CN101254676A - 感光性层叠体的制造装置及制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种感光性层叠体的制造装置和制造方法，在由旋转编码器(51)计数的脉冲数成为预定的规定脉冲数时，驱动CCD照相机(72)，对半切部位(34a)的图像进行摄影，在位置偏移量算出部(128)中，算出半切部位(34a)相对于基准位置的位置偏移量。控制脉冲修正部(132)根据所述位置偏移量来修正基板间输送量，在对粘贴机构(46)中的长条状感光性片(22)的基板间输送量进行调整之后，将玻璃基板(24)搬入到粘贴机构(46)中，进行层压处理。

Description

感光性层叠体的制造装置及制造方法

技术领域

本发明涉及一种将基板和在支承体上设置有感光材料层的长条状感光性片(web)输送到一对压接辊之间，通过使所述感光材料层与所述基板贴合，来制造感光性层叠体的感光性层叠体的制造装置及制造方法。

背景技术

例如，液晶面板用基板、印刷布线用基板、PDP用基板通过将具有感光性树脂层(感光材料层)的感光性薄片体(感光性片)粘贴到基板表面而构成。感光性薄片体例如在可挠性塑料支承体上依次层叠有感光性树脂层和保护薄膜。

这种感光性薄片体的粘贴中所使用的制造装置，通常采用使玻璃基板或树脂基板等的基板分别隔离规定的间隔搬送到层压辊(lamination roller)之间，并且，将剥离了保护薄膜之后的感光性薄片体搬送到所述层压辊之间的方式，其中，所述保护薄膜与所述基板上粘贴的感光性树脂层的范围对应。

例如，在特开平11-34280号公报所公开的制造装置中，如图11所示，从薄膜辊(film roll)1导出的层叠体薄膜(感光性薄片体)1a被卷绕于导向辊2a、2b，沿着水平的薄膜搬送面延伸。在该导向辊2b上安装有旋转编码器3，用于输出与层叠体薄膜1a的输送量对应的数量的脉冲信号。

沿着水平的薄膜搬送面延伸的层叠体薄膜1a被卷绕于吸辊(suctionroller)4，并且，在所述导向辊2b与所述吸辊4之间设置有半切(half cut)装置5和覆盖膜剥离装置6。

半切装置5具有在层叠体薄膜1a的搬送方向上隔离规定间隔的一对盘形切断机(disc cutter)5a、5b。通过盘形切断机5a、5b沿着层叠体薄膜1a的薄膜宽度方向移动，如图12所示，在保留支承薄膜的状态下，将所述层叠体薄膜1a的覆盖薄膜(未图示)中的剥离部分A与残存部分B之间的两处交界部分14a、14b，与感光性树脂层(未图示)一同切断。

覆盖膜剥离装置6将从粘接带辊7导出的粘接带7a在按压辊8a、8b之间强力压接到覆盖薄膜的剥离部分A之后，通过卷绕辊9进行卷绕。由此，覆盖薄膜的剥离部分A被从感光性树脂层剥离，与粘接带7a一同被卷绕于卷绕辊9。

在吸辊4的下游，在被基板搬送装置10以规定的间隔进行搬送的多个基板11的上面，配置有对剥离了覆盖薄膜的层叠体薄膜1a的剥离部分A进行重叠压接的一对层压辊12a、12b。在该层压辊12a、12b的下游侧配置有支承薄膜卷绕辊13。粘贴在感光性树脂层的支承薄膜(未图示)以在基板11上残存感光性树脂层的状态，与覆盖薄膜的残存部分B一同被卷绕于支承薄膜卷绕辊13。

为了将剥离了覆盖薄膜的层叠体薄膜1a的剥离部分A正确地粘贴到基板11的期望的范围，例如，需要按照覆盖薄膜的剥离部分A与残存部分B的交界部分14a，被设定在距离基板11的前端部为距离K的规定位置的方式，将层叠体薄膜1a高精度地输送到层压辊12a、12b之间。

该情况下，在现有的制造装置中，对从旋转编码器3输出的脉冲信号的脉冲数进行计数，在达到由半切装置5形成的交界部分14a到达层压辊12a、12b为止的规定脉冲数时，开始层叠体薄膜1a的剥离部分A对基板11的压接。

然而，由于层叠体薄膜1a在可挠性的支承薄膜上形成有感光性树脂层，并以附加了张力的状态被搬送，所以，因此层叠体薄膜1a在搬送中延长，有可能导致粘贴于基板11的所述交界部分14a的位置发生偏移。特别是由于层压辊12a、12b以加热的状态使层叠体薄膜1a和基板11贴合，所以，在层压辊12a、12b附近处的层叠体薄膜1a的延长将增大。

因此，如果连续进行对基板11的粘贴处理，则因粘贴位置偏移的累计会超过容许的范围。因此，在进行了规定个数的粘贴处理之后，需要计测层叠体薄膜1a相对于基板11的粘贴位置的偏移量，并通过用于修正该偏移的半切装置5对交界部分14a、14b的形成位置进行修正。该情况下，由于能够连续处理的感光性层叠体的个数受到制约，所以，导致生产效率显著下降。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够以简易的构成高精度地检测出在长条状感光性片上形成的加工部位的位置，并且，可高效地制造高品质的感光性层叠体的感光性层叠体的制造装置及制造方法。

本发明提供一种感光性层叠体的制造装置，通过送出在支承体上依次层叠感光材料层和保护薄膜而构成的长条状感光性片，将与所述保护薄膜的剥离部分和残存部分的交界位置对应的加工部位，形成到从所述保护薄膜至所述感光材料层的部分，在对所述保护薄膜的所述剥离部分进行剥离之后，与以规定的间隔被供给的基板一同，将所述长条状感光性片连续输送到被加热的一对压接辊之间，将所述保护薄膜的所述残存部分配置在所述基板间，并且将露出的所述感光材料层粘贴到所述基板上，来制造感光性层叠体，该感光性层叠体的制造装置包括：对形成有所述加工部位的所述长条状感光性片的输送量进行计测的输送量计测部；配置在形成所述加工部位的加工部与所述压接辊之间的所述长条状感光性片的搬送路径中，用于取得所述加工部位相对于基准位置的位置偏移信息的位置偏移信息取得部；为了取得所述位置偏移信息，在由所述输送量计测部(51)计测的所述输送量成为规定的设定输送量的时刻，对所述位置偏移信息取得部施力的施力部；和根据所取得的所述位置偏移信息，对所述长条状感光性片相对于所述压接辊的输送量进行修正的输送量修正部。

而且，本发明提供一种感光性层叠体的制造方法，通过送出在支承体上依次层叠感光材料层和保护薄膜而构成的长条状感光性片，将与所述保护薄膜的剥离部分和残存部分的交界位置对应的加工部位，形成到从所述保护薄膜至所述感光材料层的部分，在对所述保护薄膜的所述剥离部分进行剥离之后，与以规定的间隔被供给的基板一同，将所述长条状感光性片连续输送到被加热的一对压接辊之间，将所述保护薄膜的所述残存部分配置在所述基板间，并且将露出的所述感光材料层粘贴到所述基板上，来制造感光性层叠体，该感光性层叠体的制造方法包括：对形成有所述加工部位的所述长条状感光性片的输送量进行计测的步骤；在形成所述加工部位的加工部与所述压接辊之间的所述长条状感光性片的搬送路径中，当所计测的所述输送量成为规定的设定输送量的时刻，取得所述加工部位相对于基准位置的位置偏移信息的步骤；和根据所取得的所述位置偏移信息，对所述长条状感光性片相对于所述压接辊的输送量进行修正的步骤。

在本发明中，能够以简易的构成高精度地检测出在长条状感光性片上形成的加工部位的位置。而且，通过取得检测出的所述加工部位的位置相对于基准位置的位置偏移信息，来修正长条状感光性片的输送量，可以高效地制造高品质的感光性层叠体。

根据添加的附图和下述优选的实施方式例的说明，能够更加明确上述的目的、特征及优点。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的制造装置的概略构成图。

图2是第一实施方式所涉及的制造装置中所使用的长条状感光性片的剖面图。

图3是粘接标签粘接于长条状感光性片的状态的说明图。

图4是形成半切部位的加工机构、取得半切部位的位置偏移信息的摄影部及粘贴机构的配置关系说明图。

图5是根据半切部位的位置偏移信息来进行基板间输送控制的修正处理的电路构成框图。

图6是根据半切部位的位置偏移信息来进行基板间输送控制的修正处理的流程图。

图7是由摄像部取得的半切部位的位置偏移信息的说明图。

图8是由摄像部取得的半切部位的位置偏移信息的说明图。

图9是长条状感光性片的层压控制及基板间输送控制的说明图。

图10是本发明的第二实施方式所涉及的制造装置的概略构成图。

图11是现有技术所涉及的制造装置的概略构成图。

图12是在长条状感光性片上形成的半切部位、与粘贴有长条状感光性片的基板之间的位置关系说明图。

具体实施方式

图1是本发明的第一实施方式所涉及的感光性层叠体制造装置20的概略构成图，该制造装置20在液晶或有机EL用滤色器等的制造工序中，进行将由规定宽度尺寸构成的长条状感光性片22的感光性树脂层28(后述)热转印(层压)到玻璃基板24上的作业。

图2是制造装置20所使用的长条状感光性片22的剖面图。该长条状感光性片22通过将可挠性基体薄膜(支承体)26、感光性树脂层(感光性材料层)28和保护薄膜30层叠而构成。

如图1所示，制造装置20具备：片送出机构32，其收容将长条状感光性片22卷绕成辊状的感光性片辊23，能够从感光性片辊23送出所述长条状感光性片22；形成半切部位(加工部位)34a、34b(参照图2)的加工机构36(加工部)，所述半切部位34a、34b作为被送出的长条状感光性片22的保护薄膜30及感光性树脂层28在宽度方向能够切断的两处交界部分；和标签粘贴机构40，其使一部分上具有非粘接部38a的粘接标签38(参照图3)粘接于保护薄膜30。

在标签粘接机构40的下游设置有：贮备(reservior)机构42，用于将长条状感光性片22从间歇输送变更为连续输送；剥离机构44，使保护薄膜以规定的长度间隔从长条状感光性片22剥离；基板供给机构45，以加热为规定温度的状态向粘贴位置供给玻璃基板24；和粘贴机构46，用于将因所述保护薄膜30的剥离而露出的感光性树脂层28一体粘贴到所述玻璃基板24上。

在粘贴机构46的粘贴位置的上游附近配置有摄影部47，用于对包括半切部位34a的长条状感光性片22的图像进行摄影。

在片送出机构32的下游附近配置有粘贴台49，用于将几乎使用完的长条状感光性片22的后端与新使用的长条状感光性片22的前端粘贴在一起。在粘贴台49的下游配置有薄膜端末位置检测器53，用于控制因感光性片辊23的卷绕偏移而引起宽度方向的偏移。其中，薄膜端末位置调整通过使片送出机构32沿宽度方向移动来进行，但也可以附加设置组合了辊子的位置调整机构来进行。

加工机构36被配置在辊对50的下游，该辊对50用于算出被收容卷绕于片送出机构32的感光性片辊23的辊径。在该辊对50上连接着对长条状感光性片22的输送量进行计测的旋转编码器(输送量计测部)51。加工机构36具备分离了距离M的一对圆刃52a、52b。圆刃52a、52b沿着长条状感光性片22的宽度方向移动，在隔着保护薄膜30的残存部分B的规定两个位置形成半切部位34a、34b(参照图2)。

如图2所示，半切部位34a、34b至少需要切断保护薄膜30及感光性树脂层28，实际上按照切入到可挠性基体薄膜26为止的方式设定圆刃52a、52b的切入深度。圆刃52a、52b可采用以固定不旋转的状态沿着长条状感光性片22的宽度方向移动，来形成半切部位34a、34b的方式；或不在所述长条状感光性片22上滑动而一边旋转一边向所述宽度方向移动，来形成所述半切部位34a、34b的方式。该半切部位34a、34b的形成可以取代圆刃52a、52b，而采用例如使用了激光或超声波的切割方式，此外，还可以采用刀刃、按切刃(汤姆逊刃)等来形成的方式。

在将感光性树脂层28粘贴于玻璃基板24时，半切部位34a、34b例如被设定为在距离所述玻璃基板24的两端部分别10mm且进入到内侧的位置(与图12中的距离K对应)。另外，玻璃基板24间的保护薄膜30的残存部分B在后述的粘贴机构46中，作为以框状将感光性树脂层28粘贴于所述玻璃基板24时的掩模而发挥功能。

为了在玻璃基板24间对应地残留保护薄膜30的残存部分B，标签粘接机构40供给将半切部位34b侧的剥离部分A和半切部位34a侧的剥离部分A连接的粘接标签38。

如图3所示，粘接标签38构成为短栅状，例如通过与保护薄膜30相同的树脂材料形成。粘接标签38具有在中央部未涂敷粘接剂的非粘接部(包括微粘接)38a，并且，在该非粘接部38a的两侧、即所述粘接标签38的长度方向两端部，具有：与前方的剥离部分A粘接的第一粘接部38b、和与后方的剥离部分A粘接的第二粘接部38c。

如图1所示，标签粘接机构40具备能够逐次以规定间隔最多粘贴7个粘接标签38的吸附焊盘54a～54g，并且，在由所述吸附焊盘54a～54g进行所述粘接标签38的粘贴的位置，升降自如地配置有用于从下方保持长条状感光性片22的支承台56。

贮存机构42具备在箭头方向摆动自如的张力调节辊(dancer roller)60，用于吸收上游侧的长条状感光性片22的间歇搬送、与下游侧的所述长条状感光性片22的连续搬送的速度差。

配置在贮存机构42的下游的剥离机构44具备吸鼓(suction drum)62，用于切断长条状感光性片22的送出侧的张力变动，使层压时的张力稳定化。在吸鼓62的附近配置有剥离辊63，并且，通过该剥离辊63从长条状感光性片22以锐角的剥离角被剥离的保护薄膜30，除了残存部分B后被卷绕于保护薄膜卷绕部64。

在剥离机构44的下游侧配置有能够对长条状感光性片22赋予张力的张力控制机构66。通过张力调节器70在缸体68的驱动作用下进行摆动变位，张力控制机构66能够调整长条状感光性片22的张力。另外，张力控制机构66只要根据需要使用即可，也可以将其删除。

对一方的半切部位34a的位置进行检测的摄影部47如图4所示，被配置在搬送辊71与搬送辊73之间的长条状感光性片22成为直线状的部分，是具有在长条状感光性片22的搬送方向延伸的摄影区域的二维传感器，例如，具备：CCD照相机72；和隔着长条状感光性片22与CCD照相机72对置配置，向长条状感光性片22照射照明光的二维光源69。

CCD照相机72只要能够检测出半切部位34a相对于长条状感光性片22的搬送方向的位置即可，例如，可以由在所述搬送方向排列有多个检测像素的一维CCD照相机构成。另外，将从二维光源69输出的照明光设为由不会使感光性树脂层28感光的波长构成的光、例如设为红色光。在CCD照相机72的摄影区域中配置有规定基准位置的基准片67。此外，可以替代基准片67的使用，而确定构成CCD照相机72的检测像素，将该检测像素的位置设为基准位置。

基板供给装置45具备：按照夹持玻璃基板24的方式配置的基板加热部(例如加热器)74；沿着箭头Y方向搬送该玻璃基板24的搬送部76；和对玻璃基板24的后端部的停止位置进行检测的停止位置检测传感器78。在基板加热部74中，总是监视玻璃基板24的温度，当发生异常时使搬送部76停止或发出警报，并且发送异常信息、不在后续工序中排出异常的玻璃基板24，从而能够灵活应用于品质管理或生产管理等。在搬送部76中配设有未图示的气体上浮板，使玻璃基板24上浮、沿着箭头Y方向被搬送。玻璃基板24的搬送也可以通过滚柱式输送器来进行。

优选玻璃基板24的温度测定在基板加热部74内或粘贴位置之前进行。作为测定方法，除了接触式(例如热电偶)之外，还可以采用非接触式。

粘贴机构46具备被上下配置且加热为规定温度的橡胶辊(压接辊)80a、80b。托模辊(backup roller)82a、82b与橡胶辊80a、80b滑动接触。一方的托模辊82b被构成滚柱式夹紧部83的加压缸体84压向橡胶辊80b侧。

玻璃基板24被从粘贴机构46经由沿箭头方向延伸的搬送路径88搬送。在该搬送路径88中设置有薄膜搬送辊90a、90b及基板搬送辊92。优选橡胶辊80a、80b与基板搬送辊92的间隔被设定在一个玻璃基板24的长度以下。

而且，在基板搬送辊92的下游侧的规定位置，配置有用于切断玻璃基板24间的长条状感光性片22来作为感光性层叠体100的切断机构48。

另外，在如上所述而构成的制造装置20中，片送出机构32、加工机构36、标签粘贴机构40、贮存机构42、剥离机构44、张力控制机构66以及摄影部47被配置在粘贴机构46的上方，但也可与之相反，形成将所述片送出机构32到所述摄影部47配置到所述粘贴机构46的下方，使长条状感光性片22的上下颠倒，将感光性树脂层28粘贴到玻璃基板24的下侧的构成，而且也可以将长条状感光性片22的搬送路径构成为直线状。

制造装置20内通过隔壁110被划分为第一净化室112a和第二净化室112b。第一净化室112a中收容从片送出机构32到张力控制机构66，第二净化室112b中收容摄影部47之后的机构。第一净化室112a和第二净化室112b经由贯通部114连通。

图5表示制造装置20的控制电路框图。制造装置20的控制电路包括：图像检查控制盘120(位置偏移信息取得部)，其根据由构成摄影部47的CCD照相机72取得的、包括半切部位34a的长条状感光性片22的图像信息，取得半切部位34a的位置偏移信息；和层压控制盘122，其根据由图像检查控制盘120取得的所述位置偏移信息，控制粘贴机构46，对长条状感光性片22的输送量进行修正，来进行半切部位34a的位置调整。

图像检查控制盘120具有：快门控制部124(施力部)，其向CCD照相机72输出对CCD照相机72的图像摄影定时进行控制的快门信号；图像处理部126，其对由CCD照相机72摄影的半切部位34a及基准片67的图像信息进行处理；和位置偏移量算出部128，其根据处理后的图像信息，算出半切部位34a相对于以基准片67的位置决定的基准位置的位置偏移量。

快门控制部124上连接着：旋转编码器51，其将辊对50对长条状感光性片22的输送量作为脉冲数进行计数；和半切控制部130，其控制加工机构36，对半切部位34a、34b进行加工。半切控制部130对应半切部位34a、34b的加工时，对旋转编码器51输出脉冲计数开始信号；并且，对快门控制部124输出与长条状感光性片22的半切部位34a到达摄影部47中设定的基准位置为止的规定输送量对应的规定脉冲数。快门控制部124对由旋转编码器51供给的脉冲数的计数值、和由半切控制部130供给的规定脉冲数进行比较，在它们一致的时刻，向CCD照相机72输出快门信号。

层压控制盘122具备：控制脉冲修正部132(输送量修正部)，其根据由位置偏移量算出部128算出的半切部位34a的位置偏移量，对基于粘贴机构46的长条状感光性片22的搬送进行控制的控制脉冲实施修正；操作显示部134(修正条件设定部)，用于设定控制脉冲修正部132的修正条件；和层压控制部136，其根据由控制脉冲修正部132修正的控制脉冲，控制粘贴机构46。层压控制部136通过电动机控制部138对驱动橡胶辊80a、80b的驱动电动机140进行控制。其中，修正条件例如是指：在控制脉冲修正部132中对半切部位34a的位置进行修正的作为感光性层叠体100的个数的修正频度、用于修正控制脉冲的位置偏移量的处理方法等的条件。

接着，根据与本发明的制造方法的相关性，对如上构成的制造装置20的动作进行说明。

首先，从安装于片送出机构32的感光性片辊23送出长条状感光性片22。长条状感光性片22被搬送到加工机构36。

在加工机构36中，圆刃52a、52b向长条状感光性片22的宽度方向移动，将所述长条状感光性片22从保护薄膜30切入到感光性树脂层28甚至可挠性基体薄膜26，形成相隔保护薄膜30的残存部分B距离宽度M的半切部位34a、34b(参照图2)。由此，在长条状感光性片22中，隔着残存部分B设置了前方的剥离部分A和后方的剥离部分A(参照图2)。

其中，残存部分B的宽度M以长条状感光性片22不延伸为前提，是根据向粘贴机构46的橡胶辊80a、80b间供给的玻璃基板24间的距离而设定的。而且，以宽度M形成的一组半切部位34a、34b，按照粘贴于玻璃基板24的感光性树脂层28的基准长度的间隔形成在长条状感光性片22上。

接着，长条状感光性片22被搬送到标签粘贴机构40，保护薄膜30的规定的粘贴部位被配置在支承台56上。在标签粘贴机构40中，由吸附焊盘54b～54g吸附保持规定个数的粘接标签38，各粘接标签38跨过保护薄膜30的残存部分B，与前方的剥离部分A和后方的剥离部分A粘接成一体(参照图3)。

例如，粘贴了7个粘接标签38的长条状感光性片22如图1所示，在通过贮存机构42防止了送出侧的张力变动之后，被连续搬送到剥离机构44。在剥离机构44中，长条状感光性片22的可挠性基体薄膜26被吸附保持于吸鼓62，并且，保护薄膜30残余着残存部分B被从所述长条状感光性片22剥离。该保护薄膜30由剥离辊63剥离，被卷绕于保护薄膜卷绕部64(参照图1)。

当在剥离机构44的作用下，保护薄膜30残余着残存部分B从可挠性基体薄膜26剥离之后，长条状感光性片22通过张力控制机构66进行张力调整，接着，在摄影部47中，以规定的摄影定时对包含半切部位34a及基准片67的长条状感光性片22的图像进行摄影。

由摄影部47取得的图像信息在图像检查控制盘120中被算出半切部位34a的位置偏移量，接着，在层压控制盘122中进行长条状感光性片22的输送量的修正处理。其中，将在后面详细叙述图像检查控制盘120及层压控制盘122的修正处理。

通过了摄影部47之后的长条状感光性片22被搬送到粘贴机构46，由此，可进行感光性树脂层28相对于玻璃基板24的转印处理(层压)。

在粘贴机构46中，最初，橡胶辊80a、80b被设定成分离的状态，在长条状感光性片22被定位于橡胶辊80a、80b之间的规定位置的状态下，暂时停止长条状感光性片22的搬送。在该状态下，当被构成基板供给机构45的基板加热部74加热为规定温度的玻璃基板24的前端部，通过搬送部76被搬入到橡胶辊80a、80b之间时，托模辊82b及橡胶辊80b在加压缸体84的作用下将上升，在橡胶辊80a、80b之间以规定的压力夹入玻璃基板24及长条状感光性片22。其中，橡胶辊80a、80b被加热到规定的层压温度。

接着，通过在层压控制部136的控制下经由电动机控制部138由驱动电动机140进行驱动，使得橡胶辊80a、80b旋转，将玻璃基板24及长条状感光性片22沿箭头Y方向搬送。结果，感光性树脂层28被加热溶融，转印(层压)到玻璃基板24上。

其中，对于层压条件而言，速度为1.0m/min～10.0m/min，橡胶辊80a、80b的温度为80℃～140℃，所述橡胶辊80a、80b的橡胶硬度为40度～90度，该橡胶辊80a、80b的压力(线压)为50N/cm～400N/cm。

如果相对玻璃基板24完成了长条状感光性片22一个量的层压，则停止橡胶辊80a、80b的旋转，另外，层压有长条状感光性片22的玻璃基板24、即感光性层叠体100的前端部被基板搬送辊92夹持。此时，半切部位34b被配置在橡胶辊80a、80b间的规定位置。

然后，橡胶辊80b沿着远离橡胶辊80a的方向退避来解除夹持，并且，以低速再次开始基板搬送辊92的旋转，使得感光性层叠体100沿着箭头Y方向被搬送与保护薄膜30的残存部分B的宽度M对应的距离，在下一个半切部位34a被搬送到橡胶辊80a的下方附近的规定位置之后，停止橡胶辊80a、80b的旋转。其中，下面将长条状感光性片22被搬送半切部位34a、34b间的处理称为“基板间输送”。

另一方面，在上述的状态下，通过基板供给机构45朝向粘贴位置搬送下一个玻璃基板24。通过反复重复以上的动作，可连续地制造感光性层叠体100。

此时，感光性层叠体100如图4所示，各个端部之间被保护薄膜30的残存部分B覆盖。因此，在感光性树脂层28被转印到玻璃基板24时，橡胶辊80a、80b不会被所述感光性树脂层28弄脏。

由粘贴机构46进行了层压后的感光性层叠体100，通过由切断机构48将玻璃基板24间的长条状感光性片22切断而被分离。另外，在分离后的感光性层叠体100上安装有可挠性基体薄膜26，在该可挠性基体薄膜26与玻璃基板24间的保护薄膜30都被剥离之后，被供给到下一道处理工序。

接着，根据图6所示的流程图，对长条状感光性片22的输送量的修正处理进行说明。

首先，操作人员利用由触摸屏等构成的操作显示部134来指定修正条件(步骤S1)。

该情况下，在操作显示部134中，例如指定感光性层叠体100的个数作为修正条件，可按照从被指定的个数以后的感光性层叠体100开始修正处理的方式，向层压控制盘122进行指示。通过指定该修正条件，在制造装置20被调整为高精度的制造开始之初，能够在不进行修正的情况下有效地制造感光性层叠体100。

另外，作为修正条件可以指定进行修正处理的频度。例如，可以每次向层压控制盘122反馈由图像检查控制盘120算出的半切部位34a的位置偏移量来进行修正处理；或求取所算出的位置偏移量的平均值，利用该平均值来进行任意一次的修正处理；或者算出任意一次的位置偏移量来进行修正处理等指定修正处理的频度。

并且，作为修正条件，可以对算出的位置偏移量设定容许范围，仅在位置偏移量处于容许范围内时进行修正处理，而在容许范围外的情况下，例如通过操作显示部134进行警告等，执行使制造装置20的动作暂时停止的指定。

在指定了修正条件之后，半切控制部130对图像检查控制盘120的快门控制部124设定规定脉冲数，其中，该规定脉冲数与通过加工机构36在长条状感光性片22上形成的半切部位34a到达摄影部47的基准位置为止的规定输送量对应(步骤S2)。该情况下，规定脉冲数例如能够以半切部位34a、34b从加工机构36移动到摄影部47的基准位置为止的期间长条状感光性片22不延伸收缩为条件，设定为下一个半切部位34a到达先行的半切部位34a的位置为止的期间从旋转编码器51输出的脉冲信号的脉冲数。

因此，半切控制部130控制加工机构36在长条状感光性片22上形成半切部位34a、34b(步骤S3)，同时，对旋转编码器51输出脉冲计数开始信号，使旋转编码器51开始脉冲数的计数(步骤S4)。

接着，对形成有半切部位34a、34b的长条状感光性片22进行搬送，使半切部位34a到达摄影部47的摄影区域142(参照图7、图8)，当由旋转编码器51计数的脉冲数与步骤S2中设定的规定脉冲数一致时(步骤S5)，快门控制部124对CCD照相机72输出快门信号。

此时，二维光源69被驱动，对长条状感光性片22照射照明光，由CCD照相机72对在摄影区域142中含有基准片67及半切部位34a的长条状感光性片22的图像进行摄影(步骤S6)。由CCD照相机72摄影的图像作为图像信息被发送给图像处理部126，通过被实施规定的图像处理，可取得基准片67及半切部位34a的位置信息(步骤S7)。所取得的位置信息被发送给位置偏移量算出部128，由此可算出半切部位34a的位置相对以基准片67为基准而设定的基准位置的位置偏移量ΔK(步骤S8，参照图7、图8)。

在算出的半切部位34a的位置偏移量ΔK被发送给控制脉冲修正部132之后，根据由操作显示部134指定的修正条件来进行基板间脉冲数的修正(步骤S9、S10)。另外，在每次检测半切部位34a而不进行修正处理的情况下，根据跳过修正处理的次数来重复执行步骤S3～S9的处理。

由控制脉冲修正部132修正后的基板间输送脉冲数被发送给层压控制部136。层压控制部136根据被发送的基板间输送脉冲数，经由电动机控制部138控制驱动电动机140(步骤S11)，来调整基板间输送量。

图9是长条状感光性片22的层压控制、及基于修正后的基板间输送脉冲数的基板间输送控制的说明图。

在层压控制部136以相对于基板24的前端部，使长条状感光性片22的半切部位34a与图12所示的偏移了距离K的位置对齐的状态下进行层压之后(层压1)，使长条状感光性片22的搬送暂时停止。接着，通过根据修正后的基板间输送脉冲数，以低速对长条状感光性片22进行基板间输送，来将下一个半切部位34a设定成位于橡胶辊80a、80b之间的规定位置之后，向橡胶辊80a、80b之间供给玻璃基板24，再次对玻璃基板24层压长条状感光性片22(步骤S12，层压2)。

其中，当进行基板间输送处理时如图7所示，在半切部位34a的位置在加工机构36侧偏移了位置偏移量ΔK的情况下，根据位置偏移量ΔK增加基板间输送脉冲数，以图9的模式144a进行基板间输送控制。另外，在如图8所示，半切部位34a的位置在橡胶辊80a、80b侧偏移了位置偏移量ΔK的情况下，根据位置偏移量ΔK减少基板间输送脉冲数，以图9的模式144b进行基板间输送控制。

通过如此进行基板间输送控制，可将半切部位34a相对于玻璃基板24的位置调整成所期望的位置，从而能够制造高品质的感光性层叠体100。而且，由于长条状感光性片22相对于玻璃基板24的粘贴位置的调整处理能够在使制造装置20的动作停止的情况下进行，所以，可高效地制造感光性层叠体100。并且，通过调整与半切部位34a、34b的设定输送量对应的基板间输送脉冲数，可将摄影部47的位置设定在加工机构36与粘贴机构46之间的任意位置。

图10是本发明的第二实施方式所涉及的感光性层叠体的制造装置200的概略构成图。其中，对与第一实施方式所涉及的感光性层叠体的制造装置20相同的构成要素赋予同一参照标记，并省略其详细的说明。

制造装置200被构成为从粘贴于玻璃基板24的长条状感光性片22连续剥离残存的可挠性基体薄膜26，在粘贴机构46的下游侧沿着搬送路径88顺次设置有：对层压后的玻璃基板24及长条状感光性片22进行冷却的冷却机构202、和从感光性树脂层28连续剥离可挠性基体薄膜26的基体剥离机构204。

基体剥离机构204具备：预剥离部206、小径的剥离辊208、卷绕轴210和自动粘贴机212。优选卷绕轴210在驱动时进行转矩控制，向可挠性基体薄膜26赋予张力，并例如通过在剥离辊208上设置张力检测器(未图示)，来进行张力的反馈控制。预剥离部206具备能够在玻璃基板24间升降的剥离杆214。

在粘贴机构46中，被层压后的玻璃基板24及长条状感光性片22在被冷却机构202冷却之后，由构成预剥离部206的剥离杆214将玻璃基板24间的长条状感光性片22向上方举起，由此，能够使可挠性基体薄膜26的一部分从感光性树脂层28剥离。接着，通过粘贴有感光性树脂层28的玻璃基板24被沿着箭头Y方向搬送，且可挠性基体薄膜26被剥离辊208卷绕于卷绕辊210，以使可挠性基体薄膜26从感光性树脂层28连续剥离，使得玻璃基板24间被分离，来制造感光性层叠体100。

另外，在上述的第一及第二实施方式中，通过将由一个感光性片辊23供给的长条状感光性片22粘贴于玻璃基板24，制造了所谓一张感光性层叠体100，但例如也可以由2个感光性片辊或3个以上的感光性片辊供给长条状感光性片22，将其粘贴于玻璃基板24，来制造所谓两张、三张等感光性层叠体。

而且，对长条状感光性片22的输送量进行检测的旋转编码器51预加工机构36的前段的辊对50连接，但也可以与摄影部47的上游侧的期望位置，例如吸鼓62连接，来检测吸鼓62的旋转量。

并且，在上述的实施方式中，取得一方的半切部位34a的位置偏移信息来修正基板间输送量，但也能够取得另一方半切部位34b的位置偏移信息来修正基板间输送量。

Claims (10)

1、一种感光性层叠体的制造装置，通过送出在支承体(26)上依次层叠感光材料层(28)和保护薄膜(30)而构成的长条状感光性片(22)，将与所述保护薄膜(30)的剥离部分和残存部分的交界位置对应的加工部位(34a、34b)，形成在从所述保护薄膜(30)至所述感光材料层(28)的部分，在对所述保护薄膜(30)的所述剥离部分进行剥离之后，将所述长条状感光性片(22)与以规定的间隔被供给的基板(24)一同连续输送到被加热的一对压接辊(80a、80b)之间，将所述保护薄膜(30)的所述残存部分配置在所述基板(24)间，并且将露出的所述感光材料层(28)粘贴到所述基板(24)上，来制造感光性层叠体(100)，

该感光性层叠体的制造装置包括：

输送量计测部(51)，其对形成有所述加工部位(34a、34b)的所述长条状感光性片(22)的输送量进行计测；

位置偏移信息取得部(120)，其配置在形成所述加工部位(34a、34b)的加工部(36)与所述压接辊(80a、80b)之间的所述长条状感光性片(22)的搬送路径中，用于取得所述加工部位(34a、34b)相对于基准位置的位置偏移信息；

施力部(124)，其为了取得所述位置偏移信息，在由所述输送量计测部(51)计测的所述输送量达到规定的设定输送量的时刻，对所述位置偏移信息取得部(120)施力；和

输送量修正部(132)，其根据所取得的所述位置偏移信息，对所述长条状感光性片(22)相对于所述压接辊(80a、80b)的输送量进行修正。

2、根据权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，

所述位置偏移信息取得部(120)具备对包括所述加工部位(34a、34b)的所述长条状感光性片(22)的图像进行摄影的照相机(72)。

3、根据权利要求2所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，

所述施力部(124)由对所述照相机(72)的快门进行控制的快门控制(124)构成。

4、根据权利要求2所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，

在所述照相机(72)与所述长条状感光性片(22)之间配置有规定所述基准位置的基准片(67)，所述照相机(72)对包括所述加工部位(34a、34b)及所述基准片(67)的图像进行摄影。

5、根据权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，

具备对所述输送量修正部(132)的修正条件进行设定的修正条件设定部(134)。

6、根据权利要求5所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，

所述修正条件是对基于所述感光性层叠体(100)的处理个数的所述输送量进行修正用的修正频度。

7、根据权利要求5所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，

所述修正条件是与针对基于所述位置偏移信息的位置偏移量的容许范围相关的条件，

所述输送量修正部(132)在所述位置偏移量处于所述容许范围内时进行修正处理。

8、一种感光性层叠体的制造方法，通过送出在支承体(26)上依次层叠感光材料层(28)和保护薄膜(30)而构成的长条状感光性片(22)，将与所述保护薄膜(30)的剥离部分和残存部分的交界位置对应的加工部位(34a、34b)，形成在从所述保护薄膜(30)至所述感光材料层(28)的部分，在对所述保护薄膜(30)的所述剥离部分进行剥离之后，将所述长条状感光性片(22)与以规定的间隔被供给的基板(24)一同连续输送到被加热的一对压接辊(80a、80b)之间，将所述保护薄膜(30)的所述残存部分配置在所述基板(24)间，并且将露出的所述感光材料层(28)粘贴到所述基板(24)上，来制造感光性层叠体(100)，

该感光性层叠体的制造方法包括：

对形成有所述加工部位(34a、34b)的所述长条状感光性片(22)的输送量进行计测的步骤；

在形成所述加工部位(34a、34b)的加工部(36)与所述压接辊(80a、80b)之间的所述长条状感光性片(22)的搬送路径中，在所计测的所述输送量达到规定的设定输送量的时刻，取得所述加工部位(34a、34b)相对于基准位置的位置偏移信息的步骤；和

根据所取得的所述位置偏移信息，对所述长条状感光性片(22)相对于所述压接辊(80a、80b)的输送量进行修正的步骤。

9、根据权利要求8所述的感光性层叠体的制造方法，其特征在于，

所述输送量的修正以基于所述感光性层叠体(100)的处理个数的修正频度来进行。

10、根据权利要求8所述的感光性层叠体的制造方法，其特征在于，

所述输送量的修正在基于所述位置偏移信息的位置偏移量位于容许范围内时进行。

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