CN101352932A - 层叠体薄膜的粘贴方法 - Google Patents

Abstract

本发明是将从长条状感光性网片(22)局部除去保护薄膜(30)而露出的感光性树脂层(28)叠层在玻璃基板(24)上的层叠体薄膜的粘贴方法。通过在从半切位置向上游侧且一张长条状感光性网片(22)的粘贴长度以下的位置上配置的光电传感器(104)，检测出所述长条状感光性网片(22)的不良处时，停止下次的半切处理。然后，停止了半切处理的部分不粘贴在玻璃基板(24)上，被废弃。

Description

层叠体薄膜的粘贴方法

技术领域

本发明涉及层叠体薄膜的粘贴方法，其将至少在第一树脂层上层叠有第二树脂层的层叠体薄膜从所述第二树脂层一侧残留层叠方向的一部分进行半切(halfcut)处理，通过至少使所述第二树脂层局部残留并从所述层叠体薄膜剥离使所述第一树脂层露出，通过将露出的所述第一树脂层接合在基板上，将所述层叠体薄膜粘贴在所述基板上。

背景技术

例如，在液晶面板用基板、印刷配线用基板、PDP面板用基板中，具有感光材料(感光性树脂)层的感光性片体(感光性网片(web))粘贴在基板表面上而构成。感光性片体基本上在可扰性塑料支承体上顺次层叠有感光材料层和保护薄膜。

上述感光性片体通常以卷绕成辊状的状态下使用，该辊状的感光性片体(以下还称为感光性片辊)装填在粘贴装置中。在该粘贴装置中，通常，玻璃基板、树脂基板等基板分别隔开规定间隔被搬运，并且从感光性片辊卷回的感光性片体，在对应于粘贴在所述基板上的感光材料层的范围将保护薄膜剥离滞后，被加热转印(干式叠层)到所述基板上。

但是，在感光性片辊中，需要卷绕规定长度的感光性片体。因此，实际上，在接合多个感光性片体而确保希望的全长的状态下，进行将所述多个感光性片体连续卷绕成辊状的作业。此时，感光性片体的端部彼此通过接合带构件相互接合，但该接合部分无法粘贴在基板上，只能废弃。

另外，感光性片体例如有时存在点缺陷部分等不良部分。该不良部分与上述接合部分同样，也无法粘贴在基板上，只能废弃。

因此，在粘贴装置中，希望检测出接合部分、不良部分等感光性片的不良处，不叠层不良处，而将其废弃。因此，公知有在日本特开2005-212488号公报中公开的薄膜叠层方法及其装置。

该现有技术所涉及的方法是，通过使以一定间隔在搬运路上搬运来的各基板和从薄膜供给口伸出的薄膜通过设置在该搬运路上的叠层辊之间，从而在各基板表面上粘贴薄膜。

而且，在向基板上叠层薄膜之前，监视薄膜的状态，判断在薄膜上是否含有不良处，在判断为存在不良处时，废弃薄膜的含有该不良处的区域，将良好区域粘贴在基板上，在这样的薄膜叠层方法的特征在于，在装置内没有已将薄膜粘贴在基板上的叠层完成基板的状态下，对于粘贴的薄膜在通过薄膜不良判断而判断为存在不良处时，使叠层辊退避，形成避开与薄膜接触的状态，输送含有不良处的薄膜，在输送该薄膜的期间，监视薄膜的状态，并且对含有该不良处的区域进行薄膜废弃处理，接着返回粘贴的薄膜状态的确认处理，进入所述薄膜不良判断。

但是，在粘贴的装置中，由于对应于粘贴在基板上的感光材料层的范围来剥离保护薄膜，因此感光性片体需要在被搬运到叠层位置之前，预先在规定的位置切断所述保护薄膜。在此，在感光性片体上残留层叠方向的一部分，至少切断保护薄膜，即，实施半切处理。

此时，在感光性片体的接合部分上将接合带构件、例如铝蒸镀带等接合起来。另外，在感光性片体上对应于点缺陷部分等粘贴金属制的标记构件。因此，在半切用的切割器接触于接合带构件或标记构件时，该切割器损伤而使得刀寿命变短。

而且，即使进行半切，在剥离保护薄膜时，尤其存在无法可靠剥离接合带构件，引起剥离不良的问题。但是，上述的现有技术无法解决这种问题。

发明内容

本发明为解决这种问题而提出，其目的在于提供一种通过简单的工序，能够尽可能地阻止层叠体薄膜的不良处被半切，可以进行高品质且有效的叠层处理的层叠体薄膜的粘贴方法。

本发明所涉及的层叠体薄膜的粘贴方法，其通过对至少在第一树脂层上层叠了第二树脂层的层叠体薄膜从所述第二树脂层侧残留层叠方向的一部分来进行半切处理，至少使所述第二树脂层局部残留从所述层叠体薄膜剥离，从而使所述第一树脂层露出，通过使露出的所述第一树脂层接合在基板上，将所述层叠体薄膜粘贴在所述基板上。

在该层叠体薄膜的粘贴方法中，其具有如下工序：

通过传感器检测出所述层叠体薄膜的不良处的工序，其中所述传感器配置在从半切位置向上游侧且一张所述层叠体薄膜的粘贴长度以下的位置；

在检测出所述不良处时，停止对所述层叠体薄膜的至少下次的所述半切处理，并且将所述层叠体薄膜搬运到下游侧的工序；

将所述半切处理停止的部位不粘贴在所述基板上而废弃的工序。

在本发明中，传感器配置在从半切位置向上游侧且一张层叠体薄膜的粘贴长度以下的位置上。因此，仅仅通过在由传感器检测出层叠体薄膜的不良处之后马上停止对所述层叠体薄膜的下次的半切处理，就能够尽可能地阻止所述不良处本身以及包含所述不良处的一张量的所述层叠体薄膜被半切的情况。

由此，能够以简单的工序可靠地阻止层叠体薄膜的不良处被叠层的情况，并且所述不良处不会与半切用的切割器接触。因此，可以尽可能地防止切割器的损伤，刀寿命变长，具有经济性。而且，能够良好地将第二树脂层从层叠体薄膜剥离，可以将所述层叠体薄膜相对于基板有效且高品质地粘贴。

从附图与以下的优选实施方式的说明，可以更加明确上述目的、特征以及优点。

附图说明

图1是适用于本发明的实施方式的层叠体薄膜的粘贴方法的感光性层叠体的制造系统的概略构成图；

图2是所述制造系统使用的长条状感光性网片(web)的剖面图；

图3是在所述长条状感光性网片上粘接了粘接标签的状态的说明图；

图4是在所述长条状感光性网片上粘贴了接合带以及标记构件的状态的保护薄膜侧的说明图；

图5是说明所述粘贴方法的时序图；

图6是所述粘贴方法的说明图。

具体实施方式

如图1所示，制造系统20在液晶或有机EL用滤色器等的制作工序中，进行将规定的宽度尺寸构成的长条状感光性网片(web)22的感光性树脂层28(后述)热转印(叠层)在玻璃基板24上的作业。

图2是在制造系统20中使用的长条状感光性网片22的剖面图。该长条状感光性网片22层叠有可扰性基体薄膜(支承体)26；感光性树脂层(第一树脂层)28；保护薄膜(第二树脂层)30。

如图1所示，制造系统20具备：收容将长条状感光性网片22卷绕成辊状的感光性网片辊23，并可以从所述感光性网片辊23送出所述长条状感光性网片22的网片送出机构32；在送出的所述长条状感光性网片22上形成在保护薄膜30以及感光性树脂层28的宽度方向上能够切断的两处的边界部分即半切部位34a、34b(参考图2)的加工机构36；使一部分具有非粘接部38a的粘接标签38(参考图3)粘接在所述保护薄膜30上的标签粘接机构40。

在标签粘接机构40的下游配置有：用于将长条状感光性网片22从节拍进给变更成连续进给的储蓄(reservoir)机构42；使保护薄膜30从所述长条状感光性网片22以规定的长度间隔剥离的剥离机构44。

在剥离机构44的下游配置有：在将玻璃基板24加热到规定的温度的状态下将其供给到粘贴位置的基板供给机构45；将因保护薄膜30的剥离而露出的感光性树脂层28一体粘贴在所述玻璃基板24上的粘贴机构46；基板间网片切断机构48。

在网片送出机构32的下游附近配置粘贴台49，其粘贴大致使用完的长条状感光性网片22的后端和新使用的长条状感光性网片22的前端。在粘贴台49的下游，为了控制感光性网片辊23的卷绕错位引起的宽度方向的错位，配置有薄膜末端位置检测器53。

加工机构36配置在滚子对50的下游，滚子对50用于算出被卷绕收容在网片送出机构32中的感光性网片辊23的辊径。加工机构36具有以距离M(参考图2)分开的一对圆刀52a、52b。圆刀52a、52b在长条状感光性网片22的宽度方向运动，在隔着保护薄膜30的残存部分B的规定的两处的位置形成半切部位34a、34b(参考图2)。

半切部位34a、34b至少需要切断保护薄膜30以及感光性树脂层28，实际上，圆刀52a、52b的切入深度被设定为切入到可扰性基体薄膜26。圆刀52a、52b采用如下方式：在不旋转并被固定的状态下，在长条状感光性网片22的宽度方向移动来形成半切部位34a、34b的方式；或不在所述长条状感光性网片22上滑动，一边旋转，一边在所述宽度方向上移动，形成所述半切部位34a、34b的方式。

半切部位34a、34b在将感光性树脂层28粘贴在玻璃基板24上时，例如，被设定为从所述玻璃基板24的两端部分别向内侧各进入5mm的位置。而且，玻璃基板24间的保护薄膜30的残存部分B在后述的粘贴机构46中作为将感光性树脂层28以画框状粘贴在所述玻璃基板24上时的掩模起作用。

标签粘接机构40由于对应于玻璃基板24间而使保护薄膜30的残存部分B残留，供给连结半切部位34b侧的剥离部分A和半切部位34a侧的剥离部分A的粘接标签38。

如图3所示，粘接标签38构成为长方形，例如由与保护薄膜30相同的树脂材料形成。粘接标签38在中央部具有没有涂敷粘接剂的非粘接部(包含微粘接)38a，并且在该非粘接部38a的两侧、即在所述粘接标签38的长度方向两端部具有粘接于前方的剥离部分A的第一粘接部38b，和粘接于后方的剥离部分A的第二粘接部38c。

如图1所示，标签粘接机构40具有可以将最多7片粘接标签38按规定间隔分开粘贴的吸附垫54a～54g，并且在所述吸附垫54a～54g的所述粘接标签38的粘贴位置上，升降自如地配置有承受台56，承受台56用于从下方保持长条状感光性网片22。

储蓄机构42为了消除上游侧的长条状感光性网片22的节拍搬运和下游侧的所述长条状感光性网片22的连续搬运的速度差，具有向箭头方向上摆动自如的浮动滚子60。

配置在储蓄机构42下游的剥离机构44具有切断长条状感光性网片22的送出侧的张力变动，用于使叠层时的张力稳定化的抽吸式滚筒62。抽吸式滚筒62的附近配置有剥离滚子63，并且通过该剥离滚子63从长条状感光性网片22以锐角的剥离角剥离的保护薄膜30，除去残存部分B被卷绕在保护薄膜卷绕部64上。

在剥离机构44的下游侧配置有能够对长条状感光性网片22施加张力的张力控制机构66。张力控制机构66在工作缸68的驱动作用下通过使张力浮动件70摆动变位，从而能够调整长条状感光性网片22的张力。而且，张力控制机构66只要供给需要使用即可，也可以省略。

基板供给机构45具有：以夹持玻璃基板24的方式配置的基板加热部(例如加热器)74；具有将所述玻璃基板24搬运向箭头Y方向的多个滚子的搬运部76。

粘贴机构46具有夹持长条状感光性网片22和玻璃基板24来进行叠层的叠层滚子对80。该叠层滚子对80具有驱动侧橡胶滚子80a以及旋转自如且相对于所述驱动侧橡胶滚子80a进退的从动侧橡胶滚子80b。驱动侧橡胶滚子80a以及从动侧橡胶滚子80b与支承滚子84a、84b滑动接触，并且所述支承滚子84b通过滚子夹紧部86被按压向从动侧橡胶滚子80b。

玻璃基板24通过从粘贴机构46向箭头Y方向延伸的搬运路90搬运。在该搬运路90上配置有薄膜搬运滚子92a、92b以及基板搬运滚子94。驱动侧橡胶滚子80a以及从动侧橡胶滚子80b与基板搬运滚子94的间隔优选被设定为一片玻璃基板24的长度以下。

在制造系统20中，网片送出机构32、加工机构36、标签粘接机构40、储蓄机构42、剥离机构44以及张力控制机构66配置在粘贴机构46的上方，但也可以与此相反，将所述网片送出机构32到所述张力机构机构66配置在所述粘贴机构46的下方，长条状感光性网片22上下颠倒将感光性树脂层28粘贴在玻璃基板24的下侧，另外，也可以将长条状感光性网片22的搬运路构成为直线状。

制造系统20内通过分隔壁96被分隔成第一清洁室98a和第二清洁室98b。第一清洁室98a和第二清洁室98b通过贯通部100连通。制造系统200由控制部102控制。

在加工机构36的上游侧，在从长条状感光性网片22的半切位置距离该一片的长条状感光性网片22的粘贴长度以下的位置上，配置光电传感器104。所谓一片的长条状感光性网片22的粘贴长度，如图2以及图3所示，是指各剥离部分A的搬运方向(箭头X方向)的长度。

光电传感器104朝向长条状感光性网片22的可扰性基体薄膜26侧配置。光电传感器104是反射型传感器，在以下说明的长条状感光性网片22的接合端部彼此的接合部位以及与包含标记部位的不良处相对应的位置上，配置至少一个光电传感器104。

长条状感光性网片22被卷成网片状，作为感光性网片辊23使用，在该感光性网片辊23中，为了确保规定的网片长度，例如多个长条状感光性网片22彼此通过接合带106接合(参考图4)。

在长条状感光性网片22上例如存在点缺陷部分107时，为了表示该点缺陷部分107，在所述长条状感光性网片22的规定位置设有标记构件108(以下，仅称为“不良处”)。光电传感器104对应于接合带106以及标记构件108的位置配置有1个或2个以上。

如图1所示，在制造系统20中，从构成加工机构36的一对圆刀52a、52b的中间位置到标签粘接机构40的标签粘接位置的距离，是与长条状感光性网片22的大致一片的粘贴长度相对应，从所述标签粘接位置到剥离机构44的保护薄膜剥离位置的距离同样与所述长条状感光性网片22的大致一片的粘贴长度相对应，从所述保护薄膜剥离位置到粘贴机构46的叠层位置的距离与所述长条状感光性网片22的大致一片的粘贴长度相对应，进而，从所述粘贴机构46的叠层位置到切断机构48的距离与所述长条状感光性网片22的大致一片的粘贴长度相对应。

对于该制造系统20的动作，与本实施方式的粘贴方法相关联进行说明。

首先，从在网片送出机构32上安装的感光性网片辊23送出长条状感光性网片22。长条状感光性网片22被搬运到加工机构36。

在加工机构36，圆刀52a、52b在长条状感光性网片22的宽度方向移动，将所述长条状感光性网片22从保护薄膜30切入到感光性树脂层28乃至可扰性基体薄膜26。由此，形成了分开距离为保护薄膜30的残存部分B的宽度M的半切部位34a、34b，在长条状感光性网片22上设有隔着所述残存部分B的前方的剥离部分A和后方的剥离部分A(参考图2)。

接下来，长条状感光性网片22被搬运向标签粘接机构40，保护薄膜30的规定的粘贴部位配置在承受台56上。在标签粘接机构40中，规定片数的粘接标签38由吸附垫54a～54g吸附保持。而且，各粘接标签38跨越保护薄膜30的残存部分B而一体粘接于前方的剥离部分A和后方的剥离部分A(参考图3)。

例如，粘接了7片粘接标签38的长条状感光性网片22如图1所示，在通过储蓄机构42防止了送出侧的张力变动之后，被连续搬运向剥离机构44。在剥离机构44，长条状感光性网片22的可扰性基体薄膜26被吸附保持在抽吸式滚筒62上，并且保护薄膜30残留残存部分B从所述长条状感光性网片22被剥离。该保护薄膜30通过剥离滚子63被剥离，并被卷绕在保护薄膜卷绕部64上(参考图1)。

在剥离机构44的作用下，保护薄膜30残留下残存部分B而被从可扰性基体薄膜26剥离之后，长条状感光性网片22由张力控制机构66进行张力调整。

接下来，长条状感光性网片22被搬运向粘贴机构46，由此进行感光性树脂层28相对于玻璃基板24的热转印处理(叠层)。在粘贴机构46中，驱动侧橡胶滚子80a以及从动侧橡胶滚子80b预先被设定为分开的状态。然后，在驱动侧橡胶滚子80a以及从动侧橡胶滚子80b之间的规定位置上，在长条状感光性网片22的半切部位34a被定位的状态下，暂时停止所述长条状感光性网片22的搬运。

在该状态下，支承滚子84b以及从动侧橡胶滚子80b上升，在驱动侧橡胶滚子80a以及从动侧橡胶滚子80b之间，以规定的按压压力夹入玻璃基板24。进而，通过驱动侧橡胶滚子80a旋转，感光性树脂层28通过加热熔融而被热转印(叠层)在玻璃基板24上。

另外，作为叠层条件是：速度为1.0m/min～10.0m/min，驱动侧橡胶滚子80a以及从动侧橡胶滚子80b的温度为80℃～150℃，所述驱动侧橡胶滚子80a以及所述从动侧橡胶滚子80b的橡胶硬度为40度～90度，该驱动侧橡胶滚子80a以及该从动侧橡胶滚子80b的按压压力(线压力)是50N/cm～400N/cm。

在相对于玻璃基板24而言一张长条状感光性网片22的叠层结束时，驱动侧橡胶滚子80a以及从动侧橡胶滚子80b的旋转停止。另一方面，如图1所示，叠层有长条状感光性网片22的玻璃基板24即感光性层叠体110的前端部由基板搬运滚子94夹紧。此时，在驱动侧橡胶滚子80a以及从动侧橡胶滚子80b之间的规定位置配置半切部位34b。

然后，从动侧橡胶滚子80b向离开驱动侧橡胶滚子80a的方向退避，接触夹紧。因此，支承滚子84b以及从动侧橡胶滚子80b下降，进行夹紧的解除。

接下来，以低速再次开始基板搬运滚子94的旋转。感光性层叠体110向箭头Y方向搬运与保护薄膜30的残存部分B的宽度M相对应的距离(基板间进给)。在下一个半切部位34a被搬运到驱动侧橡胶滚子80a的下方附近的规定位置之后，停止驱动侧橡胶滚子80a的旋转。

另一方面，在所述状态下，通过基板供给机构45将下一个玻璃基板24朝向粘贴位置搬运。通过重复进行以上的动作，连续制造感光性层叠体110。

上述的叠层处理沿着图5所示的时间图进行，基于加工机构36的半切处理在基板间进给处理时同步进行。

由粘贴机构46叠层了的感光性层叠体110通过由切断机构48切断玻璃基板24间的长条状感光性网片22而分离。在分离了的感光性层叠体110上，安装可扰性基体薄膜26，该可扰性基体薄膜26与玻璃基板24之间的保护薄膜30一起被剥离，之后供给向下一处理工序。

但是，感光性网片辊23将多个长条状感光性网片22的端部彼此利用接合带106接合了的状态下卷绕，并且表示所述长条状感光性网片22的点缺陷部分107等的存在的标记构件108被粘贴在所述长条状感光性网片22上(参考图4)。由此，在从感光性网片辊23卷绕长条状感光性网片22时，接合带106或标记构件108被送出向加工机构36侧。

如图5所示，加工机构36在由粘贴机构46进行叠层处理期间的基板间进给时，在长条状感光性网片22上形成半切部位34a、34b。而且，在由粘贴机构46进行一张长条状感光性网片22的叠层处理的期间，在由光电传感器104检测出接合带106或标记构件108时，在下次的基板间进给时停止基于加工机构36的半切处理(无动作)。进而，在进行了下次的叠层处理之后，与基板间进给动作同步地再次进行半切处理，在长条状感光性网片22上形成半切部位34a、34b。

此时，在本实施方式中，光电传感器104被配置在如下位置：即，从基于加工机构36的半切位置向上游侧且一张长条状感光性网片22的粘贴长度以下的位置。因此，在通过光电传感器104检测出不良处即接合带106或标记构件108之后，只要马上停止对于所述长条状感光性网片22的半切处理，在所述接合带106或所述标记构件108上不会进行基于构成加工机构36的圆刀52a、52b的半切处理。

尤其，接合带106或标记构件108使用铝蒸镀带等。因此，可以可靠地阻止圆刀52a、52b接触于接合带106或标记构件108而破损。

另一方面，在隔着接合带106接合的长条状感光性网片22间粘接粘接标签38时，存在着由剥离机构44进行的保护薄膜30的剥离处理不能良好进行，引起所述保护薄膜30的剥离不良的顾虑。这是因为接合带106的粘接力是远远大于粘接标签38的粘接力的力。因此，在确认了接合带106或标记构件108的存在之后马上停止半切处理，由此，可以可靠地进行保护薄膜30的剥离作业。

在此，由于半切处理停止，所以长条状感光性网片22实质上是以在两张量的粘贴长度上加上了基板间寄给的长度之后的长度剥离保护薄膜30。

此时，如图6所示，在粘贴机构46和剥离机构44之间配置第一张的感光性网片22a1，在所述剥离机构44和标签粘接机构40之间配置第二张的感光性网片22a2，在所述标签粘接机构40和加工机构36之间配置第三张的感光性网片22a3，进而在所述加工机构36的上游侧配置第四张的感光性网片22a4。而且，所谓第三张的感光性网片22a3和第四张的感光性网片22a4没有形成半切部位34a、34b，实际上构成具有两张量的长度的单一的感光性网片。

因此，第一张感光性网片22a1在粘贴机构46中被叠层在玻璃基板24上之后，由切断机构48切断，并且第二张感光性网片22a2在所述粘贴机构46中被叠层处理在玻璃基板24上。

接下来，第三张感光性网片22a3被搬运到粘贴机构46，此时，停止玻璃基板24的进给，将该第三张的感光性网片22a3送出向切断机构48侧。进而，第四张感光性网片22a4同样，不由粘贴机构46进行叠层处理，被送出向切断机构48侧。另一方面，与该第四张的感光性网片22a4连续、并设有半切部位34a、34b的第五张的感光性网片22a5在粘贴机构46中再次进行叠层到玻璃基板24上的叠层处理。

另外，在切断机构48中，将第四张的感光性网片22a4的搬运方向后端部和新叠层处理了的第五张的感光性网片22a5之间切断，第三张的感光性网片22a3以及第四张的感光性网片22a4被废弃处理。

由此，在本实施方式中，能够通过简单的工序可靠地阻止长条状感光性网片22的不良处被叠层处理到玻璃基板24上的情况，并且构成加工机构的圆刀52a、52b不会与所述不良处接触。因此，防止圆刀52a、52b的损伤，刀寿命变长，具有经济性。

而且，在剥离机构44中，可以将保护薄膜30从长条状感光性网片22良好地剥离，有效且高品质地进行基于所述长条状感光性网片22的叠层处理。

而且，在本实施方式中，在接合带106或标记构件108由光电传感器104检测出之后，马上停止半切处理，另一方面，在下次的基板间进给动作时再次进行半切处理，但并不限定于此，例如，为了尽可能阻止叠层不良的发生，也可以在下次的基板间进给时停止半切处理。

另外，如图6所示，虽然相对于第一张的感光性网片22a1以及第二张的感光性网片22a2，由粘贴机构46进行叠层处理，但也可以相对于该第一张的感光性网片22a1～第四张的感光性网片22a4停止叠层处理，在由切断机构48切断之后，将其废弃。

进而，在本实施方式中，为了检测出接合带106以及标记构件108而使用了反射型的光电传感器104，但并不限定于此，例如，也可以使用金属检测传感器(未图示)。接合带106以及标记构件108可以含有金属。

Claims (4)

1.一种层叠体薄膜的粘贴方法，其通过对至少在第一树脂层(28)上层叠了第二树脂层(30)的层叠体薄膜(22)从所述第二树脂层(30)侧残留层叠方向的一部分来进行半切处理，至少使所述第二树脂层(30)局部残留从所述层叠体薄膜(22)剥离，从而使所述第一树脂层(28)露出，通过使露出的所述第一树脂层(28)接合在基板(24)上，将所述层叠体薄膜(22)粘贴在所述基板(24)上，

所述层叠体薄膜的粘贴方法的特征在于，具有如下工序：

通过传感器(104)检测出所述层叠体薄膜(22)的不良处(108)的工序，其中所述传感器(104)配置在从半切位置向上游侧且一张所述层叠体薄膜(22)的粘贴长度以下的位置；

在检测出所述不良处(108)时，停止对所述层叠体薄膜(22)的至少下次的所述半切处理，并且将所述层叠体薄膜(22)搬运到下游侧的工序；

将所述半切处理停止的部位不粘贴在所述基板(24)上而废弃的工序。

2.如权利要求1所述的层叠体薄膜的粘贴方法，其特征在于，

所述层叠体薄膜是感光性层叠体薄膜(22)，其中所述第一树脂层是感光性树脂层(28)，所述第二树脂层是保护薄膜(30)。

3.如权利要求1所述的层叠体薄膜的粘贴方法，其特征在于，

所述层叠体薄膜(22)的不良处至少是接合所述层叠体薄膜(22)彼此的端部的接合部(106)、或为了表示缺陷部分而设置的标记构件(108)。

4.如权利要求1所述的层叠体薄膜的粘贴方法，其特征在于，

所述传感器是反射型的光电传感器(104)或金属检测传感器。

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