JPH1120114A - フィルム張付方法及び装置 - Google Patents
フィルム張付方法及び装置Info
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- JPH1120114A JPH1120114A JP9178528A JP17852897A JPH1120114A JP H1120114 A JPH1120114 A JP H1120114A JP 9178528 A JP9178528 A JP 9178528A JP 17852897 A JP17852897 A JP 17852897A JP H1120114 A JPH1120114 A JP H1120114A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルム張付装置に用いる積層体フィルムの
感光性樹脂層をカバーフィルムと共に切断し、且つカバ
ーフィルム全体を連続的に剥離する。 【解決手段】 フィルム張付装置１０におけるフィルム
ロール１２から供給された積層体フィルム１４は、その
カバーフィルム１４Ｃが感光性樹脂層と共にカバーフィ
ルムカッター３８によってフィルム幅方向に切断され、
該切断された部分を含むカバーフィルム１４Ｃ全体が、
カバーフィルム剥離装置１６の粘着テープ３２によって
連続的に感光性樹脂層から剥離される。基板２０に張り
付けられた透光性支持フィルム１４Ａを剥離させる際
に、これを連続的に巻き取ると各基板２０間での感光性
樹脂層１４Ｂは透光性支持フィルム１４Ａと共に巻き取
られ、且つ各基板２０が分離される。
感光性樹脂層をカバーフィルムと共に切断し、且つカバ
ーフィルム全体を連続的に剥離する。 【解決手段】 フィルム張付装置１０におけるフィルム
ロール１２から供給された積層体フィルム１４は、その
カバーフィルム１４Ｃが感光性樹脂層と共にカバーフィ
ルムカッター３８によってフィルム幅方向に切断され、
該切断された部分を含むカバーフィルム１４Ｃ全体が、
カバーフィルム剥離装置１６の粘着テープ３２によって
連続的に感光性樹脂層から剥離される。基板２０に張り
付けられた透光性支持フィルム１４Ａを剥離させる際
に、これを連続的に巻き取ると各基板２０間での感光性
樹脂層１４Ｂは透光性支持フィルム１４Ａと共に巻き取
られ、且つ各基板２０が分離される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線板
用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラ
ス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるた
めのフィルム張付方法及び装置に関する。
用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラ
ス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるた
めのフィルム張付方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、プリント配線板用
基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポ
リエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接
又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この
後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフ
ィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹
脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルム
を剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチ
ングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不
必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定
の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。
又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表
示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付け
られる。
プリント配線板の製造過程において、プリント配線板用
基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポ
リエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接
又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この
後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフ
ィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹
脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルム
を剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチ
ングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不
必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定
の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。
又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表
示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付け
られる。
【０００３】上記のような積層体フィルムを張り付ける
ためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから
連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送
手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフ
ィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム
張付面側になるようにして、両者を重ねた状態でラミネ
ーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続
的に圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連
続張りタイプのものがある。
ためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから
連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送
手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフ
ィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム
張付面側になるようにして、両者を重ねた状態でラミネ
ーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続
的に圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連
続張りタイプのものがある。
【０００４】基板に張り付けられた透光性支持フィルム
は、露光の前又は後で、且つ、現像工程の前において感
光性樹脂層を基板側に残して剥離されなければならない
が、剥離と同時又は剥離の前又は後に各基板間で分離さ
れなければならない。
は、露光の前又は後で、且つ、現像工程の前において感
光性樹脂層を基板側に残して剥離されなければならない
が、剥離と同時又は剥離の前又は後に各基板間で分離さ
れなければならない。
【０００５】透光性支持フィルムを剥離方向に引張る場
合、その裏面の感光性樹脂層が、基板からのはみ出し部
分から基板上に連続していると、透光性支持フィルムを
剥離する際に残さなければならない基板上の感光性樹脂
層までがはみ出し部分の感光性樹脂層に続いて剥離され
てしまうという問題点がある。
合、その裏面の感光性樹脂層が、基板からのはみ出し部
分から基板上に連続していると、透光性支持フィルムを
剥離する際に残さなければならない基板上の感光性樹脂
層までがはみ出し部分の感光性樹脂層に続いて剥離され
てしまうという問題点がある。
【０００６】これらの問題点を解消するため、従来、例
えば特開平７−１５７１８６号公報に開示されるフィル
ム剥離装置においては、フィルムを基板に連続的に張り
付けた後、各基板間の隙間位置で感光性樹脂層のみを基
板の端縁に沿ってフィルム幅方向に切断し、しかる後、
透光性支持フィルムを連続的に剥離するものであり、こ
の際、剥離された透光性支持フィルム側には、各基板間
部分での感光性樹脂層が付着されている。
えば特開平７−１５７１８６号公報に開示されるフィル
ム剥離装置においては、フィルムを基板に連続的に張り
付けた後、各基板間の隙間位置で感光性樹脂層のみを基
板の端縁に沿ってフィルム幅方向に切断し、しかる後、
透光性支持フィルムを連続的に剥離するものであり、こ
の際、剥離された透光性支持フィルム側には、各基板間
部分での感光性樹脂層が付着されている。
【０００７】又、特開平８−１５０６９４号公報に開示
されるフィルム張付装置では、各基板間に対応する感光
性樹脂層の部分に予めフィルム幅方向にスリットを形成
し、そのまま基板に連続的に張り付けて、張付後に各基
板間位置で切断し、切断端縁から透光性支持フィルムを
剥離させるようにしている。
されるフィルム張付装置では、各基板間に対応する感光
性樹脂層の部分に予めフィルム幅方向にスリットを形成
し、そのまま基板に連続的に張り付けて、張付後に各基
板間位置で切断し、切断端縁から透光性支持フィルムを
剥離させるようにしている。
【０００８】更に、特開平７−１１０５７５号公報に開
示されるフィルム張付装置は、カバーフィルム剥離前
に、各基板間に対応する部分の両端間よりもやや広め
に、カバーフィルム及びその内側の感光性樹脂層と共に
フィルム幅方向に切断し、次に、基板に張り付けられる
べき部分のカバーフィルムのみを粘着テープにより剥離
して感光性樹脂層を露出させ、この状態で基板に連続的
に張り付けるようにしたものである。張付後、透光性支
持フィルムは各基板間位置でカッターにより切断され
る。
示されるフィルム張付装置は、カバーフィルム剥離前
に、各基板間に対応する部分の両端間よりもやや広め
に、カバーフィルム及びその内側の感光性樹脂層と共に
フィルム幅方向に切断し、次に、基板に張り付けられる
べき部分のカバーフィルムのみを粘着テープにより剥離
して感光性樹脂層を露出させ、この状態で基板に連続的
に張り付けるようにしたものである。張付後、透光性支
持フィルムは各基板間位置でカッターにより切断され
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記特開平７−１１０
５７５号公報に開示されるように、感光性樹脂層をカバ
ーフィルムと共に切断する場合は基板に張り付けられる
部位のカバーフィルムのみを選択的に剥離しなければな
らないので、その剥離機構が複雑となり、又、処理速度
を低下せざるを得ないという問題点がある。
５７５号公報に開示されるように、感光性樹脂層をカバ
ーフィルムと共に切断する場合は基板に張り付けられる
部位のカバーフィルムのみを選択的に剥離しなければな
らないので、その剥離機構が複雑となり、又、処理速度
を低下せざるを得ないという問題点がある。
【００１０】更に、特開平７−１５７１８６号公報のフ
ィルム張付装置のように、フィルムが基板に張付けられ
た状態のまま基板間の隙間位置で感光性樹脂層のみを切
断する場合、切断装置の位置合せ、構成が複雑となり、
又、感光性樹脂層の粘性が低いとき、あるいは薄いとき
に、切断が非常に困難であり、又切断の際にカッターの
刃先に感光性樹脂が付着して、これが周囲を汚したりす
るという問題点がある。
ィルム張付装置のように、フィルムが基板に張付けられ
た状態のまま基板間の隙間位置で感光性樹脂層のみを切
断する場合、切断装置の位置合せ、構成が複雑となり、
又、感光性樹脂層の粘性が低いとき、あるいは薄いとき
に、切断が非常に困難であり、又切断の際にカッターの
刃先に感光性樹脂が付着して、これが周囲を汚したりす
るという問題点がある。
【００１１】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、基板への張付け前に感光性樹脂層
を切断でき、又、カバーフィルムと共に感光性樹脂層を
切断したとき、切断された部分のカバーフィルムを剥離
する必要がなく、従って複雑な剥離機構が不要となり、
且つ、処理速度を向上させることができると共に透光性
支持フィルムを連続的に剥離することができるようにし
たフィルム張付方法及び装置を提供することを目的とす
る。
されたものであって、基板への張付け前に感光性樹脂層
を切断でき、又、カバーフィルムと共に感光性樹脂層を
切断したとき、切断された部分のカバーフィルムを剥離
する必要がなく、従って複雑な剥離機構が不要となり、
且つ、処理速度を向上させることができると共に透光性
支持フィルムを連続的に剥離することができるようにし
たフィルム張付方法及び装置を提供することを目的とす
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本方法発明は、請求項１
のように、フィルムロールから巻き出した、透光性支持
フィルム、及び、感光性樹脂層の少なくとも２層を積層
してなる積層体フィルムの前記感光性樹脂層をそのフィ
ルム長手方向の所定間隔の２個所で、前記透光性支持フ
ィルムの厚さ方向の少なくとも一部を残してフィルム幅
方向に切断した後に、透光性支持フィルムを、その感光
性樹脂層が、間欠的に順次送られてくる複数の基板のフ
ィルム張付面に向くように、基板の搬送面に沿って供給
し、該基板と共に一対の回転するラミネーションロール
間に送り込んで、複数の基板を間欠的に接続するように
これらに連続的に張り付け、次に基板に張付けられた透
光性支持フィルムを基板から連続的に剥離する工程を含
んでなり、前記切断される２個所を、前記基板の後端及
びこれに後行する基板の先端に、ほぼ対応する位置とさ
れたことを特徴とするフィルム張付方法により、上記目
的を達成するものである。
のように、フィルムロールから巻き出した、透光性支持
フィルム、及び、感光性樹脂層の少なくとも２層を積層
してなる積層体フィルムの前記感光性樹脂層をそのフィ
ルム長手方向の所定間隔の２個所で、前記透光性支持フ
ィルムの厚さ方向の少なくとも一部を残してフィルム幅
方向に切断した後に、透光性支持フィルムを、その感光
性樹脂層が、間欠的に順次送られてくる複数の基板のフ
ィルム張付面に向くように、基板の搬送面に沿って供給
し、該基板と共に一対の回転するラミネーションロール
間に送り込んで、複数の基板を間欠的に接続するように
これらに連続的に張り付け、次に基板に張付けられた透
光性支持フィルムを基板から連続的に剥離する工程を含
んでなり、前記切断される２個所を、前記基板の後端及
びこれに後行する基板の先端に、ほぼ対応する位置とさ
れたことを特徴とするフィルム張付方法により、上記目
的を達成するものである。
【００１３】請求項２のように、前記感光性樹脂層を切
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断するようにしても
よい。
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断するようにしても
よい。
【００１４】請求項３ののように、前記感光性樹脂層の
切断を行う前後位置に、積層体フィルムの引張力を調節
する引張力調節手段を配置して、該積層体フィルムに引
張力を付与しつつ、前記感光性樹脂層を切断するように
してもよい。
切断を行う前後位置に、積層体フィルムの引張力を調節
する引張力調節手段を配置して、該積層体フィルムに引
張力を付与しつつ、前記感光性樹脂層を切断するように
してもよい。
【００１５】本装置発明は、請求項４のように、少なく
とも透光性支持フィルム及び感光性樹脂層を積層してな
る積層体フィルムを帯状に連続的に供給するフィルム供
給源と、基板搬送面に沿って複数の基板を連続的に搬送
する基板搬送手段と、前記透光性支持フィルムを、前記
感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして前記基板と
を重ねて挟み込みつつ送りをかける一対のラミネーショ
ンロールと、を有してなり、間欠的に順次搬送されてく
る複数の基板に前記積層体フィルムを連続的に張り付け
るフィルム張付装置において、前記フィルム長手方向に
前記基板搬送手段により搬送される先行基板の後端と後
行基板の先端間の距離と略等しい所定間隔の２個所で、
前記感光性樹脂層をフィルム幅方向に切断するカッター
と、前記ラミネーションロールの出側に配置され、前記
基板に張り付けられた後の前記透光性支持フィルムを、
該基板から連続的に引き剥がす支持フィルム剥離手段
と、を設けるようにして、上記目的を達成するものであ
る。
とも透光性支持フィルム及び感光性樹脂層を積層してな
る積層体フィルムを帯状に連続的に供給するフィルム供
給源と、基板搬送面に沿って複数の基板を連続的に搬送
する基板搬送手段と、前記透光性支持フィルムを、前記
感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして前記基板と
を重ねて挟み込みつつ送りをかける一対のラミネーショ
ンロールと、を有してなり、間欠的に順次搬送されてく
る複数の基板に前記積層体フィルムを連続的に張り付け
るフィルム張付装置において、前記フィルム長手方向に
前記基板搬送手段により搬送される先行基板の後端と後
行基板の先端間の距離と略等しい所定間隔の２個所で、
前記感光性樹脂層をフィルム幅方向に切断するカッター
と、前記ラミネーションロールの出側に配置され、前記
基板に張り付けられた後の前記透光性支持フィルムを、
該基板から連続的に引き剥がす支持フィルム剥離手段
と、を設けるようにして、上記目的を達成するものであ
る。
【００１６】請求項５のように、前記カッターを、フィ
ルム長手方向に前記所定間隔で一対配置され、フィルム
幅方向に移動自在のディスクカッターと、このディスク
カッターの先端に対して、フィルム搬送面を介して対向
して配置され、ディスクカッターがフィルム幅方向に移
動するとき前記積層体フィルムを支持するカッター台
と、を含んで構成すると共に、前記一対のディスクカッ
ター及びカッター台を、前記積層体フィルムの送り方向
に、これと等速で移動させ得るカバーフィルムカッター
移動装置を設けてもよい。
ルム長手方向に前記所定間隔で一対配置され、フィルム
幅方向に移動自在のディスクカッターと、このディスク
カッターの先端に対して、フィルム搬送面を介して対向
して配置され、ディスクカッターがフィルム幅方向に移
動するとき前記積層体フィルムを支持するカッター台
と、を含んで構成すると共に、前記一対のディスクカッ
ター及びカッター台を、前記積層体フィルムの送り方向
に、これと等速で移動させ得るカバーフィルムカッター
移動装置を設けてもよい。
【００１７】請求項６のように、前記カッター近傍にお
ける前記積層体フィルムに、フィルム長手方向の張力を
付与する張力付与装置を設けてもよい。
ける前記積層体フィルムに、フィルム長手方向の張力を
付与する張力付与装置を設けてもよい。
【００１８】他の本方法発明は、請求項７のように、フ
ィルムロールから巻き出した、透光性支持フィルム、こ
の透光性支持フィルムに直接的又は間接的に積層された
感光性樹脂層、該感光性樹脂層を被って積層されたカバ
ーフィルムを有してなる積層体フィルムの前記カバーフ
ィルムを、前記感光性樹脂層と共に、フィルム長手方向
の所定間隔の２個所で、前記透光性支持フィルムの厚さ
方向の少なくとも一部を残してフィルム幅方向に切断
し、該切断部分を含むカバーフィルムを、粘着テープの
粘着層を押圧して感光性樹脂層から引き剥がし、カバー
フィルムを剥がした後に、透光性支持フィルムを、その
感光性樹脂層が、間欠的に順次送られてくる複数の基板
のフィルム張付面に向くように、基板の搬送面に沿って
供給し、該基板と共に一対の回転するラミネーションロ
ール間に送り込んで、複数の基板を間欠的に接続するよ
うにこれらに連続的に張り付け、次に基板に張付けられ
た透光性支持フィルムを基板から連続的に剥離する工程
を含んでなり、前記切断される２個所を、前記基板の後
端及びこれに後行する基板の先端に、ほぼ対応する位置
とされたことを特徴とするフィルム張付方法により、上
記目的を達成するものである。
ィルムロールから巻き出した、透光性支持フィルム、こ
の透光性支持フィルムに直接的又は間接的に積層された
感光性樹脂層、該感光性樹脂層を被って積層されたカバ
ーフィルムを有してなる積層体フィルムの前記カバーフ
ィルムを、前記感光性樹脂層と共に、フィルム長手方向
の所定間隔の２個所で、前記透光性支持フィルムの厚さ
方向の少なくとも一部を残してフィルム幅方向に切断
し、該切断部分を含むカバーフィルムを、粘着テープの
粘着層を押圧して感光性樹脂層から引き剥がし、カバー
フィルムを剥がした後に、透光性支持フィルムを、その
感光性樹脂層が、間欠的に順次送られてくる複数の基板
のフィルム張付面に向くように、基板の搬送面に沿って
供給し、該基板と共に一対の回転するラミネーションロ
ール間に送り込んで、複数の基板を間欠的に接続するよ
うにこれらに連続的に張り付け、次に基板に張付けられ
た透光性支持フィルムを基板から連続的に剥離する工程
を含んでなり、前記切断される２個所を、前記基板の後
端及びこれに後行する基板の先端に、ほぼ対応する位置
とされたことを特徴とするフィルム張付方法により、上
記目的を達成するものである。
【００１９】請求項８のように、前記感光性樹脂層を切
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断するようにしても
よい。
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断するようにしても
よい。
【００２０】又、請求項９のように、前記感光性樹脂層
の切断を行う前後位置に、積層体フィルムの引張力を調
節する引張力調節手段を配置して、該積層体フィルムに
引張力を付与しつつ、前記カバーフィルムカッターによ
りカバーフィルム及び感光性樹脂層を切断するようにし
てもよい。
の切断を行う前後位置に、積層体フィルムの引張力を調
節する引張力調節手段を配置して、該積層体フィルムに
引張力を付与しつつ、前記カバーフィルムカッターによ
りカバーフィルム及び感光性樹脂層を切断するようにし
てもよい。
【００２１】他の本装置発明は、請求項１０のように、
透光性支持フィルム、この透光性支持フィルムに積層さ
れた感光性樹脂層、この感光性樹脂層を被って積層され
たカバーフィルムを含む積層体フィルムを帯状に連続的
に供給するフィルム供給源と、このフィルム供給源から
供給される積層体フィルムから前記カバーフィルムを連
続的に剥離するカバーフィルム剥離手段と、基板搬送面
に沿って複数の基板を連続的に搬送する基板搬送手段
と、前記カバーフィルムが剥離された透光性支持フィル
ムを、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして
前記基板とを重ねて挟み込みつつ送りをかける一対のラ
ミネーションロールと、を有してなり、間欠的に順次搬
送されてくる複数の基板に前記カバーフィルムが剥され
た積層体フィルムを連続的に張り付けるフィルム張付装
置において、前記フィルム供給源と前記カバーフィルム
剥離手段との間の位置に、フィルム長手方向に前記基板
搬送手段により搬送される先行基板の後端と後行基板の
先端間の距離と略等しい所定間隔の２個所で、前記カバ
ーフィルムを前記感光性樹脂層と共に、前記透光性樹脂
層の厚さ方向の少なくとも一部を残してフィルム幅方向
に切断するカバーフィルムカッターと、前記ラミネーシ
ョンロールの出側に配置され、前記基板に張り付けられ
た後の前記透光性支持フィルムを、該基板から連続的に
引き剥がす支持フィルム剥離手段と、を設けると共に、
前記カバーフィルム剥離手段を、粘着テープの粘着面
を、前記２個所で切断された部分を含むカバーフィルム
に連続的に粘着し、且つ、フィルム搬送面から離間させ
ることにより前記カバーフィルムを連続的に引き剥がす
ように構成して、上記目的を達成するものである。
透光性支持フィルム、この透光性支持フィルムに積層さ
れた感光性樹脂層、この感光性樹脂層を被って積層され
たカバーフィルムを含む積層体フィルムを帯状に連続的
に供給するフィルム供給源と、このフィルム供給源から
供給される積層体フィルムから前記カバーフィルムを連
続的に剥離するカバーフィルム剥離手段と、基板搬送面
に沿って複数の基板を連続的に搬送する基板搬送手段
と、前記カバーフィルムが剥離された透光性支持フィル
ムを、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして
前記基板とを重ねて挟み込みつつ送りをかける一対のラ
ミネーションロールと、を有してなり、間欠的に順次搬
送されてくる複数の基板に前記カバーフィルムが剥され
た積層体フィルムを連続的に張り付けるフィルム張付装
置において、前記フィルム供給源と前記カバーフィルム
剥離手段との間の位置に、フィルム長手方向に前記基板
搬送手段により搬送される先行基板の後端と後行基板の
先端間の距離と略等しい所定間隔の２個所で、前記カバ
ーフィルムを前記感光性樹脂層と共に、前記透光性樹脂
層の厚さ方向の少なくとも一部を残してフィルム幅方向
に切断するカバーフィルムカッターと、前記ラミネーシ
ョンロールの出側に配置され、前記基板に張り付けられ
た後の前記透光性支持フィルムを、該基板から連続的に
引き剥がす支持フィルム剥離手段と、を設けると共に、
前記カバーフィルム剥離手段を、粘着テープの粘着面
を、前記２個所で切断された部分を含むカバーフィルム
に連続的に粘着し、且つ、フィルム搬送面から離間させ
ることにより前記カバーフィルムを連続的に引き剥がす
ように構成して、上記目的を達成するものである。
【００２２】請求項１１のように、前記カバーフィルム
カッターを、フィルム長手方向に前記所定間隔で一対配
置され、フィルム幅方向に移動自在のディスクカッター
と、このディスクカッターの先端に対して、フィルム搬
送面を介して対向して配置され、ディスクカッターがフ
ィルム幅方向に移動するとき前記積層体フィルムを支持
するカッター台と、を含んで構成すると共に、前記一対
のディスクカッター及びカッター台を、前記積層体フィ
ルムの送り方向に、これと等速で移動させ得るカバーフ
ィルムカッター移動装置を設けてもよい。
カッターを、フィルム長手方向に前記所定間隔で一対配
置され、フィルム幅方向に移動自在のディスクカッター
と、このディスクカッターの先端に対して、フィルム搬
送面を介して対向して配置され、ディスクカッターがフ
ィルム幅方向に移動するとき前記積層体フィルムを支持
するカッター台と、を含んで構成すると共に、前記一対
のディスクカッター及びカッター台を、前記積層体フィ
ルムの送り方向に、これと等速で移動させ得るカバーフ
ィルムカッター移動装置を設けてもよい。
【００２３】又、請求項１２のように、前記カバーフィ
ルムカッター近傍における前記積層体フィルムに、フィ
ルム長手方向の張力を付与する張力付与装置を設けても
よい。
ルムカッター近傍における前記積層体フィルムに、フィ
ルム長手方向の張力を付与する張力付与装置を設けても
よい。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。
面を参照して詳細に説明する。
【００２５】この発明に係るフィルム張付装置１０は、
図１に示されるように、フィルム供給源であるフィルム
ロール１２から積層体フィルム１４を巻き出し、該積層
体フィルム１４を構成するカバーフィルム１４Ｃ（後
述）をカバーフィルム剥離装置１６によって剥離した
後、基板搬送装置１８によって順次間欠的に搬送されて
くる複数の基板２０の上面に重ねて、該基板２０と共に
上下一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に通
して基板２０に積層体フィルム１４を圧着するものであ
る。
図１に示されるように、フィルム供給源であるフィルム
ロール１２から積層体フィルム１４を巻き出し、該積層
体フィルム１４を構成するカバーフィルム１４Ｃ（後
述）をカバーフィルム剥離装置１６によって剥離した
後、基板搬送装置１８によって順次間欠的に搬送されて
くる複数の基板２０の上面に重ねて、該基板２０と共に
上下一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に通
して基板２０に積層体フィルム１４を圧着するものであ
る。
【００２６】複数の基板２０に連続的に圧着された積層
体フィルム１４は、各基板２０から連続的に剥離され、
これにより各基板毎に分離される。
体フィルム１４は、各基板２０から連続的に剥離され、
これにより各基板毎に分離される。
【００２７】前記積層体フィルム１４は、図２に示され
るように、透光性支持フィルム１４Ａ、この透光性支持
フィルムに積層された感光性樹脂層１４Ｂ、及び、この
感光性樹脂層１４Ｂを被って積層されたカバーフィルム
１４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロール１２か
ら連続的に巻き出されるようになっている。ここで透光
性支持フィルム１４における「透光性」とは、感光性樹
脂層１４Ｂを露光させる光あるいはビーム、即ち、可視
光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過できることを意味
する。
るように、透光性支持フィルム１４Ａ、この透光性支持
フィルムに積層された感光性樹脂層１４Ｂ、及び、この
感光性樹脂層１４Ｂを被って積層されたカバーフィルム
１４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロール１２か
ら連続的に巻き出されるようになっている。ここで透光
性支持フィルム１４における「透光性」とは、感光性樹
脂層１４Ｂを露光させる光あるいはビーム、即ち、可視
光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過できることを意味
する。
【００２８】フィルムロール１２は、トルクモータ１２
Ａによりその巻き出し張力が制御されるようになってい
る。前記フィルムロール１２から巻き出された積層体フ
ィルム１４は、一対のガイドロール２６Ａ、２６Ｂに巻
き掛けられ、ここから、水平のフィルム搬送面に沿って
延在され、張力付与サクションロール２８に巻き掛けら
れている。
Ａによりその巻き出し張力が制御されるようになってい
る。前記フィルムロール１２から巻き出された積層体フ
ィルム１４は、一対のガイドロール２６Ａ、２６Ｂに巻
き掛けられ、ここから、水平のフィルム搬送面に沿って
延在され、張力付与サクションロール２８に巻き掛けら
れている。
【００２９】この張力付与サクションロール２８は、そ
の外周に多数の吸引孔を備え、巻き掛けられた積層体フ
ィルム１４を吸引しつつ回転するようにされている（詳
細図示省略）。
の外周に多数の吸引孔を備え、巻き掛けられた積層体フ
ィルム１４を吸引しつつ回転するようにされている（詳
細図示省略）。
【００３０】ここで、積層体フィルム１４は、前記ガイ
ドロール２６Ｂと張力付与サクションロール２８の間で
カバーフィルム１４Ｃが上側となるようにされている。
ドロール２６Ｂと張力付与サクションロール２８の間で
カバーフィルム１４Ｃが上側となるようにされている。
【００３１】前記カバーフィルム剥離装置１６は、前記
張力付与サクションロール２８の直前位置に設けられ、
粘着テープロール３０から粘着層をカバーフィルム１４
Ｃ側に向けて巻き出された粘着テープ３２を、２対のピ
ンチロール３４Ａ、３４Ｂにより積層体フィルム１４と
共に挟み込み、更に、巻き取りロール３６によって粘着
テープ３２を巻き取る際に、カバーフィルム１４Ｃを感
光性樹脂層１４Ｂから引き剥がして、同時に巻き取るよ
うにされている。
張力付与サクションロール２８の直前位置に設けられ、
粘着テープロール３０から粘着層をカバーフィルム１４
Ｃ側に向けて巻き出された粘着テープ３２を、２対のピ
ンチロール３４Ａ、３４Ｂにより積層体フィルム１４と
共に挟み込み、更に、巻き取りロール３６によって粘着
テープ３２を巻き取る際に、カバーフィルム１４Ｃを感
光性樹脂層１４Ｂから引き剥がして、同時に巻き取るよ
うにされている。
【００３２】前記ガイドロール２６Ｂと前記カバーフィ
ルム剥離装置１６の間の位置には、フィルム送り方向の
所定間隔をもった２個所で、積層体フィルム１４におけ
る透光性支持フィルム１４Ａを残して、カバーフィルム
１４Ｃを感光性樹脂層１４Ｂと共に、フィルム幅方向に
切断するカバーフィルムカッター３８が設けられてい
る。
ルム剥離装置１６の間の位置には、フィルム送り方向の
所定間隔をもった２個所で、積層体フィルム１４におけ
る透光性支持フィルム１４Ａを残して、カバーフィルム
１４Ｃを感光性樹脂層１４Ｂと共に、フィルム幅方向に
切断するカバーフィルムカッター３８が設けられてい
る。
【００３３】このカバーフィルムカッター３８は、フィ
ルム送り方向に上記所定間隔で配置された１対のディス
クカッター３８Ａ、３８Ｂと、このディスクカッター３
８Ａ、３８Ｂの先端（下端）に対してフィルム搬送面を
介して対向して配置され、該ディスクカッター３８Ａ、
３８Ｂがフィルム幅方向に移動するとき、前記積層体フ
ィルムを支持する水平なカッター台３８Ｃとを含んで構
成されている。ここで、カッター台３８Ｃは、積層体フ
ィルム１４の図において幅方向下側を被う長さに形成さ
れている。
ルム送り方向に上記所定間隔で配置された１対のディス
クカッター３８Ａ、３８Ｂと、このディスクカッター３
８Ａ、３８Ｂの先端（下端）に対してフィルム搬送面を
介して対向して配置され、該ディスクカッター３８Ａ、
３８Ｂがフィルム幅方向に移動するとき、前記積層体フ
ィルムを支持する水平なカッター台３８Ｃとを含んで構
成されている。ここで、カッター台３８Ｃは、積層体フ
ィルム１４の図において幅方向下側を被う長さに形成さ
れている。
【００３４】前記ディスクカッター３８Ａ、３８Ｂは、
図３に示されるように、例えばロッドレスシリンダから
なる駆動装置３８Ｄによってフィルム幅方向に駆動さ
れ、幅方向に１回の往復動で１回又は２回カバーフィル
ム１４Ｃを切断できるようにされている。
図３に示されるように、例えばロッドレスシリンダから
なる駆動装置３８Ｄによってフィルム幅方向に駆動さ
れ、幅方向に１回の往復動で１回又は２回カバーフィル
ム１４Ｃを切断できるようにされている。
【００３５】前記カッター台３８Ｃと駆動装置３８Ｄ
は、カバーフィルムカッター移動装置４０によって積層
体フィルム１４の送りに同期して、同方向に等速度で移
動され得るようになっている。従って、ディスクカッタ
ー３８Ａ、３８Ｂは、積層体フィルム１４の送りを停止
させることなく、いわゆる走間カットをすることができ
る。
は、カバーフィルムカッター移動装置４０によって積層
体フィルム１４の送りに同期して、同方向に等速度で移
動され得るようになっている。従って、ディスクカッタ
ー３８Ａ、３８Ｂは、積層体フィルム１４の送りを停止
させることなく、いわゆる走間カットをすることができ
る。
【００３６】このカバーフィルムカッター移動装置４０
は、フィルム搬送面と平行に配置されたラック４０Ａ
と、ラック４０Ａに噛み合うピニオン４０Ｂとを含み、
ピニオン４０Ｂをカッター台３８Ｃ及び駆動装置３８Ｄ
側に取り付け、該ピニオン４０Ｂをモータ４０Ｃによっ
て駆動することにより、ディスクカッター３８Ａ、３８
Ｂとカッター台３８Ｃを積層体フィルム１４と同期して
移動させるものである。
は、フィルム搬送面と平行に配置されたラック４０Ａ
と、ラック４０Ａに噛み合うピニオン４０Ｂとを含み、
ピニオン４０Ｂをカッター台３８Ｃ及び駆動装置３８Ｄ
側に取り付け、該ピニオン４０Ｂをモータ４０Ｃによっ
て駆動することにより、ディスクカッター３８Ａ、３８
Ｂとカッター台３８Ｃを積層体フィルム１４と同期して
移動させるものである。
【００３７】前記張力付与サクションロール２８とラミ
ネーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間には、カバーフ
ィルム１４Ｃが剥離された積層体フィルム１４（透光性
支持フィルム１４Ａと感光性支持層１４Ｂ）を案内する
ためのガイドロール４２Ａ、４２Ｂ、及びフィルムプレ
ヒータ４２Ｃが、この順で配置されている。
ネーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間には、カバーフ
ィルム１４Ｃが剥離された積層体フィルム１４（透光性
支持フィルム１４Ａと感光性支持層１４Ｂ）を案内する
ためのガイドロール４２Ａ、４２Ｂ、及びフィルムプレ
ヒータ４２Ｃが、この順で配置されている。
【００３８】前記上側のガイドロール４２Ａには、テン
ションピックアップ４４が設けられ、ガイドロール４２
Ａにかかる力によって、この位置での積層体フィルム１
４の引張力を検出し、これによってフィルム張力が最適
となるように制御装置４６を介して、前記張力付与サク
ションロール２８の負圧を制御している。
ションピックアップ４４が設けられ、ガイドロール４２
Ａにかかる力によって、この位置での積層体フィルム１
４の引張力を検出し、これによってフィルム張力が最適
となるように制御装置４６を介して、前記張力付与サク
ションロール２８の負圧を制御している。
【００３９】ガイドロール４２Ｂは、積層体フィルム１
４がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に斜めに入
るように案内するものであり、又、フィルムプレヒータ
４２Ｃは、基板圧着直前に積層体フィルム１４を所定温
度にまで加熱するものである。
４がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に斜めに入
るように案内するものであり、又、フィルムプレヒータ
４２Ｃは、基板圧着直前に積層体フィルム１４を所定温
度にまで加熱するものである。
【００４０】図１の符号４８は、基板搬送装置１８の上
端に形成される基板搬送面１８Ａ上の基板２０を加熱す
るためのヒータを示す。
端に形成される基板搬送面１８Ａ上の基板２０を加熱す
るためのヒータを示す。
【００４１】前記ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ
の下流側には、基板搬送方向に離間して配置されたピン
チロール５０Ａ、５０Ｂ、その上方には支持フィルム巻
取りロール６０がそれぞれ配置されている。
の下流側には、基板搬送方向に離間して配置されたピン
チロール５０Ａ、５０Ｂ、その上方には支持フィルム巻
取りロール６０がそれぞれ配置されている。
【００４２】前記上側のラミネーションロール２２Ａ
は、ラミネーションロール開閉装置５６（図４参照）に
より下側のラミネーションロール２２Ｂに対して離接
（開閉）自在とされ、基板先端センサ５４が基板２０の
先端を検出し、該先端がラミネーションロール２２Ａ、
２２Ｂ間の位置に到達したとき、制御装置４６により該
基板２０を挟み込むように「閉」とされ、又、基板後端
センサ５８が基板後端を検出し、これがラミネーション
ロール２２Ａ、２２Ｂ間から抜け出るとき「開」となる
ようにされている。
は、ラミネーションロール開閉装置５６（図４参照）に
より下側のラミネーションロール２２Ｂに対して離接
（開閉）自在とされ、基板先端センサ５４が基板２０の
先端を検出し、該先端がラミネーションロール２２Ａ、
２２Ｂ間の位置に到達したとき、制御装置４６により該
基板２０を挟み込むように「閉」とされ、又、基板後端
センサ５８が基板後端を検出し、これがラミネーション
ロール２２Ａ、２２Ｂ間から抜け出るとき「開」となる
ようにされている。
【００４３】次に上記フィルム張付装置の作用について
説明する。
説明する。
【００４４】まず、積層体フィルム１４をフィルムロー
ル１２から巻き出し、ガイドロール２６Ａ、２６Ｂ、張
力付与サクションロール２８、ガイドロール４２Ａ、４
２Ｂを経て、待機状態（開状態）のラミネーションロー
ル２２Ａ、２２Ｂ間を通し、更にピンチロール５０Ａ、
５０Ｂ間を通して先端を支持フィルム巻き取りロール６
０に巻き取られるようにしておく。
ル１２から巻き出し、ガイドロール２６Ａ、２６Ｂ、張
力付与サクションロール２８、ガイドロール４２Ａ、４
２Ｂを経て、待機状態（開状態）のラミネーションロー
ル２２Ａ、２２Ｂ間を通し、更にピンチロール５０Ａ、
５０Ｂ間を通して先端を支持フィルム巻き取りロール６
０に巻き取られるようにしておく。
【００４５】このとき、カバーフィルム１４Ｃはカバー
フィルム剥離装置１６により、その先端から剥離して巻
き取っておく。
フィルム剥離装置１６により、その先端から剥離して巻
き取っておく。
【００４６】次に、フィルム張付装置１０全体を作動さ
せるが、このとき、カバーフィルムカッター３８は、そ
のディスクカッター３８Ａ、３８Ｂによる切断個所が、
積層体フィルム１４を張り付けた状態での先行基板の後
端及び後行基板の先端間に該当する位置で、且つ、これ
よりもわずかに広くなるように、予めセットしておく。
せるが、このとき、カバーフィルムカッター３８は、そ
のディスクカッター３８Ａ、３８Ｂによる切断個所が、
積層体フィルム１４を張り付けた状態での先行基板の後
端及び後行基板の先端間に該当する位置で、且つ、これ
よりもわずかに広くなるように、予めセットしておく。
【００４７】フィルム張付装置１０が作動されると、ま
ず、積層体フィルム１４を搬送しつつ、カバーフィルム
カッター３８をカバーフィルムカッター移動装置４０に
よって積層体フィルム１４と同期して移動させつつ、駆
動装置３８Ｄによりディスクカッター３８Ａ、３８Ｂを
駆動して、カバーフィルム１４Ｃをその裏側の感光性樹
脂層１４Ｂと共に、フィルム幅方向に切断する（図５参
照）。この切断の際に、ディスクカッター３８Ａ、３８
Ｂの刃先が、透光性支持フィルム１２に僅かに切込むよ
うにすると、感光性樹脂層１４Ｂをより確実に切断でき
る。透光性支持フィルム１２は感光性樹脂層１４Ｂと比
較すれば十分に厚いので少々切込まれても切断されるこ
とがない。
ず、積層体フィルム１４を搬送しつつ、カバーフィルム
カッター３８をカバーフィルムカッター移動装置４０に
よって積層体フィルム１４と同期して移動させつつ、駆
動装置３８Ｄによりディスクカッター３８Ａ、３８Ｂを
駆動して、カバーフィルム１４Ｃをその裏側の感光性樹
脂層１４Ｂと共に、フィルム幅方向に切断する（図５参
照）。この切断の際に、ディスクカッター３８Ａ、３８
Ｂの刃先が、透光性支持フィルム１２に僅かに切込むよ
うにすると、感光性樹脂層１４Ｂをより確実に切断でき
る。透光性支持フィルム１２は感光性樹脂層１４Ｂと比
較すれば十分に厚いので少々切込まれても切断されるこ
とがない。
【００４８】一方、カバーフィルム剥離装置１６は、粘
着テープロール３０から巻き出される粘着テープ３２を
ピンチロール３４Ａ、３４Ｂ間でカバーフィルム１４Ｃ
に強く圧着した後、巻き取りロール３６によって巻き取
るので、カバーフィルム１４Ｃは粘着テープ３２と共に
巻き取られ、感光性樹脂層１４Ｂから剥離される。
着テープロール３０から巻き出される粘着テープ３２を
ピンチロール３４Ａ、３４Ｂ間でカバーフィルム１４Ｃ
に強く圧着した後、巻き取りロール３６によって巻き取
るので、カバーフィルム１４Ｃは粘着テープ３２と共に
巻き取られ、感光性樹脂層１４Ｂから剥離される。
【００４９】粘着テープ３２は、カバーフィルム１４Ｃ
に連続的に圧着されるので、前記ディスクカッター３８
Ａ、３８Ｂによって切断線の入っている部分も、確実に
粘着されて巻き取りロール３６に巻き取られる。
に連続的に圧着されるので、前記ディスクカッター３８
Ａ、３８Ｂによって切断線の入っている部分も、確実に
粘着されて巻き取りロール３６に巻き取られる。
【００５０】カバーフィルムカッター３８のディスクカ
ッター３８Ａ、３８Ｂによって、カバーフィルム１４Ｃ
が切断される際、積層体フィルム１４は、フィルムロー
ル１２の回転を制御するトルクモータ１２Ａと、積層体
フィルム１４を吸着しながら送りをかける前記張力付与
サクションロール２８とによって、切断に最適な張力が
付与される。
ッター３８Ａ、３８Ｂによって、カバーフィルム１４Ｃ
が切断される際、積層体フィルム１４は、フィルムロー
ル１２の回転を制御するトルクモータ１２Ａと、積層体
フィルム１４を吸着しながら送りをかける前記張力付与
サクションロール２８とによって、切断に最適な張力が
付与される。
【００５１】カバーフィルム剥離装置１６によってカバ
ーフィルム１４Ｃが剥離され、感光性樹脂層１４Ｂが露
出された積層体フィルム１４は、該感光性樹脂層１４Ｂ
を基板搬送面１８Ａ側にしてガイドロール４２Ａ、４２
Ｂ及びフィルムプレヒータ４２Ｃ位置を通過して、ラミ
ネーションロール２２Ａ、２２Ｂに至る。
ーフィルム１４Ｃが剥離され、感光性樹脂層１４Ｂが露
出された積層体フィルム１４は、該感光性樹脂層１４Ｂ
を基板搬送面１８Ａ側にしてガイドロール４２Ａ、４２
Ｂ及びフィルムプレヒータ４２Ｃ位置を通過して、ラミ
ネーションロール２２Ａ、２２Ｂに至る。
【００５２】このとき、基板搬送装置１８によって搬送
される基板２０の上面に、感光性樹脂層１４Ｂが圧着さ
れた状態で、積層体フィルム１４が基板２０に張り付け
られる。
される基板２０の上面に、感光性樹脂層１４Ｂが圧着さ
れた状態で、積層体フィルム１４が基板２０に張り付け
られる。
【００５３】基板２０は、その後端が前記下流側のディ
スクカッター３８Ｂによって切断された位置が、基板後
端近傍のフィルム張付面上に位置するように基板搬送装
置１８によって搬送される。又、後行の基板２０の先端
に対して、上流側のディスクカッター３８Ａによる切断
位置が、該後行基板の先端近傍におけるフィルム張付面
上に位置するように調整しておく。
スクカッター３８Ｂによって切断された位置が、基板後
端近傍のフィルム張付面上に位置するように基板搬送装
置１８によって搬送される。又、後行の基板２０の先端
に対して、上流側のディスクカッター３８Ａによる切断
位置が、該後行基板の先端近傍におけるフィルム張付面
上に位置するように調整しておく。
【００５４】従って、間欠的に搬送されてくる複数の基
板２０上に張り付けられた積層体フィルム１４を、ディ
スクカッター３８Ａ、３８Ｂにより切断された切断線３
９Ａ、３９Ｂは、図６に示されるようになる。
板２０上に張り付けられた積層体フィルム１４を、ディ
スクカッター３８Ａ、３８Ｂにより切断された切断線３
９Ａ、３９Ｂは、図６に示されるようになる。
【００５５】この状態で、基板に張り付けられている透
光性支持フィルム１４Ａを、支持フィルム巻き取りロー
ルにより巻き取ると、図７に示されるように、基板２０
上の感光性樹脂層１４Ｂは、該基板２０に付着した状態
で残り、各基板２０、２０間の感光性樹脂層１４Ｂは、
付着する対象がないので、切断線３９Ａ、３９Ｂ位置で
基板上の感光性樹脂層１４Ｂから分離して透光性支持フ
ィルム１４Ａに付着した状態で支持フィルム巻き取りロ
ール６０に巻き取られる。
光性支持フィルム１４Ａを、支持フィルム巻き取りロー
ルにより巻き取ると、図７に示されるように、基板２０
上の感光性樹脂層１４Ｂは、該基板２０に付着した状態
で残り、各基板２０、２０間の感光性樹脂層１４Ｂは、
付着する対象がないので、切断線３９Ａ、３９Ｂ位置で
基板上の感光性樹脂層１４Ｂから分離して透光性支持フ
ィルム１４Ａに付着した状態で支持フィルム巻き取りロ
ール６０に巻き取られる。
【００５６】従って、透光性支持フィルム１４Ａが基板
２０から剥離されると同時に、各基板２０が分離される
ことになる。
２０から剥離されると同時に、各基板２０が分離される
ことになる。
【００５７】ここで、ピンチロール５０Ａ、５０Ｂの出
側近傍に、図１において符号６２で示されるように、透
光性支持フィルム１４Ａを鋭角に案内する分離部材を設
けるとよい。この場合、感光性樹脂層１４Ｂの透孔性支
持フィルム側と基板２０側部分との分離が円滑になされ
る。
側近傍に、図１において符号６２で示されるように、透
光性支持フィルム１４Ａを鋭角に案内する分離部材を設
けるとよい。この場合、感光性樹脂層１４Ｂの透孔性支
持フィルム側と基板２０側部分との分離が円滑になされ
る。
【００５８】なお、上記実施の形態の例においては、積
層体フィルムは透光性支持フィルム、感光性樹脂層及び
カバーフィルムを積層したものであるが、本発明は、図
８に示されるように、透光性支持フィルム１５Ａ及び感
光性樹脂層１５Ｂからなり、カバーフィルムを備えてい
ない積層体フィルム１５を用いる場合にも適用されるも
のである。この場合、カッターは感光性樹脂層のみ、又
は、透孔性支持フィルムの一部と感光性樹脂層を切断す
ることになる。
層体フィルムは透光性支持フィルム、感光性樹脂層及び
カバーフィルムを積層したものであるが、本発明は、図
８に示されるように、透光性支持フィルム１５Ａ及び感
光性樹脂層１５Ｂからなり、カバーフィルムを備えてい
ない積層体フィルム１５を用いる場合にも適用されるも
のである。この場合、カッターは感光性樹脂層のみ、又
は、透孔性支持フィルムの一部と感光性樹脂層を切断す
ることになる。
【００５９】ここで切断とは、感光性樹脂層を遮断でき
るものであればよく、実質的には除去を含むものとす
る。
るものであればよく、実質的には除去を含むものとす
る。
【００６０】又、前記カバーフィルムカッター３８は、
積層体フィルム１４と同期して移動しつつ、該積層体フ
ィルム１４を走間カットするものであるが、本発明はこ
れに限定されるものでなく、例えばカバーフィルムカッ
ター３８とラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間
の位置に、積層体フィルム１４を溜め込むアキュムレー
タを設け、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂに積層
体フィルム１４を供給しつつも、カバーフィルムカッタ
ー３８の位置では積層体フィルム１４の送りを停止さ
せ、カバーフィルム１４Ｃを切断する構成としてもよ
い。
積層体フィルム１４と同期して移動しつつ、該積層体フ
ィルム１４を走間カットするものであるが、本発明はこ
れに限定されるものでなく、例えばカバーフィルムカッ
ター３８とラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間
の位置に、積層体フィルム１４を溜め込むアキュムレー
タを設け、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂに積層
体フィルム１４を供給しつつも、カバーフィルムカッタ
ー３８の位置では積層体フィルム１４の送りを停止さ
せ、カバーフィルム１４Ｃを切断する構成としてもよ
い。
【００６１】又、上記切断線３９Ａ、３９Ｂは、基板２
０へのフィルム張付け状態で、基板２０の搬送方向端面
よりも僅かに基板上面中心側にずれた位置とされている
が、本発明はこれに限定されるものではなく、図９
（Ａ）〜（Ｅ）に示されるように、基板２０の端面と同
位置、あるいははみ出した位置となるようにしてもよ
い。
０へのフィルム張付け状態で、基板２０の搬送方向端面
よりも僅かに基板上面中心側にずれた位置とされている
が、本発明はこれに限定されるものではなく、図９
（Ａ）〜（Ｅ）に示されるように、基板２０の端面と同
位置、あるいははみ出した位置となるようにしてもよ
い。
【００６２】又、本発明は基板の下面あるいは両面に積
層体フィルムを張付ける場合、基板を上下方向又は斜め
方向に搬送しつつ、その片面又は両面に積層体フィルム
を張付ける場合にも適用されるものである。
層体フィルムを張付ける場合、基板を上下方向又は斜め
方向に搬送しつつ、その片面又は両面に積層体フィルム
を張付ける場合にも適用されるものである。
【００６３】
【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、基
板へのフィルム張付後に、感光性樹脂層を切断する必要
がなく、感光性樹脂層を容易に切断できると共に透光性
支持フィルムを連続的に剥離させて、処理速度を向上さ
せることができるという効果を有する。又感光性樹脂層
をカバーフィルムと共に確実に切断し、且つ、感光性樹
脂によるカッターの汚れ等を防止することができると共
に、切断後のカバーフィルム全体を感光性樹脂層から連
続的に剥離させて、処理速度を増大させることができる
という優れた効果を有する。
板へのフィルム張付後に、感光性樹脂層を切断する必要
がなく、感光性樹脂層を容易に切断できると共に透光性
支持フィルムを連続的に剥離させて、処理速度を向上さ
せることができるという効果を有する。又感光性樹脂層
をカバーフィルムと共に確実に切断し、且つ、感光性樹
脂によるカッターの汚れ等を防止することができると共
に、切断後のカバーフィルム全体を感光性樹脂層から連
続的に剥離させて、処理速度を増大させることができる
という優れた効果を有する。
【図１】本発明の実施の形態に係るフィルム張付装置を
示す一部ブロック図を含む略示側面図
示す一部ブロック図を含む略示側面図
【図２】同フィルム張付装置で用いる積層体フィルムを
拡大して示す断面図
拡大して示す断面図
【図３】同フィルム張付装置におけるカバーフィルム切
断装置の要部を示す斜視図
断装置の要部を示す斜視図
【図４】同フィルム張付装置の制御系を示すブロック図
【図５】カバーフィルムカッターにより切断された状態
の積層体フィルムを拡大して示す断面図
の積層体フィルムを拡大して示す断面図
【図６】基板に積層体フィルムを張付けた状態を示す拡
大断面図
大断面図
【図７】基板から積層体フィルムを剥離させる状態を拡
大して示す断面図
大して示す断面図
【図８】他の積層体フィルムを拡大して示す断面図
【図９】積層体フィルムの基板への各種張付け態様を示
す拡大断面図
す拡大断面図
１０…フィルム張付装置 １２…フィルムロール １４、１５…積層体フィルム １４Ａ、１５Ａ…透光性支持フィルム １４Ｂ、１５Ｂ…感光性樹脂層 １４Ｃ…カバーフィルム １６…カバーフィルム剥離装置 １８…基板搬送装置 １８Ａ…基板搬送面 ２０…基板 ２２Ａ、２２Ｂ…ラミネーションロール ２４…分離カッター ２８…張力付与サクションロール ３２…粘着テープ ３８…カバーフィルムカッター ３８Ａ、３８Ｂ…ディスクカッター ３８Ｃ…カッター台 ３８Ｄ…駆動装置 ３９Ａ、３９Ｂ…切断線 ４０…カバーフィルムカッター移動装置 ４６…制御装置 ６０…支持フィルム巻き取りロール
【手続補正書】
【提出日】平成９年７月１１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図７】
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図８】
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図９】 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年８月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図９】
Claims (12)
- 【請求項１】フィルムロールから巻き出した、透光性支
持フィルム、及び、感光性樹脂層の少なくとも２層を積
層してなる積層体フィルムの前記感光性樹脂層をそのフ
ィルム長手方向の所定間隔の２個所で、前記透光性支持
フィルムの厚さ方向の少なくとも一部を残してフィルム
幅方向に切断した後に、透光性支持フィルムを、その感
光性樹脂層が、間欠的に順次送られてくる複数の基板の
フィルム張付面に向くように、基板の搬送面に沿って供
給し、該基板と共に一対の回転するラミネーションロー
ル間に送り込んで、複数の基板を間欠的に接続するよう
にこれらに連続的に張り付け、次に基板に張付けられた
透光性支持フィルムを基板から連続的に剥離する工程を
含んでなり、前記切断される２個所を、前記基板の後端
及びこれに後行する基板の先端に、ほぼ対応する位置と
したことを特徴とするフィルム張付方法。 - 【請求項２】請求項１において、前記感光性樹脂層を切
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断することを特徴と
するフィルム張付方法。 - 【請求項３】請求項１又は２において、前記感光性樹脂
層の切断を行う前後位置に、積層体フィルムの引張力を
調節する引張力調節手段を配置して、該積層体フィルム
に引張力を付与しつつ、前記感光性樹脂層を切断するこ
とを特徴とするフィルム張付方法。 - 【請求項４】少なくとも透光性支持フィルム及び感光性
樹脂層を積層してなる積層体フィルムを帯状に連続的に
供給するフィルム供給源と、基板搬送面に沿って複数の
基板を連続的に搬送する基板搬送手段と、前記透光性支
持フィルムを、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向くよ
うにして前記基板とを重ねて挟み込みつつ送りをかける
一対のラミネーションロールと、を有してなり、間欠的
に順次搬送されてくる複数の基板に前記積層体フィルム
を連続的に張り付けるフィルム張付装置において、 前記フィルム長手方向に前記基板搬送手段により搬送さ
れる先行基板の後端と後行基板の先端間の距離と略等し
い所定間隔の２個所で、前記感光性樹脂層をフィルム幅
方向に切断するカッターと、前記ラミネーションロール
の出側に配置され、前記基板に張り付けられた後の前記
透光性支持フィルムを、該基板から連続的に引き剥がす
支持フィルム剥離手段と、を設けたことを特徴とするフ
ィルム張付装置。 - 【請求項５】請求項４において、前記カッターを、フィ
ルム長手方向に前記所定間隔で一対配置され、フィルム
幅方向に移動自在のディスクカッターと、このディスク
カッターの先端に対して、フィルム搬送面を介して対向
して配置され、ディスクカッターがフィルム幅方向に移
動するとき前記積層体フィルムを支持するカッター台
と、を含んで構成すると共に、前記一対のディスクカッ
ター及びカッター台を、前記積層体フィルムの送り方向
に、これと等速で移動させ得るカバーフィルムカッター
移動装置を設けたことを特徴とするフィルム張付装置。 - 【請求項６】請求項４又は５において、前記カッター近
傍における前記積層体フィルムに、フィルム長手方向の
張力を付与する張力付与装置を設けたことを特徴とする
フィルム張付装置。 - 【請求項７】フィルムロールから巻き出した、透光性支
持フィルム、この透光性支持フィルムに直接的又は間接
的に積層された感光性樹脂層、該感光性樹脂層を被って
積層されたカバーフィルムを有してなる積層体フィルム
の前記カバーフィルムを、前記感光性樹脂層と共に、フ
ィルム長手方向の所定間隔の２個所で、前記透光性支持
フィルムの厚さ方向の少なくとも一部を残してフィルム
幅方向に切断し、該切断部分を含むカバーフィルムを、
粘着テープの粘着層を押圧して感光性樹脂層から引き剥
がし、カバーフィルムを剥がした後に、透光性支持フィ
ルムを、その感光性樹脂層が、間欠的に順次送られてく
る複数の基板のフィルム張付面に向くように、基板の搬
送面に沿って供給し、該基板と共に一対の回転するラミ
ネーションロール間に送り込んで、複数の基板を間欠的
に接続するようにこれらに連続的に張り付け、次に基板
に張付けられた透光性支持フィルムを基板から連続的に
剥離する工程を含んでなり、前記切断される２個所を、
前記基板の後端及びこれに後行する基板の先端に、ほぼ
対応する位置としたことを特徴とするフィルム張付方
法。 - 【請求項８】請求項７において、前記感光性樹脂層を切
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断することを特徴と
するフィルム張付方法。 - 【請求項９】請求項７又は８において、前記感光性樹脂
層の切断を行う前後位置に、積層体フィルムの引張力を
調節する引張力調節手段を配置して、該積層体フィルム
に引張力を付与しつつ、前記カバーフィルムカッターに
よりカバーフィルム及び感光性樹脂層を切断することを
特徴とするフィルム張付方法。 - 【請求項１０】透光性支持フィルム、この透光性支持フ
ィルムに積層された感光性樹脂層、この感光性樹脂層を
被って積層されたカバーフィルムを含む積層体フィルム
を帯状に連続的に供給するフィルム供給源と、このフィ
ルム供給源から供給される積層体フィルムから前記カバ
ーフィルムを連続的に剥離するカバーフィルム剥離手段
と、基板搬送面に沿って複数の基板を連続的に搬送する
基板搬送手段と、前記カバーフィルムが剥離された透光
性支持フィルムを、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向
くようにして前記基板とを重ねて挟み込みつつ送りをか
ける一対のラミネーションロールと、を有してなり、間
欠的に順次搬送されてくる複数の基板に前記カバーフィ
ルムが剥された積層体フィルムを連続的に張り付けるフ
ィルム張付装置において、 前記フィルム供給源と前記カバーフィルム剥離手段との
間の位置に、フィルム長手方向に前記基板搬送手段によ
り搬送される先行基板の後端と後行基板の先端間の距離
と略等しい所定間隔の２個所で、前記カバーフィルムを
前記感光性樹脂層と共に、前記透光性樹脂層の厚さ方向
の少なくとも一部を残してフィルム幅方向に切断するカ
バーフィルムカッターと、前記ラミネーションロールの
出側に配置され、前記基板に張り付けられた後の前記透
光性支持フィルムを、該基板から連続的に引き剥がす支
持フィルム剥離手段と、を設けると共に、前記カバーフ
ィルム剥離手段を、粘着テープの粘着面を、前記２個所
で切断された部分を含むカバーフィルムに連続的に粘着
し、且つ、フィルム搬送面から離間させることにより前
記カバーフィルムを連続的に引き剥がすように構成した
ことを特徴とするフィルム張付装置。 - 【請求項１１】請求項１０において、前記カバーフィル
ムカッターを、フィルム長手方向に前記所定間隔で一対
配置され、フィルム幅方向に移動自在のディスクカッタ
ーと、このディスクカッターの先端に対して、フィルム
搬送面を介して対向して配置され、ディスクカッターが
フィルム幅方向に移動するとき前記積層体フィルムを支
持するカッター台と、を含んで構成すると共に、前記一
対のディスクカッター及びカッター台を、前記積層体フ
ィルムの送り方向に、これと等速で移動させ得るカバー
フィルムカッター移動装置を設けたことを特徴とするフ
ィルム張付装置。 - 【請求項１２】請求項１０又は１１において、前記カバ
ーフィルムカッター近傍における前記積層体フィルム
に、フィルム長手方向の張力を付与する張力付与装置を
設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17852897A JP3905601B2 (ja) | 1997-07-03 | 1997-07-03 | フィルム張付方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17852897A JP3905601B2 (ja) | 1997-07-03 | 1997-07-03 | フィルム張付方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1120114A true JPH1120114A (ja) | 1999-01-26 |
| JP3905601B2 JP3905601B2 (ja) | 2007-04-18 |
Family
ID=16050056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17852897A Expired - Fee Related JP3905601B2 (ja) | 1997-07-03 | 1997-07-03 | フィルム張付方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3905601B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002331582A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-19 | Japan Servo Co Ltd | ラミネータ装置 |
| JP2005345875A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 接着ラベル及び接着ラベルロール |
| CN106079810A (zh) * | 2016-08-01 | 2016-11-09 | 深圳市银浩自动化设备有限公司 | 一种自动覆膜裁切机 |
| WO2022111431A1 (en) * | 2020-11-24 | 2022-06-02 | Zhejiang Dahua Technology Co., Ltd. | Methods and devices for laminating |
-
1997
- 1997-07-03 JP JP17852897A patent/JP3905601B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002331582A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-19 | Japan Servo Co Ltd | ラミネータ装置 |
| JP2005345875A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 接着ラベル及び接着ラベルロール |
| CN106079810A (zh) * | 2016-08-01 | 2016-11-09 | 深圳市银浩自动化设备有限公司 | 一种自动覆膜裁切机 |
| WO2022111431A1 (en) * | 2020-11-24 | 2022-06-02 | Zhejiang Dahua Technology Co., Ltd. | Methods and devices for laminating |
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|---|---|
| JP3905601B2 (ja) | 2007-04-18 |
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