JP4273023B2 - フィルム貼付方法とその装置 - Google Patents

Description

本発明はフィルム貼付方法とその装置に係わり、特に、半導体基板やプリント配線基板、ＬＣＤやＰＤＰのガラス基板などの基板表面にレジスト膜などのフィルムを貼り付けるフィルム貼付方法とその装置に関するものである。

従来、フィルムとしてベースフィルム、レジストフィルム（貼付け用フィルムとして説明する。）、カバーフィルムの三層構造としたもの（以下、一体化フィルムと略記）をベースフィルムが外周側、カバーフィルムが内周側になるように巻回したフィルムロールを用い、フィルムロールから繰出した一体化フィルムからカバーフィルムを剥離し、搬送路上を所望の一定間隔をもって搬送されて来る各基板の寸法に合わせて二層となったフィルムとベースフィルムを幅方向に切断してフィルムが基板表面側になるようにして１対の圧着ローラ間を通して基板毎に貼り付ける枚葉法がある。

この枚葉法では、基板搬送方向でのフィルム先端を基板先端部に位置決めすることが困難でしかも位置合せ時に気泡を形成しやすく、また、フィルム後端部は自由端になり気泡が取込まれたりしわなどの欠陥が発生しやすく、その端部処理のために装置構成が複雑になる問題があった。

そこで、装置構成を簡略化するものとして、所望の間隔をもって搬送路上を複数の基板が搬送され、フィルムロールから一体化フィルムを繰出し、カバーフィルムを剥離してフィルムが基板側になるようにし、搬送されて来る複数の基板の基板間に相当する部位および基板とフィルムとの貼り付けを望まない部分に相当する部位（以下、両者を加算して基板間相当部位と略記）のフィルムを搬送方向と交差する幅方向に除去するとともに、ベースフィルムとともに圧着ロールにより各基板表面にフィルムを貼り付ける連続法（特許文献１参照）がある。

特開２００２―１０４７１９号公報

上記従来技術では、基板間相当部位の貼付け用フィルムを除去するにあたり、粘着テープを貼付け用フィルムに貼り付けて、粘着テープを剥がすことで貼付け用フィルムも一緒に除去するようにしている。
この場合、粘着テープの幅は基板間相当部位の長さと同等の長さとしているが、基板間相当部位の長さが短くなり、より幅の狭い粘着テープで貼付け用フィルムを除去する必要が出てくると、下記の問題が出てきた。

即ち、テープの巻きズレや巻き巣が発生し、保管時に竹の子状になる可能性が高く、貼付け用フィルムの除去ミスを誘発する。更には、貼付け用フィルムを除去するに必要な張力により、テープが伸びたり切れて、基板間相当部位の貼付け用フィルムを除去できなくなってしまう。
それゆえ、本発明の目的は、基板間相当部位が狭幅であっても貼付け用フィルムを粘着テープで確実に除去して、気泡やしわ等の欠陥を発生することなく貼付け用フィルムを基板に貼り付けることができるフィルム貼付方法およびその装置を提供することにある。

本発明は、圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて任意領域、すなわち剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に所望領域、すなわち貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付方法において、前記剥離部の幅よりも広い幅の粘着テープを用い、該粘着テープを中折れ状態として剥離作用部を形成し、該剥離作用部を前記剥離領域に貼付け、剥離することで貼付け用フィルムの剥離領域を前記ベースフィルムから除去するフィルム貼付方法を提供する。

また、本発明は、前記粘着テープの中折れ状態を２本のもしくは１本の切れ目で形成し、前記粘着テープの中央部にもしくは片側に前記剥離作用部を形成するフィルム貼付方法を提供する。
また、本発明は、前記剥離作用部の幅は、前記剥離領域の幅に実質的に一致するフィルム貼付方法を提供する。

以上説明したように本発明によれば、貼付け用フィルムの剥離領域に貼り付ける粘着テープの幅は狭くても、粘着テープ自体の幅はそれよりも広く、従って、張力で粘着テープが切れることはなく、保管時にテープの巻きズレや巻き巣が発生して竹の子状等の欠陥を派生させることはないので、貼付け用フィルムの剥離領域を粘着テープで確実に除去して、気泡やしわ等の欠陥を発生することなく貼付け用フィルムの貼付け領域を基板に貼り付けることができる。また、本発明によれば、基板間相当部位の幅が変化、あるいは剥離領域の幅が調整されるようなことがあっても一様な広幅の粘着テープを適切に使用することができる。

本実施例は、圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けて三層構造をもつ一体化フィルムとして巻回したフィルムロールから一体化フィルムを繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて貼付け用フィルムにおける剥離領域と基板に貼付けたい貼付け領域を区分し、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで除去し、ベースフィルム上に貼付け用フィルムの貼付け領域を残して圧着ロールに向けて搬送し、圧着ロールにより基板の所望位置に貼付け用フィルムの貼付け領域を貼り付けるものにおいて、粘着テープで除去する貼付け用フィルムの剥離領域の幅よりも広い幅の粘着テープを用い、粘着テープを中折れ状態として貼付け用フィルムの剥離領域に貼り付け、剥離することで貼付け用フィルムの剥離領域をベースフィルムから除去する方法および装置を構成する。

更に、本実施例は、圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付装置において、前記貼付け用フィルムの剥離領域の幅よりも広い幅の粘着テープを繰り出す手段と、該粘着テープに中折れ状態を生起する手段とを有する粘着テープ供給ユニットと、中折れ状態を有する粘着テープを前記貼付け用フィルムの剥離領域に貼付け、剥離する手段を有するフィルム除去ユニットを備えるフィルム貼付装置を構成する。

前記粘着テープに中折れ状態を生起する手段は、プーリ状のローラからなり、かつ前記貼付け用フィルムの剥離領域に貼付け、剥離する手段は、ビア樽状のローラを有する。
前記プーリ状のローラの前段に前記粘着テープの全厚に至らない深さの切れ目を設ける切れ目形成手段を有する。

図１は、本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置の概略図である。
図１において、１０は基板１の搬送路、２０はフィルム供給部（手段）、３０と４０は切れ目形成部（手段）、５０と７０はフィルム剥離（除去）部（手段）、９０は基板分離部（手段）である。

搬送路１０は図において左から右に向かって基板１を搬送するもので、複数の搬送ローラ１１を並べて構成され、その途中に1対の圧着ロール１２を有している。各圧着ロール１２は加熱用のヒータを内蔵している。

基板１は搬送方向に長さＬ１を有し、複数の基板１が間隔Ｄを持って搬送されてくる。そして圧着ロール１２による加熱加圧で、Ｌ２の長さで後述するように貼付け用フィルム、すなわち貼付け用フィルムの貼付け領域（貼付け用フィルムの所望領域）を貼り付けて行く。
フィルム供給部２０は、フィルムロール２１、剥離ローラ２２、回収ロール２３で構成されている。

フィルムロール２１は、ベースフィルム２、貼付け用フィルム３およびカバーフィルム４からなり、貼付け用フィルム３の各側にベースフィルム２とカバーフィルム４を貼付け用フィルム３の粘着性で３層構造の一体化フィルムＦとしたものをベースフィルム２が外側になるように巻回してなるものである。一体化フィルムＦは基板１の幅方向と同一方向の幅方向にＷ２の幅寸法を有している。
フィルムロール２１から繰出した一体化フィルムＦは剥離ローラ２２においてカバーフィルム４を剥離して、回収ロール２３に巻き取って回収していく。

ここで、基板１と貼り付けた貼付け用フィルムについて、基板分離部９０を通過した後の状況を示した図２で説明する。
基板１は搬送方向に長さＬ１、搬送方向と直交する方向に幅Ｗ１の寸法を有しており、カバーフィルム４を剥離して２層となっている一体化フィルムＦａは基板１の幅方向と同一方向の幅方向にＷ２の幅寸法を有している。

剥離ローラ２２においてカバーフィルム４を剥離して２層となった一体化フィルムＦａの貼付け用フィルム３における剥離領域を図１に示したフィルム除去部５０、７０で除去し、ベースフィルム２上に残る貼付け領域を基板１に貼り付けるが、図２ではその貼り付けた領域をハッチングをつけて示している。

基板１には図２において右側の先端部と左側の後端部に長さＬ３の貼付け用フィルム３を貼り付けない領域があり、この長さＬ３分の貼付け用フィルム３は２層一体化フィルムＦａから除去しておく必要がある。

また、図１に示した各基板１の搬送間隔Ｄに相当する長さの貼付け用フィルム３は圧着ロール１２による加熱加圧時に圧着ロール１２に付着し基板１を汚染する原因となるので、搬送間隔Ｄに相当する長さの貼付け用フィルム３は２層一体化フィルムＦａから除去しておく必要がある。

以上のことから、フィルム除去部５０では先後端部の２個分の長さ（＝Ｌ３×２）と搬送間隔Ｄを合算した長さＬ４の貼付け用フィルム３を搬送方向における任意領域、すなわち剥離領域として剥離、除去する。

その除去は、搬送方向において貼付け用フィルム３が基板１に貼り付けられる貼付け領域の長さＬ２をフィルムロール１から一体化フィルムＦを繰出すたびに行う。なお、ここではフィルム除去部５０で除去する領域を基板間相当部と呼ぶ。基板間相当部の幅は、搬送間隔Ｄに依存する。

また、基板１の幅方向における図２において上側と下側に幅寸法Ｗ４の貼付け用フィルム３を貼り付けない領域があり、中央部にも幅寸法Ｗ５の貼付け用フィルム３を貼り付けない領域があり、幅寸法Ｗ５を持つ中央部の領域はフィルム除去部７０で除去する。

２層一体化フィルムＦａの幅寸法Ｗ２から中央の幅Ｗ５の領域を他の剥離領域として、剥離、除去し、その両側にそれぞれ幅寸法Ｗ３で長さＬ２の矩形領域を貼り付けた貼付け領域が形成されている。

従って、一体化フィルムＦとしては、貼り付けたい貼付け領域の幅Ｗ３の２個分（＝Ｗ３×２）と幅方向において除去したい剥離領域の幅Ｗ５を合算した幅Ｗ２を有したものを用いている。

切れ目形成部３０と４０について、図３で説明する。なお切れ目形成部３０と４０はほぼ同一構成であるので、切れ目形成部３０で説明する。
切れ目形成部３０、４０は、図２のハッチングをつけた矩形の輪郭でフィルム貼付け用フィルム３に切れ目を設けて、除去したい剥離領域と基板１に貼り付けたい貼付け領域に区画する。

図３において、３１は２層一体化フィルムＦａの搬送方向（図１では右から左に向かう方向）の前後に距離Ｌ４（＝Ｌ３×２＋Ｄ）をもって配置した１対の円盤カッタで、図３における左右方向への回転移動で貼付け用フィルム３の幅方向に連続した切れ目を設けるものである。

この切れ目としては、ベースフィルム２を厚さ方向（図３における上下方向の長さ）に僅か切断してもよいが全厚さにわたって切れ目を作らないように、受台３２とバネ３３、リニヤガイド３４で押圧力が調整される。受台３２には弾性材３５を設けて、カバーフィルム４を剥離した２層一体化フィルムＦａへの反力を和らげるとよい。

図４は切れ目形成部４０を示しており、切れ目形成部４０では図２に示す幅Ｗ５の間隔で切れ目を設ける１対の円盤カッタ４１がその配置方向を２層一体化フィルムＦａの幅方向として設けてある。

１対の円盤カッタ４１は２層一体化フィルムＦａの搬送に合わせて回転することで、２層一体化フィルムＦａに搬送方向に切れ目を形成していく。

切れ目形成部３０では、２層一体化フィルムＦａに切れ目を幅方向に設けるので受台３２を用いるが、切れ目形成部４０では、２層一体化フィルムＦａに切れ目を搬送方向に設けるので、受台３２の代わりにローラ４２を用いている。

切れ目形成部４０でもベースフィルム２に全厚さにわたって切れ目を作らないように、押圧力を調整するバネ４３やリニヤガイド４４があり、ローラ４２には２層一体化フィルムＦａへの反力を和らげる弾性材４５を設けている。

図１に戻って、フィルム除去部５０は、２層一体化フィルムＦａの幅方向に切れ目を形成する切れ目形成部３０と２層一体化フィルムＦａの搬送方向において、同位置に設けてある。切れ目形成部３０が２層一体化フィルムＦａに切れ目を設けた後からフィルム除去部５０が２層一体化フィルムＦａの幅方向に移動して、基板間相当部の剥離領域の貼付け用フィルム３を除去していく。１対のカッタ３１の間にローラ５９の軸がカッタ３１の軸と重ならないやや後ろの位置に配置させている。

切れ目形成部３０が２層一体化フィルムＦａに切れ目を設けた後からフィルム除去部５０が２層一体化フィルムＦａの幅方向に移動して、基板間相当部の剥離領域の貼付け用フィルム３を除去していく。

以下、図５乃至図７により、フィルム除去部５０の構成と貼付け用フィルム３における基板間相当部の剥離領域の除去について説明する。
図５〜図７において、フィルム除去部５０は、図示していない駆動手段により２層一体化フィルムＦａの幅方向に移動する移動ベース５１に、切れ目形成ユニット５０Ａ、テープ供給ユニット５０Ｂ、フィルム除去ユニット５０Ｃおよびテープ回収ユニット５０Ｄを搭載した構成を有している。

また、図示していないが、切れ目形成ユニット５０Ａの前段部に粘着テープ５２の供給ロールがあり、テープ回収ユニット５０Ｄは後段部に粘着テープ５２の回収ロールを有しており、粘着テープ５２の供給ロールと回収ロールはいずれも移動ベース５１に搭載されている。

粘着テープ５２に対する切れ目形成ユニット５０Ａは、図６に示すように、1対の円盤カッタ５３と受けローラ５４、各円盤カッタ５３を受けローラ５４側に押すバネ５５を有している。
粘着テープ５２はその幅Ｗ６が基板間相当部の長さＬ４（＝Ｌ３×２＋Ｄ）よりも広いものを用いており、１対の円盤カッタ５３の間隔は基板間相当部の長さＬ４に等しくしてある。

１対の円盤カッタ５３は、粘着テープ５２を折れ曲がり易くするために全厚さに至らない深さの切れ目を設ける。切れ目の代わりに、ミシン目を設けてもよい。ミシン目を設ける場合は、粘着テープ５２の全厚さに至る深さの切れ目であってもよい。

1対の円盤カッタ５３は、基板間相当部の長さＬ４の幅を持つ部分が粘着テープ５２の中央に位置するように切れ目を形成する。

図７に示すように、テープ供給ユニット５０Ｂは移動ベース５１に回転可能に軸支したＶベルト用のプーリ状（糸車状を含めて使用）のローラ５７を有している。このプーリ状ローラ５７は、中折れ状態生起手段として作用する。ローラ５７における胴部あるいは小径部もしくは谷部の長さは、基板間相当部の長さＬ４としている。

フィルム除去ユニット５０Ｃはビア樽状（たいこ状形状、Ｒ状形状等を含めて使用。平坦部であってもよい。）のローラ５９を有しており、ローラ５９における胴部あるいは大径部もしくは突出部の長さは、基板間相当部の長さＬ４としている。ローラ５９は移動ベース５１に固定したシリンダ６０の主軸６１に回転可能に軸支してある。

テープ回収ユニット５０Ｄはテープ供給ユニット５０Ｂにおけるローラ５７と同様な形状のローラ６３（図５参照）を有しており、ローラ６３は移動ベース５１に回転可能に軸支してある。
ローラ６３の胴部あるいは小径部もしくは谷部の長さも、基板間相当部の長さＬ４としている。

ローラ５７、５９、６３の中心位置軸方向は揃えてあり、粘着テープ５２が蛇行しないようにされている。プーリ状のローラの前段には切れ目形成ユニット５０Ａが設けてあり、この切れ目形成ユニット５０Ａによって粘着テープ５２に切れ目を設けている。ローラ５７、６３における谷部の間にローラ５９の突出部があることから、ローラ５７、６３における両端側のフランジ部は粘着テープ５２のガイドとなり、幅Ｗ６の粘着テープ５２は切れ目で折れ曲がり中折れ状態となり、図７に示すように粘着テープ５２における長さＬ４の中央部に形成される剥離作用部はローラ５９における長さＬ４の突出部にずれることなく剥離領域に対峙し、位置する。

従って、移動ベース５１が図５の矢印で示すように移動すると、幅Ｗ６の粘着テープ５２は図示していない供給ロールから繰出され、円盤カッタ５３で切れ目を設けられ、ローラ５７で折り曲げられ、ローラ５９のところで長さＬ４の狭い幅の中央部が図５に示すように貼付け用フィルム３における基板間相当部の剥離領域に接して粘着しつつ搬送され、ベース５１の幅方向の移動に伴うローラ５９の回転で貼付け用フィルム３における基板間相当部の剥離領域３ａ（幅はＷ２）をベースフィルム２から剥離し除去して、ローラ６３に至る。なお、図では剥離された３ａを連続して搬送している状態を示す。
粘着テープ５２と一体となった剥離された貼付け用フィルム３ａはローラ６３を経てから図示していない回収ロールに巻き取られていく。

図８〜図１０は、図１に示したフィルム除去部７０を詳細に示している。
図８〜図１０に示すフィルム除去部７０は図５〜図７に示したフィルム除去部５０と同様な構成を持っているので、相違点を中心に説明する。

図８〜図１０に示す部材に付けた引用符号の数字から２０を減算した数字が図５〜図７に示したフィルム除去部５０に示す引用符号が付いた部材に対応している。
図８〜図１０において、フィルム除去部７０では２層一体化フィルムＦが搬送されており、切れ目形成ユニット７０Ａ、テープ供給ユニット７０Ｂ、フィルム除去ユニット７０Ｃ、テープ回収ユニット７０Ｄなどは固定ベース７１に搭載してある。

７２は幅寸法がＷ８である粘着テープ、８０はシリンダ、８１はシリンダ８０の主軸、８５は受けローラである。

また、７３は間隔Ｗ５を持って配置した１対の円盤カッタ、７４は受けローラ、７５はバネである。円盤カッタ７３の配置間隔Ｗ５は図２に示した貼付け用フィルム３から除去する剥離領域の幅寸法Ｗ５であり、粘着テープ７２の幅Ｗ８は幅寸法（間隔）Ｗ５より大きくなっている。この幅Ｗ５の貼付け領域は貼付け搬送後の基板１を任意の幅に切断するためのものである。
更に、７７はＶベルト用のプーリ状のローラで、ローラ７７における胴部あるいは小径部もしくは谷部の長さは、貼付け用フィルム３から除去する剥離領域の幅寸法Ｗ５としている。

７９は固定ベース７１に固定してあるシリンダ８０の主軸８１に回転可能に軸支してあるビア樽状のローラで、ローラ７９における胴部あるいは大径部もしくは突出部の長さは、貼付け用フィルム３から除去する剥離領域の幅寸法Ｗ５としている。

テープ回収ユニット７０Ｄにおけるローラ８３は、ローラ７７と同様な構成のもので固定ベース７１に回転可能に軸支してある。

図示していない供給ロールから繰出された粘着テープ７２は、円盤カッタ７３により切れ目を入れられ、ローラ７７において中折れ状態となり、ローラ７９のところで長さＷ５の突状部が貼付け用フィルム３の他の剥離領域３ｂ（長さはＬ２）に粘着し、２層一体化フィルムの搬送に合わせて剥ぎ取っていく。なお、図では剥離された３ｂを連続して搬送している状態を示す。

複数の各基板１は搬送路１１を構成する搬送ロールの回転に従って図１の左側から右方向に移動し、３層一体化フィルムＦはフィルムロール２１から繰出され、剥離ロール２２でカバーフィルム４が剥離され、２層一体化フィルムＦａとなって、切れ目形成部３０−フィルム除去部５０−切れ目形成部４０−フィルム除去部７０を経て、圧着ロール１２間に至る。

２層一体化フィルムＦａにおける貼付け用フィルム３の貼付け領域は図２のハッチングをつけてあるパターンとなっているので、圧着ロール１２のところで、基板１の貼付け用フィルム３の貼付け領域を貼り付けたい位置の先頭と貼付け用フィルム３の貼付け領域の先頭を位置合わせして、圧着ロール１２で基板１と２層一体化フィルムＦａを加熱加圧し貼付け用フィルム３の貼付け領域を基板１に貼り付ける。

各基板１は２層一体化フィルムＦａのベースフィルム２で連接した形になるので、
基板分離部９０の円盤カッタ９１で基板１間のベースフィルム２を切断すると、図２に示したものが得られる。

貼付け用フィルム３の剥離領域３ａ、３ｂを除去するために貼付ける粘着テープ５２、７２の中央部は狭くても、粘着テープ５２、７２としては広幅のものを用いることができ、特殊仕様の粘着テープを準備しなくてよく、生産単価（生産量）を上昇させない。
また、広幅の粘着テープ５２、７２を用いることで、処理中に張力で粘着テープ５２、７２が切断することはなく、安定した生産が期待できる。

広幅の粘着テープ５２、７２を用いることで、保管中にテープの巻きズレや巻き巣が発生して竹の子状になることはなく、貼付け用フィルム３の剥離領域３ａ、３ｂを粘着テープで確実に除去して、連続的に気泡やしわを発生することなく貼付け用フィルム３の貼付け領域を基板１に貼り付けることができる。
貼付け用フィルム３の剥離領域３ａ、３ｂをもっと狭くしたい場合は、ロール５９、７９として算盤玉状のものを用いればよい。

ロール５９の前後にロール５７、６３があって、ロール５９から粘着テープ５２が外れることはないが、外れることを避けたいときは、図１１に示すように粘着テープ５２のずれを阻止するフランジ部５９ａを設けたロール５９Ａを用いればよい。ｄはフランジ部５９ａの外周から貼付け用フィルム３の表面までの距離で、フランジ部５９ａは外周と貼付け用フィルム３に距離ｄがあるような外径とし、外周が貼付け用フィルム３に接しないようにしておくとよい。
このようなロールは、ロール７９にも適用できる。

図１〜図１１に示した実施例では粘着テープ５２、７２を幅方向の両側に２本の切れ目を設けて両側で中折れ状態としているが、文字通り幅方向の中央部に一本の切れ目を設けて、例えば中央部で中折れとし、粘着テープの片側の部分を貼付け用フィルム３の剥離領域に貼付けるようにしてもよい。即ち、図１２に示すように中折れは片側のみに形成され、従って、剥離作用部は右側に形成された場合に、剥離に寄与しない部分は左側に形成される。
また、粘着テープ５２、７２を幅方向の両側に設けた２本の切れ目は、粘着テープ５２、７２の中折れしやすさを期待したものであるが、中折れしやすい粘着テープを用いる場合には、切れ目を設けなくてもよい。

図１〜図１１に示した実施例では図２で良く分かるように基板１の中央長手方向に貼付け用フィルム３を貼り付けないようにしているが、切れ目形成部３０、４０やフィルム除去部５０、７０をフィルム搬送系上に複数セット配置しておくことにより所望のパターンの領域を基板１に貼り付けて、基板１から多数個取りをすることができる。

例えば、切れ目形成部４０とフィルム除去部７０を２層一体化フィルムＦａの幅方向に２セット並べると、基板１に３個の貼付け用フィルムを加工して形成した貼付け領域を貼り付けることができ、切れ目形成部３０とフィルム除去部５０を２層一体化フィルムＦａの搬送方向に２セット並べ、切れ目形成部４０とフィルム除去部７０を図１のように配置しておくと、基板１に田形に４個の貼付け用フィルムの貼付け領域を貼り付けることができる。
基板１全体に貼付け用フィルム３の貼付け領域を貼り付けたい場合には、図１に実施例で切れ目形成部４０とフィルム除去部７０が作動しないようにしておけばよい。

以上のように、図１３に示すように、本実施例は対策１として、基板間相当部位の幅が小さくなるに従って、粘着テープの幅が小さくなって派生した問題との解決、対策２として、基板間相当部位の幅が狭幅であっても粘着テープを確実に使用できるものとして竹の子状、気泡発生などの欠陥発生の防止、および対策３として、生産単価上昇防止をねらいとしてなされ、基板間相当部位の幅に影響されない、影響されるとしても影響が小さい粘着テープを使用するものであり、更に具体的には基板間間隔Ｄに依存して決められる基板間相当部位の幅、あるいは剥離領域３ａの幅よりも広幅の粘着テープを使用することによって、該粘着テープを共通材として使用可能とし、広幅によって張力を確保するものであり、これによって一様幅の広幅粘着テープを剥離領域（前述のように任意領域）３ａ、３ｂの幅に対して共通化して使用して、すなわち３ａ、３ｂの幅の調整があっても一様幅の広幅粘着テープを自律して使用できるものとし、更には、粘着テープの幅は固定方式として粘着テープの使用領域をいくつかの調整され得る基板間相当部位の幅に合わせてニーズに柔軟に対応できるようにした対応を行う。

更に、具体的には、広幅粘着テープに中折れ状態を生起（派生）させて、剥離作用部と剥離に寄与しない部分を形成する。この中折れ状態は、２本の切れ目を利用して両側に中折れ形成し、あるいは１本の切れ目で片側に中折れ形成し、２本の中折れの場合には中央部に平坦な剥離作用部を形成し、両側にそり返った剥離に寄与しない部分を形成する。

剥離作用部の幅は、設定される剥離領域の幅に対応するが、広幅粘着テープの幅は一様とする。この剥離領域は、一体フィルムに切れ目を設けることによって形成されることは前述した通りである。

剥離作用部を剥離領域に粘着する手段、剥離する手段が設けられる。剥離作用部が作用する３ａ、３ｂに対応して粘着手段、剥離手段は並設した状態でペアとして設置されるが、その作用方向は幅方向と長手方向（搬送方向）ということになる。中折れ状態生起手段の具体例としては、プーリ状ローラ、ビア樽形状のローラ、切れ目形成手段が採用され得る。

従って、本実施例によれば、次に示すフィルム貼付方法および装置が提供され得る。
圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付方法および装置において、前記剥離部の幅よりも広い幅の粘着テープを用い、該粘着テープを中折れ状態として剥離作用部を形成し、該剥離作用部を前記剥離領域に貼付け、剥離することで貼付け用フィルムの剥離領域を前記ベースフィルムから除去するフィルム貼付方法および装置。

圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付方法および装置において、粘着テープに中折れ状態を生起し、剥離作用部と剥離に寄与しない部とを形成することを特徴とするフィルム貼付方法および装置。

圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付方法および装置において、前記貼付け用フィルムに幅方向に剥離領域（３ａ）をそして長手方向に剥離領域（３ｂ）をそれぞれ形成し、両者の剥離領域に対して共通幅を有する粘着テープを使用するフィルム貼付方法および装置。

圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付方法および装置において、基板間相当部位の幅よりも広い幅を有し、幅一定の粘着テープを使用し、前記基板間相当部位の幅に依存した前記貼付け用フィルムの幅方向の剥離領域に対応して前記粘着テープの剥離作用部の幅を調節するようにしたフィルム貼付方法および装置。

本発明の一実施形態であるフィルム貼付装置の概略図である。 図１のフィルム貼付装置で得られる基板における貼付け用フィルムの貼付状況を説明するための図である。 図１のフィルム貼付装置における切れ目形成部を示す図である。 図１のフィルム貼付装置における切れ目形成部を示す図である。 図１のフィルム貼付装置におけるフィルム除去部を示す図である。 図５のフィルム除去部における切れ目形成ユニットを示す図である。 図５のフィルム除去部におけるテープ供給ユニットとフィルム除去ユニットを示す図である。 図１のフィルム貼付装置におけるフィルム除去部を示す図である。 図８のフィルム除去部における切れ目形成ユニットを示す図である。 図８のフィルム除去部におけるテープ供給ユニットとフィルム除去ユニットを示す図である。 図７のフィルム除去ユニットに用いるローラの他の実施例を示す図である。 図７のフィルム除去ユニットに用いるローラの他の実施例を示す図である。 本発明の内容をブロックで示すまとめ図である。

符号の説明

１…基板、２…ベースフィルム、３…貼付け用フィルム（レジストフィルム）、４…カバーフィルム、１１…搬送ローラ、１２…圧着ローラ、３０、４０…切れ目形成部、５０、７０…フィルム除去部、３１、４１…円盤カッタ、５７、７７、６３、８３…プーリ状ローラ、５９、７９…ビア樽状のローラ。

Claims (9)

1. 圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付方法において、
   前記剥離領域の幅よりも広い幅の粘着テープを用い、該粘着テープを粘着テープの長手方向に一部を折り曲げ、折り曲げられた一方側で剥離作用部を形成し、該剥離作用部を前記剥離領域に貼付け、剥離することで貼付け用フィルムの剥離領域を前記ベースフィルムから除去することを特徴とするフィルム貼付方法。
2. 請求項１において、前記粘着テープの折り曲げを２本のもしくは１本の切れ目で形成し、前記粘着テープの中央部にもしくは片側に前記剥離作用部を形成することを特徴とするフィルム貼付方法。
3. 請求項２において、前記剥離作用部の幅は、前記剥離領域の幅に実質的に一致することを特徴とするフィルム貼付方法。
4. 圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付方法において、
   粘着テープに粘着テープの長手方向に折れ目を形成して折り曲げ、折り曲げた一方側で粘着テープを剥離する剥離作用部を形成し、他方側で剥離に寄与しない部を形成することを特徴とするフィルム貼付方法。
5. 圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付方法において、
   粘着テープを粘着テープの長手方向に折れ目を形成して折り曲げ、折り曲げられた一方側でそれぞれ剥離作用部を形成し、前記貼付け用フィルムに幅方向に剥離領域をそして長手方向に剥離領域を領域が異なるようにしてそれぞれ形成し、剥離作用部をそれぞれの剥離領域に貼付け、両者の剥離領域に対して共通幅を有する粘着テープを使用することを特徴とするフィルム貼付方法。
6. 圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付方法において、
   粘着テープの長手方向に折れ目を形成して折り曲げ、折り曲げられた一方側で粘着テープに貼付けられる粘着テープの剥離作用部を形成し、基板間相当部位の幅よりも広い幅を有し、粘着テープ横方向の幅一定の粘着テープを使用し、前記基板間相当部位の幅に依存した前記貼付け用フィルムの幅方向の剥離領域に対応した幅を持った前記粘着テープの剥離作用部としたことを特徴とするフィルム貼付方法。
7. 圧着ロールを有する搬送路上を基板が搬送され、貼付け用フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けた一体化フィルムを巻回したフィルムロールから繰出し、カバーフィルムを剥離し、貼付け用フィルムに切れ目を設けて剥離領域と基板に貼付ける貼付け領域を区分して設けて、貼付け用フィルムにおける剥離領域を粘着テープで剥離し、ベースフィルム上に貼付け領域を残して前記圧着ロールに向けて搬送するようにしたフィルム貼付装置において、
   前記貼付け用フィルムの剥離領域の幅よりも広い幅の粘着テープを繰り出す手段と、該粘着テープに粘着テープの長手方向に一部を折り曲げ、折り曲げられた一方側で剥離作用部を形成する剥離作用部形成手段とを有する粘着テープ供給ユニットと、折り曲げられた粘着テープを前記貼付け用フィルムの剥離領域に貼付け、剥離する手段を有するフィルム除去ユニットを備えること
   を特徴とするフィルム貼付装置。
8. 請求項７において、前記剥離作用部形成手段は、円盤カッタが形成されたローラを有し、かつ前記貼付け用フィルムの剥離領域に貼付け、剥離するビア樽状のローラを有することを特徴とするフィルム貼付装置。
9. 請求項８において、前記ビア樽状のローラの前段に、前記円盤カッタによって形成された前記粘着テープの全厚に至らない深さの切れ目を設ける切れ目形成手段を有することを特徴とするフィルム貼付装置。

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