JPS59181343A - 剥離現像方法 - Google Patents
剥離現像方法Info
- Publication number
- JPS59181343A JPS59181343A JP5710983A JP5710983A JPS59181343A JP S59181343 A JPS59181343 A JP S59181343A JP 5710983 A JP5710983 A JP 5710983A JP 5710983 A JP5710983 A JP 5710983A JP S59181343 A JPS59181343 A JP S59181343A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- peeling
- composition layer
- stripping
- photopolymerizable composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/34—Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away
- G03F7/343—Lamination or delamination methods or apparatus for photolitographic photosensitive material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は印刷回路等の製造の用に供される剥離現像方
法に関するものである。
法に関するものである。
印刷回路の製造等のために、画像形成用基板の表面に透
明支持体とこの支持体上に被着された光重合性組成物層
からなる画像形成材料の上記光重合性組成物１ｍ側を粘
着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化領
域を形成して、さらに必要に応じて」−配向像形成材料
を加熱した後、上記支持体を基板から剥離して該基板上
に画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに案
出されている。
明支持体とこの支持体上に被着された光重合性組成物層
からなる画像形成材料の上記光重合性組成物１ｍ側を粘
着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化領
域を形成して、さらに必要に応じて」−配向像形成材料
を加熱した後、上記支持体を基板から剥離して該基板上
に画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに案
出されている。
」二記の方法によって得られる画像状のレジスト性
はその画像再現性が光重へμ成物層の組成によって左右
されるが、上記支持体の剥離の仕方にも大きな影響を受
りる。すなわち、これは上記剥頗ト現像の原理が光重合
性組成物層における露光部分と未露光部分とで接着力が
異なることを利用しているからである、。
されるが、上記支持体の剥離の仕方にも大きな影響を受
りる。すなわち、これは上記剥頗ト現像の原理が光重合
性組成物層における露光部分と未露光部分とで接着力が
異なることを利用しているからである、。
このため、上記剥離を人手に依って行なおうとすれば、
上記露光部分と非露光部分とに対して剥離力を加減しな
い限り、原画に忠実な画像状レジストを得ることは困難
であり、ましてや上記露光部分と非露光部分とが複雑に
入り組んだパターンにおいては、剥離力の手加減さえで
きなくなる。
上記露光部分と非露光部分とに対して剥離力を加減しな
い限り、原画に忠実な画像状レジストを得ることは困難
であり、ましてや上記露光部分と非露光部分とが複雑に
入り組んだパターンにおいては、剥離力の手加減さえで
きなくなる。
このため、特開昭５２−１６５３８号公報や実開昭５１
−９０８３７号公報などに示されているように、支持体
とともに基板」二から剥離される未露光部分を圧着・剥
離ロールとニップロールで挾みながら上記基板上からひ
き剥がす方法が提案されている。これは人手によって剥
離するのと違って画像再現性を容易に向上させ得るもの
であるが、厳密にはなおつぎのような欠点を有している
ことが判ってきた。
−９０８３７号公報などに示されているように、支持体
とともに基板」二から剥離される未露光部分を圧着・剥
離ロールとニップロールで挾みながら上記基板上からひ
き剥がす方法が提案されている。これは人手によって剥
離するのと違って画像再現性を容易に向上させ得るもの
であるが、厳密にはなおつぎのような欠点を有している
ことが判ってきた。
すなわち、上記ロールによる剥離手段においては、剥離
中の基板の変動が問題となる。これを第１図（Ａ） 、
（Ｂ）で説明する。同図において、■は画像形成用基
板、２は上記基板１の主面に接着された画像形成材料層
であり、これは光重合性組成物層３およびこの層３を支
持する透明支持体４からなる。
中の基板の変動が問題となる。これを第１図（Ａ） 、
（Ｂ）で説明する。同図において、■は画像形成用基
板、２は上記基板１の主面に接着された画像形成材料層
であり、これは光重合性組成物層３およびこの層３を支
持する透明支持体４からなる。
５は圧着・剥離ロール、６はニップロールである。
上記両ロール５，６による剥離開始時においては、同図
（Ｎのよう１こ未露光部分３ｂとともに支持体４が上記
圧着・剥離ロール５の周面に沿って剥がされるが、両ロ
ール５，６による挾持位置Ｐと基板ＩＬの剥離進行線Ｑ
の距離が最も短いところは、同図（Ｂ）に示すように上
記支持体４が基板１の主面に対して９０ の角度（θ）
で剥離される位ｆｇ？であるから、この位置まで支持体
４が引張られるに従って」二記基板１が黒矢印方向へ変
移し、以後上記支持体４は上記の角度のままで剥離され
ることになる。このような剥離中の剥離角度の変化のほ
か、露光部３ａと未露光部３ｂとで接着力の異なる部分
が剥離反力となって基板１に付勢されるから、該基板ｌ
が上下動を起こし、剥離速度の変動を惹起させるから、
これにより画像状のレジストにぎざ部が形成されたり、
未露光部分が局部的に残存してしまう。
（Ｎのよう１こ未露光部分３ｂとともに支持体４が上記
圧着・剥離ロール５の周面に沿って剥がされるが、両ロ
ール５，６による挾持位置Ｐと基板ＩＬの剥離進行線Ｑ
の距離が最も短いところは、同図（Ｂ）に示すように上
記支持体４が基板１の主面に対して９０ の角度（θ）
で剥離される位ｆｇ？であるから、この位置まで支持体
４が引張られるに従って」二記基板１が黒矢印方向へ変
移し、以後上記支持体４は上記の角度のままで剥離され
ることになる。このような剥離中の剥離角度の変化のほ
か、露光部３ａと未露光部３ｂとで接着力の異なる部分
が剥離反力となって基板１に付勢されるから、該基板ｌ
が上下動を起こし、剥離速度の変動を惹起させるから、
これにより画像状のレジストにぎざ部が形成されたり、
未露光部分が局部的に残存してしまう。
この発明は」１記欠点を解消するためになされたもので
、上記基板に転接してこれを剥離速度に同調する定速度
で前方へ送り出させるピンチロールを付加することによ
り、剥離中の基板の変動が抑止され、画像の再現性の向
上を図り得る剥離現像方法を提供することを目的として
いる。
、上記基板に転接してこれを剥離速度に同調する定速度
で前方へ送り出させるピンチロールを付加することによ
り、剥離中の基板の変動が抑止され、画像の再現性の向
上を図り得る剥離現像方法を提供することを目的として
いる。
以下、この発明を図面にもとづいて説明する。
第２図はこの発明に係る剥離現像方法の一例を示すもの
で、第１図とト部所には同一符号を付して説明を省略す
る。
で、第１図とト部所には同一符号を付して説明を省略す
る。
同図に示すように、この発明においては、基板ｌに転接
するピンチロール７が圧着・剥離ロール５に対向して配
設されている。つまり上記圧着・剥ｈｌｌロール５と上
記ピンチロール７とで基板ｌを挾持さぜながらこの基板
１を支持体４の剥離動作にともなって前方（矢印ａ方向
）へ送り出させる。
するピンチロール７が圧着・剥離ロール５に対向して配
設されている。つまり上記圧着・剥ｈｌｌロール５と上
記ピンチロール７とで基板ｌを挾持さぜながらこの基板
１を支持体４の剥離動作にともなって前方（矢印ａ方向
）へ送り出させる。
これにより、基板ｌが送られる速度と、支持体４の剥離
速度とが等しくなり、支持体４の剥離角度も安定する。
速度とが等しくなり、支持体４の剥離角度も安定する。
とくに上記圧着・剥離ロール５とピンチロール７とで基
板１を保持さぜるため、光重合性組成物層３の露光部３
ａと未露光部８ｂの接着力の差によって」二記基板１が
上下動しようとするのが抑制され、これにより支持体４
の剥離がスムースになされ原画が良好に再現される。こ
の場合、上記ピンチロール７の材質としては、基板１を
効果的に圧接できる点からゴムロールのような弾性材を
設けたものが好ましい。
板１を保持さぜるため、光重合性組成物層３の露光部３
ａと未露光部８ｂの接着力の差によって」二記基板１が
上下動しようとするのが抑制され、これにより支持体４
の剥離がスムースになされ原画が良好に再現される。こ
の場合、上記ピンチロール７の材質としては、基板１を
効果的に圧接できる点からゴムロールのような弾性材を
設けたものが好ましい。
ところで、上記ピンチロール７を第３図のように２組用
意し、上記圧接・剥離ロール５に対向しない位置で基板
ｌを保持さぜるようにしてもよいが、上記両ロール５，
７を同調さぜやすい点からは上記実施例の構成を採るの
が好ましい。
意し、上記圧接・剥離ロール５に対向しない位置で基板
ｌを保持さぜるようにしてもよいが、上記両ロール５，
７を同調さぜやすい点からは上記実施例の構成を採るの
が好ましい。
また、」二記各例では基板１の片面に画像形成材料２を
積層したもので説明したが、この発明の構成は基板１の
両面に画像形成材料２を積層したものにも適用できるこ
とは勿論である。
積層したもので説明したが、この発明の構成は基板１の
両面に画像形成材料２を積層したものにも適用できるこ
とは勿論である。
つぎに、この発明の実施例を以下に示す。
実施例
画像形成材料として、日東電気工業社製商品名Ｉ−ネオ
トロツクーナ」を使用し、２ｏｏμｍの配線パターンを
有するマスクを使用して、露光を行なった後、ピンチロ
ールのない第１図（５）、（Ｂ）に示す如き状態で剥離
現像を行なうと、１０枚中１〜２枚のとれ残り不良がみ
られたものが、ピンチロールを設けた第２図に示す剥離
操作を採用することにより上記の不良はみられなかった
。
トロツクーナ」を使用し、２ｏｏμｍの配線パターンを
有するマスクを使用して、露光を行なった後、ピンチロ
ールのない第１図（５）、（Ｂ）に示す如き状態で剥離
現像を行なうと、１０枚中１〜２枚のとれ残り不良がみ
られたものが、ピンチロールを設けた第２図に示す剥離
操作を採用することにより上記の不良はみられなかった
。
、以上のように、この発明の剥離現像方法によれば、基
板を剥離速度に同調して前方へ送り出すピンチロールを
イ・」加することにより、基板の変動がなく、原画の［
［工場性を向上させることができる０
板を剥離速度に同調して前方へ送り出すピンチロールを
イ・」加することにより、基板の変動がなく、原画の［
［工場性を向上させることができる０
第１図（Δ） 、 （Ｂ）は従来の剥離現像方法の説明
図、第２図はこの発明に係る剥離現像方法の説明図、第
３図はこの発明の詳細な説明図である。。 ■・・・基板、２・・画像形成材料、３・・・光重合性
組成物層、３ａ・・・露光部、３ｂ・・・未露光部、４
・・・透明支持体、５・・・圧着・剥離ロール、６・・
・ニップロール、７・・ピンチロール。
図、第２図はこの発明に係る剥離現像方法の説明図、第
３図はこの発明の詳細な説明図である。。 ■・・・基板、２・・画像形成材料、３・・・光重合性
組成物層、３ａ・・・露光部、３ｂ・・・未露光部、４
・・・透明支持体、５・・・圧着・剥離ロール、６・・
・ニップロール、７・・ピンチロール。
Claims (1)
- （１）画像を形成すべき基板の表面に、透明支持体およ
び光重合性組成物層からなる画像形成材料を積層腰パタ
ーン状の露光を行なった後、圧着・剥離ロールとニップ
τコールとにより上記支持体と未露光の光重合性組成物
層を」二記基板から剥削して、露光された光重合性組成
物層を上記基板」二に残存させる剥離現像方法において
、」二記基板に転接して上記両ロールとで」二記基板を
前方へ−・定速度で送り出すピンチτコールを配設して
この送り出し速度に同調させながら上記剥離操作を行な
わせることを特徴とする剥離現像方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5710983A JPS59181343A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 剥離現像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5710983A JPS59181343A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 剥離現像方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59181343A true JPS59181343A (ja) | 1984-10-15 |
Family
ID=13046347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5710983A Pending JPS59181343A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 剥離現像方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59181343A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03107852A (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-08 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 画像形成方法 |
| JP2009138846A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Hitachi Ltd | 電磁ディスクブレーキ |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP5710983A patent/JPS59181343A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03107852A (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-08 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 画像形成方法 |
| JP2009138846A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Hitachi Ltd | 電磁ディスクブレーキ |
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