JPS637477B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はプリント配線基板製造用感光性ドライ
フイルムレジストフイルムを導電性金属貼り積層
板上に良好にラミネートする方法及び該方法を実
施するための装置に関するものである。

近年、電子工学技術は急速な進歩を遂げ、各種
プリント配線基板の製造が実施されて来ている。
かかるプリント配線基板の製造は導電性金属貼り
積層板上にデユポン社製の「リストン」やチオコ
ール・ダイナケム社製の「ラミナー」などの商品
名で代表される常温固体型で且つ可撓性を有する
タイプのフイルムまたは常温液体型のプリント配
線基板製造用感光性樹脂組成物を塗布またはラミ
ネートした後、その感光性樹脂組成物に配線パタ
ーンが描かれているネガフイルムまたはポジフイ
ルムを通して光線を照射し、光線を照射された部
分の感光性樹脂組成物を光重合又は光崩壊せし
め、その感光性樹脂組成物が光硬化型である場合
には未光重合部分をまたその感光性樹脂組成物が
光崩壊型である場合には光崩壊部分を溶剤で除去
して感光性樹脂組成物が除去されて導電性金属貼
り積層板の導電性金属が露出した状態とし、その
露出した導電性金属部を溶解液によつてエツチン
グ除去し、しかる後に導電性金属貼り積層板上に
残つている溶解液に対してレジスト剤としての役
目を成していた感光性樹脂組成物を剥離液で除去
することによつて行なつている。

このようにしてプリント配線基板を製造するに
際し、プリント配線基板製造用感光性樹脂組成物
として常温固体型のフイルムレジストを使用する
場合に製造されるプリント配線基板の良否を決定
付ける最も重大な要件は、導電性金属貼り積層板
上にプリント配線基板製造用感光性樹脂ドライフ
イルムレジストをラミネートする際に該フイルム
レジストにシワやスリ疵が生じたり、導電性金属
貼り積層板と該フイルムレジストとの間に空気の
抱込みが生じたりすることに起因する諸問題と光
線照射前に導電性金属貼り積層板と光線照射ラン
プとの間に存在する塵埃や異物に起因する諸問題
である。

このような諸問題の中で、塵埃や異物に起因す
る諸問題は導電性金属貼り積層板上にラミネート
されたプリント配線基板製造用感光性樹脂ドライ
フイルムレジストに光線を照射してその感光性樹
脂組成物を光重合又は光崩壊せしめる際に光線を
遮光したり散乱・収束したりする現象を塵埃や異
物が惹起する結果、製造されるプリント配線基板
の配線に線細りや線太りや断熱などが生じて所望
のプリント配線基板を得ることができない問題で
ある。しかしながら、この問題はプリント配線基
板の製造環境を改善して、塵埃や異物などがプリ
ント配線基板の製造環境に混入しないようにする
ことで解決できる。

しかしながら、導電性金属貼り積層板上にプリ
ント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジス
トをラミネートする際に該フイルムレジストにシ
ワやスリ疵が生じたり、導電性金属貼り積層板と
該フイルムレジストとの間に空気の抱込みが生じ
たりすることに起因する諸問題は、このようなシ
ワやスリ疵や空気の抱込みが存在すると光線照射
ランプから照射された光線が散乱されたり収束さ
れたりしてプリント配線基板製造用感光性ドライ
フイルムレジストに光重合又は光崩壊の差や光重
合又は光崩壊すべき部分の未光重合又は未光崩壊
や、光重合又は光崩壊してはいけない部分までの
光重合又は光崩壊が生じ、非常に高い精密度を生
命とするプリント配線基板としての要求に合致し
なくなる問題である。この問題は、従来はプリン
ト配線基板製造用感光性ドライフイルムレジスト
を導電性金属貼り積層板上にラミネートする場合
に該フイルムレジストを固定加熱体の表面に接触
させて滑らせて加熱後にラミネートロールによつ
て導電性金属貼り積層板上にラミネートする方法
か、加熱された１本の回転ゴムロールによつてプ
リント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジ
ストの加熱とラミネートとを同時に行なつている
方法かのいずれかであつたために、前者の方法で
は固定加熱体とプリント配線基板製造用感光性ド
ライフイルムレジストとの接触摺動により該フイ
ルムレジストにスリ疵が発生すると共に加熱体が
固定されているために固定加熱体と該フイルムレ
ジストとに接触ムラによる加熱ムラが生じて該フ
イルムレジストに局部的な伸縮ムラが生じてその
伸縮ムラがそのままラミネート工程に移行される
のでシワや亀甲模様や空気の抱込みを生ぜしめる
ことになつてしまい、また後者の方法ではプリン
ト配線基板製造用感光性ドライフイルムレジスト
が加熱された１本の回転ゴムロールより成るラミ
ネートロールに接触した際にその加熱によつて伸
縮し、その伸縮がそのまま銅貼り積層板上に転写
された状態でプリント配線基板製造用感光性ドラ
イフイルムレジストがラミネートされるためシワ
やタルミや空気の抱込みを生ぜしめることになつ
てしまうのである。このような導電性金属貼り積
層板上にプリント配線基板製造用感光性ドライフ
イルムレジストをラミネートする方法自体の欠陥
であり、この欠陥は従来のラミネート方法では解
決できない問題であつた。

本発明者らはかかる従来のプリント配線基板製
造用感光性ドライフイルムレジストのラミネート
方法の欠陥を除去すぺく鋭意研究を重ねた結果、
導電性金属貼り積層板上にラミネートされるプリ
ント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジス
トをラミネートロールに至る直前で加熱用駆動ロ
ールにより所定の温度に加熱すると共に該加熱用
駆動ロールと該ラミネートロールとの周速に速度
差を設けてプリント配線基板製造用感光性ドライ
フイルムレジストの加熱による伸縮をその速度差
によつて吸収せしめれば、導電性金属貼り積層板
上にラミネートされたプリント配線基板製造用感
光性ドライフイルムレジストにはシワやタルミや
空気の抱込みなどが生じず、良好にラミネートす
ることができることを究明し、本発明を完成した
のである。

すなわち、本発明はプリント配線基板製造用感
光性ドライフイルムレジストを導電性金属貼り積
層板上にラミネートするに際し、プリント配線基
板製造用感光性ドライフイルムレジストを加熱用
駆動ロールにより所定の温度に加熱して送り出
し、その直後に設けたラミネートロールを該加熱
用駆動ロールによつて加熱されたことによるプリ
ント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジス
トの伸縮に対応させて該加熱用駆動ロールの周速
と速度差を設けた周速で回転させてプリント配線
基板製造用感光性ドライフイルムレジストを導電
性金属貼り積層板上にラミネートすることを特徴
とするプリント配線基板製造用感光性ドライフイ
ルムレジストのラミネート方法及び該方法を実施
するための装置を提供するものである。

以下、図面により本発明方法及び本発明装置に
ついて詳細に説明する。

第１図は本発明に係るプリント配線基板製造用
感光性ドライフイルムレジストのラミネート装置
の１実施例の平面図、第２図は同Ａ−Ａ線断面
図、第３図及び第４図は本発明において使用する
プリント配線基板製造用感光性ドライフイルムレ
ジストの構造を示す拡大断面図、第５図及び第６
図は本発明方法を実施してプリント配線基板製造
用感光性ドライフイルムレジストを導電性金属貼
り積層板にラミネートした状態を示す拡大断面図
である。

図面中、１は軸２に回転自在に装着されるプラ
スチツク製などのボビン３にコイル状に捲き付け
られているプリント配線基板製造用感光性ドライ
フイルムレジストであり、このフイルムレジスト
１としては第３図に示した如く光重合型又は光崩
壊型で可撓性を有する感光性ドライレジスト用組
成物１ａを中間層としその片面に感光性ドライレ
ジスト用組成物１ａをフイルム状に形状保持する
支持体フイルム１ｂが貼着され他方の片面に防塵
を目的としたカバーフイルム１ｃが貼着されてい
る三層構造のものと、第４図に示す如くカバーフ
イルムが貼着されていない二重構造のものとがあ
る。４及び５はプリント配線基板製造用感光性ド
ライフイルムレジスト１が第３図に示した如く三
層構造である場合に必要な装置であり、４はボビ
ン３から捲き出されて後述する加熱用駆動ロール
に至る前にカバーフイルム１ｃを剥離させて捲き
戻すためのガイドロール５によつて剥離されたカ
バーフイルム１ｃを捲き取る捲取ボビンであり、
この捲取ボビン４は図示した実施例ではその周囲
に捲き取られるカバーフイルム１ｃが常にボビン
３に捲かれているプリント配線基板製造用感光性
ドライフイルムレジスト１に当接するように自重
によりボビン３側に移動し得るように保持されて
おり、プリント配線基板製造用感光性ドライフイ
ルムレジスト１が捲き出される際にそのプリント
配線基板製造用感光性ドライフイルムレジスト１
のコイルの回転によつて回転せしめられてカバー
フイルム１ｃを捲き取つていく構造になつている
が、別途駆動用のトルクモータなどによつて駆動
されてもよい。

６はボビン３に捲かれているプリント配線基板
製造用感光性ドライフイルムレジスト１を引き出
すと共に熱融着可能な温度まで加熱するために温
調装置（図示なし）により所定の温度に加熱調整
された加熱用駆動ロールであり、この加熱用駆動
ロール６はプリント配線基板製造用感光性ドライ
フイルムレジスト１の表面にスリ疵などを生ぜし
めないように表面にシリコンがライニングされた
ものであることが好ましく、駆動用モータ７によ
つて回転駆動せしめられる。８は加熱用駆動ロー
ル６によつて加熱された直後のプリント配線基板
製造用感光性ドライフイルムレジスト１を別途供
給される銅貼り積層板などの導電性金属貼り積層
板１２にラミネートさせるための上部ラミネート
ロールであり、図示した実施例ではこの上部ラミ
ネートロール８は圧力付与装置９によつて上下動
せしめられて所定のラミネート圧を付与せしめら
れる。１０は上部ラミネートロール８と対向した
位置に配置されており図示した実施例では駆動用
モータ１１により駆動されて導電性金属貼り積層
板１２を送り出す下部ラミネートロールであり、
この下部ラミネートロール１０と上部ラミネート
ロール８との間で導電性金属貼り積層板１２とプ
リント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジ
スト１とが挾持されつつ移動することによつて連
続的にラミネートされる。この上部及び下部のラ
ミネートロール８及び１０はプリント配線基板製
造用感光性ドライフイルムレジスト１にスリ疵な
どを発生せしめないようにネオプレンゴムがライ
ニングされたものであることが好ましい。なお、
圧力付与装置９と駆動用モータ１１とはいずれも
ラミネートロール８及び１０の一者以上に設けら
れていればよい。１３は加熱用駆動ロール６を駆
動する駆動用モータ７とラミネートロール８，１
０の一者以上を駆動する駆動用モータ１１との一
者以上に接続された駆動速度精密可変調整装置で
あり、この駆動速度精密可変調整装置１３を操作
することによつて加熱用駆動ロール６とラミネー
トロール８，１０との周速に所望の速度差を設け
ることができる。１４は所定の大きさに切断され
た導電性金属貼り積層板１２を下部ラミネートロ
ール１０上に供給するガイドであり、ガイド板や
ガイドロールやベルトコンベヤなど所望のガイド
機能を備えたものが使用できる。

かかる構造の本発明装置によりプリント配線基
板製造用ドライフイルムレジスト１を導電性金属
貼り積層板１２上にラミネートする操作について
次に説明する。

先ずプリント配線基板製造用感光性ドライフイ
ルムレジスト１がコイル状に捲き付けられている
ボビン３を軸２に回転自在に装着する。次にこの
ボビン３からプリント配線基板製造用感光性ドラ
イフイルムレジスト１を捲き出し、ガイドロール
５及び加熱用駆動ロール６を経て、圧力付与装置
９を介して移動せしめられた上部ラミネートロー
ル８と下部ラミネートロール１０との間に誘導す
る。この際、プリント配線基板製造用感光性ドラ
イフイルムレジスト１が第３図に示す如く片側か
ら支持体フイルム１ｂと感光性ドライレジスト組
成物１ａとカバーフイルム１ｃとより成る三層構
造の場合にはカバーフイルム１ｃをガイドロール
５によつて剥離されて捲取ボビン４によつて捲き
取るように誘導しておく必要がある。しかる後に
プリント配線基板製造用感光性ドライフイルムレ
ジスト１を上部ラミネートロール８と下部ラミネ
ートロール１０との間にセツトできるだけの間隙
が形成できるように圧力付与装置９によつてラミ
ネートロール８及び／又は１０を移動させ、プリ
ント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジス
ト１がシワがなく且つ左右にずれない状態になつ
ていることを確認後、圧力付与装置９を再び作動
させてプリント配線基板製造用感光性ドライフイ
ルムレジスト１に所定のラミネート圧力を付与せ
しめる。かかる状態で加熱用駆動ロール６が所定
の温度に加熱されていることを確認した後、加熱
用駆動ロール６の駆動用モータ７及びラミネート
ロール８及び／又は１０の駆動用モータ１１をそ
れぞれ駆動すると共にガイド１４に沿つて導電性
金属貼り積層板１２を下部ラミネートロール１０
上に供給するのであるが、この際にプリント配線
基板製造用感光性ドライフイルムレジスト１の支
持体フイルム１ｂの種類や加熱用駆動ロール６の
加熱温度や加熱用駆動ロール６によるプリント配
線基板製造用感光性ドライフイルムレジスト１の
加熱時間などによつてプリント配線基板製造用感
光性ドライフイルムレジスト１が加熱用駆動ロー
ル６と下部ラミネートロール１０との間で加熱に
起因する伸張又は収縮が生ずる。そこでこの伸張
又は収縮に対応した分だけ加熱用駆動ロール６と
ラミネートロール８，１０との周速に駆動速度精
密可変調整装置１３により速度差を設けるのであ
る。すなわち、プリント配線基板製造用感光性ド
ライフイルムレジスト１が加熱により伸張するフ
イルムレジストである場合には加熱用駆動ロール
６の周速をラミネートロール８，１０の周速より
低速とするように、またプリント配線基板製造用
感光性ドライフイルムレジスト１が加熱により収
縮するフイルムレジストである場合には加熱用駆
動ロール６の周速をラミネートロール８，１０の
周速より高速とするように、それぞれ駆動速度精
密可変調整装置１３によつて調整すればよいので
あり、この調整は加熱用駆動ロール６のみの調整
と、ラミネート８及び／又は１０のみの調整と、
加熱用駆動ロール６とラミネートロール８及び／
又は１０との両者の調整とのいずれであつて差し
支えない。このように加熱用駆動ロール６の周速
とラミネートロール８及び／又は１０の周速とに
速度差を設け、プリント配線基板製造用感光性ド
ライフイルムレジスト１にタルミや過大張力によ
るシワや疵などが生じないようにして上下のラミ
ネートロール８と１０との間に供給した導電性金
属貼り積層板１２にラミネートさせれば、得られ
た製品のプリント配線基板製造用感光性ドライフ
イルムレジスト１にはシワやスリ疵がなくしかも
空気の抱込みが全く生じない美しい表面が超平滑
なラミネート製品が得られるのである。

以下に実施例により本発明について更に説明す
る。

実施例 １ プリント配線基板製造用感光性ドライフイルム
レジスト１として、支持体フイルム１ｂに厚さ
25μの二軸延伸ポリスチレンフイルム（商品名；
スタイロフイルム、旭ダウ(株)製）、感光性ドライ
レジスト組成物１ａに厚さ50μの紫外線重合型感
光性ドライレジスト組成物（商品名：旭化成
DFR T50、旭化成工業(株)製）、カバーフイルム
１ｃに厚さ22μの二軸延伸ポリプロピレンフイル
ム（商品名：パイレン、東洋紡績(株)製）を使用し
た第３図に示す如き三層構造体を使用し、このプ
リント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジ
スト１よりカバーフイルム１ｃを剥離した状態で
表面温度が80℃に設定されている加熱用駆動ロー
ルを介して毎分1.0ｍの周速で回転し表面温度が
常温（20℃）で圧力７Kg／cmに加圧されているラ
ミネートロール間に誘導し、加熱用駆動ロールの
周速をラミネートロールの周速に対して1.0％増
速し、この上方及び下方より供給されるプリント
配線基板製造用感光性ドライフイルムレジスト１
間に松下電工(株)製の厚さ1.6mmのガラスエポキシ
両面銅貼り積層板R1705より成る導電性金属積層
板１２を供給し、幅250mm、長さ200mmの基板を連
続して20枚ラミネートした処、得られた第６図に
示す如きラミネート製品の表裏両面にはシワやス
リ疵や空気の抱込みが全くない表面が平滑で美麗
なものであつた。そこでこのラミネート製品を使
用して配線パターンを製作した処、線幅60μにお
いて線細りや線太りや断線などの全くない、美し
いプリント配線基板を製造することができた。

実施例 ２ プリント配線基板製造用感光性ドライフイルム
レジスト１として支持体フイルム１ｂに感光性ド
ライレジスト組成物１ａが貼着されている第４図
に示す如き二層構造体より成る米国デユポン社製
のリストンＴ−1215を使用し、このプリント配線
基板製造用感光性ドライフイルムレジスト１を第
１図及び第２図に示す如き装置の表面温度が105
℃に設定されている加熱用駆動ロール６を介して
毎分1.8ｍの周速で回転し表面温度が常温（20℃）
で圧力10Kg／cmに加圧されている上下のラミネー
トロール８，１０間に誘導し、加熱用駆動ロール
６の周速を下部ラミネートロール１０の周速に対
して0.3％減速し、この上下のラミネートロール
８，１０間の下部ラミネートロール１０上に松下
電工(株)製の厚さ3.2mmのガラスエポキシ片貼り積
層板Ｒ−1700より成る導電性金属積層板１２を供
給し、幅400mm、長さ200mmの基板を連続して15枚
ラミネートした処、得られた第５図に示す如きラ
ミネート製品のプリント配線基板製造用感光性ド
ライフイルムレジスト１のラミネート側表面はシ
ワやスリ疵や空気の抱込みが全くない平滑で美麗
なものであつた。

以上詳述した如く、本発明に係るプリント配線
基板製造用感光性ドライフイルムレジストのラミ
ネート方法は、プリント配線基板製造時における
精度の良否を決定する線の精度を左右するプリン
ト配線基板製造用感光性ドライフイルムレジスト
をラミネートする行程でシワやスリ疵や空気の抱
込みを防止する技術を確立したものであり、また
本発明に係るプリント配線基板製造用感光性ドラ
イフイルムレジストのラミネート装置は上記本発
明方法を実施するための装置であり、従来プリン
ト配線基板製造用感光性ドライフイルムレジスト
を導電性金属貼り積層板上にシワやスリ疵や空気
の抱込みが全く存在しない状態でラミネートでき
なかつたために精度の良いプリント配線基板が製
造できなかつた欠点を完全に解消できるようにす
る方法及び装置であり、その工業的価値は非常に
大きなものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るプリント配線基板製造用
感光性ドライフイルムレジストのラミネート装置
の１実施例の平面図、第２図は同Ａ−Ａ線断面
図、第３図及び第４図は本発明において使用する
プリント配線基板製造用感光性ドライフイルムレ
ジストの構造を示す拡大断面図、第５図及び第６
図は本発明方法を実施してプリント配線基板製造
用感光性ドライフイルムレジストを導電性金属貼
り積層板にラミネートした状態を示す拡大断面図
である。 １：プリント配線基板製造用ドライフイルムレ
ジスト、１ａ：感光性ドライレジスト組成物、１
ｂ：支持体フイルム、１ｃ：カバーフイルム、
２：軸、３：ボビン、４：捲取ボビン、５：ガイ
ドロール、６：加熱用駆動ロール、７：駆動用モ
ータ、８：上部ラミネートロール、９：圧力付与
装置、１０：下部ラミネートロール、１１：駆動
用モータ、１２：導電性金属貼り積層板、１３：
駆動速度精密可変調整装置、１４：ガイド。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ プリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストを導電性金属貼り積層板上にラミネー
   トするに際し、プリント配線基板製造用感光性ド
   ライフイルムレジストを加熱用ロールにより所定
   の温度に加熱して送り出し、その直後に設けたラ
   ミネートロールを該加熱用駆動ロールによつて加
   熱されたことによるプリント配線基板製造用感光
   性ドライフイルムレジストの伸縮に対応させて該
   加熱用駆動ロールの周速と速度差を設けた周速で
   回転させてプリント配線基板製造用感光性ドライ
   フイルムレジストを導電性金属貼り積層板上にラ
   ミネートすることを特徴とするプリント配線基板
   製造用感光性ドライフイルムレジストのラミネー
   ト方法。 ２ プリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストが加熱により伸張するフイルムであ
   り、加熱用駆動ロールの周速をラミネートロール
   の周速より低速とする特許請求の範囲第１項に記
   載のプリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストのラミネート方法。 ３ プリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストが加熱により収縮するフイルムであ
   り、加熱用駆動ロールの周速をラミネートロール
   の周速より高速とする特許請求の範囲第１項に記
   載のプリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストのラミネート方法。 ４ プリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストの感光性ドライレジスト組成物に光重
   合型で可撓性を有する組成物を使用する特許請求
   の範囲第１項から第３項までのいずれか１項に記
   載のプリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストのラミネート方法。 ５ プリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストの感光性ドライレジスト組成物に光崩
   壊型で可撓性を有する組成物を使用する特許請求
   の範囲第１項から第３項までのいずれか１項に記
   載のプリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジストのラミネート方法。 ６ プリント配線基板製造用感光性ドライフイル
   ムレジスト１をコイル状に捲き付けられているボ
   ビン３が装着される軸２と、該ボビン３から該フ
   イルムレジスト１を引き出すと共に熱融着可能な
   温度まで加熱するための所定の温度に加熱調整さ
   れた加熱用駆動ロール６と、該ロール６の直後で
   該フイルムレジスト１を導電性金属貼り積層板１
   ２にラミネートするための上部ラミネートロール
   ８及び下部ラミネートロール１０の一者以上を上
   下動せしめる圧力付与装置９及び該ラミネートロ
   ール８，１０の一者以上を駆動する駆動用モータ
   １１と、加熱用駆動ロール６を駆動する駆動用モ
   ータ７とラミネートロールを駆動する駆動用モー
   タ１１との一者以上に接続されており加熱用駆動
   ロール６とラミネートロール８，１０との周速に
   所望の速度差を設ける駆動速度精密可変調整装置
   １３と、導電性金属貼り積層板１２を下部ラミネ
   ートロール１０上に供給するガイド１４とを備え
   ていることを特徴とするプリント配線基板製造用
   感光性ドライフイルムレジストのラミネート装
   置。 ７ 加熱用駆動ロール６が温調装置により所定の
   温度に加熱調整されるシリコンがライニングされ
   たロールである特許請求の範囲第６項に記載のプ
   リント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジ
   ストのラミネート装置。 ８ 上部及び下部のラミネートロール８及び１０
   がネオプレンゴムがライニングされたロールであ
   る特許請求の範囲第６項又は第７項に記載のプリ
   ント配線基板製造用感光性ドライフイルムレジス
   トのラミネート装置。