属貼り積層板上にフイ
ルムレジストを熱圧着せしめる際に該フイルムレ
ジストにシワやスリ疵が生じたり、導電性金属貼
り積層板と該フイルムレジストとの間に空気の抱
込みが生じたりする密着性に関する諸問題は、こ
のようなシワやスリ疵や空気の抱込みが存在する
と光線照射ランプから照射された活性光線が散乱
されたり収束されたりしてフイルムレジストの光
重合又は光崩壊すべき部分に充分な光重合又は光
崩壊が生じなかつたり、又は全く光重合又は光崩
壊が生じなかつたり、更には光重合又は光崩壊し
てはいけない部分まで光重合又は光崩壊が生じ、
またたとえ光重合又は光崩壊が充分に行われたと
しても導電性金属貼り積層板からレジスト材が浮
き上がつてエツチングやメツキなどの後工程での
画像の信頼性が失なわれて非常に高い精密度を生
命とするプリント配線基板としての要求に合致し
なくなる問題である。この問題は、従来はフイル
ムレジストを導電性金属貼り積層板上に熱圧着せ
しめる場合に該フイルムレジストを固定加熱体の
表面に接触させて滑らせて熱圧着温度に加熱後に
加圧ロールによつて導電性金属貼り積層板上に熱
圧着せしめる方法が、加熱された一本の回転ゴム
ロールによつてフイルムレジストの加熱と熱圧着
とを同時に行う方法かのいずれかであつたため
に、前者の方法では固定加熱体とフイルムレジス
トの接触摺動により該フイルムレジストにスリ疵
が発生すると共に加熱体が固定されていて且つ熱
圧着温度に達しているために固定加熱体と該フイ
ルムレジストの接触ムラによる加熱ムラが生じ易
く、そして僅かな接触ムラによつても該フイルム
レジストに局部的な伸縮ムラを生ぜしめてその伸
縮ムラがそのまま加圧して熱圧着せしめる工程に
移行されるのでシワや亀甲模様や空気の抱込みを
生ぜしめることになつてしまい、また後者の方法
ではフイルムレジストが加熱された１本の回転ゴ
ムロールより成る加圧熱圧着ロールに接触した際
にその加熱によつて伸縮し、その伸縮がそのまま
導電性金属貼り積層板上に転写された状態でフイ
ルムレジストが熱圧着されるためにシワやタルミ
や空気の抱込みを生ぜしめることになつてしまう
のである。このような問題は導電性金属貼り積層
板上にフイルムレジストを熱圧着せしめる方法自
体の欠陥であり、この欠陥は従来の熱圧着方法で
は解決できない問題であつた。また、従来方法で
は加熱後か加熱しながらフイルムレジストを導電
性金属貼り積層板上に熱圧着を行う結果、感光性
樹脂組成物の変成が生じるため、非常に高い精度
を生命とするプリント配線基板の性能につながる
ばかりでなく、加熱による臭気が発生するため環
境衛生上の大きな問題を生じていたのである。

本発明者らはかかる従来のフイルムレジスト熱
圧着方法の欠陥を除去すべく鋭意研究を重ねた結
果、固定加熱体を用いず、予め第１段階として熱
圧着温度よりも低い温度でフイルムレジストを導
電性金属貼り積層板上に重ねてシワやタルミや空
気の抱込みのない状態のままでロール加圧して予
備接着せしめてから後に第２段階として熱圧着温
度でロール加圧を行えば、上記の良好な状態をそ
のまま維持すると共に性能の向上及び環境衛生上
全く問題のない熱圧着を行い得ることを究明し、
本発明を完成したのである。

本発明はフイルムレジストをスリ疵やシワやタ
ルミや空気の抱込みなく性能の変化がなく且つ安
全に導電性金属貼り積層板上に熱圧着せしめる方
法及びその実施に使用される装置を提供すること
を目的とする。

即ち、本発明の一つはプリント配線基板製造用
感光性ドライフイルムレジストを導電性金属貼り
積層板上に熱圧着せしめるに際し、第１段階にお
いて熱圧着温度より低い温度範囲で加圧ロールに
よりプリント配線基板製造用感光性ドライフイル
ムレジストを導電性金属貼り積層板上に加圧して
予備接着せしめ、続いて第２段階において熱圧着
温度で加圧ロールにより加圧して熱圧着を完成す
ることを特徴とするプリント配線基板製造用感光
性ドライフイルムレジストの熱圧着方法に関する
ものである。

本発明の他の一つは、以下の４つの装置(a)，
(b)，(c)，及び(d)を備えていることを特徴とするプ
リント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジ
ストの熱圧着装置に関するものである。

(a) プリント配線基板製造用感光性ドライフイル
ムレジストをコイル状に捲き付けられているボ
ビンが回転自在に装着されているフイルムレジ
スト支持装置、 (b) 該ボビンから該フイルムレジストを引き出す
と共にそれぞれ熱融圧温度未満の温度に保持さ
れていて該フイルムレジストを導電性金属貼り
積層板に予備接着せしめるための上部加圧ロー
ル及び下部加圧ロールと、該上・下両加圧ロー
ルの一者以上を上下動せしめる圧力付与装置
と、該上・下両加圧ロールの一者以上を駆動す
る駆動用モータとから成る第１段階加圧装置、 (c) 所定の熱圧着温度に少なくとも一者以上が保
持されていて該第１段階の加圧装置を経た予備
接着体を加熱・加圧して該フイルムレジストを
該導電性金属貼り積層板に熱圧着せしめるため
の上部加圧ロール及び下部加圧ロールと、該
上・下両加圧ロールの一者以上を上下動せしめ
る圧力付与装置と、該上・下両加圧ロールの一
者以上を駆動する駆動用モータとから成る第２
段階加圧装置、 (d) 導電性金属貼り積層板を第１段階及び第２段
階の各下部加圧ロール上に供給するガイド装
置。

以下、図面により先ず本発明装置について詳細
に説明する。

第１図は本発明に係るプリント配線基板製造用
感光性ドライフイルムレジストの熱圧着装置の１
実施例の平面図、第２図は同Ａ−Ａ線断面図、第
３図及び第４図は本発明において使用するフイル
ムレジストの構造を示す拡大断面図、第５図及び
第６図は本発明方法を実施してフイルムレジスト
を導電性金属貼り積層板に熱圧着せしめた状態を
示す拡大断面図である。

図面中、１はプラスチツク製などのボビン３に
コイル状に捲き付けられているフイルムレジスト
であり、このフイルムレジスト１としては第３図
に示した如く光重合型又は光崩壊型で可撓性を有
する感光性ドライレジスト用組成物１ａを中間層
としその片面に感光性ドライレジスト用組成物１
ａをフイルム状に形状保持する支持体フイルム１
ｂが貼着され他方の片面に防塵を目的としたカバ
ーフイルム１ｃが貼着されている三層構造のもの
と、第４図に示す如くカバーフイルム１ｃが貼着
されていない二層構造のものとがある。２はフイ
ルムレジスト１がコイル状に捲き付けられている
ボビン３を回転自在に装着されるフイルムレジス
ト支持装置である。４及び５はフイルムレジスト
１が第３図に示した如く三層構造である場合に必
要な装置であり、４はボビン３から捲き出されて
後述する第１段階加圧装置の加圧ロールに至る前
にカバーフイルム１ｃを剥離させて捲き戻すため
のガイドロール５によつて剥離されたカバーフイ
ルム１ｃを捲き取る捲取ボビンであり、この捲取
ボビン４は図示した実施例ではその周囲に捲き取
られるカバーフイルム１ｃが常にボビン３に抱か
れているフイルムレジスト１に当接するように自
重によりボビン３側に移動し得るように保持され
ており、フイルムレジスト１が捲き出される際に
そのフイルムレジスト１のコイルの回転によつて
回転せしめられてカバーフイルム１ｃを捲き取つ
ているが、別途駆動用のトルクモータなどによつ
て駆動されてもよい。６はボビン３から捲き出さ
れたフイルムレジスト１（三層構造である場合は
カバーフイルム１ｃが剥離された後のもの）を別
途供給される銅張り積層板などの導電性金属貼り
積層板１０に予備接着させるための上部加圧ロー
ルであり、図示した実施例ではこの上部加圧ロー
ル６は圧力付与装置７によつて上下動せしめられ
て所定の加圧を付与せしめられる。８は上部加圧
ロール６と対向した位置に配置されており、図示
した実施例では駆動用モータ９により駆動されて
導電性金属貼り積層板１０を送り出す下部加圧ロ
ールであり、上部加圧ロール６と共に熱圧着温度
よりも低い温度である一般には常温〜90℃好まし
くは常温〜50℃の温度に保持されている（温度調
節装置は必要に応じて上部加圧ロール６及び／又
は下部加圧ロール８に設けられるが図示しない）。
上部加圧ロール６、下部加圧ロール８、圧力付与
装置７、及び駆動用モータは第１段階加圧装置を
構成し、上部加圧ロール６と下部加圧ロール８と
の間でフイルムレジスト１と導電性金属貼り積層
板１０とが挾持されつつ移動することによつて連
続的に予備接着される。１１は第１段階加圧装置
で予備接着された予備接着体を熱圧着温度好まし
くは50〜120℃加圧してフイルムレジスト１を導
電性金属貼り積層板１０に熱圧着せしめるための
上部加圧ロールであり、図示した実施例ではこの
上部加圧ロール１１は圧力付与装置１２によつて
上下動せしめられて所定の圧力を付与せしめられ
る。１３は上部加圧ロール１１に対向した位置に
配置されている下部加圧ロールであり、図示した
実施例ではこの下部加圧ロール１３は熱圧着温度
以上に温度調節されていて（温度調節装置は図示
しない）駆動モータ１４により駆動されて導電性
金属貼り積層板１０を移動させてフイルムレジス
ト１を熱圧着された熱圧着体として送り出す。上
部加圧ロール１１、下部加圧ロール１３、圧力付
与装置１２、及び駆動モータ１４は第２段階加圧
装置を構成し、上部加圧ロール１１と下部加圧ロ
ール１３との間でフイルムレジスト１と導電性金
属貼り積層板１０との予備接着体が加圧下に加圧
されて移動することにより連続的に熱圧着され
る。上部加圧ロール６，１１及び不部加圧ロール
８，１３はフイルムレジスト１にスリ疵などを発
生せしめないようにまた導電性金属貼り積層板１
０が可撓性を有していたり多少変形していたりし
ても自由に熱圧着し得るようにネオプレンゴムや
シリコンゴムの如き弾性体がライニングされたも
のであることが好ましい。なお、圧力付与装置
７，１２と駆動用モータ９，１４とはいずれも第
１段階加圧装置及び第２段階加圧装置のそれぞれ
において上部加圧ロールまたは下部加圧ロールの
一者以上に設けられればよい。１５は所定の大き
さに切断された導電性金属貼り積層板１０又はそ
れとフイルムレジスト１との予備接着体を下部ロ
ール８又は１３上に供給するガイド装置であり、
ガイド板やガイドロールやベルトコンベアなど所
望のガイド機構を備えたものが使用できる。

次に本発明方法についてその実施に使用する装
置の一例として示した上記の装置を用いて具体的
に詳細に説明する。

先ずフイルムレジスト１がコイル状に捲き付け
られているボビン３をフイルムレジスト支持装置
２に回転自在に装遅する。次にこのボビン３から
フイルムレジストを撓き出し、ガイドロール５を
経て第１段階加圧装置に導き、更に第２段階加圧
装置に導く。各段階の加圧装置においては具体的
には圧力付与装置７，１２を介して移動せしめら
れた上部加圧ロール６，１１と下部加圧ロール
８，１３との間にフイルムレジスト１を誘導す
る。この際、フイルムレジスト１が第３図に示す
如く片側から支持体フイルム１ｂと感光性ドライ
レジスト組成物１ａとカバーフイルム１ｃとより
成る三層構造の場合にはカバーフイルム１ｃはガ
イドロール５によつて剥離されて捲取ボビン４に
よつて捲き取るように誘導しておく必要がある。
しかる後にフイルムレジスト１を上部加工ロール
６，１１と下部加圧ロール８，１３との間にセツ
トできるだけの間隙が形成できるように圧力付与
装置７，１２によつて上部加圧ロール６，１１を
移動させ、フイルムレジスト１がシワがなく且つ
左右にずれない状態になつていることを確認後、
圧力付与装置７，１２を再び作動させてフイルム
レジスト１に所定の圧力をかける。所定の圧力と
しては使用するフイルムレジスト１や導電性金属
貼り積層板１０の材質にもよるが通常第１段階加
圧装置では３Kg／cm²〜30Kg／cm²、第２段階加圧装
置では３Kg／cm²〜50Kg／cm²の各範囲が適当であ
る。かかる状態で上部加圧ロール６及び下部加圧
ロール８が所定の温度即ち熱圧着温度よりも低い
温度、好ましくはフイルムレジストに変形を与え
る恐れのない温度、一般には室温〜50℃に保持さ
れていることを確認する。さらに本装置例におい
ては下部加圧ロール１３が熱圧着温度、一般には
50〜120℃に温度調節されていることを確認する。
この下部加圧レロール１３の温度は当然ながらフ
イルムレジスト１を変質ないしは分解せしめる温
度であつてはならない。上記の如く各加圧ロール
の温度を確認した後、駆動用モータ９及び１４を
回転せしめて下部加圧ロール８及び１３を駆動す
ると共にガイド装置１５に沿つて導電性金属貼り
積層板１０を下部加圧ロール８上に供給する。導
電性金属貼り積層板１０は１段階加圧装置におい
てフイルムレジスト１と重なり合わされ加圧され
るが、上・下加圧ロール６，８の温度が熱圧着温
度よりも低い温度に保持されていて伸縮ムラを生
じないため、フイルムレジスト１は全くシワ、タ
ルミ、空気の抱込みもなく熱による変成及び臭気
が全く発生することなく導電性金属貼り積層板１
０の上に加圧され、軽い接着状態に予備接着され
る。このように予備接着された予備接着体は第１
段階加圧装置を通過した後そのままガイド装置１
５によつて第２段階加圧装置に導かれ、ここにお
いて熱圧着温度に調節された下部加圧ロール１３
に接して熱圧着温度に加熱され上部加圧ロール１
１によつて所定の圧力でフイルムレジスト１にシ
ワ、タルミ、空気の抱込みのない状態で加圧され
ることよりフイルムレジスト１と導電性金属貼り
積層板１０との熱圧着を良好に完成せしめること
ができるものである。

なお、以上の実施例ではフイルムレジスト１を
導電性金属貼り積層板１０の片面に熱圧着せしめ
るものであるが導電性金属貼り積層板１０の両面
にフイルムレジスト１を熱圧着せしめる場合には
フイルムレジスト支持装置２及びガイドロール５
などを下方にも設置してフイルムレジスト１を導
電性金属貼り積層板１０の両面に第１段階加圧装
置及び第２段階加圧装置に導けばよい。

以下に実施例により本発明について更に説明す
る。

実施例 １ フイルムレジスト１として感光性ドライフイル
ムレジスト組成物１ａとして厚さ50μの紫外線重
合型感光性ドライフイルムレジスト組成物（商品
名：旭化成DFR T50、旭化成工業(株)製）、を使
用した第３図に示す如き三層構造体で幅300mmの
ものを使用し、この上下にそれぞれ配置されたフ
イルムレジスト１よりカバーフイルム１ｃをそれ
ぞれ剥離した状態で、上下加圧ロール６，８の各
ロール表面温度が室温（20℃）にあつて上部加圧
ロールの圧力が５Kg／cm²で、ロール周速度1.5
ｍ／分で回転している第１段加圧装置の上・下加
圧ロール６，８間に誘導し、上下加圧ロール６，
８間を通過したものを更に圧力７Kg／cm²で加圧さ
れていてロール周速1.5ｍ／分で回転している第
２段階加圧装置のロール表面温度70℃の上・下部
加圧ロール１１，１３の間に前記フイルムレジス
ト１を誘導した。このフイルムレジスト１と第１
段階加圧装置の下部加圧ロール８との間にガイド
装置１５により松下電工(株)製の厚さ1.6mmのガラ
スエポキシ両面銅貼り積層板Ｒ１７０５より成る
幅250mm、長さ200mmの導電性金属貼り積層板１０
を20枚連続して供給したところ、第１段階加圧装
置でスリ疵、シワ、タルミ、空気の抱込みのない
予備接着体が形成され、続いて第２段加圧装置で
熱圧着が完成されて得られた第６図に示す如き構
造の熱圧着製品のすべてはフイルムレジスト１の
面にはスリ疵、シワ、タルミ、空気の抱込みのな
い美麗なものであり、熱圧着後14日間放置後や反
り、及び感光性ドライフイルムレジスト組成物１
ａのクラツク、破断が全く発生しない熱圧着製品
が得られた。この熱圧着製品を使用して配線パタ
ーンを製作したところ、線幅60μにおいて線細り
や線太りや断線などの全くない綺麗なプリント配
線基板を製造することができた。

実施例 ２ フイルムレジスト１として感光性ドライレジス
ト組成物１ａの片面に支持体フイルム１ｂがまた
他面にカバーフイルム１ｃが貼着されている第３
図に示す如き三層構造体より成るチオコールダイ
ナケム社製ラミナー（厚さ1.0ミル、幅330mmの）
を使用し、上・下加圧ロール６，８の各ロール表
面温度が35℃で、上部加圧ロールの圧力が７Kg／
cm²で、ロール周速度1.0ｍ／分で回転している第
１段階加圧装置の上・下加圧ロール６，８間に誘
導し、更に続いて圧力10Kg／cm²で加圧されていて
ロール周速1.0ｍ／分で回転している第２段階加
圧装置のロール表面温度が室温の上部加圧ロール
１１とロール表面温度60℃の下部加圧ロール１３
との間に前記フイルムレジスト１を誘導した。こ
のフイルムレジスト１と第１段階加圧装置の下部
加圧ロール８との間に松下電工(株)製の厚さ0.8mm
のガラスエポキシ片面銅貼り積層板Ｒ１７００よ
り成る300mm、長さ400mmの導電性金属貼り積層板
１０を25枚連続して供給したところ、得られた第
５図に示す如き構造の熱圧着製品のすべてが実施
例１と同様に、フイルムレジスト１側にスリ疵、
シワ、タルミ、空気の抱込みが全くない美しいも
のであつた。

以上詳細に説明したように、本発明に係るプリ
ント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジス
トの熱圧着方法は、プリント配線基板製造時にお
ける精度の良否を決定する線の精度を左右するフ
イルムレジストを熱圧着する工程でスリ疵やシワ
やタルミや空気の抱込みを防止すると共に感光性
樹脂組成物の変成がなく臭気が全く発生しない環
境衛生上全く問題のない技術を確立したものであ
り、また本発明に係るプリント配線基板製造感光
性ドライフイルムレジストの熱圧着装置は上記本
発明方法を実施するための装置であり、従来フイ
ルムレジストを導電性金属貼り積層板上にスリ疵
やシワやタルミや空気の抱込みが全く存在しない
状態で熱圧着できなかつたために精度の良いプリ
ント配線基板が製造できなかつた欠点を完全に解
消できるようにすると共に感光性樹脂組成物の変
成がなく臭気が全く発生しない環境衛生上全く問
題のない方法及び装置であり、その工業的価値は
非常に大きなものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るプリント配線基板製造用
感光性ドライフイルムレジストの熱圧着装置の１
実施例の平面図、第２図は同Ａ−Ａ線断面図、第
３図及び第４図は本発明において使用するフイル
ムレジストの構造を示す断面図、第５図及び第６
図は本発明方法を実施してフイルムレジストを導
電性金属貼り積層板に熱圧着した状態を示す拡大
断面図である。 １：プリント配線基板製造用ドライフイルムレ
ジスト、１ａ：感光性ドライレジスト組成物、１
ｂ：支持フイルム、１ｃ：カバーフイルム、２：
フイルムレジスト支持装置、３：ボビン、４：捲
取ボビン、５：ガイドロール、６：上部加圧ロー
ル、７：圧力付与装置、８：下部加圧ロール、
９：駆動用モータ、１０：導電性金属貼り積層
板、１１：上部加圧ロール、１２：圧力付与装
置、１３：下部加圧ロール、１４：駆動モータ、
１５：ガイド装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ プリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストを導電性金属貼り積層板上に熱圧着せ
   しめるに際し、第１段階において熱圧着温度より
   低い温度範囲で加圧ロールによりプリント配線基
   板製造用感光性ドライフイルムレジストを導電性
   金属貼り積層板上に加圧して予備接着し、続いて
   第２段階において熱圧着温度で加圧ロールにより
   加圧して熱圧着を完成することを特徴とするプリ
   ント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジス
   トの熱圧着方法。 ２ 第１段階における熱圧着温度より低い温度範
   囲が室温である特許請求の範囲第１項に記載のプ
   リント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジ
   ストの熱圧着方法。 ３ 以下の４つの装置を備えていることを特徴と
   するプリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストの熱圧着装置。 (a) プリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストをコイル状に捲き付けられているボ
   ビンが回転自在に装着されるフイルムレジスト
   支持装置。 (b) 該ボビンから該フイルムレジストを引き出す
   と共にそれぞれ熱圧着温度未満の温度に保持さ
   れていて該フイルムレジストを導電性金属貼り
   積層板に予備接着せしめるための上部加圧ロー
   ル及び下部加圧ロールと、該上・下両加圧ロー
   ルの一者以上を上下動せしめる圧力付与装置
   と、該上・下両加圧ロールの一者以上を駆動す
   る駆動用モータとから成る第１段階加圧装置、 (c) 所定の熱圧着温度に少なくとも一者以上が保
   持されていて該第１段階の加圧装置を経た予備
   接着体を加熱・加圧して該フイルムレジストを
   該導電性金属貼り積層板に熱圧着せしめるため
   の上部加圧ロール及び下部加圧ロールと、該
   上・下両加圧ロールの一者以上を上下動せしめ
   る圧力付与装置と、該上・下両加圧ロールの一
   者以上を駆動する駆動用モータとから成る第第
   ２段階加圧装置、 (d) 導電性金属貼り積層板を第１段階及び第２段
   階の各下部加圧ロール上に供給するガイド装
   置。 ４ 上部加圧ロール及び下部加圧ロールの一者以
   上がネオプレンゴムライニングされたものである
   特許請求の範囲第３項に記載のプリント配線基板
   製造用感光性ドライフイルムレジストの熱圧着装
   置。 ５ 上部加圧ロール及び下部加圧ロールの一者以
   上がシリコンゴムライニングされたものである特
   許請求の範囲第３項に記載のプリント配線基板製
   造用感光性ドライフイルムレジストの熱圧着装
   置。