JPS59181340A - 剥離現像方法 - Google Patents
剥離現像方法Info
- Publication number
- JPS59181340A JPS59181340A JP5710583A JP5710583A JPS59181340A JP S59181340 A JPS59181340 A JP S59181340A JP 5710583 A JP5710583 A JP 5710583A JP 5710583 A JP5710583 A JP 5710583A JP S59181340 A JPS59181340 A JP S59181340A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- peeling
- support
- carrier tape
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/34—Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away
- G03F7/343—Lamination or delamination methods or apparatus for photolitographic photosensitive material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は印刷回路等の製造の用に供される剥離現像方
法に関するものである。
法に関するものである。
印刷回路の製造等のために、画像形成用基板の表面に透
明支持体とこの支持体上に被着された光重合性組成物層
とからなる画像形成材料の上記光重合性組成物層側を粘
着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化領
域を形成して、さらに必要に応じて上記画像形成材料を
加熱した後、上記支持体を基板から剥離して該基板上に
画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに案出
されている。
明支持体とこの支持体上に被着された光重合性組成物層
とからなる画像形成材料の上記光重合性組成物層側を粘
着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化領
域を形成して、さらに必要に応じて上記画像形成材料を
加熱した後、上記支持体を基板から剥離して該基板上に
画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに案出
されている。
一方、上記のような剥離現像型の画像形成材の剥離方法
も種々提案されている。その１つの方法として、たとえ
ば特開昭４８−５８９０９号公報に開示されている方法
は、連続した粘着テープを露光した画像形成材料の支持
体上に次々に押圧しながら引き離すことによシ、連続し
た粘着テープと支持体を一体として基板から剥離するも
のである。しかし、この方法は基板の中以上の広巾の粘
着テープを使用するため、その消費針が大であり、不経
済である等の欠点を有する。
も種々提案されている。その１つの方法として、たとえ
ば特開昭４８−５８９０９号公報に開示されている方法
は、連続した粘着テープを露光した画像形成材料の支持
体上に次々に押圧しながら引き離すことによシ、連続し
た粘着テープと支持体を一体として基板から剥離するも
のである。しかし、この方法は基板の中以上の広巾の粘
着テープを使用するため、その消費針が大であり、不経
済である等の欠点を有する。
また、上記とは別の方法として、たとえば特公昭５５−
２’６４５４号公報のものがある。これは「１Ｊの狭い
粘着テープを基板の両側に順次貼りつけながら、引き離
す方法であり、前述の方法よりも経済的になっている。
２’６４５４号公報のものがある。これは「１Ｊの狭い
粘着テープを基板の両側に順次貼りつけながら、引き離
す方法であり、前述の方法よりも経済的になっている。
しかしこの方法は、この方法が主な目的としている感光
フィルムに対する保護フィルムのような接着力の小さい
フィルムを剥離するには有効であるものの、剥離現像型
画像形成材料の未露光部分のように比較的接着力の大き
いものを引き剥そうとした時には、粘着テープが貼られ
た両側と貼られていない中央部分では剥離にずれが生じ
、そのため中央部分での剥ＰｉｌｌＩ速度が不規則とな
り、鮮明な剥離現像画像が得られない等の欠点がある。
フィルムに対する保護フィルムのような接着力の小さい
フィルムを剥離するには有効であるものの、剥離現像型
画像形成材料の未露光部分のように比較的接着力の大き
いものを引き剥そうとした時には、粘着テープが貼られ
た両側と貼られていない中央部分では剥離にずれが生じ
、そのため中央部分での剥ＰｉｌｌＩ速度が不規則とな
り、鮮明な剥離現像画像が得られない等の欠点がある。
さらに、上記２者の（のとは異なり、基板上におけるフ
ィルム状支持体の一端に基板より突出した剥離端片を、
いわゆる耳テープとして設け、この剥ｆ％７ｆｔ端片を
引張ることによｐ１剥離端片から連続して上記支持体を
剥離する方法が案出されている。この方法は剥離現像前
に予め剥離端片を設けておく工程が必要となり、作業工
程数の増加を来たすばかシか、機械的に上記剥離端を雌
実に挾持させるのがｊｕｔ Ｌ り、”剥離をし損じる
といった欠点もあった。
ィルム状支持体の一端に基板より突出した剥離端片を、
いわゆる耳テープとして設け、この剥ｆ％７ｆｔ端片を
引張ることによｐ１剥離端片から連続して上記支持体を
剥離する方法が案出されている。この方法は剥離現像前
に予め剥離端片を設けておく工程が必要となり、作業工
程数の増加を来たすばかシか、機械的に上記剥離端を雌
実に挾持させるのがｊｕｔ Ｌ り、”剥離をし損じる
といった欠点もあった。
この発明者らは、上記した剥離方法の欠点を改善する方
法として、すでに、連続した粘着テープを基板上の支持
体に順次貼着しながら剥離する方法、すなわｉ、 ＋ｌ
］狭の粘着テープで上記支持体のコーナ一部から剥ｍＩ
Ｆする、経済的でかつ均一な速度で剥離する方法を提案
している。しかしながら、上記した剥剛力法は、たとえ
ば印刷回路板の製造に関して、非スルーホール基板はも
とよシ、画像状のレジストをメツキレシストとして使用
して製造するスルーホール基板の場・合には非常に有効
な手段ではあるものの、画像状のレジストで、基板内の
スルーホールをエツチングスプレー液から保護する、い
わゆるテンティング法で製造するスルーホール基板の場
合には、一般的な粘着テープを使用すると、本来、スプ
レー液から保護されるためにテントされるべきスルーホ
ール部分の露光部が、剥離現像時に破損する可能性のあ
ることが見い出され／ヒ。
法として、すでに、連続した粘着テープを基板上の支持
体に順次貼着しながら剥離する方法、すなわｉ、 ＋ｌ
］狭の粘着テープで上記支持体のコーナ一部から剥ｍＩ
Ｆする、経済的でかつ均一な速度で剥離する方法を提案
している。しかしながら、上記した剥剛力法は、たとえ
ば印刷回路板の製造に関して、非スルーホール基板はも
とよシ、画像状のレジストをメツキレシストとして使用
して製造するスルーホール基板の場・合には非常に有効
な手段ではあるものの、画像状のレジストで、基板内の
スルーホールをエツチングスプレー液から保護する、い
わゆるテンティング法で製造するスルーホール基板の場
合には、一般的な粘着テープを使用すると、本来、スプ
レー液から保護されるためにテントされるべきスルーホ
ール部分の露光部が、剥離現像時に破損する可能性のあ
ることが見い出され／ヒ。
この理由を第１図〜第３図１で説明する。同図）におい
て、■は基板、２は基板１の主面に転着された画像形成
材料層で、これは光重合性組成物層３と透明支持体４と
からなる。５は圧着・剥離ロール、６はニップロールで
、上記圧着・剥離ロール５の周面に沿って送られる粘着
テープ７を介して上記基板ｌから光重合性組成物層３に
おける未露光部３ｂとともに支持体４を引き剥すように
なっている。８および９はそれぞれ上記粘着テープ７を
構成するベースフィルムおよび粘着層である。
て、■は基板、２は基板１の主面に転着された画像形成
材料層で、これは光重合性組成物層３と透明支持体４と
からなる。５は圧着・剥離ロール、６はニップロールで
、上記圧着・剥離ロール５の周面に沿って送られる粘着
テープ７を介して上記基板ｌから光重合性組成物層３に
おける未露光部３ｂとともに支持体４を引き剥すように
なっている。８および９はそれぞれ上記粘着テープ７を
構成するベースフィルムおよび粘着層である。
さて、上記剥離時において、支持体４の基板に対する剥
離力は光重合性組成物層３の露光部３ａと未露光部３ｂ
との基板１に対する接着力の差によって変化する。この
剥離力が急に大きくなると、圧着・剥１ζ１トロール５
とニップロール６との間で上記粘着テープ７がスリップ
を起こす。このため第１図に示すように粘着テープ７と
これに粘着された支持体４にたるみ部分が生じ、上記支
持体４は上記圧着・剥離ロール５の周面に沿わなくなる
。
離力は光重合性組成物層３の露光部３ａと未露光部３ｂ
との基板１に対する接着力の差によって変化する。この
剥離力が急に大きくなると、圧着・剥１ζ１トロール５
とニップロール６との間で上記粘着テープ７がスリップ
を起こす。このため第１図に示すように粘着テープ７と
これに粘着された支持体４にたるみ部分が生じ、上記支
持体４は上記圧着・剥離ロール５の周面に沿わなくなる
。
この場合、」二記支持体４等の剥離角度は上記粘着チー
グアの厚みや剛性などによって決定され、したがって上
記支持体４等は第１図に示すように非常に小さい角度ａ
で剥がされることになる。
グアの厚みや剛性などによって決定され、したがって上
記支持体４等は第１図に示すように非常に小さい角度ａ
で剥がされることになる。
上記剥離角度が非常に小さくなると、第２図に示すよう
なスルーホール部１ｏを有する基板ｌにおいて上述の剥
離現像を行なう場合、光重合性組成物層３における露光
部３ａからの上記支持体４の剥Ｐ４＃か剥、φ１１を進
行方向におりである程度の巾Ｗをもつことになり、支持
体４とともに」二記露光部３ａにも大きな引張り力が付
与される。このため第３図のように−に記スルホール部
１０上に載置状態で基板１には密着していない露光部３
ａ、７が」二記支持体４とともに引き剥がされてしま
うことになる。
なスルーホール部１ｏを有する基板ｌにおいて上述の剥
離現像を行なう場合、光重合性組成物層３における露光
部３ａからの上記支持体４の剥Ｐ４＃か剥、φ１１を進
行方向におりである程度の巾Ｗをもつことになり、支持
体４とともに」二記露光部３ａにも大きな引張り力が付
与される。このため第３図のように−に記スルホール部
１０上に載置状態で基板１には密着していない露光部３
ａ、７が」二記支持体４とともに引き剥がされてしま
うことになる。
この発明者らは、上記の問題を解決するため、さらに検
討した結果、この発明を完成させるに至った。すなわち
、この発明は、画像を形成すべき基板の表面に、透明支
持体、および光重合性組成物層からなる、画像形成材料
を積層し、パターン状の露光を行なった後、基板のコー
ナ一部分にかかるように非粘着のキャリアテープを配設
するとともに、このキャリアテープを上記支持体の」−
記コーナ一部に対応する個所に対して、キャリアテープ
および支持体のいずれにも接着する物質を介して貼着し
、ついでこのキャリアテープを巻き取ることにより、該
非粘着のキャリアテープとともに、−１−記支持体と未
露光の光重合性組成物層を基板より情団１［シ、露光さ
れた光重合性組成物層を上記基板上に残存させることを
特徴とする剥離現像方法に係るものである。
討した結果、この発明を完成させるに至った。すなわち
、この発明は、画像を形成すべき基板の表面に、透明支
持体、および光重合性組成物層からなる、画像形成材料
を積層し、パターン状の露光を行なった後、基板のコー
ナ一部分にかかるように非粘着のキャリアテープを配設
するとともに、このキャリアテープを上記支持体の」−
記コーナ一部に対応する個所に対して、キャリアテープ
および支持体のいずれにも接着する物質を介して貼着し
、ついでこのキャリアテープを巻き取ることにより、該
非粘着のキャリアテープとともに、−１−記支持体と未
露光の光重合性組成物層を基板より情団１［シ、露光さ
れた光重合性組成物層を上記基板上に残存させることを
特徴とする剥離現像方法に係るものである。
この発明の方法によれば、非スルーホール基板はも・と
よりスルーホール基板の製造に際して剥離現像を行なっ
た場合でも、スルーホール部をテントした光重合性組成
物層の露光部が剥肉１１操作時に引き剥がされたりする
ことがなくなり、良好な画像を得ることができる。
よりスルーホール基板の製造に際して剥離現像を行なっ
た場合でも、スルーホール部をテントした光重合性組成
物層の露光部が剥肉１１操作時に引き剥がされたりする
ことがなくなり、良好な画像を得ることができる。
すなわち、第４図において、剥離現像時に前述したよう
に支持体４とこれに粘着した非粘着のキャリアテープ１
１とが圧着・剥離ロール５とニップロール６との間でス
リップを起こし、それらにたるみが生じた場合でも、キ
ャリアテープ１１と支持体４とは基板コーナ一部に位置
する接着性部質１２を介してＵの先端部だけが接合して
いるだけであるから、上記キャリアテープ１１の厚や剛
性に左右され）７くなる。したがって支持体４の剥離は
大きな角度βのもとで、該支持体４の引き」二げ力だけ
で行なわれる。
に支持体４とこれに粘着した非粘着のキャリアテープ１
１とが圧着・剥離ロール５とニップロール６との間でス
リップを起こし、それらにたるみが生じた場合でも、キ
ャリアテープ１１と支持体４とは基板コーナ一部に位置
する接着性部質１２を介してＵの先端部だけが接合して
いるだけであるから、上記キャリアテープ１１の厚や剛
性に左右され）７くなる。したがって支持体４の剥離は
大きな角度βのもとで、該支持体４の引き」二げ力だけ
で行なわれる。
このため、スルーホール部１０を有する基板１に適用し
た場合、支持体４の剥離が第５図に示すに ように剥離進行方向おいて線接触状態で行なわれ、へ 上側への引張り力は従来に比して小さくなる。したがっ
て、スル・−ホール部１０に対応する露光部３ａ′が支
」古体４とともに引き剥がされることが抑制されること
になる。
た場合、支持体４の剥離が第５図に示すに ように剥離進行方向おいて線接触状態で行なわれ、へ 上側への引張り力は従来に比して小さくなる。したがっ
て、スル・−ホール部１０に対応する露光部３ａ′が支
」古体４とともに引き剥がされることが抑制されること
になる。
なお、この発明で用いられるキャリヤテープ１１として
は、１１Ｊが２０〜５０ ｍｔｎで長尺に巻かれた厚さ
６〜５０７ｚｔｎのポリエステルフィルムなどのプラス
チックフィルムから形成したものがよい。これは塵埃を
出さないための他に強いフィルム強度を持たせるためか
らも好ましい。また、支持体４とキャリアテープ１１の
両者に良好な接着性を有する物質１２としては、両面接
着テープやホットメルトタイプの接着剤などを用いるこ
とができる。
は、１１Ｊが２０〜５０ ｍｔｎで長尺に巻かれた厚さ
６〜５０７ｚｔｎのポリエステルフィルムなどのプラス
チックフィルムから形成したものがよい。これは塵埃を
出さないための他に強いフィルム強度を持たせるためか
らも好ましい。また、支持体４とキャリアテープ１１の
両者に良好な接着性を有する物質１２としては、両面接
着テープやホットメルトタイプの接着剤などを用いるこ
とができる。
以丁、この発明の一実施例を図面にしたがって説明する
○ 第６図はこの発明に係る剥ｑ＋を現像方法が適用された
剥離現像方法の一例を示すものである。同図において、
■は画像形成用基板、２は上記基板１主面に接着された
画像形成材料層であり、光重合性組成物層３およびこの
光重合性組成物層３を支持するフィル′ム状の透明支持
体４からなる。５および６はそれぞれ上記供給ロールＭ
と巻込ロールＮとの間に位置して転接する圧着・剥離用
ロールおよびニップロールである。１１は非粘着のキャ
リアテープであり、このキャリアテープ１１は供給ロー
ルＭの巻回体から繰り出されて巻込ロールＮ側に巻き取
られるようになっている。１２はキャリアテープ１１と
支持体４の双方に良好に接着する物質である。
○ 第６図はこの発明に係る剥ｑ＋を現像方法が適用された
剥離現像方法の一例を示すものである。同図において、
■は画像形成用基板、２は上記基板１主面に接着された
画像形成材料層であり、光重合性組成物層３およびこの
光重合性組成物層３を支持するフィル′ム状の透明支持
体４からなる。５および６はそれぞれ上記供給ロールＭ
と巻込ロールＮとの間に位置して転接する圧着・剥離用
ロールおよびニップロールである。１１は非粘着のキャ
リアテープであり、このキャリアテープ１１は供給ロー
ルＭの巻回体から繰り出されて巻込ロールＮ側に巻き取
られるようになっている。１２はキャリアテープ１１と
支持体４の双方に良好に接着する物質である。
−１−、記圧着・剥離用ロール５とニップロール６とに
対して、画像形成相ネ゛１２が債層さＩ″ＬＬ露光えた
基板１を、第′を図のようにそのコーーノー一部分１ａ
が非粘着のキャリアテープ１１をセットした位置に当た
る」：うに挿入すると、支持体４に上記キャリアテープ
１１が接着性物質１２を介して貼９つけられ、引続いて
キャリアテープ１１に引張られた支持体４が未露光の光
重合性組成物層３ｂとともにコーナ一部から基板１より
引き剥亦され始める。この引き剥がされ始めた支持体４
および光重合性組成物）￥１３の未露光部３ｂは、前方
の圧着・剥１Ｊｌｉ 用ロール５とニップロール６によ
り挾持され、順次引き剥がされて剥離現像が完了する。
対して、画像形成相ネ゛１２が債層さＩ″ＬＬ露光えた
基板１を、第′を図のようにそのコーーノー一部分１ａ
が非粘着のキャリアテープ１１をセットした位置に当た
る」：うに挿入すると、支持体４に上記キャリアテープ
１１が接着性物質１２を介して貼９つけられ、引続いて
キャリアテープ１１に引張られた支持体４が未露光の光
重合性組成物層３ｂとともにコーナ一部から基板１より
引き剥亦され始める。この引き剥がされ始めた支持体４
および光重合性組成物）￥１３の未露光部３ｂは、前方
の圧着・剥１Ｊｌｉ 用ロール５とニップロール６によ
り挾持され、順次引き剥がされて剥離現像が完了する。
ここで、連続したキャリアテープ１１を基板１の支持体
４にコーナ一部だけに存在する接着性物質１２を介し７
て貼着して、該支持体４等を引き剥す構成であるから、
露光の終った基板１のコーナー、部に物質１２を設けて
から該基板１を挿入するだけの工程で剥離現像が行なえ
る０さらに、コーナ一部から剥離を開始させると同時に
圧着・剥離ロール５とニップロール６により挾持して剥
離を進行さぜるため、［１］の狭い非粘着のキャリアテ
ープ１１が使用でき、剥１１１１ｔ現像が経済的に実施
できるうえ、剥離部分にずれが生じるおそれも解消され
る。とくに、」二記非粘着のキャリアテープ１１と接着
性物質１２とを組み合せ使用する構成により、スルーホ
ール部ｌＯを有する基板に適用した場合でも−に記スル
ーホール部に対応する露光部３ａ、Ｌの破損を防止でき
る０ この方法で使用する非粘着のキャリアテープ１１のＩｌ
ｌは２０〜５０ｍｍ程度のものが好適に使用されるが、
特にこのＩＪにこだわる必要はない。また、この例では
テープ圧着用と剥離用のロールとを共用したがそれぞれ
を独立させて構成することも可能である。
４にコーナ一部だけに存在する接着性物質１２を介し７
て貼着して、該支持体４等を引き剥す構成であるから、
露光の終った基板１のコーナー、部に物質１２を設けて
から該基板１を挿入するだけの工程で剥離現像が行なえ
る０さらに、コーナ一部から剥離を開始させると同時に
圧着・剥離ロール５とニップロール６により挾持して剥
離を進行さぜるため、［１］の狭い非粘着のキャリアテ
ープ１１が使用でき、剥１１１１ｔ現像が経済的に実施
できるうえ、剥離部分にずれが生じるおそれも解消され
る。とくに、」二記非粘着のキャリアテープ１１と接着
性物質１２とを組み合せ使用する構成により、スルーホ
ール部ｌＯを有する基板に適用した場合でも−に記スル
ーホール部に対応する露光部３ａ、Ｌの破損を防止でき
る０ この方法で使用する非粘着のキャリアテープ１１のＩｌ
ｌは２０〜５０ｍｍ程度のものが好適に使用されるが、
特にこのＩＪにこだわる必要はない。また、この例では
テープ圧着用と剥離用のロールとを共用したがそれぞれ
を独立させて構成することも可能である。
以上のように、この発明の方法によれば画像形成材料層
が接着された基板に対してコーナ一部から上記画像形成
材料層の支持体をキャリアテープを使用して剥離させる
ことによシ、経済的かつ合理的な剥離現像を実行でき、
とくに非粘着のキャリアテープの先端だけを接着性物質
を介して支持体に接着させ−Ｃから剥離させるため、ス
ルーホール部を有するものにおいても露光部を損傷させ
ることなく鮮明画像を確保できる効果がある。
が接着された基板に対してコーナ一部から上記画像形成
材料層の支持体をキャリアテープを使用して剥離させる
ことによシ、経済的かつ合理的な剥離現像を実行でき、
とくに非粘着のキャリアテープの先端だけを接着性物質
を介して支持体に接着させ−Ｃから剥離させるため、ス
ルーホール部を有するものにおいても露光部を損傷させ
ることなく鮮明画像を確保できる効果がある。
第１図は従来の剥離現像方法の構成図、第２図および第
３図は従来の方法をスルーホール部を有する基板に適用
した場合の剥離部の断面説明図、第４図はこの発明の剥
離現像方法の構成図、第５図はこの発明の方法をスルー
ホール部を有する基板に適用した場合の剥削部の断面説
明図、第６図はこの発明に係る剥離現像方法に適用され
た装置の概略構成図、第７図は同剥離開始位置の説明図
である。 ｌ・・・基板、２・・・画像形成材料、３・・・光重合
性組成物層、 ３ａ・・・露光部、３ｂ・・・未露光
部、４・・・透明支持体、１１・・・非粘着のキャリア
テープ１．１２・・・＼ 接着性物質。 特許出願人 日東電気工業株式会社 代理人弁理士 祢宜元 邦 夫こ−五Ｊ第４図 第５１．１ 第６１゛シＩ Ｉｆ ７１”、１
３図は従来の方法をスルーホール部を有する基板に適用
した場合の剥離部の断面説明図、第４図はこの発明の剥
離現像方法の構成図、第５図はこの発明の方法をスルー
ホール部を有する基板に適用した場合の剥削部の断面説
明図、第６図はこの発明に係る剥離現像方法に適用され
た装置の概略構成図、第７図は同剥離開始位置の説明図
である。 ｌ・・・基板、２・・・画像形成材料、３・・・光重合
性組成物層、 ３ａ・・・露光部、３ｂ・・・未露光
部、４・・・透明支持体、１１・・・非粘着のキャリア
テープ１．１２・・・＼ 接着性物質。 特許出願人 日東電気工業株式会社 代理人弁理士 祢宜元 邦 夫こ−五Ｊ第４図 第５１．１ 第６１゛シＩ Ｉｆ ７１”、１
Claims (1)
- （１）画像を形成すべき基板の表面に、透明支持体およ
び光重合性組成物層からなる画像形成材料を積層し、パ
ターン状の露光を行なった後、非粘着のキャリアテープ
を基板のコーナ部にかかるように配設するとともに、こ
のキャリアテープを上記支持体における基板コーナ一部
に対応する個所に対して、該キャリアテープおよび上記
支持体のいずれにも接着する物質を介して貼着し、つい
でこの非粘着のキャリアテープを巻き取ることによシ、
該キャリアテープとともに上記支持体と未露光の光重合
性組成物層を基板よシ剥離し、露光された光重合性組成
物層を上記基板に残存させることを特徴とする剥離現像
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5710583A JPS59181340A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 剥離現像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5710583A JPS59181340A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 剥離現像方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59181340A true JPS59181340A (ja) | 1984-10-15 |
Family
ID=13046228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5710583A Pending JPS59181340A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 剥離現像方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59181340A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4652513A (en) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Vacuum Applied Coatings Corp. | Method for creating a design in relief in a hard smooth substrate and apparatus for use in the method |
| US5658416A (en) * | 1994-06-17 | 1997-08-19 | Polaroid Corporation | Method and apparatus for peeling a laminate |
| GB2386127A (en) * | 2000-09-29 | 2003-09-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Transparent laminate having low emissivity |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP5710583A patent/JPS59181340A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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