CN101396898A - 感光性层叠体的制造装置和制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种感光性层叠体的制造装置和制造方法，玻璃基板(24)通过构成第一加热机构(104)的加热盘(110a、110b)，均一并且迅速加热到第一加热温度后，通过基板供给机构(108)提供给第二加热机构106a、106b，由输送部(134a、134b)一边输送，一边通过红外线加热器(136a～136d)在比第二加热温度更低的第二加热温度加热保持后，与长条状感光性薄板(22)一起提供给构成粘贴机构(46)的橡胶辊(80a、80b)之间，并且在玻璃基板(24)压接感光性树脂层(28)，从而制造感光性层叠体(24b)。

Description

感光性层叠体的制造装置和制造方法
技术领域
本发明涉及把在支撑体上形成感光材料层的长条状感光性薄板与基板一起向被加热的一对压接辊之间送出，通过在所述基板粘贴所述感光材料层，制造感光性层叠体的感光性层叠体的制造装置和制造方法。
背景技术
例如，在基板表面粘贴具有感光性树脂层(感光材料层)的感光性薄板体(感光性薄板)，而构成液晶面板用基板、印刷电路用基板、PDP用基板。感光性薄板体例如在可挠性塑料支撑体上按顺序层叠感光性树脂层和保护膜。
图8表示感光性薄板体的粘贴中使用的制造装置1的概略结构(参照特开平8-183146号公报)。在制造装置1，从感光性薄板卷拉出，剥离了保护膜的感光性薄板3提供给压接辊4a、4b之间，并且由具有远红外线加热器5等的基板加热部6加热到给定温度的基板7提供给压接辊4a、4b之间。由压接辊4a、4b加热压接的感光性薄板和基板7，由冷却部8冷却，由切割机(カツタ)9切断分离基板7之间的感光性薄板3之后，通过薄膜夹具(チヤツク)10，从感光材料层剥离支撑体，从而制造感光性层叠体。
可是，如以上那样制造的感光性层叠体在基板加热部6，如果基板7没调整到适当的加热温度，有时在感光材料层和基板7之间就混入气泡，或者在感光材料层产生皱褶。
图9和图10表示由基板加热部6加热的基板7的温度的测定点A1～A4、X1～X3、在各测定点A1～A4、X1～X3测定的温度的时间的变化。在基板7的周缘部一侧的测定点A1～A4，从远红外线加热器5对基板7供给的热量比对测定点X1～X3供给的热量更少，所以考虑热在基板7上从测定点X1～X3一侧传递到测定点A1～A4，设定远红外线加热器5的发热量，就如图10所示，在测定点A1～A4，成为渐渐接近目标温度的温度特性，而在测定点X1～X3，成为一度大幅度超过目标温度后，接近目标温度的温度特性。
这时，为了基板7的周缘部一侧的测定点A1～A4的温度与中央部一侧的测定点X1～X3的温度的温度差△Tir减小到允许范围内，并使基板7的整个面接近由大致均一的温度分布构成的目标温度，有必要把基板7的加热时间设定得充分长。
可是，如果要充分确保加热时间，感光性层叠体的制造所需要的时间就变长，引起生产性的下降。而对于基板7的输送方向，如果长条状地构成基板加热部6，就能确保加热时间，但是这时，装置变得大型化，产生设备成本上升的问题。
发明内容
本发明的目的在于，提供不把装置大型化，能在短时间把基板均一地加热到所希望的温度，并且能制造高质量的感光性层叠体的感光性层叠体的制造装置和制造方法。
此外，本发明的目的在于，提供能降低设备成本，并且能提高感光性层叠体的生产性的感光性层叠体的制造装置和制造方法。
本发明是一种感光性层叠体的制造装置，把在支撑体上形成感光材料层的长条状感光性薄板与基板一起向加热的一对压接辊之间送出，通过在所述基板粘贴所述感光材料层，制造感光性层叠体的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，
具有：配置在所述一对压接辊的前级，把所述基板调整到给定的加热温度，提供给所述压接辊之间的基板加热部；
基板加热部，具有：
使第一加热部件与所述基板的全面接触，把所述基板加热到第一加热温度的第一加热机构；
把加热到第一加热温度的所述基板通过第二加热部件在非接触状态下加热保持到第二加热温度，通过输送部件输送到所述压接辊之间的第二加热机构；
从所述第一加热机构向所述第二加热机构供给所述基板的基板供给机构。
此外，本发明是一种感光性层叠体的制造方法，把在支撑体上形成感光材料层的长条状感光性薄板与基板一起向加热的一对压接辊之间送出，通过在所述基板粘贴所述感光材料层，制造感光性层叠体的感光性层叠体，其特征在于，包括：
使第一加热部件与所述基板的全面接触，把所述基板加热到第一加热温度的步骤；
把加热到第一加热温度的所述基板通过第二加热部件在非接触状态下加热保持到第二加热温度的步骤；
把加热保持到第二加热温度的所述基板输送到所述压接辊之间的步骤。
在本发明中，通过使第一加热部件与基板的全面接触，能把基板迅速加热到均一的温度。接着，通过第二加热部件在非接触状态下加热保持基板，输送到压接辊之间，对处于所希望的加热状态的基板粘贴感光材料层，能制造高质量的感光性层叠体。这时，能通过第一加热部件迅速加热基板的温度，所以没必要大型地构成组成第二加热部件的第二加热机构，能降低设备成本，并且能提高感光性层叠体的生产性。
从与附图协同的以下的适合的实施方式的说明，所述目的、特征和优点会变得更清楚。
附图说明
图1是本实施方式的感光性层叠体的制造装置的概略结构图。
图2是本实施方式的制造装置中使用的长条状感光性薄板的剖视图。
图3是在长条状感光性薄板接合接合标签的状态的说明图。
图4是第一加热机构的结构图。
图5是第一加热机构、基板供给机构和第二加热机构之间的玻璃基板的温度和时间的关系图。
图6是在第一加热机构设定给定的温度分布时的第一加热机构、基板供给机构和第二加热机构之间的玻璃基板的温度和时间的关系图。
图7是其他实施方式的制造装置的概略结构图。
图8是以往技术的制造装置的结构图。
图9是在图8所示的制造装置中，由基板加热部加热的基板的温度测定点的说明图。
图10是图9所示的各温度测定点的温度和时间的关系图。
具体实施方式
图1是本实施方式的感光性层叠体的制造装置20的概略结构图。该制造装置20在液晶或有机EL用滤色器等的制造步骤中，进行把由给定宽度尺寸构成的长条状感光性薄板(ウエブ)22的感光性树脂层28(后面描述)热转印(层压：ラミネ—ト)到玻璃基板24的作业。
图2是制造装置20中使用的长条状感光性薄板22的剖视图。层叠可挠性基膜(支撑体)26、感光性树脂层(感光材料层)28、保护膜30，构成该长条状感光性薄板22。
如图1所示，制造装置20，具有：薄板送出机构32，其容纳把长条状感光性薄板22卷绕为卷(ロ—ル)状的感光性薄板卷23，并能够从感光性薄板卷23送出所述长条状感光性薄板22；加工机构36，其形成半切割部位(加工部位)34a、34b(参照图2)即能够在送出的长条状感光性薄板22的保护膜30和感光性树脂层28的宽度方向切断的2处的边界部分；标签接合(接着)机构40，其把在一部分具有非接合部38a的接合标签38(参照图3)与保护膜30接合。
在标签接合机构40的下游，配置：把长条状感光性薄板22从间歇(タクト)输送变更为连续输送的蓄积(レザ—バ)机构42；从长条状感光性薄板22以给定的长度间隔剥离保护膜30的剥离机构44；把玻璃基板24加热到给定温度的第一加热机构104；把由第一加热机构104加热的玻璃基板24在加热保持的状态下提供到粘贴位置的第二加热机构106a、106b；把玻璃基板24从第一加热机构104提供给第二加热机构106a的基板供给机构108；把由于所述保护膜30的剥离而露出的感光性树脂层28一体地粘贴到所述玻璃基板24的粘贴机构46。另外，第1加热机构104和第2加热机构106a、106b，构成基板加热部。
在粘贴机构46的粘贴位置的上游附近配置拍摄包含半切割部位34a、34b的长条状感光性薄板22的图像的摄影部47。制造装置20根据由摄影部47拍摄的半切割部位34a、34b的图像，计算半切割部位34a、34b相对于粘贴机构46的位置偏移量，进行长条状感光性薄板22的输送量的修正。
在薄板送出机构32的下游附近，配置对大致使用完毕的长条状感光性薄板22的后端和新使用的长条状感光性薄板22的顶端进行粘贴的粘贴台49。在粘贴台49的下游，为了控制由感光性薄板卷23的缠绕偏移引起的宽度方向的偏移，配置薄膜末端位置检测器51。这里，使薄板送出机构32在宽度方向移动而进行薄膜末端位置调整，但是也可以设置组合了辊(ロ—ラ)的位置调整机构，进行。
加工机构36配置在用于计算在薄板送出机构32中容纳卷绕的感光性薄板卷23的卷直径的辊对50的下游。加工机构36具有分开距离M(图2)的一对圆刀52a、52b。圆刀52a、52b在长条状感光性薄板22的宽度方向移动，在夹着保护膜30的残存部分30b的给定的2处的位置形成半切割部位34a、34b。另外，残存部分30b前后的保护膜30是剥离保护膜30的剥离部分30a。
如图2所示，半切割部位34a、34b至少有必要切断保护膜30和感光性树脂层28，实际上以切入到可挠性基膜26的方式设定圆刀52a、52b的切入深度。采用圆刀52a、52b在不旋转而固定的状态下，在长条状感光性薄板22的宽度方向移动而形成半切割部位34a、34b的方式；或采用在所述长条状感光性薄板22上不滑动，而一边旋转一边在所述宽度方向移动，形成半切割部位34a、34b的方式。也可以代替圆刀52a、52b，采用除了例如使用激光或超声波的切割方式外，用刀刃、按压切刀(汤姆逊刀：トムソン
Figure A200810168930D0008095354QIETU
)等形成半切割部位34a、34b的方式。
半切割部位34a、34b设定为在把感光性树脂层28粘贴到玻璃基板24时，例如从所述玻璃基板24的两端部分别向内侧逐次(ずつ)进入10mm的位置。另外，玻璃基板24之间的保护膜30的残存部分30b，作为在后面描述的粘贴机构46中把感光性树脂层28以框状(額
Figure A200810168930D0008140608QIETU
)粘贴在所述玻璃基板24时的掩模而发挥功能。
标签接合机构40为了与玻璃基板24之间对应地剩下保护膜30的残存部分30b，供给连接半切割部位34b一侧的剥离部分30a和半切割部位34a一侧的剥离部分30a的接合标签38。
如图3所示，接合标签38构成为长方形(短冊)状，例如由与保护膜30相同的树脂材料形成。接合标签38在中央部具有不涂敷粘合剂的非接合部(包含微粘合)38a，并且在该非接合部38a的两侧即所述接合标签38的纵向两端部具有与前方的剥离部分30a接合的第一接合部38b、与后方的剥离部分30a接合的第二接合部38c。
如图1所示，标签接合机构40具有能把最大7个接合标签38分别隔开给定间隔粘贴的吸附垫54a～54g，并且在基于所述吸附垫54a～54g的所述接合标签38的粘贴位置，可自由升降地配置用于从下方保持长条状感光性薄板22的承受台56。
蓄积机构42为了吸收上游一侧的长条状感光性薄板22的间歇(タクト)输送和下游一侧的所述长条状感光性薄板22的连续输送的速度差，具有在箭头方向能自由摇动的跳动辊(ダンサ—ロ—ラ)60。
配置在蓄积机构42的下游的剥离机构44具有用于遮断长条状感光性薄板22的送出一侧的张力变动，使层压时的张力稳定化的空吸鼓(サクシヨンドラム)62。在空吸鼓62的附近配置剥离辊63，并且通过该剥离辊63从长条状感光性薄板22以锐角的剥离角剥离的保护膜30除了残存部分，由保护膜卷绕部64卷绕。
在剥离机构44的下游一侧配置对长条状感光性薄板22能付与张力的张力控制机构66。张力控制机构66在汽缸的驱动作用下，张力浮动辊70摇动变位，能调整长条状感光性薄板22的张力。另外，张力控制机构66可以按照必要使用，也能去掉。
第一加热机构104具有由上下2级构成的加热盘110a、110b。如图4所示，加热盘110a、110b具有通过从加热盘驱动源112供给的电力，均一加热到给定温度(第一加热温度)的基板载置面114。在基板载置面114，在由基板引导部116a～116d定位的状态下，载置玻璃基板24。此外，在基板载置面114形成用于把玻璃基板24在基板载置面114吸附并且解除吸附的多个孔部118。在孔部118通过管路120连接空气供给源128和真空泵130。在管路120和空气供给源128之间、管路120和真空泵130之间连接用于切换空气供给源128和真空泵130的连接状态的阀门132a、132b。
基板供给机构108由保持在第一加热机构104的加热盘110a、110b安放的玻璃基板24，在图1的箭头θ方向旋转，把玻璃基板24向第二加热机构106a供给的处理机器人构成。
第二加热机构106a、106b具有：输送玻璃基板24，提供给粘贴机构46的橡胶辊80a、80b之间的输送部134a、134b；配置在输送部134a、134b的上下，以非接触状态加热玻璃基板24的红外线加热器136a～136d。另外，也可以代替红外线加热器136a～136d使用远红外线加热器、镍铬(二クロム)合金线加热器、热风加热器等。
粘贴机构46具有配置在上下，并且加热到给定温度的橡胶辊(压接辊)80a、80b。在橡胶辊80a、80b，备用辊82a、82b滑动接触。一方的备用辊82b通过构成辊夹部83的加压汽缸84被向橡胶辊80b一侧按压。
玻璃基板24由构成从粘贴机构46在箭头Y方向延伸的输送路线的多个基板输送辊90a～90d输送。在基板输送辊90b、90c之间配置通过切断玻璃基板24之间的长条状感光性薄板22，分离在玻璃基板24粘贴感光材料层的感光性层叠体24a的切割机构48。
在基板输送辊90d的下游一侧配置在层叠的状态下存放多个感光性层叠体24a的存放器94，通过机器人96把由切割机构48分离的感光性层叠体24a移动安放到该存放器94。与存放器94相邻，配置把感光性层叠体24a中残存的可挠性基膜26与保护膜30的残存部分30b一起剥离的剥离部98。剥离部98具有吸附保持玻璃基板24的吸附盘102、从由吸附盘102保持的玻璃基板24上粘贴的感光性树脂层28剥离可挠性基膜26的夹持器100。由夹持器100剥离可挠性基膜26的感光性层叠体24b提供给下一步骤，例如曝光步骤。
另外，在如以上那样构成的制造装置20中，薄板送出机构32、加工机构36、标签接合机构40、蓄积机构42、剥离机构44、张力控制机构66和摄影部47配置在粘贴机构46的上方，但是也可以与此相反，在所述粘贴机构46的下方配置从所述薄板送出机构32到所述摄影部47，长条状感光性薄板22的上下变为相反，在玻璃基板24的下侧粘贴感光性树脂层28的结构。此外，也可以把长条状感光性薄板22的输送路线构成为直线状。
制造装置20内通过分隔壁122划分为第一净化室124a和第二净化室124b。在第一净化室124a容纳从薄板送出机构32到张力控制机构66，在第二净化室124b容纳摄影部47以下的机构。第一净化室124a和第二净化室124b通过贯通部126连通。
下面，用与本发明的制造方法的关联，说明如以上那样构成的制造装置20的动作。
首先，从安装在薄板送出机构32的感光性薄板卷23送出长条状感光性薄板22。长条状感光性薄板22输送到加工机构36。
在加工机构36，圆刀52a、52b在长条状感光性薄板22的宽度方向移动，把所述长条状感光性薄板22从保护膜30切入到感光性树脂层28乃至可挠性基膜26，形成以保护膜30的残存部分30b的宽度M离开的半切割部位34a、34b(参照图2)。据此，在长条状感光性薄板22，夹着残存部分30b，设置前方的剥离部分30a和后方的剥离部分30a(参照图2)。
另外，以长条状感光性薄板22不变长为前提，以提供给粘贴机构46的橡胶辊80a、80b之间的玻璃基板24之间的距离为基准，设定残存部分30b的幅度M。此外，以幅度M形成的一组的半切割部位34a、34b，以在玻璃基板24粘贴的感光性树脂层28的基准长度的间隔，形成在长条状感光性薄板22上。
接着，长条状感光性薄板22输送到标签接合机构40，保护膜30的给定的粘贴部位配置在承受台56上。在标签接合机构40，给定个数的接合标签38由吸附垫54b～54g吸附保持，各接合标签38跨保护膜30的残存部分30b，与前方的剥离部分30a和后方的剥离部分30a一体接合(参照图3)。
例如，接合7个接合标签38的长条状感光性薄板22如图1所示，通过蓄积机构42防止送出一侧的张力变动后，连续输送到剥离机构44。在剥离机构44，长条状感光性薄板22的可挠性基膜26由空吸鼓62吸附保持，并且保护膜30剩下残存部分30b，从长条状感光性薄板22剥离。该保护膜30通过剥离辊63剥离，由保护膜卷绕部64卷绕(参照图1)。
在剥离机构44的作用下，保护膜30剩下残存部分30b，从可挠性基膜26剥离后，长条状感光性薄板22由张力控制机构66进行张力调整，接着，在摄影部47，在给定的定时拍摄包含半切割部位34a、34b的长条状感光性薄板22的图像。
通过摄影部47后的长条状感光性薄板22输送到粘贴机构46，从而进行对玻璃基板24的感光性树脂层28的转印处理(层压)。这时，根据由摄影部47摄影的半切割部位34a、34b的图像，调整粘贴机构46的半切割部位34a、34b的位置。
在粘贴机构46，起初把橡胶辊80a、80b设定为分开的状态，在橡胶辊80a、80b之间的给定位置在将长条状感光性薄板22的半切割部位34a定位的状态下，暂时停止长条状感光性薄板22的输送。在该状态下，由第二加热机构106b加热到给定温度的玻璃基板24由输送部134b输送到橡胶辊80a、80b之间，并开始对玻璃基板24的长条状感光性薄板22的粘贴处理。
这里，说明基于第一加热机构104、基板供给机构108、第二加热机构106a、106b的玻璃基板24的加热处理。
首先，基板供给机构108从未图示的输送装置等取得加热前的玻璃基板24，安放到构成第一加热机构104的加热盘110a、110b的基板载置面114(图4)。这时，由配置在基板载置面114上的基板引导部116a～116d把玻璃基板24定位。在基板载置面114安放玻璃基板24后，打开阀门132b，通过管路120和孔部118，开始基于真空泵130的空气的吸引。结果，玻璃基板24的全面在与加热盘110a、110b的基板载置面114接触的状态下，开始定位固定。
而加热盘110a、110b通过从加热盘(ホツトプレ—ト)驱动源112供给的电力，把基板载置面114加热到比粘贴机构46的加热温度更高的第一加热温度(以下称作HP温度)。这时，玻璃基板24成为全面与基板载置面114紧贴的状态，所以全面能均一并且迅速加热到HP温度。
玻璃基板24加热到HP温度后，关闭阀门132b，打开阀门132a，通过从空气供给源128通过管路120对孔部118供给的空气，解除玻璃基板24的吸附状态。然后，基板供给机构108从第一加热机构104取出加热的玻璃基板24，沿箭头θ方向旋转，提供给第二加热机构106a的输送部134a。
第二加热机构106a通过非接触的红外线加热器136a、136b，一边把玻璃基板24加热保持到比HP温度低而接近于橡胶辊80a、80b的加热温度的第二加热温度，一边通过输送部134a输送到第二加热机构106b。第二加热机构106b与第二加热机构106a同样，通过红外线加热器136c、136d，一边以第二加热温度加热保持玻璃基板24，一边通过输送部134b输送到粘贴机构46。
图5表示基板供给机构108从第一加热机构104取出加热的玻璃基板24，旋转180°，使玻璃基板24的前后颠倒，提供给第二加热机构106a时，在图9所示的测定点X1和X3的玻璃基板24的温度和加热时间的关系。另外，HP表示玻璃基板24位于第一加热机构104，R/B表示玻璃基板24位于基板供给机构108，iR表示玻璃基板24位于第二加热机构106a、106b的各位置。
玻璃基板24通过第一加热机构104的加热盘110a、110b，均一并且迅速加热到HP温度后，在由基板供给机构108提供给第二加热机构106a的期间，温度渐渐下降。接着，提供给第二加热机构106a的玻璃基板24由输送部134a输送，测定点X3一侧的加热比测定点X1一侧先开始。因此，测定点X3一侧以少的温度下降接近第二加热温度即目标温度。而测定点X1一侧输送到第二加热机构106a所需的时间比测定点X3一侧更长，所以，温度下降到目标温度以下，然后，输送第二加热机构106a而加热，渐渐接近目标温度。
这时，在玻璃基板24从第二加热机构106a、106b提供给粘贴机构46的时刻，在测定点X1、X3之间残存温度差△T1，但是玻璃基板24由第一加热机构104预先加热到HP温度，所以通过第二加热机构106a、106b，温度差△T1变为允许范围内所需要的时间段。因此，玻璃基板24不在第二加热机构106a、106b长期滞留，或者不用沿着玻璃基板24的输送方向，较长(長尺)地构成第二加热机构106a、106b，就能把玻璃基板24调整到所希望的目标温度附近，能快速提供给粘贴机构46。
另外，如图6所示，以与先输送第二加热机构106a中的测定点X3一侧的HP温度T3相比较迟输送的测定点X1一侧的HP温度T1更高的方式设定加热盘110a、110b的温度分布，在基于基板供给机构108的玻璃基板24的供给动作中，能避免测定点X1一侧的温度过剩地下降。结果，玻璃基板24提供给粘贴机构46的时刻的测定点X1、X3之间的温度差△T2比温度差△T1更小，或者缩短基于第二加热机构106a、106b的加热所需的时间，能缩短第二加热机构106a、106b的输送路线长度。这时，也可以省略第二加热机构106a、106b的一方。
如以上那样调整温度的玻璃基板24输送构成粘贴机构46的橡胶辊80a、80b之间，进行对玻璃基板24的长条状感光性薄板22的粘贴处理。
因此，如果玻璃基板24的顶端部输送橡胶辊80a、80b之间，在加压汽缸84的作用下，备用辊82b和橡胶辊80b上升，以给定的压力在橡胶辊80a、80b之间夹入长条状感光性薄板22。另外，将橡胶辊80a、80b加热到给定的层压温度。
接着，橡胶辊80a、80b旋转，玻璃基板24和长条状感光性薄板22沿箭头Y方向输送。这时，提供给粘贴机构46的玻璃基板24在第二加热机构106b一侧，在允许的温度差的范围内加热到大致均一的温度。因此，不会在感光性树脂层28和玻璃基板24之间混入气泡或者在感光性树脂层28产生皱褶，在良好的状态下，感光性树脂层28被加热熔化，转印(层压)到玻璃基板24上。
另外，作为层压条件，速度是1.0m/min～10.0m/min，橡胶辊80a、80b的温度是80℃～150℃，所述橡胶辊80a、80b的橡胶硬度是40度～90度，该橡胶辊80a、80b的压力(线压力)是50N/cm～400N/cm。
对于玻璃基板24，如果一个长条状感光性薄板22的一片层压结束，就停止橡胶辊80a、80b的旋转，而层压了长条状感光性薄板22的玻璃基板24的顶端部由基板输送辊90a夹住。这时，在橡胶辊80a、80b之间的给定位置配置半切割部位34b。
然后，橡胶辊80b向从橡胶辊80a离开的方向回避，解除夹持，在玻璃基板24层压长条状感光性薄板22的感光性层叠体沿箭头Y方向输送与保护膜30的残存部分30b的宽度M对应的距离，下一半切割部位34a输送到橡胶辊80a的下方附近的给定位置后，停止橡胶辊80a、80b的旋转。另外，以下把只在半切割部位34a、34b之间输送长条状感光性薄板22的处理称作“基板间输送”。
另一方面，在所述的状态下，下一玻璃基板24从第二加热机构106b向粘贴位置输送。通过重复以上的动作，连续地制造感光性层叠体。
这时，感光性层叠体把各自的端部由图2所示的保护膜30的残存部分覆盖。因此，感光性树脂层28转印到玻璃基板24时，橡胶辊80a、80b不会由所述感光性树脂层28污染。
通过粘贴机构46粘贴了感光性树脂层28的玻璃基板24，由粘贴机构46把长条状感光性薄板22进行基板间输送后，暂时处于停止状态时，通过配置在基板输送辊90b、90c之间的切割机构48，切断玻璃基板24之间的长条状感光性薄板22，成为感光性层叠体24a。另外，在该感光性层叠体24a的前后，残存部分30b的保护膜30残存。
分离后的感光性层叠体24a通过机器人96暂时层叠到存放器94中。接着，在存放器94层叠的感光性层叠体24a移动安放到剥离部98后，玻璃基板24由吸附盘102吸附保持，端部的可挠性基膜26由夹持器100把持，从感光性层叠体24a剥离，从而制造在玻璃基板24只粘贴感光性树脂层28的感光性层叠体24b。
图7是其他实施方式的制造装置200的概略结构图。另外，对与图1所示的制造装置20相同的构成要素付与相同的参照符号，省略其说明。
在制造装置200，通过粘贴机构46粘贴有长条状感光性薄板22的玻璃基板24，不分断(分断)地输送到冷却部202，冷却后，提供给剥离部204。在剥离部204通过推动器，把玻璃基板24之间的长条状感光性薄板22向上推，成为保护膜30的剥离容易的状态后，从感光性树脂层28剥离保护膜30，由卷绕辊208卷绕。据此，玻璃基板24之间分离，制造感光性层叠体24b。
另外，在上述的实施方式中，以在玻璃基板24粘贴从一片感光性薄板卷23供给的长条状感光性薄板22而制造所谓的1张(丁)粘贴的感光性层叠体24b的方式构成，但是，例如也可以按照从2个感光性薄板卷或3个以上的感光性薄板卷供给长条状感光性薄板22，在玻璃基板24粘贴的所谓2张粘贴、3张粘贴等感光性层叠体24b的方式构成。

Claims (8)

1.一种感光性层叠体的制造装置，把在支撑体(26)上形成感光材料层(28)而成的长条状感光性薄板(22)与基板(24)一起发送到加热后的一对压接辊(80a、80b)之间，通过在所述基板(24)粘贴所述感光材料层(28)，制造感光性层叠体(24a)，其特征在于，
该感光性层叠体的制造装置，具有：
基板加热部(104、106a、106b)，其配置在所述一对压接辊(80a、80b)的前级，把所述基板(24)调整到给定的加热温度，且提供到所述压接辊(80a、80b)之间；
所述基板加热部(104、106a、106b)具有：
使第一加热部件(110a、110b)与所述基板(24)的整个面接触，把所述基板(24)加热到第一加热温度的第一加热机构(104)；
把加热到第一加热温度的所述基板(24)由第二加热部件(136a～136d)在非接触状态下加热保持到第二加热温度，且由输送部件(134a、134b)输送到所述压接辊(80a、80b)之间的第二加热机构(106a、106b)；以及
从所述第一加热机构(104)向所述第二加热机构(106a、106b)供给所述基板(24)的基板供给机构(108)。
2.根据权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，
所述第一加热部件(110a、110b)由加热盘构成。
3.根据权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，
所述第二加热部件(136a～136d)是红外线加热器。
4.根据权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，
所述第一加热温度设定得比所述第二加热温度更高。
5.根据权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，
所述第二加热温度被设定在所述一对压接辊(80a、80b)的加热温度附近。
6.一种感光性层叠体的制造方法，把在支撑体(26)上形成感光材料层(28)而成的长条状感光性薄板(22)与基板(24)一起向被加热后的一对压接辊(80a、80b)之间送出，通过在所述基板(24)粘贴所述感光材料层(28)，制造感光性层叠体(24a)，其特征在于，
该感光性层叠体的制造方法，具有：
使第一加热部件(110a、110b)与所述基板(24)的整个面接触，且把所述基板(24)加热到第一加热温度的步骤；
把加热到所述第一加热温度的所述基板(24)由第二加热部件(136a～136d)在非接触状态下加热保持到第二加热温度的步骤；
把加热保持到所述第二加热温度的所述基板(24)输送到所述压接辊(80a、80b)之间的步骤。
7.根据权利要求6所述的感光性层叠体的制造方法，其特征在于，
所述第一加热温度设定得比所述第二加热温度更高。
8.根据权利要求6所述的感光性层叠体的制造方法，其特征在于：
所述第二加热温度设定在所述一对压接辊(80a、80b)的加热温度附近。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108621533A (zh) * 2017-03-15 2018-10-09 株式会社斯库林集团 基材处理装置及基材处理方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01244467A (ja) * 1988-03-25 1989-09-28 Somar Corp 薄膜圧着方法及び薄膜圧着装置
JPH06349727A (ja) * 1993-06-11 1994-12-22 Fuji Photo Film Co Ltd 感光層積層方法
JPH08183146A (ja) * 1994-12-28 1996-07-16 Sharp Corp ドライレジストフィルムのラミネート方法
JP2000181080A (ja) * 1998-12-21 2000-06-30 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性樹脂層積層方法
JP2006088511A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Eco & Engineering Co Ltd ラミネート装置
JP2006297889A (ja) * 2004-07-06 2006-11-02 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性積層体の製造装置及び製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002127250A (ja) * 2000-10-20 2002-05-08 Nec Corp ドライフィルムラミネータ
JP3756402B2 (ja) * 2000-12-08 2006-03-15 富士写真フイルム株式会社 基板搬送装置及び方法
JP4744713B2 (ja) * 2001-04-05 2011-08-10 東芝モバイルディスプレイ株式会社 ラミネート装置およびラミネート方法
JP4741307B2 (ja) * 2005-05-20 2011-08-03 富士フイルム株式会社 加熱装置及び加熱方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01244467A (ja) * 1988-03-25 1989-09-28 Somar Corp 薄膜圧着方法及び薄膜圧着装置
JPH06349727A (ja) * 1993-06-11 1994-12-22 Fuji Photo Film Co Ltd 感光層積層方法
JPH08183146A (ja) * 1994-12-28 1996-07-16 Sharp Corp ドライレジストフィルムのラミネート方法
JP2000181080A (ja) * 1998-12-21 2000-06-30 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性樹脂層積層方法
JP2006297889A (ja) * 2004-07-06 2006-11-02 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性積層体の製造装置及び製造方法
JP2006088511A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Eco & Engineering Co Ltd ラミネート装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108621533A (zh) * 2017-03-15 2018-10-09 株式会社斯库林集团 基材处理装置及基材处理方法
CN108621533B (zh) * 2017-03-15 2020-06-30 株式会社斯库林集团 基材处理装置及基材处理方法

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