JPS62116443A - 基板幅方向ずらし装置付搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、基板搬送装置に係り、特に基板幅方向ずらし
装置付基板搬送装置に適用して有効な技術に関するもの
である。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の月面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。

まず、絶縁性基板とに設けられた導電層上に、感光性樹
脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネート
（張り付け）する。この熱圧着ラミネートは、薄膜張付
装置、所謂ラミネータにより量産的に行われる。この後
、前記積層体に配線パターンフィルムを重ね、この配線
パターンフィルム及び透光性樹脂フィルムを通して、感
光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性樹脂フ
ィルムを剥離装置で剥離した後５露光された感光性樹脂
層を現像してエツチングマスクパターンを形成する。こ
の後、前記導電層の不必要部分をエツチングにより除去
し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線
パターンを有するプリン１−配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては、絶縁性基
板の両面に導電層を設けた基板に感光性樹脂層と透光性
樹脂フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする
工程が必要とされている。

基板に張り付けられる積層体は、薄膜張付装置の供給ロ
ーラに連続的に巻回されている積層体を。

引き出して、基板の寸法に対応して切断したものである
。

前記基板を熱圧着ローラの位置に搬送する基板搬送装置
は、棒状（中実又は中空）の搬送ローラ押えローラとで
基板を挟持し、この回転体を回転させて基板を搬送させ
るようになっている。そして、熱圧着ローラに近づくと
、基板を固定された幅方向ガイド部材で搬送方向に対し
て直角方向（基板の幅方向）にずらして位置合せをした
後。

熱圧着ローラに噛み込ませるようになっている。

しかし、たわみを生じ易い薄い基板等を搬送する場合、
前記幅方向ガイド部材では、基板のセンタライン又は一
端を正確な基板搬送装置の搬送方向のセンタライン又は
所定位置に設定することができないという問題があった
。

そこで、基板の搬送方向のセンタライン又は所定位置と
基板の搬送方向のセンタライン又は一端を合致させる基
板幅方向ずらしく進路修正）装置を設け、基板位置検出
センサで当該基板の先端を検出し、この検出信号によっ
て前記基板幅方向ずらし装置の動作を開始させ、基板幅
検出センサで当該基板の幅を検出し、この検出信号によ
って基板幅方向ずらし装置の動作を停止させる方法が考
えられる。

しかしながら、前記基板幅方向ずらし部材で基板を幅方
向にずらす際、前記基板が極めて薄い場合には、搬送ロ
ーラと押えローラとが密着していると、当該基板が前記
基板幅方向ずらし部材で搬送方向に対して直角方向に押
し付けられた時、当該基板は、前記搬送ローラと押えロ
ーラとで押圧され、各ローラと基板の間に摩擦抵抗があ
るため移動しにくく、そして、基板幅方向ずらし部材で
押し付けられるため、基板の押し付けられた部分がたわ
み、基板を搬送方向に対して直角方向にずらす動作を確
実に行うことができないという問題があった。

そこで、押えローラを設けると、前記のような問題があ
るので、押えローラを設けないようにすることも考えら
れるが、押えローラがない場合、ずらし部材で押し付け
ると、基板のたわみが制限なく生じ、いつまでたっても
基板を幅方向にずらすことができないという問題がある
。

なお１本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち１本発明は、搬送方向に対して直角方向に基板
をずらす基板幅方向ずらし装置と、基板を移動させる搬
送ローラと、基板のそりを抑制ガイドするガイド部材と
を有する基板幅方向ずらし装置付搬送装置であって、前
記搬送ローラとガイド部材とを、基板搬送路に対応する
両者の部分に搬送中の基板の上面とガイド部材との間に
所定の小間隔を形成するように配設したことを特徴とす
る基板幅方向ずらし装置付搬送装置である。

［作用コ 本発明は、搬送ローラ上の基板をガイド部材でガイドし
ながら搬送ローラを駆動して基板を搬送する。搬送され
る基板の位置合せを行うために、それを幅方向に、ずら
す際に、前記基板を幅方向から押圧したとき、搬送ロー
ラとガイド部材により基板のたわみが抑制される。この
抑制された状態で基板を搬送することにより、基板幅方
向ずらしく進路修正）装置の基板幅方向ずらしく基板進
路修正）部材で前記基板の搬送方向のセンタライン又は
一端と搬送装置の搬送方向のセンタライン又は所定位置
とを、基板にほとんどたわみを生じることな（正確かつ
容易に合致させた状態で、熱圧着ローラ位置まで基板を
搬送することができる。

なお、前記基板幅方向ずらし装置の操作は、基板の搬送
を行いながら幅方向にずらしてもよく、また、基板の搬
送を一旦停止して幅方向にずらした後、再び搬送を行う
ようにしてもよい。

［実施例］ 以下、本発明をプリント配線用基板に感光性樹脂層と透
光性樹脂フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネート
する薄膜張付装置（ラミネータ）に使用される基板搬送
装置に適用した一実施例について図面を用いて説明する
。

なお、実施例の全回において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

本発明の一実施例である基板搬送装置を使用した薄膜張
付装置の概略構成を第９図で示す。

本実施例の薄膜張付装置は、第９図に示すように、透光
性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルム
からなる３層の積層体１は、供給ローラ２に連続的に巻
回されている。供給ローラ２の積層体１は、剥離ローラ
３で、透光性樹脂フィルム（保護膜）ＩＡと、−面（接
着面）が露出された感光性樹脂層及び透光性樹脂フィル
ムからなる積層体ＩＢとに分離される。

分離された透光性樹脂フィルムＩＡは、巻取ローラ４に
より巻き取られるように構成されている。

前記積層体ＩＢの供給方向の先端部は、適度なテンショ
ンを与えるテンションローラ５を介してメインバキュー
ムプレート６に吸着されるように構成されている。メイ
ンバキュームプレート６は。

矢印Ａ方向にその位置を変動できるエアーシリンダ７を
介してフレーム８に支持されている。メインバキューム
プレート６は、テンションローラ５とともに積層体ＩＢ
にしわ等を生じないように、基板１７側に供給するよう
に構成されている。

メインバキュームプレート６の先端の円孤状部６Ａは、
その内部にヒータ６Ｂが設けられており。

前記積層体ＩＢの先端部を基板１７の導電層上に仮熱圧
着ラミネートするように構成されている。

前記円孤状部６Ａに近接した位置には、連続的な積層体
ＩＢを基板１７の寸法に対応して切断するロータリカッ
タ９が設けられている。

このロータリカッタ９に対向した位置には、切断された
積層体ＩＢの先端部を前記円孤状部６Ａに吸着させるサ
ブバキュームプレート１０が設けられている。このサブ
バキュームプレート１０は、矢印Ｂ方向にその位置を変
動できるエアーシリンダ１１を介してフレーム８に支持
されている。

メインバキュームプレート６とサブバキュームプレート
１０を支持するフレーム８は、矢印Ｃ方向にその位置を
変動できるエアーシリンダ１２を介して装置本体のフレ
ーム１３に支持されている。

前記基板１７の導電層上に円孤状部６Ａでその先端部が
仮熱圧着ラミネートされる積層体ＩＢは、熱圧着ローラ
１４でその全体が熱圧着ラミネートされるように構成さ
れている。熱圧着ローラ１４は、積層体ＩＢの先端部を
円孤状部６Ａで仮熱圧着後、第９図に符号１４’を符し
た点線で示す位置から実線で示す位置に移動するように
構成されている。

前記ロータリカッタ９で切断された積層体ＩＢの後端部
は、三角形状の回転バキュームプレート１５でしわ等を
生じないようにガイドされ、熱圧着ローラ１４で熱圧着
ラミネートされるように構成されている。

このように構成される薄膜張付装置は、前述した各構成
により、搬送ローラ１６Ａ、ガイド部材１６Ｂ等からな
る基板搬送袋［ｉ！１６で搬送される絶縁性基板の両面
（又は片面）に導電層を設けた基板１７上に、積層体Ｉ
Ｂを熱圧着ラミネートするようになっている。積層体Ｉ
Ｂは、透光性樹脂フィルムＩＡが剥離された感光性樹脂
層の接着面と導電層面とが接着するように、基板１７上
に熱圧着ラミネートされるように構成されている。積層
体ＩＢが熱圧着ラミネートされた基板１７は、基板搬出
装置１Ｂによって外部に搬出されるようになっている。

前記基板搬送装置１６の概略構成を第８図に示す。

基板搬送装置１６は、第８図に示すように、薄膜張付装
置（ラミネータ）【に連結されている。

搬送ローラ１６Ａは、第１図及び第８図に示すように２
例えば、繊維強化プラスチック製の同一径で棒状部材（
中実又は中空：好ましくは中空）からなっており、複数
の搬送ローラ１６Ａが基板搬送装置１６本体のフレーム
２０に回転自在に取り付けている。この複数の搬送ロー
ラ１６Ａは、薄い基板１７の端部が垂れ下がらないよう
に所定の間隔で配列されている。また、複数の搬送ロー
ラ１６Ａのうち、１つおきの搬送ローラ１６Ａだけを駆
動′ｇ（図示していない）に連結している。また、駆動
源には、必要に応じて、２つおきの搬送ローラ１６Ａ又
は全部の搬送ローラ１６Ａに連結してもよい。

基板１７は、第８図及び第９図に示すように、前記搬送
ローラ１６Ａ上に載置され、ガイド部材１６Ｂにより抑
制されながらガイドされて搬送されるようになっている
。

このガイド部材１６Ｂは、非常に薄くて波打ちや反り易
い基板１７を使用する場合に、基板１７の端部が回転体
に引掛かって停止しないように、搬送ローラ１６Ａと同
様に棒状部材で構成しており、第１図乃至第３図に示す
ように、その両端部１６Ｂ、の径は、その他の部分１６
Ｂ２よりも少し大きいように構成されている。すなわち
、搬送ローラ１６Ａとガイド部材１６Ｂは、基板搬送路
に対応する両者の部分に、Ｗｉ送送中基板１７の上面と
前記ガイド部材１６Ｂとの間に所定の小間隔を形成する
ようになっている。そして、ガイド部材１６Ｂはフレー
ム２０に回転自在に取り付けられている。ガイド部材１
６Ｂは図では駆動源に連結されていないが、連結させて
もよい。

前記ガイド部材１６Ｂの両端部１６Ｂ１は、例えば、棒
状部材にリング状又はキャップ状の部材を嵌め込んで止
めネジで固定した構成する。このリング状又はキャップ
状の部材の厚さを変えることにより、前記搬送ローラ１
６Ａとガイド部材１６Ｂとの間隔の１法を変えることが
できる。すなわち、基板１７の厚さに応じて基板１７の
上面とガイド部材１６Ｂの部分１６Ｂ２との前記小間隔
の寸法を変えることができる。

また、周囲に切れ目を入れたキャップ状部材を前記棒状
部材に押し込んで嵌めて固定するようにしてもよい。

また、前記搬送ローラ１６Ａとガイド部材１６Ｂとの間
に所定の間隔を形成する手段として、第４図に示すよう
に、同一径の棒状部材からなるガイド部材１６Ｂ３を軸
受部材１６Ｂ４に回転自在に取り付け、この軸受部材１
６Ｂ４をネジ捧１６Ｂｓにより上下動できるように構成
してもよい。

ネジ捧１６Ｂ５は、第５図に示すように、止めネジによ
り軸受部材１６　Ｂ　４に回転自在に取り付けられ、基
板搬送装置１６本体のフレーム２０に設けられている支
持部材２ＯＡのネジ部に螺合されて支持されている。こ
のように構成してネジ捧１６　Ｂ　ｓを回転させること
により、前記ガイド部材１６Ｂの軸受部材１６Ｂ４を移
動させることができるので、前記間隔の大きさを変える
ことができる。

また、ガイド部材１６Ｂを、基板１７との接触面積を小
さくするような形状１例えば、第６図に示すような中心
線での断面の端辺部がｓｉｎ曲線となる球状群からなる
回転体にしてもよい。

さらに、ガイド部材１６Ｂは、必ずしも回転する必要は
なく、例えば、網状体、棒状体（中実。

中空）、ピアノ線等の非回転体を用いてもよい。

また、前記搬送ローラ１６Ａは、重量を小さくするため
に１例えば、第７図に示すような形状のものにしてもよ
い。

すなわち、基板１７を搬送しながら、幅方向にずらす方
式のときは、ガイド部材１６Ｂは、回転しているか、あ
るいは、摩擦抵抗の小さい部材で構成されている方が好
適である。

また、前記基板を幅方向にずらす操作を、基板の搬送を
停止して行う方式のときは、ガイド部材１６Ｂは回転し
ていなくてもよく、また、基板１７の上面との摩擦抵抗
がある程度あってもよい。

２１は基板幅方向ずらし装置であり、搬送方向のセンタ
ラインと基板１７の搬送方向のセンタラインとを合致さ
せるためのものである。この基板幅方向ずらし装Ｂ２１
は、第１０図（第８図のＹ−Ｙ線で切った時の断面図）
及び第１１図（斜視図）に示すように、支持部材２１Ａ
、２１Ａ’に基板幅方向ずらし部材２１　Ｂ、２１　Ｂ
’を支持して構成されている。この支持部材２　Ｌ　Ａ
、２　Ｌ　Ａ’ｌ：！、それぞれ支持棒２１Ｃに摺動自
在に取り付けられている、そして、前記支持部材２ＬＡ
、２１Ａ’は、プーリ２１Ｄとプーリ２１Ｄ′に巻回さ
れている無端ベルト２１Ｅに、その無端ベルト２１Ｅが
矢印り方向に移動すると、互いに近づくように取り付け
られている。支持部材２１Ａ、２１Ａ’の摺動は、支持
部材２１八′に設けられたエアーシリンダ２１１により
行われる。前記プーリ２１Ｄ。

２１Ｄ′はそれぞれ逆り字状支持部材２１Ｆ、２１Ｆ’
に支持されている。これらの逆り字状支持部材２１Ｆ、
２１Ｆ’はネジ捧２１Ｇに係合されている。ネジ捧２１
Ｇにはハンドル２ＬＨが取り付けられており、このハン
ドル２１Ｈを回転させることにより、逆り字状支持部材
２１Ｆ、２１Ｆ’は、その間の距離を一定に保持したま
ま左右に移動するようになっている。この移動機構（又
は微調整機構）は、基板１７の搬送方向のセンタライン
又は一端と、熱圧着ラミネートされる積層体ＩＢの搬送
方向のセンタライン又は所定位置、すなわち基板搬送装
置１６のセンタライン又は所定位４置とがずれた場合に
、両者を合致させるために基板幅方向ずらし装５１２１
の位置を調整するものである・ 基板幅方向ずらし装置２１の位置の固定は、ネジ捧２１
Ｇの回転を固定するネジ２１Ｊで行われる。

２２は基板１７の先端（又は後端）を検出する基板位置
検出センサであり、基板幅方向ずらし装置２１の基板幅
方向ずらし部材２１Ｂ、２１Ｂ’の駆動開始信号を発生
するためのものである。この基板位置検出センサ２２は
、フレーム２０に支持フレーム２２Ａを介して取り付け
られている。前記基板位置検出センサ２２は１例えば１
反射型光センサを用いる。

２３Ａ、２３Ｂは基板１７の両側端をそれぞれ検出する
基板幅検出センサであり、基板幅方向ずらし装置２１の
基板幅方向ずらし部材２１Ｂ、２１Ｂ’の駆動停止信号
を発生するためのものである。この基板幅検出センサ２
３Ａ、２３Ｂは、前記支持部材２１Ａ、２１Ａ’の搬送
方向の先端部の近傍で、前記基板幅方向ずらし部材２１
Ｂ、２１Ｂ’より内側に取り付けられている。すなわち
。

基板幅検出センサ２３Ａ、２３Ｂは、基板１７のセンタ
ライン又は一端と基板搬送装置１６のセンタライン又は
所定位置とが合致したとき、前記基板幅方向ずらし部材
２１Ｂ、２１Ｂ’を停止させる位置に設けられている。

基板幅方向ずらし装置２１の制御は、遅延回路を用いて
基板幅検出センサ２３Ａ、２３Ｂにより基板１７の両側
端が検出されてから少し遅れて前記基板幅方向ずらし部
材２１Ｂ、２１Ｂ’の駆動動作停止信号を発生させるよ
うにすれば簡単に実現できる。基板幅検出センサ２３Ａ
、２３Ｂは、例えば、透過型光センサを用いる。

このように、基板１７の搬送方向のセンタラインと基板
搬送装置１６の搬送方向のセンタラインを合致させる基
板幅方向ずらし装置２１を設け、この基板幅方向ずらし
装置２１の動作を開始させる基板位置検出センサ２２、
及び基板幅方向ずらし装置２１の動作を停止させる基板
幅検出センサ２３Ａ、２３Ｂを設けることにより、基板
１７の搬送方向のセンタライン又は一端と基板搬送装置
１６の搬送方向のセンタライン又は所定位置とを、基板
１７にたわみを生じることなく合致させた状態で、基板
１７を熱圧着開始位置に正確にかつ容易に搬送すること
ができる。

なお、前記基板幅方向ずらし装置２１の操作は、基板１
７の搬送しながら行うか、あるいは、搬送を停止して行
ってもよい。

第８図に示す基板押え部材２４は、基板１７が熱圧着開
始位置に来た時、基板１７を固定するとともに落下しな
いように押えるためのものである。

この基板押え部材２４は、第１２図（側面図）に示すよ
うに、前記フレーム２０に取り付けられ１図示していな
いエアーシリンダとスプリングにより矢印Ｅ方向に移動
するようになっている。また、この基板押え部材２４の
駆動動作と連動又は非連動して基板支持部材２５が矢印
Ｆ方向に突出するようになっている。この基板支持部材
２５の矢印Ｅ方向の制御は、第１３図（側面図）に示す
ように。

前記フレーム２０に設けられたエアーシリンダ２５Ａに
よって行っている。基板押え部材２４又は基板支持部材
２５の動作は、図示していない基板位置検出センサの駆
動開始信号又は駆動停止信号により制御されるようにな
っている。

このように基板押え部材２４と基板支持部材２５を設け
ることにより、基板１７が熱圧着開始位置に来た時、基
板１７が落下しないように支持するとともに、熱圧着ロ
ーラが基板１７を上下から挟持するまで基板１７を所定
位置に保持することができるので、基板１７上に積層体
ＩＢを正確に熱圧着ラミネートすることができる。

次に１本実施例の基板搬送装置の動作を簡単に説明する
。

第８図において、基板１７は、複数の搬送ローラ１６Ａ
のうちの所定の搬送ローラ１６Ａを駆動させることによ
り、熱圧着ローラ１４方向に向けて搬送される。基板１
７が搬送されて来てその先端が基板位置検出センサ２２
により検出されると。

駆動開始信号により基板幅方向ずらし装置２１がその動
作を開始する。

基板幅方向ずらし装！２１は、基板幅方向ずらし部材２
１Ｂ、２１Ｂ’で基板１７のセンタライン又は一端と基
板搬送装置１１６のセンタライン又は所定位置とを合致
するように動作する。その後、基板幅検出センサ２３Ａ
、２３Ｂにより基板１７の両側端が検出されると、この
駆動動作信号により基板幅方向ずらし装置２１の動作が
停止する。

これによって基板１７の搬送方向のセンタライン又は一
端が基板搬送装置１６の搬送方向のセンタライン又は所
定位置に合致した状態で熱圧着位置まで搬送される。こ
のとき、図示していない基板位置検出センサより、搬送
ローラ１６Ａの駆動が停止され、押え部材２４が下方向
に移動して来て基板１７を押えて動かないようにする。

これと同時に、基板支持部材２５が突出して来て基板１
７を落下しないように支持する。その後、第９図に示す
ように、熱圧着ローラ１４が基板１７に向って左方向に
移動し、仮熱圧着された積層体ｌＢを介在して基板１７
を挟持する。この状態で熱圧着ローラ１４及び搬送ロー
ラ１６Ａが駆動して基板１７上に積層体ＩＢが熱圧着ラ
ミネートされる。

以上１本発明を実施例に基づき具体的に説明したが１本
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることはい
うまでもない。

例えば、前実施例では、ガイド部材１６Ｂの実施態様を
種々説明したが、基板１７の反りや曲りを抑制ガイドで
きる機能を有するものであれば、実施例以外のものでも
よいことは勿論である。例えば、ガイド部材１６Ｂの両
端部１６Ｂ＋は、棒状部材にリング又はキャップ状部材
を嵌め込んで構成したが、両者を同一材料で一体化して
構成してもよい、また、ガイド部材１６Ｂの表面は、そ
の摩擦抵抗を小さくして基板１７の滑りをよくしてもよ
い。

また、本発明は、薄膜剥離装置に使用される基板搬送装
置用ローラに適用することができる。

［発明の効果コ 以上説明したように、本発明によれば、搬送ローラとガ
イド部材とを、基板搬送路に対応する両者の部分に、搬
送中の基板の上面と前記ガイド部材との間に所定の小間
隔を形成するように配設することにより、基板の搬送方
向のセンタライン又は一端と基板搬送装置の搬送方向の
センタライン又は所定位置とを、基板にたわみを生じる
ことなく合致させた状態で基板を熱圧着開始位置に正確
にかつ容易に搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の基板搬送装置用ローラの
構成を示す斜視図。 第２図は、第１図の■−■切断線における断面図、 第３図は、第１図の■−■切断線で切った時の断面図、 第４図は、本発明のガイド部材の他の実施例の構成を示
す斜視図、 第５図は、第４図のガイド部材の軸受部の構成を示す断
面図。 第６図は１本発明のガイド部材の他の実施例の構成を示
す斜視図、 第７図は、本発明の搬送ローラの他の実施例の構成を示
す斜視図、 第８図は１本発明の一実施例の基板搬送装置の概略構成
を示す斜視図、 第９図は、本実施例の基板搬送装置に係る薄膜張付装置
の概略構成を示す模写図。 第１０図は、第８図のＹ−Ｙ線で切った断面図、第１１
図は、第１０図の基板幅方向ずらし装置の構成を示す斜
視図。 第１２図は、第８図に示す基板幅検出センサ、押え部材
及び基板支持部材の構成を示す側面図、第１３図は、第
８図に示す基板支持部材の構成を示す側面図である。 図中、１６・・・基板搬送装置、１６Ａ・・・搬送ロー
ラ、１６Ｂ＝　１６８ｓ・・・ガイド部材、１６８１・
・・ガイド部材の端部、１６Ｂ２・・・ガイド部材の端
部以外の部分、２０・・・基板搬送装置本体のフレーム
。 １７・・・基板、２１・・・基板幅方向ずらし装置、２
１Ａ、２１Ａ’・・・支持部材、２１Ｂ、２１Ｂ’・・
・基板幅寄せ部材、２１Ｃ・・・支持棒、２１Ｅ・・・
無端ベルト、２１０．２１Ｄ’・・・プーリ、２１Ｆ、
２１Ｆ′・・・逆り字状支持部材、２１Ｇ・・・ネジ捧
、２１Ｈ・・・ハンドル、２１Ｊ・・・固定ネジ、２２
・・・基板位置検出センサ、２３Ａ、２３Ｂ・・・基板
幅検出センサ、２４・・・基板押え部材、２５・−・基
板支持部材である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）搬送方向に対して直角方向に基板をずらす基板幅
   方向ずらし装置と、基板を移動させる搬送ローラと、基
   板のそりを抑制ガイドするガイド部材とを有する基板幅
   方向ずらし装置付搬送装置であって、前記搬送ローラと
   ガイド部材とを、基板搬送路に対応する両者の部分に、
   搬送中の基板の上面と前記ガイド部材との間に所定の小
   間隔を形成するように配設したことを特徴とする基板幅
   方向ずらし装置付搬送装置。
2. （２）前記ガイド部材は、棒状部材（中実又は中空）か
   らなる回転体であることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の基板幅方向ずらし装置付搬送装置。
3. （３）前記ガイド部材は、棒状部材（中実又は中空）に
   リング状又はキャップ状の部材を嵌合して構成した回転
   体であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   基板幅方向ずらし装置付搬送装置。
4. （４）前記ガイド部材は、網状体、棒状体（中実、中空
   ）、ピアノ線等の非回転体であることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の基板幅方向ずらし装置付搬送装
   置。