JP2006297889A - 感光性積層体の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な工程及び構成で、２以上の長尺状感光性ウエブの感光材料層を基板の所望の部位に並列且つ正確に貼り付けすることを可能にする。
【解決手段】製造装置２０は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、基板搬送機構４５並びに貼り付け機構４６を備えるとともに、前記貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設され、前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂによる検出情報に基づいて、貼り付け位置における前記境界位置と前記ガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を調整する制御が行われる。
【選択図】図１

Description

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される２以上の長尺状感光性ウエブを送り出すとともに、前記保護フイルムの剥離により露出した２以上の感光材料層を基板に一体的且つ並列に貼り付ける感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。

そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図５０に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。

水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。

ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。

カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ６ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。

サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。

特開平１１−３４２８０号公報（図１）

ところで、大型サイズの液晶パネルやプラズマディスプレイ等に対応して、基板サイズが大型化している。このため、大型基板では、感光性樹脂層の転写エリアが幅方向（搬送方向に交差する方向）に拡大し、感光性シート体自体の幅方向の寸法を増加させる必要がある。

しかしながら、幅広な感光性シート体では、ロール状態での取り扱い性が低下するとともに、ロールから前記感光性シート体を巻き戻す送り出し機構の大型化が惹起されるという問題がある。さらに、幅広な感光性シート体が重量物となり、しかも前記感光性シート体の面内に皺等が発生し易く、取り扱いが煩雑であるという問題がある。

本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程及び構成で、２以上の長尺状感光性ウエブを基板に並列且つ確実に貼り付けすることができ、しかも取り扱い性を向上させることが可能な感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを同期して送り出し可能な２以上のウエブ送り出し機構と、送り出された各長尺状感光性ウエブの前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する２以上の加工機構と、前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性ウエブから剥離させる２以上の剥離機構と、基板を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構と、前記貼り付け位置で、各残存部分を前記基板間に配設するとともに、各剥離部分が剥離されて露出した２以上の感光材料層を前記基板に一体的且つ並列に貼り付けて貼り付け基板を得る貼り付け機構と、前記貼り付け位置の近傍に配設され、各長尺状感光性ウエブの前記境界位置を直接検出し、又は該境界位置に対応して各長尺状感光性ウエブに設けられたマーク部を検出する２以上の検出機構と、各検出機構により検出された各境界位置情報に基づいて、前記貼り付け位置における各境界位置と前記基板との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を調整可能な制御機構とを備えている。

また、各検出機構は、貼り付け位置の上流近傍に配設されることが好ましい。２以上の長尺状感光性ウエブと基板との相対位置調整が、簡単な制御で遂行されるからである。

さらに、各加工機構と各剥離機構との間には、各長尺状感光性ウエブの搬送速度乃至搬送形態を変更可能なリザーバ機構が配設されることが好ましい。このため、２以上の長尺状感光性ウエブは、各加工機構で間欠搬送された後、各リザーバ機構を介して各剥離機構以降で連続搬送される。

さらにまた、各剥離機構と貼り付け機構との間には、２以上の長尺状感光性ウエブにテンションを付与可能な２以上のテンション制御機構が配設されることが好ましい。これにより、例えば、各長尺状感光性ウエブ毎に伸び調整が可能になり、各境界位置を貼り付け位置に容易に位置調整することができる。

また、貼り付け機構の下流には、各長尺状感光性ウエブを基板間で一体的に切断可能な切断機構が配設されることが好ましい。

さらに、貼り付け機構の下流には、各貼り付け基板から支持体を剥離する２以上の支持体剥離機構が配設されることが好ましい。各支持体は、予め基板毎に切断された後、自動的に剥離されてもよく、また、長尺な各支持体を連続的に巻き取って自動的に剥離してもよい。

しかも、貼り付け機構と支持体剥離機構との間には、貼り付け基板を冷却する冷却機構と、支持体に積層される樹脂層をガラス転移温度以下の所定温度範囲内に加熱する加熱機構とが配設されることが好ましい。樹脂層に残留する応力が確実に緩和され、支持体を前記樹脂層から容易且つ良好に剥離することができる。

さらにまた、支持体剥離機構は、支持体を剥離する際に、前記支持体に対して基板との貼り付け方向に張力を付与する張力付与構造を備えることが好ましい。

また、支持体剥離機構は、支持体を外周部に倣わせて基板から剥離するための剥離ローラと、前記基板間を移動しながら、前記剥離ローラの外周部に沿って前記支持体を案内する剥離ガイド部材とを備えることが好ましい。

さらに、貼り付け機構は、所定温度に加熱される一対のゴムローラと、一方のゴムローラを進退させるローラクランプ部とを備え、前記ローラクランプ部は、前記一方のゴムローラにクランプ圧を付与するシリンダと、アクチュエータの作用下に前記シリンダを進退させるカム部とを備えることが好ましい。

さらにまた、貼り付け機構は、所定温度に加熱される一対のゴムローラと、前記一対のゴムローラに摺接する一対のバックアップローラとを備え、少なくとも一方の前記ゴムローラ又は少なくとも一方の前記バックアップローラは、外周面がクラウン形状に設定されることが好ましい。

また、貼り付け機構の上流近傍には、長尺状感光性ウエブを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部が配設されることが好ましい。

さらに、加工機構は、長尺状感光性ウエブに加工部位であるハーフカット部位を形成するカッタ部と、ハーフカット時に、前記ハーフカット部位を、前記カッタ部に応じて予め設定された所定温度に加熱する加熱部とを備えることが好ましい。

さらにまた、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される２以上の長尺状感光性ウエブを同期して送り出す工程と、送り出された各長尺状感光性ウエブの前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する工程と、前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性ウエブから剥離させる工程と、各長尺状感光性ウエブの前記境界位置を直接検出し、又は該境界位置に対応して前記長尺状感光性ウエブに設けられたマーク部を検出することにより各境界位置情報を得る工程と、所定の温度に加熱されている基板を貼り付け位置に向かって搬送する工程と、得られた各境界位置情報づいて、前記貼り付け位置における各境界位置と前記基板との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を調整する工程と、前記貼り付け位置で、各残存部分を前記基板間に配設するとともに、各剥離部分が剥離されて露出した２以上の感光材料層を前記基板に一体的且つ並列に貼り付けして貼り付け基板を得る工程とを有している。

本発明では、貼り付け位置の近傍で、２以上の長尺状感光性ウエブの各境界位置又は各境界位置に対応するマーク部を直接検出するため、各境界位置を前記貼り付け位置に対して高精度に位置決めすることができる。しかも、得られた各境界位置情報に基づいて、各境界位置と基板との相対位置及び各境界位置同士の相対位置が調整されるため、簡単な工程及び構成で、２以上の長尺状感光性ウエブの各感光材料層を前記基板の所望の部位に対して並列且つ正確に貼り付けることが可能になる。

これにより、幅広な基板に対して幅方向に２以上の感光材料層を良好に転写することができるとともに、高品質な感光性積層体を効率的に得ることが可能になる。さらに、長尺状感光性ウエブは、幅広に構成する必要がなく、前記長尺状感光性ウエブの取り扱い性が有効に向上し、作業の効率化及び設備費の削減が容易に図られる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位（加工部位）３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設されるとともに、前記貼り付け機構４６の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構４８が配設される。この基板間ウエブ切断機構４８の上流には、運転開始時に使用されるウエブ先端切断機構４８ａが設けられる。

第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。

なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、残存部分３０ｂを挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。

ハーフカット部位３４は、ガラス基板２４の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大５枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｅを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｅによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。なお、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。

第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。なお、光電センサ７２ａ、７２ｂに代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。

第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出されるハーフカット部位３４の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。

また、ハーフカット部位３４を直接検出するのではなく、このハーフカット部位３４に対応して第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂの近傍で孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。

基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。

基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。

基板加熱部７４の下流には、ガラス基板２４の先端に当接してこのガラス基板２４を保持するストッパ７７と、前記ガラス基板２４の先端位置を検出する位置センサ７８とが配設される。位置センサ７８は、ガラス基板２４が貼り付け位置に向かう途中でガラス基板先端を検出し、そこから定量送ることで、ラミネート用ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定の位置に位置決めするためにある。ここで、位置センサ７８は、複数個配設して各位置におけるガラス基板２４の到着タイミングを監視し、基板搬送開始時のスリップ等による遅れをチェックするのが好ましい。なお、ガラス基板２４の加熱は、上記のような搬送加熱の他、バッチ式のオーブンを使用してロボット搬送してもよい。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。

図４に示すように、ローラクランプ部８３は、駆動モータ９３の駆動軸に連結される減速機９３ａの駆動軸９３ｂにボールねじ９４が軸着される。ボールねじ９４には、ナット部材９５が螺合するとともに、このナット部材９５は、スライドベース９６に固定される。スライドベース９６のウエブ幅方向（矢印Ｂ方向）両端には、テーパカム９７ａ、９７ｂが固着される。テーパカム９７ａ、９７ｂの高さは、矢印Ｂ１方向に向かって高くなるように設定される。テーパカム９７ａ、９７ｂ上には、ローラ９８ａ、９８ｂが載置されており、このローラ９８ａ、９８ｂは、加圧シリンダ８４ａ、８４ｂの下部に保持されている。

図１に示すように、ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータや熱加熱手段を備える。

ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から基板間ウエブ切断機構４８を通ってさらに矢印Ｂ方向に延在する搬送路８８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂと基板搬送ローラ９２とが、ウエブ先端切断機構４８ａを介装して配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。

図５に示すように、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂは、互いに並列して貼り付け機構４６から送られる２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に長尺に構成されており、それぞれ個別に回転駆動される。フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂには、ニップローラ群８９ａ、８９ｂが配設される。

ニップローラ群８９ａは、フイルム搬送ローラ９０ａの幅方向（矢印Ｄ方向）に所定間隔ずつ離間して配設される複数、例えば、５本のニップローラ９１ａを備える。各ニップローラ９１ａは、シリンダ９９ａを介してフイルム搬送ローラ９０ａに対して個別に進退可能である。ニップローラ群８９ｂは、同様に５本のニップローラ９６ｂを備えるとともに、各ニップローラ９１ｂは、シリンダ９９ｂを介してフイルム搬送ローラ９０ｂに対して個別に進退可能である。

製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。

図１に示すように、製造装置２０は、ラミネート工程制御部１００を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部１０２や基板加熱制御部１０４等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部１００は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。

基板加熱制御部１０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。

ラミネート制御部１０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。

製造装置２０内は、仕切り壁１１０を介して第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム１１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとは、貫通部１１４を介して連通する。

図６に示すように、貫通部１１４は、第１クリーンルーム１１２ａに配設される除塵部１１５と、第２クリーンルーム１１２ｂに配設されるエアシール部１１６とを備える。

除塵部１１５は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの両面に対向して配置される一対の吸引ノズル１１７ａを備えるとともに、前記吸引ノズル１１７ａ内に吹き出しノズル１１８が配置される。吹き出しノズル１１８は、エアを吹き出して除塵を行う一方、吸引ノズル１１７ａは、吹き出されたエア及び塵埃を吸引する。

エアシール部１１６は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの両面に対向して配置される一対の吸引ノズル１１７ｂを備える。吸引ノズル１１７ｂによりエアを吸引することによって、貫通部１１４をシールする。なお、除塵部１１５とエアシール部１１６の位置を入れ替えたり、前記除塵部１１５と前記エアシール部１１６を複数組み合わせてもよい。また、感光性樹脂層２８が露出している面に対向する側には、吹き出しノズル１１８を設けずに吸引ノズル１１７ａのみを設けてもよい。

製造装置２０内は、仕切り壁１１０を設けることにより、貼り付け機構４６での加熱による熱気が上昇して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂへの熱影響、例えば、表面の皺、変形、熱収縮又は延びを防止する。さらに、塵埃の発生や該塵埃が落下し易い上部（第１クリーンルーム１１２ａ）と下部（第２クリーンルーム１１２ｂ）とを遮断して、特に貼り付け機構４６のクリーン度を確保する。なお、第２クリーンルーム１１２ｂの圧力を第１クリーンルーム１１２ａの圧力よりも高圧に設定し、前記第２クリーンルーム１１２ｂに塵埃が流入することを阻止することが望ましい。

図１に示すように、第２クリーンルーム１１２ｂの上方には、クリーンエアを下方に向かって供給するためのエア供給部（図示せず）が配設される。

このように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。

先ず、イニシャル（頭出し）開始時には、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ並びに貼り付け機構４６を通って、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂに繰り出される。

図５に示すように、ニップローラ群８９ａでは、幅広の感光性ウエブ２２ａ側（手前側）に配置されている３つのニップローラ９１ａが、各シリンダ９９ａの作用下にフイルム搬送ローラ９０ａ側に進出する。このため、幅広な感光性ウエブ２２ａは、３つのニップローラ９１ａとフイルム搬送ローラ９０ａとに挟持される。

一方、ニップローラ群８９ｂでは、幅狭な感光性ウエブ２２ｂ側（奥側）に配置されている２つのニップローラ９１ｂが、各シリンダ９９ｂの作用下にフイルム搬送ローラ９０ｂ側に進出する。従って、幅狭な感光性ウエブ２２ｂは、２つのニップローラ９１ｂとフイルム搬送ローラ９０ｂとに挟持される。

なお、ニップローラ群８９ａでは、奥側の２つのニップローラ９１ａがフイルム搬送ローラ９０ａから離間するとともに、ニップローラ群８９ｂでは、手前側の３つのニップローラ９１ｂがフイルム搬送ローラ９０ｂから離間して配置される。

次いで、第１検出機構４７ａを構成する光電センサ７２ａにより感光性ウエブ２２ａのハーフカット部位３４が検出されると、この検出信号に基づいてフイルム搬送ローラ９０ａが回転駆動される。このため、感光性ウエブ２２ａは、フイルム搬送ローラ９０ａと３つのニップローラ９６ａとの挟持作用下に、貼り付け位置に向かって定量搬送される。

また、第２検出機構４７ｂを構成する光電センサ７２ｂにより感光性ウエブ２２ｂのハーフカット部位３４が検出されると、この検出信号に基づいてフイルム搬送ローラ９０ｂが回転駆動される。従って、感光性ウエブ２２ｂは、フイルム搬送ローラ９０ｂと２つのニップローラ９６ｂとの挟持作用下に、貼り付け位置に向かって定量搬送される。このため、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各ハーフカット部位３４は、所定の貼り付け位置に対応して位置決めされる。なお、貼り付け位置の下流で各ハーフカット部位３４を検出し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを所定の位置に停止させてもよい。

感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが定量搬送された後、図７に示すように、接触防止ローラ８６が下降して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがゴムローラ８０ａに接触することを防止している。また、ガラス基板２４は、貼り付け位置の直前で待機している。これにより、イニシャル開始状態が得られる。

次に、ラミネート運転時における製造装置２０を構成する各機能部の動作について説明する。

先ず、図１に示すように、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。

次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｅにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、５本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図８に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して鋭角の剥離角で剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。

その際、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、サクションドラム６２により強固に保持されており、この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を剥離する時の衝撃が下流の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに作用することがない。これにより、貼り付け機構４６に剥離の衝撃が伝わることがなく、ガラス基板２４のラミネート部分にスジ状の不良個所等が発生することを良好に阻止することができる。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。

各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。その際、接触防止ローラ８６が上方に待機するとともに、ゴムローラ８０ｂが下方に配置されている。

図９に示すように、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。

この状態で、図４に示すように、駆動モータ９３に連結された減速機９３ａの作用下にボールねじ９４が所定方向に回転すると、このボールねじ９４に螺合するナット部材９５と一体的にスライドベース９６が矢印Ｂ２方向に移動する。このため、テーパカム９７ａ、９７ｂは、ローラ９８ａ、９８ｂとの接触面が高くなり、前記ローラ９８ａ、９８ｂを上方に変位させる。従って、加圧シリンダ８４ａ、８４ｂが上昇し、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。その際、プレス圧力は、加圧シリンダ８４ａ、８４ｂのエアー圧力により調整される。さらに、ゴムローラ８０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、並列されている各感光性樹脂層２８が加熱溶融により転写（ラミネート）される。

ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が１００℃〜１５０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜８０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

そして、図１０に示すように、ガラス基板２４の先端がフイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの近傍に至ると、ニップローラ９１ａ、９１ｂが前記フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂから離間する方向に移動する。さらに、ガラス基板２４から前方（矢印Ｃ方向）に突出する各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端が、ウエブ先端切断機構４８ａに対して所定の位置に至ると、このウエブ先端切断機構４８ａが駆動されて前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端が切断される（図１０中、二点鎖線参照）。ウエブ先端切断機構４８ａは、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端部を切断した後、基の待機位置に復帰しており、通常運転時には、使用されない。

図１１に示すように、ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４（以下、貼り付け基板２４ａともいう）が基板搬送ローラ９２によりクランプされる。

そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。具体的には、図４に示すように、駆動モータ９３に連結された減速機９３ａが前記とは逆方向に回転駆動され、ボールねじ９４及びナット部材９５を介してスライドベース９６が矢印Ｂ１方向に移動する。このため、テーパカム９７ａ、９７ｂは、ローラ９８ａ、９８ｂに接触する面の高さが低くなり、加圧シリンダ８４ａ、８４ｂが下降する。これにより、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが下降してクランプの解除が行われる。

この状態で、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ８０ｂが上昇して、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される（図１２参照）。

その際、貼り付け基板２４ａは、図１３に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。

図１４に示すように、基板搬送ローラ９２が一枚目の貼り付け基板２４ａの搬送方向後端部に至ると、前記基板搬送ローラ９２を構成する上方ローラが上昇してクランプを解除するとともに、下方ローラと搬送路８８の回転が継続されて前記貼り付け基板２４ａが搬送される。さらに、二枚目の貼り付け基板２４ａの後端部がゴムローラ８０ａ、８０ｂの近傍に至ると、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転が停止される。そして、基板搬送ローラ９２の上方ローラが下降して二枚目の貼り付け基板２４ａをクランプする一方、ゴムローラ８０ｂが下降してクランプを解除する。次に、基板搬送ローラ９２の回転作用下に二枚目の貼り付け基板２４ａが挟持搬送され、基板間位置がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動し、三枚目以降のラミネート処理が繰り返される。

図１５に示すように、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構４８は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離されて感光性積層体１０６が製造される。

なお、ラミネート処理が一旦停止される際には、図１６に示すように、ニップローラ群８９ａ、８９ｂ及びゴムローラ８０ｂがアンクランプ位置に配置されるとともに、接触防止ローラ８６が下降して２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがゴムローラ８０ａに接触することを防止する。

また、製造装置２０の運転が終了される際には、基板搬送ローラ９２の回転作用下に、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送され、ウエブ先端切断機構４８ａが感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをクランプする。そして、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂが回転しながら感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをクランプした状態で、ウエブ先端切断機構４８ａがウエブ幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを切断する。

このため、図１７に示すように、２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間を通ってフイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂにより挟持されるとともに、接触防止ローラ８６が下降して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがゴムローラ８０ａから離間して支持される。ウエブ先端切断機構４８ａは、貼り付け基板２４ａのクランプを解除して、基の待機位置に配置されている。

なお、基板間ウエブ切断機構４８及びウエブ先端切断機構４８ａは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを切断する際に、この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂと同期して矢印Ｃ方向に移動しているが、これに限定されるものではない。例えば、ウエブ幅方向にのみ走向して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの切断を行ってもよい。また、ウエブ停止中にトムソン刃による切断、ウエブ移動中にロータリカットによる切断方法も可能である。

さらにまた、製造装置２０のイニシャル開始動作では、図１８に示すように、接触防止ローラ８６が下方位置に配置されるとともに、ゴムローラ８０ｂがゴムローラ８０ａから離間する。この状態で、例えば、フイルム搬送ローラ９０ａの回転作用下に、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが廃棄部（図示せず）に排出される。その際、ウエブ先端切断機構４８ａの作用下に、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが一定長さ毎に切断される。

そして、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂでハーフカット部位３４の検出が行われると、この検出位置から定量送りが行われる。具体的には、接触防止ローラ８６が上昇された際に、ハーフカット部位３４がゴムローラ８０ａ、８０ｂによるラミネート位置に至る位置まで、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送が行われる。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの頭出し処理が終了する。

この場合、第１の実施形態では、貼り付け機構４６の上流近傍で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各ハーフカット部位３４が、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより直接検出されている。なお、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂとゴムローラ８０ａ、８０ｂのハーフカット停止点までの距離は、最も短いラミネート長よりも短いことが必要である。これは、検出した結果を次のラミネート処理にフィードバックするためである。

第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂでは、以下に示す２種類の計測が行われる。先ず、第１の計測は、ゴムローラ８０ａ、８０ｂでガラス基板２４をクランプし、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転開始からの基板送り量を、ゴムローラ駆動のモータ（図示せず）に付随したエンコーダで計測したパルス数と設定上の第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂそれぞれのハーフカット部位検出タイミングのパルス数とで比較し、それぞれのハーフカット部位３４のずれを計測する。いずれの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂも設計の検出タイミングのパルス数に到達するよりも早くハーフカット部位３４を検出した場合、ハーフカット部位３４は、早い分のパルス数だけガラス基板２４の所定の位置より前方にずれていると判断できる。逆に検出が遅い場合、ハーフカット部位３４は、ガラス基板２４の所定の位置より後方にずれていると判断できる。

一方、第２の計測は、ハーフカット部位検出から次のハーフカット部位検出までのゴムローラ駆動のモータに付随したエンコーダパルス数を計測し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのラミネート長を計測する。いずれの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂも通常設定条件でのラミネート長に相当する設定パルス数と実際のパルス数とを比較し、パルス数が多ければその多いパルス数分だけ加熱等の影響で感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが余計に延びていることが判断できる。逆にパルス数が少ない場合、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが通常よりも短いことが判断できる。

上記第１の計測結果に基づき、例えば、図１９に示すように、ガラス基板２４の貼り付け範囲Ｐ１、Ｐ２間に対して各感光性樹脂層２８の先端位置が矢印Ｃ方向前方に同量又は、ほぼ同量だけずれる（進む）ことが検出されると、前記ガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４との相対位置が調整される。

すなわち、各光電センサ７２ａ、７２ｂにより検出されたハーフカット部位３４の位置が、所定位置よりも進んでいると判断されると、図１１に示すように、ラミネート後の基板搬送ローラ９２によるガラス基板２４に貼り付けされない部分の感光性ウエブ２２ａ又は２２ｂの送りで、送り量をその設定量よりもずれ分を差し引いた量で送る。この結果、ハーフカット部位３４は、位置調整されてゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定の位置に一旦配置される。その後、ガラス基板２４は、定常の送り制御によってゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に送られ、このガラス基板２４に各感光性樹脂層２８が正しい位置、すなわち、ガラス基板２４の所定の貼り付け範囲Ｐ１、Ｐ２間に感光性樹脂層２８が貼り付けられる。

一方、光電センサ７２ａ、７２ｂにより検出されたハーフカット部位３４の位置が、ガラス基板２４の貼り付け範囲Ｐ１、Ｐ２間に対して遅れると判断されると、ラミネート後の基板搬送ローラ９２によるガラス基板２４に貼り付けされない部分の感光性ウエブ２２ａ又は２２ｂの送りで、送り量をその設定量よりもずれ分を足した量で送る。この結果、ハーフカット部位３４は、位置調整されてゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定の位置に配置される。その後、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８が正しい位置、すなわち、ガラス基板２４の所定の貼り付け範囲Ｐ１、Ｐ２間に感光性樹脂層２８が貼り付けられる。

なお、基板搬送ローラ９２による貼り付け基板２４ａの送り量を調整する方法の他、基板搬送機構４５を制御してガラス基板２４の停止位置をずれ分だけ前後させて調整する方法を採用してもよい。

上記第２の計測結果に基づき、光電センサ７２ａ、７２ｂにより検出されたハーフカット部位間の距離、すなわち、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の貼り付け長さＨを計測し、同量又はほぼ同量だけ長い場合、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂにより長い分だけハーフカット間長を短くする一方、前記貼り付け長さＨが短い場合、短い分だけハーフカット長を長くするようにハーフカット部位３４の加工位置を変更する。これにより、感光性樹脂層２８の貼り付け長を所定の長さに調整することができる。

なお、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂを構成するテンションダンサー７０による感光性ウエブ２２ａ、２２ｂへのテンションを調整することによって、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの伸び量を変更させることも可能である。

上記第１の計測結果に基づき、図２１に示すように、ガラス基板２４の貼り付け範囲Ｐ１、Ｐ２間に対して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８、２８の先端位置がずれると判断されると、ラミネート直後のゴムローラ８０ａ、８０ｂによるクランプ開の後、基板搬送ローラ９２により貼り付け基板２４ａを搬送して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを切断可能な位置まで搬送する。そして、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを切断した後、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをそれぞれのフイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂを用いて位置合わせを行う。

一方、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの両方又は一方のハーフカット部位３４の位置を調整することにより、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の位置を調整してもよい。その際、ずれが補正されるまで、ガラス基板２４と各感光性樹脂層２８との相対位置は、前記感光性樹脂層２８の矢印Ｃ方向のずれ量の中間位置に貼り付け範囲Ｐ１、Ｐ２が位置するように設定すればよい。これは、ラミネート後の基板搬送ローラ９２によるガラス基板２４に貼り付けされない部分の感光性ウエブ２２ａ又は２２ｂの送りの調整、又は基板搬送機構４５を制御してガラス基板２４の停止位置を調整することにより行われる。

上記第２の計測結果に基づき、図２２に示すように、感光性ウエブ２２ａの感光性樹脂層２８と、感光性ウエブ２２ｂの感光性樹脂層２８との長さが異なる際には、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの両方又は一方のハーフカット部位３４の形成位置を調整すればよい。なお、ハーフカット部位３４の位置に代えて、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによるテンション調整によっても、対応することができる。

上記第１及び第２の計測結果に基づき、図２３に示すように、各感光性樹脂層２８の長さ及び先端位置が異なる際には、ラミネート直後のゴムローラ８０ａ、８０ｂによるクランプ開の後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを切断し得る位置まで貼り付け基板２４ａを搬送する。そして、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを切断した後、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをそれぞれのフイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂを用いて各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの位置合わせ作業を行えばよい。また、感光性樹脂層２８の長さを揃えるため、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの両方又は一方のハーフカット部位３４の位置を調整すること、又は第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによるテンション調整することで対応可能である。

さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向の位置は、フイルム端末位置検出器５１及び端末位置調整機構（図示なし）によって制御することができるとともに、ガラス基板２４の幅方向の位置は、貼り付け位置直前に設けられた図示しない幅位置調整機構によって位置補正をすることが可能である。

このため、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４を貼り付け位置に対して高精度に位置決めすることができ、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８をガラス基板２４の所望の部位に対して並列且つ正確に貼り付けすることが可能になる。これにより、簡単な工程及び構成で、高品質な感光性積層体１０６を効率的に得ることができるという効果が得られる。

しかも、第１の実施形態では、幅広なガラス基板２４に対して幅方向に２本の感光性樹脂層２８を良好に転写することができ、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを幅広に構成する必要がない。従って、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの取り扱い性が有効に向上し、作業全体の効率化及び設備費の削減が容易に図られるという利点がある。

なお、第１の実施形態では、２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８をガラス基板２４に一体的に貼り付けるように構成されているが、これに限定されているものではない。例えば、３本の感光性ウエブや４本の感光性ウエブの各感光性樹脂層をガラス基板２４に一体的に貼り付けてもよい。

図２４は、本発明の第２の実施形態に係る製造装置１２０の概略構成図である。なお、第１の実施形態と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、以下に説明する第３の実施形態においても同様に、その詳細な説明は省略する。

製造装置１２０は、第１及び第２検出機構１２１ａ、１２１ｂと、基板間ウエブ切断機構４８の下流側に配置される冷却機構１２２と、この冷却機構１２２の下流側に配置されるベース剥離機構１２４とを備える。第１及び第２検出機構１２１ａ、１２１ｂは、光電センサ１２３ａ、１２３ｂ及び１２３ｃ、１２３ｄを備えており、前記光電センサ１２３ａ、１２３ｃと１２３ｂ、１２３ｄとは、所定の距離Ｌだけ離間するとともに、それぞれバックアップローラ７３ａ、７３ｃと、７３ｂ、７３ｄとに対向して配置される。

冷却機構１２２は、基板間ウエブ切断機構４８を介して貼り付け基板２４ａ間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが切断された後、この貼り付け基板２４ａに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、冷風温度が１０℃で、風量が１．０〜２．０ｍ／ｍｉｎに設定される。

冷却機構１２２の下流に配置されるベース剥離機構１２４は、貼り付け基板２４ａを下方から吸着する複数の吸着パッド１２６を備え、この吸着パッド１２６に前記貼り付け基板２４ａが吸着保持された状態で、ロボットハンド１２８を介してベースフイルム２６及び残存部分３０ｂを剥離する。吸着パッド１２６の上流、下流及び両側方には、貼り付け基板２４ａのラミネート部分全体に４方向からイオンエアを噴射する除電ブロー（図示せず）が配設されている。なお、剥離は、除塵のためテーブルを垂直にして、あるいは傾斜させて、又は裏返にして行ってもよい。

ベース剥離機構１２４の下流には、複数の感光性積層体１０６が収容される感光性積層体ストッカー１３２が設けられる。ベース剥離機構１２４で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体１０６は、ロボット１３４のハンド部１３４ａに設けられた吸着パッド１３６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３２に収容される。

ラミネート工程制御部１００には、ラミネート制御部１０２及び基板加熱制御部１０４の他、ベース剥離制御部１３８が繋がっている。ベース剥離制御部１３８は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体１０６を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記感光性積層体１０６の情報をハンドリング制御する。

このように構成される第２の実施形態では、第１及び第２検出機構１２１ａ、１２１ｂにおいて、先ず、上流側の光電センサ１２３ａ、１２３ｃが、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４を検出した後、下流側の光電センサ１２３ｂ、１２３ｄが前記ハーフカット部位３４を検出する。その際、バックアップローラ７３ａ、７３ｃと７３ｂ、７３ｄとの距離Ｌは、ガラス基板２４に貼り付けられる各感光性樹脂層２８の貼り付け長さに対応している。

このため、光電センサ１２３ａ、１２３ｃと１２３ｂ、１２３ｄとによりハーフカット部位３４が検出される時間差から、実際の感光性樹脂層２８の貼り付け長さが正確に算出される。従って、この測定値からガラス基板２４の中央部に各感光性樹脂層２８の貼り付け位置が設定されるように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り速度が調整される。

これにより、第２の実施形態では、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４間、すなわち、ガラス基板２４に貼り付けられる各感光性樹脂層２８の長さＨが正確に検出され、前記感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４の中央部に貼り付けることができる（図２５参照）。

ここで、第１及び第２検出機構１２１ａ、１２１ｂにより検出された各感光性樹脂層２８の長さＨ１が、正規の長さＨよりも長い場合には、図２６に示すように、前記感光性樹脂層２８の両端が貼り付け長さＬから外方に等距離ずつ振り分けられるようにして、ガラス基板２４の中央部に貼り付けられる。

一方、図２７に示すように、各感光性樹脂層２８の長さＨ２が、正規の長さＨよりも短い場合には、前記感光性樹脂層２８の両端が貼り付け長さＬの内方に等距離ずつ振り分けられるようにして、ガラス基板２４の中央部に貼り付けられる。その際、貼り付け位置の目標ずれは、振り分けられない場合に比べて約１／２倍となる。

さらに、第２の実施形態では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから繰り出される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにハーフカット部位３４を形成し、残存部分３０ｂを残して保護フイルム３０を剥離した後、ガラス基板２４にラミネートして感光性樹脂層２８を転写し、ベース剥離機構１２４を介してベースフイルム２６及び残存部分３０ｂを剥離して感光性積層体１０６を製造している。これにより、感光性積層体１０６の製造工程全体の自動化が容易に遂行可能になるという効果が得られる。

図２８は、本発明の第３の実施形態に係る製造装置１４０の概略構成図である。

製造装置１４０は、トラブル停止時のウエブ切断や不良品を排出するための分離等の作業以外には、通常、基板間ウエブ切断機構４８を用いておらず、ウエブ先端切断機構４８ａの下流に、冷却機構１２２とベース自動剥離機構１４２とが設けられる。ベース自動剥離機構１４２は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４４と、比較的小径な剥離ローラ１４６と、巻き取り軸１４８と、自動貼り付け機１５０とを備えている。巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１４６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。

図２９及び図３０に示すように、プレ剥離部１４４は、ニップローラ１５２、１５４と、剥離バー１５６とを備える。ニップローラ１５２、１５４は、ガラス基板２４の搬送方向に進退可能であるとともに、上側ローラ１５２ａ、１５４ａは、昇降自在であり、下側ローラ１５２ｂ、１５４ｂと前記ガラス基板２４を挟持する。剥離バー１５６は、ガラス基板２４間で昇降可能である。なお、上側ローラ１５２ａ、１５４ａに代替えして、押さえバーや押さえピンを用いてもよい。

また、剥離ローラ１４６又はその直前でフイルム面を３０℃〜１２０℃程度まで再加熱することにより、剥離時の色材層の剥がれが阻止されて、高品質なラミネート面を得ることができる。

ベース自動剥離機構１４２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１６０を備え、図３１に示すように、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４の四隅Ｋ１〜Ｋ４を撮影するために４台の前記カメラ１６０が配設される。また、四隅Ｋ１〜Ｋ４に代えて縦及び横方向に少なくとも２台ずつ配設してもよい。

なお、測定器１５８は、カメラ１６０による画像処理を行う構成を採用するが、カラーセンサやレーザセンサにより端面位置を検出したり、ＬＥＤセンサ、フォトアレイ或いはラインセンサ等を組み合わせたりしてもよい。その際、各端面に少なくとも２台ずつ配設して該端面の直線度も検出することが望ましい。

また、面状検査器（図示せず）を付勢することにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ自体に起因するムラ、設備に起因するラミネートの濃度ムラ、皺、筋の他、塵埃や異物等の面状欠陥を検出し、警報を出すとともに、ＮＧ排出や後工程の管理に利用することができる。

このように構成される第３の実施形態では、貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離部１４４に移送される。このプレ剥離部１４４では、ニップローラ１５２、１５４が隣接するガラス基板２４の後端と先端とを挟持した状態で、前記ニップローラ１５２が前記ガラス基板２４と同速度で矢印Ｃ方向に移動する一方、前記ニップローラ１５４の矢印Ｃ方向への移動速度が減速される。

従って、図３０に示すように、ニップローラ１５２、１５４間でガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが撓み、剥離バー１５６が上昇することにより、保護フイルム３０を隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離することができる。

次いで、ベース自動剥離機構１４２では、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１４８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１５０を介して自動的に貼り付けられる。

ベースフイルム２６が剥離されたガラス基板２４は、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、４台のカメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置ａ〜ｄが演算される。

なお、検査ステーションでは、ガラス基板２４を停止させずに搬送し、幅方向は端面位置をカメラやスキャンで検出する一方、進行方向はガラス基板２４の位置をタイミングセンサ等で検知して、画像の取り込みやセンサ検出による測定を行ってもよい。

このように、第３の実施形態では、ラミネート後に貼り付け基板２４ａ間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを切断することがなく、各貼り付け基板２４ａを剥離ローラ１４６で押えながら、巻き取り軸１４８の回転作用下に、前記貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を連続して巻き取ることができる。

これにより、第３の実施形態では、感光性積層体１０６の製造作業全体が自動的且つ効率的に遂行される等、第２の実施形態と同様の効果が得られるとともに、構成が一層簡素化する。なお、第２及び第３の実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。

図３２は、本発明の第４の実施形態に係る製造装置１８０の概略構成図である。

製造装置１８０に使用される感光性ウエブ２２は、図３３に示すように、ベースフイルム２６、クッション層（熱可塑性樹脂層）２７、中間層（酸素遮断膜）２９、感光性樹脂層２８及び保護フイルム３０を積層して構成される。

ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成され、クッション層２７は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層２９は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層２８は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリプロピレンで形成される。

製造装置２０は、基板間ウエブ切断機構４８の下流側に、保護フイルム３０が剥離された感光性ウエブ２２とガラス基板２４とが貼り付けられた貼り付け基板２４ａを冷却する冷却機構１２２と、冷却された前記貼り付け基板２４ａの内、樹脂層、例えば、クッション層２７をガラス転移温度（Ｔｇ）以下の所定温度範囲内（後述する）に加熱する加熱機構１８２と、複数の吸着パッド１８４により吸着保持される前記貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離して感光性積層体１０６を得るベース剥離機構１８６とを備える。

冷却機構１２２は、貼り付け基板２４ａに冷風を供給して冷却処理を施すものであり、具体的には、冷風温度が１０℃で、風速が０．５〜２．０ｍ／ｍｉｎに設定される。加熱機構１８２は、貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６側に配設される加熱ローラ１８８と、前記加熱ローラ１８８に対向してガラス基板２４側に配設される受けローラ１９０とを備える。

加熱ローラ１８８は、例えば、電磁誘導加熱方式によって内部又は外部加熱を行い、ベースフイルム２６に直接接触してこのベースフイルム２６側からクッション層２７を加熱する。なお、電磁誘導加熱方式に代えて、シーズヒータ加熱方式、温水（液体）加熱方式等の方式が採用可能である。また、加熱ローラ１８８は、ゴムローラ、金属ローラ、布巻きローラ又は樹脂ローラ等が使用されるとともに、矢印Ｃ方向に複数配置してもよい。

受けローラ１９０は、加熱が不要であり、必要に応じて冷却流体を循環する冷却ローラで構成してもよい。

クッション層２７は、加熱ローラ１８８によりガラス転移温度以下の所定温度範囲内に加熱される。クッション層２７のガラス転移温度は、例えば、粘弾性測定によりｔａｎδ（損失係数）を検出し、このｔａｎδが最大となる値から得られる。

積層体フイルムにおいて、（株）東洋ボールドウイン製粘弾性測定器を用い、温度とｔａｎδの特性を検出したところ、図３４に示す結果が得られた。これにより、クッション層２７のガラス転移温度は、３７．８℃であった。

ベース剥離機構１８６は、図３５に示すように、枠部材１９２を備え、この枠部材１９２には、貼り付け基板２４ａの搬送方向（矢印Ｃ方向）に直交する矢印Ｄ方向に延在する上部ガイドレール１９４ａ、１９４ｂが互いに所定の間隔だけ離間して平行に延在する。上部ガイドレール１９４ａ、１９４ｂの下方には、これらよりも短尺な下部ガイドレール１９５ａ、１９５ｂが、同様に矢印Ｄ方向に延在して互いに平行して設けられる。上部ガイドレール１９４ａ、１９４ｂには、モータ１９６ａ、１９６ｂを介して矢印Ｄ方向に沿って進退可能な自走式可動部材１９８ａ、１９８ｂが支持される。

図３５及び図３６に示すように、可動部材１９８ａ、１９８ｂは、鉛直方向（矢印Ｅ方向）に延在しており、互いに対向する側面には、鉛直方向に延在するガイドレール２００ａ、２００ｂが設けられる。ガイドレール２００ａ、２００ｂには、昇降台２０２ａ、２０２ｂが支持されるとともに、前記昇降台２０２ａ、２０２ｂは、モータ２０４ａ、２０４ｂを介して昇降可能である。

昇降台２０２ａ、２０２ｂには、回転駆動源２０６ａ、２０６ｂが水平方向に向かって装着され、前記回転駆動源２０６ａ、２０６ｂの回転軸（図示せず）には、チャック２０８ａ、２０８ｂが固着される。チャック２０８ａ、２０８ｂは、旋回自在に構成されるとともに、貼り付け基板２４ａのベースフイルム剥離位置において、前記貼り付け基板２４ａを構成するガラス基板２４の搬送方向両端から外部に突出するベースフイルム２６の両側部を把持自在な位置に位置調整可能である。

図３５に示すように、下部ガイドレール１９５ａ、１９５ｂには、スライドベース２１０ａ、２１０ｂが支持されるとともに、前記スライドベース２１０ａ、２１０ｂには、倣いローラ２１２の両端が昇降可能に支持される。スライドベース２１０ａ、２１０ｂは、可動部材１９８ａ、１９８ｂと一体的に矢印Ｄ方向の所定の位置間を進退可能に構成される。

このように構成される第４の実施形態では、基板間ウエブ切断機構４８により分離された各貼り付け基板２４ａは、図３２に示すように、冷却機構１２２に搬送され、冷風の供給作用下に強制的に、例えば、室温（略２０℃）まで冷却された後、加熱機構１８２に搬送される。加熱機構１８２では、加熱ローラ１８８と受けローラ１９０とを介して貼り付け基板２４ａが挟持されるとともに、前記加熱ローラ１８８から前記貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６に直接伝熱される。

これにより、ベースフイルム２６からクッション層２７が所定の温度に加熱された後、貼り付け基板２４ａは、ベース剥離機構１８６に送られる。ベース剥離機構１８６では、貼り付け基板２４ａのガラス基板２４側が吸着パッド１８４の吸引作用下に保持される一方、各チャック２０８ａ、２０８ｂは、ガラス基板２４の搬送方向両端から内方に突出するベースフイルム２６の矢印Ｄ方向一端側に配置される（図３７参照）。

そこで、可動部材１９８ａ、１９８ｂは、モータ１９６ａ、１９６ｂの作用下に貼り付け基板２４ａ側に移動するとともに、各チャック２０８ａ、２０８ｂは、開閉してベースフイルム２６の搬送方向両端部を把持する。さらに、チャック２０８ａ、２０８ｂは、回転駆動源２０６ａ、２０６ｂの作用下に旋回する一方、昇降台２０２ａ、２０２ｂ及び可動部材１９８ａ、１９８ｂは、所定の方向に駆動制御される。

このため、図３６及び図３７に示すように、チャック２０８ａ、２０８ｂが所定の剥離軌跡に沿って移動し、前記チャック２０８ａ、２０８ｂに把持されるベースフイルム２６は、クッション層２７から分離されて貼り付け基板２４ａから剥離される。その際、倣いローラ２１２は、可動部材１９８ａ、１９８ｂと一体的に矢印Ｄ方向に所定の位置まで移動し、ベースフイルム２６を円滑且つ良好に剥離させる。貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が剥離されることにより、感光性積層体１０６が得られる。

この場合、第４の実施形態では、冷却機構１２２を介して強制冷却された貼り付け基板２４ａのクッション層２７が、加熱機構１８２の作用下にベースフイルム２６側からガラス転移温度付近まで一旦加熱された後、ベース剥離機構１８６を介して前記ベースフイルム２６の剥離が行われている。

すなわち、貼り付け機構４２において、感光性ウエブ２２は、所定のテンションが付与された状態でガラス基板２４に熱圧着されており、クッション層２７に残留応力が発生し易い。さらに、貼り付け基板２４ａには、冷却機構１２２により強制冷却処理が施されるため、クッション層２７に残留応力が発生し易い。従って、この状態で、ベースフイルム２６を貼り付け基板２４ａから剥離すると、クッション層２７の残留応力によって前記クッション層２７に割れや破損等が発生し易い。このため、クッション層２７には、凹凸等の不良部位が発生してしまい、品質低下が惹起する。

そこで、第４の実施形態では、ベースフイルム２６の剥離前に、このベースフイルム２６側からクッション層２７のガラス転移温度付近の温度まで加熱を行うことにより、前記クッション層２７の残留応力を緩和している。

ここで、ベースフイルム２６の表面温度を種々変更して、前記ベースフイルム２６の剥離時における剥がれ不良の有無を検出する実験を行った。その結果が、図３８に示されている。これにより、ベースフイルム２６の表面温度は、クッション層２７のガラス転移温度（３７．８℃）以下の所定の温度範囲内に相当する３２℃〜３８℃の温度範囲内に設定されることにより、良好な剥離処理が遂行され、高品質な感光性積層体１０６が得られた。

しかも、加熱機構１８２は、貼り付け基板２４ａをベースフイルム２６側から加熱している。従って、ベースフイルム２６とクッション層２７との剥離部位は、ガラス基板２４側から加熱する場合に比べて、迅速且つ正確に所望の温度に加熱されるため、前記剥離部位における高精度な剥離処理が遂行可能になるという利点がある。

さらに、ベース剥離機構１８６は、加熱機構１８２から所定の間隔だけ離間している。このため、一旦加熱されて残留応力が緩和された貼り付け基板２４ａは、ベース剥離機構１８６に移送される間に冷却される。

ところで、ベース剥離機構１８６を構成する倣いローラ２１２を図示しない加熱機構を介し加熱してベースフイルム２６に接触することにより、このベースフイルム２６を加熱しながらクッション層２７から剥離してもよい。また、倣いローラ２１２は、複数配設してもよい。

なお、第４の実施形態では、ベース剥離機構１８６は、ベースフイルム２６を貼り付け基板２４ａの搬送方向（矢印Ｃ方向）に交差する矢印Ｄ方向に剥離するように構成されているが、前記ベースフイルム２６の剥離方向を前記貼り付け基板２４ａの搬送方向と平行する矢印Ｃ方向に設定してもよい。

また、加熱機構１８２の上流側に予熱機構（図示せず）を設置して、貼り付け基板２４ａの加熱補助を行ってもよい。予熱機構としては、例えば、コイル、カーボン、又はハロゲン等の赤外線パワーヒータ、セラミック型のＩＲヒータや各種接触式の加熱ローラ等が用いられる。

さらに、第４の実施形態では、基本的に第１の実施形態に係る製造装置２０を採用しているが、これに限定されるものではなく、第２及び第３の実施形態に係る製造装置１２０、１４０に適用してもよい。

図３９は、本発明の第５の実施形態に係る製造装置を構成するベース剥離機構２２０の概略斜視説明図である。なお、第４の実施形態に係る製造装置１８０を構成するベース剥離機構１８６と同一の構成要素と同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。以下に説明する第６の実施形態においても同様に、その詳細な説明は省略する。

ベース剥離機構２２０は、ベースフイルム２６を貼り付け基板２４ａから剥離する際、前記ベースフイルム２６に対して、ガラス基板２４との張り付け方向（矢印Ｃ方向）に張力を付与する張力付与構造２２２を備える。

張力付与構造２２２は、貼り付け基板２４ａの搬送方向先端側から外部に突出するベースフイルム２６の先端部２６ａを把持自在な可動チャック部材２２４ａ、２２６ａ、２２８ａ及び２３０ａと、前記貼り付け基板２４ａの搬送方向後方側に突出する前記ベースフイルム２６の後端部２６ｂを把持自在な可動チャック部材２２４ｂ、２２６ｂ、２２８ｂ及び２３０ｂとを備える。

チャック部材２２４ａ、２２４ｂは、互いに矢印Ｃ方向に対向しており、他のチャック部材２２６ａ、２２６ｂ、２２８ａ、２２８ｂ及び２３０ａ、２３０ｂは、それぞれ互いに矢印Ｃ方向に対向して配置される。チャック部材２２４ａ〜２３０ａ及び２２４ｂ〜２３０ｂは、それぞれ開閉自在で且つベースフイルム２６に対して進退可能に構成される。

このように構成される第５の実施形態では、張り付け基板２４ａがベース剥離位置に配置されると、張力付与構造２２２を構成するチャック部材２２４ａ〜２３０ａは、ベースフイルム２６の先端部２６ａを把持するとともに、チャック部材２２４ｂ〜２３０ｂは、前記ベースフイルム２６の後端部２６ｂを把持する。この状態で、チャック部材２２４ａ〜２３０ａとチャック部材２２４ｂ〜２３０ｂとは、互いに離間する方向にトルク制御されることにより、ベースフイルム２６には、矢印Ｃ方向に所定の張力が付与される。

そこで、チャック２０８ａ、２０８ｂがベースフイルム２６の先端部２６ａ及び後端部２６ｂの端部を把持し、所定の剥離軌跡に沿って矢印Ｄ１方向に移動する。その際、ベースフイルム２６には、矢印Ｃ方向に所定の張力が付与されており、このベースフイルム２６をガラス基板２４から円滑且つ確実に剥離することができる。

さらに、倣いローラ２１２は、矢印Ｄ１方向に移動してチャック部材２２４ａ、２２４ｂに近接すると、このチャック部材２２４ａ、２２４ｂは、ベースフイルム２６の先端部２６ａ及び後端部２６ｂの把持作用を解除した後、互いに離間する方向（矢印方向）に移動する。このため、チャック部材２２４ａ、２２４ｂは、倣いローラ２１２に干渉することがない。倣いローラ２１２が矢印Ｄ１方向に移動するのに伴って、チャック部材２２６ａ、２２６ｂがベースフイルム２６から離脱し、次いでチャック部材２２８ａ、２２８ｂ及びチャック部材２３０ａ、２３０ｂが、順次、前記ベースフイルム２６から離間して、該ベースフイルム２６の剥離作業が終了する。

図４０は、本発明の第６の実施形態に係る製造装置を構成するベース剥離機構２３０の概略斜視説明図である。

ベース剥離機構２３０は、ベースフイルム２６を貼り付け基板２４ａから剥離する際に、前記ベースフイルム２６に対して、前記張り付け基板２４ａとの貼り付け方向に張力を付与する張力付与構造２３２を備える。

張力付与構造２３２は、貼り付け基板２４ａの搬送方向先端側に突出するベースフイルム２６の先端部２６ａを把持可能な先端チャック２３４と、前記貼り付け基板２４ａの搬送方向後方に突出する前記ベースフイルム２６の後端部２６ｂを把持可能な後端チャック２３６とを備える。先端チャック２３４及び後端チャック２３６は、矢印Ｄ方向に幅広に構成されており、それぞれベースフイルム２６の先端部２６ａ及び後端部２６ｂを略幅方向全面に渡って把持可能である。

先端チャック２３４は、回転駆動源２０６ａ、２０６ｂに装着されており、その他の構造は、第４の実施形態のベース剥離機構１８６と同様に構成されている。この場合、先端チャック２３４の移動方向は、チャック２０８ａ、２０８ｂの移動方向（矢印Ｄ方向）に直交する矢印Ｃ方向に設定される。

このように構成される第６の実施形態では、貼り付け基板２４ａがベース剥離位置に搬送されると、この貼り付け基板２４ａの先端側に突出するベースフイルム２６の先端部２６ａは、先端チャック２３４に把持される。一方、貼り付け基板２４ａの後端側に突出するベースフイルム２６の後端部２６ｂは、後端チャック２３６に把持される。

次いで、後端チャック２３６、あるいは、前記後端チャック２３６及び先端チャック２３４は、トルク制御されてこれらに挟持されるベースフイルム２６に矢印Ｃ方向に沿って張力が付与される。この状態で、先端チャック２３４が所定の剥離軌跡に沿って移動することにより、所定の張力が付与されているベースフイルム２６は、ガラス基板２４から円滑且つ確実に剥離される。

図４１は、本発明の第７の実施形態に係る製造装置を構成するベース自動剥離機構２５０の概略説明図である。なお、第３の実施形態に係る製造装置１４０を構成するベース自動剥離機構１４２と同一の構成要素には、同一の参照符号を付してその詳細な説明は省略する。

ベース自動剥離機構２５０は、張り付け基板２４ａ間を移動しながら、剥離ローラ１４６の外周部に沿ってベースフイルム２６を案内する剥離バー（剥離ガイド部材）２５２を備える。剥離バー２５２は、シリンダ２５４の作用下に上下方向（矢印Ｅ方向）に進退可能である。シリンダ２５４には、モータ２５６に連結されたボールねじ２５８が噛合しており、矢印Ｃ方向に進退可能である。剥離ローラ１４６は、図示しない熱源により加温されることが望ましい。

このように構成される第７の実施形態では、図４２に示すように、貼り付け基板２４ａ間に剥離バー２５２が配置されると、この剥離バー２５２は、シリンダ２５４の作用下に上方に突出し、剥離ローラ１４６の外周面に残存部分３０ｂ側からベースフイルム２６を押付ける。さらに、モータ２５６の作用下にボールねじ２５８が回転し、シリンダ２５４が矢印Ｃ方向に移動するとともに、剥離バー２５２は、シリンダ２５４を介して剥離ローラ２４６に押付けられる（図４３参照）。

これにより、剥離バー２５２は、剥離ローラ２４６の外周面に沿って残存部分３０ｂを案内する。従って、図４４に示すように、剥離バー２５２は、剥離ローラ１４６の外周部の所定の位置まで移動することにより、残存部分３０ｂは、前方の貼り付け基板２４ａの後端部から確実に剥離されてベースフイルム２６と一体的に巻き取られる。このため、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離する際に、残存部分３０ｂが貼り付け基板２４ａに残ることがなく、良好な自動剥離処理が遂行可能になる。

なお、剥離バー２５２は、先端が球状に構成されているが、これに限定されるものではない。例えば、図４５に示すように、剥離ローラ１４６側にテーパ面をするテーパ先端部２６０ａを有する剥離バー２６０を採用してもよい。

図４６は、本発明の第８の実施形態に係る製造装置を構成する貼り付け機構２７０の正面説明図である。

貼り付け機構２７０は、ゴムローラ８０ａ、８０ｂと、バックアップローラ２７２ａ、２７２ｂとを備え、前記バックアップローラ２７２ａ、２７２ｂは、外周がクラウン形状に設定される。なお、バックアップローラ２７２ａ、２７２ｂの少なくとも一方、又はゴムローラ８０ａ、８０ｂの少なくとも一方をクラウンローラに構成してもよい。

クラウン形状は、サイン曲線、２次曲線、又は４次曲線で構成される。例えば、図４７に示すように、ロール面長Ｌ＝１０００ｍｍ〜３０００ｍｍ、ロール直径φ＝２００ｍｍ〜３００ｍｍ、クラウン量ｄ（＝２ｄ１）＝０．１ｍｍ〜３．０ｍｍであり、ラミネート線圧が、１００Ｎ／ｃｍ〜２００Ｎ／ｃｍに設定される。

図４８は、本発明の第９の実施形態に係る製造装置を構成する第１及び第２加工機構２９０ａ、２９０ｂの概略斜視説明図であり、図４９は、前記第１及び第２加工機構２９０ａ、２９０ｂの概略構成図である。

第１及び第２加工機構２９０ａ、２９０ｂは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４を所定温度（後述する）に加熱する加熱機構２９２と、前記所定温度に加熱される前記ハーフカット部位３４に沿ってハーフカットするカッタ機構２９４とを備える。

カッタ機構２９４は、感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に直交する矢印Ｂ方向に延在するリニアガイド２９６を備え、このリニアガイド２９６には、スライド台２９８が支持される。スライド台２９８には、モータ３００が内装されており、このモータ３００の回転駆動軸３００ａには、ピニオン３０２が軸着される。リニアガイド２９６には、矢印Ｂ方向に延在してピニオン３０２に噛合するラック３０４が設けられ、スライド台２９８は、前記モータ３００の作用下に矢印Ｂ方向に進退可能である。

スライド台２９８には、ピニオン３０２と反対側に突出して回転軸３０６が設けられ、この回転軸３０６には、前記回転軸３０６と一体的に回転自在な回転丸刃（カッタ）３０８が固着される。回転丸刃３０８に対向する位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを挟んでカット受台３１０が配設される。

このカット受台３１０は、２枚の金属プレートで構成され、矢印Ｂ方向に延在する。カット受台３１０の上面には、回転丸刃３０８の矢印Ｂ方向への移動範囲にわたって凹部３１２が形成され、この凹部３１２に樹脂製受部３１４が収容される。

加熱機構２９２は、カット受台３１０内に埋設、具体的には、２枚の金属プレート間に挟持されるシート型ヒータ３１６を備える。カット受台３１０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに接触してハーフカット部位３４を直接加熱する加熱部材として機能する。ここで、シート型ヒータ３１６は、凹部３１２と受部３１４との間に配設してもよい。

なお、回転丸刃３０８に代えて、スライド台２９８から延在する固定軸３１８に固定される固定丸刃３２０を用いてもよい。この固定丸刃３２０は、固定軸３１８に対して所定角度ずつ角度位置が調整可能である。

ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために、回転丸刃３０８（又は固定丸刃３２０）の切り込み深さが設定される。ハーフカット部位３４は、回転丸刃３０８（又は固定丸刃３２０）に代替して、例えば、超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、後述する帯状押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。なお、押し切り刃は、垂直方向の押し切り構成の他、斜め方向の押し切り構成を含む。

このように構成される第９の実施形態では、加熱機構２９２を構成するシート型ヒータ３１６が付勢されており、このシート型ヒータ３１６を設けるカット受台３１０が所望の温度に加熱されている。このため、矢印Ａ方向に送られる感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに同期して移動するカット受台３１０に接触して直接加熱され、ハーフカット部位３４は、回転丸刃３０８に応じて予め設定された所定の温度に加熱されながら、カッタ機構２９４を介してハーフカットされる。なお、ハーフカットは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを停止した状態で行ってもよい。

具体的には、スライド台２９８に設けられているモータ３００の駆動作用下にピニオン３０２が回転すると、このピニオン３０２とラック３０４との噛合作用下に、スライド台２９８がリニアガイド２９６に支持されて矢印Ｂ方向に移動する。そこで、回転丸刃３０８は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４に所望の深さまで切り込んだ状態で、矢印Ｂ方向に移動しながら回転する。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、保護フイルム３０から所望の深さに切り込んだハーフカット部位３４が形成される。

この場合、加熱機構２９２を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４が加熱されながら、このハーフカット部位３４がカッタ機構２９４によりハーフカットされている。その際、回転丸刃３０８及び固定丸刃３２０毎に、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの加熱温度を予め設定されることによって、カット屑の発生や層間剥離の発生を良好に阻止することができる。

なお、上記の第９の実施形態では、カット受台３１０に凹部３１２を形成してこの凹部３１２に受部３１４を収容をしているが、例えば、前記凹部３１２を形成することなく、カット受台の上面に樹脂製受フイルムを直接設けてもよい。また、シート型ヒータ３１６に代えて、シーズヒータ又は管型ヒータを用いてもよく、さらにカッタ機構２９４及びハーフカット部位３４を収容して加熱ボックスを設け、この加熱ボックス内に熱風を供給してもよい。さらにまた、ハーフカット前に、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを加熱するために、カッタ機構２９４の上流側に加熱プレート、バーヒータあるいは、加熱ボックス等を併設してもよい。

本発明の第１の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 前記製造装置を構成する貼り付け機構の正面説明図である。 フイルム搬送ローラとニップローラ群との斜視説明図である。 前記製造装置を構成する貫通部の要部断面説明図である。 イニシャル開始状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。 ゴムローラ間にガラス基板が進入する状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記ゴムローラの回転開始状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 一枚目のラミネート終了時の動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記ゴムローラと前記基板搬送ローラとの回転動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。 前記基板搬送ローラが貼り付け基板の端末から離間する動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記貼り付け基板間の前記感光性ウエブを切断する動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 停止状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 終了状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記感光性ウエブの頭出し動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記ガラス基板に対して前記感光性樹脂層が進む場合の説明図である。 前記ガラス基板に対して前記感光性樹脂層が延じる場合の説明図である。 前記ガラス基板に対して各感光性樹脂層の先端位置がずれる場合の説明図である。 前記ガラス基板に対して各感光性樹脂層の長さが異なる場合の説明図である。 前記ガラス基板に対して各感光性樹脂層の長さが異なり、且つ先端位置が異なる場合の説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記ガラス基板に規定長さの前記感光性樹脂層が貼り付けられた状態の説明図である。 前記ガラス基板に規定長さよりも長い前記感光性樹脂層が貼り付けられた状態の説明図である。 前記ガラス基板に規定長さよりも短い前記感光性樹脂層が貼り付けられた状態の説明図である。 本発明の第３の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置を構成するプレ剥離部の説明図である。 前記プレ剥離部の動作説明図である。 前記ガラス基板上の前記感光性樹脂層の貼り付け位置検出の説明図である。 本発明の第４の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 温度とｔａｎδとの特性説明図である。 前記製造装置を構成する剥離機構の概略斜視説明図である。 前記剥離機構の要部斜視説明図である。 前記剥離機構の動作説明図である。 ベースフイルムの表面温度とフイルム剥離不良との関係図である。 本発明の第５の実施形態に係る製造装置を構成するベース剥離機構の概略斜視説明図である。 本発明の第６の実施形態に係る製造装置を構成するベース剥離機構の概略斜視説明図である。 本発明の第７の実施形態に係る製造装置を構成するベース自動剥離機構の概略説明図である。 前記ベース自動剥離機構の動作説明図である。 前記ベース自動剥離機構の動作説明図である。 前記ベース自動剥離機構の動作説明図である。 テーパ形状部を有する剥離バーの説明図である。 本発明の第８の実施形態に係る製造装置を構成する貼り付け機構の正面説明図である。 前記貼り付け機構を構成するクラウンローラの説明図である。 本発明の第９の実施形態に係る製造装置を構成する第１及び第２加工機構の概略斜視説明図である。 前記第１及び第２加工機構の概略構成図である。 特許文献１のフイルム貼り付け装置の概略構成図である。

符号の説明

２０、１２０、１４０、１８０…製造装置 ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２３ａ、２３ｂ…感光性ウエブロール ２４…ガラス基板
２６…ベースフイルム ２７…クッション層
２８…感光性樹脂層 ２９…中間層
３０…保護フイルム ３２ａ、３２ｂ…ウエブ送り出し機構
３４…ハーフカット部位
３６ａ、３６ｂ、２９０ａ、２９０ｂ…加工機構
４０ａ、４０ｂ…ラベル接着機構 ４２ａ、４２ｂ…リザーバ機構
４４ａ、４４ｂ…剥離機構 ４５…基板搬送機構
４６、２７０…貼り付け機構
４７ａ、４７ｂ、１２１ａ、１２１ｂ…検出機構
４８…基板間ウエブ切断機構 ４８ａ…ウエブ先端切断機構
５２…丸刃
５４ａ〜５４ｅ、７９、１２６、１３６、１８４…吸着パッド
６０、６１…ダンサーローラ ６２…サクションドラム
６３、１４６、２４６…剥離ローラ ６４…保護フイルム巻き取り部
６６ａ、６６ｂ…テンション制御機構 ７０…テンションダンサー
７２ａ、７２ｂ、１２３ａ〜１２３ｄ…光電センサ
７３ａ〜７３ｃ、８２ａ、８２ｂ、２７２ａ、２７２ｂ…バックアップローラ
７４…基板加熱部 ７６…搬送部
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ ８６…接触防止ローラ
８９ａ、８９ｂ…ニップローラ群 ９０ａ、９０ｂ…フイルム搬送ローラ
９１ａ、９１ｂ、９６ａ、９６ｂ、１５２、１５４…ニップローラ
９２…基板搬送ローラ ９９ａ、９９ｂ…シリンダ
１００…ラミネート工程制御部 １０２…ラミネート制御部
１０４…基板加熱制御部 １２２…冷却機構 １２４、１８６、２２０、２３０…ベース剥離機構
１２８…ロボットハンド １３８…ベース剥離制御部 １４２、２５０…ベース自動剥離機構 １４４…プレ剥離部
１５８…測定器 １８２、２９２…加熱機構

Claims (24)

1. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを同期して送り出し可能な２以上のウエブ送り出し機構と、
   送り出された各長尺状感光性ウエブの前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する２以上の加工機構と、
   前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性ウエブから剥離させる２以上の剥離機構と、
   基板を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構と、
   前記貼り付け位置で、各残存部分を前記基板間に配設するとともに、各剥離部分が剥離されて露出した２以上の感光材料層を前記基板に一体的且つ並列に貼り付けして貼り付け基板を得る貼り付け機構と、
   前記貼り付け位置の近傍に配設され、各長尺状感光性ウエブの前記境界位置を直接検出し、又は該境界位置に対応して各長尺状感光性ウエブに設けられたマーク部を検出する２以上の検出機構と、
   各検出機構により検出された各境界位置情報に基づいて、前記貼り付け位置における各境界位置と前記基板との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を調整可能な制御機構と、
   を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
2. 請求項１記載の製造装置において、各検出機構は、前記貼り付け位置の上流近傍に配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
3. 請求項１又は２記載の製造装置において、各加工機構と各剥離機構との間には、各長尺状感光性ウエブの搬送速度乃至搬送形態を変更可能なリザーバ機構が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の製造装置において、各剥離機構と前記貼り付け機構との間には、各長尺状感光性ウエブにテンションを付与可能な２以上のテンション制御機構が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の製造装置において、前記貼り付け機構の下流には、各長尺状感光性ウエブを前記基板間で一体的に切断可能な切断機構が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の製造装置において、前記貼り付け機構の下流には、各貼り付け基板から前記支持体を剥離する２以上の支持体剥離機構が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
7. 請求項６記載の製造装置において、前記貼り付け機構と前記支持体剥離機構との間には、前記貼り付け基板を冷却する冷却機構と、
   前記支持体に積層される樹脂層をガラス転移温度以下の所定温度範囲内に加熱する加熱機構と、
   が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
8. 請求項６又は７記載の製造装置において、前記支持体剥離機構は、前記支持体を剥離する際に、前記支持体に対して前記基板との貼り付け方向に張力を付与する張力付与構造を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
9. 請求項６又は７記載の製造装置において、前記支持体剥離機構は、前記支持体を外周部に倣わせて前記基板から剥離するための剥離ローラと、
   前記基板間を移動しながら、前記剥離ローラの外周部に沿って前記支持体を案内する剥離ガイド部材と、
   を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
10. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載の製造装置において、前記貼り付け機構は、所定温度に加熱される一対のゴムローラと、
    一方のゴムローラを進退させるローラクランプ部と、
    を備え、
    前記ローラクランプ部は、前記一方のゴムローラにクランプ圧を付与するシリンダと、
    アクチュエータの作用下に前記シリンダを進退させるカム部と、
    を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
11. 請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の製造装置において、前記貼り付け機構は、所定温度に加熱される一対のゴムローラと、
    前記一対のゴムローラに摺接する一対のバックアップローラと、
    を備え、
    少なくとも一方のゴムローラ又は少なくとも一方のバックアップローラは、外周面がクラウン形状に設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の製造装置において、前記貼り付け機構の上流近傍には、前記長尺状感光性ウエブを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
13. 請求項１記載の製造装置において、前記加工機構は、前記長尺状感光性ウエブに前記加工部位であるハーフカット部位を形成するカッタ部と、
    ハーフカット時に、前記ハーフカット部位を、前記カッタ部に応じて予め設定された所定温度に加熱する加熱部と、
    を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
14. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される２以上の長尺状感光性ウエブを同期して送り出す工程と、
    送り出された各長尺状感光性ウエブの前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する工程と、
    前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性ウエブから剥離させる工程と、
    各長尺状感光性ウエブの前記境界位置を直接検出し、又は該境界位置に対応して前記長尺状感光性ウエブに設けられたマーク部を検出することにより各境界位置情報を得る工程と、
    所定の温度に加熱されている基板を貼り付け位置に向かって搬送する工程と、
    得られた各境界位置情報に基づいて、前記貼り付け位置における各境界位置と前記基板との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を調整する工程と、
    前記貼り付け位置で、各残存部分を前記基板間に配設するとともに、各剥離部分が剥離されて露出した２以上の感光材料層を前記基板に一体的且つ並列に貼り付けて貼り付け基板を得る工程と、
    を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
15. 請求項１４記載の製造方法において、前記貼り付け位置の上流近傍で前記境界位置情報を得ることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
16. 請求項１４又は１５記載の製造方法において、各長尺状感光性ウエブは、各加工機構で間欠搬送された後、各リザーバ機構を介して各剥離機構以降で連続搬送されることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
17. 請求項１４乃至１６のいずれか１項に記載の製造方法において、各長尺状感光性ウエブは、各剥離機構と貼り付け機構との間でテンションが付与されることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
18. 請求項１４乃至１７のいずれか１項に記載の製造方法において、貼り付け機構の下流で、各長尺状感光性ウエブを前記貼り付け基板間で切断した後、前記貼り付け基板から各支持体を、順次、剥離して感光性積層体を得る工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
19. 請求項１４乃至１７のいずれか１項に記載の製造方法において、貼り付け機構の下流で、前記貼り付け基板から長尺状の各支持体を連続的に剥離して感光性積層体を得る工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
20. 請求項１８又は１９記載の製造方法において、前記貼り付け機構の下流で、前記貼り付け基板を冷却する工程と、
    前記支持体に積層される樹脂層をガラス転移温度以下の所定温度範囲内に加熱する工程と、
    を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
21. 請求項１８又は１９記載の製造方法において、前記支持体を剥離する際に、前記支持体に対して前記基板との貼り付け方向に沿って張力を付与する工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
22. 請求項１９乃至２１のいずれか１項に記載の製造方法において、前記支持体を剥離ローラの外周部に倣わせて前記基板から剥離するとともに、剥離部材が前記基板間を移動しながら前記剥離ローラの外周部に沿って前記支持体を案内する工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
23. 請求項１４乃至２２のいずれか１項に記載の製造方法において、前記貼り付け機構の上流近傍で、前記長尺状感光性ウエブを予め所定温度に予備加熱する工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
24. 請求項１４記載の製造方法において、前記長尺状感光性ウエブの前記加工部位であるハーフカット部位を、カッタ部に応じて予め設定された所定温度に加熱しながら、前記長尺状感光性ウエブをハーフカットすることを特徴とする感光性積層体の製造方法。

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