JP2000181080A

JP2000181080A - 感光性樹脂層積層方法

Info

Publication number: JP2000181080A
Application number: JP36296598A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Nagate; 弘長手
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1998-12-21
Filing date: 1998-12-21
Publication date: 2000-06-30

Abstract

(57)【要約】【課題】シート基板の感光性樹脂層圧着面及びその感
光性樹脂層を傷付けたりゴミが付着することなく搬送加
熱することができ、しかも、加熱したシート基板が温度
低下することなく感光性樹脂層の圧着処理をすることが
可能となる感光性樹脂層積層方法を得る。【解決手段】エアフローパネル１８及び加熱プレート
２４にはエア吐出孔２０、２６が設けられており、これ
らから吐出するエアによってシート基板Ｋを感光性樹脂
層圧着面が下方に向いた非接触状態のままで加熱搬送で
きる。したがって、加熱の後にシート基板Ｋを表裏反転
する必要がなく、シート基板Ｋの下面を傷付けたりゴミ
の付着を防止できるのみならず、加熱したシート基板Ｋ
が温度低下することなく圧着処理することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばカラー液晶
表示素子やプラズマディスプレイ等に用いるカラーフィ
ルタ基板を製造するための感光性樹脂層積層方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタ基板の一つとして液晶カ
ラーフィルタ基板があるが、この液晶カラーフィルタ基
板には、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素を作る工程で、シート基板
（所謂、ガラス基板）の表面に感光性樹脂層（感光層付
き帯状支持体、所謂感光性ラミネートシート）を加熱圧
着させる工程が行われる。この感光性樹脂層の加熱圧着
処理を実施するために好適な感光層積層方法を既に本出
願人が提案している（一例として、特開平６−３４９７
２７号）。

【０００３】前記感光層積層方法では、シート基板を予
め加熱（予熱）しておき、その後にシート基板を表裏反
転させて熱圧着部へ搬送し、熱圧着ローラによってシー
ト基板に所定の感光性樹脂層（感光層付き帯状支持体）
を重ね合わせた状態で圧着させる構成となっている。こ
れにより、異物の挟み込みや付着がなくしかも感光層の
膜質の変化が防止でき、良質の感光層積層基板（例え
ば、液晶カラーフィルタ基板）を得ることができる。

【０００４】ところで、前述の如き感光層積層方法で
は、シート基板を予め加熱しておき加熱後に表裏反転さ
せて感光性樹脂層（感光層付き帯状支持体）を重ね合わ
せる構成であったため、シート基板を例えば真空吸着し
て表裏反転させる際に、シート基板が熱膨張等による僅
かな変形を生じていると、シート基板を確実に真空吸着
することが困難となる場合があった。また、加熱後に表
裏反転させる構成であるため、表裏反転中にシート基板
の温度が低下することになり、このため、シート基板の
加熱温度を予め約２０度程度高めに設定する必要があっ
た。また、加熱したシート基板の熱分布が悪化すること
にもなる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事実を考
慮し、シート基板の感光性樹脂層（感光層付き帯状支持
体）の重ね合わせ面やその感光性樹脂層を傷付けたりゴ
ミが付着したり、基板反転不良によりシート基板を破損
することなく搬送加熱することができ、しかも、加熱し
たシート基板が温度低下することなく所定の感光性樹脂
層を圧着させることが可能となる感光性樹脂層積層方法
を得ることが目的である。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る感
光性樹脂層積層方法は、シート基板を予熱し、前記予熱
後のシート基板の一面に感光性樹脂層を重ね合わせて圧
着する感光性樹脂層積層方法において、前記シート基板
を加熱すると共に気体を吐出することで前記シート基板
を非接触状態で保持可能な加熱プレートを設け、前記シ
ート基板を、前記感光性樹脂層が重ね合わされる前記一
面が下方に向く状態で前記加熱プレート上に載置し、前
記シート基板を前記加熱プレートと非接触状態で保持し
ながら加熱し、そのまま前記感光性樹脂層圧着部へ搬送
する、ことを特徴としている。

【０００７】請求項１記載の感光性樹脂層積層方法で
は、シート基板を加熱すると共に気体を吐出することで
シート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレートが設
けられる。シート基板は、感光性樹脂層が重ね合わされ
る一面が下方に向く状態で加熱プレート上に載置され
る。この状態では、シート基板は加熱プレートに対し非
接触状態で保持されながら所定温度まで加熱される。さ
らに、加熱が終了すると、シート基板はそのまま感光性
樹脂層圧着部へ搬送され、一面に感光性樹脂層が重ね合
わせて圧着される。

【０００８】このように、請求項１記載の感光性樹脂層
積層方法では、シート基板を非接触状態で加熱搬送（エ
アフロー加熱搬送）するため、シート基板の感光性樹脂
層の重ね合わせ面やその感光性樹脂層を傷付けたりゴミ
が付着したりすることがない。しかも、加熱が終了した
後はシート基板はそのまま感光性樹脂層圧着部へ搬送さ
れるため、加熱したシート基板が温度低下することがな
く、感光性樹脂層を好適に圧着させることが可能とな
る。

【０００９】なお、シート基板の大きさとしては、「３
００（Ｗ）ｍｍ×４００（リットル）ｍｍ×０．３
（ｔ）ｍｍ」〜「１５００（Ｗ）ｍｍ×１０００（リッ
トル）ｍｍ×２．５（ｔ）ｍｍ」の範囲のものが適用で
きる。

【００１０】また、加熱プレートとしては、アルミ鋳込
みヒーター（所謂、ホットプレート）が適用できる。

【００１１】さらに、シート基板を８０℃〜１５０℃の
範囲で加熱することが好ましく、特には、１００℃まで
加熱すると良い。

【００１２】また、気体を吐出することでシート基板を
非接触状態で保持するために、加熱プレートに複数のエ
ア吐出孔を設け、このエア吐出孔から空気等の気体を吐
出することで実現できる。この場合、エア吐出孔の大き
さや個数は加熱搬送するシート基板の大きさ等によって
最適な条件が変わるが、φ０．３ｍｍ〜φ２．５ｍｍの
大きさのものが好ましく、その個数としては１０個／ｍ
²〜３００個／ｍ²の範囲が良い。また吐出する気体の
流量や流速は、０．２リットル／吐出孔〜１０リットル
／吐出孔の範囲が良く、特に好ましくは２リットル／吐
出孔である。

【００１３】請求項２の発明に係る感光性樹脂層積層方
法は、請求項１記載の感光性樹脂層積層方法において、
前記加熱プレート上で保持された前記シート基板の幅方
向端縁に対応する搬送ローラを設け、前記搬送ローラに
よって前記シート基板の幅方向端縁のみをエッジ接触し
て前記シート基板を搬送する、ことを特徴としている。

【００１４】請求項２記載の感光性樹脂層積層方法で
は、加熱プレート上で保持されたシート基板の幅方向端
縁に対応して搬送ローラが設けられる。この搬送ローラ
にシート基板の幅方向端縁のみがエッジ接触して、シー
ト基板が搬送される。

【００１５】したがって、シート基板の感光性樹脂層の
重ね合わせ面やその感光性樹脂層を傷付けることがな
く、しかも加熱プレートによる非接触状態の保持が確実
になり、安定して搬送することができる。

【００１６】なお、搬送ローラがエッジ接触するシート
基板の幅方向端縁の範囲としては、幅方向端縁から５ｍ
ｍ〜１０ｍｍの範囲であれば問題ない。

【００１７】請求項３の発明に係る感光性樹脂層積層方
法は、請求項１または請求項２記載の感光性樹脂層積層
方法において、前記加熱プレートの上面を、上方へ向き
かつ前記シート基板の搬送方向に倣う凸状に形成した、
ことを特徴としている。

【００１８】請求項３記載の感光性樹脂層積層方法で
は、加熱プレート上で保持されたシート基板が単品（一
枚）である場合に、搬送の最初から最後まで（シート基
板が通過する間の何れの時点でも）、加熱プレートにシ
ート基板が接触することがない。

【００１９】すなわち、単品（一枚）のシート基板を、
加熱プレート上で気体を吐出することにより非接触状態
で保持しながら搬送する場合に、シート基板の先端側が
加熱プレートから抜け出し、加熱プレート上の全面にシ
ート基板が位置しない状態となると（シート基板の後端
側の加熱プレート上が開放され、気体が無負荷で吐出す
ると）必然的に気体吐出による非接触状態保持力が低下
する。このため、例えばシート基板の後端側が不要に垂
れ下がって加熱プレートに接触する可能性が生じる。

【００２０】この点、請求項３記載の感光性樹脂層積層
方法では、加熱プレートの上面が上方へ向きかつシート
基板の搬送方向に倣う凸状に形成されているため、加熱
プレート上で保持されたシート基板が単品（一枚）であ
る場合であっても（換言すれば、シート基板の先端側が
加熱プレートから抜け出しシート基板の後端側の加熱プ
レート上が開放された状態となっても）、シート基板の
後端側が不要に加熱プレートに接触することがない。

【００２１】このように、請求項３記載の感光性樹脂層
積層方法では、加熱プレートによる非接触状態の保持が
確実になる。

【００２２】なお、前記加熱プレートの凸形状の程度と
しては、シート基板の搬送方向に沿った長さ１０００ｍ
ｍに対し、０．５ｍｍ〜３ｍｍの程度が好ましく、特に
好ましくは１ｍｍである。

【００２３】請求項４の発明に係る感光性樹脂層積層方
法は、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の感光性樹
脂層積層方法において、前記加熱プレート上で保持され
た前記シート基板の直上に位置する上面加熱手段を設
け、前記上面加熱手段によって前記シート基板の他面も
同時に加熱する、ことを特徴としている。

【００２４】請求項４記載の感光性樹脂層積層方法で
は、加熱プレートのみならず上面加熱手段によっても加
熱されるため、シート基板の全域を効率よく加熱するこ
とができる。

【００２５】また、上面加熱手段としては、遠赤外線セ
ラミックヒーターが適用できる。

【００２６】請求項５の発明に係る感光性樹脂層積層方
法は、請求項１乃至請求項４の何れかに記載の感光性樹
脂層積層方法において、前記加熱プレートを隣接して複
数段設け、複数の前記シート基板を連続して加熱搬送す
る、ことを特徴としている。

【００２７】請求項５記載の感光性樹脂層積層方法で
は、シート基板の加熱搬送処理するに必要な時間（所
謂、タクト時間）を短縮することができ、効率的にな
る。

【００２８】

【発明の実施の形態】図１には、本発明に係る感光性樹
脂層積層方法を実施するために使用する感光性樹脂層積
層装置１０の全体構成が概略的に示されている。

【００２９】この感光性樹脂層積層装置１０は、投入部
１２、加熱部１４、及び圧着部１６によって構成されて
いる。

【００３０】投入部１２にはエアフローパネル１８が設
けられている。このエアフローパネル１８には、図２に
示す如く、その上面に複数のエア吐出孔２０が形成され
ており、エアを吐出することができる。また、このエア
フローパネル１８の上面は、上方へ向きかつ処理するシ
ート基板Ｋの搬送方向に倣う凸状に形成されている。さ
らに、投入部１２には、処理するシート基板Ｋの幅方向
端縁に対応して、搬送ローラ２２が設けられている。こ
の搬送ローラ２２は、駆動ローラとされており、シート
基板Ｋの幅方向端縁のみにエッジ接触する。

【００３１】これにより、エアフローパネル１８上に載
置されたシート基板Ｋを、エア吐出孔２０からのエアの
吐出によってエアフローパネル１８と非接触状態で保持
すると共に、搬送ローラ２２の駆動力によって搬送でき
る構成である。

【００３２】なおここで、シート基板Ｋの大きさとして
は、「３００（Ｗ）ｍｍ×４００（リットル）ｍｍ×
０．３（ｔ）ｍｍ」〜「１５００（Ｗ）ｍｍ×１０００
（リットル）ｍｍ×２．５（ｔ）ｍｍ」の範囲のものが
適用できる。

【００３３】また、エア吐出孔２０の大きさや個数は加
熱搬送するシート基板Ｋの大きさ等によって最適な条件
が変わるが、φ０．３ｍｍ〜φ２．５ｍｍの大きさのも
のが好ましく、その個数としては１０個／ｍ²〜３００
個／ｍ²の範囲が良い。また吐出する気体の流量や流速
は、０．２リットル／吐出孔〜１０リットル／吐出孔の
範囲が良く、特に好ましくは２リットル／吐出孔であ
る。

【００３４】さらに、前記エアフローパネル１８の凸形
状の程度としては、シート基板Ｋの搬送方向に沿った長
さ１０００ｍｍに対し、０．５ｍｍ〜３ｍｍの程度が好
ましく、特に好ましくは１ｍｍである。

【００３５】またさらに、搬送ローラ２２がエッジ接触
するシート基板Ｋの幅方向端縁の範囲としては、幅方向
端縁から５ｍｍ〜１０ｍｍの範囲であれば問題ない。

【００３６】一方、投入部１２の側方にはこの投入部１
２に連続して加熱部１４が設けられている。加熱部１４
には、加熱プレート２４が設けられている。この加熱プ
レート２４には、前記エアフローパネル１８と同様に、
その上面に複数のエア吐出孔２６が形成されており、エ
アを吐出することができる。また、図３に詳細に示す如
く、この加熱プレート２４の上面も、前記エアフローパ
ネル１８の上面と同様に、上方へ向きかつ処理するシー
ト基板Ｋの搬送方向に倣う凸状に形成されている。

【００３７】また、加熱プレート２４には、アルミ鋳込
みヒーター２８が設けられており、加熱プレート２４上
のシート基板Ｋを加熱できると共に、エア吐出孔２６か
ら吐出されるエアも昇温することができる。

【００３８】さらに、加熱部１４には、前記投入部１２
と同様に、処理するシート基板Ｋの幅方向端縁に対応し
て搬送ローラ３０が設けられている。この搬送ローラ３
０も駆動ローラとされており、シート基板Ｋの幅方向端
縁のみにエッジ接触する。

【００３９】これにより、エアフローパネル１８から送
り込まれたシート基板Ｋを、エア吐出孔２６からのエア
の吐出によってこの加熱プレート２４と非接触状態で保
持すると共に、搬送ローラ３０の駆動力によってさらに
搬送できる構成である。

【００４０】なおここで、エア吐出孔２６の大きさや個
数、あるいは加熱プレート２４の凸形状の程度として
は、前記投入部１２と同様の条件に設定することができ
る。また、シート基板Ｋを８０℃〜１５０℃の範囲で加
熱することが好ましく、特には、１００℃まで加熱する
と良い。

【００４１】加熱プレート２４の上方には、上面加熱手
段としての遠赤外線セラミックヒーター３２が設けられ
ている。これにより、加熱プレート２４上で保持された
シート基板Ｋの他面（上面）も同時に加熱することがで
きるようになっている。

【００４２】加熱部１４の側方には、圧着部１６が設け
られている。圧着部１６には、一対のラミネートローラ
３４が対向配置されている、これら一対のラミネートロ
ーラ３４も例えば１３０℃に昇温されており、加熱部１
４から送り込まれたシート基板Ｋと所定の感光性樹脂層
Ｍ（感光層付き帯状支持体）を重ね合わせた状態で熱圧
着させることができる。

【００４３】上記構成の感光性樹脂層積層装置１０によ
って実施される感光性樹脂層積層方法では、シート基板
Ｋは、感光性樹脂層Ｍが重ね合わされる一面が下方に向
く状態で、投入部１２のエアフローパネル１８上に載置
される。載置されたシート基板Ｋは、エア吐出孔２０か
らのエアの吐出によってエアフローパネル１８と非接触
状態で保持されながら、搬送ローラ２２の駆動力によっ
て加熱部１４へ送り込まれる。

【００４４】加熱部１４に送り込まれたシート基板Ｋ
は、同様に、加熱プレート２４上でエア吐出孔２６から
のエアの吐出によってこの加熱プレート２４と非接触状
態で保持される。さらにここで、シート基板Ｋは、加熱
プレート２４に対し非接触状態で保持されながら、アル
ミ鋳込みヒーター２８及び遠赤外線セラミックヒーター
３２によって所定温度まで加熱される。

【００４５】加熱が終了すると、シート基板Ｋはそのま
ま（感光性樹脂層圧着面が下向きの状態のままで）、搬
送ローラ３０の駆動力によって圧着部１６へ送り込ま
れ、一面（下面）に感光性樹脂層Ｍが重ね合わせて圧着
される。

【００４６】このように、本実施の形態に係る感光性樹
脂層積層方法（感光性樹脂層積層装置１０）によれば、
シート基板Ｋをエアフローパネル１８や加熱プレート２
４と非接触状態で加熱搬送（エアフロー加熱搬送）する
ため、シート基板Ｋの感光性樹脂層Ｍの重ね合わせ面や
その感光性樹脂層Ｍを傷付けたりゴミが付着したりする
ことがない。しかも、加熱が終了した後はシート基板Ｋ
はそのまま圧着部１６へ搬送されるため、加熱したシー
ト基板Ｋが温度低下することがなく、感光性樹脂層Ｍを
好適に圧着させることが可能となる。

【００４７】さらにこの場合、加熱プレート２４上で保
持されたシート基板Ｋの他面（上面）も遠赤外線セラミ
ックヒーター３２によって同時に加熱されるため、シー
ト基板Ｋの全域を効率よく加熱することができ、一層効
果的である。

【００４８】また、エアフローパネル１８や加熱プレー
ト２４上で保持されたシート基板Ｋの幅方向端縁に対応
して設けられた搬送ローラ２２、３０が、シート基板Ｋ
の幅方向端縁のみにエッジ接触して、シート基板Ｋが搬
送されるため、これによっても、シート基板Ｋの感光性
樹脂層Ｍの重ね合わせ面やその感光性樹脂層Ｍを傷付け
ることがなく、しかもエアフローパネル１８や加熱プレ
ート２４による非接触状態の保持が確実になり、安定し
て搬送することができる。

【００４９】さらに、本実施の形態に係る感光性樹脂層
積層方法（感光性樹脂層積層装置１０）によれば、エア
フローパネル１８や加熱プレート２４の上面を、上方へ
向きかつ処理するシート基板Ｋの搬送方向に倣う凸状に
形成しているため、エアフローパネル１８や加熱プレー
ト２４上で保持されたシート基板Ｋが単品（一枚）であ
る場合に、搬送の最初から最後まで（シート基板Ｋが通
過する間の何れの時点でも）、エアフローパネル１８や
加熱プレート２４にシート基板Ｋが接触することがな
い。

【００５０】すなわち、単品（一枚）のシート基板Ｋ
を、エアフローパネル１８や加熱プレート２４上で気体
を吐出することにより非接触状態で保持しながら搬送す
る場合に、シート基板Ｋの先端側がエアフローパネル１
８や加熱プレート２４から抜け出し、エアフローパネル
１８や加熱プレート２４上の全面にシート基板Ｋが位置
しない状態となると（シート基板Ｋの後端側のエアフロ
ーパネル１８や加熱プレート２４上が開放され、エアが
無負荷で吐出すると）必然的にエア吐出による非接触状
態保持力が低下する。このため、例えばシート基板Ｋの
後端側が不要に垂れ下がってエアフローパネル１８や加
熱プレート２４に接触する可能性が生じる。

【００５１】この点、本実施の形態に係る感光性樹脂層
積層方法（感光性樹脂層積層装置１０）では、エアフロ
ーパネル１８や加熱プレート２４の上面を、上方へ向き
かつ処理するシート基板Ｋの搬送方向に倣う凸状に形成
しているため、エアフローパネル１８や加熱プレート２
４上で保持されたシート基板Ｋが単品（一枚）である場
合であっても（換言すれば、シート基板Ｋの先端側がエ
アフローパネル１８や加熱プレート２４から抜け出しシ
ート基板Ｋの後端側のエアフローパネル１８や加熱プレ
ート２４上が開放された状態となっても）、シート基板
Ｋの後端側が不要にエアフローパネル１８や加熱プレー
ト２４に接触することがない。

【００５２】このように、本実施の形態に係る感光性樹
脂層積層方法（感光性樹脂層積層装置１０）によれば、
エアフローパネル１８や加熱プレート２４による非接触
状態の保持が確実になる。

【００５３】なお、本発明に係る感光性樹脂層積層方法
を適用して処理できるシート基板としては、液晶カラー
フィルタ基板を挙げることができるが、もちろんこれに
限定されるわけではない。本発明に係る感光性樹脂層積
層方法を適用して処理できるシート基板は、略平板状の
カラーフィルタ基板であって、シート基板（所謂、ガラ
ス基板）の表面に感光性樹脂層（感光層付き帯状支持
体、所謂感光性ラミネートシート）を加熱圧着させる処
理が必要なものであればよく、例えば、３色のカラーフ
ィルタ基板を内蔵するディスプレイ用ＣＲＴや同じくカ
ラーフィルタを内蔵するカラープラズマディスプレイ
（カラーＰＤＰ）の製造に用いることができる。

【００５４】

【実施例】前述した如き感光性樹脂層積層方法及びこれ
を実施するために使用する感光性樹脂層積層装置、並び
に処理するシート基板の具体例を説明する。［実施例
１］図４には、処理を実施するために使用する感光性樹
脂層積層装置４０の一部破断した平面図が示されてお
り、また、図５にはこの感光性樹脂層積層装置４０の正
面図が示されている。

【００５５】処理するためのシート基板Ｋとしては、図
４に示す如く、幅１１００ｍｍ、長さ８００ｍｍ、厚さ
１．１ｍｍの液晶カラーフィルタ基板である。

【００５６】この感光性樹脂層積層装置４０は、投入部
４２及び加熱部４４によって構成されている。

【００５７】投入部４２にはエアフローパネル４６が設
けられている。このエアフローパネル４６には、複数の
エア吐出孔４８が形成されている。エア吐出孔４８の大
きさはφ１ｍｍであり、その個数は５０である。また、
吐出する気体の流量は、１００リットル／分に設定され
ている。これにより、シート基板Ｋを１ｍｍ以下の隙間
で非接触状態で保持できる。

【００５８】また、このエアフローパネル４６の上面の
凸形状の程度は、シート基板Ｋの搬送方向に沿った長さ
８００ｍｍに対し１ｍｍに設定されている。

【００５９】一方、加熱部４４には、加熱プレート５０
が設けられている。この加熱プレート５０には、複数の
エア吐出孔５２が形成されている。このエア吐出孔５２
の大きさや個数、あるいは加熱プレート５０の凸形状の
程度は、前記投入部４２と同様の条件に設定している。
また、加熱プレート５０は１３０℃±５℃に設定されて
おり、シート基板Ｋを１００℃に加熱する。

【００６０】さらに、加熱プレート５０の上方には、遠
赤外線セラミックヒーター５４が設けられている。

【００６１】上記構成の感光性樹脂層積層装置４０によ
って実施される感光性樹脂層積層方法では、シート基板
Ｋは、感光性樹脂層が重ね合わされる一面が下方に向く
状態で、投入部４２上に載置される。載置されたシート
基板Ｋは、エア吐出孔４８からのエアの吐出によってエ
アフローパネル４６と非接触状態で保持されながら、搬
送ローラ５６の駆動力によって加熱部４４へ送り込まれ
る。

【００６２】加熱部４４に送り込まれたシート基板Ｋ
は、同様に、加熱プレート５０上でエア吐出孔５２から
のエアの吐出によってこの加熱プレート５０と非接触状
態で保持されながら、所定温度まで加熱される。

【００６３】加熱が終了すると、シート基板Ｋはそのま
ま（感光性樹脂層圧着面が下向きの状態のままで）、搬
送ローラ５８の駆動力によって２ｍ／分のスピードで次
の圧着工程へ送り込まれ、一面（下面）に感光性樹脂層
が重ね合わせて圧着される。

【００６４】このように、本実施例１に係る感光性樹脂
層積層装置４０によれば、シート基板Ｋをエアフローパ
ネル４６や加熱プレート５０と非接触状態で加熱搬送
（エアフロー加熱搬送）するため、シート基板Ｋの感光
性樹脂層の重ね合わせ面やその感光性樹脂層を傷付けた
りゴミが付着したりすることがない。しかも、加熱が終
了した後はシート基板Ｋはそのまま次の圧着工程へ搬送
されるため、加熱したシート基板Ｋが温度低下すること
がなく、基板反転不良によるシート基板Ｋの破損もな
く、感光性樹脂層を好適に圧着させることが可能とな
る。

【００６５】また、エアフローパネル４６や加熱プレー
ト５０上で保持されたシート基板Ｋの幅方向端縁に対応
して設けられた搬送ローラ５６、５８が、シート基板Ｋ
の幅方向端縁のみにエッジ接触して、シート基板Ｋが搬
送されるため、これによっても、シート基板Ｋの感光性
樹脂層の重ね合わせ面やその感光性樹脂層を傷付けるこ
とがなく、しかもエアフローパネル４６や加熱プレート
５０による非接触状態の保持が確実になり、安定して搬
送することができる。

【００６６】さらに、本実施例１に係る感光性樹脂層積
層装置４０によれば、エアフローパネル４６や加熱プレ
ート５０の上面を、上方へ向きかつ処理するシート基板
Ｋの搬送方向に倣う凸状に形成しているため、エアフロ
ーパネル４６や加熱プレート５０上で保持されたシート
基板Ｋが単品（一枚）である場合に、搬送の最初から最
後まで（シート基板Ｋが通過する間の何れの時点で
も）、エアフローパネル４６や加熱プレート５０にシー
ト基板Ｋが接触することがない。

【００６７】なお、加熱プレート５０のエア吐出孔５２
から吐出するエアを、インラインヒータによって予熱す
る構成としてもよい。

【００６８】また、熱風の消費を抑えるために、シート
基板Ｋが浮上（非接触状態で保持）させた際に両端の隙
間から流出したホットエアをリサイクルし、再度加熱プ
レート５０のエア吐出孔５２から吐出する構成としても
よい。［実施例２］前述した実施例１においては、感光
性樹脂層積層装置４０が単一の加熱部４４を備えて構成
した例を説明したが、これに限らず、図６及び図７に示
す感光性樹脂層積層装置６０の如く、複数の加熱部６２
を隣接して設け、これら複数の加熱部６２によって複数
のシート基板Ｋを連続して加熱搬送するように構成する
こともできる。

【００６９】また、この感光性樹脂層積層装置６０にお
いては、投入部６４には反転ロボット等から成る反転機
構（図示省略）が装備されており、シート基板Ｋは、感
光性樹脂層Ｍが重ね合わされる一面が上方に向く状態
で、投入部６４上に載置される。載置されたシート基板
Ｋは、前記反転機構によって表裏反転されて、順次加熱
部６２へ送り込まれ、前記実施の形態と同様に加熱搬送
される。

【００７０】上記感光性樹脂層積層装置６０によれば、
複数のシート基板Ｋを連続して処理することができるた
め、シート基板Ｋの加熱搬送処理するに必要な時間（所
謂、タクト時間）を短縮することができ、効率的にな
る。

【００７１】

【発明の効果】以上説明した如く本発明に係る感光性樹
脂層積層方法は、基板反転不良によるシート基板の破損
がなく、シート基板の感光性樹脂層（感光層付き帯状支
持体）の重ね合わせ面やその感光性樹脂層を傷付けたり
ゴミが付着したりすることなく搬送加熱することがで
き、しかも、加熱したシート基板が温度低下や温度分布
をもつことなく所定の感光性樹脂層を均一に圧着させる
ことが可能になるという優れた効果を有している。さら
に、圧着前の基板反転装置が不要となるため、感光性樹
脂層積層装置の小型化が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る感光性樹脂層積層方法を実施する
ために使用する感光性樹脂層積層装置の概略全体構成図
である。

【図２】本発明に係る感光性樹脂層積層方法を実施する
ために使用する感光性樹脂層積層装置のエアフローパネ
ルあるいは加熱プレートの概略的な平面図である。

【図３】本発明に係る感光性樹脂層積層方法を実施する
ために使用する感光性樹脂層積層装置の加熱プレートの
概略的な断面図である。

【図４】実施例１に係る感光性樹脂層積層装置の一部破
断した平面図である。

【図５】実施例１に係る感光性樹脂層積層装置の正面図
である。

【図６】実施例２に係る感光性樹脂層積層装置の一部破
断した平面図である。

【図７】実施例２に係る感光性樹脂層積層装置の正面図
である。

【符号の説明】１０感光性樹脂層積層装置１２投入部１４加熱部１６圧着部１８エアフローパネル２０エア吐出孔２２搬送ローラ２４加熱プレート２６エア吐出孔２８アルミ鋳込みヒーター３０搬送ローラ３２遠赤外線セラミックヒーター（上面加熱手段）Ｋシート基板Ｍ感光性樹脂層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考） // Ｂ２９Ｌ 9:00

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シート基板を予熱し、前記予熱後のシー
ト基板の一面に感光性樹脂層を重ね合わせて圧着する感
光性樹脂層積層方法において、前記シート基板を加熱すると共に気体を吐出することで
前記シート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレート
を設け、前記シート基板を、前記感光性樹脂層が重ね合わされる
前記一面が下方に向く状態で前記加熱プレート上に載置
し、前記シート基板を前記加熱プレートと非接触状態で保持
しながら加熱し、そのまま前記感光性樹脂層圧着部へ搬
送する、ことを特徴とする感光性樹脂層積層方法。
【請求項２】前記加熱プレート上で保持された前記シ
ート基板の幅方向端縁に対応する搬送ローラを設け、前
記搬送ローラによって前記シート基板の幅方向端縁のみ
をエッジ接触して前記シート基板を搬送する、ことを特
徴とする請求項１記載の感光性樹脂層積層方法。
【請求項３】前記加熱プレートの上面を、上方へ向き
かつ前記シート基板の搬送方向に倣う凸状に形成した、
ことを特徴とする請求項１または請求項２記載の感光性
樹脂層積層方法。
【請求項４】前記加熱プレート上で保持された前記シ
ート基板の直上に位置する上面加熱手段を設け、前記上
面加熱手段によって前記シート基板の他面も同時に加熱
する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか
に記載の感光性樹脂層積層方法。
【請求項５】前記加熱プレートを隣接して複数段設
け、複数の前記シート基板を連続して加熱搬送する、こ
とを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の
感光性樹脂層積層方法。